JP2017188464A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 電力送達システムであって、前記電力送達システムは、
   電力をプラズマ負荷に提供するように構成されている第１の発電機と、
   前記第１の発電機の出力を前記プラズマ負荷に対してインピーダンス整合させるように構成されている第１の整合ネットワークと、
   前記第１の発電機の出力における電力の電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力を測定するように構成されている第１のセンサであって、電圧定在波比円上の点によって表されるインピーダンスの値に対する線形応答を有している第１のセンサと、
   前記第１の発電機内に配置されているローカルコントローラと
   を備え、
   前記ローカルコントローラは、
   前記測定された電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力を前記第１のセンサから受信することと、
   ユーザ電力送達要件を受信することと、
   前記測定された電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力と、前記ユーザ電力送達要件とを分析することと、
   前記第１の発電機および／または前記第１の整合ネットワークに、前記ユーザ電力送達要件を満たすために、１つ以上の動作パラメータを調節するように命令することと
   を行うように構成されている、システム。
2. 前記１つ以上の動作パラメータは、第１の発電機周波数または第１の整合ネットワークインピーダンスを含む、請求項１に記載のシステム。
3. 電力をプラズマ負荷に提供するように構成されている第２の発電機と、
   前記第２の発電機の出力を前記プラズマ負荷に対してインピーダンス整合させるように構成されている第２の整合ネットワークと、
   前記第２の発電機の出力における電力の電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力を測定するように構成されている第２のセンサであって、電圧定在波比円上の点によって表されるインピーダンスの値に対する線形応答を有している第２のセンサと、
   ローカルコントローラと
   をさらに備え、
   前記ローカルコントローラは、
   前記測定された電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力を前記第２のセンサから受信することと、
   前記第１および第２のセンサからの前記測定された電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力と、前記ユーザ電力送達要件とを分析することと、
   前記第１および第２の発電機、および／または、前記第１および第２の整合ネットワークに、前記ユーザ電力送達要件を満たすために、１つ以上の動作パラメータを調節するように命令することと
   を行うようにさらに構成されている、請求項１に記載のシステム。
4. 前記第１の整合ネットワークは、第３のセンサを含み、前記第３のセンサは、電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力を測定して、前記第１の発電機のローカルコントローラに対して電圧、電流、位相、インピーダンス、および／または電力を提供するように構成されている、請求項１に記載のシステム。
5. 電力を送達または制御する方法であって、前記方法は、
   第１の発電機の電力出力の電気特性を第１のセンサを介して監視して、前記第１の発電機の電力出力の電気特性を前記第１の発電機内に配置されているローカルコントローラに提供することと、
   前記ローカルコントローラにおいて前記第１の発電機の識別を受信することと、
   前記ローカルコントローラにおいて第１の整合ネットワークの識別を受信することと、
   前記第１の発電機および前記第１の整合ネットワークの識別と、前記第１の発電機の電力出力の電気特性とを分析することと、
   前記識別および前記電気特性の分析に基づいて、命令を前記第１の発電機および前記第１の整合ネットワークに中継し、前記第１の発電機の出力をプラズマ負荷に対してインピーダンス整合させるために、前記第１の発電機および前記第１の整合ネットワークの同時同調を可能にすることと
   を含む、方法。
6. 第２の発電機の電力出力の電気特性を第２のセンサを介して監視して、前記第１および第２の発電機が、前記第１および第２の発電機の電力出力を前記プラズマ負荷に並行して提供することであって、前記第２のセンサは、前記第２の発電機の電力出力の電気特性を前記ローカルコントローラに提供する、ことと、
   前記ローカルコントローラにおいて前記第２の発電機の識別を受信することと、
   前記ローカルコントローラにおいて第２の整合ネットワークの識別を受信することと、
   前記第１および第２の発電機の識別と前記第１および第２の整合ネットワークの識別、および、前記第１および第２の発電機の電力出力の電気特性を分析することと、
