JP2017111015A - 水素計測装置および水素計測方法 - Google Patents

水素計測装置および水素計測方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2017111015A
JP2017111015A JP2015245781A JP2015245781A JP2017111015A JP 2017111015 A JP2017111015 A JP 2017111015A JP 2015245781 A JP2015245781 A JP 2015245781A JP 2015245781 A JP2015245781 A JP 2015245781A JP 2017111015 A JP2017111015 A JP 2017111015A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
hydrogen
measuring
measurement
measuring device
pressure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2015245781A
Other languages
English (en)
Inventor
諒 桑名
Ryo Kuwana
諒 桑名
篤 伏見
Atsushi Fushimi
篤 伏見
大輔 新間
Daisuke Niima
大輔 新間
勲 原
Isao Hara
勲 原
花見 英樹
Hideki Hanami
英樹 花見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2015245781A priority Critical patent/JP2017111015A/ja
Publication of JP2017111015A publication Critical patent/JP2017111015A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

【課題】発電プラントなどにおいて、給水や復水のタンク内には水素が蓄積しやすくなっているが、水素濃度は計測できていない。測定流体側には直接電子機器を挿入することは故障の可能性が高まるため難しい。【解決手段】測定流体中の水素を計測する水素計測装置において、計測室の測定流体に接する面の一部に水素透過膜と計測室内部に水素計測部を設け、測定流体から水素透過膜を介して計測室内部に透過してきた水素の濃度を水素計測部で計測することで、測定流体に電子機器が触れることなく安全に水素を計測できるように構成した。【選択図】 図1

