JP2016176902A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 装置内が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かを容易に判別することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。
【解決手段】 電子部品搬送装置は、湿度を表示する湿度表示部を有し、湿度表示部は、湿度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。また、湿度表示部は、湿度表示部は、前記湿度の大きさの範囲に応じた段階的な表示が可能であることが好ましい。また、電子部品検査装置は、湿度を表示する湿度表示部と、電子部品を検査する検査部とを有し、湿度表示部は、湿度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。

従来から、例えばＩＣデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られている。この電子部品検査装置は、一般的に、ＩＣデバイスを検査する検査部と、検査部までＩＣデバイスを搬送するための電子部品搬送装置とを有している。

また、電子部品検査装置を用いた検査は、ＩＣデバイスを所定温度に加熱したり冷却しながら行われることがある。ＩＣデバイスを加熱する場合、ＩＣデバイスが配置されている配置部材などを加熱することにより、ＩＣデバイスを加熱する。一方、ＩＣデバイスを冷却する場合、ＩＣデバイスが配置されている配置部材を冷却することにより、ＩＣデバイスを冷却する。また、ＩＣデバイスを冷却する場合、ＩＣデバイスに結露や結氷（着氷）が生じないよう配置部材の周囲の雰囲気の湿度（装置内の湿度）を低下させる。

このような電子部品検査装置の一例として、例えば、特許文献１には、ＩＣデバイスの電気的特性を検査する検査部を備えたＩＣハンドラーが開示されている。また、例えば、特許文献２には、ウエハに付加価値を与える基板処理装置が開示されている。

このような特許文献１および特許文献２のような従来の電子部品検査装置では、例えば、装置（電子部品検査装置）内の温度や湿度等の各種装置状況を操作画面により数値で確認することができる。

特開２００９−９７８９９号公報 特開２０１０−２７７９１号公報

しかしながら、従来の電子部品検査装置では、作業者は温度や湿度を数値で確認することができたが、装置内がＩＣデバイスに結露を生じさせる状態であるかを一目で判別することは難しかった。結露の発生は、温度および湿度に関係している。そのため、作業者は、温度および湿度を見て、温度と湿度との関係を確認することにより、装置内がＩＣデバイスに結露を生じさせる状態であるかを判別する。このため、従来の電子部品検査装置では、作業者は、温度や湿度を数値で確認しただけでは、装置内がＩＣデバイスに結露を生じさせる状態であるかを一目で判別することが難しかった。

本発明の目的は、装置内が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かを容易かつ迅速に判別することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本発明の電子部品搬送装置は、湿度を表示する湿度表示部を有し、
前記湿度表示部は、前記湿度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。

これにより、作業者は、湿度の大きさを数値とは異なる表示にて確認することができる。そのため、作業者は、装置（電子部品検査装置）内が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かを一目で容易かつ迅速に判別することができる。

［適用例２］
本発明の電子部品搬送装置では、前記湿度表示部は、前記湿度の大きさの範囲に応じた段階的な表示が可能であることが好ましい。

これにより、装置内が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かを作業者はより容易かつより迅速に判別することができる。

［適用例３］
本発明の電子部品搬送装置では、前記湿度表示部は、前記湿度の大きさの範囲に応じて色を変えることが可能であることが好ましい。

これにより、装置内が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かを作業者はさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。

［適用例４］
本発明の電子部品搬送装置では、前記湿度表示部は、前記湿度が小さい方から順に、白色と、波長域が６１０〜７５０ｎｍである色とに分けて表示することができることが好ましい。

これにより、作業者は、湿度表示部に表示された色を確認することで、装置内の状態が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かをより容易に判別することができる。例えば、白色で表示された場合は、電子部品に結露が生じ難い状態であるとし、波長域が６１０〜７５０ｎｍの色で表示された場合は、電子部品に結露が生じる可能性が高い状態であるとする。これにより、作業者は前記の判別をより容易かつより迅速に行うことができる。

［適用例５］
本発明の電子部品搬送装置では、前記湿度表示部は、前記湿度が小さい方から順に、白色と、波長域が５８０〜６１０ｎｍである色と、波長域が６１０〜７５０ｎｍである色とに分けて表示することができることが好ましい。

これにより、作業者は、湿度表示部に表示された色を確認することで、装置内の状態が電子部品に結露を生じさせる状態であるか、また、結露を生じさせる状態に近い状態であるかをより容易に判別することができる。例えば、白色で表示された場合は、電子部品に結露が生じ難い状態であるとし、波長域が５８０〜６１０ｎｍの色で表示された場合は、装置内の状態が電子部品に結露が生じる状態に近い状態であるとし、波長域が６１０〜７５０ｎｍの色で表示された場合は、電子部品に結露が生じる可能性が高い状態であるとする。これにより、作業者は前記の判別をより容易かつより迅速に行うことができる。

［適用例６］
本発明の電子部品搬送装置では、前記湿度表示部は、レベルゲージを有することが好ましい。

これにより、作業者は、湿度の大きさをレベルゲージで確認することができるため、装置内が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かの視覚的な判別をより容易かつより迅速に行うことができる。

［適用例７］
本発明の電子部品搬送装置では、前記湿度表示部は、点滅表示部を有し、
前記点滅表示部は、前記湿度の大きさに応じて点滅速度が変化することが好ましい。

これにより、作業者は、点滅表示部で点滅速度を確認することができるため、装置内が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かの視覚的な判別をより容易かつより迅速に行うことができる。

［適用例８］
本発明の電子部品搬送装置では、電子部品を検査する検査部を配置することが可能な検査部配置領域と、
前記検査部配置領域に前記電子部品を供給する搬送部を配置することが可能な電子部品供給領域と、
前記検査部配置領域から前記電子部品を回収する搬送部を配置することが可能な電子部品回収領域とを有し、
前記湿度表示部は、前記検査部配置領域、前記電子部品供給領域および前記電子部品回収領域のうち少なくとも１つの領域内の前記湿度を表示することが可能であることが好ましい。

これにより、所望の室内の状態が電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かを作業者はより容易かつより迅速に判別することができる。

［適用例９］
本発明の電子部品検査装置は、湿度を表示する湿度表示部と、
電子部品を検査する検査部とを備え、
前記湿度表示部は、前記湿度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする。

これにより、作業者は、湿度の大きさを数値とは異なる表示にて確認することができる。そのため、作業者は、表示された湿度の大きさが電子部品に結露を生じさせる状態であるか否かを一目で容易かつ迅速に判別することができる。

