JP2017201180A - メカニカルシール - Google Patents

Abstract

【課題】静止密封環のシール面の反対側となる背面の平坦度が低下するのを抑制することができるメカニカルシールを提供する。【解決手段】メカニカルシール１は、回転軸Ｓに一体回転可能に取り付けられシール面９ａを有する回転密封環９と、回転軸Ｓを包囲しているケーシングＣ側に取り付けられ、当該ケーシングＣ側に接触して取り付けられる取付面１３ｂ，１３ｃ、及び回転密封環９のシール面９ａに摺接するシール面１３ａを有する静止密封環１３と、静止密封環１３のシール面１３ａの反対側となる背面１３ｆと、当該背面１３ｆに対向するケーシングＣ側の対向面ｃ２との間を密封する樹脂製の密封面１４ｃ，１４ｄを有するガスケット１３と、を備える。静止密封環１３には、シール面１３ａから取付面１３ｂに亘ってダイヤモンド膜ｄ１が連続して形成されている。【選択図】図２

Description

本発明は、腐食性流体をシールするメカニカルシールに関する。

従来より、回転流体機器の内部の被密封流体をシール（一次シール）するものとして、図５に示すように、ケーシング１０１側のシールケース１００に固定された静止密封環１０３と、回転軸１０２側に一体回転可能に取り付けられた回転密封環１０４とを備え、静止密封環１０３に形成されたシール面１０３ａと回転密封環１０４に形成されたシール面１０４ａとが摺接するメカニカルシールが知られている（例えば、特許文献１参照）。

このようなメカニカルシールは、半導体や医薬品等の分野において、腐食性の高い流体を被密封流体としてシールする場合がある。この場合には、静止密封環１０３のシール面１０３ａの反対側の面である背面１０３ｂと、この背面１０３ｂに対向するケーシング１０１の対向面１０１ａとの間をシール（二次シール）する部材として、耐食性とコスト面において優れた、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）包みガスケット等の樹脂製の密封面１０６ａを有するガスケット１０６が用いられている。

特開２０１０−２６１５７３号公報

上記メカニカルシールにあっては、静止密封環１０３の背面１０３ｂは、摩擦熱が発生するシール面１０３ａや、機内側の高温又は低温の流体に直接接触する内周面１０３ｃの温度変化によって熱歪が生じる場合がある。このような熱歪が生じると、背面１０３ｂの平坦度が低下し、ガスケット１０６のシール性能が低下するという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、静止密封環のシール面の反対側となる背面の平坦度が低下するのを抑制することができるメカニカルシールを提供することを目的とする。

本発明の第１の観点に係るメカニカルシールは、回転軸に一体回転可能に取り付けられ、シール面を有する回転密封環と、前記回転軸を包囲しているケーシング側に取り付けられ、当該ケーシング側に接触して取り付けられる取付面、及び前記回転密封環のシール面に摺接するシール面を有する静止密封環と、前記静止密封環のシール面の反対側となる背面と、当該背面に対向する前記ケーシング側の対向面との間を密封する樹脂製の密封面を有するガスケットと、を備えたメカニカルシールであって、前記静止密封環には、そのシール面の少なくとも一部から前記取付面の少なくとも一部に亘ってダイヤモンド膜が連続して形成されている。

上記のように構成されたメカニカルシールによれば、静止密封環には、そのシール面から、ケーシング側に取り付けられる取付面に亘って、大きな熱伝導率を有するダイヤモンド膜が連続して形成されているため、静止密封環のシール面で発生した摩擦熱を、ダイヤモンド膜のシール面側から取付面側に伝熱させてケーシング側に逃がすことができる。これにより、静止密封環のシール面の反対側となる背面において、前記摩擦熱に起因する熱歪が生じにくくなるので、前記背面の平坦度が低下するのを抑制することができる。その結果、ガスケットのシール性能が低下するのを効果的に抑制することができる。

本発明の第２の観点に係るメカニカルシールは、回転軸に一体回転可能に取り付けられ、シール面を有する回転密封環と、前記回転軸を包囲しているケーシング側に取り付けられ、当該ケーシング側に接触して取り付けられる取付面、及び前記回転密封環のシール面に摺接するシール面を有する静止密封環と、前記静止密封環のシール面の反対側となる背面と、当該背面に対向する前記ケーシング側の対向面との間を密封する樹脂製の密封面を有するガスケットと、を備えたメカニカルシールであって、前記静止密封環には、前記ケーシング内の流体と直接接触する接触面の少なくとも一部から、前記取付面の少なくとも一部に亘ってダイヤモンド膜が連続して形成されている。

