JP2017014553A - クランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置、及びこの表面処理装置のクランプ治具 - Google Patents

Abstract

【課題】 薄板状被処理物を水平状態で安定的に且つスムーズに処理槽の液仕切り部から搬入し、搬出でき、液仕切り部からの液漏れも減少できる装置を提供する。【解決手段】 エンドレスに周回移動するクランプ治具５で両側縁部を掴持されて水平搬送される薄板状被処理物Ｐを処理槽７の液仕切り部８から搬入し、処理槽内の処理液Ｗ中を通過させ、液仕切り部８から搬出する装置である。この液仕切り部８にクランプ治具と同じ搬送速度の第一の液仕切りローラー１０を配設し、このローラーの両側に内側仕切り壁部１１と外側仕切り壁部１２を配設し、この仕切り壁部にクランプ治具と薄板状被処理物の通過用通路１７，１９を開け、クランプ治具の通過用通路に液漏れ防止舌片１８，２０を取付けた。更に第二の液仕切りローラー１５を配設し、第一と第二の液仕切りローラーに搬送ベルト１６を掛け渡した。【選択図】 図２

Description

本発明は、クランプ搬送によるメッキ処理装置などの表面処理装置、及びこの表面処理装置に用いるクランプ治具に関する。

本出願人は、すでに、クランプで両側縁部がクランプされて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされた処理槽内に搬入し、処理液中を通過させ、この処理槽から搬出させる表面処理装置を開発し、この処理槽の搬入側と搬出側の薄板状被処理物の通過部に噴出液で処理槽内の処理液の流出を防ぐ液噴出仕切り装置を配設した表面処理装置を公開してある（特許文献１）。

この液噴出仕切り装置は、液流によるシール構造であるため、薄板状被処理物の基板面を傷めない利点があるが、薄板状被処理物がフレキシブルな極薄の基板製品の場合には、処理液を満たした処理槽内にこの基板製品をスムーズ且つ安定的に搬入し、且つ搬出するには難があった。

特開２０１３−１９４５号公報

本発明は、フレキシブルな薄い基板製品などの薄板状被処理物を水平状態で安定的に且つスムーズに処理液が満たされる処理槽の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入し、且つ処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出でき、しかも、この処理槽の搬入部側及び搬出部側の液仕切り部から槽外への液漏れを大幅に減少できる液仕切り構造を備えたクランプ搬送による薄板状被処理物のメッキ処理などの表面処理装置を提供することを課題とする。

更に、本発明は、フレキシブルな薄板状被処理物の側縁部を長い範囲で掴持して搬送でき、しかも、クランプ治具の下方部分の移動通過を許容するために開ける搬入部側及び搬出部側の液仕切り部の通路を狭小化でき、液仕切り部から漏れる液量を大幅に減少できるクランプ治具を提供することを課題とする。更に、本発明は、クランプ治具による液の持ち越しや、持ち出しを大幅に減少できるクランプ治具を提供することを課題とする。

前記した課題を解決するため本発明（請求項１の発明）は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに周回駆動される搬送駆動手段と、この搬送駆動手段に上部が取付けられて周回移動され、下部に掴持部を持つ複数のクランプ治具を備え、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線移動経路を移動する複数のクランプ治具の掴持部でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を掴持して該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平移動ラインで一方向の搬送方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送行程で前記クランプ治具の掴持部に掴持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液（メッキ処理部ではメッキ処理液、脱脂処理部では脱脂処理液）が満たされる処理槽（メッキ処理が行われるメッキ処理部のメッキ処理槽、メッキ処理の前処理として行われる脱脂処理部の脱脂処理槽）の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出するようにしたクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置であり、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記クランプ治具による搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外への液漏れを上下のローラー周面で防止する働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第一の液仕切りローラーを配設すると共に、この第一の液仕切りローラーを間にした前記薄板状被処理物の搬送方向の両側位置に処理槽外への液漏れを防止する為の前記処理液と接液する側の樹脂製の内側仕切り壁部とこの内側仕切り壁部の位置より外側に配設した樹脂製の外側仕切り壁部を当該液仕切りローラーに近接させて配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部の位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記第一の液仕切りローラーによる搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第二の液仕切りローラーを前記第一の液仕切りローラーの水平移動ラインと同じ水平移動ラインでそれぞれ配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記内側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とする通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該搬送クランプの通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付け、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とする通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該クランプ治具の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付けた、クランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置を提供する。

この発明によれば、前記クランプ治具で両側縁部が掴持されて搬送されるフレキシブルな基板製品などの薄板状被処理物は、このクランプ治具による搬送と液仕切りローラーの働きで、処理液が満たされる処理槽の搬入部側の液仕切り部から処理槽内にスムーズに搬入され、且つ処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出される。しかも、液仕切りローラー、内側仕切り壁部、外側仕切り壁部、及び液漏れ防止舌片の働きで、この処理槽の搬入部側及び搬出部側の液仕切り部から槽外への液漏れを大幅に減少できる。

また、前記した課題を解決するため本発明（請求項２の発明）は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに周回駆動される搬送駆動手段と、この搬送駆動手段に上部が取付けられて周回移動され、下部に掴持部を持つ複数のクランプ治具を備え、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線移動経路を移動する複数のクランプ治具の掴持部でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を掴持して該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平移動ラインで一方向の搬送方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送行程で前記クランプ治具の掴持部に掴持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液（メッキ処理部ではメッキ処理液、脱脂処理部では脱脂処理液）が満たされる処理槽（メッキ処理が行われるメッキ処理部のメッキ処理槽、メッキ処理の前処理として行われる脱脂処理部の脱脂処理槽）の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出するようにしたクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置であり、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記クランプ治具による搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外への液漏れを上下のローラー周面で防止する働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第一の液仕切りローラーを配設すると共に、この第一の液仕切りローラーを間にした前記薄板状被処理物の搬送方向の両側位置に処理槽外への液漏れを防止する為の前記処理液と接液する側の樹脂製の内側仕切り壁部とこの内側仕切り壁部の位置より外側に配設した樹脂製の外側仕切り壁部を当該液仕切りローラーに近接させて配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部の位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記第一の液仕切りローラーによる搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第二の液仕切りローラーを前記第一の液仕切りローラーの水平移動ラインと同じ水平移動ラインでそれぞれ配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記第一の液仕切りローラーと前記第二の液仕切りローラーの少なくとも互いの下側の回転駆動ローラーのローラー周面の円周方向に複数の搬送ベルト（この搬送ベルトとしては断面丸形状のいわゆるＯリングと通称されている丸ベルトが好ましい。）を掛け渡すためのベルト溝をローラーの軸方向に間隔を空けて複数形成し、このベルト溝を介して前記第一の液仕切りローラーと前記第二の液仕切りローラーの少なくとも互いの下側の回転駆動ローラーに複数の樹脂又はゴム製の搬送ベルト（この搬送ベルトとしては断面丸形状のいわゆるＯリングと通称されている丸ベルトが好ましい。）をそれぞれ掛け渡し、この搬送ベルトの搬送速度を前記クランプ治具で掴持されて搬送される前記薄板状被処理物の搬送速度と同じ速度とし、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記内側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とする通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該クランプ治具の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付け、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とし、且つ前記搬送ベルトの搬送移動を可能する通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該クランプ治具の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付けた、クランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置を提供する。

