JP2017103285A - ロードポートに設けられた載置台の上に載置されるアダプタ、およびロードポート - Google Patents

Abstract

【課題】カセット（容器）の底面情報によらずとも容器のサイズを判別することができる構成を備えるアダプタを提供すること。【解決手段】アダプタ２０が備えるカセットサイズ検知センサ４１，４２は、検出波を水平方向に照射する判別センサ照射部としての発光部４１ａ，４２ａと、当該判別センサ照射部から照射された検出波を検出する判別センサ検出部としての受光部４１ｂ，４２ｂと、を有し、前記判別センサ照射部からカセット５１，５２の側面に向かって検出波を照射することで、カセット５１，５２のサイズを判別する。【選択図】図４

Description

本発明は、半導体の製造などで用いられるロードポートに設けられた載置台の上に載置されるアダプタ、およびロードポートに関する。

上記したアダプタに関する従来技術として、例えば特許文献１に記載のものがある。その従来技術は、次のように構成されている。アダプタ（カセットアダプタ）の上面、すなわちアダプタのカセット載置面に、検出レバーと光学センサとから構成されるカセット識別部を設けて、このカセット識別部からのオンオフ信号により、アダプタの上に載置されたカセットの種類（サイズ）を識別する。

カセットのサイズを識別（検出）する手段として、特許文献２に記載のものもある。特許文献２では、カセットサイズ検出手段としての押圧センサを検出するカセット毎に載置台に取り付けて、これら押圧センサからのオンオフ信号により、載置台の上に載置されたカセットのサイズを検出している。

特開２０１５−５０４１０号公報 特開２０１５−１７０６８９号公報

特許文献１，２に記載されているようなカセットの種類（サイズ）を識別（検出）する方法は、カセットの底面の形状・寸法、すなわちカセットの底面情報に基づくカセットの種類（サイズ）の判別方法である。

しかしながら、例えば、半導体の製造工程で用いられているＦＦＣ（Film Flame Carrier）用カセット、およびフープリング（Hoop Ring）用カセットといったカセットは、半導体の製造機器メーカー、材料メーカーなどを構成員とする国際的な業界団体であるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）により策定されたＳＥＭＩ規格（Semiconductor Equipment and Materials International Standard）などで十分に規格化されていないため、カセットを生産する会社によって、カセットの底面の形状・寸法が異なっていたり、カセット底面の一部が底抜けになっていることがあり、カセットの底面情報からでは、カセットの種類（サイズ）を判別することができないことがある。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、カセット（容器）の底面情報によらずとも容器のサイズを判別することができる構成を備えるアダプタを提供することである。

本発明に係るアダプタは、ロードポートに設けられた載置台の上に載置され、被処理物のサイズにそれぞれ適合した、前記被処理物を収容する複数のサイズの容器が載置可能なアダプタであって、前記容器が載置される載置プレートの上面に設けられた容器位置決め部と、前記容器のサイズを判別するための複数の容器判別センサと、を備える。前記容器判別センサは、検出波を水平方向に照射する判別センサ照射部と、当該判別センサ照射部から照射された検出波を検出する判別センサ検出部と、を有し、前記判別センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射する。

この構成によると、容器の側面に向かって検出波を照射することで容器のサイズを判別できるので、容器の底面情報によらずとも容器のサイズを判別することができる。

また本発明において、前記容器が載置されているか否かを検出するための容器着座センサをさらに備え、前記容器着座センサは、検出波を水平方向に照射する着座センサ照射部と、当該着座別センサ照射部から照射された検出波を検出する着座センサ検出部と、を有し、前記着座センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射することが好ましい。

この構成によると、容器がアダプタに載置していることを確認することができる。また、容器の側面に向かって検出波を照射しているので、容器の底面情報によらずとも容器がアダプタに載置していることを確認することができる。

さらに本発明において、前記着座センサ照射部と前記着座センサ検出部とが、前記容器の側壁の下部部分を挟むように対向配置されていることが好ましい。

この構成によると、容器がアダプタに載置していることをより正確に確認することができる。

さらに本発明において、前記載置プレートは、上下方向に回動可能に構成されており、前記載置プレートが上方へ回動するように前記載置プレートを付勢する付勢手段が、前記載置プレートの下に配置されており、前記載置プレートは、前記容器が載置されていない場合は前記付勢手段の押上げ力によって水平方向に対して傾斜した状態となり、前記容器が載置されると、前記付勢手段の押上げ力に抗して下方へ回動して水平姿勢となることが好ましい。

この構成によると、作業者がアダプタに容器を載置し易くなるので、作業効率が向上する。

さらに本発明において、前記載置プレートの下に水平姿勢の固定プレートが配置されており、前記固定プレートの上面に前記容器判別センサが設けられていることが好ましい。

この構成によると、容器判別センサのケーブルを配線し易い。

また本発明は、ロードポートに関する発明でもある。本発明に係るロードポートは、前記したアダプタが載置される前記載置台を備えるロードポートであって、前記載置台には、前記アダプタが前記載置台の上に載置されているか否かを検出するためのアダプタ着座センサが設けられており、前記アダプタ着座センサからの信号と、前記容器判別センサからの信号とによって、前記被処理物の種類およびサイズを判別する判別部を備える。