上記のように構成されたメカニカルシールによれば、静止密封環には、ケーシング内の流体と直接接触する接触面から、ケーシング側に取り付けられる取付面に亘って、大きな熱伝導率を有するダイヤモンド膜が連続して形成されているため、前記流体が高温である場合、静止密封環の接触面において前記流体に接触して発生した熱を、ダイヤモンド膜の接触面側から取付面側に伝熱させてケーシング側に逃がすことができる。また、前記流体が低温である場合、静止密封環の接触面を介して背面の温度が低下しようとするが、当該背面は、ケーシング側の熱がダイヤモンド膜の取付面側から背面側に伝熱することでその熱を取り込むことができる。これにより、静止密封環のシール面の反対側となる背面において、前記接触面の温度変化に起因する熱歪が生じにくくなるので、前記背面の平坦度が低下するのを抑制することができる。その結果、ガスケットのシール性能が低下するのを効果的に抑制することができる。

本発明のメカニカルシールによれば、静止密封環のシール面の反対側となる背面の平坦度が低下するのを抑制することができる。

本発明の第１実施形態に係るメカニカルシールを示す断面図である。 図１のメカニカルシールの静止密封環及びガスケットを示す拡大断面図である。 本発明の第２実施形態に係るメカニカルシールを示す断面図である。 図３のメカニカルシールの静止密封環及びガスケットを示す拡大断面図である。 従来のメカニカルシールを示す断面図である。

次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係るメカニカルシールを示す断面図である。図１において、このメカニカルシール１は、腐食性流体を扱う攪拌機等の回転流体機器の軸封装置として用いられ、回転軸Ｓと、この回転軸Ｓを包囲している回転流体機器のケーシングＣとの間に配置されている。なお、本明細書において、図１の左側を機外側、図１の右側を機内側という（図２〜図４についても同様）。

メカニカルシール１は、回転側ユニットとして、ベローズ２と、固定リング３と、ドライブカラー４と、ストッパリング５と、リテーナ６と、弾性部材７と、挟圧リング８と、回転密封環９とを備えている。
ベローズ２は、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）からなり、軸方向の中間部を断面蛇行状の伸縮部２ａとした円筒状のものである。ベローズ２は、その基端部である固定部２ｂが、固定リング３、環状のドライブカラー４及びストッパリング５を介して回転軸Ｓに強固に嵌合固定されている。

具体的には、ストッパリング５は、その周方向に所定間隔をあけて螺合させた複数のセットスクリュー１０を締め付けることにより、回転軸Ｓに固定されている。ドライブカラー４の内周面は、機内側からストッパリング５に向かうに従って漸次拡径するように裁頭円錐状に形成されたカム面４ａとされており、ドライブカラー４は、ストッパリング５に対して周方向に所定間隔をあけて複数の締付ボルト１１により取り付けられている。

固定リング３は、その内周側がベローズ２の固定部２ｂに形成されている環状突起２ｃに係合された状態で当該固定部２ｂに外嵌されている。固定リング３の外周面は、ドライブカラー４のカム面４ａに嵌合するように、裁頭円錐状に形成されたカム面３ａとされている。したがって、締付ボルト１１を締め付けてドライブカラー４をストッパリング５側（機外側）に移動させることにより、カム面３ａ，４ａにより固定リング３を介してベローズ２の固定部２ｂが回転軸Ｓに強固に固定されている。

回転密封環９は、耐食性に優れ、かつ静止密封環１３（後述）との摺動特性（低摩擦性）及び機械的強度を向上させるべく、ＰＴＦＥに適宜の充填剤を充填させたＰＴＦＥ複合樹脂材からなる。回転密封環９の機内側の端部にはシール面９ａが形成されている。
ベローズ２の先端部である連結部２ｄには環状の舌部２ｆが形成されており（図２も参照）、この舌部２ｆを、回転密封環９に突設された環状突起９ｂと挟圧リング８とで径方向に挟圧することで、ベローズ２と回転密封環９とが一体的に連結されている。

リテーナ６は、その機内側の先端部６ａがベローズ２の連結部２ｄの外周面に嵌合するとともに、機外側の基端部６ｂがベローズ２の伸縮部２ａを囲繞する円筒状のものであり、熱膨張係数がベローズ２の構成材であるＰＴＦＥと同等又は近似する樹脂材からなる。本実施形態のリテーナ６は、ＰＴＦＥを主成分とする複合樹脂材であって、ＰＴＦＥにカーボンを充填させたＰＴＦＥ複合樹脂材からなる。

