JP2016157708A - 銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法 - Google Patents

銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2016157708A
JP2016157708A JP2013143479A JP2013143479A JP2016157708A JP 2016157708 A JP2016157708 A JP 2016157708A JP 2013143479 A JP2013143479 A JP 2013143479A JP 2013143479 A JP2013143479 A JP 2013143479A JP 2016157708 A JP2016157708 A JP 2016157708A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
silver
emitting device
aliphatic hydrocarbon
monoamine
light emitting
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013143479A
Other languages
English (en)
Inventor
由紀 井口
Yuki Iguchi
由紀 井口
和樹 岡本
Kazuki Okamoto
和樹 岡本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daicel Corp
Original Assignee
Daicel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daicel Corp filed Critical Daicel Corp
Priority to JP2013143479A priority Critical patent/JP2016157708A/ja
Priority to PCT/JP2014/068271 priority patent/WO2015005373A1/ja
Priority to TW103123621A priority patent/TW201513137A/zh
Publication of JP2016157708A publication Critical patent/JP2016157708A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/85Packages
    • H10H20/857Interconnections, e.g. lead-frames, bond wires or solder balls
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/05Metallic powder characterised by the size or surface area of the particles
    • B22F1/054Nanosized particles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/16Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes
    • B22F9/30Making metallic powder or suspensions thereof using chemical processes with decomposition of metal compounds, e.g. by pyrolysis
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/80Constructional details
    • H10H20/85Packages
    • H10H20/855Optical field-shaping means, e.g. lenses
    • H10H20/856Reflecting means
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10HINORGANIC LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR DEVICES HAVING POTENTIAL BARRIERS
    • H10H20/00Individual inorganic light-emitting semiconductor devices having potential barriers, e.g. light-emitting diodes [LED]
    • H10H20/01Manufacture or treatment
    • H10H20/036Manufacture or treatment of packages
    • H10H20/0364Manufacture or treatment of packages of interconnections
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/851Dispositions of multiple connectors or interconnections
    • H10W72/874On different surfaces
    • H10W72/884Die-attach connectors and bond wires
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W74/00Encapsulations, e.g. protective coatings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/721Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors
    • H10W90/724Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bump connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/731Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
    • H10W90/734Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W90/00Package configurations
    • H10W90/701Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
    • H10W90/751Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
    • H10W90/754Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)

Abstract

【課題】めっき加工やエッチング加工を行うことなく、導電性や熱伝導性に優れ且つ光沢面を有する回路パターンを有する発光装置、及び、その発光装置を、光半導体素子に熱的ダメージを与える事なく、簡便且つ安定的に得る事ができる製造方法を提供する。【解決手段】光半導体素子1、回路パターン2、及び絶縁基板4を有する発光装置であって、光半導体素子1と回路パターン2が電気的及び/又は熱的に接続され、且つ回路パターン2が絶縁基板4の上に設けられ、且つ回路パターン2が銀ナノ粒子を含む組成物3を焼結する事により形成され、且つ銀ナノ粒子が脂肪族炭化水素基及びアミノ基を有するアミン(A)及び銀化合物(B)を含む混合物を熱分解して得られる銀ナノ粒子である発光装置及びその製造方法。【選択図】図1

Description

本発明は、発光ダイオード(LED、Light Emitting Diode)に代表される光半導体素子等を搭載した発光装置及びその製造方法に関する。
特許文献1に例示されるように、従来、回路基板に光半導体素子を搭載することにより発光装置が形成されている。回路基板の回路パターンは、リソグラフィー等、レジストパターンを用いる方法により、絶縁基板の表面にラミネートやめっき等で形成された銅箔をエッチングした後、その銅箔のパターンの表面に金メッキ等を施すことによって光沢面に形成している。この回路パターンの表面の光沢面により、回路基板に搭載された光半導体素子からの発光が回路パターンの表面で反射され、より多くの光が得られる。
しかし、リソグラフィー法を用いて回路パターンを形成する場合、めっき加工やレジストパターン形成をしなければならず、発光装置の製造工程が多くなるという問題があった。また、回路基板に凹凸部が存在する場合や、高密度の回路パターンを形成する必要がある場合、回路パターン形成が困難であるという問題があった。更に、回路パターンの表面を光沢面にする際、金めっき等のめっき加工が必要であり、更に製造工程が多くて複雑になり、製造効率が落ちるという問題があった。
