JP2017126601A - テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 - Google Patents

Abstract

【課題】位置決め精度の不足を抑制できるテーブル装置を提供する。【解決手段】テーブル装置は、テーブルと、テーブルと連結され第１アクチュエータの作動により第１駆動軸に沿って移動する第１可動部材を有し、第２軸方向におけるテーブル中心軸の位置と第１駆動軸の位置とが一致するように１つだけ設けられた第１駆動装置と、テーブルと連結され第２アクチュエータの作動により第２駆動軸に沿って移動する第２可動部材をそれぞれ有し、第１軸方向におけるテーブル中心軸の位置と第２駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられた第２駆動装置と、テーブルにテーブル中心軸を中心とする回転方向の力を予め与える予圧装置と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械に関する。

デバイスの製造工程又はデバイスの測定工程において、ワークを支持するテーブルを有するテーブル装置が使用される。テーブル装置は、テーブルを移動して、テーブルに支持されたワークの位置を決定する。特許文献１に開示されているような、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びθＺ方向の３つの方向にテーブルを移動可能なテーブル装置が知られている。

特開２０１５−１１７９５８号公報

３つの方向に移動可能なテーブルにおいて、そのテーブルの位置決め精度が不足すると、製造されるデバイスの性能が低下する可能性がある。そのため、３つの方向に移動可能なテーブルの位置決め精度の不足を抑制できる技術が要望される。

本発明の態様は、位置決め精度の不足を抑制できるテーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様に従えば、ガイド面を有するベース部材と、前記ベース部材に支持され、前記ガイド面と平行な所定面内の第１軸と平行な第１軸方向、前記第１軸と直交する前記所定面内の第２軸と平行な第２軸方向、及び前記所定面と直交する第３軸と平行なテーブル中心軸を中心に回転可能なテーブルと、前記ベース部材に支持された第１アクチュエータと、前記テーブルと連結され前記第１アクチュエータの作動により前記第１軸と平行な第１駆動軸に沿って移動する第１可動部材と、を有し、前記第２軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第１駆動軸の位置とが一致するように１つだけ設けられた第１駆動装置と、前記ベース部材に支持された第２アクチュエータと、前記テーブルと連結され前記第２アクチュエータの作動により前記第２軸と平行な第２駆動軸に沿って移動する第２可動部材と、をそれぞれ有し、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第２駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられた第２駆動装置と、前記テーブルに前記テーブル中心軸を中心とする回転方向の力を予め与える予圧装置と、を備えるテーブル装置が提供される。

本発明の第１の態様によれば、１つの第１駆動装置と少なくとも２つの第２駆動装置とによって、テーブルは、第１軸方向、第２軸方向、及びテーブル中心軸を中心とする回転方向の３つの方向に移動可能である。テーブルにテーブル中心軸を中心とする回転方向の力を予め与える予圧装置が設けられることにより、テーブルには回転方向に常にモーメントが作用し、テーブル装置の機構の遊びが無くなるため、位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記予圧装置は、前記回転方向の力を発生する予圧発生部と、前記テーブルと連結され前記予圧発生部が発生する力により前記第２軸と平行な予圧駆動軸に沿って移動する予圧可動部材と、を有し、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように設けられてもよい。

これにより、予圧発生部が発生する力によってテーブルにモーメントを円滑に与えることができる。

本発明の第１の態様において、前記予圧装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられ、少なくとも２つの前記予圧装置が前記テーブルに与える力は、異なってもよい。

これにより、２つの予圧装置によってテーブルの異なる位置に異なる力を付与可能なので、テーブルにモーメントを付与することで回転方向におけるテーブルの位置決め精度の不足を抑制することができる。

本発明の第１の態様において、少なくとも２つの前記予圧装置のうち、１つの前記予圧装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に連結され、１つの前記予圧装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に連結されてもよい。

これにより、２つの予圧装置によって、例えばテーブル中心軸に対して点対称となるテーブルの異なる位置に力を付与可能なので、テーブルにモーメントを付与することで回転方向におけるテーブルの位置決め精度の不足を抑制することができる。

本発明の第１の態様において、前記予圧発生部は、前記ベース部材に支持された予圧アクチュエータを含んでもよい。

これにより、予圧アクチュエータが発生する動力によってテーブルにモーメントを与えることができる。

本発明の第１の態様において、前記テーブル及び前記予圧可動部材の少なくとも一部が配置される内部空間を有するチャンバ装置と、前記チャンバ装置と前記予圧可動部材とを連結するべローズと、を備え、前記予圧発生部は、前記べローズを含んでもよい。

これにより、環境が管理されたチャンバ装置の内部空間において、テーブルに支持されたワークを処理することができる。また、チャンバ装置に設けられたべローズの弾性力を使ってテーブルにモーメントを与えることができる。

本発明の第１の態様において、前記第１可動部材、前記第２可動部材、及び前記予圧可動部材はそれぞれ、前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面とが間隙を介して対向するように前記テーブルを支持する支持装置を含み、前記支持装置は、前記テーブルに固定されたロッド部材と、前記ロッド部材の周囲に配置され前記第３軸と平行なロッド中心軸を中心に前記ロッド部材に対して相対回転可能であり、前記第３軸と平行な第３軸方向において所定値以上の荷重が前記テーブルに作用したとき前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面とが接触するように前記第３軸方向に前記ロッド部材をガイドする回転軸受と、を有してもよい。

これにより、回転軸受によって、第３軸方向のテーブルの変位が許容される。所定値以上の第３軸方向の荷重がテーブルに作用したとき、テーブルは、回転軸受にガイドされて移動し、ベース部材のガイド面に支持される。テーブルは、回転軸受により、第３軸方向に真っ直ぐに移動可能である。また、テーブルがテーブル中心軸を中心に回転しても、ロッド部材と回転軸受との相対回転により、第１駆動装置、第２駆動装置、及び予圧装置に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記第１可動部材は、前記ベース部材に設けられた第１ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第１リニアベアリングと、前記支持装置を介して前記テーブルに連結された第２ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第２リニアベアリングと、を含んでもよい。

これにより、ベース部材において第１駆動軸に沿って移動する第１リニアベアリングと、テーブルに連結され第２軸方向に移動する第２リニアベアリングとは、ロッド部材及び回転軸受を含む支持装置を介して連結される。そのため、テーブルがテーブル中心軸を中心に回転しても、ロッド部材と回転軸受との相対回転により、第１リニアベアリング及び第１ガイド部材に作用するモーメントが抑制される。したがって、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記第２可動部材は、前記ベース部材に設けられた第３ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第３リニアベアリングと、前記支持装置を介して前記テーブルに連結された第４ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第４リニアベアリングと、を含んでもよい。

これにより、ベース部材において第２駆動軸に沿って移動する第３リニアベアリングと、テーブルに連結され第１軸方向に移動する第４リニアベアリングとは、ロッド部材及び回転軸受を含む支持装置を介して連結される。そのため、テーブルがテーブル中心軸を中心に回転しても、ロッド部材と回転軸受との相対回転により、第３リニアベアリング及び第３ガイド部材に作用するモーメントが抑制される。したがって、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、前記予圧可動部材は、前記ベース部材に設けられた第５ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第５リニアベアリングと、前記支持装置を介して前記テーブルに連結された第６ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第６リニアベアリングと、を含んでもよい。

これにより、ベース部材において第２駆動軸に沿って移動する第５リニアベアリングと、テーブルに連結され第１軸方向に移動する第６リニアベアリングとは、ロッド部材及び回転軸受を含む支持装置を介して連結される。そのため、テーブルがテーブル中心軸を中心に回転しても、ロッド部材と回転軸受との相対回転により、第５リニアベアリング及び第５ガイド部材に作用するモーメントが抑制される。したがって、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第１の態様において、少なくとも２つの前記第２駆動装置のうち、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に連結され、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に連結されてもよい。

これにより、１つの第２駆動装置が第２軸方向のテーブルの一方の端部に連結され、１つの第２駆動装置が第２軸方向のテーブルの他方の端部に連結されることにより、テーブル装置の位置決め精度の不足が抑制され、テーブル装置の大型化、及び構造の複雑化が抑制される。

本発明の第２の態様に従えば、第１の態様のテーブル装置を備え、前記テーブル装置の前記テーブルに支持されたワークの位置を決定する、位置決め装置が提供される。

本発明の第２の態様によれば、テーブルに支持されたワークの位置決め精度の不足が抑制される。

本発明の第３の態様に従えば、第１の態様のテーブル装置と、前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、を備えるフラットパネルディスプレイ製造装置が提供される。