この構成によると、種類およびサイズが異なる被処理物を１つのロードポートで処理することができる。

本発明によれば、カセット（容器）の底面情報によらずとも容器のサイズを判別することができる構成を備えるアダプタを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るロードポートを含む、半導体の製造に用いられる装置全体の概略平面図である。 図１に示すロードポートの斜視図である。 図２に示すロードポートを上方からみた平面図である。 図２に示すロードポートの載置台の上に載せるＦＦＣ用アダプタを示す斜視図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタを上方からみた平面図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタの底面図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタの上に１５０ｍｍＦＦＣ用カセットが載置された状態を示す斜視図である。 図４に示すＦＦＣ用アダプタの上に２００ｍｍＦＦＣ用カセットが載置された状態を示す斜視図である。 図２に示すロードポートの載置台の上に載せるHoop Ring用アダプタを示す斜視図である。 図９に示すHoop Ring用アダプタの底面図である。 回動可能な載置プレートを有するウエハ用アダプタを示す斜視図である。 図１１に示すウエハ用アダプタの右側面図である。 図１１に示すウエハ用アダプタの上に２００ｍｍウエハ用カセットが載置された状態を示す斜視図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。

（ロードポートを含む装置全体の構成）
図１に示す装置は、半導体の製造に用いられる装置であって、複数のロードポート１（本実施形態では３つ）と、搬送室２と、処理装置３とで構成される。ロードポート１は、ウエハ（Wafer）などの被処理物を、搬送室２の中の空間（搬送空間Ｓ）に出し入れするために、当該被処理物を収容する容器（例えば、カセット５１，５２，５３（図７，８，１３参照））が載置される装置である。なお、ウエハは、ウエハのみが（ウエハが直接）容器に収容される場合もあるし（図１３に示すカセット５３の場合）、ＦＦＣ（Film Flame Carrier）やフープリング（Hoop Ring）の上面（または下面）に貼ったテープに貼られた状態で容器に収容される場合もある（図７，８に示すカセット５１，５２はＦＦＣの場合である）。以下で単に「ＦＦＣ」と言う場合は、ＦＦＣ（Film Flame Carrier）の上面（または下面）に貼ったテープにウエハが貼られた状態のＦＦＣのことを指す。

搬送室２の中には搬送ロボット２２が配置されており、この搬送ロボット２２によって、ロードポート１と処理装置３との間で被処理物の受け渡しが行われる。搬送ロボット２２は、ロードポート１に載置された容器の中から被処理物を取り出し、搬送空間Ｓを経由して被処理物を処理装置３に供給する。なお、搬送空間Ｓは、搬送室２を構成する外壁である隔壁２１でその側方を区画される空間である。

ロードポート１は、制御装置４によってその動作が制御される。なお、制御装置４は、ロードポート１だけでなく搬送ロボット２２などの搬送室２内の機器も制御するものである場合もある。図１における制御装置４の図示は、ロードポート１が制御装置４で制御されるということを示すための図示であり、制御装置４の配置位置を示すものではない。ロードポート１の中に制御装置４が組み込まれている場合もあるし、搬送ロボット２２などの制御も含む制御装置が搬送室２の中に配置される場合もある。

なお、搬送室２（搬送空間Ｓ）から見てロードポート１が接続される側の向きを前方、その反対方向を後方と定義し、さらに、前後方向および鉛直方向に直交する方向を側方と定義し、それを図１中に示した。図２以降の図中に示す前方、後方、側方は、図１中に示す前方、後方、側方と一致する。

（ロードポートの構成）
主として図２〜図１０を参照しつつ、ロードポート１の構成を説明する。図２に示すように、ロードポート１は、搬送空間Ｓを区画する隔壁２１の一部を構成する板形状のベース１０を有する。ベース１０は立設配置され、このベース１０には、被処理物を搬送空間Ｓに出し入れするための開口としてのベース開口部１０ａが設けられている。搬送空間Ｓをクリーンな状態に保つため、通常時、ベース開口部１０ａはドア１２で閉じられている。

ベース１０の搬送空間Ｓの側とは反対側、すなわちベース１０の前方には、複数の被処理物を収容する容器が載置される載置台１１が設けられる。

図２、図３に示すように、載置台１１の上面には、複数の位置決めピン１１ａ、および複数のアダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅが設けられている。位置決めピン１１ａは、載置台１１の上の所定の位置にカセット（容器）を載置するためのピンであり、本実施形態では、配置が三角形となるように３つ設けられている。アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅは、載置台１１の上にアダプタが載置されているか否かを検出するためのセンサであり、本実施形態では、後方側の両側方端部に１つずつ、前方側の中央寄りに２つ、合わせて計４つ設けられている。アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅは、公知の機械スイッチであり、載置台１１の上面から上方へ突出する先端部が、アダプタの底面で押されて沈み込むことでオンするようになっている。アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅからのオンオフ信号は、制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）に送られる。

