JP2016178232A - クランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置 - Google Patents

クランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置 Download PDF

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Abstract

【課題】本発明は、ＦＯＵＰ等の基板収納容器から基板を取り出して基板搬送領域に搬入する際に必要な基板収納容器を固定するクランプメカにおいて、パーティクルの飛散を低減できるクランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置を提供することを目的とする。
【解決手段】クランプ装置１００は、基板収納容器Ｃの正面に設けられた蓋体６８を開閉する際、該基板収納容器に上方から接触して前記基板収納容器を所定位置に固定可能なクランプ部材８１と、前記クランプ部材を駆動する駆動機構８６、８７と、該駆動機構を覆うケーシング８５と、該ケーシングと連通する吸い込み口９１を有し、該ケーシングの近隣に設けられた排気室９０と、該排気室内に設けられたファン９４と、を有する。
【選択図】図７

Description

本発明は、クランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置に関する。
従来から、半導体を製造する半導体製造装置において、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）の搬送領域のパーティクルがＦＯＵＰの蓋体を介して基板搬送領域に混入することを防ぐべく、ＦＯＵＰの蓋体の前面が開閉ドアにより開閉される搬送口を向くようにＦＯＵＰを載置する載置台と、ＦＯＵＰに対向する対向面部に設けられるガス吐出口と、載置台に載置されたＦＯＵＰを対向面部に対して相対的に進退させる進退機構と、を備える蓋体開閉装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。かかる特許文献１に記載の蓋体開閉装置では、ガス吐出口からＦＯＵＰ蓋体までの距離が５ｍｍ以下であるときに蓋体へパージガスを供給することにより、蓋体と対向面部との間を流れるパージガスの流速が高くなり、蓋体のパーティクルを容易に除去することが可能となる。
また、帯電したウエハが収納された場合でも、内部に存在するパーティクルによってウエハが汚染されないように、接地要素を有する搬送装置が知られている（例えば、特許文献２参照）。かかる特許文献２に記載の搬送装置では、被搬送体を位置決めする第１の位置決め用ピンを有し、被搬送体に収納された被処理体を受け渡すための保持台と、被搬送体を保持台に載置するために、被搬送体を把持するアーム部と、保持台に載置された被搬送体を固定するための支持手段とを有し、第１の位置決め用ピン、アーム部及び支持手段の少なくとも１つが、接地要素を有するように構成している。
かかる蓋体開閉装置及び搬送装置によれば、ＦＯＵＰ又は被搬送体に収納された基板を基板搬送領域内に搬入する際に、パーティクルが基板搬送領域内に混入するのを防止するのに、一定の効果を得ることができる。
特開２０１２−２０４６４５号公報 特開２０１４−６７７４４号公報
しかしながら、近年、半導体製造工場の投資を抑制し、コストダウンを図る観点から、クリーンルーム内において、実際に基板の処理を行う領域の清浄度は高く保つが、ＦＯＵＰ等の基板収納容器を搬送する領域の清浄度を低下させ、ＦＯＵＰやＦＩＭＳ（Front-opening Interface Mechanical Standard）等の搬送装置側で清浄度を担保する要請がある。
このような要請に応えるためには、ＦＯＵＰ等の基板収納容器を基板搬送領域（基板処理領域）に搬入する際にも、基板収納容器の蓋等に付着したパーティクルの混入を防ぐとともに、基板収納容器の蓋を開閉する際のメカ機構で発生するパーティクルをも飛散させない構造を実現することが好ましい。
そこで、本発明は、ＦＯＵＰ等の基板収納容器から基板を取り出して基板搬送領域に搬入する際に必要な基板収納容器を固定するクランプメカにおいて、パーティクルの飛散を低減できるクランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るクランプ装置は、基板収納容器の正面に設けられた蓋を開閉する際、該基板収納容器を上方からクランプして前記基板収納容器を所定位置に固定可能なクランプ部材と、
前記クランプ部材を駆動する駆動機構と、
該駆動機構を覆うケーシングと、
該ケーシングと連通する吸い込み口を有し、該ケーシングの近隣に設けられた排気室と、
該排気室内に設けられたファンと、を有する。
本発明の他の態様に係る基板搬入出装置は、基板搬送領域と、基板収納容器搬送領域とを区画する隔壁と、
該隔壁に設けられた搬送口と、
該搬送口を開閉可能な開閉ドアと、
該搬送口の上方であって、前記隔壁の前記基板収納容器搬送領域側に取り付けられた前記クランプ装置と、
前記搬送口の水平方向両側であって、前記隔壁の前記基板収納容器搬送領域側に設けられた側面カバーと、を有する。
本発明の他の態様に係る基板処理装置は、前記基板搬入出装置と、
前記基板搬送領域内に設けられた前記基板を搬送する搬送機構と、
前記基板搬送領域内に設けられた処理容器と、を有する。
本発明によれば、ＦＩＭＳポートにおけるクランプ装置からのパーティクルの飛散を低減できる。
本発明の実施形態に係る基板処理装置の一例の概略構成図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置の一例の概略平面図である。 本発明の実施形態に係るキャリア搬送領域の一例の概略斜視図である。 キャリアの一例の概略構成図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例を搭載したＦＩＭＳポート付近の構成を示した斜視図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例を搭載したＦＩＭＳポート付近の構成を示した正面図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置のクランプ機構部の一例の内部構成を示した図である。 ケーシングの一例の構成を示す正面図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例の全体構成を示した正面斜視図である。 