JP2017105172A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの流路部材の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出ヘッドにおける流路部材の表面にフィラーが露出しない液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】液体を吐出するための液体吐出ヘッドは、液体に接する流路が設けられた、樹脂（３１００）によって形成される流路部材であって、樹脂（３２００）によって被覆されたフィラー（３２１０）が充填された流路部材、を具える。【選択図】図４

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの流路部材の製造方法に関し、詳しくは、流路部材を樹脂などの成形材にフィラーを充填して形成する技術に関するものである。

液体吐出ヘッドの一例としてインクジェット記録ヘッド（以下、単に「記録ヘッド」ともいう）では、例えば、エネルギー発生素子が設けられた基板を支持する支持部材を、樹脂にフィラーを充填することによって形成したものが知られている。特許文献１には、記録ヘッドにおいて基板を支持するための支持部材を、樹脂にフィラーを充填することによって形成することが記載されている。支持部材を形成する際に、フィラーを用いることによって線膨張係数を小さくすることができ、それによって、接合される基板との間で生じ得る応力を低減している。

特許文献１に記載の支持部材は、インク供給室と基板との間でインク連通するための流路が設けられるものであり、また、一般的に支持部材の材料として用いられるアルミナと較べて、安価に製造することが可能となる。

特開２０１０−２４７５０８号公報

しかしながら、上述の支持部材のような、インク等の液体が接する流路が形成された流路部材が、樹脂などの成形材にフィラーを充填して形成されたものでは、成形物の表面にフィラーが露出し、それがインク等の液体中に溶け込むおそれがある。特に、比較的多量のフィラーを添加して小さい線膨張率を実現しようとするときは、フィラーが成形物の表面に露出して来て、液体中に溶液中に溶け込み易くなる。そして、このように、溶液中に溶け込んだフィラーは、例えば、記録ヘッドのノズルを目詰まりさせるなどの弊害を生じさせることがある。

上記課題を解決するために本発明は、液体を吐出するための液体吐出ヘッドであって、液体に接する流路が設けられた、樹脂によって形成される流路部材であって、樹脂によって被覆されたフィラーが充填された流路部材、を具えたことを特徴とする。

（ａ）および（ｂ）は、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの側面図および平面図である。 図１に示す記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の一実施形態に係る、ベースプレートを形成する処理を示すフローチャートである。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の一実施形態に係る成形物の表面および断面を示す図である。 （ａ）および（ｂ）は、比較例に係る成形物の表面および断面を示す図である。 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドを備えたインクジェット記録装置の外観斜視図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。

図１（ａ）および（ｂ）は、本発明の液体吐出ヘッドの一実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの側面図および平面図である。また、図２は、図１に示す記録ヘッドの分解斜視図である。

図１（ａ）および（ｂ）に示すように、本実施形態の記録ヘッド１０００は、千鳥状に配列した複数記録素子基板１１００を備え、それぞれの記録素子基板に設けられた、記録素子を構成するノズルからインクを吐出する。記録ヘッド１０００において、それぞれの記録素子基板１１００の周囲には電気配線基板１３００が設けられ、これにより、それぞれの記録素子基板１１００記録ヘッドの１０００が装着された記録装置本体との間で、電気信号などの授受を行うことが可能となる。本実施形態の記録ヘッド１０００は、フルラインタイプの記録ヘッドである。すなわち、搬送される記録媒体の幅に対応した範囲に複数の記録素子基板１１００による全体のノズルが配列されたものである。

図２に示すように、本実施形態の記録ヘッド１０００は、シリコン(Ｓｉ)で形成されている記録素子基板１１００と、記録素子基板を支持するためのベースプレート１２００と、記録素子基板と記録装置との電気的接続を行うための電気配線基板１３００と、ベースプレート１２００に接合されるインク供給部材１５００とを有して構成されている。複数の記録素子基板１１００は、ベースプレート１２００の主面１２００ａに、記録媒体の搬送方向と交差する方向において千鳥状に配置され、主面１２００ａの反対側の面１２００ｂにはインク供給部材１５００が接合される。この構成において、インク供給部材１５００に設けられたインク貯蔵部１５１０に貯留されたインクは、ベースプレート１２００に、個々の記録素子に対応して設けられたインク供給スリット１２１０を介して、記録素子基板１１００における、ノズルごとの、発熱ヒータが設けられた圧力室に供給される。