被処理物を収容する容器の一例を図７，８に示している。図７，８に示すカセット５１，５２は、それぞれ、複数のＦＦＣを収容する容器であり、図７に示すカセット５１は、径が１５０ｍｍのＦＦＣを収容する１５０ｍｍＦＦＣ用カセットである。図８に示すカセット５２は、径が２００ｍｍのＦＦＣを収容する２００ｍｍＦＦＣ用カセットである。図７，８にはそれぞれ１つのＦＦＣしか示していないが、カセット５１，５２には、それぞれ、複数のＦＦＣが、上下方向に一定の間隔をあけて水平姿勢でカセット５１，５２の中に収容される。カセット５１，５２は、載置台１１の上に載置された状態における後方（搬送空間Ｓの側）、および前方（その反対側）に、それぞれ、開口部５１ａ，５２ａ、開口部５１ｂ，５２ｂを有する。

＜アダプタ＞（ＦＦＣ用）
ここで、カセット５１，５２は、カセット５１，５２に共通のＦＦＣ用アダプタ２０を介して載置台１１の上に載せられる。すなわち、ＦＦＣ用アダプタ２０は、複数のサイズのカセットが載置可能なアダプタである。

ＦＦＣ用アダプタ２０は、３つの位置決めピン用孔４９ａ、および１つのアダプタ着座センサ用孔４９ｂがあけられた（図６参照）本体プレート４９と、本体プレート４９の上方に配置された載置プレート４７とを有し、本体プレート４９と載置プレート４７とは側板４８で連結されている。カセット５１，５２が載置される載置プレート４７の上面には、容器位置決め部としての、１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４、２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５、およびＦＦＣカセット用共通ガイド４６が設けられている。

なお、１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４、２００ｍｍカセット用ガイド４５、およびＦＦＣカセット用共通ガイド４６それぞれの上面には、これらを載置プレート４７にネジ固定するための溝が形成されている。この溝は、縦長形状になっているため、載置プレート４７に対してこれらガイドを固定する際、溝に沿って固定位置を調整可能になっている。このため、寸法が異なるカセットでも、これらガイドの位置を調整することで、載置プレートと４７に載置可能になっている。

１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４のうちの１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４ａは、載置プレート４７上でのカセット５１の側方向（幅方向）の位置を決めるための部材であり、１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４４ｂは、載置プレート４７上でのカセット５１の前後方向の位置を決めるための部材である。２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５のうちの２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５ａは、載置プレート４７上でのカセット５２の側方向（幅方向）の位置を決めるための部材であり、２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド４５ｂは、載置プレート４７上でのカセット５２の前後方向の位置を決めるための部材である。

また、載置プレート４７の上面には、カセット５１，５２のサイズを判別するための容器判別センサとしての、カセットサイズ検知センサ４１，４２が設けられている。カセットサイズ検知センサ４１，４２は、光学式のセンサであり、それぞれ、発光部４１ａ，４２ａ（判別センサ照射部）、および受光部４１ｂ，４２ｂ（判別センサ検出部）を備えている。発光部４１ａ，４２ａおよび受光部４１ｂ，４２ｂは、載置された状態における大きい方のカセット５２よりも外方に配置される。なお、光学式のセンサは、レーザー光式のセンサを含む。

発光部４１ａ，４２ａは、光（検出波）をカセット５１，５２の側面に向かって水平方向に照射する。カセット５１，５２の側面で光が遮光されると、受光部４１ｂ，４２ｂには照射された光が到達しないので、これにより、カセットサイズ検知センサ４１，４２はオンとなる。一方、カセット５１，５２が存在しないと、照射された光は受光部４１ｂ，４２ｂに到達し、受光部４１ｂ，４２ｂで検出されるので、これによりカセットサイズ検知センサ４１，４２はオフとなる。

カセットサイズ検知センサ４１の発光部４１ａは、載置プレート４７の右端部に設けられ、カセットサイズ検知センサ４２の発光部４２ａは、載置プレート４７の左端部に設けられている。このように、載置プレート４７上の２つのカセットサイズ検知センサ４１，４２の発光方向（照射方向）を反対とすることで光の干渉を防止することができる。

カセットサイズ検知センサ４１，４２は、カセット５１，５２のうちのどちらのカセットがＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているかを検知するためのセンサであり、内側のカセットサイズ検知センサ４１がオンしているが（遮光状態）、外側のカセットサイズ検知センサ４２がオンしていない場合（投光状態）は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているのは小さい方のカセット５１ということになる（図７）。これに対して、カセットサイズ検知センサ４１，４２の両方がオンしている場合は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上に載置されているのは大きい方のカセット５２ということになる（図８）。なお、当然ではあるが、カセットサイズ検知センサ４１，４２の両方がオンしていない場合は、ＦＦＣ用アダプタ２０の上にカセットが載置されていないということである。