Description

本発明は、水素計測装置および水素計測方法に係り、特に、原子力プラント等に用いられるタンク状容器の流体に係る測定をするのに好適な水素計測装置および水素計測方法に関する。
近年、原子力プラント、石油精製プラント、化学プラント等では、タンク状の容器を利用している。原子力プラントでは、例えば、原子炉圧力容器をタンク状の容器として用い、この容器に核燃料を収納し、この容器内の核燃料における核分裂反応によって発生した熱を利用して、原子炉水を加熱して蒸気を作り発電に供する。また、石油精製プラントでは、例えば、製品貯蔵タンクをタンク状の容器として用い、精製された製品である重質ナフサ、灯油、軽油等の製品に応じて製品貯蔵する。このような技術は、例えば、特開2014−206511号公報等に記載されている。
一方、このタンク状の容器に関して、容器の中に、液体又は気体が流体として保持される。この流体に関する測定が求められるようになってきた。
特開2014−206511号公報
例えば、測定対象として内部に蓄積する水素濃度を検知する場合、測定環境が厳しい条件であることが多く、また、放射線の影響もあり、水素濃度を安全かつ簡易的に測定することができなかった。
また、例えば、測定対象として内部の圧力を検出する場合で、原子力プラントの場合、タンク内部が高温や高圧であり、また、放射線の影響もあり、ダイアフラム等を介して容器の圧力を伝搬させて検出するのが一般的であるところ、その際に、圧力容器からダイアフラムを透過する水素が問題となっていた。
本発明の目的は、タンク内部の水素或いはタンク内部から透過した水素を容易に計測できる水素計測装置および水素計測方法を提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明では、タンク状の容器の隔壁の一部に設けられた開口を水素透過性物質で覆い、前記水素透過性物質を透過した水素を計測するものにおいて、前記水素透過性物質に連通し且つ密閉的に保たれる測定室と、前記測定室の中に保持された水素計測部と、前記測定室の一部をなす気密端子と、前記気密端子を介して前記水素計測部の信号が送信される信号処理部を有するように構成した。
あるいは、タンク状の容器の隔壁の一部に設けられた開口を水素透過性物質で覆って前記水素透過性物質を透過した水素を計測するものであって、前記水素透過性物質に連通し且つ密閉的に保たれる測定室の中に保持された水素計測部で水素を測定し、前記測定室の一部をなす気密端子を介して前記水素計測部の信号を送信し、前記送信された信号を信号処理部で処理するように構成した。
本発明によれば、タンク内部の水素或いはタンク内部から透過した水素の計測が容易となる。
本発明の第1の実施形態に係る全体構成の説明図である。 本発明の第1の実施形態に係る水素計測装置における、タンクへの設置構成の説明図である。 加熱装置を計測室内部に設置した水素計測装置の説明図である。 加熱装置を計測室外周に設置した水素計測装置の説明図である。 計測室内部に封入液を封入した水素計測装置の説明図である。 水素透過膜の計測室側に圧力センサを設置した水素計測装置の説明図である。 水素透過膜の計測室側に圧力センサを設置し、封入液を封入した水素計測装置の説明図である。 本発明の第2の実施形態に係る水素計測装置における全体構成の説明図である。 本発明の第2の実施形態に係る装置構成の説明図である。 本発明の第2の実施形態に係る加熱装置を受圧室内部に設置した水素計測装置の説明図である。 本発明の第2の実施形態に係る水素計測装置における、水素ドリフトによる圧力伝送器の交換フローチャートである。 本発明の第2の実施形態に係る水素計測装置側の水素濃度の推移の説明図である。 本発明の第2の実施形態に係る加熱装置を計測室外周に設置した水素計測装置の説明図である。 本発明の第3の実施形態に係る水素計測装置における、装置構成の説明図である。
以下に、本発明を実施するための形態について説明する。
第1の実施形態に係る水素計測装置を図1から図7を参照しながら詳細に説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る全体構成の説明図である。