特許文献2には、光半導体素子とこれに電気的に接続される回路パターンとを有する発光装置において、上記回路パターンは金属ペーストを絶縁基板の表面に塗布することにより形成され、且つ上記回路パターンを形成する金属ペースト自体の表面が光半導体素子から発せられる光を反射可能な光沢面として形成されて成る発光装置が開示されている。これにより、工程を数少なくして簡略化し、高密度の回路パターンを容易に形成することができ、効率よく回路パターンの表面を光沢面に形成することができる、とされている。
しかし、金属ペーストについては、ほとんどの金属を用いる事ができるとしている一方、銅等のように参加性が高くナノサイズの金属粒子は不適とする等、具体的な金属の選定基準につき開示がない。また、低温(150〜220℃)でも互いに融着する性質を有する金属粒子を要求しており、銀粒子、アクリル樹脂、アルコール、トルエン等の成分を例示しているが、どのような組合せや配合比率なら、低温(150〜220℃)にて互いに融着して光沢面や鏡面が得られるのか、具体的な開示がない。更に、ディスペンサやインクジェットプリンタによる塗布を簡単に記載しているが、金属ペーストの分散状態や保存安定性を保持しつつ塗布する方法については開示がない。以上より、金属ペーストを塗布する方法を実現するためには、非常に多くの試行錯誤が要求される。
特許文献3には、銀ナノ粒子を安定化するために、脂肪族アミン化合物として、炭素数18のオレイルアミンと炭素数1〜18の飽和脂肪族アミンとの組合せが開示されている。しかし、オレイルアミンを保護剤の主成分として用いると、低温における銀ナノ粒子の焼結が妨げられる。
特許文献4には、銀ナノ粒子を安定化するために、脂肪族アミン化合物として、沸点100℃〜250℃の中短鎖アルキルアミン(段落0061)と沸点100℃〜250℃の中短鎖アルキルジアミン(段落0062)との組合せが開示されている。この方法によれば、オレイルアミンを保護剤の主成分として用いることに起因する問題は改善されるが、低温における銀ナノ粒子の焼結により発現される導電性は未だ満足できる水準にはない。
特開平8−32119号公報 特開2009−65219号公報 特開2008−214695号公報 特開2010−265543号公報
本発明は、めっき加工やエッチング加工を行うことなく、導電性や熱伝導性に優れ且つ光沢面を有する回路パターンを有する発光装置、及び、その発光装置を、光半導体素子に熱的ダメージを与える事なく、簡便且つ安定的に得る事ができる製造方法を提供する事を目的とする。
本発明者らは、保存安定性、分散性、導電性、熱伝導性に優れた銀ナノ粒子を用いる事により、導電性や熱伝導性に優れ且つ光沢面を有する回路パターンを有する発光装置を、光半導体素子に熱的ダメージを与える事なく、簡便且つ安定的に得られる事を見出し、本発明を完成させた。
即ち、本発明は、光半導体素子、回路パターン、及び絶縁基板を有する発光装置であって、光半導体素子と回路パターンが電気的及び/又は熱的に接続され、且つ回路パターンが絶縁基板の上に設けられ、且つ回路パターンが銀ナノ粒子を含む組成物を焼結する事により形成され、且つ銀ナノ粒子が脂肪族炭化水素基及びアミノ基を有するアミン(A)及び銀化合物(B)を含む混合物を熱分解して得られる銀ナノ粒子である発光装置を提供する。
また、本発明は、前記アミン(A)が、炭素数6以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A1)、炭素数5以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A2)、及び、炭素数8以下の脂肪族炭化水素基と2つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素ジアミン(A3)を含むアミンである前記発光装置を提供する。
また、本発明は、前記アミン(A)が、炭素数6以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A1)、及び炭素総数5以下の脂肪族炭化水素モノアミン(A2)を含むアミンであって、前記モノアミン(A1)と前記モノアミン(A2)の合計を基準として、前記モノアミン(A1)5モル%以上20モル%未満、及び前記モノアミン(A2)80モル%を超えて95モル%以下の割合で含むアミンである前記発光装置を提供する。
また、本発明は、前記アミン(A)が、炭素数4以上の分岐脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる分枝脂肪族炭化水素モノアミン(A4)を含むアミンである前記発光装置を提供する。
また、本発明は、前記銀化合物(B)が、シュウ酸銀である前記発光装置を提供する。
また、本発明は、前記銀ナノ粒子の平均粒径が0.5nm〜100nmである前記発光装置を提供する。
また、本発明は、光半導体素子及び回路パターンの全部又は一部が透明な保護材料で被覆されている前記発光装置を提供する。
また、本発明は、保護材料が、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、カーボネート系樹脂、ノルボルネン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、及びポリアミド樹脂から選ばれるひとつ以上の材料からなる前記発光装置を提供する。
また、本発明は、絶縁基板に銀ナノ粒子を含む組成物を塗布する工程(a)、前記組成物に含まれる銀ナノ粒子を焼結させる工程(b)、前記絶縁基板に光半導体素子を搭載する工程(c)、前記光半導体素子と回路パターンを電気的及び/又は熱的に接続する工程(d)、及び、前記回路パターンを覆うようにして保護材料を形成する工程(e)を含む前記発光装置の製造方法を提供する。
また、本発明は、前記工程(b)及び前記工程(d)を同時に行う工程を含む前記発光装置の製造方法を提供する。
本発明によれば、めっき加工やエッチング加工を行うことなく、導電性や熱伝導性に優れ且つ光沢面を有する回路パターンを有する発光装置を得る事ができる。また、光半導体素子に熱的ダメージを与える事なく、簡便且つ安定的に発光装置を製造する事ができる。
本発明の発光装置における実施態様の一例を示す。(a)から(e)は本発明の発光装置の製造工程における断面図を示す。 本発明の発光装置における実施態様の一例を示す。(a)から(e)は本発明の発光装置の製造工程における断面図を示す。 本発明の発光装置における実施態様の一例を示す。(a)から(e)は本発明の発光装置の製造工程における断面図を示す。
以下、本発明を実施するための形態を例示して説明するが、本発明はこれらに限られるものではない。
[発光装置]
本発明の発光装置は、光半導体素子、回路パターン、及び絶縁基板を有する発光装置であって、光半導体素子と回路パターンが電気的及び/又は熱的に接続され、且つ回路パターンが絶縁基板の上に設けられ、且つ回路パターンが銀ナノ粒子を含む組成物を焼結する事により形成され、且つ銀ナノ粒子が脂肪族炭化水素基及びアミノ基を有するアミン(A)及び銀化合物(B)を含む混合物を熱分解して得られる銀ナノ粒子である発光装置である。
[光半導体素子]
本発明における光半導体素子としては、通電により光を発するものであれば特に限定されず、例えば、発光ダイオード(LED、Light Emitting Diode)等の光半導体素子を挙げる事ができる。本発明の半導体素子における端子を形成する材料としては、任意の金属を用いる事ができ、例えば、金、銀、銅、若しくはアルミニウム、又はそれらの合金を用いる事ができる。前記任意の金属の中でも、接合性や耐酸化性の観点からは、金若しくは金合金、又は、表面を金若しくは金合金により被覆された金属が好ましい。前記端子を形成する材料としては、銀ナノ粒子を含む組成物を用いても良い。
[回路パターン]
本発明の回路パターンは、光半導体素子と電気的及び/又は熱的に接続され、且つ絶縁基板の上に設けられる。本発明の回路パターンは、銀ナノ粒子を含む組成物を焼結する事により形成される。
[絶縁基板]
本発明における絶縁基板としては、電気的な絶縁性を有する平板等であれば特に限定されず、例えば、ガラス製基板;エポキシ樹脂やシリコーン樹脂等の硬化性樹脂を含有するガラス布基材(プリプレグ)を硬化させて得られる積層板、ポリイミド系フィルムのような耐熱性プラスチック基板;ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム等のポリエステル系フィルム、ポリプロピレンなどのポリオレフィン系フィルム等の耐熱性の低い汎用プラスチック基板;セラミック板;樹脂や無機フィラーが混入された樹脂やセラミック等で表面が絶縁処理された金属板等を挙げる事ができる。
[銀ナノ粒子を含む組成物]
本発明における銀ナノ粒子を含む組成物としては、例えば、導電性や熱伝導性を発揮する成分である多数の銀ナノ粒子と、銀ナノ粒子を分散した状態に保持するための有機溶剤や分散剤からなる構成が挙げられる。前記組成物は、特に制限される事なく、種々の形態をとり得る。例えば、銀ナノ粒子を適切な有機溶剤(分散媒体)中に懸濁状態で分散させる事により、いわゆる銀インクと呼ばれる銀塗料組成物を作製する事ができる。あるいは、銀ナノ粒子を有機溶剤中に混練された状態で分散させる事により、いわゆる銀ペーストと呼ばれる銀塗料組成物を作製する事ができる。塗料組成物を得るための有機溶剤としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ウンデカン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン等の脂肪族炭化水素溶剤; トルエン、キシレン、メシチレン等のような芳香族炭化水素溶剤; メタノール、エタノール、プロパノール、n−ブタノール、n−ペンタノール、n−ヘキサノール、n−ヘプタノール、n−オクタノール、n−ノナノール、n−デカノール、テルピネオール等のようなアルコール溶剤等が挙げられる。所望の銀塗料組成物の濃度や粘性に応じて、有機溶剤の種類や量を適宜定めると良い。後述する金属ナノ粒子についても同様である。