本発明の第３の態様によれば、フラットパネルディスプレイ製造装置は、テーブルによって位置決めされたワークを処理できるので、そのワークから不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。フラットパネルディスプレイ製造装置は、例えば２枚の基板を貼り合せる貼り合せ装置を含み、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

本発明の第４の態様に従えば、第１の態様のテーブル装置と、前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、を備える精密機械が提供される。

本発明の第４の態様によれば、精密機械は、テーブルによって位置決めされたワークを処理できるので、そのワークから不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。精密機械は、例えば、精密測定機及び精密加工機の一方又は両方を含む。精密測定機は、テーブルによって位置決めされたワークを測定できるので、そのワークの測定を精密に行うことができる。精密加工機は、テーブルによって位置決めされたワークを加工できるので、そのワークの加工を精密に行うことができる。

本発明の態様によれば、位置決め精度の不足を抑制できるテーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械が提供される。

図１は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図２は、第１実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側断面図である。 図３は、第１実施形態に係る第１駆動装置の一例を示す平面図である。 図４は、第１実施形態に係る予圧装置の一例を示す側断面図である。 図５は、第１実施形態に係る支持装置の一例を示す図である。 図６は、第２実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図７は、第３実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図８は、第４実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図９は、第５実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図１０は、第５実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側断面図である。 図１１は、第６実施形態に係るテーブル装置の一例を示す平面図である。 図１２は、第７実施形態に係るフラットパネルディスプレイ製造装置の一例を示す図である。 図１３は、第８実施形態に係る精密機械の一例を示す図である。 図１４は、第９実施形態に係る精密機械の一例を示す図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の構成要素は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。

以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。所定面内の第１軸と平行な方向を、Ｘ軸方向（第１軸方向）、とする。第１軸と直交する所定面内の第２軸と平行な方向を、Ｙ軸方向（第２軸方向）、とする。所定面と直交する第３軸と平行な方向を、Ｚ軸方向（第３軸方向）、とする。Ｘ軸（第１軸）を中心とする回転（傾斜）方向を、θＸ方向、とする。Ｙ軸（第２軸）を中心とする回転（傾斜）方向を、θＹ方向、とする。Ｚ軸（第３軸）を中心とする回転（傾斜）方向を、θＺ方向、とする。所定面は、ＸＹ平面を含む。本実施形態において、所定面と水平面とは平行である。Ｚ軸方向は鉛直方向である。Ｘ軸は、ＹＺ平面と直交する。Ｙ軸は、ＸＺ平面と直交する。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。ＸＹ平面は、Ｘ軸及びＹ軸を含む。ＸＺ平面は、Ｘ軸及びＺ軸を含む。ＹＺ平面は、Ｙ軸及びＺ軸を含む。

＜第１実施形態＞
第１実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａの一例を示す平面図である。図２は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａの一例を示す側断面図である。図２は、図１のＡ−Ａ線矢視図に相当する。

図１及び図２に示すように、テーブル装置１００Ａは、上面１Ａ及び下面１Ｂを有するテーブル１と、テーブル１の下面１Ｂと対向する上面２Ａを有するベース部材２と、テーブル１を移動する移動システム９とを備える。

テーブル１は、ワークＳを支持する。ワークＳは、テーブル１の上面１Ａに支持される。テーブル１は、ベース部材２に移動可能に支持される。ベース部材２の上面２Ａは、ＸＹ平面と平行である。ベース部材２の上面２Ａは、ＸＹ平面内においてテーブル１をガイドするガイド面である。テーブル１は、ベース部材２に支持された状態で、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸と平行なテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向（θＺ方向）の３つの方向に移動可能である。テーブル中心軸ＡＸは、テーブル１の重心を通る。

テーブル装置１００Ａは、ワークＳの位置を決定する位置決め装置として機能する。テーブル装置１００Ａを備える位置決め装置は、テーブル１に支持されたワークＳの位置を決定する。テーブル装置を、位置決め装置、と称してもよい。

移動システム９は、テーブル１にＸ軸方向の力を与える第１駆動装置９Ｘと、テーブル１にＹ軸方向の力を与える第２駆動装置９Ｙと、を備える。第１駆動装置９Ｘ及び第２駆動装置９Ｙは、ベース部材２に支持される。

図３は、本実施形態に係る第１駆動装置９Ｘの一例を示す平面図である。図１、図２、及び図３に示すように、第１駆動装置９Ｘは、ベース部材２に支持され、テーブル１をＸ軸方向に移動するための動力を発生する第１アクチュエータ７Ｘと、テーブル１と連結され、第１アクチュエータ７Ｘの作動によりＸ軸と平行な第１駆動軸ＤＸに沿って移動する第１可動部材８Ｘと、を有する。

第１アクチュエータ７Ｘは、カップリング１０Ｃを介してボールねじ機構１０Ｂと接続される。第１アクチュエータ７Ｘで発生した動力は、ボールねじ機構１０Ｂを介して第１可動部材８Ｘに伝達される。第１駆動装置９Ｘのボールねじ機構１０Ｂは、第１アクチュエータ７Ｘが発生する動力によって回転するボールねじと、そのボールねじの周囲に配置されたナットと、を含む。

第１可動部材８Ｘは、ベース部材２に設けられた第１ガイド部材１１にＸ軸方向にガイドされる第１リニアベアリング２１と、支持装置３を介してテーブル１に連結された第２ガイド部材１２にＹ軸方向にガイドされる第２リニアベアリング２２と、を含む。第１ガイド部材１１は、Ｘ軸方向に延在するようにベース部材２に固定される。第１リニアベアリング２１は、ボールねじ機構１０Ｂのナットと接続され、第１ガイド部材１１にガイドされながら第１駆動軸ＤＸに沿って移動可能である。第２ガイド部材１２は、Ｙ軸方向に延在するように、支持装置３を介してテーブル１の＋Ｘ側の端部に連結される。第２リニアベアリング２２は、第１接続部材３１を介して、第１リニアベアリング２１に固定される。第２ガイド部材１２は、第２接続部材３２を介して、支持装置３に接続される。

第１アクチュエータ７Ｘが作動すると、ボールねじ機構１０Ｂのボールねじが回転する。これにより、第１リニアベアリング２１がＸ軸方向に移動する。第１リニアベアリング２１は、ベース部材２に設けられた第１ガイド部材１１によりＸ軸方向にガイドされ、第１駆動軸ＤＸに沿って移動する。第１リニアベアリング２１がＸ軸方向に移動すると、第１支持部材３１を介して第１リニアベアリング２１に固定されている第２リニアベアリング２２及び第２ガイド部材１２が、第１リニアベアリング２１と一緒にＸ軸方向に移動する。第２リニアベアリング２２及び第２ガイド部材１２がＸ軸方向に移動すると、第２接続部材３２及び支持装置３を介して第２ガイド部材１２と接続されているテーブル１は、第２ガイド部材１２と一緒にＸ軸方向に移動する。

第２駆動装置９Ｙは、ベース部材２に支持され、テーブル１をＹ軸方向に移動するための動力を発生する第２アクチュエータ７Ｙと、テーブル１と連結され、第２アクチュエータ７Ｙの作動によりＹ軸と平行な第２駆動軸ＤＹに沿って移動する第２可動部材８Ｙと、を有する。

第２アクチュエータ７Ｙは、カップリング１０Ｃを介してボールねじ機構１０Ｂと接続される。第２アクチュエータ７Ｙで発生した動力は、ボールねじ機構１０Ｂを介して第２可動部材８Ｙに伝達される。第２駆動装置９Ｙのボールねじ機構１０Ｂは、第２アクチュエータ７Ｙが発生する動力によって回転するボールねじと、そのボールねじの周囲に配置されたナットと、を含む。

第２可動部材８Ｙは、ベース部材２に設けられた第３ガイド部材１３にＹ軸方向にガイドされる第３リニアベアリング２３と、支持装置３を介してテーブル１に連結された第４ガイド部材１４にＸ軸方向にガイドされる第４リニアベアリング２４と、を含む。第３ガイド部材１３は、Ｙ軸方向に延在するようにベース部材２に固定される。第３リニアベアリング２３は、ボールねじ機構１０Ｂのナットと接続され、第３ガイド部材１３にガイドされながら第２駆動軸ＤＹに沿って移動可能である。第４ガイド部材１４は、Ｘ軸方向に延在するように、支持装置３を介してテーブル１の−Ｙ側の端部に連結される。第４リニアベアリング２４は、第３接続部材３３を介して、第３リニアベアリング２３に固定される。第４ガイド部材１４は、第４接続部材３４を介して、支持装置３に接続される。