図1において、タンク(タンク状の容器)30は流体を保持している。例えば、原子力プラントの原子炉圧力容器である。容器の下側に液相を保持し、容器の上側に気相が充満されている。この場合、タンク30に核燃料を収納し、この容器内の核燃料における核分裂反応によって発生した熱を利用して、原子炉水を加熱して蒸気を作り発電に供する。また、石油精製プラントでは製品貯蔵タンクである。製品貯蔵タンクをタンク状の容器として用い、精製された製品である重質ナフサ、灯油、軽油等の製品に応じて製品貯蔵する。他にタンク30は化学プラントにも用いられる。タンク30の壁面には開口が形成されており、そこには、水素計測装置1が設けられる
図2に、第1の実施形態に係る水素計測装置1を示す。タンク30への設置構成として、水素計測装置1は、測定流体27に水素透過膜2が接するように、タンク30の壁面9の貫通部に設置される。壁面9の貫通部と水素計測装置1は測定流体がタンク外部に漏れ出ないように隙間無く設置する必要がある。測定流体側が高圧や真空の場合は、フランジとボルトを利用して設置してもよい。
図2において、水素濃度を測定するための水素計測装置1は、水素透過膜2、計測室3、水素計測部4、気密端子5、信号線6、信号処理部7から構成される。タンク30の壁面の開口は水素透過膜2で覆われる。
測定流体27に含まれる水素は、水素透過膜2を透過して計測室3の内部に侵入する。侵入した水素は水素計測部4で計測されて信号線6を介して信号処理部7でデータ処理をする。測定流体側の水素濃度と水素透過膜2を介して計測室3に侵入した水素の濃度は平衡する。この方法により、測定流体8に電子機器である水素計測部4を接触させずに、二次側で安全に水素を計測することができる。
上記構成において、水素透過膜2はパラジウムが望ましいが、金や銅との合金でもよいし、ニオブやバナジウムなどの合金でもよい。
上記構成において、計測室3の内部は、気密であり、透過した水素が酸素などと反応したり発火や爆発などをしたりしないように真空状態であることが望ましいが、窒素雰囲気やアルゴン雰囲気などでもよい。真空室内部の雰囲気が破壊されないように、水素計測部の信号線6は、気密端子5を介して信号処理部7に接続される。
上記構成において、水素計測部4は、パラジウムなどの水素吸蔵物質が水素を吸蔵することによる抵抗変化で計測する方式が望ましいが、ラマン光や超音波による振動式、還元電位式などの手法でもよい。
図3に、第1の実施形態に係る水素計測装置1の変形例として、加熱装置を用いた水素計測装置の説明図を示す。変形例において図1及び図2と異なる部分を説明する。他の部分は同様であるので説明を省略する。図3において、加熱装置10は計測室3の内部に設置される。設置箇所は水素透過膜2に接するか、近傍が望ましい。加熱装置10は内部電源で動作してもよいし、気密端子5より電源線を引き出し、計測室3の外部から電源を供給してもよい。
上記構成において、加熱装置10で水素透過膜2を加熱することにより、測定流体中に含まれる水素が計測室内部に透過する速度を加速させることができるため、水素計測の応答速度を向上させることができる。
上記構成において、加熱装置10は計測室内部に設置することが望ましいが、図4のように、外周に設置しても同様の効果を得ることができる。外周には、計測室3の内部に設置するよりも低コストで設置が可能である。また、取付けも容易である。
図5に、計測室内部に封入液を封入した水素計測装置の説明図を示す。図4において、封入液11は計測室3の内部に封入される。これにより、故障により気密端子5から空気が計測室3に侵入したとしても水素の発火や爆発などの反応を抑制することができる。
上記構成において、封入液11はシリコーンオイルであることが望ましい。また、封入液11は脱気され、空気などのガスが溶解していない状態が望ましい。
上記構成においても、加熱装置10を水素透過膜2近傍に設置することで、水素透過膜2への透過を加速させて、水素計測の応答速度を向上させることができる。
図6に、水素透過膜の計測室側に圧力センサを設置した水素計測装置の説明図を示す。圧力センサ12は、水素透過膜2が測定流体8から受けた圧力を検知し、計測する仕組みであり、水素計測部と同様に、気密端子5を介して信号処理部7で計測信号を処理する。
上記構成において、測定流体の圧力を圧力センサ12で計測することにより、水素計測部で計測した水素濃度から測定流体内部の水素量を算出することが可能となる。