この発明（請求項２の発明）は、前記の発明（請求項１の発明）の構成要件に加えて、前記第一の液仕切りローラーと前記第二の液仕切りローラーの少なくとも互いの下側の回転駆動ローラーに掛け渡した複数の搬送ベルトを設けてあるため、この搬送ベルトでフレキシブルな極薄の基板製品などの薄板状被処理物も安定的に搬送でき、薄板状被処理物がフレキシブルで極薄の場合は特に有用である。

更に、本発明（請求項３の発明）は、前記第二の液仕切りローラーの配設位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に前記薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記第一の液仕切りローラー及び前記第二の液仕切りローラーによる搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第三の液仕切りローラーを前記第一の液仕切りローラー及び前記第二の液仕切りローラーの水平移動ラインと同じ水平移動ラインで搬送方向に間隔を空けて複数それぞれ配設したクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置を提供する。

更に、本発明（請求項４の発明）は、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部の配設位置より搬入部側では搬送方向の上流側の位置、搬出部側では搬送方向の下流側の位置に当該位置を前記クランプ治具と上下の回転駆動ローラーとで協働して搬送される搬送中の前記薄板状被処理物の上面に存在する残液をエアー噴射によって除去するエアー噴射残液除去装置をそれぞれ配設し、このエアー噴射残液除去装置は、当該位置を搬送中の前記薄板状被処理物の上面側に向け、且つ該薄板状被処理物の搬送方向左右両端側に向けてエアーを噴射する複数のエアー噴射ノズルを有する、クランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置を提供する。

この発明（請求項４の発明）によれば、複数のエアー噴射ノズルから噴射されるエアーによって、当該位置を搬送中の薄板状被処理物の上面に存在する残液を該薄板状被処理物の搬送方向左右両端側から該薄板状被処理物の外へ吹き飛ばし、薄板状被処理物の上面上から残液を除去することができる。

更に、本発明（請求項５の発明）は、前記処理槽は、前記薄板状被処理物の水平移動ラインより一定距離上方に処理液面を維持できるようにしたオーバーフロー槽であり、前記搬入部側及び搬出部側の液仕切り部とは交わる樹脂製の仕切り側壁部から溢液を流出するようにしたクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置を提供する。

前記した課題を解決するため本発明（請求項６の発明）は、薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに周回駆動される搬送駆動手段と、この搬送駆動手段に上部が取付けられて周回移動され、下部に掴持部を持つ複数のクランプ治具を備え、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線移動経路を移動する複数のクランプ治具の掴持部でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を上下方向から掴持して該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平移動ラインで一方向の搬送方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送行程で前記クランプ治具の掴持部に掴持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされる処理槽の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出するようにしたクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具であり、前記クランプ治具は、該クランプ治具の少なくとも内側の前記直線移動経路（周回移動経路の全周でも良い。）に沿って固定的に配置した固定ガイドレールに滑り接触されながら移動するように該レールに外側から嵌められる導電材から成るクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体は、このクランプ本体の下方部分が前記処理槽の処理液中を移動可能な位置に配され、前記クランプ本体の上方部分が空中で前記クランプ取付け体に保持される上下方向に長い形状に形成され、このクランプ本体の下端部に薄板状被処理物の側縁部を上下方向から掴持し得る上側掴持部と下側掴持部を含む掴持部を備え、前記クランプ本体は、その上方部が前記クランプ取付け体に固定保持される上下方向に長い導電材から成る固定クランプ杆と、この固定クランプ杆に上下動可能に保持される上下方向に長い導電材から成る可動クランプ杆を含み、この可動クランプ杆の下端部に前記掴持部の上側掴持部を形成し、前記固定クランプ杆の下端部に前記上側掴持部を下から受ける前記掴持部の下側掴持部を形成し、前記可動クランプ杆を圧縮バネのバネ圧によって下動させ、この可動クランプ杆の前記上側掴持部と前記固定クランプ杆の下側掴持部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、前記クランプ本体の上部には、前記可動クランプ杆を前記圧縮バネのバネ圧に抗して上移動させ前記掴持部を上下方向に開く掴持部開閉制御手段を付設してあり、前記固定クランプ杆は、その上方部が前記クランプ取付け体に固定保持された横幅の広い板体によって形成され、この幅広の固定クランプ杆の下端部に断面Ｌ字状の屈曲部を前記搬送通路側に突出するように形成し、この屈曲部の横幅を固定クランプ杆の横幅より左右に長く延ばして形成し、この屈曲部の先端にクランプ移動方向に長く延ばした前記下側掴持部を形成し、この固定クランプ杆に上下動可能に保持される上下方向に長い前記可動クランプ杆は、幅広の板体から成る固定クランプ杆の上下方向の略中間部の位置で且つ前記搬送通路側の板面に沿って上下にスライド移動可能に保持される、固定クランプ杆の横幅より左右に長い横幅をもつスライド係合体と、このスライド係合体の両端部から下方に垂設した対の下方杆部を備えており、この対の下方杆部を対応する前記固定クランプ杆の下方杆部に対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設し、この対の下方杆部の両下端部に連結された横幅の長い断面Ｌ字状の屈曲部を備え、この屈曲部には固定クランプ杆の下方杆部に接触しないようにする切欠き凹部を形成し、この屈曲部の先端に前記上側掴持部を形成し、この上側掴持部を前記下側掴持部と対向するようにクランプ移動方向に長く延ばして形成したことを特徴とするクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具を提供する。