第２アクチュエータ７Ｙが作動すると、ボールねじ機構１０Ｂのボールねじが回転する。これにより、第３リニアベアリング２３がＹ軸方向に移動する。第３リニアベアリング２３は、ベース部材２に設けられた第３ガイド部材１３によりＹ軸方向にガイドされ、第２駆動軸ＤＹに沿って移動する。第３リニアベアリング２３がＹ軸方向に移動すると、第３支持部材３３を介して第３リニアベアリング２３に固定されている第４リニアベアリング２４及び第４ガイド部材１４が、第３リニアベアリング２３と一緒にＹ軸方向に移動する。第４リニアベアリング２４及び第４ガイド部材１４がＹ軸方向に移動すると、第４接続部材３４及び支持装置３を介して第４ガイド部材１４と接続されているテーブル１は、第４ガイド部材１４と一緒にＹ軸方向に移動する。

第１駆動装置９Ｘの作動によりテーブル１がＸ軸方向に移動するとき、第４ガイド部材１４と第４リニアベアリング２４とがＸ軸方向に相対移動する。テーブル１は、第４ガイド部材１４及び第４リニアベアリング２４にガイドされながらＸ軸方向に移動する。第２駆動装置９Ｙの作動によりテーブル１がＹ軸方向に移動するとき、第２ガイド部材１２と第２リニアベアリング２２とがＹ軸方向に相対移動する。テーブル１は、第２ガイド部材１２及び第２リニアベアリング２２にガイドされながらＸ軸方向に移動する。

このように、移動システム９は、第１駆動装置９Ｘの第１アクチュエータ７Ｘを作動することにより、テーブル１をＸ軸方向に移動することができる。また、移動システム９は、第２駆動装置９Ｙの第２アクチュエータ７Ｙを作動することにより、テーブル１をＹ軸方向に移動することができる。

図１に示すように、第１駆動装置９Ｘは、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸの位置とが一致するように１つだけ設けられる。第２駆動装置９Ｙは、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第２駆動軸ＤＹの位置とが異なるように少なくとも２つ設けられる。

本実施形態において、１つの第１駆動装置９Ｘが、テーブル１の＋Ｘ側の端部に連結される。２つの第２駆動装置９Ｙが、テーブル１の−Ｙ側の端部に連結される。移動システム９は、複数（２つ）の第２駆動装置９Ｙの第２アクチュエータ７Ｙの作動量を変えて、θＺ方向（回転方向）にテーブル１を移動することができる。

本実施形態において、テーブル装置１００Ａは、テーブル１にテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向（θＺ方向）の力を予め与える予圧装置４０を備える。予圧装置４０は、テーブル１にθＺ方向の力を常に与え続ける。予圧装置４０は、第１駆動装置９Ｘ及び第２駆動装置９Ｙの一方又は両方がテーブル１を移動させるための力を発生している状態において、テーブル中心軸ＡＸを中心とする一定の方向に一定の力をテーブル１に与え続ける。予圧装置４０が発生する力（予圧力）は、第１駆動装置９Ｘが発生する力（駆動力）及び第２駆動装置９Ｙが発生する力（駆動力）よりも小さい。

図４は、本実施形態に係る予圧装置４０の一例を示す側断面図であって、図１のＢ−Ｂ線矢視図に相当する。

図１及び図４に示すように、予圧装置４０は、ベース部材２に支持され、テーブル１にθＺ方向の力を与えるための動力を発生する予圧アクチュエータ７Ｐと、テーブル１と連結され、予圧アクチュエータ７Ｐが発生する動力によりＹ軸と平行な予圧駆動軸ＤＰに沿って移動する予圧可動部材８Ｐと、を有する。本実施形態においては、１つの予圧装置４０が、テーブル１の＋Ｙ側の端部に連結される。予圧装置４０は、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と予圧駆動軸ＤＰの位置とが異なるように設けられる。予圧装置４０は、テーブル１に対して−Ｙ方向に力を作用させることで、テーブル中心軸ＡＸを中心とする一定の方向に一定の力をテーブル１に与える。

本実施形態において、予圧アクチュエータ７Ｐは、エアシリンダである。予圧アクチュエータ７Ｐのシリンダ部はベース部材２に固定される。

予圧可動部材８Ｐは、ベース部材２に設けられた第５ガイド部材１５にＹ軸方向にガイドされる第５リニアベアリング２５と、支持装置３を介してテーブル１に連結された第６ガイド部材１６にＸ軸方向にガイドされる第６リニアベアリング２６と、を含む。

第５ガイド部材１５は、Ｙ軸方向に延在するようにベース部材２に固定される。第５リニアベアリング２５は、第５接続部材３５を介してエアシリンダのロッド部と接続され、第５ガイド部材１５にガイドされながら予圧駆動軸ＤＰに沿って移動可能である。第６ガイド部材１６は、Ｘ軸方向に延在するように、支持装置３を介してテーブル１の＋Ｙ側の端部に連結される。第６リニアベアリング２６は、第５接続部材３５を介して、第５リニアベアリング２５に固定される。第６ガイド部材１６は、第６接続部材３６を介して、支持装置３に接続される。

予圧アクチュエータ７Ｐが作動すると、第５リニアベアリング２５がＹ軸方向に移動する。第５リニアベアリング２５は、ベース部材２に設けられた第５ガイド部材１５によりＹ軸方向にガイドされ、予圧駆動軸ＤＰに沿って移動する。第５リニアベアリング２５がＹ軸方向に移動すると、第５支持部材３５を介して第５リニアベアリング２５に固定されている第６リニアベアリング２６及び第６ガイド部材１６が、第５リニアベアリング２５と一緒にＹ軸方向に移動する。第６リニアベアリング２６及び第６ガイド部材１６がＹ軸方向に移動すると、第６接続部材３６及び支持装置３を介して第６ガイド部材１６と接続されているテーブル１は、θＺ方向に移動する。

また、図１及び図２に示すように、テーブル装置１００Ａは、テーブル１の−Ｘ側の端部と連結され、テーブル１をＸ軸方向にガイドする第１ガイド装置５０Ｘと、テーブル１の＋Ｙ側の端部と連結され、テーブル１をＹ軸方向にガイドする第２ガイド装置５０Ｙと、を備える。第１ガイド装置５０Ｘ及び第２ガイド装置５０Ｙは、アクチュエータのような動力源を備えない。

第１ガイド装置５０Ｘは、ベース部材２に設けられた第７ガイド部材１７にＸ軸方向にガイドされる第７リニアベアリング２７と、支持装置３を介してテーブル１に連結された第８ガイド部材１８にＹ軸方向にガイドされる第８リニアベアリング２８と、を含む。第７ガイド部材１７は、Ｘ軸方向に延在するようにベース部材２に固定される。第７リニアベアリング２７は、第７ガイド部材１７にガイドされながらＸ軸方向に移動可能である。第８ガイド部材１８は、Ｙ軸方向に延在するように、支持装置３を介してテーブル１の−Ｘ側の端部に連結される。第８リニアベアリング２８は、第７接続部材３７を介して、第７リニアベアリング２７に固定される。第８ガイド部材１８は、第８接続部材３８を介して、支持装置３に接続される。

第２ガイド装置５０Ｙは、ベース部材２に設けられた第９ガイド部材１９にＹ軸方向にガイドされる第９リニアベアリング２９と、支持装置３を介してテーブル１に連結された第１０ガイド部材２０にＸ軸方向にガイドされる第１０リニアベアリング３０と、を含む。第９ガイド部材１９は、Ｙ軸方向に延在するようにベース部材２に固定される。第９リニアベアリング２９は、第９ガイド部材１９にガイドされながらＹ軸方向に移動可能である。第１０ガイド部材２０は、Ｘ軸方向に延在するように、支持装置３を介してテーブル１の＋Ｙ側の端部に連結される。第１０リニアベアリング３０は、第７接続部材３７を介して、第９リニアベアリング２９に固定される。第１０ガイド部材２０は、第８接続部材３８を介して、支持装置３に接続される。

第１駆動装置９Ｘの作動によりテーブル１がＸ軸方向に移動するとき、第１０ガイド部材２０と第１０リニアベアリング３０とがＸ軸方向に相対移動する。テーブル１は、第１０ガイド部材２０及び第１０リニアベアリング３０にガイドされながらＸ軸方向に移動する。第２駆動装置９Ｙの作動によりテーブル１がＹ軸方向に移動するとき、第８ガイド部材１８と第８リニアベアリング２８とがＹ軸方向に相対移動する。テーブル１は、第８ガイド部材１８及び第８リニアベアリング２８にガイドされながらＹ軸方向に移動する。

