JP2017209799A - インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】容易に空気室の形成をすることができるインクジェットヘッド、インクジェットプリンタ及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。【解決手段】一実施形態に係るインクジェットヘッドは、駆動部と、ノズルプレートと、基板と、配線部とを備える。駆動部は、分極方向が圧電部材の長手方向に対して逆方向に一体の２つの圧電部材を有し、一の圧電部材から他の圧電部材の途中まで設けられる複数の溝及び２つの圧電部材に渡って設けられる複数の孔が圧電部材の長手方向に沿って交互に設けられる。ノズルプレートは、一の圧電部材の一方の主面に固定され、複数の溝に対向するノズル孔を複数有する。基板は、他の圧電部材の他方の主面と固定される。配線部は、孔の内面、及び、基板の孔と対向する位置に設けられる。【選択図】 図１

Description

本発明の実施形態は、インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。

インクジェットプリンタに設けられるインクジェットヘッドとして、シェアモード・シェアードウォール型のインクジェットヘッドが知られている。

このインクジェットヘッドは、インクを吐出する複数のノズル孔と、このノズル孔を備える複数の圧力室を有している。また、各圧力室の間には、ノズル孔がなくインク流路から隔離された空気室を備えている。

特開２０１３-１０２１１号公報

本発明が解決しようとする課題は、容易に空気室を形成することができるインクジェットヘッド、インクジェットプリンタ及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することである。

実施形態に係るインクジェットヘッドは、駆動部と、ノズルプレートと、基板と、配線部とを備える。駆動部は、分極方向が圧電部材の長手方向に対して逆方向に一体の２つの圧電部材を有し、一の圧電部材から他の圧電部材の途中まで設けられる複数の溝及び２つの圧電部材に渡って設けられる複数の孔が圧電部材の長手方向に沿って交互に設けられる。ノズルプレートは、一の圧電部材の一方の主面に固定され、複数の溝に対向するノズル孔を複数有する。基板は、他の圧電部材の他方の主面と固定される。配線部は、孔の内面、及び、基板の孔と対向する位置に設けられる。

第１の実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す分解斜視図。 第１の実施形態のインクジェットヘッドの空気室を示す断面図。 第１の実施形態のインクジェットヘッドの圧力室を示す断面図。 第１の実施形態のインクジェットヘッドの圧力室及び空気室の動作を示す断面図。 第１の実施形態のインクジェットヘッドの製造工程を示す説明図。 第２の実施形態のインクジェットヘッドの要部を示す斜視図。 第３の実施形態のインクジェットヘッドの要部を示す斜視図。

（第１の実施形態）
以下、第１の実施形態について、図１乃至図５を用いて説明する。図１は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１の構成を示す分解斜視図である。図２は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１の空気室２１を示す断面図である。図３は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１の圧力室２４を示す断面図である。図４は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１の圧力室２４及び空気室２１の駆動を示す断面図である。図５は、第１の実施形態のインクジェットヘッド１の製造工程を示す説明図である。

インクジェットヘッド１は、インクジェットプリンタに設けられる。例えば、インクジェットプリンタは、インクタンクからインクジェットヘッド１に送られた非導電性のインクをインクジェットヘッド１から吐出することにより、給紙部から搬送された記録紙に文字や図柄を印刷する。

図１乃至図３に示すように、インクジェットヘッド１は、ヘッド本体１０と、枠体１１と、ノズルプレート１２と、を備える。インクジェットヘッド１は、ヘッド本体１０、枠体１１及びノズルプレート１２を重ねることにより一体に構成される。

インクジェットヘッド１は、ヘッド本体１０、枠体１１及びノズルプレート１２により構成される空間に共通液室２０及び共通液室２０から遮断された複数の空気室２１を有する。

ヘッド本体１０は、基板３０と、２つの駆動部３１と、配線部３２と、を備えている。
基板３０は、矩形状の平板である。基板３０は、一方の主面４０に駆動部３１、配線部３２の一部及び枠体１１が設けられる。基板３０の材料は、例えば、非導電材料である。基板３０は、例えば、セラミックスの一種であるアルミナにより形成される。

