JP2017018894A - ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ケーシング内部に吸引された気体によってモータが損傷するのを抑制すること、モータロータの回転に伴って生じるエネルギロスを削減し省エネルギ化することができるファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置を提供する。【解決手段】ファンスクラバーは、気体吸入口および気体吐出口を有するケーシングと、ケーシング内に配置されるファンと、を備える。また、ファンスクラバーは、液体が流れる液体流路、及び、液体流路と連通してケーシング内に液体を噴出するノズル、を有する液体噴出部を備える。さらに、ファンスクラバーは、ケーシング又はステータケーシングに対してファンを軸支する軸受を備える。そして、ファンスクラバーは、永久磁石を有しファンと一体に構成されるロータ、ファンの回転軸方向に永久磁石と対向して設けられるステータ、及び、ステータを収容するステータケーシング、を有するモータを備える。【選択図】図２

Description

本発明は、ファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置に関する。

真空ポンプ装置は、半導体、液晶、太陽光パネル、又は、ＬＥＤ等の製造設備の一つとして広く使用されている。これらの製造プロセス等においては、真空ポンプを真空チャンバに接続して、真空チャンバ内に導入されたプロセスガスを真空ポンプによって真空引きする。真空ポンプによって真空引きする気体には、シランガス（ＳｉＨ４）またはハロゲン系ガス（ＮＦ３、ＣｌＦ３，ＳＦ６，ＣＨＦ３，Ｃ２Ｆ６，ＣＦ４等）が含まれる場合がある。これらのガスは、有害可燃性または難分解性であり、そのまま大気中に放出することができない。そのため、従来、真空ポンプ装置では、真空ポンプの後段に、真空引きしたガスを無害化処理する除害装置が設けられる場合がある。

また、真空ポンプから排気されるプロセスガスには、真空チャンバ内での反応等によって固形化した物質、または、固形化しやすい物質が異物として混入している場合がある。こうした異物が除害装置に侵入すると、除害装置の詰まり又は処理効率の低下を招くおそれがある。このため、真空ポンプ装置と除害装置との間に、異物を取り除くための異物除去機構が設けられる場合がある。

異物除去機構としては、例えばフィルタ又はトラップなどが用いられる。フィルタ又はトラップは、簡易な構成で異物を除去することができるが、定期的にフィルタの交換などのメンテナンスが必要となる。また、異物除去機構としては、真空引きされた気体が案内されるケーシングと、ケーシング内で回転するファンと、ファンを駆動するモータと、液体を噴出するノズルと、を備えるファンスクラバーも知られている。ファンスクラバーは、ファンによって気体を撹拌し、ノズルから噴出される液体によって異物を捕捉する。一般に、ファンスクラバーでは、ケーシング内のファンがすべり軸受によってモータの主軸に軸支される。そして、モータのロータ室は冷却水で満たされ、この冷却水がすべり軸受の潤滑液としても利用される。

特開２００３−２５１１３０号公報

除害装置の前段に異物除去機構としてファンスクラバーが設けられる場合、真空引きされた気体が、ファンとモータとの軸受部分を通じてモータのロータ室に侵入するおそれがある。真空引きされた気体には、腐食性があるガスが含まれる場合もあり、こうしたガスがモータ内部に侵入すると、モータのステータ等を劣化させる原因となる。

これに対して、モータ内部にガスが侵入しないように、真空引きされた気体が流れるケーシングとモータとを、メカニカルシールおよび軸継手などを経由して接続することも考えられる。しかし、メカニカルシールは真空引きした気体に含まれるガスで劣化する場合があり、この場合にはメンテナンスの頻度が大きくなってファンスクラバーの保守費用が増加する。また、軸継手を用いる場合には、モータの主軸とファンの回転軸の軸心がずれるとモータの振動および騒音の原因となるので、ファンスクラバーの製造に十分な経験と特殊な治工具が必要とされる。また、モータ内部にガスが侵入しないように窒素パージを
用いた軸シールが設けられる場合もある。その場合には、軸シールに窒素を供給するための設備が必要となり、ユーザーの設備負担および設置場所の制限を招いていた。

