JP2017017355A5 - - Google Patents

Claims (3)

1. 基台と、基板を把持するロボットハンドと、延在して形成される複数のアーム部を有し、各アーム部は一連に連結され、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結される２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能に設けられるロボットアームと、互いに連結されるアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、前記ロボットアームは、第１旋回軸線まわりに旋回でき、前記第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、前記第１アーム部に連結され、前記第２旋回軸線まわりに旋回でき、前記第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線であって前記第３旋回軸線回りに前記ロボットハンドが旋回できる前記第３旋回軸線が設定される第２アーム部を少なくとも含むロボットを準備する工程と、
   基板搬送装置であって、間隔をあけて配置される第１壁と第２壁とを有し、前記第１壁から前記第２壁に向かう方向において前記第１壁と前記第２壁の間に存在する基板載置部を有する基板搬送装置において、上から見た場合に、前記第１アーム部の一部と前記第１旋回軸線との距離が、前記第１壁の内前記第１旋回軸線に最も近い点と前記第１旋回軸線との距離より大きい程度に前記ロボットを前記第１壁寄りに配置する工程と、
   前記ロボットの前記ロボットハンドが把持した基板を前記基板載置部に載置する際、または、前記基板載置部に載置された基板を前記ロボットの前記ロボットハンドで把持する際に、前記第１旋回軸線と前記第３旋回軸線とを結ぶ線よりも前記第２壁側に前記第２旋回軸線が存在するように前記アーム部を旋回駆動する工程とからなる、ロボット制御方法。
2. 基台と、基板を把持するロボットハンドと、延在して形成される複数のアーム部を有し、各アーム部は一連に連結され、一端のアーム部は基台に連結され、他端のアーム部はロボットハンドに連結され、互いに連結される２つのアーム部は互いに相対的に旋回可能に設けられるロボットアームと、互いに連結されるアーム部を互いに相対的に旋回駆動する駆動手段とを含み、前記ロボットアームは、第１旋回軸線まわりに旋回でき、前記第１旋回軸線に平行な第２旋回軸線が設定される第１アーム部と、前記第１アーム部に連結され、前記第２旋回軸線まわりに旋回でき、前記第２旋回軸線に平行な第３旋回軸線であって前記第３旋回軸線回りに前記ロボットハンドが旋回できる前記第３旋回軸線が設定される第２アーム部を少なくとも含むロボットを制御するロボット制御装置であって、
   前記ロボットは、間隔をあけて配置される第１壁と第２壁とを有し、前記第１壁から前記第２壁に向かう方向において前記第１壁と前記第２壁の間に存在する基板載置部を有する基板搬送装置に組み込まれるものであり、上から見た場合に、前記第１アーム部の一部と前記第１旋回軸線との距離が、前記第１壁の内前記第１旋回軸線に最も近い点と前記第１旋回軸線との距離より大きい程度に前記第１壁寄りに前記ロボットが配置されており、
   前記ロボットの前記ロボットハンドが把持した基板を前記基板載置部に載置する際、または、前記基板載置部に載置された基板を前記ロボットの前記ロボットハンドで把持する際に、前記第１旋回軸線と前記第３旋回軸線とを結ぶ線よりも前記第２壁側に前記第２旋回軸線が存在するように前記アーム部を旋回駆動するように構成されている、ロボット制御装置。
3. 前記ロボットアームは、前記第１アーム部の幅より前記第２アーム部の幅が小さく、前記第２アーム部の幅より前記ロボットハンドの基端部の幅が小さく構成されている、請求項２記載のロボット制御装置。