基板３０は、複数のインク供給口４１と、複数のインク排出口４２と、を有する。インク供給口４１及びインク排出口４２は、インクタンクと接続される。

インク供給口４１は、基板３０を貫通する孔部である。複数のインク供給口４１は、基板３０の長手方向に沿って配置される。このように配置された複数のインク供給口４１は、基板３０の長手方向と直交する方向の中央位置に１列設けられる。

インク排出口４２は、基板３０を貫通する孔部である。複数のインク排出口４２は、基板３０の長手方向に沿って配置される。このように配置された複数のインク排出口４２は、基板３０の長手方向と直交する両端側に複数のインク供給口４１を挟んで２列設けられる。

図１乃至図３に示すように、駆動部３１は、例えば、一方向に長い四角柱状であって、長手方向と直交する方向の断面形状が台形状に構成される。２つの駆動部３１は、基板３０の長手方向と直交する方向に、駆動部３１の長手方向が沿う向きで並列に配置される。駆動部３１は、主面５０、５２間の側面が主面５０、５２に対して傾斜する一対の傾斜面５６を有する。駆動部３１の主面５２は、基板３０に接着される。駆動部３１の主面５０は、ノズルプレート１２に接着される。

駆動部３１は、一方の主面５０に設けられる複数の溝５１と、一方の主面５０と他方の主面５２の間に渡って形成される複数の孔５３と、を有する。複数の溝５１及び複数の孔５３は、駆動部３１の長手方向に沿って交互に配置される。換言すると、駆動部３１は、一方の主面５０側に、複数の溝５１及び複数の孔５３により構成され、駆動部３１の長手方向に沿って配置される複数の四角筒状の壁部６０を有する。

駆動部３１は、直方体状の第１圧電部材５４及び第２圧電部材５５を、分極方向が駆動部３１の長手方向に沿って逆向きとなるように接着し、接着した第１圧電部材５４及び第２圧電部材５５に溝５１、孔５３及び傾斜面５６を加工して構成される。

第１圧電部材５４は、駆動部３１の基板３０側を構成し、第２圧電部材５５は、駆動部３１のノズルプレート１２側を構成する。第１圧電部材５４は、第２圧電部材５５よりも厚く構成される。第１圧電部材５４及び第２圧電部材５５の材料は、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）である。

溝５１は、駆動部３１の長手方向と直交する方向に長い直線状に形成される。溝５１は、駆動部３１の両傾斜面５６に渡って設けられる。溝５１は、一方の主面５０から他方の主面５２に向かって、第２圧電部材５５から第１圧電部材５４の一部まで達する深さで形成される。溝５１は、隣接する２つの壁部６０の対向する外面６４の間の空間を構成する。

孔５３は、駆動部３１の第２圧電部材５５側の一方の主面５０から第１圧電部材５４側の他方の主面５２に渡って形成された四角柱状の開口である。孔５３は、壁部６０の中心部に位置する。孔５３は、駆動部３１の両主面５０、５２間に渡る空間を構成する。

壁部６０は、一対の第１壁部６１と一対の第２壁部６２とを有する。第１壁部６１は、駆動部３１の長手方向と直交する方向に長い直線状に形成される。一対の第１壁部６１は、孔５３を介して対向する。第１壁部６１は、ノズルプレート１２の面方向に対して直交して形成される。

第１壁部６１は、第１圧電部材５４及び第２圧電部材５５により構成される。第１壁部６１は、電圧が印加されることにより、溝５１側に可変可能に構成される。

第２壁部６２は、駆動部３１の長手方向に沿って長い直線状に形成される。一対の第２壁部６２は、孔５３を介して対向する。一対の第２壁部６２は、一対の第１壁部６１の両端部間と連続する。一対の第２壁部６２は、一対の第１壁部６１と共に、四角筒状の壁部６０を構成する。

配線部３２は、複数の第１配線部３３と、複数の第２配線部３４と、複数の第１電極３５と、複数の第２電極３６と、を備える。配線部３２は、例えば、導電性の金属薄膜により、基板３０及び駆動部３１に形成される。