本発明の第１実施形態に係る電子部品検査装置を示す概略斜視図である。 図１に示す検査装置（電子部品検査装置）の概略平面図である。 図１に示す検査装置の一部を示すブロック図である。 図１に示すモニターに表示されるウインドウを示す図である。 図４に示す状態表示部を示す図である。 図４に示す状態表示部が有する酸素濃度表示部の表示を示す図である。 図４に示す状態表示部が有する湿度表示部の表示を示す図である。 本発明の第２実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部を示す図である。 本発明の第３実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部が備えるレベルゲージ部を示す図である。 図９に示すレベルゲージの表示を示す図である。

以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る電子部品検査装置を示す概略斜視図である。図２は、図１に示す検査装置（電子部品検査装置）の概略平面図である。図３は、図１に示す検査装置の一部を示すブロック図である。図４は、図１に示すモニターに表示されるウインドウを示す図である。図５は、図４に示す状態表示部を示す図である。図６は、図４に示す状態表示部が有する酸素表示部の表示を示す図である。図７は、図４に示す状態表示部が有する湿度表示部の表示を示す図である。

なお、以下では、説明の便宜上、図１に示すように、互いに直交する３軸をＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸とする。また、Ｘ軸とＹ軸を含むＸＹ平面が水平となっており、Ｚ軸が鉛直となっている。また、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ方向」とも言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ方向」とも言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ方向」とも言う。また、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸の矢印の方向をプラス側、矢印と反対の方向をマイナス側と言う。また、電子部品の搬送方向の上流側を単に「上流側」とも言い、下流側を単に「下流側」とも言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干（例えば５°未満程度）傾いた状態も含む。

図１に示す検査装置（電子部品検査装置）１は、例えば、ＢＧＡ（Ball grid array）パッケージやＬＧＡ（Land grid array）パッケージ等のＩＣデバイス、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）、ＣＩＳ（CMOS Image Sensor）等の電子部品の電気的特性を検査・試験（以下単に「検査」と言う）するための装置である。なお、以下では、説明の便宜上、検査を行う前記電子部品としてＩＣデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ＩＣデバイス９０」とする。

図１および図２に示すように、検査装置１は、ＩＣデバイス９０を搬送する電子部品搬送装置１０と、検査部１６と、表示部４０および操作部５０を有する設定表示部６０とを備えている。なお、本実施形態では、検査部１６、および、後述する制御装置３０が有する検査制御部３１２を除く構成によって電子部品搬送装置１０が構成されている。

また、図１および図２に示すように、検査装置１は、トレイ供給領域Ａ１と、デバイス供給領域（電子部品供給領域）Ａ２と、検査部１６が設けられている検査領域（検査部配置領域）Ａ３と、デバイス回収領域（電子部品回収領域）Ａ４と、トレイ除去領域Ａ５とに分けられている。この検査装置１において、ＩＣデバイス９０は、トレイ供給領域Ａ１からトレイ除去領域Ａ５まで各領域を順に経由し、途中の検査領域Ａ３で検査が行われる。

また、検査装置１は、常温環境下、低温環境下および高温環境下で検査を行うことができるよう構成されている。

以下、検査装置１について領域Ａ１〜Ａ５ごとに説明する。
〈トレイ供給領域Ａ１〉
トレイ供給領域Ａ１は、未検査状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が供給される領域である。トレイ供給領域Ａ１では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。

〈デバイス供給領域Ａ２〉
デバイス供給領域Ａ２は、トレイ供給領域Ａ１からのトレイ２００上の複数のＩＣデバイス９０がそれぞれ検査領域Ａ３まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域Ａ１とデバイス供給領域Ａ２とを跨ぐように、トレイ２００を搬送するトレイ搬送機構（搬送部）１１Ａ、１１Ｂが設けられている。

デバイス供給領域Ａ２には、温度調整部（ソークプレート）１２と、供給ロボット（デバイス搬送ヘッド）１３と、供給空トレイ搬送機構１５とが設けられている。

温度調整部１２は、ＩＣデバイス９０を配置し、配置されたＩＣデバイス９０を加熱または冷却して、当該ＩＣデバイス９０を検査に適した温度に調整（制御）する装置である。図２に示す構成では、温度調整部１２は、Ｙ方向に２つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構１１Ａによってトレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００上のＩＣデバイス９０は、いずれかの温度調整部１２に搬送され、載置される。なお、図示しないが、温度調整部１２には、温度調整部１２におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。

図２に示す供給ロボット１３は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送部であり、デバイス供給領域Ａ２内でＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動可能に支持されている。この供給ロボット１３は、トレイ供給領域Ａ１から搬入されたトレイ２００と温度調整部１２との間のＩＣデバイス９０の搬送と、温度調整部１２と後述するデバイス供給部１４との間のＩＣデバイス９０の搬送とを担っている。なお、供給ロボット１３は、ＩＣデバイス９０を把持する複数の把持部（図示せず）を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで把持することができる。また、供給ロボット１３は、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができるように構成されている。

供給空トレイ搬送機構１５は、全てのＩＣデバイス９０が除去された状態の空のトレイ２００をＸ方向に搬送する搬送部（搬送機構）である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、トレイ搬送機構１１Ｂによってデバイス供給領域Ａ２からトレイ供給領域Ａ１に戻される。

〈検査領域Ａ３〉
検査領域Ａ３は、ＩＣデバイス９０が検査される領域である。この検査領域Ａ３には、デバイス供給部１４と、検査部１６と、測定ロボット（デバイス搬送ヘッド）１７と、デバイス回収部１８とが設けられている。

デバイス供給部１４は、温度調整（温度制御）されたＩＣデバイス９０を検査部１６近傍まで搬送する搬送部である。このデバイス供給部１４は、デバイス供給領域Ａ２と検査領域Ａ３との間をＸ方向に沿って移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス供給部１４は、Ｙ方向に２つ配置されており、温度調整部１２上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス供給部１４に搬送され、載置される。なお、この搬送は、供給ロボット１３によって行われる。また、デバイス供給部１４は、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、デバイス供給部１４には、デバイス供給部１４におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。

検査部１６は、ＩＣデバイス９０の電気的特性を検査・試験するユニットであり、ＩＣデバイス９０を検査する場合にそのＩＣデバイス９０を保持する保持部である。検査部１６には、ＩＣデバイス９０を保持した状態で当該ＩＣデバイス９０の端子と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ＩＣデバイス９０の端子とプローブピンとが電気的に接続され（接触し）、プローブピンを介してＩＣデバイス９０の検査が行われる。また、検査部１６は、ＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、検査部１６には、検査部１６におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。

測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送部であり、検査領域Ａ３内で移動可能に支持されている。この測定ロボット１７は、デバイス供給領域Ａ２から搬入されたデバイス供給部１４上のＩＣデバイス９０を検査部１６上に搬送し、載置することができる。また、ＩＣデバイス９０を検査する場合に、測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０を検査部１６に向けて押圧し、これにより、ＩＣデバイス９０を検査部１６に当接させる。これによって、前述したように、ＩＣデバイス９０の端子と検査部１６のプローブピンとが電気的に接続される。なお、測定ロボット１７は、ＩＣデバイス９０を把持する複数の把持部（図示せず）を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで把持することができる。また、測定ロボット１７はＩＣデバイス９０を加熱または冷却することができるように構成されている。また、図示はしないが、測定ロボット１７には、測定ロボット１７におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられている。