このようにベースプレート１２００には、インクの流路(スリット１２１０)が形成されている。そして、その詳細が後述されるように、ベースプレート１２００は樹脂にフィラーが充填されることによって形成されるものである。

以下では、流路部材としてのベースプレート１２００を形成する材料および形成方法について説明する。ここで、本発明の実施形態に係るベースプレートは、図３などにて後述されるように、形成用樹脂に混入されたフィラーが、形成用樹脂とは別の樹脂で被覆されたものである。これにより、ベースプレートの表面にフィラー自体が露出することを防止するものである。

最初に、形成する材料として、形成用樹脂に混入するフィラーについて説明する。本実施形態で用いるフィラーとしては、シリカ、溶融シリカ、炭酸カルシウム、水和アルミナ、ジルコンコージライト、マイカ、タルク、水酸化マグネシウム、グラスラスフィバーなどが挙げられる。本発明におけるフィラーの形状は特に限定されないが、充填率を挙げるために、球状のものが好ましく、最密充填にするためには、粒径の違ったものを混入させることが望ましい。粒径の異なるものの比率は、大：小＝９：１〜６：４程度が好適である。

特に、溶融シリカは、線膨張率が小さく、安価である。また、球形であることから最密充填するためさまざま粒径のものを混ぜることも可能である。グラスファイバーは、繊維状であるので粉砕機でのカットファイバー工程の前に、後述される被覆液に浸漬しその後引き上げる等の方法で被覆膜を設けた方が、繊維同士の凝集が防げるし、被覆膜厚の制御も容易く出来る。

また、フィラーは、要求特性に応じ、複数種混合して用いても良い。例えば、強アルカリ溶液の容器等に用いる場合には、耐薬品性が高いアルミナを用いれば良好な耐性が得られる。

次に、フィラーを被覆する樹脂としては、特に限定されるものではない。樹脂が、熱可塑性材料である場合は、後述するフィラーとの混練温度及び成形時の樹脂温度より十分に高い融点を有することが好ましい。少なくとも、フィラーを被覆する樹脂の融点は、流路部材を成形するための樹脂の融点よりも高いことが好ましい。それによりベースプレートを成形する際の加熱状態においてもフィラーの被覆樹脂部材の溶融を抑制することができるので、被覆樹脂部材が溶融することによるフィラーの露出を抑制することができる。その例として、ポリエーテルアミド樹脂である日立化成製 ＨＩＭＡＬが挙げられる。ＨＩＭＡＬは、高いガラス転移温度を持ち、耐薬品性も良好である。一方、樹脂が、熱硬化性樹脂である場合は、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。中でも、フィラーとの密着性、インクへの耐性などからエポキシ樹脂を好適に用いることができる。ここで、エポキシ樹脂とは、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤、シラン剤等からなるエポキシ樹脂組成物を指す。フィラーを被覆する際に溶液とすることから、固形でも液状でもいずれでもよい。

エポキシ樹脂組成物のうち、エポキシ樹脂としては、ビスフェノールＡ型エポキシ、ビスフェノールＦ、ビスフェノールＡＤまたこれらに更にアルキレンオキサイドを付加させた化合物のグリシジルエーテル、エポキシノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラックジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦノボラックジグリシジルエーテル等のグリシジルエーテル型やグリシジルアミン型エポキシ、脂環式エポキシなどが挙げられる。また、液状樹脂だけでなく固形のものでも樹脂組成物として液状になればよいので用いることができる。固形のものとしては、ビフェニル骨格、ナフタレン骨格、クレゾールノボラック骨格、トリスフェノールメタン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、フェノールビフェニレン骨格等を有するエポキシが挙げられる。

エポキシ樹脂組成物のうち、硬化剤としては、特に制限は無い。例えば、アミン、三級アミン、ポリアミド、酸無水物、イミダゾール、フェノールなどを用いることが出来る。さらに、これらにエポキシ樹脂を付加してポットライフや反応性を改善したものを用いることも出来る。硬化剤としての酸無水物では、テトラヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸等が挙げられる。イミダゾールでは、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−（２−シアノエチル）−２−エチル−４−メチルイミダゾール等が挙げられる。また、固体の硬化剤としては、フェノール硬化剤になるがキシリレンノボラック、ビフェニルノボラック、ジシクロペンタジエンフェノールノノボラックなどが挙げられる。