クランプカバーを除去した状態の本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例を示した図である。 排気室に形成された局所排気吸い込み口の一例を示した図である。 第１の排気室の一例の側断面図を示した図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置の下面を示した斜視図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例の全体斜視図である 本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例の第１及び第２の排気室の内部構成を示した斜視図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例の排気室の内部構成を示した分解斜視図である。 本発明の実施形態に係るクランプ装置の一例の排気室の気体の流れを説明するための図である。 本発明の実施例に係るクランプ装置のパーティクル測定点を示した図である。 本実施例に係るクランプ装置の測定結果を示した図である。
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。
〔基板処理装置〕
先ず、本発明の実施形態に係るクランプ装置を用いた本発明の実施形態に係る基板処理装置の構成例について説明する。図１に、本発明の実施形態に係る基板処理装置の一例の概略構成図を示す。また、図２に、本発明の実施形態に係る基板処理装置の一例の概略平面図を示す。さらに、図３に、本発明の実施形態に係るキャリア搬送領域の一例の概略斜視図を示す。なお、図２においては、説明のために、図１のロードポート１４の一方とＦＩＭＳポート２４とに、キャリアＣが載置されていない状態を示す。
なお、本発明の実施形態に係るクランプ装置は、縦型熱処理装置以外の種々の基板処理装置に適用することができるが、理解の容易のために、本実施形態においては、具体的な基板処理装置の１つとして縦型熱処理装置を用いて実施した例を挙げて説明する。
図１に示されるように、基板処理装置２００は、装置の外装体を構成する筐体２に収容されて構成される。筐体２内には、被処理体である半導体ウエハＷ（以後、ウエハＷ）を収容した容器であるキャリアＣが装置に対して搬入、搬出されるキャリア搬送領域Ｓ１と、キャリアＣ内のウエハＷを搬送して後述する熱処理炉２６内に搬入するウエハ搬送領域Ｓ２とが形成されている。
キャリアＣの構成の詳細については後述するが、ウエハＷを搬送する際には、ウエハＷの表面への異物の付着や自然酸化膜の形成を防止するために、ＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）と呼ばれる基板収納容器に半導体ウエハが収容され、容器内の清浄度が所定のレベルに保持される。
キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２とは、隔壁４により仕切られている。キャリア搬送領域Ｓ１は、大気雰囲気下にある領域であり、ウエハＷが収納されたキャリアＣを、基板処理装置２００内の後述する要素間で搬送する、外部から基板処理装置２００内に搬入する又は基板処理装置から外部へと搬出する領域である。一方、ウエハ搬送領域Ｓ２は、キャリアＣからウエハＷを取り出し、各種処理を施す領域であり、ウエハＷに酸化膜が形成されることを防ぐために、不活性ガス雰囲気、例えば窒素（Ｎ２）ガス雰囲気とされている。以後の説明では、キャリア搬送領域Ｓ１及びウエハ搬送領域Ｓ２の配列方向を前後方向（後述する第２の水平方向に対応）とし、キャリア搬送領域Ｓ１側を前方向、ウエハ搬送領域Ｓ２側を後方向とする。そして、この前後方向に垂直な水平方向を左右方向（後述する第１の水平方向に対応）とする。
なお、ウエハ搬送領域Ｓ２の天井部又は側壁部には、図示しないＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）又はＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low Penetration Air Filter）等のフィルタユニットが設けられ、これらのフィルタにより清浄化されたエアが供給される構成であっても良い。
隔壁４には、キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２との間でウエハＷを搬送するための搬送口６が設けられている。この搬送口６は、ＦＩＭＳ（Ｆｒｏｎｔ−Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｔａｎｄａｒｄ）規格に従ったドア機構８により開閉される。ドア機構８は、搬送口６を開閉する開閉ドア９（図６参照）と協働し、キャリア前面に設けられる蓋体を取外す機構を備えている。ドア機構８は、キャリア内とウエハ搬送領域との間でウエハＷを受け渡すために蓋体を開閉する役割と、ウエハ搬送領域Ｓ２をキャリア搬送領域Ｓ１から離間する役割がある。
キャリア搬送領域Ｓ１について説明する。キャリア搬送領域Ｓ１は、第１の搬送領域１０と、第１の搬送領域１０の後方側に位置する第２の搬送領域１２とから構成される。
図１に示すように、第１の搬送領域１０には、一例として上下２段かつ各段に左右２つ（図２参照）のロードポート１４が備えられている。ロードポート１４は、キャリアＣが基板処理装置２００に搬入されたときに、キャリアＣを受け入れる搬入用の載置台である。
ロードポート１４は、筐体２の壁が開放された箇所に設けられ、外部から基板処理装置２００へのアクセスが可能となっている。具体的には、本実施形態に係る基板処理装置２００の外部に設けられた図示しない搬送装置によって、ロードポート１４上へのキャリアＣの搬入載置と、ロードポート１４から外部へのキャリアＣの搬出が可能となっている。また、ロードポート１４は、例えば上下に２段存在するため、両方でのキャリアＣの搬入及び搬出が可能となっている。
また、第１の搬送領域１０の上下２段のロードポート１４の下段には、キャリアＣを保管できるようにするために、ストッカ１６が備えられていても良い。
図２に示すように、ロードポート１４のキャリアＣ載置面には、キャリアＣを位置決めする位置決めピン１８が、例えば３箇所に設けられている。また、ロードポート１４上にキャリアＣを載置した状態において、ロードポート１４は、前後方向に移動可能に構成されてもよい。