デバイス回収部１８は、検査部１６での検査が終了したＩＣデバイス９０をデバイス回収領域Ａ４まで搬送する搬送部である。このデバイス回収部１８は、検査領域Ａ３とデバイス回収領域Ａ４との間をＸ方向に沿って移動可能に支持されている。また、図２に示す構成では、デバイス回収部１８は、デバイス供給部１４と同様に、Ｙ方向に２つ配置されており、検査部１６上のＩＣデバイス９０は、いずれかのデバイス回収部１８に搬送され、載置される。なお、この搬送は、測定ロボット１７によって行われる。また、図示はしないが、デバイス回収部１８には、デバイス回収部１８におけるＩＣデバイス９０の温度を検出する温度検出部が設けられていても良い。

〈デバイス回収領域Ａ４〉
デバイス回収領域Ａ４は、検査が終了したＩＣデバイス９０が回収される領域である。このデバイス回収領域Ａ４には、回収用トレイ１９と、回収ロボット（デバイス搬送ヘッド）２０と、回収空トレイ搬送機構（トレイ搬送機構）２１とが設けられている。また、デバイス回収領域Ａ４には、３つの空のトレイ２００も用意されている。

回収用トレイ１９は、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、デバイス回収領域Ａ４内に固定され、図２に示す構成では、Ｘ方向に並んで３つ配置されている。また、空のトレイ２００も、ＩＣデバイス９０が載置される載置部であり、Ｘ方向に並んで３つ配置されている。そして、デバイス回収領域Ａ４に移動してきたデバイス回収部１８上のＩＣデバイス９０は、これらの回収用トレイ１９および空のトレイ２００のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ＩＣデバイス９０は、検査結果ごとに回収されて、分類されることとなる。

回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０の搬送を行う搬送部であり、デバイス回収領域Ａ４内でＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向に移動可能に支持されている。この回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０をデバイス回収部１８から回収用トレイ１９や空のトレイ２００に搬送することができる。なお、回収ロボット２０は、ＩＣデバイス９０を把持する複数の把持部（図示せず）を有している。各把持部は、吸着ノズルを備えており、ＩＣデバイス９０を吸着することで把持することができる。

回収空トレイ搬送機構２１は、トレイ除去領域Ａ５から搬入された空のトレイ２００をＸ方向に搬送させる搬送部（搬送機構）である。そして、この搬送後、空のトレイ２００は、ＩＣデバイス９０が回収される位置に配されることとなる、すなわち、前記３つの空のトレイ２００のうちのいずれかとなり得る。

〈トレイ除去領域Ａ５〉
トレイ除去領域Ａ５は、検査済み状態の複数のＩＣデバイス９０が配列されたトレイ２００が回収され、除去される領域である。トレイ除去領域Ａ５では、多数のトレイ２００を積み重ねることができる。なお、デバイス回収領域Ａ４とトレイ除去領域Ａ５とを跨ぐように、トレイ２００を１枚ずつ搬送するトレイ搬送機構（搬送部）２２Ａ、２２Ｂが設けられている。トレイ搬送機構２２Ａは、検査済みのＩＣデバイス９０が載置されたトレイ２００をデバイス回収領域Ａ４からトレイ除去領域Ａ５に搬送する。トレイ搬送機構２２Ｂは、ＩＣデバイス９０を回収するための空のトレイ２００をトレイ除去領域Ａ５からデバイス回収領域Ａ４に搬送する。

以上説明したような各領域Ａ１〜Ａ５は、互いに、図示しない壁部やシャッター等により仕切られている。そして、デバイス供給領域Ａ２は、壁部やシャッター等で画成された第１室（Ｉｎｐｕｔ）Ｒ１となっており、検査領域Ａ３は、壁部やシャッター等で画成された第２室（Ｉｎｄｅｘ）Ｒ２となっており、デバイス回収領域Ａ４は、壁部やシャッター等で画成された第３室（Ｏｕｔｐｕｔ）Ｒ３となっている。また、第１室（室）Ｒ１、第２室（室）Ｒ２および第３室（室）Ｒ３は、それぞれ、気密性や断熱性を確保することができるように構成されている。これにより、第１室Ｒ１、第２室Ｒ２および第３室Ｒ３は、それぞれ、湿度や温度を可能な限り維持することができる。

また、図２に示すように、第１室Ｒ１には、第１室Ｒ１内の温度を検出する温度センサー（温度計）２４１と、第１室Ｒ１内の湿度（相対湿度）を検出する湿度センサー（湿度計）２５１と、第１室Ｒ１内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサー（酸素濃度計）２６１とが設けられている。また、第２室Ｒ２には、第２室Ｒ２内の温度を検出する温度センサー（温度計）２４２と、第２室Ｒ２内の湿度（相対湿度）を検出する湿度センサー（湿度計）２５２とが設けられている。また、第３室Ｒ３には、第３室Ｒ３内の酸素濃度を検出する酸素濃度センサー（酸素濃度計）２６３が設けられている。

また、図示はしないが、検査装置１は、ドライエアー供給機構を有している。ドライエアー供給機構は、第１室Ｒ１、第２室Ｒ２および第３室Ｒ３に湿度の低い空気、窒素等の気体（以下、ドライエアーとも言う）を供給できるよう構成されている。そのため、必要に応じて、ドライエアーを供給することにより、ＩＣデバイス９０の結露、結氷（着氷）を防止することができる。

次に、制御装置３０と、表示部４０および操作部５０を有する設定表示部６０とについて説明する。

〈制御装置３０〉
図３に示すように、制御装置３０は、検査装置１の各部を制御する機能を有し、駆動制御部３１１および検査制御部３１２を有する制御部３１と、記憶部３２とを有している。

駆動制御部３１１は、各部（トレイ搬送機構１１Ａ、１１Ｂ、温度調整部１２、供給ロボット１３、供給空トレイ搬送機構１５、デバイス供給部１４、検査部１６、測定ロボット１７、デバイス回収部１８、回収ロボット２０、回収空トレイ搬送機構２１およびトレイ搬送機構２２Ａ、２２Ｂ）の駆動等を制御する。検査制御部３１２は、例えば、記憶部３２内に記憶されたプログラム（ソフトウェア）に基づいて、検査部１６に配置されたＩＣデバイス９０の検査等を行うことも可能である。