本発明のクランプ治具は、可動クランプ杆の対の下方杆部を対応する固定クランプ杆の下方杆部に対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設してあるため、処理液中を通過するクランプ治具の下方部分（固定クランプ杆と可動クランプ杆の各下方杆部）がクランプ移動方向から視てその側面部を狭小化できる。よって、クランプ治具の下方部分（固定クランプ杆と可動クランプ杆の各下方杆部）の移動通過を許容するために開ける搬入部側及び搬出部側の液仕切り部の通路を狭小化でき、この液仕切り部から漏れる液量を少なくすることができる。更に、本発明のクランプ治具は、フレキシブルな薄板状被処理物の側縁部を長い範囲で掴持でき、薄板状被処理物を安定的に搬送できる。

また、本発明（請求項７の発明）は、前記スライド係合体は、前記固定クランプ杆の板面にスライド接触される側にスライド係合凹部溝を備え、このスライド係合凹部溝内に前記固定クランプ杆の上下方向の略中間部が相対的にスライド移動可能に嵌合され、更に、板状の固定クランプ杆の上下方向の略中間部に上下方向に長い複数の長孔ガイドが平行に穿設され、各長孔ガイドに挿通される締結ボルトで板状の固定クランプ杆と前記スライド係合体をボルトナット締結し、このボルトナット締結が、前記スライド係合体を各長孔ガイドに挿通されているボルト軸部を介して各長孔ガイドで前記固定クランプ杆の板面に沿って上下にスライド移動可能に保持される取付け構造としたクランプ治具を提供する。

また、本発明（請求項８の発明）は、前記固定クランプ杆と可動クランプ杆のそれぞれの屈曲部に該屈曲部に付着した液を下方に排出するための一つ又は複数の貫通穴を形成したクランプ治具を提供する。

また、本発明（請求項９の発明）は、クランプ治具の移動方向に長く延ばして形成した前記下側掴持部に上方を開放した凹部溝を部分的に形成し、クランプ治具の移動方向に長く延ばして形成した前記上側掴持部に下方を開放した凹部溝を部分的に形成し、この下側掴持部と上側掴持部の各凹部溝を対向位置に形成することによって、閉じた掴持部に液を下方に排出するための排出口を形成したクランプ治具を提供する。

前記貫通穴や前記排出口によって、クランプ治具の掴持部付近に付着した液が、前処理工程からメッキ処理工程へ、又はメッキ処理工程から後処理工程へ持ち越されないようにクランプ治具の下方に早く排出することができる。

本発明のクランプ治具は、処理液中に入れられる前記クランプ本体の下方部分は、前記上下掴持部（上下掴持接点部）を除いて絶縁被覆処理層を被覆してある。

本発明のクランプ治具は、前記掴持部開閉制御手段が、略Ｌ字型の反転レバーの屈曲部を支点部として前記クランプ取付け体又は前記固定クランプ杆から成る固定側に支点軸によって反転自在に軸着され、この反転レバーの下方アーム部の先端を前記可動クランプ杆の上部にピン軸を介して回動自在に連結し、前記反転レバーの上方アーム部の先端に回転ローラーを取付けて構成し、この回転ローラーが該クランプ治具の周回移動経路のクランプ開位置に設けられる高低差を有するクランプ開閉ガイドの上面部に沿って転動する係合状態において、前記上方アーム部が前記支点軸を軸心として上方向に反転され、前記下方アーム部に連結された可動クランプ杆を圧縮バネのバネ圧に抗して上動させ、前記可動クランプ杆の上側掴持部と前記固定クランプ杆の下側掴持部を上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成した。

本発明によれば、フレキシブルな薄い基板製品などの薄板状被処理物を水平状態で安定的に且つスムーズに処理液が満たされる処理槽の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入でき、且つ処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に安定的に且つスムーズに搬出でき、しかも、この処理槽の搬入部側及び搬出部側の液仕切り部から槽外への液漏れを大幅に減少できる。

更に、本発明のクランプ治具によれば、フレキシブルな薄板状被処理物の側縁部を長い範囲で掴持して搬送でき、しかも、このクランプ治具の下方部分の移動通過を許容するために開ける搬入部側及び搬出部側の液仕切り部の通路を狭小化でき、仕切り部から漏れる液量を大幅に減少できる。更に、本発明のクランプ治具によれば、クランプ治具による液の持ち越しや、持ち出しを大幅に減少できる。

本発明の概略平面図である。 本発明の要部の概略正面図である。 図２のＡ-Ａ矢視線による縦断側面図である。 本発明の要部の概略平面図である。 本発明のクランプ治具の正面図である。 本発明のクランプ治具の側面図である。 図５のＡ-Ａ矢視線によるクランプ治具の横断平面図である。 図５のＢ-Ｂ矢視線によるクランプ治具の横断平面図で、（Ａ）は可動クランプ、（Ｂ）は固定クランプを別々に示してある。

本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。図１はクランプ搬送による表面処理装置の全体を概略的に示し、図２〜図４は同装置の要部の実施形態を示し、図５〜図８は本発明の表面処理装置に用いるクランプ治具の好ましい実施形態を示している。

図１は、フレキシブルな薄板状被処理物（フレキシブルなプリント配線基板など）Ｐの搬送通路Ｒ（この搬送通路は、後述するように、図１の左側から前処理部２の搬送通路、メッキ処理部３の搬送通路、後処理部４の搬送通路の各搬送通路を一連に配している。）を間にした両側に設けられたエンドレスに矢印Ｃ方向に周回駆動される搬送駆動手段１，１と、この搬送駆動手段１，１に上部が取付けられて周回移動され、下部に掴持部６を持つ複数のクランプ治具５・・・を備え、前記搬送通路Ｒを間にして互いに平行な内側の直線移動経路を移動する複数のクランプ治具５の掴持部６でフレキシブルな薄板状被処理物Ｐの両側縁部を上下方向から掴持して該薄板状被処理物Ｐの板面を上下にした一定の水平移動ラインで一方向の搬送方向（図１の矢印Ｆ方向）に連続的に水平搬送させ、この水平搬送行程で前記クランプ治具５の掴持部６に掴持されて水平搬送される薄板状被処理物Ｐを処理液Ｗが満たされる処理槽７（図１の実施例では、メッキ処理部３のメッキ処理槽７Ａと、このメッキ処理の前処理の一つとして行われる脱脂処理の脱脂処理槽７Ｂを配設してある。）の搬入部側の液仕切り部８から処理槽７内に搬入し、この処理槽７内の処理液Ｗ中を通過させ、この処理槽７の搬出部側の液仕切り部８から処理槽外に水平に搬出するようにしたクランプ搬送による表面処理装置の概略を示している。