さらに、モータのロータ室が冷却水で満たされていると、冷却水内で主軸及びロータが回転するので、冷却水の撹拌に伴うエネルギロスが生じる。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、ケーシング内部に吸引された気体によってモータが損傷するのを抑制することができるファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置を提供することを目的の一つとする。また、本発明は、メンテナンス費用を低下することができ、簡易な構成であるファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置を提供すことを目的の一つとする。さらに、本発明は、モータロータの回転に伴って生じるエネルギロスを削減し省エネルギ化することができるファンスクラバー、及び、真空ポンプ装置を提供することを目的の一つとする。

本発明のファンスクラバーは、気体吸入口および気体吐出口を有するケーシングと、ケーシング内に配置されるファンと、を備える。また、ファンスクラバーは、液体が流れる液体流路、及び、液体流路と連通してケーシング内に液体を噴出するノズル、を有する液体噴出部を備える。さらに、ファンスクラバーは、ケーシング又はステータケーシングに対してファンを軸支する軸受を備える。そして、ファンスクラバーは、永久磁石を有しファンと一体に構成されるロータ、ファンの回転軸方向に永久磁石と対向して設けられるステータ、及び、ステータを収容するステータケーシング、を有するモータを備える。
かかる構成により、本発明のファンスクラバーは、ファンとステータとがステータケーシングによって離隔されるので、ケーシング内の気体がステータに接触するのを防止することができる。これにより、モータが損傷するのを抑制することができると共に、簡易な構成でメンテナンス費用を低下することができる。また、本発明のファンスクラバーでは、ケーシング内のファンと一体にロータが設けられるので、ロータの回転に伴う撹拌抵抗を低減することができ、エネルギ効率を向上することができる。

また、液体流路は、ノズルと軸受とに連通してもよい。
こうすれば、液体流路を通じてノズルに液体を供給することができるとともに、液体流路を通じて軸受に液体を供給することができる。

また、ファン及びステータケーシングは、樹脂で形成されていてもよい。
こうすれば、ファン及びステータケーシングで渦電流が生じるのを抑制することができ、モータのエネルギ効率を向上することができる。

また、ファン又はステータケーシングにおける軸受と接触する軸受接触部は、金属で形成されていてもよい。
こうすれば、軸受接触部の摩耗耐性の向上を図ることができる。

また、液体流路は、ファンの回転軸方向にステータを貫通して形成されていてもよい。
こうすれば、ノズルに液体を供給する配管が別途設けられるものに比して、液体流路を簡易にしたり、省スペースを図ったりすることができる。

また、液体流路は、ケーシングの気体吸入口を通ってノズルと連通してもよい。そして、ファンスクラバーは、気体吸入口における液体配路が配置されている部位の上流に設けられて気体吸入口に向けて流体を噴出する第２ノズルを更に備えてもよい。
これは、液体流路の付近を流れる気体が冷やされて固形化しやすいことに基づく。第２ノズルを備えることにより、気体吸入口に異物が堆積するのを抑制することができる。

本発明の真空ポンプ装置は、上記のファンスクラバーと、真空チャンバから気体を真空引きし、ファンスクラバーの気体吸入口に気体を吐出する真空ポンプと、を備える。
この本発明の真空ポンプ装置においても、本発明のファンスクラバーと同様の効果を奏することができる。

本実施形態の真空ポンプ装置の構成概略を示す図である。 第１実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。 図２のファンスクラバーにおいて液体の流れを太線矢印で示す図である。 すべり軸受および軸支部の断面の一例を示す図である。 第２実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。 第３実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。

以下、本発明の一実施形態に係るファンスクラバー及び真空ポンプ装置を図面に基づいて説明する。なお、図面では、同一または相当する構成要素には、同一の符号を付して重複した説明を省略する。本実施形態の真空ポンプ装置は、例えば半導体、液晶、太陽光パネル、又は、ＬＥＤ等の製造設備の一つとして利用することができる。

図１は、本実施形態の真空ポンプ装置の構成概略を示す図である。本実施形態の真空ポンプ装置１０は、図示しないチャンバに接続されてチャンバを真空引きする真空ポンプ１２と、真空ポンプ１２の後段に接続されるファンスクラバー２０及び除害装置１４を備える。本実施形態では、ポンプ１２は、一例として、ドライ真空ポンプが用いられている。

ファンスクラバー２０は、真空ポンプ１２からの気体に含まれる固形化物などの異物を除去するために設けられている。また、除害装置１４は、真空ポンプ１２からの気体を無害化処理するために設けられている。除害装置１４としては、燃焼式、乾式、湿式、ヒーター式、フッ素固定式、触媒式、プラズマ式、又は、希釈ユニット式（ブロア、Ｎ２添加、Ａｉｒ添加）等のうちの１つ又は複数を用いることができる。