また、制御部３１は、各部の駆動や検査結果等を表示部４０に表示する機能や、操作部５０からの入力に従って処理を行う機能等をも有している。
記憶部３２は、制御部３１が各種処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶する。

なお、前述した温度センサー２４１、２４２、湿度センサー２５１、２５２、酸素濃度センサー２６１、２６３は、それぞれ制御装置３０と接続している。

〈設定表示部６０〉
前述したように、設定表示部６０は、表示部４０および操作部５０を有する。

表示部４０は、各部の駆動や検査結果等を表示するモニター４１を有する。モニター４１は、例えば、液晶表示パネルや有機ＥＬ等の表示パネル等で構成することができる。作業者は、このモニター４１を介して、検査装置１の各種処理や条件等を設定したり、確認したりすることができる。なお、表示部４０は、図１に示すように、検査装置１の図中上方に配置されている。

操作部５０は、マウス５１等の入力デバイスであり、作業者による操作に応じた操作信号を制御部３１に出力する。したがって、作業者は、マウス５１を用いて、制御部３１に対して各種処理等の指示を行うことができる。なお、マウス５１（操作部５０）は、図１に示すように、検査装置１の図中右側で、表示部４０に近い位置に配置されている。また、本実施形態では、操作部５０としてマウス５１を用いているが、操作部５０はこれに限定されず、例えばキーボード、トラックボール、タッチパネル等の入力デバイス等であってもよい。
以上、検査装置１の構成について簡単に説明した。

このような検査装置１は、前述したように、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が、加熱および冷却可能に構成されている。このため、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が加熱されると、その加熱に応じて、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が配置されている第１室Ｒ１および第２室Ｒ２の温度が上昇する。これにより、高温環境下でのＩＣデバイス９０の検査を行うことができる。なお、高温環境下で検査をする場合には、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７は、例えば、３０〜１３０℃程度に加熱制御される。

また、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７が冷却されると、その冷却に応じて、第１室Ｒ１および第２室Ｒ２の温度も下降する。これにより、低温環境下でのＩＣデバイス９０の検査を行うことができる。なお、低温環境下で検査をする場合には、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７は、例えば、−６０〜２５℃程度に冷却制御される。

また、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７を常温に制御することで、常温環境下でのＩＣデバイス９０の検査を行うことができる。また、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７を加熱や冷却しないことにより、常温環境下でのＩＣデバイス９０の検査をすることも可能である。なお、常温環境下で検査をする場合には、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７は、例えば、２５〜３５℃程度に制御される。

このように、温度調整部１２、供給ロボット１３、デバイス供給部１４、検査部１６および測定ロボット１７の温度を制御（調整）することで、常温環境下、低温環境下および高温環境下でのＩＣデバイス９０の検査をすることができる。なお、この制御では、必要に応じて第１室Ｒ１、第２室Ｒ２および第３室Ｒ３にドライエアーを供給することでＩＣデバイス９０の温度や湿度を制御する。また、この制御では、温度調整部１２、デバイス供給部１４、検査部１６およびデバイス回収部１８にそれぞれ設けられた温度検出部（図示せず）にてＩＣデバイス９０の温度を検出し、制御部３１によって、検出された温度に応じてフィードバック制御を行う。これにより、ＩＣデバイス９０は、搬送されている間、温度が設定温度付近に維持される。

また、本実施形態の検査装置１は、検査装置１内の酸素濃度、湿度および温度をモニター４１により確認できるように構成されている。以下、この点について説明する。

検査装置１が起動されたとき、制御部３１は、モニター４１上に、図４に示すようなウインドウ（画面）ＷＤを表示する。このウインドウＷＤ内の左下側には、検査装置１内の酸素濃度、湿度および温度を示す状態表示部７が設けられている。

図５に示すように、本実施形態では、状態表示部７は、４つの列と４つの行からなるテーブル（表）７０で構成されている。テーブル７０は、各室Ｒ１〜Ｒ３の酸素濃度を表示しているフィールド７１と、各室Ｒ１〜Ｒ３の湿度を表示しているフィールド７２と、各室Ｒ１〜Ｒ３の温度を表示しているフィールド７３とを有している。

フィールド７１は、上の行から順に、第２室Ｒ２内の酸素濃度を数値で表示することができるセル７１２と、第１室Ｒ１内の酸素濃度を数値で表示することができるセル７１１と、第３室Ｒ３内の酸素濃度を数値で表示することができるセル７１３とを有している。

セル７１１に表示されている酸素濃度は、第１室Ｒ１内に設けられた酸素濃度センサー２６１により検出された値である。セル７１３に表示されている酸素濃度は、第３室Ｒ３内に設けられた酸素濃度センサー２６３により検出された値である。なお、本実施形態では、前述したように、第２室Ｒ２内に酸素濃度センサーが設けられていない。そのため、セル７１２には、第２室Ｒ２内に酸素濃度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。

フィールド７２は、上の行から順に、第２室Ｒ２内の湿度を数値で表示することができるセル７２２と、第１室Ｒ１内の湿度を数値で表示することができるセル７２１と、第３室Ｒ３内の湿度を数値で表示することができるセル７２３とを有している。

セル７２２に表示されている湿度は、第２室Ｒ２内に設けられた湿度センサー２５２により検出された値である。セル７２１に表示されている湿度は、第１室Ｒ１内に設けられた湿度センサー２５１により検出された値である。なお、本実施形態では、前述したように、第３室Ｒ３内に湿度センサーが設けられていない。そのため、セル７２３には、第３室Ｒ３内に湿度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。

フィールド７３は、上の行から順に、第２室Ｒ２内の温度を数値で表示することができるセル７３２と、第１室Ｒ１内の温度を数値で表示することができるセル７３１と、第３室Ｒ３内の温度を数値で表示することができるセル７３３とを有している。

セル７３２に表示されている温度は、第２室Ｒ２内に設けられた温度センサー２４２により検出された値である。セル７３１に表示されている温度は、第１室Ｒ１内に設けられた温度センサー２４１により検出された値である。なお、本実施形態では、前述したように、第３室Ｒ３内には温度センサーが設けられていない。そのため、セル７３３には、第３室Ｒ３内に温度センサーが設けられていないことを示す「―」が表示されている。

このような構成の状態表示部７が有するフィールド７１は、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う酸素濃度表示部としての機能を有する。具体的には、フィールド７１が有するセル７１１〜７１３が、酸素濃度の大きさに応じて４段階の異なる表示をすることができる。セル７１１〜７１３は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してセル７１１の表示について説明する。

図６に示すように、セル７１１は、第１レベルＯ１、第２レベルＯ２、第３レベルＯ３および第４レベルＯ４の４つのレベル（４段階）に分けて異なる表示をすることができる。なお、本実施形態では、４つのレベルに分けているが、レベルの数は４つに限定されない。