なお、以上の樹脂組成物を、通常用いられる手法で可とう性付与剤や他の添加剤を加えてもよい。可とう性付与剤としては、一般的な１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、などのアルコール変性のエポキシやウレタン変性エポキシ、シリコ−ン変性エポキシが挙げられる。また、主鎖にシロキサン結合を有した、例えば、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエーテルジシロキサンなども挙げられる。

エポキシ樹脂組成物のうち、シランカップリング剤も添加することができる。シランカップリング剤としては、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３，４エポキシシクロヘキシル）−エチルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。また、チタネート系やアルミネート系を用いても良い。

樹脂組成物でフィラーを被覆するときの、被覆厚は、特に限定されないが、厚すぎる場合は、線膨張率を小さくする点でフィラーの添加の効果が薄れ、また、成形用樹脂への充填量も少なくなる、また、フィラー同士が被覆によって凝集し易くなり個々のフィラーを被覆できなくなるおそれがある。以上の点から、被覆厚は、フィラーの大きさにもよるが、０．１μｍ以下、好ましくは、０．０５μｍ以下である。

次に、フィラーを混練する形成用樹脂としては、ＰＰＳ、変性ＰＰＥ、ＬＣＰなどを挙げることができ、また。これらを混合して用いてもよい。例えば、比較的安価なＰＰＳや変性ＰＰＥを混合したものとすることができる。その場合、ＰＰＳは、高耐熱性、および高流動性の材料であり、一方、変性ＰＰＥは、接着性、皮膜性、機械特性に優れているという特徴がある。このため、本実施形態のように、フィラーを比較的多量に添加する場合は、成形材自体の流動性が大きく低下するため、ＰＰＳの割合を多くして流動性を確保し、フィラーとの密着性を保持するために変性ＰＰＥを併用することが好ましい。

また、被覆されたフィラーの添加量は、種類や形状、成形用樹脂の溶融粘度によって異なってくるが、成形用樹脂に対して質量含有率が６０％以上で添加すると、フィラーが成形面に出てくる割合が大きくなり、本発明の効果を有効に発揮できる。例えば、フィラーに溶融シリカを用いた場合、７５ｗｔ％以上添加する場合に本発明の効果が好適に発揮される。

次に、ベースプレート１２００の形成方法について説明する。

図３は、以上説明した材料からなるベースプレートを形成する処理を示すフローチャートである。

先ず、ステップＳ３１で、被覆用樹脂の調合を行う。表１に被覆用樹脂としてのエポキシ樹脂組成物の２つを示す。表１において、「１」で示す組成物は液状であり、「２」で示す組成物は、固体である。以下の説明では、これらエポキシ樹脂組成物１、２をそれぞれ用いてフィラーの被覆物を作成する実施例（以下、実施例１、実施例２という）を説明するが、作成処理は特に記載しないかぎり同じであることから実施例１、２を区別しないで説明する。組成物１、２は、シランカップリング剤を含むが、シランカップリング剤は、フィラー自体にシラン処理を施せば必須ではない。しかし、組成物中にも含む方がフィラーとの密着向上の点で好適に効果が発揮される。

次に、ステップＳ３２で、被覆用樹脂の溶液を作成（調合）する。具体的には、上述したエポキシ樹脂組成物を、ＭＥＫを用い、重量比で、１：１で混合し溶液を調合する。溶材の種類、溶剤の割合は、この例に限定されない。但し、フィラーと混練した場合に、溶液状態になる必要がある。溶液状態にならない場合は、フィラー全体を確実に樹脂溶液で覆いつくせないので、フィラー表面にピンホール等の欠陥が生じるおそれがあるからである。