本実施形態の真空ポンプ装置１０では、真空ポンプ１２によって真空引きされた気体がまずファンスクラバー２０に案内され、ファンスクラバー２０を通過した気体が除害装置１４に案内される。こうした構成により、固形化物などの異物が除害装置１４に導入されるのを抑制することができ、除害装置１４の詰まり又は処理効率の低下が生じるのを抑制することができる。

また、本実施形態では、ファンスクラバー２０にて異物を捕集するために利用された液体（廃液）が除害装置１４に導入されるものとした（図１中、ハッチングを付した部分参照）。これにより、ファンスクラバー２０にて利用される液体（以下、「洗浄液」または「潤滑液」という）を除害装置１４にて再利用することができる。ここで、除害装置１４での洗浄液の再利用としては、例えば、除害装置１４において気体から固形化した固形化物をファンスクラバー２０と同様に捕集するために利用してもよいし、除害装置１４を通過する気体と熱交換するために利用してもよい。また、除害装置１４の構成要素の潤滑または冷却などのために洗浄液を利用してもよい。なお、ファンスクラバー２０からの液体は、フィルタ又はトラップなどの異物を捕集する機構を通って除害装置１４に送られてもよい。

＜第１実施形態＞
次に、本実施形態の真空ポンプ装置１０に備えられたファンスクラバー２０について詳
細に説明する。図２は、第１実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。また、図３は、図２のファンスクラバーにおいて液体の流れを太線矢印で示す図である。図３中、実線矢印はノズル２７から吐出される洗浄液の経路を示しており、一点鎖線矢印はすべり軸受３８を通る潤滑液の経路を示している。本実施形態のファンスクラバー２０は、真空ポンプ１２から吐出される気体を気体吸入口２２ａから吸入する。そして、ファンスクラバー２０は、吸入した気体に含まれる固形化物等の異物を取り除いて、処理した気体を気体吐出口２２ｂから除害装置１４へ送る。ファンスクラバー２０は、ケーシング２２と、ファン２４と、液体噴出部２６と、モータ３０と、を備えている。

ケーシング２２は、処理対象である気体の流路を画定する。ケーシング２２には、真空ポンプ１２からの気体をケーシング２２内のファン２４へ案内する気体吸入口２２ａ、吸入した気体を吐出する気体吐出口２２ｂ、及び、洗浄液と潤滑液を廃液として吐出する液体排出口２２ｃが形成されている。本実施形態では、気体吸入口２２ａは、ケーシング２２の側面に形成され、真空ポンプ１２からの気体をファン２４の回転軸ＡＬに沿って案内する。また、本実施形態では、気体吐出口２２ｂは、ケーシング２２の上面に形成され、液体排出口２２ｃは、ケーシング２２の下面に形成されている。ただし、こうした例に限定されず、気体吸入口２２ａ、気体吐出口２２ｂ、及び液体排出口２２ｃはケーシング２２の任意の位置に形成されればよい。また、気体吸入口２２ａ，気体吐出口２２ｂ，及び液体排出口２２ｃのそれぞれは、流体または異物が円滑に流れるように、例えば下流に向かうほど鉛直下方に向かう傾斜等が形成されていてもよい。

ケーシング２２の内部には、ファン２４が配置されている。ファン２４は、モータ３０からの動力によって回転してケーシング２２内を撹拌する。本実施形態では、ファン２４は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）で形成されている。ただし、ファン２４は、その他の樹脂材料で形成されてもよく、また、アルミニウム等の金属材料で形成されてもよい。

本実施形態では、ファン２４は、すべり軸受３８を介してモータ３０のステータケーシング３６に軸支されている。ファン２４は、気体吸入口２２ａからケーシング２２内に吸入された気体を撹拌して気体吐出口２２ｂに案内できるものであれば如何なる構成であってもよい。一例として、ファン２４は、対向する２枚の円盤状の側板と、これらの側板の間に固着された複数の羽根と、を有する構成とすることができる。

また、ケーシング２２の内部には、液体噴出部２６が設けられている。液体噴出部２６は、ケーシング２２内に洗浄液を噴出する。洗浄液は、捕集する異物に基づいて決められればよい。洗浄液としては、一例として、水を使用することができる。