第１配線部３３は、第１電極３５及びインクジェットプリンタの信号発生部と電気的に接続される。第１配線部３３は、溝５１を構成する駆動部３１の上面、駆動部３１の傾斜面５６、第２液室２３側の基板３０の主面４０上に帯状に連続して設けられる。第１配線部３３は、インク排出口４２を避けて基板３０の主面４０上に配置される。駆動部３１の上面とは、溝５１の内面５７の一部である。

第２配線部３４は、第２電極３６及びグランドと電気的に接続される。第２配線部３４は、一方の端部の上に孔５３が配置される。換言すると、第２配線部３４は、駆動部３１の孔５３と対向する位置から駆動部３１の長手方向に沿った基板３０の外縁に向かって、基板３０上に形成される。第２配線部３４は、インク排出口４２を避けて基板３０の主面４０上に配置される。

複数の第１配線部３３及び複数の第２配線部３４は、各駆動部３１の複数の溝５１及び複数の孔５３にそれぞれ対応して設けられる。複数の第１配線部３３及び複数の第２配線部３４は、各駆動部３１の長手方向に沿って交互に設けられる。

第１電極３５は、隣接する壁部６０の対向する第１壁部６１の外面６４にそれぞれ設けられる。第１電極３５は、駆動部３１の上面に設けられた第１配線部３３と電気的に接続される。第１電極３５は、第１配線部３３を介して、信号発生部と接続され第１壁部６１に電圧を印加可能に形成される。複数の溝５１に形成される複数の第１電極３５は、個別電極を構成する。

第２電極３６は、孔５３を構成する駆動部３１の内面５８に設けられる。第２電極３６は、第２配線部３４の端部と電気的に接続される。第２電極３６は、第２配線部３４を介して、接地可能に形成される。複数の孔５３に形成される複数の第２電極３６は、共通電極を構成する。

枠体１１は、基板３０の外縁形状に沿った四角筒状に形成される。枠体１１は、一対の駆動部３１、複数のインク供給口４１及び複数のインク排出口４２を包囲する。枠体１１の両主面７０、７１間の高さは、基板３０に設けられる駆動部３１の両主面５０、５２間の高さと同じ高さを有する。枠体１１の主面７０、７１は、ノズルプレート１２及び基板３０と接着される。

ノズルプレート１２は、矩形の平板状に形成される。ノズルプレート１２の主面８０は、基板３０の主面４０と略同一形状を有する。ノズルプレート１２の主面８０は、枠体１１の一方の主面７０及び駆動部３１の一方の主面５０に接着される。ノズルプレート１２は、枠体１１の開口を覆う。

ノズルプレート１２は、複数のノズル孔８１を有する。複数のノズル孔８１は、ノズルプレート１２の長手方向に沿って配置される。複数のノズル孔８１は、例えば、ノズルプレート１２の長手方向に沿って２列設けられる。ノズル孔８１は、複数の溝５１と対応する位置にそれぞれ形成される。

共通液室２０は、第１液室２２と、２つの第２液室２３と、複数の圧力室２４と、を有する。

第１液室２２は、一対の駆動部３１間に位置する基板３０の主面４０の一部と、一対の駆動部３１のインク供給口４１側の傾斜面５６と、ノズルプレート１２の主面８０の一部と、により形成される空間を構成する。第１液室２２は、インク供給口４１を介してインクタンクと接続される。第１液室２２は、インク供給口４１から複数の圧力室２４までのインク流路を形成する。

第２液室２３は、駆動部３１のインク排出口４２側の傾斜面５６と、枠体１１の一部と、枠体１１の一部及び傾斜面５６に囲まれたインク排出口４２が設けられた基板３０の主面４０の一部と、ノズルプレート１２の一部と、により形成される空間を構成する。第２液室２３は、インク排出口４２を介してインクタンクと接続される。第２液室２３は、第１液室２２から圧力室２４を介して送られたインクをインク排出口４２からインクタンクへ排出するインク流路を形成する。