カセットのサイズと、ＦＦＣのサイズとは一対一の関係にあるため（カセット５１，５２は、１５０ｍｍＦＦＣ、２００ｍｍＦＦＣのサイズにそれぞれ適合しているため）、カセットのサイズが検知されることは、ＦＦＣのサイズが検知されることでもある。すなわち、カセットサイズ検知センサ４１，４２により、ＦＦＣのサイズが検知される（判別される）。

また、載置プレート４７の上面には、カセット５１，５２が載置されているか否かを検出するための容器着座センサとしての、カセット着座センサ４３が設けられている。カセット着座センサ４３は、カセットサイズ検知センサ４１，４２と同様に、光学式のセンサであり、発光部４３ａ（着座センサ照射部）、および受光部４３ｂ（着座センサ検出部）を備えている。

発光部４３ａおよび受光部４３ｂは、載置された状態におけるカセット５１，５２の側壁５１ｃ，５２ｃ（図７，８参照）の下部部分を、これら発光部４３ａと受光部４３ｂとで間に挟むように対向配置される。また、本実施形態では、載置プレート４７の対角にそれぞれ１組ずつ計２つのカセット着座センサ４３が設けられている。なお、カセット着座センサ４３は１つであってもよい。

載置プレート４７の上に、カセット５１またはカセット５２が載置されると、カセット着座センサ４３がオンすることで（遮光状態）、載置プレート４７の上にカセットが載置していることを確認できる。

発光部４３ａは、光（検出波）をカセット５１，５２の側面に向かって水平方向に照射する。カセット５１，５２の側面で光が遮光されると、受光部４３ｂには照射された光が到達しないので、これにより、カセット着座センサ４３はオンとなる。一方、カセット５１，５２が存在しないと、照射された光は受光部４３ｂに到達し、受光部４３ｂで検出されるので、これによりカセット着座センサ４３はオフとなる。

なお、本実施形態では、カセットサイズ検知センサ４１，４２とカセット着座センサ４３を、同一部品で構成しており、この場合、センサ取付に要する時間やセンサ調達コストが下がる。

ＦＦＣ用アダプタ２０の本体プレート４９に設けられたコネクタ２０ａには、カセット着座センサ４３、およびカセットサイズ検知センサ４１，４２がケーブル等で接続されており、これらセンサからの信号は、コネクタ２０ａ部分を経由して制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）に送られる。すなわち、カセットが載置されているか否か、およびＦＦＣのサイズ情報は、ＦＦＣ用アダプタ２０から制御装置４内の判別部４ａへ送られる。なお、アダプタ（ＦＦＣ用アダプタ２０）に信号送受信部を組込み、アダプタと制御装置４との間で信号を通信してもよい。

上記により、ロードポート１の載置台１１の上に載置されているＦＦＣ用カセットのサイズ、ひいては、ＦＦＣのサイズが制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）にて判別される。

制御装置４は、カセット５１のサイズに応じたマッピングパラメータ、すなわち、ＦＦＣのサイズに応じたマッピングパラメータを自動選定する。

なお、前記したマッピングパラメータは、予め設定されたマッピング開始位置、マッピング終了位置、マッピング速度、センサ出力の判別方法・判別基準（ＦＦＣ,HoopRing,ウエハで、厚みやスロットピッチが違うので、センサで被処理物が所定枚数あるかどうかを判断する基準が変わる）など、マッピングの動作に関わる情報を意味する。これらのマッピングパラメータは、予め制御装置４に記憶しておいてもよいし、外部から有線または無線で受信してもよい。また、マッピングパラメータとして、ウエハサイズ別でそれぞれ、ＦＦＣ用のマッピングパラメータと、HoopRing用のマッピングパラメータと、ウエハ用のマッピングパラメータとを、準備しておくと、マッピングパラメータの自動選択が容易になる。

また、制御装置４が搬送ロボット２２の制御も行なう場合、搬送ロボット２２についても、制御装置４は、カセット５１のサイズに応じたロボットパラメータを自動選択する。なお、前記したロボットパラメータは、予め設定された搬送ロボット２２のアクセス速度、アクセス高さ、アクセス位置、アクセス経路、被処理物の保持方法・手順（ＦＦＣ、HoopRing、ウエハで、寸法や厚みやスロットピッチが違うので、同じ動作で全ての被処理物を搬送できない。）など、搬送ロボット２２の動作に関わる情報を意味する。また、ロボットパラメータとして、ウエハサイズ別でそれぞれ、ＦＦＣ用のロボットパラメータと、HoopRing用のロボットパラメータと、ウエハ用のロボットパラメータとを、準備しておくと、ロボットパラメータの自動選択が容易になる。さらに、ＦＦＣ、HoopRing、カセットの種類によってこれらを保持する保持部の種類が異なる場合があるので、ロボットパラメータに、保持部の種類に関する情報も関連付けておくと良い。