液体噴出部２６は、複数の噴出口が形成されたノズル２７と、ノズル２７と連通する液体配管２８と、を有する。液体噴出部２６は、図示しない圧送機構によって液体配管２８を介して洗浄液をノズル２７に供給し、ノズル２７から洗浄液を噴出する。本実施形態では、ノズル２７は、ファン２４の内側に設けられ、ファン２４の中央から外周に向けて洗浄液を吐出する。液体配管２８は、ファン２４の回転を妨げないように、気体吸入口２２ａ内に延びて配設されている。

また、ケーシング２２には、ファン２４と気体吐出口２２ｂとの間に衝突板２３が形成されている。ノズル２７から噴出される洗浄液はファン２４の遠心力によって外周に飛散するが、衝突板２３が設けられていることによって気体吐出口２２ｂに洗浄液が侵入するのを抑制することができる。なお、衝突板２３は、ファン２４と気体吐出口２２ｂとの間だけではなく、例えば、ファン２４の略全周を覆うように形成されてもよい。

モータ３０は、ファン２４に回転駆動力を提供して、ファン２４を回転軸ＡＬ回りに回転させる。図示するように、モータ３０は、ロータ３１とステータ３２とが回転軸ＡＬ方向に対向する、いわゆるアキシャルギャップ型のモータとして構成されている。モータ３０は、ロータ３１と、ステータ３２と、ステータケーシング３６と、を備える。

ロータ３１は、ファン２４に永久磁石３１ａが埋設されて構成されている。つまり、本実施形態のモータ３０では、ロータ３１はファン２４と一体に構成されている。また、ステータ３２は、ステータコア３３にステータコイル３４が装着された構成を有する。本実施形態のモータ３０では、ステータコイル３４への通電による電磁誘導によってロータ３１及びファン２４が回転軸ＡＬ回りに回転する。

ステータケーシング３６は、ケーシング２２と締結されている。図示するように、ステータケーシング３６は、ケーシング２２の内部と離隔してステータ３２を収容している。本実施形態では、ステータケーシング３６は、ＰＰＳで形成されている。このようにファン２４及びステータケーシング３６を樹脂で形成することによって、モータ３０の駆動時に渦電流が生じるのを抑制することができ、モータ３０のエネルギ効率の向上を図ることができる。ただし、ステータケーシング３６についても、ファン２４と同様に、ＰＰＳ以外の樹脂材料で形成されてもよいし、金属材料で形成されてもよい。

ステータケーシング３６は、回転軸ＡＬに沿ってケーシング２２内に突出する軸支部（軸受接触部）３７を有する。軸支部３７は、回転軸ＡＬを軸心とする円筒状に形成されている。軸支部３７は、外周側にすべり軸受３８が配設され、すべり軸受３８を介してファン２４を軸支する。軸支部３７は、ステンレスなどの金属で形成されている。ただし、軸支部３７は、すべり軸受３８と接触する外表面のみが金属で形成されていてもよい。軸支部３７の基部（図２及び図３中右側）には、軸支部３７の内周と外周とを接続する連通孔３７ａが形成されている。本実施形態では、一例として、周方向に均等な間隔で軸支部３７に複数の連通孔３７ａが設けられている。軸支部３７の内周側には液体配管２８が挿通され、これにより、液体配管２８は、ノズル２７と連通すると共に、軸支部３７の外周側に設けられたすべり軸受３８と連通する。

図４は、すべり軸受および軸支部の断面の一例を示す図である。すべり軸受３８は、一例として、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）で形成される。本実施形態では、すべり軸受３８は、ファンスクラバー２０の洗浄液を作動流体（潤滑液）とし、すべり面３８ａで軸支部３７を受ける。また、本実施形態のすべり軸受３８は、作動流体が円滑に流れるように、回転軸ＡＬ方向に延びる凹部３８ｂがすべり面３８ａに形成されている。図４に示す例では、３つの凹部３８ｂが円周方向に均等な位置に形成されている。なお、凹部３８ｂは、図４に示すように断面が矩形状であってもよいし、断面がＶ字形状または半円状などであってもよい。