ロードポート１４には、図２に示すように、供給ノズル２０ａと、排気ノズル２０ｂとが設けられていても良い。キャリアＣの底面には、吸気口２２ａ及び排気口２２ｂ（後述する図４（ｂ）参照）が設けられていることが一般的であり、ロードポート１４は、キャリアＣが載置されたときに、キャリアＣの吸気口２２ａに対応する位置に供給ノズル２０ａが、キャリアＣの排気口２２ｂに対応する位置に排気ノズル２０ｂが設けられるようにしても良い。このような供給ノズル２０ａ、排気ノズル２０ｂを設けることにより、キャリアＣがロードポート１４上に載置された際、キャリアＣの内部に不活性ガスを供給し、キャリアＣ内部の窒素置換を行うことができる。これにより、空間内が不活性ガスで満たされているものの、不活性ガスの供給が無い状態で搬送されてきたキャリアＣは、ロードポート１４に搬入された段階ですぐに不活性ガスの供給を再開することができる。
第２の搬送領域１２の下部側には、上下方向に並んで２つのＦＩＭＳポート２４が配置されている。ＦＩＭＳポート２４は、キャリアＣ内のウエハＷを、ウエハ搬送領域Ｓ２内の後述する熱処理炉２６に対して搬入及び搬出する際に、キャリアＣを保持する保持台である。ＦＩＭＳポート２４は、前後方向に移動自在に構成されている。図２に示すように、ＦＩＭＳポート２４の載置面にも、ロードポート１４と同様に、キャリアＣを位置決めする位置決めピン１８が、３箇所に設けられている。
ＦＩＭＳポート２４の上方には、キャリアＣを固定するためのクランプ装置１００が設けられる。クランプ装置１００は、キャリアＣからウエハＷを搬出する際、キャリアＣが隔壁４と密着した状態でキャリアＣの蓋体６８を開放するが、その際、キャリアＣを隔壁４と密着した所定位置に固定する役割を果たす。本実施形態に係るクランプ装置１００では、クランプ装置１００のメカ部分からのパーティクルの飛散を防止するとともに、キャリアＣの蓋体６８からパーティクルがウエハ搬送領域Ｓ２に巻き込まれることを防止する構成及び機能を有するが、この点の詳細については後述する。
第２の搬送領域１２の上部側には、キャリアＣを保管するストッカ１６が設けられている。ストッカ１６は、２段以上（図１に示す例では３段）の棚により構成されており、各々の棚は、左右方向に２つ以上のキャリアＣを載置することができる。また、第２の搬送領域１２の下部側であって、キャリア載置台が配置されていない領域にも、ストッカ１６を配置する構成であっても良い。
ストッカ１６の底面にも、ロードポート１４と同じように、前述した供給ノズル２０ａ及び排気ノズル２０ｂを設け、ストッカ１６上に載置されたキャリアＣの内部を不活性ガスに置換可能とする構成であっても良い。
第１の搬送領域１０と第２の搬送領域１２との間には、キャリアＣを、ロードポート１４とＦＩＭＳポート２４とストッカ１６との間で搬送するキャリア搬送機構３０が設けられている。
図２に示すように、キャリア搬送機構３０は、上下方向に伸びる第１のガイド部３２と、この第１のガイド部３２に接続され、左右方向（第１の水平方向）に伸びる第２のガイド部３４と、この第２のガイド部３４にガイドされながら左右方向に移動する移動部３６と、この移動部３６に設けられる、（多）関節アーム部３８（図２に示す例では１つの関節を有する２つのアーム部）と、を備えている。
また、図１に示すように、多関節アーム部３８の先端には、ハンド部４４が設けられている。ハンド部４４には、キャリアＣを位置決めする位置決めピン１８が、３箇所に設けられている。
前述したように、隔壁４には、キャリア搬送領域Ｓ１とウエハ搬送領域Ｓ２とを連通させるウエハＷの搬送口６が設けられている。搬送口６には、搬送口６をウエハ搬送領域Ｓ２側から塞ぐドア機構８が設けられている。ドア機構８には、蓋体開閉装置７の駆動機構が接続されており、駆動機構によりドア機構８は前後方向及び上下方向に移動自在に構成され、搬送口６が開閉される。
次に、ウエハ搬送領域Ｓ２について説明する。
ウエハ搬送領域Ｓ２には、下端が炉口として開口された縦型の熱処理炉２６が設けられている。熱処理炉２６は、ウエハＷを内部に収容し、ウエハＷを加熱して熱処理を行うための処理容器である。なお、本実施形態では、処理容器が熱処理炉２６として構成されている例を挙げているが、本実施形態に係るクランプ装置及びこれを用いた基板搬入出装置、並びに基板処理装置は、種々の基板処理装置に適用することができ、熱処理装置以外の他の基板処理装置に適用する場合は、その基板処理装置で実施する基板処理に適合した処理容器として構成される。この熱処理炉２６の下方側には、多数枚のウエハＷを棚状に保持するウエハボート５０が、保温筒５２を介してキャップ５４の上に載置されている。別の言い方をすると、キャップ５４は、ウエハボート５０の下方側に、ウエハボート５０と一体的に設けられている。
キャップ５４は、図示しない昇降機構の上に支持されており、この昇降機構によりウエハボート５０が熱処理炉２６に対して搬入又は搬出される。
ウエハボート５０は、例えば、石英製であり、大口径例えば直径４５０ｍｍ又は３００ｍｍ等のウエハＷを、水平状態で上下方向に所定の間隔で搭載するように構成されている。一般的に、ウエハボート５０に収容されるウエハＷの枚数は、限定されないが、例えば５０〜１５０枚程度である。
また、ウエハボート５０と隔壁４の搬送口６との間には、ウエハ移載機構５６が設けられている。図２に示すように、このウエハ移載機構５６は、ＦＩＭＳポート２４上に保持されたキャリアＣと、ウエハボート５０との間でウエハＷの移載を行うためのものである。ウエハ移載機構５６は、左右方向に伸びるガイド機構５８に沿って移動すると共に、鉛直軸回りに回動する移動体６０に、５枚の進退自在なフォーク６２（移載板）を設けて構成される。
〔キャリア〕
次に、キャリアＣの構成について、図４（ａ）、図４（ｂ）を参照して説明する。
図４（ａ）に、キャリアＣの一例の概略斜視図を示す。また、図４（ｂ）に、キャリアＣの底面の一例の概略図を示す。
キャリアＣは、主として、一側面に開口部６４が形成された収納容器本体６６と、この開口部６４を封止する蓋体６８とを有する。
収納容器本体６６に形成される開口部６４は、ウエハＷを搬出入するためのものであり、収納容器本体６６の側面であって、ＦＩＭＳポート２４に載置される際に搬送口６と対向する面に設けられている。
収納容器本体６６の内部の左右には、ウエハＷの裏面側を支持する支持部７０（ティース）が複数段で設けられている。
収納容器本体６６の開口部６４側の内周には、係合溝７２が形成されており、蓋体６８の係合部７４が、この係合溝７２に係合することによって、蓋体６８が収納容器本体６６に固定される。
キャリアＣの頂面には、例えば矩形状の首部７６が形成され、この首部７６の上端には、矩形状に張り出したフランジ部４０が形成されている。
また、フランジ部４０の上面には、クランプ装置１００によるキャリアＣの固定が可能なように、係合窪み４１が形成されている。クランプ装置１００は、係合窪み４１と係合するクランプ部材を用いて、キャリアＣを固定する。なお、クランプ装置１００の構成及び機能の詳細については後述する。