このように、制御装置４は、判別部によって判別されたカセットの種類およびサイズが特定された場合、マッピングパラメータやロボットパラメータなど装置の動作モードを自動で切替えることができる。なお、ロードポートや搬送ロボットが複数台ある場合に、その中の一つのみの動作モードを変更することもできる。

また、本体プレート４９に配置するコネクタ２０ａなどの部材は、本体プレート４９の上面に配置することが好ましい。このように構成することで、本体プレート４９の上面にコネクタ２０ａなどの部材を取り付けし易くなる。また、載置プレート４７に配置するカセット着座センサ４３、カセットサイズ検知センサ４１，４２、カセット用ガイド４４〜４６の部材も、本体プレート４９の上面に配置することが好ましい。このように構成することで、同様に部品の取付けが容易になる。

本実施形態のように、載置プレート４７上面および本体プレート４９の上面にそれぞれ部品を取付けておくと、アダプタを下記の手順で組み立てることができる。

まず、載置プレート４７の上面、本体プレート４９の上面に部品を取付ける。次に、載置プレート４７と本体プレート４９との間で配線を行なう。そして、配線完了後、本体プレート４９と載置プレート４９とを、例えば、側板４８を使って、ネジなどで固定する。さらに、本実施形態のように、載置プレート４７と本体プレート４９とを高さを変えて固定しておくとことが好ましい。そうすれば、両プレートの間をメンテナンス・修理等を行なうための領域として利用でき、メンテナンス時に載置プレート４７と本体プレート４９とを分離せずに部品交換、配線等のメンテナンスを行える。

なお、上記の内容は、後述するHoop Ring用アダプタ８０のカセット着座センサ８３、カセットサイズ検知センサ８１，８２、およびウエハ用アダプタ９０のカセット着座センサ９３、カセットサイズ検知センサ９１，９２についても同じである。すなわち、これら各センサからの信号は、制御装置４内の判別部４ａへ送られ、当該判別部４ａにて、各種カセットのサイズ、ひいては、各種被処理物のサイズが判別される。

＜アダプタ＞（Hoop Ring用）
図９，１０は、図１に示すロードポートの載置台の上に載せるHoop Ring用アダプタ８０を示す図である。Hoop Ring用アダプタとは、フープリング（Hoop Ring）の上面（または下面）に貼ったテープにウエハが貼られた状態のもの（被処理物）を複数枚収容するカセット（Hoop Ring用カセット）が載せられるアダプタであり、さらには、上記被処理物のサイズにそれぞれ適合した、当該被処理物を収容する複数のサイズのHoop Ring用カセット（不図示）が載置可能なアダプタである。以下で単に「Hoop Ring」と言う場合は、フープリング（Hoop Ring）の上面（または下面）に貼ったテープにウエハが貼られた状態のHoop Ringのことを指す。

Hoop Ring用アダプタ８０の各部の構成は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０の各部の構成と類似するため、適宜説明を省略しつつ、Hoop Ring用アダプタ８０の構成について以下に記載する。

Hoop Ring用アダプタ８０は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０と同様に、本体プレート８９と、本体プレート８９の上方に配置された載置プレート８７とを有する。Hoop Ring用カセットが載置される載置プレート８７の上面には、Hoop Ring用カセットのサイズを判別するための容器判別センサとしてのカセットサイズ検知センサ８１，８２、およびHoop Ring用カセットが載置されているか否かを検出するための容器着座センサとしてのカセット着座センサ８３などが設けられている。

カセットサイズ検知センサ８１，８２は、光学式のセンサであり、それぞれ、発光部８１ａ，８２ａ（判別センサ照射部）、および受光部８１ｂ，８２ｂ（判別センサ検出部）を備えている。また、カセット着座センサ８３は、カセットサイズ検知センサ８１，８２と同様に、光学式のセンサであり、発光部８３ａ（着座センサ照射部）、および受光部８３ｂ（着座センサ検出部）を備えている。

図１０は、図９に示すHoop Ring用アダプタ８０の底面図である。Hoop Ring用アダプタ８０の本体プレート８９には、ＦＦＣ用アダプタ２０の本体プレート４９と同様に、３つの位置決めピン用孔８９ａ、および１つのアダプタ着座センサ用孔８９ｂがあけられている。

Hoop Ring用アダプタ８０の３つの位置決めピン用孔８９ａ、ＦＦＣ用アダプタ２０の３つの位置決めピン用孔４９ａ、およびロードポート１の載置台１１に設けられた３つの位置決めピン１１ａは相互に対応するものであり、載置台１１に設けられた３つの位置決めピン１１ａに、各アダプタ８０，２０の３つの位置決めピン用孔８９ａ，４９ａが、それぞれ嵌り込むことで、各アダプタ８０，２０は、載置台１１の上で位置決めされる。