第１レベルＯ１では、図６（ａ）に示すように、セル７１１の背景色が、波長域が５００〜５８０ｎｍの範囲内の色、すなわち緑色で表示される。このように表示される第１レベルＯ１は、酸素濃度センサー２６１により測定された酸素濃度が１６％を超える状態である。この第１レベルＯ１は、第１室Ｒ１内の酸素濃度が低い状態ではなく、安全を確保できる酸素濃度であるといえる。

第２レベルＯ２では、図６（ｂ）に示すように、セル７１１の背景色が、波長域が５８０〜６１０ｎｍの範囲内である色、すなわち黄色で表示される。このように表示される第２レベルＯ２は、酸素濃度センサー２６１により測定された酸素濃度が６％以上１６％以下の状態である。この第２レベルＯ２は、第１室Ｒ１内の酸素濃度が若干低くなっている状態であり、酸素濃度が低い状態となる可能性がある酸素濃度であるといえる。

第３レベルＯ３では、図６（ｃ）に示すように、セル７１１の背景色が、波長域が６１０〜７５０ｎｍの範囲内である色、すなわち、赤色で表示される。このように表示される第３レベルＯ３は、酸素濃度センサー２６１により測定された酸素濃度が６％未満の状態である。この第３レベルＯ３は、第１室Ｒ１内の酸素濃度が低い状態となる可能性が高く、要注意するべき酸素濃度であるといえる。

第４レベルＯ４では、図６（ｄ）に示すように、セル７１１の背景色が赤色で表示されるとともに、セル７１１内には数値の代わりに「ＥＲＲＯＲ」と表示される。このように表示される第４レベルＯ４は、第１室Ｒ１における酸素濃度測定に関して異常が生じている状態（エラーが生じている状態）である。酸素濃度測定に関して異常が生じている状態としては、例えば、制御装置３０と酸素濃度センサー２６１との接続に不具合が生じ、酸素濃度を上手く読み込むことができない状態等が挙げられる。

このように、セル７１１が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる背景色で表示されることで、作業者は、第１室Ｒ１内の酸素濃度が低い状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。

特に、セル７１１の背景色は、前述したように、酸素濃度の高い方から順に、緑色、黄色、赤色と表示されるため、第１室Ｒ１内の酸素濃度が低い状態であるか、また、酸素濃度が若干低くなっている状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。

また、第４レベルＯ４では、セル７１１の背景色が赤色で表示されるとともに、セル７１１内に「ＥＲＲＯＲ」と表示されるため、第１室Ｒ１内の酸素濃度が低い状態であることとは別に、酸素濃度測定に関して異常が生じていることを特に容易かつ特に迅速に判別することができる。

なお、セル７１１の背景色は、作業者が視覚的に各レベルを把握することができれば、如何なる色であってもよい。ただし、上述したように、緑色、黄色、赤色と表示されることによって、作業者は、第１室Ｒ１内の酸素濃度が低い状態であるか否かを把握しやすいため好ましい。

以上説明したようなセル７１１の表示と同様に、セル７１２、７１３についても、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能である。このため、作業者は、室Ｒ１〜Ｒ３内ごとに酸素濃度が低い状態であるか否かをより容易に判別することができる。このように、作業者は、室Ｒ１〜Ｒ３内ごとの酸素濃度をより容易に判別したり監視したりすることができる。

また、状態表示部７が有するフィールド７２は、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う湿度表示部としての機能を有する。具体的には、フィールド７２が有するセル７２１〜７２３は、湿度の大きさに応じて４段階の異なる表示をすることができる。セル７２１〜７２３は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してセル７２２の表示について説明する。

図７に示すように、セル７２２は、第１レベルＨ１、第２レベルＨ２、第３レベルＨ３および第４レベルＨ４の４つのレベル（４段階）に分けて異なる表示をすることができる。なお、本実施形態では、４つのレベルに分けているが、レベルの数は４つに限定されない。

ここで、本明細書において、ＩＣデバイス９０に結露が生じない湿度の臨界点を、限界湿度（％）と言う。すなわち、測定された湿度（％）が限界湿度（％）を超えると、ＩＣデバイス９０に結露が生じる。また、結露の発生は、湿度と温度に関係しており、限界湿度（％）は温度ごとに異なる。そして、制御装置３０には、所定の温度に応じた限界湿度（％）が記憶されており、制御装置３０は、所定の温度に応じた限界湿度（％）を求めることができる。

第１レベルＨ１では、図７（ａ）に示すように、セル７２２の背景色が、白色で表示される。このように表示される第１レベルＨ１は、湿度センサー２５２により測定された湿度（％）が、温度センサー２４２により測定された温度における限界湿度（％）よりも３（％）低い値未満の状態である。すなわち、第１レベルＨ１は、測定された湿度（％）＜限界湿度（％）−３（％）の状態である。この第１レベルＨ１は、搬送部や載置部にあるＩＣデバイス９０に結露が生じ難い状態であるといえる。

第２レベルＨ２では、図７（ｂ）に示すように、セル７２２の背景色が、波長域が５８０〜６１０ｎｍの範囲内である色、すなわち黄色で表示される。このように表示される第２レベルＨ２は、湿度センサー２５２により測定された湿度（％）が、温度センサー２４２により測定された温度における限界湿度（％）よりも３（％）低い値以上であり、かつ、限界湿度（％）以下の状態である。すなわち、限界湿度（％）−３（％）≦測定された湿度（％）≦限界湿度（％）の状態である。この第２レベルＨ２は、各部にあるＩＣデバイス９０に結露が生じる状態に近い状態であり、ＩＣデバイス９０に結露が生じる可能性がある湿度といえる。

第３レベルＨ３では、図７（ｃ）に示すように、セル７２２の背景色が、波長域が６１０〜７５０ｎｍの範囲内である色、すなわち、赤色で表示される。このように表示される第３レベルＨ３は、湿度センサー２５２により測定された湿度（％）が、温度センサー２４２により測定された温度における限界湿度（％）を超える状態である。すなわち、限界湿度（％）＜測定された湿度（％）の状態である。この第３レベルＨ３は、各部にあるＩＣデバイス９０に結露が生じる湿度であるといえる。

第４レベルＨ４では、図７（ｄ）に示すように、セル７２２の背景色が赤色で表示されるとともに、セル７２２内には、数値の代わりに「ＥＲＲＯＲ」と表示される。このように表示される第４レベルＨ４は、第２室Ｒ２における湿度測定に関して異常が生じている状態（エラーが生じている状態）である。湿度測定に関して異常が生じている状態としては、例えば、制御装置３０と湿度センサー２５２との接続に不具合が生じ、湿度を上手く読み込むことができない状態等が挙げられる。

このように、セル７２２が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる背景色で表示されることで、作業者は、第２室Ｒ２がＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。