なお、リテーナ６の先端部６ａの内径は、ベローズ２の連結部２ｄに密に外嵌しうるように設定されているが、リテーナ６の基端部６ｂの内径は、ベローズ２の連結部２ｄの外径より小さく且つベローズ２の伸縮部２ａの外径より若干大きく設定されていて、リテーナ６が伸縮部２ａに干渉しないように工夫されている。

リテーナ６の先端部６ａの端面には、回転密封環９の外周面に周方向に所定間隔をあけて径方向外方に突出形成された複数の環状突起９ｃに係合する凹部６ｃが形成されており、この環状突起９ｃと凹部６ｃとの係合により、リテーナ６と回転密封環９の相対回転が規制されている。また、リテーナ６の内周部において先端部６ａと基端部６ｂとの境界に形成される環状段部６ｄは、ベローズ２の外周部において伸縮部２ａと連結部２ｄとの境界に形成される環状段部２ｅに当接しており、両段部２ｅ，６ｄの係合により、弾性部材７による付勢力がリテーナ６を介してベローズ２に確実に作用するようになっている。

ドライブカラー４には、周方向に所定間隔をあけて複数のドライブピン４ｂが突設されていて、このドライブピン４ｂをリテーナ６の機外側の端面に形成された凹部６ｅに係合させることにより、リテーナ６は、回転軸Ｓに対して軸方向に移動可能に保持されながら、回転軸Ｓに対する相対回転が規制されている。

弾性部材７は、ストッパリング５とリテーナ６との間において周方向に所定間隔をあけて装着された複数の圧縮コイルばねからなり、リテーナ６（及びベローズ２）を軸方向の機内側へ付勢している。これにより、回転密封環９のシール面９ａは、弾性部材７の付勢力により静止密封環１３のシール面１３ａ（後述）に押し付けられている。なお、弾性部材７は、ドライブカラー４に形成された貫通孔４ｃに挿通した状態でストッパリング５とリテーナ６との間に装着されている。

メカニカルシール１は、静止側ユニットとして、シールケース１２と、静止密封環１３と、ガスケット１４と、カバー部材１５とを備えている。
シールケース１２は、環状部材からなり、軸方向に貫通する貫通孔１２ａが周方向に所定間隔をあけて複数形成されている。各貫通孔１２ａにはボルト１６が挿通され、このボルト１６はケーシングＣに形成されたねじ穴ｃ１に螺合されている。シールケース１２の内周部には、静止密封環１３が装着される環状段部１２ｂが形成されている。

カバー部材１５は、例えばアクリル製の円筒部材からなり、シールケース１２の機外側の端面にボルト１７により固定されている。このカバー部材１５は、上記回転側ユニットのストッパリング５、ドライブカラー４、弾性部材７、ベローズ２及びリテーナ６を覆うように配置されている。

図２は、静止密封環１３及びガスケット１４を示す拡大断面図である。図２において、静止密封環１３は、耐食性に優れたセラミックスからなり、本実施形態ではアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）又は炭化ケイ素（ＳｉＣ）からなる。静止密封環１３の機外側の端部には、回転密封環９のシール面９ａに摺接するシール面１３ａが形成されている。また、静止密封環１３の外周部には、シールケース１２の環状段部１２ｂの側面に面接触する第１取付面１３ｂと、環状段部１２ｂの周面に面接触する第２取付面１３ｃとが形成されている。

また、静止密封環１３の外周部には、第２取付面１３ｃの機内側の端部から径方向内方に延びる環状の第１段差面１３ｄと、第１段差面１３ｄの内周端部から機内側に向かって軸方向に延びる第２段差面１３ｅとが形成されている。第２段差面１３ｅの機内側の端部は後述する背面１３ｆの外周端部に接続されている。

静止密封環１３の第１段差面１３ｄは、シールケース１２の機内側の端面１２ｃに対して略面一に形成されており、これらの第１段差面１３ｄ及び端面１２ｃには、環状のプレート１８が押し当てられた状態でねじ１９によりシールケース１２に固定されている。これにより、静止密封環１３は、シールケース１２の環状段部１２ｂとプレート１８に挟持された状態で固定されている。