図６と図１０とを比較参照されたい。ＦＦＣ用アダプタ２０のアダプタ着座センサ用孔４９ｂの位置と、Hoop Ring用アダプタ８０のアダプタ着座センサ用孔８９ｂの位置とは、異なっている。ここで、ロードポート１の載置台１１に設けられた４つのアダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅのうちのアダプタ着座センサ１１ｄと、ＦＦＣ用アダプタ２０のアダプタ着座センサ用孔４９ｂとが対応するとともに、アダプタ着座センサ１１ｂと、Hoop Ring用アダプタ８０のアダプタ着座センサ用孔８９ｂとが対応する。アダプタ着座センサ用孔４９ｂの孔径は、アダプタ着座センサ１１ｄのセンサ部の外径よりも大きく、アダプタ着座センサ用孔８９ｂの孔径は、アダプタ着座センサ１１ｂのセンサ部の外径よりも大きい。

そのため、ロードポート１の載置台１１の上にＦＦＣ用アダプタ２０が載置されると、アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅのうちのアダプタ着座センサ１１ｄのセンサ部は、アダプタ着座センサ用孔４９ｂの孔の中に入り、これ以外のアダプタ着座センサ１１ｂ，１１ｃ，１１ｅのみがアダプタの底面で押されて沈み込むことでオンする。これにより、載置台１１の上に載置されているのがＦＦＣ用アダプタであることを確認できる。

一方、ロードポート１の載置台１１の上にHoop Ring用アダプタ８０が載置されると、アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅのうちのアダプタ着座センサ１１ｂのセンサ部は、アダプタ着座センサ用孔８９ｂの孔の中に入り、これ以外のアダプタ着座センサ１１ｃ，１１ｄ，１１ｅのみがアダプタの底面で押されて沈み込むことでオンする。これにより、載置台１１の上に載置されているのがHoop Ring用アダプタであることを確認できる。

上記により、アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅからのオンオフ信号が入力される制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）にて、ロードポート１の載置台１１の上に載置されているアダプタの種類、ひいては、被処理物の種類（ＦＦＣかHoop Ringか）が判別される。

前記したことを合わせると、アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅからの信号と、カセットサイズ検知センサ４１，４２からの信号とによって、被処理物の種類（例えば、被処理物がＦＦＣであること）、および被処理物のサイズ（例えば、ＦＦＣのサイズ）が、制御装置４（制御装置４内の判別部４ａ）にて判別される。

（アダプタの他の実施形態）
図１１〜１３を参照しつつ、アダプタの他の実施形態として、回動可能な載置プレートを有するアダプタの一例について説明する。なお、前記したＦＦＣ用アダプタ２０、およびHoop Ring用アダプタ８０は、いずれも、載置プレートが水平姿勢で固定とされたアダプタである。

図１１〜１３に示すアダプタは、複数のウエハが直接収容されるウエハ用カセット５３（図１３参照）が載置されるウエハ用アダプタ９０である。ウエハ用アダプタ９０の各部の構成のうち、前記したＦＦＣ用アダプタ２０の各部の構成と類似する部分については、適宜説明を省略することとする。

ウエハ用カセット５３は、径が２００ｍｍのウエハを収容する２００ｍｍウエハ用カセットであり、前記したＦＦＣ用のカセット５１，５２と同様に、載置台１１の上に載置された状態における後方、および前方に、それぞれ、開口部５３ａ，５３ｂを有する容器である。

ウエハ用アダプタ９０は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０と同様に、本体プレート９９、載置プレート９７を有する。本体プレート９９には、コネクタ９０ａ、位置決めピン用孔９９ａなどが設けられている。載置プレート９７の上面には、容器位置決め部としての、１５０ｍｍウエハカセット用ガイド９４（９４ａ，９４ｂ）、および２００ｍｍウエハカセット用ガイド９５が設けられている。すなわち、ウエハ用アダプタ９０は、前記したＦＦＣ用アダプタ２０と同様に、複数のサイズのウエハ用カセットをその上に載置することができるアダプタである。

ここで、ウエハ用アダプタ９０では、本体プレート９９と載置プレート９７との間に水平姿勢の固定プレート１００を設けている。固定プレート１００の前方側の端部には、その両側にヒンジ１０１（回動部）が取り付けられ、載置プレート９７はこのヒンジ１０１を支点にして上下方向に回動可能とされている。なお、本体プレート９９と固定プレート１００とは側板９８で連結されている。

また、載置されたウエハ用カセットのサイズを判別するためのカセットサイズ検知センサ９１，９２（発光部９１ａ，９２ａ、受光部９１ｂ，９２ｂ）、および、ウエハ用カセットが載置されているか否かを検出するためのカセット着座センサ９３（発光部９３ａ、受光部９３ｂ）は、載置プレート９７の上ではなく、固定プレート１００の上に配置されている。