図１の実施例では、前記搬送通路Ｒは、図１の左側から前処理部２の搬送通路、メッキ処理部３の搬送通路、後処理部４の搬送通路の各搬送通路を一連に配している。よって、薄板状被処理物Ｐは、前処理部２、メッキ処理部３及び後処理部４の一連の搬送通路を前記クランプ治具５の掴持部６でその両側縁部を掴持されて同じ水平移動ラインを連続的に水平搬送され、この水平搬送過程で前処理部２、メッキ処理部３、後処理部４を通過するようにしてある。

図１の実施例では、この水平搬送過程で、薄板状被処理物Ｐが、前処理部２に配設した処理槽７（脱脂処理槽７Ｂ）の脱脂処理液中を通過し、その後にメッキ処理部３の処理槽７（メッキ処理槽７Ａ）のメッキ処理液中を通過するようにしてある。

フレキシブルな薄板状被処理物Ｐとしては平行な両側縁をもつ矩形（プリント配線基板など）の薄板の他、平行な両側縁をもつ長尺の帯状薄板であっても良い。

エンドレスに周回駆動される搬送駆動手段１，１は、スプロケットや溝付きプーリに巻架されてエンドレスに周回駆動されるローラチェーン（タイミングベルトでも良い）であり、搬送駆動用モータ（図示せず。）によって一方のスプロケット等を回転駆動させている。エンドレスに矢印Ｃ方向に周回駆動される搬送駆動手段１（ローラチェーン）に等しい間隔を置いて取付けた複数のクランプ治具５・・・は、矩形の薄板状被処理物Ｐの場合は、側縁部の複数箇所を掴持できる間隔に取付けてある。なお、図１では、クランプ治具５・・・をエンドレスの周回経路における一部の範囲のみで表示したが、搬送駆動手段１（ローラチェーン）の全範囲に亘り等間隔に取付けてある。各搬送駆動手段１，１は、同速度で周回駆動されるように成っている。

少なくとも内側の直線移動経路を移動するクランプ治具５の移動経路に沿って断面矩形状の固定ガイドレール９を固定的に配置してある（図２，図３参照）。内側の直線移動経路を移動するクランプ治具５・・・のクランプ取付け体３０（後述する）は前記固定ガイドレール９に沿って滑り接触されながら水平に移動される。そして、メッキ処理部３が電気メッキ処理を行う電気メッキ処理部として用いられる場合は、メッキ処理部３に配置した固定ガイドレール９を、クランプ治具５を介して搬送される薄板状被処理物Ｐに陰極の電流を給電する給電レールとして機能させ、薄板状被処理物Ｐの水平移動ラインの上下にメッキ処理部３で配設した陽電極（図示してない）の間を通過する該被処理物の表面に電気メッキ処理が行われる。この固定ガイドレール９は前記クランプ治具５の周回移動経路の全周に沿って固定的に配置しても良い。

図２〜図４を加えて本発明の要部である液仕切り構造を説明する。なお、これらの図面は搬入部側の液仕切り構造のみ示してあるが、搬出側の液仕切り構造は図２、図４の仕切り構造を実質的に左右対称に表したものとなる。

前記処理槽７の搬入部側と搬出部側の液仕切り部８に薄板状被処理物Ｐの搬送方向（矢印Ｆ方向）と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー１０ａ，１０ｂ間で挟んで前記薄板状被処理物Ｐを前記クランプ治具５による搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外への液漏れを上下のローラー周面で防止する働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第一の液仕切りローラー１０を配設すると共に、この第一の液仕切りローラー１０を間にした前記薄板状被処理物Ｐの搬送方向の両側位置に処理槽外への液漏れを防止する為の前記処理液Ｗと接液する側の樹脂製の内側仕切り壁部１１とこの内側仕切り壁部１１の位置より外側に配設した樹脂製の外側仕切り壁部１２を当該液仕切りローラー１０に近接させて配設してある。

更に、前記処理槽７の搬入部側と搬出部側の液仕切り部８に配設した前記外側仕切り壁部１２の位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に薄板状被処理物Ｐの搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー１５ａ，１５ｂ間で挟んで前記薄板状被処理物Ｐを前記第一の液仕切りローラー１０による搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第二の液仕切りローラー１５を前記第一の液仕切りローラー１０の水平移動ラインと同じ水平移動ラインでそれぞれ配設してある。

更に、前記処理槽７の搬入部側と搬出部側の液仕切り部８に配設した前記第一の液仕切りローラー１０と前記第二の液仕切りローラー１５の少なくとも互いの下側の回転駆動ローラー１０ａ，１５ａのローラー周面の円周方向に断面丸形状のいわゆるＯリングと通称されている丸ベルトから成る複数の搬送ベルト１６を掛け渡すためのベルト溝をローラーの軸方向に間隔を空けて複数形成し、このベルト溝を介して前記第一の液仕切りローラー１０と前記第二の液仕切りローラー１５の少なくとも互いの下側の回転駆動ローラー１０ａ，１５ａに断面丸形状のいわゆるＯリングと通称されている丸ベルトから成る複数の樹脂又はゴム製の搬送ベルト１６をそれぞれ掛け渡し、この搬送ベルト１６の搬送速度を前記クランプ治具５で掴持されて搬送される前記薄板状被処理物Ｐの搬送速度と同じ速度としてある。

なお、図示の実施例では、第一の液仕切りローラー１０と第二の液仕切りローラー１５の上側の回転駆動ローラー１０ｂ，１５ｂにも断面丸形状のいわゆるＯリングと通称されている丸ベルトから成る複数の樹脂又はゴム製の搬送ベルト１６をそれぞれ掛け渡し、上下の搬送ベルト１６，１６で薄板状被処理物Ｐを水平状態に挟んで搬送できるようにしてあるが、この上側の搬送ベルト１６は必須の構成ではない。

前記処理槽７の搬入部側と搬出部側の液仕切り部８に配設した前記内側仕切り壁部１１には、少なくとも前記クランプ治具５の下方部分と、このクランプ治具５の下部の掴持部６で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物Ｐの移動通過を可能とする通過用通路１７を開けると共に、前記クランプ治具５の下方部分の通過用通路１７に当該クランプ治具５の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路１７を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片１８を取付けてある。

更に、前記処理槽７の搬入部側と搬出部側の液仕切り部８に配設した前記外側仕切り壁部１２には、少なくとも前記クランプ治具５の下方部分と、このクランプ治具５の下部の掴持部６で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物Ｐの移動通過を可能とし、且つ前記搬送ベルト１６の搬送移動を可能する通過用通路１９を開けると共に、前記クランプ治具５の下方部分の通過用通路１９に当該クランプ治具５の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路１９を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片２０を取付けてある。