キャリアＣの底面には、図４（ｂ）に示すように、１つ又は複数の位置決め溝７８が形成される。前述したように、ロードポート１４、ストッカ１６、ＦＩＭＳポート２４及びキャリア搬送機構３０には、各々、位置決め溝７８に係合する位置決めピン１８が形成されている。この位置決めピン１８及び位置決め溝７８によって、キャリアＣをロードポート１４、ストッカ１６、ＦＩＭＳポート２４又はキャリア搬送機構３０に載置した場合に、キャリアＣが所定の位置に位置決めされる。なお、図４（ｂ）には、３つの位置決め溝が形成される例を示したが、この数は限定されない。
〔クランプ装置〕
次に、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００について説明する。
図５は、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００の一例を搭載したＦＩＭＳポート２４付近の構成を示した斜視図である。また、図６は、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００の一例を搭載したＦＩＭＳポート２４付近の構成を示した正面図である。
図６に示すように、クランプ装置１００は、ＦＩＭＳポート２４の上方の位置であって、隔壁４に取り付けられて設けられる。より詳細には、図６に示すように、クランプ装置１００は、開閉ドア９の上方に設けられる。開閉ドア９は、搬送口６をウエハ搬送領域Ｓ２側から塞ぐ扉である。開閉ドア９は、ドア機構８により移動可能に構成され、ドア機構８と協働してキャリアＣの蓋体６８を開閉する。図６に示すように、クランプ装置１００の下面には、クランプ部材８１が設けられ、キャリアＣがＦＩＭＳポート２４上に載置されたときに、キャリアＣのフランジ部４０の上面に形成された係合窪み４１と係合するとともに、係合窪み４１を押圧固定可能な構成となっている。また、図６に示すように、開閉ドア９の水平方向の両側辺を囲むように、隔壁４から垂直に水平方向に延びた側面カバー５が設けられている。キャリアＣがＦＩＭＳポート２４上に載置されたときに、側面カバー５でキャリアＣの側面の開口付近を覆い、クランプ装置１００でキャリアＣの上面の開口付近を覆うことができ、外部からのパーティクルの巻き込みを防止できる構成となっている。
図７は、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００のクランプ機構部８０の一例の内部構成を示した図である。クランプ機構部８０は、クランプ部材８１と、クランプ固定部材８２と、ケーシング８５と、駆動部８６と、リニアガイド８７と、局所排気ダクト８８とを有する。ケーシング８５は、ケーシング可動部８３と、ケーシング固定部８４とを有する。また、駆動部８６は、駆動力発生部８６ａと、シリンダロッド８６ｂと、エアダクト８６ｃと、シリンダロッド固定部材８６ｄとを有する。更に、リニアガイド８７は、リニアガイド固定部８７ａと、リニアガイド可動部８７ｂとを有する。
クランプ部材８１は、キャリアＣに接触するとともに、キャリアＣのフランジ部４０の係合窪み４１と係合可能に構成されたキャリアＣを固定保持する手段である。よって、クランプ部材８１は、係合窪み４１と係合可能な形状を有し、具体的には、円盤の下面に円錐台の形状を有する部材が取り付けられた構成を有する。クランプ部材８１は、下降することにより係合窪み４１と係合し、更にフランジ部４０を押圧することにより、キャリアＣを固定する。クランプ部材８１は、キャリアＣを固定可能であれば、種々の形状又は構造を有して構成されてよい。
クランプ固定部材８２は、クランプ部材８１をケーシング可動部８３の下面に固定するための部材である。クランプ固定部材８２は、例えば、ナット等の締結部材で構成されてもよいし、他の固定部材として構成されてもよい。また、クランプ固定部材８２は、クランプ部材８１の高さを調整可能な固定部材であってもよい。図７に示すように、クランプ部材８１は、ケーシング８５から露出して設けられ、ケーシング可動部８３の下面に接続固定される。
ケーシング８５は、駆動部８６を含めて、クランプ部材８１以外のクランプ機構部８０の構成要素を収容するための筐体である。ケーシング８５は、ケーシング可動部８３とケーシング固定部８４とを有する。
ケーシング可動部８３は、クランプ部材８１が連結され、クランプ固定部材８２とともに上下動可能なケーシング部分である。ケーシング可動部８３は、クランプ固定部材８２と、駆動部８６のシリンダロッド８６ｂの大部分を覆う。シリンダロッド８６ｂは、駆動部８６のうち、駆動力により駆動されて運動する部分であり、駆動力を駆動対象物に伝達する役割を果たす。図７においては、シリンダロッド８６ｂが、シリンダロッド固定部材８６ｄによりケーシング可動部８３の底面に固定され、上下動の駆動力をケーシング可動部８３に伝達する。ケーシング可動部８３は、クランプ部材８１を支持し、クランプ部材８１に上下動の駆動力を伝達するクランプアームとしての役割を果たすとともに、発塵源となるシリンダロッド８６ｂの大部分を覆い、シリンダロッド８６ｂからの発塵したパーティクルＰ２の飛散を防止する。つまり、ケーシング可動部８３は、クランプアーム兼飛散防止カバーとして機能する。
なお、ケーシング可動部８３は、下方は直方体の形状を有するが、上面は傾斜した平面から構成されている。上面が傾斜しているのは、ケーシング可動部８３が上昇しても、上面が駆動力発生部８６ａに接触しない構成とするためであり、ケーシング可動部８３の上下の可動域を広くするためである。
ケーシング固定部８４は、駆動部８６の駆動力発生部８６ａと、シリンダロッド８６ｂの上部と、リニアガイド８７と、局所排気ダクト８８とを覆うケーシング部分である。ケーシング固定部８４は、静止した状態で隔壁４に固定されて設けられるケーシング部分である。ケーシング固定部８４は、クランプ駆動部８０のうち、静止した構成要素を基本的に収容する。
図８は、ケーシング８５の一例の構成を示す正面図である。図８に示すように、ケーシング固定部８４は、底面が開口し、開口部８４ａを有して構成される。そして、ケーシング可動部８３が、ケーシング固定部８４の開口部８４ａに上下動可能に挿入されてケーシング８５が構成される。ケーシング可動部８３は、ケーシング固定部８４の側面８４ｂに沿って上下動し、キャリアＣをクランプするときには下降して開口部８４ａよりも下方に突出し、キャリアＣをアンクランプするときには上昇し、開口部８４ａ内に収容される。