上記構成において、圧力センサ12は、歪みゲージ式であることが望ましい。
上記構成において、圧力を計測する場合、計測室内部に水素が透過してくることで計測室の内圧が変化し、ドリフト(計測誤差)を起こす。このとき、水素計測部4で水素濃度を計測することで圧力値を補正することができ、正しい圧力値を出力することが可能となる。
上記構成において、計測室内部は真空であることが望ましい。窒素雰囲気やアルゴン雰囲気などでもよいが、この場合、温度の変化により窒素やアルゴンが膨張・収縮することによるドリフトが発生してしまうため補正等が必要となる。
図7に、水素透過膜の計測室側に圧力センサを設置し、封入液を封入した水素計測装置の説明図を示す。計測室内部に封入液を内封することで、計測室内部に透過してきた水素が封入液中に溶解するため、内圧の変化を抑制でき、ドリフトを低減することができる。
上記構成において、封入液11はシリコーンオイルであることが望ましい。また、封入液11は脱気され、空気などのガスが溶解していない状態が望ましい。
上記構成において、封入液11の内部に蓄積する水素の濃度に応じて圧力計測値はドリフトする。このとき、水素計測部4で計測した水素濃度から、圧力計測値を補正することで、正確な圧力値を得ることができる。
上記構成において、封入液11の内部に蓄積する水素の濃度に応じて圧力計測値はドリフトする。このとき、水素計測部4で計測した水素濃度から、圧力計測値を補正することで、正確な圧力値を得ることができる。
図8は、本発明の第2の実施形態に係る圧力伝送装置における、差圧伝送器の説明図である。図8において、タンク(タンク状の容器)30は測定流体27、28を保持している。例えば、原子力プラントの原子炉圧力容器である。容器の下側に液相を保持し、容器の上側に気相が充満されている。この場合、タンク30は原子炉圧力容器の容器であり、この容器に核燃料を収納し、この容器内の核燃料における核分裂反応によって発生した熱を利用して、原子炉水を加熱して蒸気を作り発電に供する。
タンク30の壁面には、比較的に高い位置と底面付近に置換器部2が設けられている。この各々の置換器部2で置換された圧力はキャピラリ部25を介して本体部26で伝達される。伝達された圧力に基づいて本体部26はタンク30の水位29を計測する。
図9において差圧を測定する構成の詳細を説明する。図9において差圧を測定するため、置換器部2、キャピラリ部25、本体部26から構成される。測定流体の圧力を二つの受圧ダイアフラム14で受圧する。例えば、被測定物の高圧部と低圧部との差圧を測定するように、高圧側の受圧ダイアフラム14は被被測定物の所定部分に気密に固定され、一方、低圧側の受圧ダイアフラム14は被被測定物の他の部分に気密に固定される。導圧路18に封入された封入液11によって、中間ダイアフラム19、シールダイアフラム20、センタダイアフラム21を介して半導体センサ15まで圧力が伝えられる。このように高圧側の受圧ダイアフラム14での受圧と低圧側の受圧ダイアフラム14での受圧との差圧がセンサ12に伝えられる。センサ12で受け取った圧力は、出力回路16(信号処理を実行する)に入力し、圧力値を出力する。圧力の出力に関しては、例えば、原子力プラント、石油精製プラント及び化学プラントなどの流体の2点間の圧力差を測定し検出信号を伝送するように用いられる。
一方、測定流体27、28から受圧ダイアフラム14を透過して封入液11に侵入した水素を、水素計測部4で計測する。計測した水素濃度は出力回路16を介して外部に出力される。測定流体27、28に電子機器である水素計測部4を接触させずに、二次側で安全に水素を計測することができる。
置換器部2の詳細を説明する。図10は、水素計測部4近傍の装置構成の説明図である。タンク30への設置構成として、測定流体27、28に受圧ダイアフラム14(水素透過膜として機能)が接するように、タンク33の壁面9に設置される。すなわち、図10は加熱装置32を受圧室内部(受圧室内部は密閉的で封入液11が封入される)に設置した水素計測装置の説明図であり、加熱装置10は受圧ダイアフラム14の内側(水素計測部側)に設置される。設置箇所は受圧ダイアフラム14に接するか、近傍が望ましい。加熱装置32は内部電源で動作してもよいし、気密端子5より電源線を引き出し、圧力伝送器の外部から電源を供給してもよい。