静止密封環１３の内周面１３ｇには、軸方向に延びる平坦面１３ｇ１と、この平坦面１３ｇ１から機内側に向うに従って漸次拡径するテーパ面１３ｇ２とが形成されている。静止密封環１３の内周面１３ｇは、ケーシングＣ内の流体（気体または液体の被密封流体）と直接接触する接触面とされている。

ガスケット１４は、静止密封環１３の背面１３ｆと、この背面１３ｆに対向するケーシングＣの対向面ｃ２との間をシール（二次シール）するものである。本実施形態のガスケット１４は、耐食性とコスト面において優れたＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）包みガスケットからなり、芯材である環状のガスケット本体１４ａと、このガスケット本体１４ａを軸方向両側から挟み込んだＰＴＦＥからなる包み部１４ｂとを有している。なお、本実施形態の包み部１４ｂは、ガスケット本体１４ａの内周側から外周側にかけて両端面を覆って包み込み、外周側を開放しているが、外周側も含めて包み込んでもよい。

包み部１４ｂは、ガスケット本体１４ａの機外側において静止密封環１３の背面１３ｆに面接触する密封面１４ｃと、ガスケット本体１４ａの機内側においてケーシングＣの対向面ｃ２に面接触する密封面１４ｄとを有している。
以上の構成により、ボルト１６（図１参照）を締め付けて、ガスケット１４を静止密封環１３の背面１３ｆとケーシングＣの対向面ｃ２との間で挟圧することにより、これらの背面１３ｆと対向面ｃ２との間はガスケット１４により密封されている。

図２に示すように、静止密封環１３には、その全面にダイヤモンド膜ｄ１〜ｄ４が連続して形成されている。ダイヤモンド膜ｄ１は、静止密封環１３の機外側の端面、つまりシール面１３ａから第１取付面１３ｂに亘って連続して形成されており、ダイヤモンド膜ｄ２は、静止密封環１３の外周面、つまり第２取付面１３ｃから第２段差面１３ｅに亘って連続して形成されている。

ダイヤモンド膜ｄ３は、静止密封環１３の機内側の端面である背面１３ｆの全体に亘って連続して形成されており、ダイヤモンド膜ｄ４は、静止密封環１３の内周面（接触面）１３ｇの全体に亘って連続して形成されている。なお、図２では、分かりやすいようにダイヤモンド膜ｄ１〜ｄ４の膜厚を誇張して描いている。

ダイヤモンド膜ｄ１〜ｄ４は、１０００〜２０００Ｗ／ｍ・ｋという大きな熱伝導率を有している。このため、静止密封環１３のシール面１３ａの耐摩耗性を向上させるだけでなく、以下の作用効果を奏する。すなわち、静止密封環１３のシール面１３ａで発生した摩擦熱を、ダイヤモンド膜ｄ１のシール面１３ａ側から第１取付面１３ｂ側に伝熱させてシールケース１２の環状段部１２ｂに速やかに逃がすことができる。

また、ケーシングＣ内の流体が高温の場合、静止密封環１３の内周面１３ｇにおいて高温の流体に接触して発生した熱を、ダイヤモンド膜ｄ４からダイヤモンド膜ｄ３を経由してダイヤモンド膜ｄ２に伝熱させてシールケース１２の環状段部１２ｂに速やかに逃がすことができる。さらに、ケーシングＣ内の流体が低温である場合、この流体に接触する静止密封環１３の内周面１３ｇを介して背面１３ｆの温度が低下しようとするが、当該背面１３ｆは、シールケース１２の熱がダイヤモンド膜ｄ２からダイヤモンド膜ｄ３に伝熱することでその熱を取り込むことができる。

これにより、静止密封環１３の背面１３ｆにおいて、前記摩擦熱に起因する熱歪や、内周面１３ｇの温度変化に起因する熱歪が生じにくくなるので、背面１３ｆの平坦度が低下するのを抑制することができる。その結果、ガスケット１４のシール性能が低下するのを効果的に抑制することができる。

ダイヤモンド膜ｄ１〜ｄ４は、例えばマイクロ波ＣＶＤ法、熱フィラメントＣＶＤ法等の一般的な製造技術を用いて作製することができる。ダイヤモンド膜ｄ１〜ｄ４の厚さは、本発明において特に限定されるものではないが、通常、３〜３０μｍ、好ましくは３〜１０μｍである。静止密封環１３のシール面１３ａで発生した摩擦熱が当該静止密封環１３の母材であるアルミナに移動する前に第１取付面１３ｂに移動させるという観点からは、３μｍ以上の厚みであることが望ましい。また、ダイヤモンド膜が厚くなるほど膜の表面粗度も大きくなり、精密な機械部品であるメカニカルシールのシール面として使用するのが困難になるのに加えて、ダイヤモンド膜の残留応力を極力小さくするという観点からは、１０μｍ以下であることが望ましい。

