JP2016187764A - 超音波霧化装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】傾斜した底面に開口部105を備えた霧化液を入れる霧化液槽100と、霧化液を超音波振動で霧化する超音波振動子101と、超音波振動子101を高周波電力によって振動させるための発振器と、超音波振動子101を保持する環状のホルダ102と、開口部105に中心線を合わせて超音波振動子101を取り付けるようにホルダ102を霧化液槽100に固定する固定部材103とを備え、ホルダ102の接液面が、霧化液槽に固定された際に水平よりも低い角度に傾斜する部位が生じるように擂鉢状に形成される。
【選択図】図3
Description
101 超音波振動子
102 ホルダ
103 固定部材
104 沈殿物
105 開口部
106 気泡
110 水平線
111 傾斜線
200 擂鉢状部
300 ホルダ
301 鋭角部
302 直線
303 平滑面
400 超音波霧化装置
500 超音波霧化装置
Claims (4)
- 傾斜した底面に開口部を備えた霧化液を入れる霧化液槽と、
前記霧化液を超音波振動で霧化する超音波振動子と、
前記超音波振動子を高周波電力によって振動させるための発振器と、
前記超音波振動子を保持する環状のホルダと、
前記開口部に中心線を合わせて前記超音波振動子を取り付けるように前記ホルダを前記霧化液槽に固定する固定部材と、
を備え、
前記ホルダの接液面が、前記霧化液槽に固定された際に水平よりも低い角度に傾斜する部位が生じるように擂鉢状に形成され、霧化された液体中に含有される不純物や無機質成分等が前記超音波振動子の表面に堆積又は固着することを防止することを特徴とする超音波霧化装置。 - 前記開口部は、前記霧化液槽の底面の一部に設けた傾斜面に形成されることを特徴とする請求項1に記載の超音波霧化装置。
- 前記開口部は、前記霧化液槽の底部に上面に傾斜部を持つ筒状突起部を設け、前記傾斜部に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の超音波霧化装置。
- 前記ホルダにおける鋭角部は、前記超音波振動子に接触する平滑面を除いて、丸くラウンドをもって形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の超音波霧化装置。
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| JP6518873B2 (ja) | 2019-05-29 |
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