銀ナノ粒子の平均粒径は、0.5nm〜100nmである事が好ましく、0.5nm〜50nmである事がより好ましく、0.5nm〜25nmである事が更に好ましく、0.5nm〜10nmである事が特に好ましい。
本発明の銀ナノ粒子は、脂肪族炭化水素基及びアミノ基を有するアミン(A)及び銀化合物(B)を含む混合物を熱分解して得られる銀ナノ粒子である。前記銀ナノ粒子は、アミン(A)を含む保護剤によって表面が被覆された状態となっており、安定性に優れ、200℃未満(例えば150℃以下、好ましくは120℃以下)の低温且つ2時間以下(例えば1時間以下、好ましくは30分間以下)の短い時間での焼結によって、例えば1μm以上の比較的厚膜である銀被膜を形成した場合でも優れた導電性(低い抵抗値)が発現する銀ナノ粒子である。
[アミンの実施態様1]
前記アミン(A)としては、炭素数6以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A1)、炭素数5以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A2)、及び、炭素数8以下の脂肪族炭化水素基と2つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素ジアミン(A3)を含むアミンの混合物が挙げられる。
前記モノアミン(A1)は、その炭化水素鎖によって、生成する銀ナノ粒子表面への保護剤(安定化剤)としての高い機能を有する。前記モノアミン(A1)としては、好ましくは、炭素数6以上12以下のアルキルモノアミンが挙げられる。前記モノアミン(A1)としては、第一級アミン、第二級アミン、及び第三級アミンが含まれる。
第一級アミンとしては、例えば、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ウンデシルアミン、ドデシルアミン、トリデシルアミン、テトラデシルアミン、ペンタデシルアミン、ヘキサデシルアミン、ヘプタデシルアミン、オクタデシルアミン等の飽和脂肪族炭化水素モノアミン(すなわち、アルキルモノアミン)が挙げられる。飽和脂肪族炭化水素モノアミンとして、上記の直鎖脂肪族モノアミンの他に、イソヘキシルアミン、2−エチルヘキシルアミン、tert−オクチルアミン等の分枝脂肪族炭化水素アミンが挙げられる。また、シクロヘキシルアミンも挙げられる。さらに、オレイルアミン等の不飽和脂肪族炭化水素モノアミン(すなわち、アルケニルモノアミン)が挙げられる。
第二級アミンとしては、N,N−ジプロピルアミン、N,N−ジブチルアミン、N,N−ジペンチルアミン、N,N−ジヘキシルアミン、N,N−ジペプチルアミン、N,N−ジオクチルアミン、N,N−ジノニルアミン、N,N−ジデシルアミン、N,N−ジウンデシルアミン、N,N−ジドデシルアミン、N−メチル−N−プロピルアミン、N−エチル−N−プロピルアミン、N−プロピル−N−ブチルアミン等のジアルキルモノアミンが挙げられる。第三級アミンとしては、トリブチルアミン、トリヘキシルアミン等が挙げられる。
これらの内でも、炭素数6以上の飽和脂肪族炭化水素モノアミンが好ましい。炭素数6以上とする事により、アミノ基が銀粒子表面に吸着した際に他の銀粒子との間隔を確保できるため、銀粒子同士の凝集を防ぐ作用が向上する。炭素数の上限は特に定められないが、入手のし易さ、焼結時の除去のし易さ等を考慮して、通常、炭素数18までの飽和脂肪族モノアミンが好ましい。特に、ヘキシルアミン、ヘプチルアミン、オクチルアミン、ノニルアミン、デシルアミン、ウンデシルアミン、ドデシルアミン等の炭素数6〜12のアルキルモノアミンが好ましく用いられる。前記モノアミン(A1)は、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記モノアミン(A1)は、前記モノアミン(A1)、前記モノアミン(A2)及び前記ジアミン(A3)の合計を基準として、10モル%〜65モル%含まれる事が好ましい。
前記モノアミン(A2)は、炭素数5以下の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミンである。前記モノアミン(A1)に比べると炭素鎖長が短いのでそれ自体は保護剤(安定化剤)としての機能は低いと考えられるが、前記モノアミン(A1)に比べると極性が高いため、銀化合物(B)の銀への配位能が高く、錯体形成促進に効果があると考えられる。また、炭素鎖長が短いため、例えば120℃以下の、あるいは100℃程度以下の低温における焼結の際でも、30分間以下、あるいは20分間以下の短時間で銀粒子表面から除去され得るので、得られた銀ナノ粒子の低温焼結に効果がある。
前記モノアミン(A2)としては、例えば、エチルアミン、n−プロピルアミン、イソプロピルアミン、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、 sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、ペンチルアミン、イソペンチルアミン、tert−ペンチルアミン等の炭素数2〜5の飽和脂肪族炭化水素モノアミン(すなわち、アルキルモノアミン)が挙げられる。また、N,N−ジメチルアミン、N,N−ジエチルアミン等のジアルキルモノアミンが挙げられる。
これらの内でも、n−ブチルアミン、イソブチルアミン、sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、ペンチルアミン、イソペンチルアミン、tert−ペンチルアミン等が好ましく、上記ブチルアミン類が特に好ましい。前記モノアミン(A2)は、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記モノアミン(A2)は、前記モノアミン(A1)、前記モノアミン(A2)及び前記ジアミン(A3)の合計を基準として、5モル%〜50モル%含まれる事が好ましい。
前記ジアミン(A3)は、銀化合物(B)の銀への配位能が高く、錯体形成促進に効果がある。脂肪族炭化水素ジアミンは、一般に、脂肪族炭化水素モノアミンと比べて極性が高く、銀化合物の銀への配位能が高くなる。また、前記ジアミン(A3)は、錯化合物の熱分解工程において、より低温且つ短時間での熱分解を促進する効果があり、銀ナノ粒子製造をより効率的に行うことができる。さらに、前記ジアミン(A3)を含む銀粒子の保護被膜は極性が高いので、極性の高い溶剤を含む分散媒体中での銀粒子の分散安定性が向上する。さらに、前記ジアミン(A3)は、炭素鎖長が短いため、例えば120℃以下の、あるいは100℃程度以下の低温での焼結においても、30分間以下、あるいは20分間以下の短い時間で銀粒子表面から除去され得るので、得られた銀ナノ粒子の低温且つ短時間での焼結に効果がある。
前記ジアミン(A3)としては、好ましくは、炭素数2以上8以下のアルキルジアミンが挙げられる。前記ジアミン(A3)としては、例えば、エチレンジアミン、N,N−ジメチルエチレンジアミン、N,N’−ジメチルエチレンジアミン、N,N−ジエチルエチレンジアミン、N,N’−ジエチルエチレンジアミン、1,3−プロパンジアミン、2,2−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N’−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、N,N’−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、1,4−ブタンジアミン、N,N−ジメチル−1,4−ブタンジアミン、N,N’−ジメチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジエチル−1,4−ブタンジアミン、N,N’−ジエチル−1,4−ブタンジアミン、1,5−ペンタンジアミン、1,5−ジアミノ−2−メチルペンタン、1,6−ヘキサンジアミン、N,N−ジメチル−1,6−ヘキサンジアミン、N,N’−ジメチル−1,6−ヘキサンジアミン、1,7−ヘプタンジアミン、1,8−オクタンジアミン等が挙げられる。これらはいずれも、2つのアミノ基のうちの少なくとも1つが第一級アミノ基又は第二級アミノ基である炭素総数8以下のアルキレンジアミンであり、銀化合物の銀への配位能が高く、錯体形成促進に効果がある。
これらの内でも、N,N−ジメチルエチレンジアミン、N,N−ジエチルエチレンジアミン、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジエチル−1,3−プロパンジアミン、N,N−ジメチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジエチル−1,4−ブタンジアミン、N,N−ジメチル−1,6−ヘキサンジアミン等の2つのアミノ基のうちの1つが第一級アミノ基(−NH2 )であり、他の1つが第三級アミノ基(−NR1R2 )である炭素総数8以下のアルキレンジアミンが好ましい。好ましいアルキレンジアミンは、下記構造式で表される。
12 N−R−NH2
