JP2017195572A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 基部と、
   前記基部から第１方向に沿って延出している振動腕と、
   前記振動腕の表面に設けられている電極膜と、を備え、
   前記振動腕は、前記基部から前記第１方向に沿って延びている腕部、および、前記腕部の前記基部側とは反対の先端側に設けられ、前記第１方向に対して直交する第２方向に沿った幅が前記腕部の前記幅よりも広い錘部を有し、
   前記表面は、前記第１方向および前記第２方向に沿っており表裏関係にある一対の面、および、前記一対の面の間を繋いでいる側面を含み、
   前記錘部の前記側面側には、前記錘部から離れる方向に突出している突起部が設けられており、
   前記電極膜は、前記突起部の前記表面に設けられている部分を有することを特徴とする振動素子。
2. 前記振動腕に外部から印加された交番電圧によって生じる前記振動腕の振動の振幅範囲外において、前記突起部に非接触で対向しているストッパー部を備える請求項１に記載の振動素子。
3. 前記突起部は、前記離れる方向における先端部に向かうに従い前記離れる方向に対して直交する方向に沿った幅が狭くなっている形状である請求項１または２に記載の振動素子。
4. 前記電極膜のうちの前記突起部の前記表面に設けられている前記部分上に、少なくとも一部が設けられている絶縁膜を備える請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動素子。
5. 前記突起部は、前記錘部の前記腕部側とは反対の先端側の前記側面側に設けられた先端突起部を含む請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動素子。
6. 前記第１方向に沿った前記錘部の長さをＬ１とし、前記第２方向に沿った前記錘部の長さをＷ１とし、前記錘部の前記先端側の前記側面から前記先端突起部の前記離れる方向における先端部までの距離をＬｂとし、前記先端突起部の前記離れる方向に対して直交する方向に沿った幅をＷｂとしたとき、
   ０＜Ｌｂ／Ｌ１＜０．２の関係、および、０＜Ｗｂ／Ｗ１＜１．０の関係をそれぞれ満たす請求項５に記載の振動素子。
7. 前記突起部は、前記錘部の前記第２方向における少なくとも一方側の前記側面側に設けられた側方突起部を含む請求項１ないし６のいずれか１項に記載の振動素子。
8. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子と、
   前記振動素子を収納しているパッケージと、を備えることを特徴とする振動子。
9. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子と、
   前記振動素子に電気的に接続されている発振回路と、を備えることを特徴とする発振器。
10. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子を備えることを特徴とする電子機器。
11. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載の振動素子を備えることを特徴とする移動体。