特に、セル７２２の背景色は、前述したように、湿度の低い方から順に、白色、黄色、赤色と表示されることで、作業者は、第２室Ｒ２がＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態であるか、または、ＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態に近い状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。

なお、セル７２２の背景色は、作業者が視覚的に各レベルを把握することができれば、如何なる色であってもよい。ただし、上述したように、白色、黄色、赤色と表示されることによって、作業者は、ＩＣデバイス９０に結露を生じさせるか否かを把握しやすいため好ましい。

また、第４レベルＨ４では、セル７２２の背景色が赤色で表示されるとともに、セル７２２内に「ＥＲＲＯＲ」と表示されるため、第２室Ｒ２内がＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態であることとは別に、湿度測定に関して異常が生じていることを特に容易かつ特に迅速に判別することができる。

以上説明したようなセル７２２の表示と同様に、セル７２１、７２３についても、それぞれ、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能である。このため、作業者は、室Ｒ１〜Ｒ３内ごとに結露が生じる状態であるか否かをより容易に判別することができる。
以上、本実施形態の検査装置１について説明した。

なお、前述した説明では、各室Ｒ１〜Ｒ３の酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能に構成されていたが、室Ｒ１〜Ｒ３のうちの少なくとも１つの酸素濃度を段階的に表示できるよう構成されていればよい。同様に、本実施形態では、各室Ｒ１〜Ｒ３の湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行うことが可能に構成されていたが、室Ｒ１〜Ｒ３のうちの少なくとも１つの湿度を段階的に表示できるよう構成されていればよい。

また、前述した説明では、セル７１１は、背景色が酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されたが、セル７１１は、酸素濃度の大きさに応じて作業者が判別することができるように表示されれば、如何なる表示であってもよい。例えば、セル７１１の文字の色が、段階的に異なる色で表示されてもよい。また、例えば、セル７１１の背景が、異なるパターンで表示されてもよい。また、酸素濃度を数値で表示することに加え、段階的に異なるメッセージを表示してもよい。例えば、第１レベルＯ１では「安全」と表示し、第２レベルＯ２では「危険」と表示し、第３レベルＯ３では「要注意」と表示し、第４レベルＯ４では「異常」と表示してもよい。なお、セル７１２、７１３についても同様である。また、セル７２１〜７２３についても上記と同様である。

また、第３レベルＯ３や第４レベルＯ３では、制御部３１によって、検出された酸素濃度に応じてフィードバック制御を行ってもよい。例えば、第３レベルＯ３や第４レベルＯ４の場合には、検査装置１の各部の駆動を停止させたり、作業者に第３レベルＯ３や第４レベルＯ３であることを知らせるための警報を報知したりしてもよい。

また、同様に、第３レベルＨ３や第４レベルＨ３では、制御部３１によって、検出された湿度に応じてフィードバック制御を行ってもよい。例えば、第３レベルＨ３や第４レベルＨ４の場合には、検査装置１の各部の駆動を停止させたり、作業者に第３レベルＨ３や第４レベルＨ３であることを知らせるための警報を報知したり、ドライエアー供給装置を直ちに可動させてもよい。

また、フィールド７３が有するセル７３１〜７３３が、表示される温度に応じて段階的に異なる表示を行うことができる温度表示部としての機能を有していてもよい。

＜第２実施形態＞
図８は、本発明の第２実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部７を示す図である。

以下、この図を参照して第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本実施形態は、状態表示部を構成しているテーブルの構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。

本実施形態では、図８に示すテーブル７０が有するフィールド７１のセル７１１〜７１３と、フィールド７２のセル７２１〜７２３とが、それぞれ、酸素濃度の大きさと湿度の大きさに応じて点滅する点滅表示部としての機能を有している。

まず、セル７１１〜７１３について説明するが、これらは同様の構成であるため、以下では、セル７１１について代表して説明する。

図８に示すように、セル７１１に表示された数値が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に点滅するよう構成されている。そして、各数値の点滅速度は、段階的に変化するよう構成されている。

図８（ａ）に示すように、第１レベルＯ１では、セル７１１に表示された酸素濃度を示す数値は点滅しない。これに対し、図８（ｂ）に示すように、第２レベルＯ２では、セル７１１に表示された酸素濃度を示す数値が点滅する。また、図８（ｃ）に示すように、第３レベルＯ３では、セル７１１に表示された酸素濃度を示す数値が、第２レベルＯ２における点滅速度よりも早い速度で点滅する。また、図８（ｄ）に示すように、第４レベルＯ４では、セル７１１に表示された「ＥＲＲＯＲ」が、第３レベルＯ３における点滅速度と同等の速度で点滅する。

このように、セル７１１内の数値が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる点滅速度で表示されることで、作業者は、表示された酸素濃度の大きさが酸素濃度が低い状態であるか一目でより容易かつより迅速に判別することができる。特に、第２レベルＯ２よりも第３レベルＯ３の方が数値の点滅速度が速くなる。すなわち、酸素濃度が小さくなるほど、点滅速度が速くなる。このため、第２室Ｒ２内の酸素濃度が低い状態であるか、また、酸素濃度が若干低くなっている状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。

次に、セル７２１〜７２３について説明するが、これらは同様の構成であるため、以下では、セル７２２について代表して説明する。

図８に示すように、セル７２２に表示された数値が、湿度の大きさに応じて段階的に点滅するよう構成されている。そして、各数値の点滅速度は、段階的に変化するよう構成されている。

図８（ａ）に示すように、第１レベルＨ１では、セル７２２に表示された湿度を示す数値は点滅しない。これに対し、図８（ｂ）に示すように、第２レベルＨ２では、セル７２２に表示された湿度を示す数値が点滅する。また、図８（ｃ）に示すように、第３レベルＨ３では、セル７２２に表示された湿度を示す数値が、第２レベルＨ２における点滅速度よりも早い速度で点滅する。また、図８（ｄ）に示すように、第４レベルＨ４では、セル７２２に表示された「ＥＲＲＯＲ」が、第３レベルＨ３における点滅速度と同等の速度で点滅する。

このように、セル７２２内の数値が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる点滅速度で表示されることで、作業者は、表示された湿度の大きさがＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。特に、第２レベルＨ２よりも第３レベルＨ３の方が数値の点滅速度が速くなる。すなわち、湿度が大きくなるほど、点滅速度が速くなる。このため、第２室Ｒ２がＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態であるか、または、ＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態に近い状態であるかをさらに容易かつさらに迅速に判別することができる。

このような第２実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

なお、前述した説明では、数値が点滅するように構成されていたが、点滅する箇所は如何なる箇所であってもよい。例えば、セル７１１自体が点滅するように構成されていてもよい。また、例えば、セル７１１の各背景色が、前述した第１実施形態のように段階的に異なる色で表示され、その表示された背景色が点滅するように構成されていてもよい。なお、セル７１２、７１３、７２１、７２３についても同様である。