次に、支持装置３について説明する。図５は、本実施形態に係る支持装置３の一例を示す図である。以下の説明においては、テーブル１と第１駆動装置９Ｘの第２ガイド部材１２（第２接続部材３２）とを連結する支持装置３について説明する。テーブル１と第２駆動装置９Ｙとを連結する支持装置３、テーブル１と予圧装置４０とを連結する支持装置３、テーブル１と第１ガイド装置５０Ｘとを連結する支持装置３、及びテーブル１と第１ガイド装置５０Ｘとを連結する支持装置３は、同様の構造であるためその説明を省略する。

図２及び図５に示すように、支持装置３は、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが間隙Ｇを介して対向するように、テーブル１を支持する。支持装置３は、テーブル１に固定されたロッド部材５と、ロッド部材５の周囲に配置され、Ｚ軸と平行なロッド中心軸Ｊを中心にロッド部材５に対して相対回転可能であり、Ｚ軸方向において所定値以上の荷重がテーブル１に作用したときテーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触するようにＺ軸方向にロッド部材５をガイドする回転軸受４と、を有する。

ロッド部材５は、テーブル１の上面１Ａから上方に突出するように設けられる。ロッド部材５は、ロッド部５Ｌと、ロッド部５Ｌの上端部及び下端部のそれぞれに配置されたフランジ部５Ｆと、を有する。

回転軸受４は、実質的に円筒状である。回転軸受４は、ロッド部５Ｌの周囲に配置される。回転軸受４は、ケーシング３Ｃに支持される。第２ガイド部材１２は、第２接続部材３２及びケーシング３Ｃを介して、回転軸受４に接続される。

回転軸受４は、玉軸受を含む。回転軸受４は、ロッド部５Ｌに接触するように配置される内輪４Ａと、内輪４Ａの周囲に配置される外輪４Ｂと、内輪４Ａと外輪４Ｂとの間に配置されるボール４Ｃと、を含む。本実施形態において、内輪４Ａ、外輪４Ｂ、及びボール４Ｃを含む玉軸受は、鉛直方向（ロッド中心軸Ｊと平行な方向）に２つ配置される。

回転軸受４は、Ｚ軸方向のロッド部材５の移動を許容する。回転軸受４への予圧量が調整されることにより、Ｚ軸方向のロッド部材５の移動が許容される。ロッド部材５は、Ｚ軸方向に移動可能に回転軸受４に支持される。本実施形態において、テーブル１は、第１駆動装置９Ｘに対して、Ｚ軸方向に移動可能である。換言すれば、第１駆動装置９Ｘに対するＺ軸方向のテーブル１の変位が許容されている。但し、回転軸受４によりＺ軸方向のロッド部材５の移動が許容されることによりＸ軸方向のテーブル１の位置決め精度の低下が問題となる場合には、予圧が付与され半径方向に隙間が無いニードル軸受を用いて、Ｚ軸方向のロッド部材５の移動が許容されてもよい。また、ロッド部材５の移動量が小さい場合には、回転軸受４の軸方向剛性により、Ｚ軸方向のロッド部材５の移動が許容されてもよい。また、回転軸受４が正面組合せされ、その正面組合せされた回転軸受４からなる軸受部のθＹ方向の回転と、リニアベアリング１１のθＹ方向の回転とにより、鉛直方向のロッド部材５の移動が許容されてもよい。

次に、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａの動作の一例について説明する。テーブル１に支持されたワークＳのＸＹ平面内における位置が移動システム９により調整される。Ｘ軸方向のワークＳの位置を調整する場合、移動システム９は、第１駆動装置９Ｘの第１アクチュエータ７Ｘを作動する。Ｙ軸方向のワークＳの位置を調整する場合、移動システム９は、第２駆動装置９Ｙの第２アクチュエータ７Ｙを作動する。θＺ方向のワークＳの位置を調整する場合、移動システム９は、２つの第２駆動装置９Ｙの第２アクチュエータ７Ｙの作動量を変えて、それら２つの第２アクチュエータ７Ｙを作動する。

予圧装置４０は、移動システム９によりテーブル１が移動される前から、テーブル１にテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向の力を予め与え始める。すなわち、予圧装置４０は、第１駆動装置９Ｘ及び第２駆動装置９Ｙがテーブル１を移動させるための力を発生していない状態においても、中心軸ＡＸを中心とする一定の方向に一定の力をテーブル１に与える。また、テーブル１を移動するために移動システム９が作動した後、予圧装置４０は、第１駆動装置９Ｘ及び第２駆動装置９Ｙの一方又は両方がテーブル１を移動させるための力を発生している状態において、中心軸ＡＸを中心とする一定の方向に一定の力をテーブル１に与え続ける。

本実施形態においては、Ｙ軸方向に関してテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸの位置とが一致するように、第１駆動装置９Ｘが設けられる。第１駆動軸ＤＸは、第１駆動装置９Ｘがテーブル１に力を付与するときの力点を含む。本実施形態において、第１駆動軸ＤＸは、第１駆動装置９Ｘのボールねじ機構１０Ｂのボールねじの中心軸を含み、Ｘ軸と平行である。また、Ｙ軸方向に関して、第１駆動軸ＤＸの位置と回転軸受４の中心軸（ロッド中心軸Ｊ）とは一致する。Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸの位置とが一致されることにより、テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心にθＺ方向に回転しても、第１駆動装置９Ｘの第２リニアベアリング２２と第２ガイド部材１２との干渉が抑制され、第２ガイド部材１２による第２リニアベアリング２２の円滑なガイドが維持される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め精度の不足が抑制される。

本実施形態においては、Ｘ軸方向に関してテーブル中心軸ＡＸの位置と第２駆動軸ＤＹの位置とが異なるように、２つの第２駆動装置９Ｙが設けられる。第２駆動軸ＤＹは、第２駆動装置９Ｙがテーブル１に力を付与するときの力点を含む。本実施形態において、第２駆動軸ＤＹは、第２駆動装置９Ｙのボールねじ機構１０Ｂのボールねじの中心軸を含み、Ｙ軸と平行である。Ｘ軸方向に関して、第２駆動軸ＤＹの位置と回転軸受４の中心軸（ロッド中心軸Ｊ）とは一致する。Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第２駆動軸ＤＹの位置とが異なることにより、テーブル１はＹ軸方向及びθＺ方向に移動可能である。

テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心にθＺ方向に回転したとき、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と第１駆動軸ＤＸとの位置がずれ（オフセットされ）、そのオフセットに起因して、第２リニアベアリング２２及び第２ガイド部材１２にモーメントが作用する可能性がある。本実施形態においては、テーブル１と第１駆動装置９Ｘとは、回転軸受４を含む支持装置３を介して連結される。そのため、テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心にθＺ方向に回転しても、連結装置３におけるロッド部材５と回転軸受４との相対回転により、第２リニアベアリング２２及び第２ガイド部材１２に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め誤差が低減される。

同様に、テーブル１と第２駆動装置９Ｙとは支持装置３を介して連結され、テーブル１と予圧装置４０とは支持装置３を介して連結され、テーブル１と第１ガイド装置５０Ｘとは支持装置３を介して連結され、テーブル１と第２ガイド装置５０Ｙとは支持装置３を介して連結されているので、第４リニアベアリング２４及び第４ガイド部材１４に作用するモーメント、第６リニアベアリング２６及び第６ガイド部材１６に作用するモーメント、第８リニアベアリング２８及び第８ガイド部材１８に作用するモーメント、及び第１０リニアベアリング３０及び第２ガイド部材２０に作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め誤差が低減される。

また、テーブル装置１００Ａを用いるデバイスの製造工程等において、テーブル１に対して−Ｚ方向の荷重が作用する場合がある。テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が零の場合、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとは、間隙Ｇを介して対向する。テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満において、そのテーブル１にＺ軸方向の荷重が作用した場合、間隙Ｇの寸法が小さくなるように、テーブル１が下降する。テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満の場合、支持装置３は、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触しないように、テーブル１を支持する。

テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が所定値未満で、間隙Ｇが形成されている状態においては、移動システム９の作動により、テーブル１は、水平方向に円滑に移動することができる。

支持装置３は、間隙Ｇの寸法だけ、Ｚ軸方向に関するテーブル１の移動を許容する。間隙Ｇの寸法とは、テーブル１に対するＺ軸方向の荷重が零のとき（無荷重のとき）の下面１Ｂと上面２Ａとの距離である。−Ｚ方向の荷重がテーブル１に作用したとき、テーブル１は、支持装置３にガイドされながら、下方（−Ｚ方向）に移動する。テーブル１が下方に移動することにより、テーブル１の下面１Ｂは、ベース部材２の上面２Ａに接触する。テーブル１に対する鉛直方向下向きの力が所定値のとき、テーブル１の下面１Ｂは、ベース部材２の上面２Ａに接触する。支持装置３は、所定値以上の鉛直方向下向きの荷重がテーブル１に作用したとき、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触するように、Ｚ軸方向にテーブル１をガイドする。テーブル１の下面１Ｂがベース部材２の上面２Ａに接触することにより、テーブル１は、ベース部材２の上面２Ａに支持される。