圧力室２４は、第１液室２２及び第２液室２３を連絡するインク流路を形成する。圧力室２４は、駆動部３１の長手方向に沿って、複数の溝５１と同数構成される。

圧力室２４は、溝５１の周囲を構成する駆動部３１の一部と、溝５１を塞ぐノズルプレート１２の一部と、により形成される。溝５１の周囲を構成する駆動部３１の一部とは、隣接する壁部６０の対向する第１壁部６１を含む。圧力室２４は、電圧が印加された第１壁部６１が変形することにより、圧力室２４内に流入したインクをノズル孔８１から吐出可能に形成される。

空気室２１は、共通液室２０から遮断され構成される。空気室２１は、駆動部３１の長手方向に沿って、圧力室２４と交互に形成される。空気室２１は、孔５３の周囲を構成する駆動部３１の一部と、駆動部３１の主面５０側の孔５３の開口を塞ぐノズルプレート１２の一部と、駆動部３１の主面５２側の孔５３の開口を塞ぐ基板３０の一部と、により形成される。駆動部３１の孔５３の周囲を構成する一部とは、壁部６０を含む。

次にインクジェットヘッド１におけるインクの吐出動作について説明する。
インクジェットヘッド１の共通液室２０には、インクタンクからインクがインク供給口４１を介して供給される。具体的には、インク供給口４１から第１液室２２内に供給されたインクは、複数の圧力室２４を通過し、第２液室２３を介して、インク排出口４２からインクタンクへ排出される。

図４（Ａ）に示すように、第１壁部６１に電圧が印加されていない状態において、第１壁部６１は、ノズルプレート１２に対して直交する基準位置にある。

次に、圧力室２４を構成する一対の第１壁部６１に電圧が印加されると図４（Ｂ）に示すように、一対の第１壁部６１は、圧力室２４の体積を縮小する方向に変形する。言い換えれば、一対の第１壁部６１がそれぞれ互いに接近する方向に湾曲する。

それぞれの第１壁部６１が近接する方向に湾曲すると、圧力室２４の体積が縮小するため、圧力室２４の内部のインクが加圧され、ノズル孔８１からインクが吐出される。その後、第１壁部６１への電圧の印加が停止すると、第１壁部６１は、図４（Ａ）に示す基準位置に復帰する。このような吐出動作は、記録紙にインクを吐出するノズル孔８１に対応する圧力室２４において行われる。

次に、図１及び図５を用いて、インクジェットヘッド１の製造方法を説明する。
まず、第１圧電部材５４及び第２圧電部材５５を、分極方向が駆動部３１の長手方向で逆向きとなる配置で接着し、直方体状の駆動部３１の素材となる圧電部材３１０を形成する。

次に、フライス盤や切削加工により、第１圧電部材５４及び第２圧電部材５５が張り合わされた圧電部材３１０の外形を加工する。例えば、圧電部材３１０は、図１に示すような一方向に長い四角柱状であって、長手方向と直交する方向の断面形状が台形状になるように加工する。

次に、超音波加工装置１００を用いて、圧電部材３１０の一方の主面５０から、他方の主面に渡る孔５３を形成する（Ａｃｔ１）。孔５３は、圧電部材３１０の長手方向に沿って複数形成される。孔５３の大きさは、例えば、数十μｍである。

次に、予め第２配線部３４が設けられた基板３０の主面４０と圧電部材３１０の他方の主面５２とを接着する（Ａｃｔ２）。圧電部材３１０は、基板３０の主面４０上に設けられた複数の第２配線部３４の一端がそれぞれ複数の孔５３と対向する位置で接着される。

圧電部材３１０は、基板３０と接着された後、さらに超音波加工装置１００を用いて、隣接する２つの孔５３の間に圧電部材３１０の長手方向と直交する方向に複数の溝５１を形成する（Ａｃｔ３）。溝５１及び孔５３が交互に形成されることにより、溝５１及び孔５３の間に第１壁部６１が形成される。このように圧電部材３１０を加工することにより駆動部３１が形成される。