次に、ステップＳ３３で、ステップＳ３２で作成した溶液とフィラーとを混合する。ここで、フィラーは、球状の溶融シリカである、平均粒径２５μｍ、低粒径カット品であるマイクロン社製 ＨＳ−３０４を用いた。粒径としては、これに限定されず、また、最密充填にするために粒径の違う物を数種組み合わせることもできる。低粒径カット品を用いるのは、低粒径品の割合が高いと低粒径品同士がコート用樹脂を介して凝集したり、そのため被覆ト樹脂がフィラー全体に行き渡らなくなるからである。

本工程では、先ず、フィラーのシラン処理を行う。すなわち、ヘンシェルミキサーにフィラーを１０Ｋｇ投入する。そして、７００ｒｐｍで撹拌しながら、Ａ−１８７の７ｇと、エタノールの５００ｇからなる溶液を投入し、５分撹拌を行う。そして、全体が均一の粘調溶液になっていることを確認し、スチームを入れる。そして、スチームによって溶剤が蒸発すると、攪拌の回転数を１４００ｒｐｍにし、１００℃で５分保持した後、冷却を行う。

次に、フィラーに被覆用樹脂を被覆する。すなわち、冷却後のヘンシェルミキサーで５０ｒｐｍ程度の低速で撹拌しながら、フィラーの比表面積から計算して被覆厚が０．０５μｍになる量の溶液である、エポキシ樹脂組成１、２の溶液をそれぞれ８００ｇ投入する。その後、５分撹拌を行う。

そして、ステップＳ３４で、全体が均一の粘調溶液になっていることを確認する。そして、フィラーの各々にエポキシ樹脂組成１、２の溶液行き渡るように１０００ｒｐｍで１０分撹拌を行う。このように熱硬化性樹脂の溶液を用いることにより、樹脂組成物が粘調液状でも固体でもフィラー全体に行き渡らせることができる。

次いで、ステップＳ３５で、回転数を７００ｒｐｍに下げスチームを入れ（加熱し）溶剤を蒸発させる。このように、撹拌しながら溶剤を加熱除去させることにより、フィラーそれぞれに対して均一に樹脂を被覆することができる。

さらに、ステップＳ３６で、加熱撹拌を続け１５０℃で６０分撹拌を行い被覆樹脂部材を硬化後冷却する。撹拌しながら加熱することで、フィラーがお互いに結合すること無く、被覆樹脂部材を硬化することができる。樹脂組成物２で被覆したフィラーに関しては、架橋度を上げるためにオーブンで２００℃１時間の追加加熱を行う。樹脂組成物２は、ヘンシェルミキサーにおける加熱で硬化が進んでいるので追加加熱を行ってもフィラー同士が接着することがない。以上のステップにより、球状のフィラー夫々が被覆樹脂部材により覆われたフィラーの被覆物を作成する。個々のフィラーの被覆物は、外核が被覆樹脂部材、内核がフィラーの芯鞘構造になっており、フィラーの被覆物の外形は略球状である。

次に、以上図３を参照して説明した、フィラーを樹脂で被覆して得られるフィラーの被覆物を、ベースプレートを形成するための樹脂に混合する処理を以下に説明する。

先ず、ベースプレートを成形するための成形用樹脂としては上記のフィラーの被覆樹脂部材とは異なる樹脂を用いる。具体的には、ＰＰＳとしてＢ−０６０Ｐ（東ソーサスティール社製）を用い、変性ＰＰＥとしてザイロンＳＸ１０１（旭化成ケミカルズ）を用いる。そして、これらＰＰＳと変性ＰＰＥを４：１で粉砕混合したものを作成する。

次に、被覆されたフィラーは、上述したように、実施例１は、樹脂組成物１によって被覆されたＨＳ−３０４、実施例２は、樹脂組成物２によって被覆されたＨＳ−３０４である。また、比較例１として被覆されない、フィラーそのものであるＨＳ−３０４、比較例２として、同様に被覆されない、フィラーそのものであるＨＳ−３０４を用いた。

これらのフィラーそれぞれについて、上述した成形用樹脂とフィラーの割合を、成形用樹脂：フィラー＝２０：８０の重量比で、一軸の押し出し機によって混練してペレット化し、それぞれのベースプレート形態の成形物を得た。

以上のとおり作成した、実施例１、２および比較例１、２の４つの成形物についての評価結果は次のとおりである。

図４（ａ）および（ｂ）は、実施例１および２に係る成形物の表面および断面を示す図である。また、図５（ａ）および（ｂ）は、比較例１および２に係る成形物の表面および断面を示す図である。