図３に示すように、本実施形態のファンスクラバー２０では、図示しない圧送機構から液体配管２８に洗浄液が供給されると、一部がノズル２７から噴出され（図３中、太線矢印参照）、残部が軸支部３７の連通孔３７ａを通ってすべり軸受３８に供給される。ノズル２７から噴出される洗浄液は、ケーシング２７内部の気体を接触して気体に含まれる異物を捕捉し、液体排出口２２ｃから排出される。また、すべり軸受３８に供給される洗浄液は、すべり軸受３８の作動流体（潤滑液）として機能する。このように本実施形態のファンスクラバー２０では、ノズル２７から噴出される洗浄液とすべり軸受３８の作動流体とを同一の液体配管２８で供給でき、流路の簡易化、及び、ファンスクラバー２０の省スペース化を図ることができる。

以上説明した本実施形態のファンスクラバー２０では、永久磁石３１ａがファン２４に
埋設されてファン２４とロータ３１が一体に構成され、ステータ３２とロータ３１とが回転軸ＡＬ方向に対向して設けられる。このため、ステータケーシング３６によってステータ３２とケーシング２２内を離隔することができる。これにより、ケーシング２２内の気体がステータ３２に接触するのを防止することができ、ステータ３２が劣化するのを防止することができる。したがって、ケーシング２２内の気体によってファン２４を駆動するモータが損傷するのを抑制することができる。

また、ファンスクラバー２０では、ケーシング２２とステータケーシング３６が直接に連結されている。これにより、ケーシング２２とステータケーシング３６との気密を容易に確保することができ、ケーシング２２に吸入された気体が外部に漏出するのを抑制することができる。このため、例えば、ケーシング２２とステータケーシング３６との隙間からケーシング２２内に向けて窒素パージ等を行うものに比して、ファンスクラバー２０を簡易な構成とすることができる。なお、ステータケーシング３６とケーシング２２との連結は、ビスによる締結でもよいし、接着剤による接着でもよいし、溶接などでもよい。また、ケーシング２２とステータケーシング３６とは、別々に形成されるものに限定されず、一体に形成されてもよい。

＜第２実施形態＞
図５は、第２実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。第２実施形態のファンスクラバー２０Ａは、ノズル２７への洗浄液の供給経路が第１実施形態と異なる点を除いて、第１実施形態と同様である。

第２実施形態のファンスクラバー２０Ａでは、モータ３０Ａのステータ３２Ａ及びステータケーシング３６の中心に貫通孔３９が形成されている。つまり、ステータ３２Ａ及びステータケーシング３６Ａが中空に形成されている。ここで、図５に示すように、ステータケーシング３６Ａは、中空に形成されたステータ３２Ａの内周面を含んでステータ３２Ａの周りを覆うことが好ましい。そして、第２実施形態のファンスクラバー２０Ａでは、ステータケーシング３６Ａの内部（貫通孔３９）を洗浄液の液体流路とし、ステータケーシング３６Ａの内部を通じてノズル２７に洗浄液が供給される。

上記したように、第１実施形態のファンスクラバー２０では、液体配管２８が気体吸入口２２ａ内に配設されている。この場合には、気体吸入口２２ａを流れる気体が液体配管２８に流れる洗浄液によって冷やされて固形化物が生じ、気体吸入口２２ａに堆積する可能性がある。これに対して、第２実施形態のファンスクラバー２０Ａでは、モータ３０Ａのステータ３２Ａ側からノズル２７に洗浄液が供給されるので、気体吸入口２２ａに異物が堆積するのを抑制することができる。また、こうした構成により、気体吸入口２２ａに液体配管２８が設けられるものに比して、洗浄液の流路を簡易化、及び、ファンスクラバー２０Ａの省スペース化を図ることができる。

＜第３実施形態＞
図６は、第３実施形態のファンスクラバーの構成概略を示す図である。第３実施形態のファンスクラバー２０Ｂは、第２ノズル２７Ｂを備える点で第１実施形態と異なり、その他の点については、第１実施形態と同様である。

第３実施形態のファンスクラバー２０Ｂは、気体吸入口２２ａに洗浄液を噴出する第２ノズル２７Ｂを備えている。第２ノズル２７Ｂは、図６に示すように、気体吸入口２２ａ内に設けられ、図示しない圧送機構から洗浄液が供給される。具体的には、第２ノズル２７Ｂは、気体吸入口２２ａにおける液体配管２８が配置されている部位よりも上流に設けられる。こうした構成により、液体配管２８の近傍で気体が冷やされて固形化物が生じても、第２ノズル２７Ｂから洗浄液を噴出することで気体吸入口２２ａに異物が堆積するの
を抑制することができる。