次に、基板３０上に設けられた第２配線部３４以外の配線部３２を形成する（Ａｃｔ４）。具体的には、孔５３を構成する内面５８、溝５１を構成する第１壁部６１の外面、溝５１を構成する上面及び基板３０の主面４０に導電性の金属薄膜を形成する。金属薄膜は、例えば、無電解メッキ法により形成される。金属薄膜が形成された駆動部３１及び基板３０は、その後、レーザ加工等により、金属薄膜の不要な部分を除去する。これらの工程により、複数の第１配線部３３、複数の第２配線部３４、複数の第１電極３５及び複数の第２電極３６を基板３０及び駆動部３１に形成する。このようにして、ヘッド本体１０を得ることができる。

このように構成されたインクジェットヘッド１は、駆動部３１の両主面５０、５２に渡る孔５３を設け、孔５３をノズルプレート１２及び基板３０により閉塞することで、共通液室２０から隔離された空気室２１を容易に形成することができる。

具体的には、空気室２１は、超音波加工装置１００を用いて駆動部３１の両主面５０、５２に渡って形成された孔５３をノズルプレート１２の一部及び基板３０の一部で閉塞する構成としている。このため、空気室２１は、溝５１の両端を他の封止材で閉じるような複雑な加工を必要としない。

また、インクジェットヘッド１は、駆動部３１の一方の主面５０から他方の主面５２に渡って孔５３が形成されている。このため、配線部３２は、基板３０に予め形成された第２配線部３４の端部と孔５３の位置合わせを行った後に孔５３の内面５８に電極膜を形成することで、第２配線部３４に接続される第２電極３６を容易に製造することができる。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態に係るヘッド本体１０Ａの構成を図６を用いて説明する。
図６は、第２の実施形態に係るヘッド本体１０Ａの構成を示す斜視図である。なお、第２の実施形態に係るヘッド本体１０Ａの構成のうち、上述した第１の実施形態に係るインクジェットヘッド１のヘッド本体１０構成と同等の構成には、同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。

図６に示すように、ヘッド本体１０Ａは、基板３０Ａと、２つの駆動部３１Ａと、配線部３２と、を備えている。
基板３０Ａは、四角柱状に形成される。基板３０Ａは、基板３０Ａの端部に駆動部３１Ａ、基板３０Ａの端部及び側壁３７に配線部３２の一部が設けられる。

図６に示すように、駆動部３１Ａは、例えば、一方向に長い四角柱状であって、長手方向と直交する方向の断面形状が矩形に構成される。駆動部３１Ａは、一方の主面５０に設けられる複数の溝５１と、一方の主面５０と他方の主面５２の間に渡って形成される複数の孔５３と、を有する。複数の溝５１及び複数の孔５３は、駆動部３１の長手方向に沿って交互に配置される。換言すると、駆動部３１Ａは、長手方向に沿って配置され、一方の主面５０側に、複数の溝５１及び複数の孔５３により構成される複数の四角筒状の壁部６０を有する。

駆動部３１Ａの主面５２は、基板３０Ａに接着される。駆動部３１Ａは、直方体状の第１圧電部材５４及び第２圧電部材５５を有する。駆動部３１Ａは、主面５０に対して、垂直な垂直面５６Ａを備えている。

配線部３２は、複数の第１配線部３３と、複数の第２配線部３４と、複数の第１電極３５と、複数の第２電極３６と、を備える。
第１配線部３３は、インクジェットプリンタの信号発生部と接続可能に形成される。また、第２配線部３４は、基板３０Ａの側壁３７に沿ってインクジェットヘッドの外側へ引き出され、接地される。

複数の溝５１及び複数の孔５３を有する駆動部３１Ａは、ノズルプレート及び基板３０Ａと共に、圧力室２４及び空気室２１を形成する。

このように構成されたヘッド本体１０Ａは、駆動部３１Ａの長手方向と直交する方向の断面形状が矩形に構成され、配線部３２を基板３０Ａの側壁３７に沿って延設し接続する構成としている。このため、ヘッド本体１０Ａは、駆動部３１Ａの長手方向と直交する方向の長さを短くすることができる。すなわち、ヘッド本体１０Ａを組み込んだインクジェットヘッドは、ノズル孔８１の列と直交する方向の幅を短くすることが可能である。このため、ヘッド本体１０Ａを組み込んだインクジェットヘッドは、小型化することができる。