間隙Ｇの寸法は、支持装置３に過剰な負荷（過負荷）が作用される前に下面１Ｂと上面２Ａとが接触するように定められている。換言すれば、間隙Ｇの寸法の範囲内でテーブル１がＺ軸方向に移動しても、支持装置３に過負荷が作用しないように、間隙Ｇの寸法が定められている。なお、支持装置３に過負荷が作用する状態とは、静定格荷重を超えるような荷重が支持装置３に作用する状態、及びボール４Ｃが内輪４Ａ及び外輪４Ｂのガイド溝から外れてしまうような荷重が支持装置３に作用する状態が例示される。

所定値とは、−Ｚ方向の荷重がテーブル１に作用し、Ｚ軸方向に関するテーブル１の位置を支持装置３が維持できず、テーブル１が−Ｚ方向に移動して、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触し、間隙Ｇの寸法が零になるときの、テーブル１に作用する−Ｚ方向の荷重の値をいう。テーブル１に作用する荷重が零のとき（無荷重のとき）、テーブル１は−Ｚ方向に移動せず、Ｚ軸方向に関するテーブル１の位置は維持され、下面１Ｂと上面２Ａとの間隙Ｇは維持される。テーブル１に−Ｚ方向の荷重が作用すると、−Ｚ方向のテーブル１の移動が開始される。テーブル１に作用する荷重が所定値未満のとき、テーブル１は−Ｚ方向に移動し、間隙Ｇの寸法は徐々に小さくなるものの、テーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとは離れている。テーブル１に作用する荷重が所定値に達すると、−Ｚ方向に移動したテーブル１の下面１Ｂとベース部材２の上面２Ａとが接触し、間隙Ｇの寸法は零になる。

なお、支持装置３に過負荷が作用される前に下面１Ｂと上面２Ａとが接触可能な間隙Ｇの寸法、及び荷重の所定値は、実験又はシミュレーションに基づいて予め求めることができる。求められたデータに基づいて、使用される支持装置３に適切な間隙Ｇの寸法、及び荷重の所定値が定められる。

以上説明したように、本実施形態によれば、１つの第１駆動装置９Ｘと少なくとも２つの第２駆動装置９Ｙとによって、テーブル１は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向の３つの方向に移動可能である。テーブル１にテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向の力を予め与える予圧装置４０が設けられることにより、テーブル１には回転方向に常にモーメントが作用し、テーブル装置１Ａの機構の遊びが無くなるため、位置決め精度の不足が抑制される。

また、本実施形態においては、予圧装置４０は、回転方向の力を発生する予圧発生部である予圧アクチュエータ７Ｐと、テーブル１と連結され予圧アクチュエータ７Ｐが発生する力によりＹ軸と平行な予圧駆動軸ＤＰに沿って移動する予圧可動部材８Ｐと、を有し、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と予圧駆動軸ＤＰの位置とが異なるように設けられる。これにより、予圧アクチュエータ７Ｐが予圧駆動軸ＤＰに沿って発生する力によってテーブル１にモーメントを円滑に与えることができる。

また、本実施形態においては、第１駆動装置９Ｘ、第２駆動装置９Ｙ、予圧装置４０、第１ガイド装置５０Ｘ、及び第２ガイド装置５０Ｙはそれぞれ、支持装置３を介してテーブル１と連結される。これにより、支持装置３の回転軸受４によって、Ｚ軸方向のテーブル１の変位が許容される。所定値以上のＺ軸方向の荷重がテーブル１に作用したとき、テーブル１は、回転軸受４にガイドされて移動し、ベース部材２の上面２Ａに支持される。テーブル１は、回転軸受４により、Ｚ軸方向に真っ直ぐに移動可能である。また、テーブル１がテーブル中心軸ＡＸを中心に回転しても、ロッド部材５と回転軸受４との相対回転により、第１駆動装置９Ｘ、第２駆動装置９Ｙ、予圧装置４０、第１ガイド装置５０Ｘ、及び第２ガイド装置５０Ｙに作用するモーメントが抑制される。そのため、テーブル装置１００Ａの位置決め精度の不足が抑制される。

なお、本実施形態においては、予圧アクチュエータ７Ｐがエアシリンダであることとした。予圧アクチュエータ７Ｐが、ボールねじ機構を介してテーブル１に予圧を与えるサーボモータでもよい。但し、サーボモータは、位置決めモードではなくトルクモードで制御されている。以下の実施形態においても同様である。

＜第２実施形態＞
第２実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図６は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｂの一例を示す平面図である。本実施形態に係るテーブル装置１００Ｂは、予圧装置４０を２つ備える。本実施形態において、予圧装置４０は、第１の力をテーブル１に与える第１予圧装置４０Ａと、第２の力をテーブル１に与える第２予圧装置４０Ｂとを含む。第１予圧装置４０Ａがテーブル１に与える力と、第２予圧装置４０Ｂがテーブル１に与える力とは、異なる。本実施形態においては、第１予圧装置４０Ａがテーブル１に与える第１の力は、第２予圧装置４０Ｂがテーブル１に与える第２の力よりも大きい。例えば、第１予圧装置４０Ａのシリンダを第２予圧装置４０Ｂのシリンダよりも大きくすることによって、第１予圧装置４０Ａがテーブル１に与える第１の力を、第２予圧装置４０Ｂがテーブル１に与える第２の力よりも大きくすることができる。また、第１予圧装置４０Ａの空気圧を第２予圧装置４０Ｂの空気圧よりも大きくすることによって、第１予圧装置４０Ａがテーブル１に与える第１の力を、第２予圧装置４０Ｂがテーブル１に与える第２の力よりも大きくすることができる。

Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、第１予圧装置４０Ａの予圧駆動軸ＤＰの位置とは、異なる。Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、第２予圧装置４０Ｂの予圧駆動軸ＤＰの位置とは、異なる。本実施形態において、第１予圧装置４０Ａ及び第２予圧装置４０Ｂは、テーブル１の＋Ｙ側の端部に連結される。第１予圧装置４０Ａはテーブル中心軸ＡＸよりも＋Ｘ側のテーブル１の端部に連結され、第１予圧装置４０Ａはテーブル中心軸ＡＸよりも−Ｘ側のテーブル１の端部に連結される。

以上説明したように、本実施形態によれば、予圧装置４０は、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と予圧駆動軸ＤＰの位置とが異なるように少なくとも２つ設けられ、それら２つの予圧装置４０がテーブル１に与える力は、異なる。これにより、２つの予圧装置４０によってテーブル１の異なる位置に異なる力を付与可能なので、テーブル１にモーメントを付与することでθＺ方向におけるテーブル１の位置決め精度の不足を抑制することができる。

また、本実施形態によれば、２つの予圧装置４０がテーブル１の＋Ｙ側の端部に連結され、２つの第２駆動装置９Ｙがテーブル１の−Ｙ側の端部に連結されている。また、Ｘ軸方向において、予圧駆動軸ＤＰの位置と第２駆動軸ＤＹの位置とが一致する。これにより、テーブル１がＸ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも一方に移動するときの、θＺ方向におけるテーブル１の位置決め誤差が抑制される。

＜第３実施形態＞
第３実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図７は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｃの一例を示す平面図である。テーブル装置１００Ｃは、１つの第１駆動装置９Ｘと、２つの第２駆動装置９Ｙと、１つの予圧装置４０とを備える。

第１駆動装置９Ｘは、Ｘ軸方向のテーブル１の一方の端部（＋Ｘ側の端部）に連結され、予圧装置４０は、Ｘ軸方向のテーブル１の他方の端部（−Ｘ側の端部）に連結される。第１駆動装置９Ｘは、その第１駆動装置９Ｘの第１駆動軸ＤＸがＸ軸と平行となるように配置される。予圧装置４０は、その予圧装置４０の予圧駆動軸ＤＰがＸ軸と平行となるように配置される。

２つの第２駆動装置９Ｙのうち、一方の第２駆動装置９Ｙは、Ｙ軸方向のテーブル１の一方の端部（＋Ｙ側の端部）に連結され、他方の第２駆動装置９Ｙは、Ｙ軸方向のテーブル１の他方の端部（−Ｙ側の端部）に連結される。一方の第２駆動装置９Ｙは、その第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹがＹ軸と平行となるように配置される。他方の第２駆動装置９Ｙは、その第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹがＹ軸と平行となるように配置される。

Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、第１駆動装置９Ｘの第１駆動軸ＤＸの位置とは、異なる。Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、予圧装置４０の予圧駆動軸ＤＰの位置とは、異なる。本実施形態においては、第１駆動装置９Ｘは、テーブル中心軸ＡＸよりも−Ｙ側のテーブル１の端部に連結され、予圧装置４０は、テーブル中心軸ＡＸよりも＋Ｙ側のテーブル１の端部に連結される。Ｙ軸方向において、テーブル中心軸ＡＸと第１駆動装置９Ｘの第１駆動軸ＤＸとの距離は、テーブル中心軸ＡＸと予圧装置４０の予圧駆動軸ＤＰとの距離と等しい。第１駆動装置９Ｘと予圧装置４０とは、テーブル中心軸ＡＸを基準として点対称の関係になるように配置される。

Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、一方の第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹの位置とは、異なる。Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、他方の第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹの位置とは、異なる。本実施形態においては、一方の第２駆動装置９Ｙは、テーブル中心軸ＡＸよりも＋Ｘ側のテーブル１の端部に連結され、他方の第２駆動装置９Ｙは、テーブル中心軸ＡＸよりも−Ｘ側のテーブル１の端部に連結される。Ｘ軸方向における、テーブル中心軸ＡＸと一方の第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹとの距離は、テーブル中心軸ＡＸと他方の第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹとの距離と等しい。一方の第２駆動装置９Ｙと他方の第２駆動装置９Ｙとは、テーブル中心軸ＡＸを基準として点対称の関係になるように配置される。

また、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸと第１駆動装置９Ｘの第１駆動軸ＤＸとの距離と、Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸと予圧装置４０の予圧駆動軸ＤＰとの距離と、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸと一方の第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹとの距離と、Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸと他方の第２駆動装置９Ｙの第２駆動軸ＤＹとの距離とは、等しい。

第１駆動装置９Ｘとテーブル１との連結部を連結部Ｊ１、予圧装置４０とテーブル１との連結部を連結部Ｊ２、一方の第２駆動装置９Ｙとテーブル１との連結部を連結部Ｊ３、他方の第２駆動装置９Ｙとテーブル１との連結部を連結部Ｊ４、としたとき、ＸＹ平面内におけるテーブル中心軸ＡＸと連結部Ｊ１との距離と、テーブル中心軸ＡＸと連結部Ｊ２との距離と、テーブル中心軸ＡＸと連結部Ｊ３との距離と、テーブル中心軸ＡＸと連結部Ｊ４との距離とは、等しい。なお、テーブル１との連結部Ｊ１，Ｊ２，Ｊ３，Ｊ４とは、図５等に示したように、支持装置３とテーブル１との連結部をいう。更に具体的には、テーブル１との連結部Ｊ１、Ｊ２，Ｊ３，Ｊ４とは、支持装置３のロッド部材５の下側のフランジ部５Ｆとテーブル１との連結部をいう。

以上説明したように、本実施形態によれば、第１駆動装置９Ｘと、予圧装置４０と、一方の第２駆動装置９Ｙと、他方の第２駆動装置９Ｙとが、テーブル中心軸ＡＸを基準として点対称の関係になるように配置される。そのため、Ｚ軸方向の負荷がテーブル１に均等に作用する。したがって、テーブル１の位置決め精度の不足が抑制される。

＜第４実施形態＞
第４実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図８は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｄの一例を示す平面図である。テーブル装置１００Ｄは、予圧装置４０を２つ備える。予圧装置４０は、第１の力をテーブル１に与える第１予圧装置４０Ａと、第２の力をテーブル１に与える第２予圧装置４０Ｂとを含む。なお、本実施形態において、予圧装置４０は、その予圧装置４０の予圧駆動軸ＤＰがＸ軸と平行となるように配置される。

２つの予圧装置４０のうち、第１予圧装置４０Ａは、Ｘ軸方向のテーブル１の一方の端部（＋Ｘ側の端部）に連結され、第２予圧装置４０Ｂは、Ｘ軸方向のテーブル１の他方の端部（−Ｘ側の端部）に連結される。

Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、第１予圧装置４０Ａの予圧駆動軸ＤＰの位置とは、異なる。Ｙ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、第２予圧装置４０Ｂの予圧駆動軸ＤＰの位置とは、異なる。本実施形態においては、第１予圧装置４０Ａと第２予圧装置４０Ｂとは対向するように配置され、第１予圧装置４０Ａ及び第２予圧装置４０Ｂの両方が、テーブル中心軸ＡＸよりも＋Ｙ側のテーブル１の端部に連結される。Ｙ軸方向において、第１予圧装置４０Ａの予圧駆動軸ＤＰの位置と、第２予圧装置４０Ｂの予圧駆動軸ＤＰの位置とは、一致する。

以上説明したように、本実施形態によれば、第１予圧装置４０Ａは、テーブル１の＋Ｘ側の端部に連結され、第２予圧装置４０Ｂは、テーブル１の−Ｘ側の端部に連結される。これにより、２つの予圧装置４０によってテーブル中心軸ＡＸに対して対称となるテーブル１の異なる位置に力を付与可能なので、テーブル１にモーメントを付与することでθＺ方向におけるテーブル１の位置決め精度の不足を抑制することができる。

＜第５実施形態＞
第５実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図９は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｅの一例を示す平面図である。図１０は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｅの一例を示す側断面図である。

本実施形態においては、テーブル装置１００Ｅの少なくとも一部がチャンバ装置２００の内部空間に配置される。本実施形態においては、テーブル１、第１可動部材８Ｘの少なくとも一部、第２可動部材８Ｙの少なくとも一部、及び予圧可動部材８Ｐの少なくとも一部が、チャンバ装置２００の内部空間に配置される。

第１アクチュエータ７Ｘ、第２アクチュエータ７Ｙ、予圧アクチュエータ７Ｐ、第１ガイド装置５０Ｘ、及び第２ガイド装置５０Ｙは、チャンバ装置２００の外部空間に配置される。

チャンバ装置２００は、内部空間の環境を制御する環境制御システムを含む。内部空間の環境は、チャンバ装置２００内外の圧力が変わるような、内部空間のガスの種類、温度、湿度、圧力（真空度を含む）、及びクリーン度の少なくとも一つを含む。

環境制御システムによって、チャンバ装置２００の内部空間は、例えば真空状態に制御される。また、環境制御システムによって、チャンバ装置２００の内部空間は、例えば一定温度に制御される。

チャンバ装置２００は、内部空間と外部空間とを結ぶ複数の開口２００Ｋを有する。複数の開口２００Ｋに、第１駆動装置９Ｘ、第２駆動装置９Ｙ、予圧装置４０、第１ガイド装置５０Ｘ、及び第２ガイド装置５０Ｙが配置される。

チャンバ装置２００は、開口２００Ｋに配置されたべローズ２５０と、ベローズ２５０を支持する支持装置２６０とを備えている。べローズ２５０は、チャンバ装置２００と、第１可動部材８Ｘとを連結するように設けられる。べローズ２５０は、チャンバ装置２００と、第２可動部材８Ｙとを連結するように設けられる。べローズ２５０は、チャンバ装置２００と、予圧可動部材８Ｐとを連結するように設けられる。これにより、開口２００Ｋが塞がれ、内部空間と外部空間とのガスの流通が抑制される。

以上説明したように、本実施形態によれば、少なくともテーブル１が配置される内部空間を有するチャンバ装置２００が設けられるので、環境が制御されたチャンバ装置２００の内部空間において、テーブル１に支持されたワークＳが処理される。アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐは、チャンバ装置２００の外部空間に配置されているので、例えば、アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐから熱が発生しても、その熱がテーブル１及びワークＳに及ぼす影響が抑制される。また、アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐから異物が発生しても、その異物がテーブル１及びワークＳに及ぼす影響が抑制される。また、テーブル装置１００Ｉの全部がチャンバ装置２００の内部空間に収容されず、テーブル１、ガイド部材１８，２０，７０、リニアベアリング１９，２１，７１、及び連結装置３などがチャンバ装置２００の内部空間に収容され、アクチュエータ７Ｘ，７Ｙ，７Ｐがチャンバ装置２００の外部空間に配置されることによって、チャンバ装置２００の大型化が抑制される。

＜第６実施形態＞
第６実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１１は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ｆの一例を示す平面図である。本実施形態において、予圧装置４０Ｆは、予圧アクチュエータを有しない。べローズ２５０による弾性力によって、テーブル１にテーブル中心軸ＡＸを中心とする回転方向の力が与えられる。