   前記識別および前記電気特性の分析に基づいて、命令を前記第１および第２の発電機と前記第１および第２の整合ネットワークとに中継して、前記第１および第２の発電機の出力を前記プラズマ負荷に対してインピーダンス整合させるために、前記第１および第２の発電機と前記第１および第２の整合ネットワークとの同調を可能にすることと
   をさらに含む、請求項５に記載の方法。
7. 前記ローカルコントローラにおいて前記第１および第２の発電機の識別を受信することと、
   前記ローカルコントローラにおいて前記第１および第２の整合ネットワークの識別を受信することと、
   前記第１および第２の発電機の識別と前記第１および第２の整合ネットワークの識別と、前記第１および第２の発電機の前記電力出力の電気特性とを分析することと、
   前記電気特性の分析に基づいて、命令を前記第１および第２の発電機と前記第１および第２の整合ネットワークとに中継して、前記第１および第２の発電機と前記第１および第２の整合ネットワークとの同調を可能にすることと
   をさらに含む、請求項６に記載の方法。
8. 前記同調は、前記第１の発電機の第１の周波数、前記第２の発電機の第２の周波数、および前記第１および第２の整合ネットワークのインピーダンスを同調させることを含む、請求項７に記載の方法。
9. 前記第１および第２の発電機の識別と前記第１および第２の整合ネットワークの識別とは、ブランド、モデル、または製造番号を含む、請求項７に記載の方法。
10. 前記第１および第２の発電機の識別と前記第１および第２の整合ネットワークの識別とは、動作特性を含む、請求項７に記載の方法。
11. 電力送達システムの電力制御システムであって、
    第１の発電機の電力出力および前記第１の発電機の出力におけるインピーダンスを監視するように構成されている第１のセンサであって、前記第１の発電機は、第１の整合ネットワークを介して電力をプラズマ負荷に提供するように構成されており、前記第１のセンサは、電圧定在波比円上の点によって表されるインピーダンスの値に対する線形応答を有している、第１のセンサと、
    前記第１の発電機内に配置され、前記第１のセンサと通信するローカルコントローラであって、前記ローカルコントローラは、前記第１の発電機および前記第１の整合ネットワークの同調を管理するように構成されており、前記同調は、前記第１の発電機の電力出力および前記第１の発電機の出力におけるインピーダンスに依存する、ローカルコントローラと
    を備える、電力制御システム。
12. 第２の発電機の電力出力および前記第２の発電機の出力におけるインピーダンスを監視するように構成されている第２のセンサであって、前記第２の発電機は、第２の整合ネットワークを介して電力をプラズマ負荷に前記第１の発電機に並行して提供するように構成されており、前記第２のセンサは、電圧定在波比円上の点によって表されるインピーダンスの値に対する線形応答を有している、第２のセンサと、
    前記第２のセンサと通信し、前記第１および第２の発電機と前記第１および第２の整合ネットワークとの同調を管理するように構成され、前記同調は、前記第１および第２の発電機の電力出力と、前記第１および第２の発電機の出力におけるインピーダンスとに依存する、ローカルコントローラと
    をさらに含む、請求項１１に記載の電力制御システム。
13. 前記ローカルコントローラは、前記第１の発電機のプロセッサおよびメモリ上で動作するように構成されたソフトウェアまたはファームウェアである、請求項１２に記載の電力制御システム。
14. 前記ローカルコントローラは、ソフトウェアまたはファームウェアを動作させるプロセッサであり、既存の電力送達システムへの追加のために構成されている、請求項１２に記載の電力制御システム。
15. 前記ローカルコントローラは、前記第１および第２のセンサの識別、前記第１および第２の発電機の識別、および前記第１および第２の整合ネットワークの識別を識別するように構成されている、請求項１２に記載の電力制御システム。
16. 前記同調は、前記第１および第２のセンサの前記識別、前記第１および第２の発電機の前記識別、および前記第１および第２の整合ネットワークの前記識別を考慮する、請求項１５に記載の電力制御システム。
17. プラズマ負荷に送達される、前記第１の整合ネットワークの電力出力を特徴づけるように構成されている第３のセンサをさらに備えている、請求項１２に記載の電力制御システム。
18. プラズマチャンバの特性を監視するように構成されている第３のセンサをさらに備え、前記プラズマチャンバ内のプラズマは、前記第１および第２の整合ネットワークから送達される電力によって維持される、請求項１２に記載の電力制御システム。
19. 前記ローカルコントローラは、前記第１の発電機の第１の周波数、前記第２の発電機の第２の周波数、前記第１の整合ネットワークの第１のインピーダンス、および前記第２の整合ネットワークの第２のインピーダンスの同調を管理するように構成されている、請求項１２に記載の電力制御システム。
20. 前記ローカルコントローラは、前記第１および第２のセンサ、前記第１および第２の発電機、前記第１および第２の整合ネットワークへのユーザ入力、およびそれらからの出力とインターフェースをとる、請求項１２に記載の電力制御システム。