図２、図４に示したように、前記第二の液仕切りローラー１５の配設位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に前記薄板状被処理物Ｐの搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー２２ａ，２２ｂ間で挟んで前記薄板状被処理物Ｐを前記第一の液仕切りローラー１０及び前記第二の液仕切りローラー１５による搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第三の液仕切りローラー２２を前記第一の液仕切りローラー１０及び前記第二の液仕切りローラー１５の水平移動ラインと同じ水平移動ラインで搬送方向に間隔を空けて複数それぞれ配設してある。

薄板状被処理物を同じ搬送速度で水平搬送する前記第一の液仕切りローラー１０、前記第二の液仕切りローラー１５及び第三の液仕切りローラー２２は、図２に示したように、上下の回転駆動ローラーに対応する同軸の樹脂製の回転軸２３で回転する樹脂製のベベルギア２４と各ローラーの軸部に取付けた樹脂製のベベルギア２５を歯合させることによって、同じ回転駆動力を与えている。

処理槽７の搬入部側と搬出部側の液仕切り部８に配設した前記外側仕切り壁部１２の配設位置より搬入部側では搬送方向の上流側の位置、搬出部側では搬送方向の下流側の位置に当該位置を前記クランプ治具５と上下の回転駆動ローラー（１５ａ，１５ｂ、２２ａ，２２ｂ）とで協働して搬送される搬送中の前記薄板状被処理物Ｐの上面に存在する残液をエアー噴射によって除去するエアー噴射残液除去装置をそれぞれ配設し、このエアー噴射残液除去装置は、当該位置を搬送中の前記薄板状被処理物Ｐの上面側に向け、且つ該薄板状被処理物Ｐの搬送方向左右両端側に向けてエアーを噴射する複数のエアー噴射ノズル２７（図４参照）を有している。

複数のエアー噴射ノズル２７から噴射されるエアーによって、当該位置を搬送中の薄板状被処理物Ｐの上面に存在する残液を該薄板状被処理物Ｐの搬送方向左右両端側から該薄板状被処理物の外へ吹き飛ばし、薄板状被処理物Ｐの上面上から残液を除去することができる。

前記処理槽７（メッキ処理槽７Ａ）は、前記薄板状被処理物Ｐの水平移動ラインより一定距離上方に処理液Ｗの液面を維持できるようにしたオーバーフロー槽であり、処理槽７の搬入部側及び搬出部側の液仕切り部８とは交わる側壁側の樹脂製の仕切り側壁部２８に溢液を流出する溢液流出部２９を形成してある。このオーバーフロー槽によって、好ましくは薄板状被処理物Ｐの水平移動ラインより約１００ｍｍ程度上方に処理液Ｗの液面を維持できるようにしてある。これは、水平移動ライン上の液中に陽極の電極や必要に応じて隔膜、液噴流ノズル等を配設するスペースを確保する必要があるためである。

次に、図５〜図８に基づき、本発明の表面処理装置に用いるクランプ治具５の実施形態を説明する。このクランプ治具５は、該クランプ治具の少なくとも内側の前記直線移動経路（周回移動経路の全周でも良い。）に沿って固定的に配置した断面矩形状の固定ガイドレール９に滑り接触されながら移動するように該レール９に外側から嵌められるステンレス鋼などの導電材から成るクランプ取付け体３０と、このクランプ取付け体３０に保持されるステンレス鋼などの導電材から成るクランプ本体３２を含んでいる。クランプ治具５のクランプ取付け体３０は取付け部材３１を介したボルト締結手段で搬送駆動手段１（駆動チェーン）に連結してある。

前記クランプ本体３２は、このクランプ本体３２の下方部分が前記処理槽７の処理液Ｗ中を移動可能な位置に配され、前記クランプ本体３２の上方部分が空中で前記クランプ取付け体３０に保持される上下方向に長い形状に形成され、このクランプ本体３２の下端部に薄板状被処理物Ｐの側縁部を上下方向から掴持し得る下側掴持部（下側接点部）６ａと上側掴持部（上側接点部）６ｂを含む掴持部６を備えてある。

前記クランプ本体３２は、その上方部が前記クランプ取付け体３０に固定保持される上下方向に長いステンレス鋼などの導電材から成る固定クランプ杆３５と、この固定クランプ杆３５に上下動可能に保持される上下方向に長いステンレス鋼などの導電材から成る可動クランプ杆４０を含んでいる。この可動クランプ杆４０の下端部に前記掴持部６の上側掴持部（上側接点部）６ｂを形成し、前記固定クランプ杆５０の下端部に上側掴持部（上側接点部）６ｂを下から受ける前記掴持部６の下側掴持部（下側接点部）６ａを形成してある。

前記固定クランプ杆３５は、その上方部が前記クランプ取付け体３０の外側（搬送通路側）の垂直面に固定保持された横幅の広い板体によって形成され、この幅広の固定クランプ杆３５の下端部に断面Ｌ字状の屈曲部３６を前記搬送通路側に突出するように形成し、この屈曲部３６の横幅を固定クランプ杆３５の横幅より左右に長く延ばして形成し、この屈曲部３６の先端にクランプ移動方向に長く延ばした前記下側掴持部（下側接点部）６ａを形成してある。固定クランプ杆３５を幅広の板体にしてあるため、大きな電流を薄板状被処理物Ｐに供給できる。

この固定クランプ杆３５に上下動可能に保持される上下方向に長い可動クランプ杆４０は、固定クランプ杆３５の横幅より左右に長い横幅をもつスライド係合体４２の両端部から下方に垂設した対の下方杆部４５，４５と、このスライド係合体４２の中心部から上方に延ばしたロッド状の上方杆部４６を備えている。

前記スライド係合体４２は、幅広の板体から成る固定クランプ杆３５の上下方向の略中間部の位置で且つ前記搬送通路側の板面に沿って上下にスライド移動可能に保持される。具体的には、このスライド係合体４２は、図７に示したように、前記固定クランプ杆３５の板面にスライド接触される側にスライド係合凹部溝４３を備え、このスライド係合凹部溝４３内に前記固定クランプ杆３５の上下方向の略中間部が相対的にスライド移動可能に嵌合され、更に、板状の固定クランプ杆３５の上下方向の略中間部に上下方向に長い複数の長孔ガイド３７が平行に穿設され、各長孔ガイド３７に挿通される締結ボルト３８で板状の固定クランプ杆３５と前記スライド係合体４２をボルトナット締結し、このボルトナット締結が、前記スライド係合体４２を各長孔ガイド３７に挿通されているボルト軸部を介して各長孔ガイド３７で前記固定クランプ杆３５の板面に沿って上下にスライド移動可能に保持される取付け構造としてある。