また、べローズ２５０は、第１の弾性力をテーブル１に付与する第１べローズ２５０Ａと、第２の弾性力をテーブル１に付与する第２べローズ２５０Ｂとを含む。Ｘ軸方向におけるテーブル中心軸ＡＸの位置と、第１べローズ２５０Ａの位置及び第２べローズ２５０Ｂの位置とは異なる。第１べローズ２５０Ａがテーブル１に与える力と、第２べローズ２５０Ｂがテーブル１に与える力とは、異なる。例えば、第１べローズ２５０Ａの面積と、第２べローズ２５０Ｂの面積とを異ならせることによって、第１べローズ２５０Ａがテーブル１に与える力と、第２べローズ２５０Ｂがテーブル１に与える力とを異ならせることができる。なお、べローズ２５０は、開口２００Ｋに配置される筒状部材であり、べローズ２５０の面積とは、その筒状部材であるべローズ２５０の開口面積をいう。

以上説明したように、予圧装置４０Ｆがテーブル１に与える力は、予圧アクチュエータが発生する動力でなくてもよく、べローズ２５０が発生する弾性力でもよい。

＜第７実施形態＞
第７実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略又は省略する。

図１２は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｆ）を備えるフラットパネルディスプレイ製造装置５００の一例を示す図である。フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、フラットパネルディスプレイを製造するためのワークＳを搬送可能な搬送装置６００を含む。搬送装置６００は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａを含む。

なお、図１２においては、テーブル装置１００Ａを簡略して図示する。ワークＳは、テーブル１に支持される。

本実施形態において、ワークＳは、フラットパネルディスプレイを製造するための基板である。ワークＳからフラットパネルディスプレイが製造される。ワークＳは、ガラス板を含んでもよい。液晶ディスプレイが製造される場合、ワークＳは、ＴＦＴ基板を含んでもよいし、カラーフィルタ基板を含んでもよい。

フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置されたワークＳを使って、フラットパネルディスプレイを製造するための処理を行う。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳを処理位置ＰＪ１に配置する。搬送装置６００は、テーブル装置１００Ａのテーブル１にワークＳを搬送（搬入）可能な搬入装置６０１と、テーブル１からワークＳを搬送（搬出）可能な搬出装置６０２とを含む。搬入装置６０１によって、処理前のワークＳがテーブル１に搬送（搬入）される。テーブル装置１００Ａによって、テーブル１に支持されたワークＳが処理位置ＰＪ１まで搬送される。搬出装置６０２によって、処理後のワークＳがテーブル１から搬送（搬出）される。

テーブル装置１００Ａは、テーブル１を移動して、テーブル１に支持されたワークＳを処理位置ＰＪ１に移動する。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳを高い位置決め精度で処理位置ＰＪ１に配置可能である。

例えば、フラットパネルディスプレイ製造装置５００が、２枚の基板を貼り合せる貼り合せ装置を含む場合、テーブル１に支持されているワークＳは、２枚の基板のうち一方の基板を含む。処理位置ＰＪ１は、一方の基板が他方の基板と貼り合せられる貼り合せ位置を含む。貼り合せ位置に配置されたテーブル１の一方の基板に、他方の基板が押し付けられる。

本実施形態において、フラットパネルディスプレイ製造装置５００は、他方の基板を保持する基板ホルダ５０１を有する。基板ホルダ５０１は、テーブル１に支持されたワークＳ（一方の基板）を処理する処理部として機能する。基板ホルダ５０１は、貼り合せ位置に配置されている一方の基板と、基板ホルダ５０１に保持されている他方の基板とを対向させる。基板ホルダ５０１は、テーブル１に支持されている一方の基板に他方の基板を押し付けるように、下方に移動する。これにより、２枚の基板が貼り合せられる。

処理位置ＰＪ１においてワークＳが処理された後、その処理後のワークＳが搬出装置６０２によってテーブル１から搬送される。搬出装置６０２によって搬送（搬出）されたワークＳは、後工程を行う処理装置に搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置１００Ａは、ワークＳを処理位置ＰＪ１に配置可能である。また、テーブル１の位置決め精度の不足が抑制されている。そのため、不良な製品（フラットパネルディスプレイ）の発生が抑制される。

なお、テーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｆ）が、半導体製造装置に使用されてもよい。半導体製造装置は、例えば、投影光学系を介してワークＳにデバイスパターンを形成する露光装置を含む。露光装置において、処理位置ＰＪ１は、投影光学系の像面位置（露光位置）を含む。投影光学系は、テーブル１に支持されたワークＳを露光処理する処理部として機能する。処理位置ＰＪ１にワークＳが配置されることにより、半導体製造装置は、投影光学系を介して、ワークＳにデバイスパターンを形成可能である。

なお、半導体製造装置が、ワークＳに膜を形成する成膜装置を含んでもよい。半導体製造装置が成膜装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、膜を形成するための材料が供給される供給位置（成膜位置）を含む。材料を供給する供給部が、テーブル１に支持されたワークＳの成膜処理を行う処理部として機能する。処理位置ＰＪ１にワークＳが配置されることにより、デバイスパターンを形成するための膜がワークＳに形成される。

＜第８実施形態＞
第８実施形態について説明する。図１３は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｆ）を備える精密機械７００の一例を示す図である。本実施形態においては、精密機械７００が、精密機器のようなワークを精密に測定する精密測定機である例について説明する。

精密測定機７００は、ワークＳ２を測定する。ワークＳ２は、例えば、フラットパネルディスプレイ製造装置５００により製造されたフラットパネルディスプレイ、及び上述の半導体製造装置により製造された半導体デバイスの少なくとも一方を含んでもよい。精密測定機７００は、ワークＳ２を搬送可能な搬送装置６００Ｂを含む。搬送装置６００Ｂは、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａを含む。

なお、図１３において、テーブル装置１００Ａを簡略して図示する。ワークＳ２は、テーブル１に支持される。

精密測定機７００は、測定位置（目標位置）ＰＪ２に配置されたワークＳ２の測定を行う。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳ２を測定位置ＰＪ２に配置する。搬送装置６００Ｂは、テーブル装置１００Ａのテーブル１にワークＳ２を搬送（搬入）可能な搬入装置６０１Ｂと、テーブル１からワークＳ２を搬送（搬出）可能な搬出装置６０２Ｂとを含む。搬入装置６０１Ｂによって、測定前のワークＳ２がテーブル１に搬送（搬入）される。テーブル装置１００Ａによって、テーブル１に支持されたワークＳ２が測定位置ＰＪ２まで搬送される。搬出装置６０２Ｂによって、測定後のワークＳ２がテーブル１から搬送（搬出）される。

テーブル装置１００Ａは、テーブル１を移動して、テーブル１に支持されたワークＳ２を測定位置ＰＪ２に移動する。テーブル装置１００Ａは、テーブル１に支持されたワークＳ２を高い位置決め精度で測定位置ＰＪ２に配置可能である。

本実施形態において、精密測定機７００は、検出光を用いてワークＳ２の測定を光学的に行う。精密測定機７００は、検出光を射出可能な照射装置７０１と、照射装置７０１から射出され、ワークＳ２で反射した検出光の少なくとも一部を受光可能な受光装置７０２とを含む。本実施形態において、測定位置ＰＪ２は、検出光の照射位置を含む。照射装置７０１及び受光装置７０２は、テーブル１に支持されたワークＳ２を処理する処理部として機能する。本実施形態において、照射装置７０１及び受光装置７０２は、テーブル１に支持されたワークＳ２を測定する測定部として機能する。測定位置ＰＪ２にワークＳ２が配置されることにより、ワークＳ２の状態が光学的に測定される。

測定位置ＰＪ２においてワークＳ２の測定が行われた後、その測定後のワークＳ２が搬出装置６０２Ｂによってテーブル１から搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置１００Ａは、ワークＳ２を測定位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能であるため、測定不良の発生を抑制できる。すなわち、精密測定機７００は、ワークＳ２が不良であるか否かを良好に判断することができる。これにより、例えば不良なワークＳ２が後工程に搬送されたり、出荷されたりすることが抑制される。また、精密測定機７００は、テーブル１によって測定位置ＰＪ２に配置されたワークＳ２を測定できるので、そのワークＳ２の測定を精密に行うことができる。

なお、三次元測定装置が、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａを備えてもよいし、テーブル装置１００Ａを含む搬送装置を備えてもよい。測定対象のワークがテーブル１に支持されることにより、三次元測定装置は、目標位置に配置されたワークを測定できるので、そのワークの測定を精密に行うことができる。