また、図１２等に示されているように、固定プレート１００のうちのヒンジ１０１に近い部分には、載置プレート９７をその下から上方へ向かって付勢する付勢手段としてのスプリングプランジャ１０２，１０３が取り付けられている。スプリングプランジャ１０２，１０３は、内部に収容されているコイルばね（スプリング）の弾性力でその先端部１０２ａ，１０３ａが突出方向に付勢されている公知の部品である。これらのスプリングプランジャ１０２，１０３は、固定プレート１００の幅方向に間隔をあけて、それぞれ２つずつ設けられている。

ヒンジ１０１を支点にして上下方向に回動する載置プレート９７は、ウエハ用カセット５３がその上に載置されていないときは、スプリングプランジャ１０２，１０３の押上げ力によって水平方向に対して傾斜した状態となる（図１１，１２）。ウエハ用カセット５３が載置されると、載置プレート９７（各ガイド９４，９５を含む）およびウエハ用カセット５３（収容されているウエハを含む）の自重により、スプリングプランジャ１０２，１０３の押上げ力に抗して下方へ回動して水平姿勢となる（図１３）。なお、固定プレート１００の上面にはショックアブソーバ１０４が取り付けられており、載置プレート９７が水平姿勢になるときの衝撃が緩和される。

前記したように、カセット着座センサ９３およびカセットサイズ検知センサ９１，９２が、載置プレート９７の上ではなく、固定プレート１００の上に配置されているため、載置プレート９７が水平姿勢となったときに、カセット着座センサ９３によりウエハ用カセット５３の存在が確認されるとともに、カセットサイズ検知センサ９１，９２によりウエハ用カセット５３のサイズが判別される。

一般的に、カセットを運ぶ作業者は、被処理物であるウエハが収納されたカセットのウエハ取出口（開口部５３ａ）を上に向けてカセットを運ぶ。カセット（例えばオープンカセットであるウエハ用カセット５３）には、上下方向に一定の間隔をあけて複数のウエハが水平姿勢でその中に収容されるのであるが、カセットをそのまま水平姿勢で運ぶと、カセットからウエハが飛び出てしまうことがあるからである。このため、載置プレート９７の上にカセットを載置する際、載置プレート９７が傾斜していると、作業者は載置プレート９７の上にカセットを載置し易い。これにより、作業効率を向上させることができる。

なお、スプリングプランジャ１０２，１０３の押上げ力、すなわち内部に収容されているコイルばね（スプリング）の弾性力は、ウエハ用アダプタ９０の載置プレート９７の上に載せる全てのサイズのウエハ用カセットが、当該ウエハ用カセットを載せたときに自重で下方に回動する弾性力とされる。

（変形例）
アダプタ着座センサ１１ｂ〜１１ｅは機械スイッチであるが、これに代えて、光学式のセンサなどをアダプタ着座センサとして用いてもよい。

カセットサイズ検知センサ４１，４２、カセット着座センサ４３に関し、発光部４１ａ，４２ａ，４３ａと、受光部４１ｂ，４２ｂ，４３ｂを近接させ、被処理物に当たって反射してきた光を受光部４１ｂ，４２ｂ，４３ｂで検知する構成（反射式のセンサ）としてもよい。カセットサイズ検知センサ８１，８２、カセット着座センサ８３、カセットサイズ検知センサ９１，９２、およびカセット着座センサ９３についても同様である。

また、上記の各センサとして、光学式のセンサに代えて、電磁波や超音波のような検出波を利用したセンサを用いてもよい。

上記実施形態では、カセットサイズ検知センサ４１，４２とカセット着座センサ４３を別々に設けた。しかしながら、カセット着座センサ４３をカセットサイズ検知センサとして兼用させてもよい。この結果、センサの部品点数が減り、コストダウンになる。例えば、カセットサイズ検知センサ４１を取外し、その代わりにカセット着座センサ４３のうちの一方を、その受光部４３ｂがカセットサイズ検知センサの受光部４１ｂの位置となるようカセット着座センサ４３の位置に配置すればよい。そうすれば、カセット着座センサ４３（兼用センサ）とカセットサイズ検知センサ４２の両方が遮光された場合、２００ｍｍＦＦＣ用カセットであると認識し、カセット着座センサ４３（兼用センサ）のみが遮光された場合、１５０ｍｍＦＦＣ用カセットが載置されたと認識できる。

被処理物は、ウエハのような半導体基板以外に、ガラス基板（液晶パネル、有機／無機ＥＬ等のディスプレイ用基板）、細胞等を内部に収容可能なプレートやシャーレなどを挙げることができる。容器としては、前記した実施形態で示したカセット５１，５２，５３のようなオープンカセットと呼ばれる開放型の容器以外に、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる開閉可能な蓋を備える密閉型の容器などを挙げることができる。