上記構成において、加熱装置32で受圧ダイアフラム14を加熱することにより、測定流体中に含まれる水素が計測室内部に透過する速度を加速させることができるため、水素計測の応答速度を向上させることができる。なお、置換器部2の構成は、第1の実施形態における図2乃至7の構成に置き換えても良いのはもちろんである。
図11に、水素計測装置における、水素ドリフトによる圧力伝送器の交換フローチャートを示す。このフローチャートの動作は出力回路16で実行され動作結果は表示装置(図示せず)に表示する。まず、S101で操作者の指令に基づき圧力伝送器の運転を開始させる。S102で信号処理部7の出力に基づきタンク内の水素の蓄積が許容値に近づいたか判断する。近づいた場合には近づいた旨の警告を表示装置で表示する。S103で水素計測部4の出力に基づきタンク内の水素の蓄積が許容値に達した場合には圧力伝送器の運転を停止する。S104で不具合が発生する前に圧力伝送器を交換すべき旨の警告を表示装置に表示する。
このように、圧力計測値に不具合が発生した場合に、運転を停止し交換する流れとなる。定期検査時に不具合を見つけられる場合には問題にならないが、運転中に不具合が発生すると、プラント運転に悪影響が出る可能性がある。一方で、水素計測部4を内蔵しているものは、不具合が発生する前に交換時期を判断できるため、プラント運転に悪影響が出る可能性を低減できる。上記構成において、封入液11の内部に蓄積する水素の濃度に応じて圧力計測値はドリフトする。このとき、水素計測部4で計測した水素濃度から、圧力計測値を補正することで、正確な圧力値を得ることができる。
図12に、水素計測装置側の水素濃度の推移の説明図を示す。測定流体中の水素は、ダイアフラムを透過して圧力伝送器の内部に侵入する。その透過速度は、測定流体の水素分圧やダイアフラムの素材や厚さ、温度などが律速となる。圧力伝送器内部の水素計測装置で、測定流体側の水素濃度を計測する場合には、透過する速度が速いほど正確な水素濃度計測のレスポンスも向上する。そのため、例えば図10に示した加熱装置を用いることで、透過速度を早め、計測のレスポンスを向上させることができる。計測のレスポンスが重要な場合には、加熱装置を用いる以外に、ダイアフラムの水素透過しやすい物質(たとえばパラジウムなど)への変更や、ダイアフラムの薄化なども有効である。
次に本実施例の変形例を説明する。図13では、加熱装置32を外周に設置している。加熱装置32は計測室内部に設置することが望ましいが、図13のように、外周に設置しても同様の効果を得ることができる。外周には、圧力伝送器の内部に設置するよりも低コストで設置が可能である。また、取付けも容易である。
上記構成において、封入液11の内部に蓄積する水素の濃度に応じて圧力計測値はドリフトする。このとき、水素計測部4で計測した水素濃度から、圧力計測値を補正することで、正確な圧力値を得ることができる。
図14は、本発明の第3の実施形態に係る水素計測装置における、装置構成の説明図であり、図8から13と同様に圧力と水素を同時に計測する方法であるが、圧力の計測方法が異なるため、その点について述べる。
置換器部2とキャピラリ部25を一対のみ設け、その圧力(差圧ではなく)を圧力伝送器13に伝送するものとして構成し、圧力伝送器13に水素計測部4を設けた構造としており、金属膜である受圧ダイアフラム14で受けた圧力を、内部の封入液11を介して半導体センサ15まで伝える。半導体センサ15で受けた圧力は、出力回路16を介して外部に出力される。このとき、測定流体27(28)から受圧ダイアフラム14を透過して封入液11に侵入した水素を、水素計測部4で計測する。計測した水素濃度は出力回路16を介して外部に出力される。この方法により、測定流体27(28)に電子機器である水素計測部4を接触させずに、二次側で安全に水素を計測することができる。
1 水素計測装置
2 水素透過膜
3 計測室
4 水素計測部
5 気密端子
6 信号線
7 信号処理部
8 測定流体
9 壁面
10 加熱装置
11 封入液
12 圧力センサ
13 圧力伝送器
14 受圧ダイアフラム
15 半導体センサ
16 出力回路
17 差圧伝送器
18 導圧路
19 中間ダイアフラム
20 シールダイアフラム
21 センタダイアフラム
22 高圧側
23 低圧側
30 タンク