ここで、Rは、2価のアルキレン基を表し、R1 及びR2 は、同一又は異なっていてもよく、アルキル基を表し、ただし、R、R1 及びR2 の炭素数の総和は8以下である。該アルキレン基は、酸素原子又は窒素原子等のヘテロ原子を含まない。また、該アルキル基は、酸素原子又は窒素原子等のヘテロ原子を含まない。
これらの内でも、低温焼結においても短時間で銀粒子表面から除去され得るという観点から、炭素総数6以下のジアミンが好ましく、炭素総数5以下のジアミンがより好ましい。前記ジアミン(A3)は、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
前記ジアミン(A3)は、前記モノアミン(A1)、前記モノアミン(A2)及び前記ジアミン(A3)の合計を基準として、15モル%〜50モル%含まれる事が好ましい。
本発明において、前記モノアミン(A1)、前記モノアミン(A2)及び前記ジアミン(A3)の合計量としては、特に限定されないが、原料の前記銀化合物(B)の銀原子1モルに対して、それらアミン成分の合計量[(A1)+(A2)+(A3)]として1〜20モル程度が好ましい。前記アミン成分の合計量が、前記銀原子1モルに対して、1モル未満であると、アミン(A)と銀化合物(B)の錯化合物の生成工程において、錯化合物に変換されない銀化合物(B)が残存する可能性があり、その後の熱分解工程において、銀粒子の均一性が損なわれ、粒子の肥大化が起こったり、熱分解せずに銀化合物が残存する可能性がある。実質的に無溶剤中において銀ナノ粒子の分散液を作製するためには、前記アミン成分の合計量を例えば2モル程度以上とする事が好ましい。前記アミン成分の合計量を2モル程度以上とする事により、錯化合物の生成工程及び熱分解工程を良好に行う事ができる。前記アミン成分の合計の量の下限については、前記銀化合物(B)の銀原子1モルに対して、2モル%以上が好ましく、6モル%以上がより好ましい。
[アミンの実施態様2]
前記アミン(A)の別の実施態様としては、炭素数6以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A1)、炭素数5以下の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A2)を含むアミンの混合物であって、前記モノアミン(A1)と前記モノアミン(A2)の合計を基準として、前記モノアミン(A1)5モル%以上20モル%未満(例えば、5モル%以上19モル%以下)、及び前記モノアミン(A2)80モル%を超えて95モル%以下(例えば、81モル%以上95モル%以下)の割合で含むアミンの混合物が挙げられる。
前記モノアミン(A1)、及び前記モノアミン(A2)の使用割合は、前記モノアミン(A1)と前記モノアミン(A2)の合計を基準として、前記モノアミン(A1): 5モル%以上20モル%未満(例えば、5モル%以上19モル%以下)、及び前記モノアミン(A2):80モル%を超えて95モル%以下(例えば、81モル%以上95モル%以下)である。なお、本発明による効果を阻害しない範囲で、本発明のアミン混合液には、前記モノアミン(A1)や前記モノアミン(A2)以外のアミン等を含むことができる。
前記脂肪族モノアミン(A1)の含有量を5モル%以上20モル%未満とすることによって、該(A1)成分の炭素鎖によって、生成する銀粒子表面の保護安定化機能が得られる。前記(A1)成分の含有量が5モル%未満では、保護安定化機能の発現が弱いことがある。一方、前記(A1)成分の含有量が20モル%以上となると、保護安定化機能は十分であるが、膜厚が比較的厚い焼結膜を形成する際の低温焼結によって該(A1)成分が除去され難くなる。前記(A1)成分の含有量の下限については、10モル%以上、例えば13モル%以上が好ましい。前記(A1)成分の含有量の上限については、19モル%以下、例えば17モル%以下が好ましい。
前記モノアミン(A2)の含有量を80モル%を超えて95モル%以下とすることによって、錯体形成促進効果が得られやすく、また、それ自体で低温且つ短時間焼結に寄与できる。前記(A2)成分の含有量が80モル%以下では、錯体形成促進効果が弱かったり、あるいは、膜厚が比較的厚い焼結膜を形成する際の焼結時において前記(A1)成分が銀粒子表面から除去されにくいことがある。一方、前記(A2)成分の含有量が95モル%を超えると、錯体形成促進効果は得られるが、相対的に前記モノアミン(A1)の含有量が少なくなってしまい、生成する銀粒子表面の保護安定化が得られ難い。前記(A2)成分の含有量の下限については、81モル%以上、例えば83モル%以上が好ましい。前記(A2)成分の含有量の上限については、90モル%以下、例えば87モル%以下が好ましい。
本発明においては、銀化合物(B)の銀への配位能が高い前記モノアミン(A2)を前記の割合で用いるので、前記モノアミン(A1)の銀粒子表面上への付着量は少なくて済む。従って、前記低温短時間での焼結の場合にも、これらアミン類は銀粒子表面から除去されやすく、銀粒子の焼結が十分に進行する。
本発明において、前記モノアミン(A1)と前記モノアミン(A2)の合計量としては、特に限定されないが、前記銀化合物(B)の銀原子1モルに対して、前記アミン[(A1)+(A2)]の量を1〜72モル程度とすると良い。前記アミン[(A1)+(A2)]の量が、前記銀原子1モルに対して、1モル未満であると、錯化合物の生成工程において、錯化合物に変換されない銀化合物が残存する可能性があり、その後の熱分解工程において、銀粒子の均一性が損なわれ粒子の肥大化が起こったり、熱分解せずに銀化合物が残存する可能性がある。一方、前記アミン[(A1)+(A2)]の量が、前記銀原子1モルに対して、72モル程度を超えてもあまりメリットはないと考えられる。実質的に無溶剤中において銀ナノ粒子の分散液を作製するためには、前記アミン[(A1)+(A2)]を例えば2モル程度以上とするとよい。前記全アミンの量を2〜72モル程度とすることにより、錯化合物の生成工程及び熱分解工程を良好に行うことができる。前記アミン[(A1)+(A2)]の量の下限については、前記銀化合物の銀原子1モルに対して、2モル%以上が好ましく、6モル%以上がより好ましく、10モル%以上がさらに好ましい。
本発明において、前記アミン混合液は、更に、前記ジアミン(A3)を含んでも良い。
[アミンの実施態様3]
前記アミン(A)の別の実施態様としては、炭素数4以上の分岐脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる分岐脂肪族炭化水素モノアミン(A4)を含むアミンの混合物が挙げられる。分枝脂肪族炭化水素アミン化合物を用いると、同じ炭素数の直鎖脂肪族炭化水素アミン化合物を用いた場合と比べ、分枝脂肪族炭化水素基の立体的因子により銀粒子表面上へのより少ない付着量で銀粒子表面のより大きな面積を被覆することができる。そのため、銀粒子表面上へのより少ない付着量で、銀ナノ粒子の適度な安定化が得られる。焼結時において除去すべき保護剤(有機安定剤)の量が少ないので、200℃以下の低温での焼結の場合にも、有機安定剤を効率よく除去でき、銀粒子の焼結が十分に進行する。
前記モノアミン(A4)における分枝脂肪族炭化水素基の炭素数は、4以上であり、例えば4〜16である。分枝脂肪族炭化水素基の立体的因子を得るためには、炭素数4以上が必要である。分枝脂肪族炭化水素モノアミン化合物としては、例えば、イソブチルアミン、 sec−ブチルアミン、tert−ブチルアミン、イソペンチルアミン、tert−ペンチルアミン、イソヘキシルアミン、2−エチルヘキシルアミン、tert−オクチルアミン等の炭素数4〜16、好ましくは炭素数4〜8の第一級アミンが挙げられる。
また、N,N−イソブチルアミン、N,N−イソペンチルアミン、N,N−イソヘキシルアミン、N,N−(2−エチルヘキシル)アミン等の第二級アミンが挙げられる。また、トリイソブチルアミン、トリイソペンチルアミン、トリイソヘキシルアミン、トリ(2−エチルヘキシル)アミン等の第三級アミンが挙げられる。N,N−(2−エチルヘキシル)アミンの場合、2−エチルヘキシル基の炭素数は8であるが、前記モノアミン(A4)に含まれる炭素の総数は16となる。トリ(2−エチルヘキシル)アミンの場合、前記モノアミン(A4)に含まれる炭素の総数は24となる。
これらの分枝脂肪族炭化水素モノアミンの内でも、イソペンチルアミン、イソヘキシルアミン、2−エチルヘキシルアミン等の主鎖の炭素数4〜6の分枝アルキルモノアミン化合物が好ましい。主鎖の炭素数4〜6であると、銀ナノ粒子の適度な安定化が得られ易い。また、分枝脂肪族基の立体的因子の観点からは、N原子側から2番目の炭素原子において枝分かれしていることが有効である。前記モノアミン(A4)は、1種のみを用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明において、錯形成剤及び/又は保護剤として機能する脂肪族炭化水素アミン化合物として、前記モノアミン(A4)の他に、更に、前記モノアミン(A1)、前記モノアミン(A2)、及び前記ジアミン(A3)から選ばれる脂肪族炭化水素アミン化合物をそれぞれ別個独立に用いることができる。前記モノアミン(A2)、及び前記ジアミン(A3)は、錯体形成促進に効果がある。
[銀化合物]