載置プレートが回動するアダプタに関し、前記した実施形態では、複数のスプリングプランジャ１０２，１０３を用いているが、スプリングプランジャは１つだけであってもよい。

載置プレートが回動するアダプタに関し、カセットサイズ検知センサ９１，９２、およびカセット着座センサ９３を、回動する載置プレート９７の上面に設けてもよい。

その他に、当業者が想定できる範囲で種々の変更を行えることは勿論である。

１：ロードポート
２：搬送室
３：処理装置
４：制御装置
４ａ：判別部
１１：載置台
１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ：アダプタ着座センサ
２０：ＦＦＣ用アダプタ（アダプタ）
４１，４２：カセットサイズ検知センサ（容器判別センサ）
４１ａ，４２ａ：発光部（判別センサ照射部）
４１ｂ，４２ｂ：受光部（判別センサ検出部）
４３：カセット着座センサ（容器着座センサ）
４３ａ：発光部（着座センサ照射部）
４３ｂ：受光部（着座センサ検出部）
４４：１５０ｍｍＦＦＣカセット用ガイド（容器位置決め部）
４５：２００ｍｍＦＦＣカセット用ガイド（容器位置決め部）
４６：ＦＦＣカセット用共通ガイド（容器位置決め部）
４７：載置プレート
５１：１５０ｍｍＦＦＣ用カセット（容器）
５２：２００ｍｍＦＦＣ用カセット（容器）
５３：２００ｍｍウエハ用カセット（容器）
８０：Hoop Ring用アダプタ（アダプタ）
８１，８２：カセットサイズ検知センサ（容器判別センサ）
８１ａ，８２ａ：発光部（判別センサ照射部）
８１ｂ，８２ｂ：受光部（判別センサ検出部）
８３：カセット着座センサ（容器着座センサ）
８３ａ：発光部（着座センサ照射部）
８３ｂ：受光部（着座センサ検出部）
８７：載置プレート
９０：ウエハ用アダプタ（アダプタ）
９１，９２：カセットサイズ検知センサ（容器判別センサ）
９１ａ，９２ａ：発光部（判別センサ照射部）
９１ｂ，９２ｂ：受光部（判別センサ検出部）
９３：カセット着座センサ（容器着座センサ）
９３ａ：発光部（着座センサ照射部）
９３ｂ：受光部（着座センサ検出部）
９４：１５０ｍｍウエハカセット用ガイド（容器位置決め部）
９５：２００ｍｍウエハカセット用ガイド（容器位置決め部）
９７：載置プレート
１００：固定プレート
１０２，１０３：スプリングプランジャ（付勢手段）

Claims (6)

1. ロードポートに設けられた載置台の上に載置され、被処理物のサイズにそれぞれ適合した、前記被処理物を収容する複数のサイズの容器が載置可能なアダプタであって、
   前記容器が載置される載置プレートの上面に設けられた容器位置決め部と、
   前記容器のサイズを判別するための複数の容器判別センサと、
   を備え、
   前記容器判別センサは、検出波を水平方向に照射する判別センサ照射部と、当該判別センサ照射部から照射された検出波を検出する判別センサ検出部と、を有し、
   前記判別センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射することを特徴とする、アダプタ。
2. 請求項１に記載のアダプタにおいて、
   前記容器が載置されているか否かを検出するための容器着座センサをさらに備え、
   前記容器着座センサは、検出波を水平方向に照射する着座センサ照射部と、当該着座別センサ照射部から照射された検出波を検出する着座センサ検出部と、を有し、
   前記着座センサ照射部から前記容器の側面に向かって検出波を照射することを特徴とする、アダプタ。
3. 請求項２に記載のアダプタにおいて、
   前記着座センサ照射部と前記着座センサ検出部とが、前記容器の側壁の下部部分を挟むように対向配置されていることを特徴とする、アダプタ。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載のアダプタにおいて、
   前記載置プレートは、上下方向に回動可能に構成されており、
   前記載置プレートが上方へ回動するように前記載置プレートを付勢する付勢手段が、前記載置プレートの下に配置されており、
   前記載置プレートは、前記容器が載置されていない場合は前記付勢手段の押上げ力によって水平方向に対して傾斜した状態となり、前記容器が載置されると、前記付勢手段の押上げ力に抗して下方へ回動して水平姿勢となることを特徴とする、アダプタ。
5. 請求項４に記載のアダプタにおいて、
   前記載置プレートの下に水平姿勢の固定プレートが配置されており、
   前記固定プレートの上面に前記容器判別センサが設けられていることを特徴とする、アダプタ。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載のアダプタが載置される前記載置台を備えるロードポートであって、
   前記載置台には、前記アダプタが前記載置台の上に載置されているか否かを検出するためのアダプタ着座センサが設けられており、
   前記アダプタ着座センサからの信号と、前記容器判別センサからの信号とによって、前記被処理物の種類およびサイズを判別する判別部を備えることを特徴とする、ロードポート。

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