また、前述した説明では、点滅速度が、レベルが大きくなるほど速くなったが、各レベルにおける点滅速度はこれに限定されない。例えば、第３レベルＯ３と第４レベルＯ４とは、異なる点滅速度で表示されてもよい。また、第１レベルＯ１や第１レベルＨ１においても数値が点滅するよう構成されていてもよい。

＜第３実施形態＞
図９は、本発明の第３実施形態に係る電子部品検査装置が有する状態表示部が備えるレベルゲージ部を示す図である。図１０は、図９に示すレベルゲージの表示を示す図である。

以下、これらの図を参照して第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。

本実施形態は、状態表示部の構成が異なること以外は、前述した実施形態と同様である。

本実施形態では、図９に示すように、状態表示部７が、各室Ｒ１〜Ｒ３の酸素濃度を表示しているレベルゲージ部７４と、各室Ｒ１〜Ｒ３の湿度を表示しているレベルゲージ部７５と、各室Ｒ１〜Ｒ３の温度を表示しているレベルゲージ部７６とで構成されている。

レベルゲージ部７４は、第２室Ｒ２内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ７４２と、第１室Ｒ１内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ７４１と、第３室Ｒ３内の酸素濃度を表示している棒状のレベルゲージ７４３とを有している。レベルゲージ７４１〜７４３は、それぞれ、酸素濃度の大きさの指標となる目盛りＳ７４と、酸素濃度の大きさに応じて変位するバーＢ７４と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部Ｍ７４とを有している。このようなレベルゲージ７４１〜７４３は、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じてバーＢ７４が図中上下方向に変位し、酸素濃度の大きさに応じた目盛りＳ７４にバーＢ７４の上端が位置する。なお、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第２室Ｒ２内には酸素濃度センサーが設けられていないため、図９では、レベルゲージ７４２にバーＢ７４が表示されていない。

レベルゲージ部７５は、第２室Ｒ２内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ７５２と、第１室Ｒ１内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ７５１と、第３室Ｒ３内の湿度を表示している棒状のレベルゲージ７５３とを有している。レベルゲージ７５１〜７５３は、それぞれ、湿度の大きさの指標となる目盛りＳ７５と、湿度の大きさに応じて変位するバーＢ７５と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部Ｍ７５とを有している。このようなレベルゲージ７５１〜７５３は、それぞれ、湿度の大きさに応じてバーＢ７５が図中上下方向に変位し、湿度の大きさに応じた目盛りＳ７５にバーＢ７５の上端が位置する。なお、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第３室Ｒ３内には湿度センサーが設けられていないため、図９では、レベルゲージ７５３にバーＢ７５が表示されていない。

レベルゲージ部７６は、第２室Ｒ２内の温度を表示している棒状のレベルゲージ７６２と、第１室Ｒ１内の温度を表示している棒状のレベルゲージ７６１と、第３室Ｒ３内の温度を表示している棒状のレベルゲージ７６３とを有している。レベルゲージ７６１〜７６３は、それぞれ、温度の大きさの指標となる目盛りＳ７６と、温度の大きさに応じて変位するバーＢ７６と、各種メッセージを表示することができるメッセージ表示部Ｍ７６とを有している。このようなレベルゲージ７６１〜７６３は、それぞれ、温度の大きさに応じてバーＢ７６が図中上下方向に変位し、温度の大きさに応じた目盛りＳ７６にバーＢ７６の上端が位置する。なお、本実施形態においても、第１実施形態と同様に、第３室Ｒ３内に温度センサーが設けられていないため、図９では、レベルゲージ７６３にバーＢ７６が表示されていない。

このような構成の状態表示部７が有するレベルゲージ７４１〜７４３は、それぞれ、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う酸素濃度表示部としての機能を有する。レベルゲージ７４１〜７４３は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してレベルゲージ７４１の表示について説明する。

図１０に示すように、レベルゲージ７４１は、酸素濃度の大きさに応じて第１レベルＯ１、第２レベルＯ２、第３レベルＯ３および第４レベルＯ４の４つのレベル（４段階）に分けて表示がなされる。

図１０（ａ）に示すように、第１レベルＯ１では、バーＢ７４が緑色で表示される。図１０（ｂ）に示すように、第２レベルＯ２では、バーＢ７４が黄色で表示される。図１０（ｃ）に示すように、第３レベルＯ３では、バーＢ７４が赤色で表示される。図１０（ｄ）に示すように、第４レベルＯ４では、バーＢ７４が非表示になるとともに、メッセージ表示部Ｍ７４に「ＥＥＲＯＲ」と表示される。

このように、レベルゲージ７４１のバーＢ７４が、酸素濃度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されることで、作業者は、第１室Ｒ内の酸素濃度が低い状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。

また、状態表示部７が有するレベルゲージ７５１〜７５３は、それぞれ、湿度の大きさに応じて段階的に異なる表示を行う湿度表示部としての機能を有する。レベルゲージ７５１〜７５３は、同様の表示が可能であるため、以下では、代表してレベルゲージ７５２の表示について説明する。

図１０に示すように、レベルゲージ７５２は、湿度の大きさに応じて第１レベルＨ１、第２レベルＨ２、第３レベルＨ３および第４レベルＨ４の４つのレベル（４段階）に分けて表示がなされる。

図１０（ｅ）に示すように、第１レベルＨ１では、バーＢ７５が白色で表示される。図１０（ｆ）に示すように、第２レベルＨ２では、バーＢ７５が黄色で表示される。図１０（ｇ）に示すように、第３レベルＨ３では、バーＢ７５が赤色で表示される。図１０（ｈ）に示すように、第４レベルＨ４では、バーＢ７５が非表示になるとともに、メッセージ表示部Ｍ７５に「ＥＥＲＯＲ」と表示される。

このように、レベルゲージ７５２のバーＢ７５が、湿度の大きさに応じて段階的に異なる色で表示されることで、作業者は、表示された湿度の大きさがＩＣデバイス９０に結露を生じさせる状態であるかを一目でより容易かつより迅速に判別することができる。

このような第３実施形態によっても、前述した第１実施形態と同様の効果を奏することができる。

なお、前述した説明では、レベルゲージ７４１は、棒状をなしていたが、レベルゲージ７４１の形状は、これに限定されず、例えば、アーチ状をなしていてもよい。また、レベルゲージ７４１は、バーＢ７４を有していたが、例えば、バーＢ７４に変えて、目盛りＳ７４を指し示す指針（図示せず）を有する構成であってもよい。なお、レベルゲージ７４２、７４３、７５１〜７５３、７６１〜７６３についても同様である。

以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。例えば、状態表示部は、第１実施形態で説明したテーブルと、第３実施形態で説明したレベルゲージとを有する構成であってもよい。