再び図７を参照すると、クランプ固定部８４とクランプ可動部８３とは、クランプ固定部８４の底面の開口部８４ａに、クランプ可動部８３が上下動可能に挿入された構造であることが分かる。クランプ固定部８４は、全体としては、底面を有しない直方体の形状を有する。
ケーシング固定部８４の側面８４ｂには、開口８４ｃが設けられており、ケーシング８５内のパーティクルをケーシング８５の外部に排出できる構造となっている。なお、この点については後述する。
駆動部８６は、クランプ部材８１を上下駆動するための手段であり、上述のように、駆動力発生部８６ａと、シリンダロッド８６ｂと、エアダクト８６ｃと、シリンダロッド固定部材８６ｄとを有する。
駆動力発生部８６ａは、上下動の駆動力を発生するための部分である。図７の例においては、エア駆動によりクランプ部材８１を駆動する例が挙げられているため、駆動力発生部８６ａは、エアシリンダとして構成される。よって、駆動力発生部８６ａにエアが供給されることにより、シリンダロッド８６ｂが駆動される。
シリンダロッド８６ｂは、駆動力発生部８６ａで発生した駆動力により運動する運動部であり、かかる運動を駆動対象物に連結することにより、駆動力発生部８６ａで発生した駆動力を伝達する。図７の例では、シリンダロッド８６ｂの下端に、シリンダロッド固定部材８６ｄを用いてケーシング可動部８３が連結されており、シリンダロッド８６ｂを介して、駆動力発生部８６ａで発生した駆動力がケーシング可動部８３に伝達され、ケーシング可動部８３が上下動する。
エアダクト８６ｃは、エアシリンダとして構成された駆動力発生部８６ａに供給されたエアを排出するためのダクトである。エアシリンダは、機械的な構造物であるため、エアダクト８６ｃから排出されるエアから、エアリーク発塵が発生する可能性がある。よって、エアリーク発塵によるパーティクルＰ１も、局所排気ダクト８８により排気される対象となる。
リニアガイド８７は、クランプアームとして上下運動するケーシング可動部８３の上下動をガイドするための部材である。リニアガイド８７は、リニアガイド固定部８７ａとリニアガイド可動部８７ｂとを有し、ともに略直方体の形状を有する。リニアガイド固定部８７ａをリニアガイド可動部８７ｂが外嵌して構成され、ケーシング可動部８３がリニアガイド８７に沿って直線的に上下動するのに寄与する。なお、リニアガイド可動部８７ｂは、ケーシング可動部８３の奥側の外面に取り付け固定され、ケーシング可動部８３の上下動の際、リニアガイド固定部８７ａに沿って上下動し、ケーシング可動部８３の上下動をガイドする。リニアガイド８７は、ケーシング可動部８３の上下動の軌道を効果的にガイドすべく、左右並んで２個配置されてもよい。図７においては、２個のリニアガイド８７が設けられた例が示されている。
なお、駆動部８６とリニアガイド８７は、ともに機械的な構成要素であり、協働してケーシング可動部８３の上下駆動の役割を担う駆動機構の一部である。よって、駆動部８６とリニアガイド８７は、クランプ部材８１及びケーシング可動部８３を上下動させる駆動機構を構成する。
局所排気ダクト８８は、駆動部８６及びリニアガイド８７からの発塵を排気するためのダクトであり、駆動部８６及びリニアガイド８７の近くに選択的に配置される。図７に示すように、駆動部８６には、エアリーク発塵によりパーティクルＰ１が発生し、シリンダロッド発塵によりパーティクルＰ２が発生するおそれがある。また、リニアガイド２７からも、リニアガイド発塵により、パーティクルＰ３が発生するおそれがある。よって、局所排気ダクト８８は、これらの駆動機構からの発塵によるパーティクルＰ１〜Ｐ３を吸い込み、排気してクランプ機構部８０からパーティクルＰ１〜Ｐ３が飛散させない役割を果たす。
局所排気ダクト８８は、全体としてＴ字の形状を有し、鉛直方向に延びた部分の両側面に吸い込み口８８ａを有する。そして、図７に示すように、吸い込み口８８ａは、エアリーク発塵によるパーティクルＰ１、シリンダロッド発塵によるパーティクルＰ２及びリニアガイド発塵によるパーティクルＰ３に近いので、これらの発塵によるパーティクルＰ１〜Ｐ３を効率的に吸引することができ、ケーシング８５内を清浄に保つことができる。
局所排気ダクト８８は、Ｔ字の水平方向に延びた部分の両端が排出口８８ｂとなっており、ケーシング固定部８４の排出口８４ｃに連結されている。かかる構成により、吸い込み口８８ａから吸い込んだパーティクルＰ１〜Ｐ３を、確実にケーシング８５の外部に排出できる構造となっている。
なお、局所排気ダクト８８は、必ずしも必須の構成要素ではなく、必要に応じて設けるようにしてもよい。即ち、局所排気ダクト８８を設けなくても、ケーシング固定部８４の排出口８４ｃから直接的にパーティクルＰ１〜Ｐ３をケーシング８５の外部に排出することは可能である。
しなしながら、ケーシング固定部８４の排出口８４ｃは、駆動部８６及びリニアガイド８７の発塵の多い箇所に設けられている訳ではなく、ケーシング固定部８４の排出口８４ｃから吸引を行っても、吸引力が効率的にパーティクルＰ１〜Ｐ３に作用しないおそれがある。一方、局所排気ダクト８８を設ければ、駆動部８６及びリニアガイド８７の発塵の多い箇所付近に吸引力を作用させることができ、パーティクルＰ１〜Ｐ３を効率的に吸引することができる。よって、より効率的なパーティクルＰ１〜Ｐ３の排出の観点からは、局所排気ダクト８８を設けることが好ましい。
次に、クランプ装置１００の全体的な構成について説明する。
図９は、クランプ装置１００の一例の全体構成を示した正面斜視図である。図９に示すように、クランプ装置１００は、図７、８において説明したクランプ機構部８０を中央に有し、その両側面に排気室９０を有する。排気室９０は、正面左側に設けられた第１の排気室９０ａと、正面右側に設けられた第２の排気室９０ｂと、クランプ機構部８０の奥側に設けられ、第１の排気室９０ａと第２の排気室９０ｂとを連結する第３の排気室９０ｃとを有する。なお、クランプ機構部８０は、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂと同様の外形を有し、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂと連続して一体的な形状を構成するクランプカバー８９により覆われている。
第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの上面には、内蔵ファン吸い込み口９２が形成されている。図９には示されていないが、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂ内にはファン及び清浄フィルタが設けられており、クランプ機構部８０からのパーティクルＰ１〜Ｐ３を含む気体を吸引するとともに、クランプ装置１００の外部からも気体を吸引して送風し、清浄フィルタを経由して浄化された気体をキャリアＣに供給できる構成となっている。内部構造の詳細は後述するが、内蔵したファンによりクランプ装置１００の外部からも気体を吸引すべく、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの上面には、複数の内蔵ファン吸い込み口９２が設けられている。