４つの成形物の何れも、フィラーの含有率が比較的高いことから、成形物の表面にフィラーが露出することがある。これに対し、実施例１、２の成形物は、図４（ａ）に示すように、フィラーが被覆用樹脂で覆われた樹脂被覆フィラー３２００として露出する。詳しくは、成形用樹脂３１００の中に樹脂被覆フィラー３２００が混入した状態で、その一部が成形物の表面に露出するが、フィラーはその全体が樹脂によって被覆された状態である。すなわち、この実施例１、２の成形物は、図４（ｂ）に示すように、樹脂被覆フィラー３２００を切断したとき、同図中、白で示されるフィラー３２１０が、黒で示される樹脂で覆われた状態である。

これに対し、比較例１、２に係る成形物では、図５（ａ）に示すように、フィラーが成形物の表面に露出するとき、樹脂で覆われないフィラー４２００そのものが表れる。図５（ｂ）の断面図でも分かるように、同図中、白で示されるフィラー４２００に対して覆うものがない状態で成形物に混入している。

以上のように本発明の実施形態に係る実施例１、２のいずれも、成形物の表面にフィラーが露出する場合でも、そのフィラーは樹脂によって覆われている。これにより、成形物が本実施形態のようなベースプレート（流路部材）であるときに、フィラーがインク等の液体中に溶け出すことを防止することができる。

具体的な評価実験では、以上の製造方法で製造された成形物１０ｇを、２００ｇのブラックインクに６０℃の温度で一か月浸漬した後、インク中のフィラーの溶出量を測定すると、実施例１、２では１ｐｐｍ以下で殆ど溶出を確認することができなかった。これに対し、比較例１、２では、１０ｐｐｍ程のフィラーの溶出が観られた。

＜装置構成＞
図６は、本発明の液体吐出装置の一実施形態に係るインクジェット記録装置の外観斜視図である。インクジェット記録装置１は、記録媒体Ｐの搬送方向（Ｘ方向：第２の方向）と交差する方向（Ｙ方向：第１の方向）に延在する長尺な記録ヘッド２Ｙ、２Ｍ、２Ｃ、２Ｂｋを図のように並設してなるフルラインタイプのプリンタである。ここで、２Ｙは、イエローインクを吐出する記録ヘッド、２Ｍはマゼンタインクを吐出する記録ヘッド、２Ｃはシアンインクを吐出する記録ヘッド、２Ｂｋはブラックインクを吐出する記録ヘッドである。これらの記録ヘッドは、上述した実施形態で説明した製造工程で製造されたベースプレートを備えたものである。記録ヘッド２は、イエローインク、マゼンタインク、シアンインク、およびブラックインクをそれぞれ貯留した４つのインクタンク３Ｙ、３Ｍ、３Ｃおよび３Ｂｋ（以下、これらをまとめてインクタンク３と称する）にそれぞれ接続配管４を介して接続されている。更に、インクタンク３のそれぞれは、接続配管４に対して交換可能になっている。

制御装置９は、インクジェット記録装置１全体の動作を司るため、図に示した各機構を制御する。記録動作を行う際、制御装置９は、まずモータドライバ１６によって給送モータ１５を駆動し、一対の給送ローラ１４を回転させる。この回転に伴い、記録媒体Ｐが図のＸ方向に給送される。次に、制御装置９はモータドライバ１２を駆動し、ベルト駆動モータ１１を回転させる。この回転により、ベルト駆動モータ１１に連結された駆動ローラ１７が回転し、これに掛け渡された搬送ベルト５が移動する。更に制御装置９は、帯電器ドライバ１３ａを駆動することによって搬送ベルト５の上流に設けられた帯電器１３を作動し、ここに給送されて来た記録媒体Ｐを帯電させる。帯電された記録媒体Ｐは、搬送ベルト５に吸着され、搬送ベルト５の移動に伴ってＸ方向に所定の速度で搬送される。