なお、ダイヤモンド膜ｄ１〜ｄ４の厚さは、同じ厚さであってもよいし、互いに異なる厚さであってもよい。静止密封環１３のシール面１３ａで発生した摩擦熱を速やかに第１取付面１３ｂからシールケース１２に移動させるとともに、静止密封環１３の内周面１３ｇで発生した熱を速やかに第２取付面１３ｃからシールケース１２に移動させるという観点からは、シール面１３ａ及び第１取付面１３ｂのダイヤモンド膜ｄ１の膜厚、及び第２取付面１３ｃのダイヤモンド膜ｄ２の膜厚が、他のダイヤモンド膜ｄ３，ｄ４の膜厚以上であることが望ましい。

また、本実施形態では、静止密封環１３の全周にダイヤモンド膜を形成しているが、少なくとも静止密封環１３の熱が発生する面の一部から、その熱をケーシングＣ側に放熱する面の一部に亘ってダイヤモンド膜が連続して形成されていればよい。例えば、摩擦熱が発生するシール面１３ａの少なくとも一部から、第１取付面１３ｂの少なくとも一部に亘ってダイヤモンド膜が連続して形成されていてもよいし、前記高温の流体により熱が発生する内周面１３ｇの少なくとも一部から第２取付面１３ｃの少なくとも一部に亘ってダイヤモンド膜が連続して形成されていてもよい。

［第２実施形態］
図３は、本発明の第２実施形態に係るメカニカルシールを示す断面図である。以下、第２実施形態のメカニカルシール１について、第１実施形態と相違する点について説明し、第１実施形態と同様の構成については説明を省略する。
図３において、本実施形態のメカニカルシール１では、ストッパリング５が径方向に２分割されており、締付ボルト２１を締め付けることにより、ストッパリング５は回転軸Ｓに強固に嵌合固定されている。

シールケース１２には、周方向に所定間隔をあけて複数のねじ穴１２ｄが形成されており、このねじ穴１２ｄには、ケーシングＣに形成された貫通孔ｃ３を貫通したボルト１６が螺合されている。
ケーシングＣの機外側の端面、内周面、及び機内側の端面には、ケーシングＣが腐食するのを防止するために、耐食性を有しかつ金属成分を含有しないノンメタル材料からなる被膜２３が連続して形成されている。

図４は、第２実施形態のメカニカルシール１の静止密封環１３及びガスケット１４を示す拡大断面図である。図４において、静止密封環１３の第１取付面１３ｂとシールケース１２の環状段部１２ｂの側面との間は、静止密封環１３の傾きを防止するために、例えばＰＴＦＥからなるガスケット２２が設けられている。

シールケース１２の端面１２ｃの内周端部には、環状の切欠部１２ｅが形成されている。この切欠部１２ｅの底面１２ｆとケーシングＣの対向面ｃ２との間にはガスケット１４の外周部が配置されている。ガスケット１４の内周部は静止密封環１３の背面１３ｆとケーシングＣの対向面ｃ２との間に配置されている。これにより、切欠部１２ｅの底面１２ｆとケーシングＣの対向面ｃ２との間、及び静止密封環１３の背面１３ｆとケーシングＣの対向面ｃ２との間は、単一のガスケット１４によりシール（二次シール）されている。本実施形態のガスケット１４は、ＰＴＦＥシートガスケットからなり、切欠部１２ｅの底面１２ｆおよび静止密封環１３の背面１３ｆに面接触する密封面１４ｅと、ケーシングＣの対向面ｃ２に面接触する密封面１４ｆとを有している。