前記銀化合物(B)としては、加熱により容易に分解して、金属銀を生成する銀化合物を用いる。このような銀化合物としては、ギ酸銀、酢酸銀、シュウ酸銀、マロン酸銀、安息香酸銀、フタル酸銀などのカルボン酸銀;フッ化銀、塩化銀、臭化銀、ヨウ化銀などのハロゲン化銀;硫酸塩、硝酸銀、炭酸銀等を用いる事ができるが、分解により容易に金属銀を生成し且つ銀以外の不純物を生じ難いという観点から、シュウ酸銀が好ましく用いられる。シュウ酸銀は、銀含有率が高く、且つ、還元剤を必要とせず熱分解により金属銀がそのまま得られ、還元剤に由来する不純物が残留し難い点で有利である。
銀以外の他の金属を含む金属ナノ粒子を製造する場合には、上記の銀化合物に代えて、加熱により容易に分解して、目的とする金属を生成する金属化合物を用いる。このような金属化合物としては、上記の銀化合物に対応するような金属の塩、例えば、金属のカルボン酸塩;金属ハロゲン化物;金属硫酸塩、金属硝酸塩、金属炭酸塩等の金属塩化合物を用いる事ができる。これらのうち、分解により容易に金属を生成し且つ金属以外の不純物を生じにくいという観点から、金属のシュウ酸塩が好ましく用いられる。他の金属としては、Al、Au、Pt、Pd、Cu、Co、Cr、In、及びNi等が挙げられる。
また、銀との複合物を得るために、上記の銀化合物と、上記の銀以外の他の金属化合物を併用してもよい。他の金属としては、Al、Au、Pt、Pd、Cu、Co、Cr、In、及びNi等が挙げられる。銀複合物は、銀と1又は2以上の他の金属からなるものであり、Au−Ag、Ag−Cu、Au−Ag−Cu、Au−Ag−Pd等が例示される。金属全体を基準として、銀が少なくとも20重量%、通常は50重量%、例えば80重量%を占める。
[脂肪族カルボン酸]
本発明において、銀ナノ粒子の分散媒への分散性をさらに向上させるため、安定剤として、さらに脂肪族カルボン酸(C)を用いてもよい。前記脂肪族カルボン酸(C)は、前記アミン混合液中に含ませて用いる事ができる。前記脂肪族カルボン酸(C)を用いる事により、銀ナノ粒子の安定性、特に有機溶剤中に分散された塗料状態での安定性が向上する事がある。
前記脂肪族カルボン酸(C)としては、飽和又は不飽和の脂肪族カルボン酸が用いられる。例えば、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、ヘプタン酸、オクタン酸、ノナン酸、デカン酸、ウンデカン酸、ドデカン酸、トリデカン酸、テトラデカン酸、ペンタデカン酸、ヘキサデカン酸、ヘプタデカン酸、オクタデカン酸、ノナデカン酸、イコサン酸、エイコセン酸等の炭素数4以上の飽和脂肪族モノカルボン酸; オレイン酸、エライジン酸、リノール酸、パルミトレイン酸等の炭素数8以上の不飽和脂肪族モノカルボン酸が挙げられる。
これらの内でも、炭素数8〜18の飽和又は不飽和の脂肪族モノカルボンが好ましい。炭素数8以上とする事により、カルボン酸基が銀粒子表面に吸着した際に他の銀粒子との間隔を確保できるため、銀粒子同士の凝集を防ぐ作用が向上する。入手のし易さ、焼結時の除去のし易さ等を考慮して、通常、炭素数18までの飽和又は不飽和の脂肪族モノカルボン酸化合物が好ましい。特に、オクタン酸、オレイン酸等が好ましく用いられる。前記脂肪族カルボン酸(C)は、1種のみを用いても良く、2種以上を組み合わせて用いても良い。
前記脂肪族カルボン酸(C)の量は、原料の前記銀化合物(B)の銀原子1モルに対して、例えば0.05〜10モルが好ましく、0.1〜5モルがより好ましく、0.5〜2モルが更に好ましい。前記(C)成分の量が、前記銀原子1モルに対して、0.05モルよりも少ないと、前記(C)成分の添加による分散状態での安定性向上効果は弱い。一方、前記(C)成分の量が10モルに達すると、分散状態での安定性向上効果が飽和するし、また、低温焼結での前記(C)成分の除去がされ難くなる。
[発光装置の実施態様1]
発光装置の実施態様を図1に例示する。まず、図1(a)に示す通り、略平坦に形成された絶縁基板4の上面に、銀ナノ粒子を含む組成物3を所定位置に塗布する。前記組成物3は、光沢面を有する回路パターン2を形成するために使用する。前記組成物3の塗布量は、特に限定されないが、0.002〜0.02g/cm2が好ましい。なお、前記組成物3の塗布方法は、特に限定されないが、スピンコート、インクジェット印刷、スクリーン印刷、ディスペンサ印刷、凸版印刷(フレキソ印刷)、昇華型印刷、オフセット印刷、レーザープリンタ印刷(トナー印刷)、凹版印刷(グラビア印刷)、コンタクト印刷、マイクロコンタクト印刷等が挙げられる。
次に、図1(b)に示す通り、前記組成物3を塗布した絶縁基板4を加熱炉等で加熱し、前記組成物3に含まれる銀ナノ粒子を焼結させる。加熱条件は前記組成物3の組成や塗布量によって適宜調整する事ができ、例えば、200℃未満(例えば150℃以下、好ましくは120℃以下、より好ましくは100℃以下、更に好ましくは80℃以下)且つ2時間以下(例えば1時間以下、好ましくは30分間以下、より好ましくは15分間以下、更に好ましくは10分間以下)に調整する事ができる。これにより、前記組成物3は、表面が緻密な光沢面であり、導電性を有する回路パターン2として形成される。ここで、光沢面における光反射率は、10〜100%である事が好ましい。また、光沢面における光反射率が、50〜100%である場合、光沢面を特に「鏡面」と呼ぶ。
次に、図1(c)に示す通り、回路パターン2を形成した絶縁基板4の上の所定位置に、光半導体素子1を、導電性ペースト5を介して搭載する。これにより、光半導体素子1は回路パターン2と電気的及び熱的に接続される。次に、図1(d)に示す通り、光半導体素子1と他の回路パターン2とを金ワイヤ等のボンディングワイヤ6で電気的に接続する。ここで、導電性ペースト5としては、エポキシ樹脂等の樹脂バインダに銅粉末等の金属粉末を配合したもの等、公知のものを用いる事ができる。
次に、図1(e)に示す通り、回路パターン2を覆うようにして保護材料7を形成する。これにより、本発明の発光装置が完成する。ここで、保護材料7は、光半導体素子1や回路パターン2の光沢面を、空気中の塵、水分、腐食性ガスから保護する機能を有する。保護材料7としては、特に限定されないが、例えば、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、カーボネート系樹脂、ノルボルネン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリアミド樹脂等の透明な樹脂材料を用いて形成する事ができる。保護材料7としては、樹脂材料の他、ガラスや無機めっき等、任意の透明な材料を用いる事ができる。また、保護材料7はレンズ状に形成しても良く、その場合、光半導体素子1からの発光や、回路パターン2の光沢面により反射された発光を、保護材料7にて収束したり発散したりする事ができる。
[発光装置の実施態様2]
発光装置の別の実施態様を図2に例示する。まず、図2(a)に示す通り、略平坦に形成された絶縁基板4の上面に、前記組成物3を所定位置に塗布する。前記組成物3の塗布量や塗布方法は、実施態様1と同様である。
次に、図2(b)に示す通り、前記組成物3を塗布した絶縁基板4の上の所定位置に、光半導体素子1を搭載する。次に、図2(c)に示す通り、前記組成物3の塗布及び光半導体素子1の搭載がなされた絶縁基板4を加熱炉等で加熱し、前記組成物3に含まれる銀ナノ粒子を焼結させる。加熱条件は実施態様1と同様である。これにより、前記組成物3は、表面が緻密な光沢面であり、導電性を有する回路パターン2として形成される。併せて、光半導体素子1は回路パターン2と電気的及び熱的に接続される。この場合、実施態様1とは異なり、導電性ペースト5を用いなくとも、光半導体素子1と回路パターン2とが一体化されるため、効率の良い製造方法と言える。
次に、図2(d)に示す通り、光半導体素子1と他の回路パターン2とを金ワイヤ等のボンディングワイヤ6で電気的に接続する。次に、図2(e)に示す通り、回路パターン2を覆うようにして、実施態様1と同様に保護材料7を形成する。
[発光装置の実施態様3]
発光装置の別の実施態様を図3に例示する。まず、図3(a)に示す通り、光半導体素子1を搭載するための凹部を設けた絶縁基板4を準備する。前記凹部の形状は、特に限定されず、すり鉢状、半球状、逆台形状等が挙げられる。前記凹部の形成方法は、特に限定されないが、平板状の絶縁基板4を切削加工しても良いし、絶縁基板4を成形する際に凹部を形成しても良い。また、絶縁基板4が表面を絶縁処理した金属板の場合は、平板状の金属を切削加工等により凹部を形成した後に表面を絶縁処理しても良いし、絶縁基板4を金属鋳造等により成形する際に凹部を形成した後に表面を絶縁処理しても良い。
次に、図3(b)に示す通り、前記組成物3を所定位置に塗布する。前記組成物3は、凹部の底面だけでなく、側面から凹部の開口周辺に至るまで塗布しても良い。その結果、複雑な形状を有する絶縁基板4に対しても、任意の箇所に回路パターン2を形成する事ができるため、高密度の回路パターン2の形成が容易である。
次に、図3(c)に示す通り、前記組成物3を塗布した絶縁基板4の上の所定位置に、光半導体素子1を搭載する。この実施態様3においては、光半導体素子1として下面にバンプを有するものを使用しており、このバンプを前記組成物3に接触させるようにして搭載する事により、光半導体素子1をフリップチップ実装する。次に、図3(d)に示す通り、前記組成物3の塗布及び光半導体素子1の搭載がなされた絶縁基板4を加熱炉等で加熱し、前記組成物3に含まれる銀ナノ粒子を焼結させる。加熱条件は実施態様1と同様である。これにより、前記組成物3は、表面が緻密な光沢面であり、導電性を有する回路パターン2として形成される。併せて、光半導体素子1は回路パターン2と電気的及び熱的に接続される。