Claims (20)

  1. タンク状の容器の隔壁の一部に設けられた開口を水素透過性物質で覆い、前記水素透過性物質を透過した水素を計測する水素計測装置において、前記水素透過性物質に連通し且つ密閉的に保たれる測定室と、前記測定室の中に保持された水素計測部と、前記測定室の一部をなす気密端子と、前記気密端子を介して前記水素計測部の信号が送信される信号処理部を有することを特徴とする水素計測装置。
  2. 請求項1において、前記水素計測部の信号に基づいて透過した水素の濃度を計測することを特徴とする水素計測装置。
  3. 請求項1において、前記水素透過性物質は、パラジウム、ニオブ、バナジウムなど、または、これらの合金、または、これらと金、銀、銅などとの合金であることを特徴とする水素計測装置。
  4. 請求項1において、前記水素計測部は、水素吸蔵物質が水素を吸蔵することによる抵抗変化で計測する方式、ラマン光、超音波による振動式、還元電位式などのいずれか、または、これらの組合せであることを特徴とする水素計測装置。
  5. 請求項1において、前記計測室の内部は真空、窒素雰囲気、アルゴン雰囲気のいずれかであることを特徴とする水素計測装置。
  6. 請求項1において、前記水素透過膜を透過して前記計測室内部に侵入した水素を前記水素計測部で計測し、信号処理部で水素濃度値を出力することを特徴とする水素計測装置。
  7. 請求項1において、フランジやボルトなどで接続され、前記水素透過膜が測定流体に接していること特徴とする水素計測装置
  8. 請求項1において、前記水素透過性物質の近傍に、加熱装置を設けることを特徴とする水素計測装置。
  9. 請求項8において、前記加熱装置は、前記計測室の内部、または、計測室の外周に設置することを特徴とする水素計測装置。
  10. 請求項1において、前記計測室の内部に封入液を封入することを特徴とする水素計測装置。
  11. 請求項10において、前記封入液はシリコーンオイルであることを特徴とする水素計測装置。
  12. 請求項11において、前記シリコーンオイルは、封入前に高温高真空で脱気され、空気などの気体が溶存していないことを特徴とする水素計測装置。
  13. 請求項1において、前記水素透過性物質の計測室側面に圧力センサを設けることを特徴とする水素計測装置。
  14. 請求項13において、前記圧力センサは歪みゲージ式であることを特徴とする水素計測装置。
  15. 請求項13において、前記計測室の内部は真空状態であることを特徴とする水素計測装置。
  16. 請求項13において、前記計測室の内部に水素が侵入した時に、計測した水素濃度を利用して信号処理部にて圧力指示値を補正することを特徴とする水素計測装置。
  17. 請求項13において、前記圧力センサは歪みゲージ式であることを特徴とする水素計測装置。
  18. 請求項11において、前記シリコーンオイルは、封入前に高温高真空で脱気され、空気などの気体が溶存していないことを特徴とする水素計測装置。
  19. 請求項1において、前記水素透過性物質は、測定流体に接する面にダイアフラムとして構成され、前記測定室に連通する導圧路内部に封入液を封入し、前記ダイアフラムを介して伝わった圧力を検知するための半導体センサと、前記半導体センサおよび水素計測部から信号を受け取る出力回路と、を有することを特徴とする水素計測装置。
  20. タンク状の容器の隔壁の一部に設けられた開口を水素透過性物質で覆って前記水素透過性物質を透過した水素を計測する水素計測方法であって、前記水素透過性物質に連通し且つ密閉的に保たれる測定室の中に保持された水素計測部で水素を測定し、前記測定室の一部をなす気密端子を介して前記水素計測部の信号を送信し、前記送信された信号を信号処理部で処理する水素計測方法。
JP2015245781A 2015-12-17 2015-12-17 水素計測装置および水素計測方法 Pending JP2017111015A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015245781A JP2017111015A (ja) 2015-12-17 2015-12-17 水素計測装置および水素計測方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015245781A JP2017111015A (ja) 2015-12-17 2015-12-17 水素計測装置および水素計測方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2017111015A true JP2017111015A (ja) 2017-06-22