以上のように、第２実施形態のメカニカルシール１によれば、静止密封環１３のシール面１３ａで発生した摩擦熱を、ダイヤモンド膜ｄ１からダイヤモンド膜ｄ２に伝熱させてシールケース１２の環状段部１２ｂに速やかに逃がすことができる。
また、ケーシングＣ内の流体が高温の場合、静止密封環１３の内周面１３ｇにおいて高温の流体に接触して発生した熱を、ダイヤモンド膜ｄ４からダイヤモンド膜ｄ３を経由してダイヤモンド膜ｄ２に伝熱させてシールケース１２の環状段部１２ｂに速やかに逃がすことができる。さらに、ケーシングＣ内の流体が低温である場合、この流体に接触する静止密封環１３の内周面１３ｇを介して背面１３ｆの温度が低下しようとするが、当該背面１３ｆは、シールケース１２の熱がダイヤモンド膜ｄ２からダイヤモンド膜ｄ３に伝熱することでその熱を取り込むことができる。

これにより、静止密封環１３の背面１３ｆにおいて、前記摩擦熱に起因する熱歪や、内周面１３ｇの温度変化に起因する熱歪が生じにくくなるので、背面１３ｆの平坦度が低下するのを抑制することができる。その結果、ガスケット１４のシール性能が低下するのを効果的に抑制することができる。

なお、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した意味ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。例えば、上記実施形態のガスケット１４を、ＰＴＦＥ包みガスケット又はＰＴＦＥシートガスケットとしているが、これら以外の樹脂製の密封面を有するガスケットを用いていもよい。

１ メカニカルシール
２ ベローズ
２ａ 伸縮部
２ｂ 固定部
２ｃ 環状突起
２ｄ 連結部
２ｅ 環状段部
２ｆ 舌部
３ 固定リング
３ａ カム面
４ ドライブカラー
４ａ カム面
４ｂ ドライブピン
４ｃ 貫通孔
５ ストッパリング
６ リテーナ
６ａ 先端部
６ｂ 基端部
６ｃ 凹部
６ｄ 環状段部
６ｅ 凹部
７ 弾性部材
８ 挟圧リング
９ 回転密封環
９ａ シール面
９ｂ 環状突起
９ｃ 環状突起
１０ セットスクリュー
１１ 締付ボルト
１２ シールケース
１２ａ 貫通孔
１２ｂ 環状段部
１２ｃ 端面
１２ｄ ねじ穴
１２ｅ 切欠部
１２ｆ 底面
１３ 静止密封環
１３ａ シール面
１３ｂ 第１取付面（取付面）
１３ｃ 第２取付面（取付面）
１３ｄ 第１段差面
１３ｅ 第２段差面
１３ｆ 背面
１３ｇ 内周面
１３ｇ１ 平坦面
１３ｇ２ テーパ面
１４ ガスケット
１４ａ ガスケット本体
１４ｂ 包み部
１４ｃ 密封面
１４ｄ 密封面
１４ｅ 密封面
１４ｆ 密封面
１５ カバー部材
１６ ボルト
１７ ボルト
１８ プレート
１９ ねじ
２１ 締付ボルト
２２ ガスケット
２３ 被膜
Ｃ ケーシング
ｃ１ ねじ穴
ｃ２ 対向面
ｃ３ 貫通孔
ｄ１ ダイヤモンド膜
ｄ２ ダイヤモンド膜
ｄ３ ダイヤモンド膜
ｄ４ ダイヤモンド膜
Ｓ 回転軸

Claims (2)

1. 回転軸に一体回転可能に取り付けられ、シール面を有する回転密封環と、
   前記回転軸を包囲しているケーシング側に取り付けられ、当該ケーシング側に接触して取り付けられる取付面、及び前記回転密封環のシール面に摺接するシール面を有する静止密封環と、
   前記静止密封環のシール面の反対側となる背面と、当該背面に対向する前記ケーシング側の対向面との間を密封する樹脂製の密封面を有するガスケットと、を備えたメカニカルシールであって、
   前記静止密封環には、そのシール面の少なくとも一部から前記取付面の少なくとも一部に亘ってダイヤモンド膜が連続して形成されている、メカニカルシール。
2. 回転軸に一体回転可能に取り付けられ、シール面を有する回転密封環と、
   前記回転軸を包囲しているケーシング側に取り付けられ、当該ケーシング側に接触して取り付けられる取付面、及び前記回転密封環のシール面に摺接するシール面を有する静止密封環と、
   前記静止密封環のシール面の反対側となる背面と、当該背面に対向する前記ケーシング側の対向面との間を密封する樹脂製の密封面を有するガスケットと、を備えたメカニカルシールであって、
   前記静止密封環には、前記ケーシング内の流体と直接接触する接触面の少なくとも一部から、前記取付面の少なくとも一部に亘ってダイヤモンド膜が連続して形成されている、メカニカルシール。

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