次に、図3(e)に示す通り、回路パターン2を覆うようにして、実施態様1と同様に保護材料7を形成する。この場合、実施態様1や実施態様1とは異なり、光半導体素子1と他の回路パターン2とを金ワイヤ等のボンディングワイヤ6で電気的に接続する必要がないため、効率の良い製造方法と言える。
なお、発光装置の実施態様1〜3のいずれにおいても、前記組成物3に含まれる銀ナノ粒子が緻密であり且つ分散性や均一性が高い事から、前記組成物3の表面に特許文献2に示すような成形型を押し当てて密着させるような操作を行わなくとも、回路パターン2の表面を鏡面に仕上げる事が可能である。これにより、光半導体素子からの発光を簡便且つ効率的に高める事ができる。得られた回路パターン2の表面粗さRaは、前述の光沢面における光反射率を満たす限り、特に限定されないが、1μm以下である事が好ましく、0.1μm以下である事が更に好ましい。
また、発光装置の実施態様1〜3のいずれにおいても、前記組成物3に含まれる銀ナノ粒子を低温且つ短時間に焼結させる事ができるため、光半導体素子1に熱的なダメージを与える事なく、発光装置を簡便且つ安定的に得る事ができる。
更に、発光装置の実施態様1〜3のいずれにおいても、前記組成物3に含まれる銀ナノ粒子は、保存安定性や分散性に優れ、且つ、例えば1μm以上の比較的厚膜の銀焼結膜を低温且つ短時間で焼結して形成した場合であっても、良好な導電性や熱伝導性を付与する事ができる事から、生産安定性や生産効率に優れ、且つ、エネルギー効率や耐久性に優れた発光装置を簡便に得る事ができる。
以下に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
[銀焼結膜の比抵抗値]
得られた銀焼結膜について、4端子法(ロレスタGP MCP−T610)を用いて測定した。この装置の測定範囲限界は、107 Ωcmである。
以下の試薬を各実施例及び比較例で用いた。
N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン(MW:102.18):東京化成社製
2−エチルヘキシルアミン(MW:129.25):和光純薬社製試薬
n−ブチルアミン(MW:73.14):東京化成社製試薬
n−ヘキシルアミン(MW:101.19):東京化成社製試薬
n−オクチルアミン(MW:129.25):東京化成社製試薬
オレイン酸(MW:282.47):東京化成社製試薬
メタノール:和光純薬社製試薬特級
1−ブタノール:東京化成社製試薬
オクタン:和光純薬社製試薬特級
ジヒドロキシターピネオール:日本テルペン株式会社製
シュウ酸銀(MW:303.78):硝酸銀(和光純薬社製)とシュウ酸二水和物(和光
純薬社製)とから合成したもの
[実施例1]
(銀ナノ粒子の調製)
50mLフラスコに、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン1.28g(12.5mmol)、n−ブチルアミン0.91g(12.5mmol)、ヘキシルアミン3.24g(32.0mmol)、オクチルアミン0.39g(3.0mmol)、及びオレイン酸0.09g(0.33mmol)を加えて室温で攪拌し、均一な混合溶液を調製した。
調製した混合溶液にシュウ酸銀3.04g(10mmol)を加え、室温で攪拌して、粘性のある白色の物質への変化が、外見的に終了したと認められる時点で攪拌を終了した。
次に、得られた反応混合物を105℃〜110℃に加熱攪拌した。攪拌の開始後すぐに二酸化炭素の発生を伴う反応が開始し、その後、二酸化炭素の発生が完了するまで攪拌を続けたところ、青色光沢を呈する銀ナノ粒子が懸濁した懸濁液を得た。
次に、得られた懸濁液にメタノール10mLを加えて攪拌し、その後、遠心分離により銀ナノ粒子を沈降させ、上澄み液を除去した。銀ナノ粒子に対して、再度、メタノール10mLを加えて攪拌し、その後、遠心分離により銀ナノ粒子を沈降させ、上澄み液を除去した。このようにして、湿った状態の銀ナノ粒子を得た。
(銀ナノ塗料の調製と焼結)
次に、湿った銀ナノ粒子に、1−ブタノール/オクタン混合溶剤(体積比=1/4)を銀濃度50wt%となるように加えて攪拌し、銀ナノ粒子分散液を調製した。この銀ナノ粒子分散液を、焼結後の膜厚が1μm程度になるようにスピンコート法により無アルカリガラス板上に塗布し、塗膜を形成した。
塗膜の形成後、速やかに120℃にて15分間の条件で、送風乾燥炉にて焼結し、約1μmの厚みの銀焼結膜を形成した。得られた銀焼結膜の比抵抗値を4端子法により測定したところ、8.4μΩcmであった。
また、上記銀ナノ粒子分散液について、次のように[1] 初期分散性評価、[2] 保存安定
性評価を行った。
[1] 調製直後の上記銀ナノ粒子分散液を0.2μmフィルターにてろ過したところ、フィルター目詰まりを起こさなかった。つまり、上記銀ナノ粒子分散液は良好な分散状態を保っていた。
[2] 調製直後の上記銀ナノ粒子分散液を透明ガラス製サンプル瓶中に入れ密閉し、これを暗所において25℃にて7日間保存したところ、銀鏡は認められなかった。保存後の銀ナノ粒子分散液を0.2μmフィルターにてろ過したところ、フィルター目詰まりを起こさなかった。つまり、保存後の銀ナノ粒子分散液は良好な分散状態を保っていた。
(シュウ酸銀−アミン錯体について)
上記銀ナノ粒子の調製中に得られた粘性のある白色物質について、DSC(示差走査熱量計)測定を行ったところ、熱分解による発熱開始平均温度値は102.5℃であった。一方、原料のシュウ酸銀について、同様に、DSC測定を行ったところ、熱分解による発熱開始平均温度値は218℃であった。このように、上記銀ナノ粒子の調製中に得られた粘性のある白色物質は、原料のシュウ酸銀に比べて、熱分解温度が低下していた。このことから、上記銀ナノ粒子の調製中に得られた粘性のある白色物質は、シュウ酸銀とアルキルアミンとが結合してなるものであることが示され、シュウ酸銀の銀原子に対してアルキルアミンのアミノ基が配位結合しているシュウ酸銀−アミン錯体であると推察された。
DSC測定条件は以下のとおりであった。
装置:DSC 6220−ASD2(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製)
試料容器:15μL 金メッキ密封セル(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製)
昇温速度:10℃/min (室温〜600℃)
雰囲気ガス:セル内 大気圧 空気封じ込み
セル外 窒素気流(50mL/min)
また、上記銀ナノ粒子の調製中に得られた粘性のある白色物質について、IRスペクトル測定を行ったところ、アルキルアミンのアルキル基に由来する吸収(2900cm-1付近、1000cm-1付近)が観察された。このことからも、上記銀ナノ粒子の調製中に得られた粘性のある白色物質は、シュウ酸銀とアルキルアミンとが結合してなるものであることが示され、シュウ酸銀の銀原子に対してアミノ基が配位結合しているシュウ酸銀−アミン錯体であると推察された。
[実施例2]
銀ナノ粒子の調製において、アミン−カルボン酸混合溶液の組成を、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン1.28g(12.5mmol)、n−ブチルアミン0.91g(12.5mmol)、ヘキシルアミン3.24g(32.0mmol)、オクチルアミン0.39g(3.0mmol)、及びオレイン酸0.13g(0.45mmol)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銀ナノ粒子分散液を調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
得られた銀焼結膜の膜厚は約1μmであり、比抵抗値は11.3μΩcmであった。
[実施例3]
銀ナノ粒子の調製において、アミン−カルボン酸混合溶液の組成を、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン1.53g(15.0mmol)、n−ブチルアミン0.73g(10.0mmol)、ヘキシルアミン3.24g(32.0mmol)、オクチルアミン0.39g(3.0mmol)、及びオレイン酸0.13g(0.45mmol)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銀ナノ粒子分散液を調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
得られた銀焼結膜の膜厚は約1μmであり、比抵抗値は14.2μΩcmであった。
[実施例4]
銀ナノ粒子の調製において、アミン−カルボン酸混合溶液の組成を、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン1.02g(10mmol)、n−ブチルアミン1.10g(15.0mmol)、ヘキシルアミン3.24g(32.0mmol)、オクチルアミン0.39g(3.0mmol)、及びオレイン酸0.13g(0.45mmol)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銀ナノ粒子分散液を調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
得られた銀焼結膜の膜厚は約1μmであり、比抵抗値は14.5μΩcmであった。
[実施例5]
(銀ナノ粒子の調製)