＜第９実施形態＞
第９実施形態について説明する。図１４は、本実施形態に係るテーブル装置１００Ａ（１００Ｂ〜１００Ｆ）を備える精密機械８００の一例を示す図である。本実施形態においては、精密機械８００が、精密加工を実施可能な精密加工機である例について説明する。

精密加工機８００は、ワークＳ３を加工する。精密加工機８００は、マシニングセンタを含み、テーブル装置１００Ａと、加工ヘッド８０１とを有する。加工ヘッド８０１が、テーブル装置１００Ａのテーブル１に支持されたワークＳ３を処理する処理部として機能する。本実施形態においては、加工ヘッド８０１が、テーブル装置１００Ａのテーブル１に支持されたワークＳ３を加工する加工部として機能する。加工ヘッド８０１は、加工工具を有し、テーブル装置１００Ａのテーブル１に支持されたワークＳ３を加工工具で加工する。加工ヘッド８０１は、ワークＳ３を切削する機構である。加工ヘッド８０１は、テーブル１の移動方向と直交するＺ軸方向に加工工具を移動させる。

精密加工機８００は、テーブル装置１００ＡでワークＳ３をＸＹ平面内において移動させ、加工ヘッド８０１をＺ軸方向に移動させることで、加工工具とワークＳ３とを相対的に移動させることができる。

精密加工機８００は、加工位置（目標位置）に配置されたテーブル１上のワークＳ３を加工できるので、そのワークＳ３の加工を精密に行うことができる。

なお、本実施形態においては、テーブル１がＸＹ平面内（水平面内）に移動することとした。本実施形態において、テーブル１がＸＹ平面に対して傾斜する方向に移動されてもよい。すなわち、ＸＹ平面は、水平面と平行でもよいし、水平面に対して傾斜していてもよい。

１ テーブル
１Ａ 上面
１Ｂ 下面
２ ベース部材
２Ａ 上面（ガイド面）
３ 支持装置
３Ｃ ケーシング
４ 回転軸受
４Ａ 内輪
４Ｂ 外輪
４Ｃ ボール
５ ロッド部材
５Ｆ フランジ部
５Ｌ ロッド部
７Ｘ 第１アクチュエータ
７Ｙ 第２アクチュエータ
７Ｐ 予圧アクチュエータ
８Ｘ 第１可動部材
８Ｙ 第２可動部材
８Ｐ 予圧可動部材
９ 移動システム
９Ｘ 第１駆動装置
９Ｙ 第２駆動装置
１０Ｂ ボールねじ機構
１０Ｃ カップリング
１１ 第１ガイド部材
１２ 第２ガイド部材
１３ 第３ガイド部材
１４ 第４ガイド部材
１５ 第５ガイド部材
１６ 第６ガイド部材
１７ 第７ガイド部材
１８ 第８ガイド部材
１９ 第９ガイド部材
２０ 第１０ガイド部材
２１ 第１リニアベアリング
２２ 第２リニアベアリング
２３ 第３リニアベアリング
２４ 第４リニアベアリング
２５ 第５リニアベアリング
２６ 第６リニアベアリング
２７ 第７リニアベアリング
２８ 第８リニアベアリング
２９ 第９リニアベアリング
３０ 第１０リニアベアリング
３１ 第１接続部材
３２ 第２接続部材
３３ 第３接続部材
３４ 第４接続部材
３５ 第５接続部材
３６ 第６接続部材
３７ 第７接続部材
３８ 第８接続部材
４０ 予圧装置
４０Ｆ 予圧装置
５０Ｘ 第１ガイド装置
５０Ｙ 第２ガイド装置
１００Ａ テーブル装置
１００Ｂ テーブル装置
１００Ｃ テーブル装置
１００Ｄ テーブル装置
１００Ｅ テーブル装置
２００ チャンバ装置
２００Ｋ 開口
２５０ ベローズ
２６０ 支持装置
５００ フラットパネルディスプレイ製造装置
７００ 精密機械（精密測定機）
８００ 精密機械（精密加工機）
ＡＸ テーブル中心軸
ＤＰ 予圧駆動軸
ＤＸ 第１駆動軸
ＤＹ 第２駆動軸
Ｇ 間隙
Ｓ ワーク

Claims (14)

1. ガイド面を有するベース部材と、
   前記ベース部材に支持され、前記ガイド面と平行な所定面内の第１軸と平行な第１軸方向、前記第１軸と直交する前記所定面内の第２軸と平行な第２軸方向、及び前記所定面と直交する第３軸と平行なテーブル中心軸を中心に回転可能なテーブルと、
   前記ベース部材に支持された第１アクチュエータと、前記テーブルと連結され前記第１アクチュエータの作動により前記第１軸と平行な第１駆動軸に沿って移動する第１可動部材と、を有し、前記第２軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第１駆動軸の位置とが一致するように１つだけ設けられた第１駆動装置と、
   前記ベース部材に支持された第２アクチュエータと、前記テーブルと連結され前記第２アクチュエータの作動により前記第２軸と平行な第２駆動軸に沿って移動する第２可動部材と、をそれぞれ有し、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記第２駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられた第２駆動装置と、
   前記テーブルに前記テーブル中心軸を中心とする回転方向の力を予め与える予圧装置と、
   を備えるテーブル装置。
2. 前記予圧装置は、前記回転方向の力を発生する予圧発生部と、前記テーブルと連結され前記予圧発生部が発生する力により前記第２軸と平行な予圧駆動軸に沿って移動する予圧可動部材と、を有し、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように設けられる、
   請求項１に記載のテーブル装置。
3. 前記予圧装置は、前記第１軸方向における前記テーブル中心軸の位置と前記予圧駆動軸の位置とが異なるように少なくとも２つ設けられ、
   少なくとも２つの前記予圧装置が前記テーブルに与える力は、異なる、
   請求項２に記載のテーブル装置。
4. 少なくとも２つの前記予圧装置のうち、１つの前記予圧装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に連結され、１つの前記予圧装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に連結される、
   請求項３に記載のテーブル装置。
5. 前記予圧発生部は、前記ベース部材に支持された予圧アクチュエータを含む、
   請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のテーブル装置。
6. 前記テーブル及び前記予圧可動部材の少なくとも一部が配置される内部空間を有するチャンバ装置と、
   前記チャンバ装置と前記予圧可動部材とを連結するべローズと、を備え、
   前記予圧発生部は、前記べローズを含む、
   請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のテーブル装置。
7. 前記第１可動部材、前記第２可動部材、及び前記予圧可動部材はそれぞれ、前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面とが間隙を介して対向するように前記テーブルを支持する支持装置を含み、
   前記支持装置は、前記テーブルに固定されたロッド部材と、前記ロッド部材の周囲に配置され前記第３軸と平行なロッド中心軸を中心に前記ロッド部材に対して相対回転可能であり、前記第３軸と平行な第３軸方向において所定値以上の荷重が前記テーブルに作用したとき前記テーブルの下面と前記ベース部材のガイド面とが接触するように前記第３軸方向に前記ロッド部材をガイドする回転軸受と、を有する、
   請求項２から請求項６のいずれか一項に記載のテーブル装置。
8. 前記第１可動部材は、前記ベース部材に設けられた第１ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第１リニアベアリングと、前記支持装置を介して前記テーブルに連結された第２ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第２リニアベアリングと、を含む、
   請求項７に記載のテーブル装置。
9. 前記第２可動部材は、前記ベース部材に設けられた第３ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第３リニアベアリングと、前記支持装置を介して前記テーブルに連結された第４ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第４リニアベアリングと、を含む、
   請求項７又は請求項８に記載のテーブル装置。
10. 前記予圧可動部材は、前記ベース部材に設けられた第５ガイド部材に前記第２軸方向にガイドされる第５リニアベアリングと、前記支持装置を介して前記テーブルに連結された第６ガイド部材に前記第１軸方向にガイドされる第６リニアベアリングと、を含む、
    請求項７から請求項９のいずれか一項に記載のテーブル装置。
11. 少なくとも２つの前記第２駆動装置のうち、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの一方の端部に連結され、１つの前記第２駆動装置は、前記第２軸方向の前記テーブルの他方の端部に連結される、
    請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のテーブル装置。
12. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のテーブル装置を備え、
    前記テーブル装置の前記テーブルに支持されたワークの位置を決定する、
    位置決め装置。
13. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のテーブル装置と、
    前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、
    を備えるフラットパネルディスプレイ製造装置。
14. 請求項１から請求項１１のいずれか一項に記載のテーブル装置と、
    前記テーブルに支持されたワークを処理する処理部と、
    を備える精密機械。

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