搬送経路中の記録位置には、記録媒体Ｐを下部から支えるプラテン６と、この位置の記録媒体Ｐに記録を行うための記録ヘッド２が配備されている。記録ヘッド２の個々のノズルは、ヘッドドライバ２ａを介して制御装置９に電気的に接続されており、制御装置９から送信される駆動信号に応じてインクを吐出する。これにより、記録ヘッドに対して相対的に移動する記録媒体Ｐにドットが記録される。制御装置９が、記録媒体Ｐを搬送する速度と個々の記録ヘッド２からインクを吐出する周波数を適切な関係で制御することにより、記録媒体Ｐに所定の解像度で画像が記録される。

記録ヘッド２に対する回復処理を実行するとき、制御装置９はヘッド移動手段１０を駆動し、記録ヘッド２をプラテン６から離れる方向に一度上昇させる。その後、キャップ移動手段８を駆動して、キャップ７を記録ヘッド２の真下に移動させ、更にヘッド移動手段１０を駆動することによって、記録ヘッド２をキャップ７に向かって下降させる。キャップ７は、記録ヘッド２の吐出口面に覆いかぶさった状態で、吐出口から排出される廃インクを受容したり、吐出口から強制的にインクを吸引したりする。

（他の実施形態）
上述した実施形態の記録ヘッドは、フルラインタイプのものであるが、この形態に限られない。例えば、いわゆるシリアルタイプの記録ヘッドの支持部材などに本発明を適用してもよい。

また、本発明を適用する部材は、上述した支持部材に限られないことももちろんである。インクなどの液体と接する部材（本明細書では、「流路部材」という）であれば、どのような部材であっても良い。例えば、液体を貯留する液体貯留部に設ける、又は、液体貯留部と液体吐出ヘッドとを連通する液体連通経路の少なくとも一部に設けることも可能である。
以上の構成によれば、液体吐出ヘッドにおける流路部材の表面にフィラーが露出しない液体吐出ヘッドを提供することが可能となる。

１０００ 記録ヘッド
１１００ 記録素子基板
１２００ ベースプレート
１２１０ インク供給スリット
１３００ 電気配線基板
１５００ インク供給部材
１５１０ インク貯蔵部
３１００ 成形用樹脂
３２００ 樹脂被覆フィラー
３２１０ フィラー

Claims (11)

1. 液体を吐出するための液体吐出ヘッドであって、
   液体に接する流路が設けられた、第１の樹脂によって形成される流路部材と、
   内核を構成するフィラーと外核を構成する第２の樹脂とからなる芯鞘構造の被覆樹脂部材と、
   を備え、前記流路部材には複数の前記被覆樹脂が含まれていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記フィラーを被覆する前記第２の樹脂の融点は、流路部材を形成する前記第１の樹脂の融点より高いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記フィラーを被覆する前記第２の樹脂が熱硬化性であることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記フィラーを被覆する前記第２の樹脂がエポキシ樹脂組成物であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記流路部材におけるフィラーの質量含有率が６０％以上であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記フィラーは、溶融シリカであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記被覆樹脂部材の形状は球状であることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 液体吐出ヘッドの流路部材を製造する方法であって、
   樹脂溶液とフィラーと混合し溶液状態する工程と、
   前記溶液状態において前記混合を行いながら加熱し溶剤を除去する工程と、
   前記混合を行いながら加熱し前記樹脂を硬化させ、内核を構成するフィラーと外核を構成する樹脂とからなる芯鞘構造の被覆樹脂部材を作成する工程と、
   複数の前記被覆樹脂部材と、流路部材を成形するための成形用樹脂とを混練する混練工程と、
   を有することを特徴する液体吐出ヘッドの流路部材の製造方法。
9. 前記被覆樹脂部材に含まれる樹脂の融点は、前記成形用樹脂の融点よりも高いことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッドの流路部材の製造方法。
10. 液体を吐出するための液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置であって、
    液体を供給するための流路が設けられた、第１の樹脂によって形成される流路部材と、
    内核を構成するフィラーと外核を構成する第２の樹脂とからなる芯鞘構造の被覆樹脂部材と、
    を備え、前記流路部材には複数の前記被覆樹脂が含まれていることを特徴とする液体吐出装置。
11. 前記流路部材は、液体を貯留する液体貯留部と前記液体吐出ヘッドとを連通する経路中に設けられることを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出装置。