可動クランプ杆４０のロッド状の上方杆部４６は、固定クランプ杆３５の上部に設けた保持ガイド３９の貫通穴の中を上下方向にスライド可能に貫通され、保持されている。

図６、図７、図８（Ａ）から解るように、可動クランプ杆４０の対の下方杆部４５，４５は、板体から成る固定クランプ杆３５と略同じ板厚の板体で形成され、対応する前記固定クランプ杆３５の下方杆部３５ａに対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設してある。この対の下方杆部４５，４５の両下端部に横幅の長い断面Ｌ字状の屈曲部４８を架け渡し状態に連結し、この屈曲部４８の先端に前記上側掴持部（上側接点部）６ｂを形成し、この上側掴持部６ｂを前記下側掴持部６ａと対向するようにクランプ移動方向に長く延ばして形成してある。この屈曲部４８には図８（Ａ）に示したように固定クランプ杆の下方杆部に接触しないようにする切欠き凹部４９を形成してある。

可動クランプ杆４０の対の下方杆部４５，４５を対応する固定クランプ杆３５の下方杆部３５ａに対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設してあるため、処理液中を通過するクランプ治具５の下方部分（固定クランプ杆３５の下方杆部３５ａと可動クランプ杆４０の対の下方杆部４５，４５）がクランプ移動方向から視てその側面部を狭小化できる。よって、クランプ治具５の下方部分（固定クランプ杆３５の下方杆部３５ａと可動クランプ杆４０の対の下方杆部４５，４５）の移動通過を許容するために開けた仕切り部の通路１７を狭小化でき、仕切り部から漏れる液量を少なくすることができる。

クランプ治具５の掴持部６は、薄板状被処理物Ｐの側縁部を比較的長い範囲で掴持できるようにすることが、フレキシブルな薄板状被処理物Ｐを安定的に搬送ために必要であり、フレキシブルな極薄の基板製品では特に必要である。このクランプ治具によれば、可動クランプ杆４０が、スライド係合体４２とこのスライド係合体４２の両端部から垂設した対の下方杆部４５，４５を備え、対の下方杆部４５，４５の両下端部に横幅の長い断面Ｌ字状の屈曲部４８を架け渡し状態に連結し、この屈曲部４８の先端に前記上側掴持部（上側接点部）６ｂを形成した特殊構造であるため、薄板状被処理物Ｐの側縁部を比較的長い範囲で掴持できる掴持部６をバランス良く形成できる。

固定クランプ杆３５の上部に設けた前記保持ガイド３９の下部と可動クランプ杆４０のロッド状の上方杆部４６に設けたバネ係止体５０との間に圧縮バネ（圧縮コイルばね）５１を可動クランプ杆４０のロッド部周りに遊嵌合して装着してある。この圧縮バネ５１のバネ圧によって可動クランプ杆４０は下動され、可動クランプ杆４０の上側掴持部（上側接点部）６ｂと固定クランプ杆３５の下側掴持部（下側接点部）６ａを常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してある。前記クランプ本体３２の上部には、可動クランプ杆４０を前記圧縮バネ５１のバネ圧に抗して上移動させ前記掴持部６を上下方向に開く掴持部開閉制御手段６０を付設してある。

この掴持部開閉制御手段６０は、略Ｌ字型の反転レバー６２の屈曲部を支点部として前記クランプ取付け体に支点軸６３によって反転自在に軸着し、この反転レバー６２の下方アーム部６２ｂの先端を可動クランプ杆４０のロッド状の上方杆部４６の上部にピン軸６４を介して回動自在に連結し、反転レバー６２の上方アーム部６２ａの先端に回転ローラー６５を回転自在に取付けて構成され、この回転ローラー６５が該クランプ治具５の周回移動経路のクランプ開位置に固定配置したクランプ開閉ガイド６１（このクランプ開閉ガイド６１は、少なくとも搬送通路の始端側でクランプ治具の掴持部を開状態から閉状態とする掴持開始位置と、搬送通路の終端側でクランプ治具の掴持部を閉状態から開状態とする開放位置に固定配置され、図５に一点鎖線で示したように、上面部の中間部を高位ガイド上面部６１ａ、この高位ガイド上面部の両側を該高位ガイド上面部から徐々に低位となる傾斜ガイド上面部６１ｂとし、下面を水平ガイド下面部６１ｃとしてある。）の高位ガイド上面部６１ａに沿って転動する係合状態（この係合状態において、同時にクランプ治具５の前記クランプ取付け体３０の水平上面部３０ａがクランプ開閉ガイド６１の水平ガイド下面部６１ｃにスライド係合される。）において、上方アーム部６２ａが前記支点軸６３を軸心として上方向に反転し、下方アーム部６２ｂに連結された可動クランプ杆４０を圧縮バネ５１のバネ圧に抗して上動させるようにし、可動クランプ杆４０の上側掴持部（上側接点部）６ｂと固定クランプ杆３５の下側掴持部（下側接点部）６ａを上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成してある。

前記固定クランプ杆３５と可動クランプ杆４０のそれぞれの屈曲部３６，４８に該屈曲部に付着した液を下方に排出するための貫通穴７０を形成してある。

更に、クランプ治具５の移動方向に長く延ばして形成した前記下側掴持部６ａに上方を開放した凹部溝７１を部分的に形成し、クランプ治具の移動方向に長く延ばして形成した前記上側掴持部６ｂに下方を開放した凹部溝７２を部分的に形成し、この下側掴持部と上側掴持部の各凹部溝を対向位置に形成することによって、閉じた掴持部６に液を下方に排出するための排出口７３を形成してある。

この貫通穴７０や排出口７３によって、クランプ治具５の掴持部６付近に付着した液が、前処理工程からメッキ処理工程へ、又はメッキ処理工程から後処理工程へ持ち越されないようにクランプ治具の下方に早く排出することができる。

処理液中に入れられる前記クランプ本体３２の下方部分は、前記上下掴持部（上下掴持接点部）６ａ，６ｂを除いて絶縁被覆処理層（例えばゾルコーティング処理による。）７５を被覆してある。