また、第２の排気室９０ｂの手前側には、第２の排気室９０ｂと外形的には一体的に構成されているが、排気室としての機能は有しておらず、他の部品を収納している収納部９０ｄが設けられている。収納部９０ｄは、設けられていなくてもよい。
図１０は、クランプカバー８９を除去した状態のクランプ装置１００の一例を示した図である。図１０に示すように、クランプ機構部８０は、クランプ装置１００の中央奥側に配置される。クランプカバー８９で覆うことにより、排気室９０と一体的な外形を構成することができる。
図１１は、排気室９０に形成された局所排気吸い込み口９１の一例を示した図である。図１１に示すように、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの側面には、局所排気吸い込み口９１が形成される。局所排気吸い込み口９１は、クランプ機構部８０のケーシング固定部８４の側面８４ｂに形成された開口８４ｃから、クランプ機構部８０のケーシング８５内で発塵したパーティクルP１〜P３を含む気体を吸い込むための吸い込み口である。なお、ケーシング固定部８４内に局所排気ダクト８８が設けられている場合には、局所排気ダクト８８の排出口８８ｂが局所排気吸い込み口９１に連結される。
図１２は、第１の排気室９０ａの一例の側断面図を示した図である。より詳細には、図１２は、図１１における第１の排気室９０ａのＡ−Ａ'断面を示した図である。
第１の排気室９０ａは、局所排気吸い込み口９１と、内蔵ファン吸い込み口９２と、陰圧室９３と、ファン９４と、仕切９５と、陽圧室９６と、フィルタ９７とを備える。第１の排気室９０ａの内部は、仕切９５により、陰圧室９３と陽圧室９６とに仕切られる。陰圧室９３は、局所排気吸い込み口９１及び内蔵ファン吸い込み口９２と連通し、第１の排気室９０ａの上部に設けられる。陰圧室９３内には、ファン９４が設けられ、ファン９４により局所排気吸い込み口９１からパーティクルＰ１〜Ｐ３を含む気体、内蔵ファン吸い込み口９２からクランプ装置１００の外部の気体の吸引が可能に構成されている。局所排気吸い込み口９１からパーティクルＰ１〜Ｐ３を含む気体と、内蔵ファン吸い込み口９２からクランプ装置１００の外部の気体とは、陰圧室９３内で合流する。陰圧室９３の内部は、ファン９４による排気により、クランプ装置１００の外部よりも圧力が低い陰圧状態に保たれる。ファン９４は、吸い込んだ局所排気吸い込み口９１からパーティクルＰ１〜Ｐ３を含む気体と、内蔵ファン吸い込み口９２からクランプ装置１００の外部の気体とを、陽圧室９６に送風する。
陽圧室９６は、第１の排気室９０ａ内の、陰圧室９３以外の領域を占め、陰圧室９３の下方と、陰圧室９３の存在しない領域の上部及び下部を含む全体を占める。陽圧室９６の底面上には、フィルタ９７が設けられる。フィルタ９７は、気体を清浄化するための清浄フィルタであり、例えば、上述のＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等を用いることができる。フィルタ９７により清浄化された気体は、キャリアＣが固定される所定位置の周辺にダウンフローとして供給される。ファン９４は、キャリアＣがＦＩＭＳポート２４上に載置される前から連続的に動作しているので、ＦＩＭＳポート２４上には常に清浄気体がダウンフローとして供給されており、キャリアＣが、蓋体６８の開放を行う所定位置に接近して移動している間、上方から清浄気体のシャワーを浴びることになる。よって、キャリアＣの蓋体６８の開放を行う前に、キャリアＣの蓋体６８付近に付着したパーティクルを清浄気体のダウンフローにより除去することが可能となり、蓋体６８の開放の際、蓋体６８付近のパーティクルがウエハ搬送領域Ｓ２内に混入することを防止することができる。
このように、本実施形態に係るクランプ装置１００は、クランプ機構部８０で発生するパーティクルの外部への飛散を防ぐだけでなく、キャリアＣの清浄化をも行うことができ、クリーンルームのクリーン度が低下した環境においても、清浄な状態でウエハＷをウエハ搬送領域Ｓ２内に搬入することができる。
なお、フィルタ９７が陽圧室９６の底面上に配置されることは必須ではなく、フィルタ９７を介して清浄化された気体を、ダウンフローによりキャリアＣが載置される所定位置周辺に供給することができれば、フィルタ９７は種々の位置に配置されてよい。
また、本実施形態においては、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂをキャリアＣの上面付近に配置しているが、キャリアＣの側面付近に配置し、キャリアＣの側面からサイドフローを供給するような構成であってもよい。
また、陽圧室９６は、ファン９４から気体が送風されるので、クランプ装置１００の外部よりも圧力が高い陽圧状態に保たれる。第２の排気室９０ｂも、図１２に示した第１の排気室９０ａと同様に構成されてよく、第２の排気室９０ｂ内にファン９４、フィルタ９７等を別個に備えてよい。また、第１の排気室９０ａと第２の排気室９０ｂとを連結する第３の排気室９０ｃは、陽圧室９６と連通する陽圧路として構成される。
図１３は、クランプ装置１００の下面を示した斜視図である。クランプ装置１００の排気室９０の下面９８は、クリーンエア等の清浄気体の吹き出し面として構成され、フィルタ９７により清浄化された空気等の気体が供給される。また、図１３に示すように、クランプ機構部８０の底面には、クランプ部材８１及びケーシング可動部８３が配置され、キャリアＣをクランプして固定することが可能に構成されている。
図１４は、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００の一例の全体斜視図である。図１４に示すクランプ装置１００においては、収納部９０ｄは除去され、第１の排気室９０ａと第２の排気室９０ｂとが対称な形状を有している。図１４に示すように、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの上面に形成される内蔵ファン吸い込み口９２は、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの上面の大半の領域に形成される。このように、ファン９４が十分にフィルタ９７に気体を送風できるよう、内蔵ファン吸い込み口９２は、多数形成されてよい。