50mLフラスコに、n−ブチルアミン10.84g(150mmol)、及びn−ヘキシルアミン3.00g(30mmol)を加えて室温で攪拌し、均一な混合溶液を調製した。
調製した混合溶液にシュウ酸銀3.04g(10mmol)を加え、室温で攪拌して、粘性のある白色の物質への変化が、外見的に終了したと認められる時点で攪拌を終了した。
次に、得られた反応混合物を85℃〜90℃に加熱攪拌した。加熱攪拌を開始したところ、徐々に茶色へと変色し、2時間加熱攪拌することで、銀ナノ粒子が懸濁した懸濁液を得た。
次に、得られた懸濁液にメタノール10mLを加えて攪拌し、その後、遠心分離により銀ナノ粒子を沈降させ、上澄み液を除去した。銀ナノ粒子に対して、再度、メタノール10mLを加えて攪拌し、その後、遠心分離により銀ナノ粒子を沈降させ、上澄み液を除去した。このようにして、湿った状態の銀ナノ粒子を得た。
(銀ナノ塗料の調製と焼結)
次に、湿った銀ナノ粒子に、ジヒドロキシターピネオールを銀濃度70wt%となるように加えて攪拌し、銀ナノ粒子含有ペーストを調製した。この銀ナノ粒子含有ペーストをアプリケーターにより無アルカリガラス板上に塗布し、塗膜を形成した。
塗膜を次に示す各条件で、送風乾燥炉にて焼結し、各厚みの銀焼結膜を形成した。得られた銀焼結膜の比抵抗値を4端子法により測定した。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.77μm
焼結膜の比抵抗値:1.70E−05Ωcm(すなわち、17μΩcm)
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:4.96μm
焼結膜の比抵抗値:1.00E−05Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:5.42μm
焼結膜の比抵抗値:6.03E−06Ωcm
[実施例6]
アミン混合溶液の組成において、n−ヘキシルアミン3.00g(30mmol)をn−オクチルアミン3.88g(30mmol)に変更した以外は、実施例5と同様にして、銀ナノ粒子含有ペーストを調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.38μm
焼結膜の比抵抗値:6.23E−05Ωcm
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:4.70μm
焼結膜の比抵抗値:2.21E−05Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:4.73μm
焼結膜の比抵抗値:8.34E−06Ωcm
[実施例7]
(銀ナノ粒子の調製)
50mLフラスコに、n−ブチルアミン10.84g(150mmol)、及びn−ヘキシルアミン3.00g(30mmol)を加えて室温で攪拌し、均一な混合溶液を調製した。
調製した混合溶液にシュウ酸銀3.04g(10mmol)を加え、室温で攪拌して、粘性のある白色の物質への変化が、外見的に終了したと認められる時点で攪拌を終了した。
次に、得られた反応混合物を85℃〜90℃に加熱攪拌した。加熱攪拌を開始したところ、徐々に茶色へと変色し、2時間加熱攪拌することで、銀ナノ粒子が懸濁した懸濁液を得た。
次に、得られた懸濁液にメタノール10mLを加えて攪拌し、その後、遠心分離により銀ナノ粒子を沈降させ、上澄み液を除去した。銀ナノ粒子に対して、再度、メタノール10mLを加えて攪拌し、その後、遠心分離により銀ナノ粒子を沈降させ、上澄み液を除去した。このようにして、湿った状態の銀ナノ粒子を得た。
(銀ナノ塗料の調製と焼結)
次に、湿った銀ナノ粒子に、ジヒドロキシターピネオールを銀濃度70wt%となるように加えて攪拌し、銀ナノ粒子含有ペーストを調製した。この銀ナノ粒子含有ペーストをアプリケーターにより無アルカリガラス板上に塗布し、塗膜を形成した。
塗膜を次に示す各条件で、送風乾燥炉にて焼結し、各厚みの銀焼結膜を形成した。得られた銀焼結膜の比抵抗値を4端子法により測定した。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.77μm
焼結膜の比抵抗値:1.70E−05Ωcm(すなわち、17μΩcm)
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:4.96μm
焼結膜の比抵抗値:1.00E−05Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:5.42μm
焼結膜の比抵抗値:6.03E−06Ωcm
[実施例8]
アミン混合溶液の組成において、n−ヘキシルアミン3.00g(30mmol)をn−オクチルアミン3.88g(30mmol)に変更した以外は、実施例7と同様にして、銀ナノ粒子含有ペーストを調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.38μm
焼結膜の比抵抗値:6.23E−05Ωcm
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:4.70μm
焼結膜の比抵抗値:2.21E−05Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:4.73μm
焼結膜の比抵抗値:8.34E−06Ωcm
[比較例1]
銀ナノ粒子の調製において、アミン−カルボン酸混合溶液の組成を、N,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン2.55g(25.0mmol)、ヘキシルアミン3.24g(32.0mmol)、オクチルアミン0.39g(3.0mmol)、及びオレイン酸0.13g(0.45mmol)に変更した以外は、実施例1と同様にして、銀ナノ粒子分散液を調製した。そして、焼結後の膜厚がそれぞれ0.35μm、0.65μm、1μm程度となるように、塗膜の形成、焼結を行った。
得られた銀焼結膜の膜厚は約1μmであり、比抵抗値は2.0E+08μΩcm程度であった。
[比較例2]
アミン混合溶液の組成において、n−ブチルアミン10.84g(150mmol)及
びn−ヘキシルアミン3.00g(30mmol)を、n−ブチルアミン8.67g(1
20mmol)及びn−ヘキシルアミン6.00g(60mmol)にそれぞれ変更した
以外は、実施例5と同様にして、銀ナノ粒子含有ペーストを調製し、塗膜の形成、焼結を
行った。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.14μm
焼結膜の比抵抗値:3.21E−05Ωcm
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:5.11μm
焼結膜の比抵抗値:1.72E−05Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:4.63μm
焼結膜の比抵抗値:7.42E−06Ωcm
[比較例3]
アミン混合溶液の組成において、n−ブチルアミン10.84g(150mmol)及びn−オクチルアミン3.88g(30mmol)を、n−ブチルアミン8.67g(120mmol)及びn−オクチルアミン7.66g(60mmol)にそれぞれ変更した以外は、実施例6と同様にして、銀ナノ粒子含有ペーストを調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.04μm
焼結膜の比抵抗値:2.17E−02Ωcm
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:6.45μm
焼結膜の比抵抗値:2.88E−04Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:7.15μm
焼結膜の比抵抗値:1.10E−04Ωcm
[比較例4]
アミン混合溶液の組成において、n−ブチルアミン10.84g(150mmol)及びn−ヘキシルアミン3.00g(30mmol)を、n−ブチルアミン8.67g(120mmol)及びn−ヘキシルアミン6.00g(60mmol)にそれぞれ変更した以外は、実施例7と同様にして、銀ナノ粒子含有ペーストを調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.14μm
焼結膜の比抵抗値:3.21E−05Ωcm
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:5.11μm
焼結膜の比抵抗値:1.72E−05Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:4.63μm
焼結膜の比抵抗値:7.42E−06Ωcm
[比較例5]
アミン混合溶液の組成において、n−ブチルアミン10.84g(150mmol)及びn−オクチルアミン3.88g(30mmol)を、n−ブチルアミン8.67g(120mmol)及びn−オクチルアミン7.66g(60mmol)にそれぞれ変更した以外は、実施例8と同様にして、銀ナノ粒子含有ペーストを調製し、塗膜の形成、焼結を行った。
[1] 焼結条件:80℃、30分間
焼結後膜厚:6.04μm
焼結膜の比抵抗値:2.17E−02Ωcm
[2] 焼結条件:80℃、60分間
焼結後膜厚:6.45μm
焼結膜の比抵抗値:2.88E−04Ωcm
[3] 焼結条件:120℃、15分間
焼結後膜厚:7.15μm
焼結膜の比抵抗値:1.10E−04Ωcm