Ｐ 薄板状被処理物
Ｒ 搬送通路
Ｗ 処理液
１ 搬送駆動手段
２ 前処理部
３ メッキ処理部
４ 後処理部
５ クランプ治具
６ クランプ治具の掴持部
７ 処理槽
７Ａ メッキ処理槽
７Ｂ 脱脂処理槽4
８ 液仕切り部
９ 固定ガイドレール
１０ 第一の液仕切りローラー
１１ 内側仕切り壁部
１２ 外側仕切り壁部
１５ 第二の液仕切りローラー
１６ 搬送ベルト
１７ 通過用通路
１８ 液漏れ防止舌片
１９ 通過用通路
２０ 液漏れ防止舌片
２２ 第三の液仕切りローラー
２７ エアー噴射残液除去装置のエアー噴射ノズル
３０ クランプ取付け体
３２ クランプ本体
６ａ 下側掴持部（下側接点部）
６ｂ 上側掴持部（上側接点部）
３５ 固定クランプ杆
３６ 屈曲部
３７ 長孔ガイド
３８ 締結ボルト
４０ 可動クランプ杆
４２ スライド係合体
４３ スライド係合凹部溝
４５，４５ 対の下方杆部
４６ ロッド状の上方杆部
５１ 圧縮バネ（圧縮コイルばね）
６０ 掴持部開閉制御手段
６１ クランプ開閉ガイド
６２ 反転レバー
６５ 回転ローラー
７０ 貫通穴
７１ 凹部溝
７２ 凹部溝
７３ 排出口
７５ 絶縁被覆処理層

Claims (11)