＜変形例＞
上記したファンスクラバー２０では、洗浄液が流れる液体配管２８がすべり軸受３８に連通するものとした。しかし、ノズル２７への洗浄液の流路と、すべり軸受３８への作動流体への流路が別々に形成されてもよい。また、上記したファンスクラバー２０では、ファン２４の軸受として、すべり面３８ａに凹部３８ｂが形成されたすべり軸受３８が用いられるものとした。しかし、すべり軸受３８のすべり面３８ａに代えて、又は加えて、ステータケーシング３６の突出部３７外周面に凹部が形成されてもよい。また、凹部３８ｂが形成されていないすべり軸受を用いてもよい。さらに、すべり軸受に代えて、又は加えて、玉軸受など他の軸受の構成を用いてもよい。

上記した真空ポンプ装置１０では、真空ポンプ１２の後段に、ファンスクラバー２０と除害装置１４とが設けられるものとしたが、他の構成を更に備えてもよい。また、除害装置１４の後段にファンスクラバー２０が備えられてもよい。また、上記した真空ポンプ装置１０では、除害装置１４には、ファンスクラバー２０で利用された洗浄液が導入されるものとした。しかし、これに代えて、除害装置１４で利用された液体がファンスクラバー２０に供給されてノズル２７から噴出されてもよい。また、廃液を再利用しなくてもよい。

以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明にはその均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、実施形態および変形例の任意の組み合わせが可能であり、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。

１０ 真空ポンプ装置
１２ 真空ポンプ
１４ 除害装置
２０，２０Ａ〜２０Ｃ ファンスクラバー
２２ ケーシング
２２ａ 気体吸入口
２２ｂ 気体吐出口
２２ｃ 液体排出口
２３ 衝突板
２４ ファン
２６ 液体噴出部
２７ ノズル
２７Ｂ 第２ノズル
２７Ｃ 第３ノズル
２８ 液体配管
２９ スクレーパ
３０，３０Ａ モータ
３１ ロータ
３１ａ 永久磁石
３２，３２Ａ ステータ
３３ ステータコア
３４ ステータコイル
３６，３６Ａ ステータケーシング
３７ 軸支部
３７ａ 連通路
３８ すべり軸受
３８ａ すべり面
３８ｂ 凹部
３９ 貫通孔
ＡＬ 回転軸

Claims (7)

1. 気体吸入口および気体吐出口を有するケーシングと、
   前記ケーシング内に配置されるファンと、
   液体が流れる液体流路、及び、前記液体流路と連通して前記ケーシング内に前記液体を噴出するノズル、を有する液体噴出部と、
   永久磁石を有し前記ファンと一体に構成されるロータ、前記ファンの回転軸方向に前記永久磁石と対向して設けられるステータ、及び、前記ステータを収容するステータケーシング、を有するモータと、
   前記ケーシング又は前記ステータケーシングに対して前記ファンを軸支する軸受と、
   を備えるファンスクラバー。
2. 請求項１に記載のファンスクラバーであって、
   前記液体流路は、前記ノズルと前記軸受とに連通する、
   ファンスクラバー。
3. 請求項１又は２に記載のファンスクラバーであって、
   前記ファン及び前記ステータケーシングは、樹脂で形成されている、
   ファンスクラバー。
4. 請求項３に記載のファンスクラバーであって、
   前記ファン又は前記ステータケーシングにおける前記軸受と接触する軸受接触部は、金属で形成されている、
   ファンスクラバー。
5. 請求項１乃至４の何れかに記載のファンスクラバーであって、
   前記液体流路は、前記ファンの回転軸方向に前記ステータを貫通して形成されている、
   ファンスクラバー。
6. 請求項１乃至５の何れかに記載のファンスクラバーであって、
   前記液体流路は、前記ケーシングの気体吸入口を通って前記ノズルと連通し、
   前記気体吸入口における前記液体配路が配置されている部位の上流に設けられて前記気体吸入口に向けて流体を噴出する第２ノズルを更に備える、
   ファンスクラバー。
7. 請求項１乃至６の何れかに記載のファンスクラバーと、
   真空チャンバから気体を真空引きし、前記ファンスクラバーの気体吸入口に気体を吐出する真空ポンプと、
   を備える真空ポンプ装置。

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