Family

ID=59079538

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015245781A Pending JP2017111015A (ja) 2015-12-17 2015-12-17 水素計測装置および水素計測方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017111015A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024076796A (ja) * 2022-11-25 2024-06-06 株式会社日立ハイテクソリューションズ プラント管理システムおよび方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49135690A (ja) * 1973-04-27 1974-12-27
JPS5060292A (ja) * 1973-09-28 1975-05-24
JPS5915834A (ja) * 1982-07-19 1984-01-26 Hitachi Ltd 液体金属中への水漏洩検出方法
JP2003156401A (ja) * 2001-11-22 2003-05-30 Yokogawa Electric Corp 差圧測定装置
US20040135666A1 (en) * 2003-01-09 2004-07-15 Kurtz Anthony D. Pressure sensor header having an integrated isolation diaphragm
JP2006526155A (ja) * 2003-06-03 2006-11-16 ナノプロプリエタリー,インコーポレイテッド 水素ガスを感知するための方法および装置
JP2007132904A (ja) * 2005-11-14 2007-05-31 Yokogawa Electric Corp 診断装置
JP2011232141A (ja) * 2010-04-27 2011-11-17 Kyoei Denshi Co Ltd 水素センサおよび水素検出器
JP2012504240A (ja) * 2008-09-30 2012-02-16 クオリトロル カンパニー エル エル シー 空気アクセスのある水素センサ

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS49135690A (ja) * 1973-04-27 1974-12-27
JPS5060292A (ja) * 1973-09-28 1975-05-24
JPS5915834A (ja) * 1982-07-19 1984-01-26 Hitachi Ltd 液体金属中への水漏洩検出方法
JP2003156401A (ja) * 2001-11-22 2003-05-30 Yokogawa Electric Corp 差圧測定装置
US20040135666A1 (en) * 2003-01-09 2004-07-15 Kurtz Anthony D. Pressure sensor header having an integrated isolation diaphragm
JP2006526155A (ja) * 2003-06-03 2006-11-16 ナノプロプリエタリー,インコーポレイテッド 水素ガスを感知するための方法および装置
JP2007132904A (ja) * 2005-11-14 2007-05-31 Yokogawa Electric Corp 診断装置
JP2012504240A (ja) * 2008-09-30 2012-02-16 クオリトロル カンパニー エル エル シー 空気アクセスのある水素センサ
JP2011232141A (ja) * 2010-04-27 2011-11-17 Kyoei Denshi Co Ltd 水素センサおよび水素検出器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024076796A (ja) * 2022-11-25 2024-06-06 株式会社日立ハイテクソリューションズ プラント管理システムおよび方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005181317A (ja) 特定用途における改善安定性をもつ遠隔処理用シール
CN211904570U (zh) 工业过程压差感测装置和压力传感器隔离装置
CN202956245U (zh) 远程过程密封组件和过程压力测量系统
JP2017531180A (ja) 多変数導波レーダプローブ
JP6426371B2 (ja) 投込式水位計の校正システム、その校正方法、および校正機能付き投込式水位計
US9360387B2 (en) Pressure sensor chip
JP5814822B2 (ja) 差圧/圧力複合センサの異常診断方法
JPS5932916Y2 (ja) NaK置換型圧力測定装置
JP2004361159A (ja) リモートシール形圧力・差圧発信器
JP2005114453A (ja) 差圧測定装置
JP6660821B2 (ja) 圧力伝送装置及び圧力伝送方法
CN103048029A (zh) 辅助给水除氧系统的液位测量方法及测量装置
KR102132238B1 (ko) 액체 금속용 압력 트랜스미터
JP2016109525A (ja) 圧力伝送装置、圧力伝送装置の保守装置及び圧力伝送装置の保守方法
JP4718121B2 (ja) 温度特性補正方法
JP2015172542A (ja) 圧力伝送装置
JP2011123011A (ja) ダイアフラムシール型差圧測定装置
US4739663A (en) Acoustically monitored manometer
JP6169481B2 (ja) 圧力計測装置及び圧力計測方法
JP3178564B2 (ja) 差圧測定装置
US11359748B2 (en) Connection system between a distribution member and a receiving member and leak detection method
JP2015096806A (ja) 伝送装置
JPS58215521A (ja) 水漏洩検出装置
JP2007248416A (ja) 液面計
JP4893917B2 (ja) 診断装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20170111

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20170113

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180903

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20190619

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190625

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20200107