1. 薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに周回駆動される搬送駆動手段と、この搬送駆動手段に上部が取付けられて周回移動され、下部に掴持部を持つ複数のクランプ治具を備え、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線移動経路を移動する複数のクランプ治具の掴持部でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を掴持して該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平移動ラインで一方向の搬送方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送行程で前記クランプ治具の掴持部に掴持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされる処理槽の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出するようにしたクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置であり、
   前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記クランプ治具による搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外への液漏れを上下のローラー周面で防止する働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第一の液仕切りローラーを配設すると共に、この第一の液仕切りローラーを間にした前記薄板状被処理物の搬送方向の両側位置に処理槽外への液漏れを防止する為の前記処理液と接液する側の樹脂製の内側仕切り壁部とこの内側仕切り壁部の位置より外側に配設した樹脂製の外側仕切り壁部を当該液仕切りローラーに近接させて配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部の位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記第一の液仕切りローラーによる搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第二の液仕切りローラーを前記第一の液仕切りローラーの水平移動ラインと同じ水平移動ラインでそれぞれ配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記内側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とする通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該搬送クランプの通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付け、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とする通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該クランプ治具の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付けた、クランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置。
2. 薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに周回駆動される搬送駆動手段と、この搬送駆動手段に上部が取付けられて周回移動され、下部に掴持部を持つ複数のクランプ治具を備え、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線移動経路を移動する複数のクランプ治具の掴持部でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を掴持して該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平移動ラインで一方向の搬送方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送行程で前記クランプ治具の掴持部に掴持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされる処理槽の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出するようにしたクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置であり、
   前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記クランプ治具による搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外への液漏れを上下のローラー周面で防止する働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第一の液仕切りローラーを配設すると共に、この第一の液仕切りローラーを間にした前記薄板状被処理物の搬送方向の両側位置に処理槽外への液漏れを防止する為の前記処理液と接液する側の樹脂製の内側仕切り壁部とこの内側仕切り壁部の位置より外側に配設した樹脂製の外側仕切り壁部を当該液仕切りローラーに近接させて配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部の位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記第一の液仕切りローラーによる搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第二の液仕切りローラーを前記第一の液仕切りローラーの水平移動ラインと同じ水平移動ラインでそれぞれ配設し、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記第一の液仕切りローラーと前記第二の液仕切りローラーの少なくとも互いの下側の回転駆動ローラーのローラー周面の円周方向に複数の搬送ベルトを掛け渡すためのベルト溝をローラーの軸方向に間隔を空けて複数形成し、このベルト溝を介して前記第一の液仕切りローラーと前記第二の液仕切りローラーの少なくとも互いの下側の回転駆動ローラーに複数の樹脂又はゴム製の搬送ベルトをそれぞれ掛け渡し、この搬送ベルトの搬送速度を前記クランプ治具で掴持されて搬送される前記薄板状被処理物の搬送速度と同じ速度とし、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記内側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とする通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該クランプ治具の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付け、前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部には、少なくとも前記クランプ治具の下方部分と、このクランプ治具の下部の掴持部で掴持された水平姿勢の前記薄板状被処理物の移動通過を可能とし、且つ前記搬送ベルトの搬送移動を可能する通過用通路を開けると共に、前記クランプ治具の下方部分の通過用通路に当該クランプ治具の通過移動時のみ押し開かれ常態ではこの通過用通路を塞ぐことができる弾性を有するゴム板などの液漏れ防止舌片を取付けた、クランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置。
3. 前記第二の液仕切りローラーの配設位置より間隔を空けた搬入部側では搬送方向の上流側の外側位置、搬出部側では搬送方向の下流側の外側位置に前記薄板状被処理物の搬送方向と直交する方向にロール幅を延ばした上下の回転駆動ローラー間で挟んで前記薄板状被処理物を前記第一の液仕切りローラー及び前記第二の液仕切りローラーによる搬送速度と同じ搬送速度で同じ搬送方向に水平搬送する働きと処理槽外へ漏れた液を上下のローラー周面で仕切る働きを併せ持つ樹脂又はゴム製の第三の液仕切りローラーを前記第一の液仕切りローラー及び前記第二の液仕切りローラーの水平移動ラインと同じ水平移動ラインで搬送方向に間隔を空けて複数それぞれ配設した請求項１又は２に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置。
4. 前記処理槽の搬入部側と搬出部側の液仕切り部に配設した前記外側仕切り壁部の配設位置より搬入部側では搬送方向の上流側の位置、搬出部側では搬送方向の下流側の位置に当該位置を前記クランプ治具と上下の回転駆動ローラーとで協働して搬送される搬送中の前記薄板状被処理物の上面に存在する残液をエアー噴射によって除去するエアー噴射残液除去装置をそれぞれ配設し、このエアー噴射残液除去装置は、当該位置を搬送中の前記薄板状被処理物の上面側に向け、且つ該薄板状被処理物の搬送方向左右両端側に向けてエアーを噴射する複数のエアー噴射ノズルを有する請求項１から３のいずれかの請求項に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置。
5. 前記処理槽は、前記薄板状被処理物の水平移動ラインより一定距離上方に処理液面を維持できるようにしたオーバーフロー槽であり、前記搬入部側及び搬出部側の液仕切り部とは交わる樹脂製の仕切り側壁部から溢液を流出するようにした請求項１又は２に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置。
6. 薄板状被処理物の搬送通路を間にした両側に設けられたエンドレスに周回駆動される搬送駆動手段と、この搬送駆動手段に上部が取付けられて周回移動され、下部に掴持部を持つ複数のクランプ治具を備え、前記搬送通路を間にして互いに平行な内側の直線移動経路を移動する複数のクランプ治具の掴持部でフレキシブルな薄板状被処理物の両側縁部を上下方向から掴持して該薄板状被処理物の板面を上下にした一定の水平移動ラインで一方向の搬送方向に連続的に水平搬送させ、この水平搬送行程で前記クランプ治具の掴持部に掴持されて水平搬送される薄板状被処理物を処理液が満たされる処理槽の搬入部側の液仕切り部から処理槽内に搬入し、この処理槽内の処理液中を通過させ、この処理槽の搬出部側の液仕切り部から処理槽外に搬出するようにしたクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具であり、
   前記クランプ治具は、該クランプ治具の少なくとも内側の前記直線移動経路に沿って固定的に配置した固定ガイドレールに滑り接触されながら移動するように該レールに外側から嵌められる導電材から成るクランプ取付け体と、このクランプ取付け体に保持されるクランプ本体を含み、このクランプ本体は、このクランプ本体の下方部分が前記処理槽の処理液中を移動可能な位置に配され、前記クランプ本体の上方部分が空中で前記クランプ取付け体に保持される上下方向に長い形状に形成され、このクランプ本体の下端部に薄板状被処理物の側縁部を上下方向から掴持し得る上側掴持部と下側掴持部を含む掴持部を備え、前記クランプ本体は、その上方部が前記クランプ取付け体に固定保持される上下方向に長い導電材から成る固定クランプ杆と、この固定クランプ杆に上下動可能に保持される上下方向に長い導電材から成る可動クランプ杆を含み、この可動クランプ杆の下端部に前記掴持部の上側掴持部を形成し、前記固定クランプ杆の下端部に前記上側掴持部を下から受ける前記掴持部の下側掴持部を形成し、前記可動クランプ杆を圧縮バネのバネ圧によって下動させ、この可動クランプ杆の前記上側掴持部と前記固定クランプ杆の下側掴持部を常態において上下方向に閉じた閉状態に制御してあり、前記クランプ本体の上部には、前記可動クランプ杆を前記圧縮バネのバネ圧に抗して上移動させ前記掴持部を上下方向に開く掴持部開閉制御手段を付設してあり、前記固定クランプ杆は、その上方部が前記クランプ取付け体に固定保持された横幅の広い板体によって形成され、この幅広の固定クランプ杆の下端部に断面Ｌ字状の屈曲部を前記搬送通路側に突出するように形成し、この屈曲部の横幅を固定クランプ杆の横幅より左右に長く延ばして形成し、この屈曲部の先端にクランプ移動方向に長く延ばした前記下側掴持部を形成し、この固定クランプ杆に上下動可能に保持される上下方向に長い前記可動クランプ杆は、幅広の板体から成る固定クランプ杆の上下方向の略中間部の位置で且つ前記搬送通路側の板面に沿って上下にスライド移動可能に保持される、固定クランプ杆の横幅より左右に長い横幅をもつスライド係合体と、このスライド係合体の両端部から下方に垂設した対の下方杆部を備えており、この対の下方杆部を対応する前記固定クランプ杆の下方杆部に対してクランプ移動方向において互いに前後位置となる同列方向に配設し、この対の下方杆部の両下端部に連結された横幅の長い断面Ｌ字状の屈曲部を備え、この屈曲部には固定クランプ杆の下方杆部に接触しないようにする切欠き凹部を形成し、この屈曲部の先端に前記上側掴持部を形成し、この上側掴持部を前記下側掴持部と対向するようにクランプ移動方向に長く延ばして形成したことを特徴とするクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具。
7. 前記スライド係合体は、前記固定クランプ杆の板面にスライド接触される側にスライド係合凹部溝を備え、このスライド係合凹部溝内に前記固定クランプ杆の上下方向の略中間部が相対的にスライド移動可能に嵌合され、更に、板状の固定クランプ杆の上下方向の略中間部に上下方向に長い複数の長孔ガイドが平行に穿設され、各長孔ガイドに挿通される締結ボルトで板状の固定クランプ杆と前記スライド係合体をボルトナット締結し、このボルトナット締結が、前記スライド係合体を各長孔ガイドに挿通されているボルト軸部を介して各長孔ガイドで前記固定クランプ杆の板面に沿って上下にスライド移動可能に保持される取付け構造とした、請求項６に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具。
8. 前記固定クランプ杆と可動クランプ杆のそれぞれの屈曲部に該屈曲部に付着した液を下方に排出するための一つ又は複数の貫通穴を形成した請求項６又は７に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具。
9. クランプ治具の移動方向に長く延ばして形成した前記下側掴持部に上方を開放した凹部溝を部分的に形成し、クランプ治具の移動方向に長く延ばして形成した前記上側掴持部に下方を開放した凹部溝を部分的に形成し、この下側掴持部と上側掴持部の各凹部溝を対向位置に形成することによって、閉じた掴持部に液を下方に排出するための排出口を形成した請求項６又は７に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具。
10. 処理液中に入れられる前記クランプ本体の下方部分は、前記上下掴持部を除いて絶縁被覆処理層を被覆してある、請求項６に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具。
11. 前記掴持部開閉制御手段が、略Ｌ字型の反転レバーの屈曲部を支点部として前記クランプ取付け体又は前記固定クランプ杆から成る固定側に支点軸によって反転自在に軸着され、この反転レバーの下方アーム部の先端を前記可動クランプ杆の上部にピン軸を介して回動自在に連結し、前記反転レバーの上方アーム部の先端に回転ローラーを取付けて構成し、この回転ローラーが該クランプ治具の周回移動経路のクランプ開位置に設けられる高低差を有するクランプ開閉ガイドの上面部に沿って転動する係合状態において、前記上方アーム部が前記支点軸を軸心として上方向に反転され、前記下方アーム部に連結された可動クランプ杆を圧縮バネのバネ圧に抗して上動させ、前記可動クランプ杆の上側掴持部と前記固定クランプ杆の下側掴持部を上下方向に離間させた開状態に制御されるように構成した、請求項６に記載のクランプ搬送による薄板状被処理物の表面処理装置のクランプ治具。

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