図１５は、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００の一例の第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの内部構成を示した斜視図である。図１５において、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂ内に設けられたファン９４が示されている。ファン９４は、内蔵ファン吸い込み口９２から吸い込んだ気体を陽圧室９６に送風できれば、種々のファン９４を用いてよいが、例えば、シロッコファンを用いてもよい。シロッコファンは、ファンの回転軸方向の上方から吸い込んだ気体を、回転軸方向の回転方向に送風することが可能なファンであり、ファンの回転軸の一方から他方側に送風する軸流ファンとは異なる方向の送風が可能である。図１２に示した通り、ファン９４が設けられる陰圧室９３は扁平な形状を有しており、また、図１に示した通り、クランプ装置１００を設けることが可能なスペースは、キャリアＣの高さよりも狭く、非常に小さい。このような小さなスペースにファン９４を設け、局所的な排気を行うためには、扁平な形状に対応可能なファン９４を用いることが好ましい。よって、本実施形態に係るクランプ装置１００においては、ファン９４として、シロッコファンを用いた例を挙げている。しかしながら、クランプ装置１００は、種々の基板処理装置に適用することができ、スペースを十分にとることが可能な用途も考えられるので、ファン９４は、用途に応じて適切なファン９４を選択して用いることができる。
図１６は、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００の一例の排気室９０の内部構成を示した分解斜視図である。図１６に示すように、陰圧室９３と陽圧室９６は、仕切９５により仕切られ、陽圧室９６の底面には、フィルタ９７が設けられている。フィルタ９７は、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂのみならず、第３の排気室９０ｃの底面にも設けられている。かかる構成により、清浄気体をＦＩＭＳポート２４の比較的広い領域にダウンフローで供給することができ、キャリアＣを確実に清浄化することができる。
図１７は、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００の一例の排気室９０の気体の流れを説明するための図である。図１７に示す通り、局所排気吸い込み口９１からクランプ機構部８０で発生したパーティクルＰ１〜Ｐ３を含む気体Ｆ１が吸い込まれ、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの陰圧室９３に送られる。また、第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの上面の内蔵ファン吸い込み口９２から吸い込まれた気体Ｆ２も第１及び第２の排気室９０ａ、９０ｂの陰圧室９３に送られる。そして、陰圧室９３で合流した気体Ｆ１、Ｆ２は、ファン９４により、陰圧室９３から陽圧室９６に送られる。陽圧室９６に送られた気体Ｆ１、Ｆ２は、フィルタ９７を経由して清浄化され、清浄化された気体Ｆ３が排気室９０の下面９８から下方に向かって供給される。
このように、本実施形態に係るクランプ装置１００によれば、クランプ機構部８０の駆動機構から発生するパーティクルＰ１〜Ｐ３の飛散を防止できるとともに、ＦＩＭＳポート２４に搬送されるキャリアＣに清浄気体をダウンフローでシャワーのように供給して蓋体６８付近のパーティクルを除去でき、ウエハＷのウエハ搬送領域Ｓ２への搬入及びウエハＷのキャリア搬送領域Ｓ１への搬出の際のウエハ搬送領域Ｓ２へのパーティクルの混入を効果的に防止することができる。
なお、本実施形態に係るクランプ装置１００と、ＦＩＭＳポート２４と、ドア機構８を含む蓋体開閉装置７とで、基板搬入出装置を構成する。
〔動作〕
次に、本発明の実施形態に係るクランプ装置１００を含む基板搬入出装置と、ウエハ移載機構５６とを用いたウエハＷの搬送動作について説明する。
先ず、図１、２に示されるように、キャリアＣが載置されたロードポート１４を、第２の水平方向のＦＩＭＳポート２４側に所定距離移動させる。
次に、ハンド部４４の位置決めピン１８とキャリアＣの下面の位置決め溝７８と係合する位置にハンド部４４を移動させる。
そして、ハンド部４４を上昇させて、キャリアＣをハンド部４４に載置させる。
次に、さらにハンド部４４を上昇させて、キャリアＣをロードポート１４から外す。
そして、キャリアＣを載置したハンド部４４を、ロードポート１４側からＦＩＭＳポート２４へと搬送する。次に、キャリアＣを載置したハンド部４４を、ＦＩＭＳポート２４の上方へと移動させると共に、ハンド部４４を下降させてＦＩＭＳポート２４上へとキャリアＣを載置する。
キャリアＣは、隔壁４の搬送口６に向かってスライド移動し、所定位置に到達したら、クランプ装置１００のクランプ部材８１が下降し、キャリアＣを固定する。その際、クランプ装置１００の下面９８から清浄気体によるダウンフローがシャワーのように供給され、キャリアＣの蓋体６８及びその周辺は清浄化される。
蓋体開閉装置７により、ドア機構８を用いて蓋体６８が開放される。蓋体６８が開放されても、蓋体６８及びその周囲は清浄化されているので、パーティクルはウエハ搬送領域Ｓ２内に混入しない。また、クランプ装置１００のクランプ機構部８０内の駆動機構８６、８７で発生するパーティクルも飛散しない。
ウエハ移載機構５６により、ウエハボート５０にウエハＷが移載される。ウエハボート５０に所定枚数のウエハＷが載置された後は、ウエハボート５０が熱処理炉６２内に搬入され、所定の熱処理が行われる。
熱処理が終了後は、処理後のウエハＷが、ウエハ移載機構５６により、ＦＩＭＳポート２４上のキャリアＣに搬出されるが、このときも、クランプ装置１００から清浄気体がキャリアＣに供給されているため、ウエハ搬送領域Ｓ２へのパーティクルの混入を防止することができる。
このように、本実施形態に係るクランプ装置１００、基板搬入出装置及び基板処理装置によれば、ＦＩＭＳポート２４の上方に設けたクランプ装置１００から清浄気体をダウンフローで供給することにより、キャリアＣとウエハ搬送領域Ｓ２との間でウエハＷを搬送する際のウエハ搬送領域Ｓ２へのパーティクルの混入を低減することができる。
〔実施例〕
次に、図１８及び図１９を用いて、本発明の実施形態に係るクランプ装置を実施した実施例について説明する。図１８は、本発明の実施例に係るクランプ装置のパーティクル測定点を示した図である。図１８に示すように、ドア機構の９箇所において、測定点Ｍ１〜Ｍ９を設定した。そして、本発明の実施例に係るクランプ装置の動作前と動作後におけるパーティクル数を測定した。