また、前述した実施形態では、設定表示部は、操作部と表示部とを備えていたが、例えば、表示部と操作部とが一体になった構成でもよい。表示部と操作部とが一体になった構成としては、例えば、表示部が有するモニターがタッチパネルになっている構成が挙げられる。

また、前述した実施形態では、第２室に酸素濃度センサーが設けられていなかったが、第２室に酸素濃度センサーが設けられていてもよい。また、前述した説明では、第３室に湿度センサーおよび温度センサーが設けられていなかったが、第３室に湿度センサーおよび温度センサーが設けられていてもよい。

また、前述した実施形態における各フィールドおよび各セルの配列や配置は、図示したものに限定されない。例えば、前述した実施形態では、図中左側から、酸素濃度を表示しているフィールド、湿度を表示しているフィールド、および、温度を表示しているフィールドがこの順で並んでいたが、これらフィールドの配置はこれに限定されない。例えば、図中左側から、温度を表示しているフィールド、湿度を表示しているフィールド、および、酸素濃度を表示しているフィールドがこの順で並んでいても構わない。また、例えば、これらフィールドは、図中左右方向に並んで配置されていたが、図中上下方向に並んで配置されていてもよい。

また、前述した実施形態における各レベルゲージ部および各レベルゲージの配列や配置は、図示したものに限定されない。例えば、前述した実施形態では、図中左側から、酸素濃度を表示しているレベルゲージ部、湿度を表示しているレベルゲージ部、および、温度を表示しているレベルゲージ部がこの順で並んでいたが、これらレベルゲージ部の配置はこれに限定されない。例えば、図中左側から、温度を表示しているレベルゲージ部、湿度を表示しているレベルゲージ部、および、酸素濃度を表示しているレベルゲージ部がこの順で並んでいても構わない。また、これらレベルゲージ部は、図中左右方向に並んで配置されていたが、図中上下方向に並んで配置されていてもよい。

１‥‥検査装置
１０‥‥電子部品搬送装置
９０‥‥ＩＣデバイス
２００‥‥トレイ
１１Ａ‥‥トレイ搬送機構
１１Ｂ‥‥トレイ搬送機構
１２‥‥温度調整部
１３‥‥供給ロボット
１４‥‥デバイス供給部
１５‥‥供給空トレイ搬送機構
１６‥‥検査部
１７‥‥測定ロボット
１８‥‥デバイス回収部
１９‥‥回収用トレイ
２０‥‥回収ロボット
２１‥‥回収空トレイ搬送機構
２２Ａ‥‥トレイ搬送機構
２２Ｂ‥‥トレイ搬送機構
２４１、２４２‥‥温度センサー
２５１、２５２‥‥湿度センサー
２６１、２６３‥‥酸素濃度センサー
３０‥‥制御装置
３１‥‥制御部
３２‥‥記憶部
３１１‥‥駆動制御部
３１２‥‥検査制御部
４０‥‥表示部
４１‥‥モニター
５０‥‥操作部
５１‥‥マウス
６０‥‥設定表示部
７‥‥状態表示部
７０‥‥テーブル
７１‥‥フィールド
７１１‥‥セル
７１２‥‥セル
７１３‥‥セル
７２‥‥フィールド
７２１‥‥セル
７２２‥‥セル
７２３‥‥セル
７３‥‥フィールド
７３１‥‥セル
７３２‥‥セル
７３３‥‥セル
７４‥‥レベルゲージ部
７４１‥‥レベルゲージ
７４２‥‥レベルゲージ
７４３‥‥レベルゲージ
７５‥‥レベルゲージ部
７５１‥‥レベルゲージ
７５２‥‥レベルゲージ
７５３‥‥レベルゲージ
７６‥‥レベルゲージ部
７６１‥‥レベルゲージ
７６２‥‥レベルゲージ
７６３‥‥レベルゲージ
Ｂ７４‥‥バー
Ｂ７５‥‥バー
Ｂ７６‥‥バー
Ｍ７４‥‥メッセージ表示部
Ｍ７５‥‥メッセージ表示部
Ｍ７６‥‥メッセージ表示部
Ｓ７４‥‥目盛り
Ｓ７５‥‥目盛り
Ｓ７６‥‥目盛り
ＷＤ‥‥ウインドウ
Ｈ１‥‥第１レベル
Ｈ２‥‥第２レベル
Ｈ３‥‥第３レベル
Ｈ４‥‥第４レベル
Ｏ１‥‥第１レベル
Ｏ２‥‥第２レベル
Ｏ３‥‥第３レベル
Ｏ４‥‥第４レベル
Ａ１‥‥トレイ供給領域（領域）
Ａ２‥‥デバイス供給領域（領域）
Ａ３‥‥検査領域（領域）
Ａ４‥‥デバイス回収領域（領域）
Ａ５‥‥トレイ除去領域（領域）
Ｒ１‥‥第１室
Ｒ２‥‥第２室
Ｒ３‥‥第３室

Claims (9)

1. 湿度を表示する湿度表示部を有し、
   前記湿度表示部は、前記湿度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする電子部品搬送装置。
2. 前記湿度表示部は、前記湿度の大きさの範囲に応じた段階的な表示が可能である請求項１に記載の電子部品搬送装置。
3. 前記湿度表示部は、前記湿度の大きさの範囲に応じて色を変えることが可能である請求項１または２に記載の電子部品搬送装置。
4. 前記湿度表示部は、前記湿度が小さい方から順に、白色と、波長域が６１０〜７５０ｎｍである色とに分けて表示することができる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
5. 前記湿度表示部は、前記湿度が小さい方から順に、白色と、波長域が５８０〜６１０ｎｍである色と、波長域が６１０〜７５０ｎｍである色とに分けて表示することができる請求項１ないし３のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
6. 前記湿度表示部は、レベルゲージを有する請求項１ないし５のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
7. 前記湿度表示部は、点滅表示部を有し、
   前記点滅表示部は、前記湿度の大きさに応じて点滅速度が変化する請求項１ないし６のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
8. 電子部品を検査する検査部を配置することが可能な検査部配置領域と、
   前記検査部配置領域に前記電子部品を供給する搬送部を配置することが可能な電子部品供給領域と、
   前記検査部配置領域から前記電子部品を回収する搬送部を配置することが可能な電子部品回収領域と、を有し、
   前記湿度表示部は、前記検査部配置領域、前記電子部品供給領域および前記電子部品回収領域のうち少なくとも１つの領域内の前記湿度を表示することが可能である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の電子部品搬送装置。
9. 湿度を表示する湿度表示部と、
   電子部品を検査する検査部とを備え、
   前記湿度表示部は、前記湿度の大きさに応じた表示が可能であることを特徴とする電子部品検査装置。

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