本発明の発光装置及びその製造方法は、導電性や放熱性に優れ、発光効率の高い、発光ダイオード(LED、Light Emitting Diode)装置等の発光装置及びその製造に対して有用である。
1 光半導体素子
2 回路パターン
3 銀ナノ粒子を含む組成物
4 絶縁基板
5 導電性ペースト
6 ボンディングワイヤ
7 保護材料

Claims (10)

  1. 光半導体素子、回路パターン、及び絶縁基板を有する発光装置であって、光半導体素子と回路パターンが電気的及び/又は熱的に接続され、且つ回路パターンが絶縁基板の上に設けられ、且つ回路パターンが銀ナノ粒子を含む組成物を焼結する事により形成され、且つ銀ナノ粒子が脂肪族炭化水素基及びアミノ基を有するアミン(A)及び銀化合物(B)を含む混合物を熱分解して得られる銀ナノ粒子である発光装置。
  2. 前記アミン(A)が、炭素数6以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A1)、炭素数5以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A2)、及び、炭素数8以下の脂肪族炭化水素基と2つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素ジアミン(A3)を含むアミンである請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記アミン(A)が、炭素数6以上の脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる脂肪族炭化水素モノアミン(A1)、及び炭素総数5以下の脂肪族炭化水素モノアミン(A2)を含むアミンであって、
    前記モノアミン(A1)と前記モノアミン(A2)の合計を基準として、前記モノアミン(A1)5モル%以上20モル%未満、及び前記モノアミン(A2)80モル%を超えて95モル%以下の割合で含むアミンである請求項1に記載の発光装置。
  4. 前記アミン(A)が、炭素数4以上の分岐脂肪族炭化水素基と1つのアミノ基とからなる分枝脂肪族炭化水素モノアミン(A4)を含むアミンである請求項1に記載の発光装置。
  5. 前記銀化合物(B)が、シュウ酸銀である請求項1〜4のいずれか1項に記載の発光装置。
  6. 前記銀ナノ粒子の平均粒径が0.5nm〜100nmである請求項1〜5のいずれか1項に記載の発光装置。
  7. 光半導体素子及び回路パターンの全部又は一部が透明な保護材料で被覆されている請求項1〜6のいずれか1項に記載の発光装置。
  8. 保護材料が、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂、アクリル系樹脂、カーボネート系樹脂、ノルボルネン系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、及びポリアミド樹脂から選ばれるひとつ以上の材料からなる請求項7に記載の発光装置。
  9. 絶縁基板に銀ナノ粒子を含む組成物を塗布する工程(a)、前記組成物に含まれる銀ナノ粒子を焼結させる工程(b)、前記絶縁基板に光半導体素子を搭載する工程(c)、前記光半導体素子と回路パターンを電気的及び/又は熱的に接続する工程(d)、及び、前記回路パターンを覆うようにして保護材料を形成する工程(e)を含む請求項1〜8のいずれか1項に記載の発光装置の製造方法。
  10. 前記工程(b)及び前記工程(d)を同時に行う工程を含む請求項9に記載の発光装置の製造方法。
JP2013143479A 2013-07-09 2013-07-09 銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法 Pending JP2016157708A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013143479A JP2016157708A (ja) 2013-07-09 2013-07-09 銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法
PCT/JP2014/068271 WO2015005373A1 (ja) 2013-07-09 2014-07-09 銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法
TW103123621A TW201513137A (zh) 2013-07-09 2014-07-09 使用銀奈米粒子之發光裝置及其製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013143479A JP2016157708A (ja) 2013-07-09 2013-07-09 銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016157708A true JP2016157708A (ja) 2016-09-01

Family

ID=52280051

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013143479A Pending JP2016157708A (ja) 2013-07-09 2013-07-09 銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2016157708A (ja)
TW (1) TW201513137A (ja)
WO (1) WO2015005373A1 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3038534A1 (fr) * 2015-07-10 2017-01-13 Commissariat Energie Atomique Assemblage d'un element avec un substrat isole electriquement et a faible resistance thermique notamment pour des applications haute temperature, ensemble comprenant ledit assemblage et un drain thermique et procede de fabrication
WO2020215097A1 (en) * 2019-04-19 2020-10-22 Luxel Corporation Freestanding ultrathin film doped with nanoparticles

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4978242B2 (ja) * 2007-03-05 2012-07-18 昭栄化学工業株式会社 銀超微粒子の製造方法
WO2010073844A1 (ja) * 2008-12-26 2010-07-01 株式会社応用ナノ粒子研究所 ワイヤボンディング方法、電子部品、発光電子部品、複合発光電子部品及び発光装置
JP5574761B2 (ja) * 2009-04-17 2014-08-20 国立大学法人山形大学 被覆銀超微粒子とその製造方法
JP2011091213A (ja) * 2009-10-22 2011-05-06 Toshiba Lighting & Technology Corp 発光モジュールおよび照明装置
JP6241908B2 (ja) * 2011-02-04 2017-12-06 国立大学法人山形大学 被覆金属微粒子とその製造方法
JP5847439B2 (ja) * 2011-05-31 2016-01-20 株式会社ダイセル 銀含有ナノ粒子の製造方法及び銀含有ナノ粒子、並びに銀塗料組成物

Also Published As

Publication number Publication date
TW201513137A (zh) 2015-04-01
WO2015005373A1 (ja) 2015-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6001861B2 (ja) 銀ナノ粒子の製造方法及び銀ナノ粒子、並びに銀塗料組成物
CN104080562B (zh) 银纳米粒子的制造方法及银纳米粒子以及银涂料组合物
KR102100289B1 (ko) 은 나노 입자 함유 분산액의 제조 방법 및 은 나노 입자 함유 분산액
JP5923608B2 (ja) 銀ナノ粒子含有インクの製造方法及び銀ナノ粒子含有インク
JP5986636B2 (ja) 銀ナノ粒子の製造方法、銀塗料組成物の製造方法および銀導電材料の製造方法
TWI635918B (zh) 銀奈米粒子之製造方法及銀奈米粒子
JP6151893B2 (ja) 銀ナノ粒子の製造方法及び銀ナノ粒子
CN107250292B (zh) 银粒子涂料组合物
JP2016167471A (ja) 銀ナノ粒子を用いた半導体装置及びその製造方法
JPWO2016052033A1 (ja) 銀粒子塗料組成物
TWI744372B (zh) 接合用組成物及其製造方法、接合體以及被覆銀奈米粒子
JP6370936B2 (ja) 銀ナノ粒子の製造方法及び銀ナノ粒子
JP2016157708A (ja) 銀ナノ粒子を用いた発光装置及びその製造方法
JP6378880B2 (ja) 銀ナノ粒子の製造方法及び銀ナノ粒子