なお、本実施例に係るクランプ装置の効果を示すため、クリーンルームレベルの環境ではなく、もっとパーティクル数の多い通常の部屋のレベルに近い状態で測定を行った。
図１９は、本実施例に係るクランプ装置の測定結果を示した図である。図１９において、各測定点Ｍ１〜Ｍ９におけるクランプ装置動作前（Initial）と動作後（After）の測定結果が示されている。
図１９に示されるように、測定点Ｍ１〜Ｍ１９の総てにおいて、パーティクル数が１００００個レベルから数１０個〜数１０００個レベルに減少しており、９０％程度以上パーティクル数を減少させることができた。
このように、本実施例に係るクランプ装置によれは、開閉を行うドア機構付近において、大幅にパーティクルを減少させることができ、従って、ウエハ搬送領域へのパーティクルの混入も著しく減少させることができる。
以上、本発明の好ましい実施形態及び実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施形態及び実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施形態及び実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
２ 筐体
４ 隔壁
６ 搬送口
７ 蓋体開閉装置
８ ドア機構
２４ ＦＩＭＳポート
２６ 熱処理炉
４０ フランジ部
４１ 係合窪み
５６ ウエハ移載機構
６８ 蓋体
８０ クランプ機構部
８１ クランプ部材
８３ ケーシング可動部
８４ ケーシング固定部
８５ ケーシング
８６ 駆動部
８６ａ 駆動力発生部
８６ｂ シリンダロッド
８７ リニアガイド
８７ａ リニアガイド固定部
８７ｂ リニアガイド可動部
８８ 局所排気ダクト
８８ｂ 排出口
８９ クランプカバー
９０、９０ａ〜９０ｃ 排気室
９１ 局所排気吸い込み口
９２ 内蔵ファン吸い込み口
９３ 陰圧室
９４ ファン
９５ 仕切
９６ 陽圧室
９７ フィルタ
１００ クランプ装置
２００ 熱処理装置
Ｃ キャリア
Ｗ ウエハ

Claims (20)

  1. 基板収納容器の正面に設けられた蓋体を開閉する際、該基板収納容器に上方から接触して前記基板収納容器を所定位置に固定可能なクランプ部材と、
    前記クランプ部材を駆動する駆動機構と、
    該駆動機構を覆うケーシングと、
    該ケーシングと連通する吸い込み口を有し、該ケーシングの近隣に設けられた排気室と、
    該排気室内に設けられたファンと、を有するクランプ装置。
  2. 前記ケーシング内には、前記駆動機構付近に選択的に配置された局所排気ダクトが設けられている請求項１に記載のクランプ装置。
  3. 前記局所排気ダクトは、前記吸い込み口に連通している請求項２に記載のクランプ装置。
  4. 前記ケーシングと前記排気室とは隣接しており、前記局所排気ダクトの排出口は前記吸い込み口に直結している請求項２又は３に記載のクランプ装置。
  5. 前記排気室は、前記ケーシングの両側面に隣接して設けられ、前記ケーシングの両側に前記ファンが設けられた請求項４に記載のクランプ装置。
  6. 前記ケーシングの両側面に隣接して設けられた前記排気室は、互いに連通している請求項５に記載のクランプ装置。
  7. 前記ケーシングは、前記クランプ部材に連結され、前記クランプ部材とともに上下動可能な可動部と、前記駆動機構の少なくとも一部及び前記局所排気ダクトを収容する固定部と、を有する請求項２乃至６のいずれか一項に記載のクランプ装置。
  8. 前記駆動機構は、駆動力を発生させる駆動力発生部と、該駆動力により運動する運動部とを有し、
    前記可動部は、前記運動部の少なくとも一部を収容し、
    前記固定部は、前記駆動力発生部を収容する請求項７に記載のクランプ装置。
  9. 前記可動部は、前記固定部の底部の開口に挿入されて設けられ、
    該開口の周囲の少なくとも一部には、前記可動部の側面と平行な壁が形成された請求項７又は８に記載のクランプ装置。
  10. 前記排気室と連続した一体的形状を有し、前記ケーシングを覆うカバー部材を更に有する請求項１乃至９のいずれか一項に記載のクランプ装置。
  11. 前記ファンは、シロッコファンである請求項１乃至１０のいずれか一項に記載のクランプ装置。
  12. 前記排気室内には清浄フィルタが更に設けられ、
    前記吸い込み口から吸い込んだ気体を、該清浄フィルタを介して前記基板収納容器が固定可能な前記所定位置に供給可能である請求項１乃至１１のいずれか一項に記載のクランプ装置。
  13. 前記清浄フィルタは、前記排気室の底面に設けられた請求項１２に記載のクランプ装置。
  14. 前記排気室は、前記ファンが設けられた陰圧室と、前記清浄フィルタが設けられた陽圧室に区分されており、
    前記ファンの送風により前記陰圧室に導入された気体が前記陽圧室に送られる請求項１２又は１３に記載のクランプ装置。
  15. 前記陰圧室は前記排気室の上面側に設けられるとともに、前記陰圧室の上面には第２の吸い込み口が設けられ、
    前記ファンは、該第２の吸い込み口からも気体を吸い込んで前記陽圧室に送風する請求項１４に記載のクランプ装置。
  16. 基板搬送領域と、基板収納容器搬送領域とを区画する隔壁と、
    該隔壁に設けられた搬送口と、
    該搬送口を開閉可能な開閉ドアと、
    該搬送口の上方であって、前記隔壁の前記基板収納容器搬送領域側に取り付けられた請求項１乃至１５のいずれか一項に記載のクランプ装置と、
    前記搬送口の水平方向両側であって、前記隔壁の前記基板収納容器搬送領域側に設けられた側面カバーと、を有する基板搬入出装置。
  17. 前記搬送口、前記開閉ドア、前記クランプ装置及び前記側面カバーは、鉛直方向２段で前記隔壁に設けられている請求項１６に記載の基板搬入出装置。
  18. 前記基板搬送領域内に設けられた前記基板収納容器の前記蓋体を開閉する蓋体開閉装置を更に有する請求項１６又は１７に記載の基板搬入出装置。
  19. 請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載の基板搬入出装置と、
    前記基板搬送領域内に設けられた前記基板を搬送する搬送機構と、
    前記基板搬送領域内に設けられた処理容器と、を有する基板処理装置。
  20. 前記処理容器は、基板を熱処理する熱処理炉である請求項１９に記載の基板処理装置。
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