以上述べた少なくともひとつの実施形態のインクジェットヘッド１、１Ａによれば、駆動部３１、３１Ａに両主面５０、５２間に渡る孔５３を有することで、容易に空気室２１を形成することができる。

なお、本実施形態に係るインクジェットヘッド１、１Ａは、上述した構成に限定されない。例えば、図７に示す第３の実施形態に係るヘッド本体１０Ｂに示すように、ヘッド本体１０Ｂは、基板３０Ａ上に、溝５１及び２つの孔５３を交互に有する駆動部３１Ｂを用いる構成であってもよい。このような構成の駆動部３１Ｂは、２つの溝５１の間に２つの孔５３が配置される構成となることで、２つの孔５３が独立し、別個独立した２つの空気室２１が２つの圧力室２４の間に設けられる。このため、一方の空気室２１の容積が可変したとしても他方の空気室２１の容積が可変することを防止できる。また、このような構成を有するヘッド本体１０Ｂをインクジェットヘッドに用いることにより、信号発生部と接続される電極をインクと接触させないように配線することが可能となる。このため、ヘッド本体１０Ｂを有するインクジェットヘッドは、絶縁膜を形成することなく導電性のインクを使用することができる。

また、上述した例では、駆動部３１、３１Ａは、圧力室２４の第１電極３５に電圧を印加する構成を説明したがこれに限定されない。例えば、第１電極３５及び第２電極３６の双方に、交互に電圧を印加する構成であってもよい。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…インクジェットヘッド、１０…ヘッド本体、１０Ａ…ヘッド本体、１０Ｂ…ヘッド本体、１１…枠体、１２…ノズルプレート、２０…共通液室、２１…空気室、２２…第１液室、２３…第２液室、２４…圧力室、３０…基板、３０Ａ…基板、３１…駆動部、３１Ａ…駆動部、３１Ｂ…駆動部、３２…配線部、３３…第１配線部、３４…第２配線部、３５…第１電極、３６…第２電極、３７…側壁、４０…主面、４１…インク供給口、４２…インク排出口、５０…主面、５１…溝、５２…主面、５３…孔、５４…第１圧電部材、５５…第２圧電部材、５６…傾斜面、５６Ａ…垂直面、５７…内面、５８…内面、６０…壁部、６１…第１壁部、６２…第２壁部、６４…外面、８０…主面、８１…ノズル孔、１００…超音波加工装置、３１０…圧電部材。

Claims (6)

1. 分極方向が圧電部材の長手方向に対して逆方向に一体の２つの圧電部材を有し、一の前記圧電部材から他の前記圧電部材の途中まで設けられる複数の溝及び前記２つの圧電部材に渡って設けられる複数の孔が前記圧電部材の長手方向に沿って交互に設けられる駆動部と、
   前記一の圧電部材の一方の主面に固定され、前記複数の溝に対向するノズル孔を複数有するノズルプレートと、
   前記他の圧電部材の他方の主面と固定される基板と、
   前記孔の内面、及び、前記基板の前記孔と対向する位置に設けられる配線部と、
   を備えるインクジェットヘッド。
2. 前記配線部は、前記溝の内面に設けられる第１電極、前記駆動部の外面及び前記基板に設けられる第１配線部と、前記孔の内面及び前記基板の前記孔と対向する位置に設けられる第２配線部と、を備える請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記駆動部は、前記一方の主面に対して、垂直な垂直面を備えていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記孔は、２つの前記溝の間に２つ設けられることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えるインクジェットプリンタ。
6. 分極方向が圧電部材の長手方向に対して逆方向に一体の２つの圧電部材を固定し、
   超音波加工装置を用いて、前記圧電部材の一方の主面から他方の主面に渡る孔を前記圧電部材の長手方向に沿って複数形成し、
   基板の上面に帯状の配線部の一部を形成し、
   前記孔と前記基板上に形成された前記配線部の一部の端部とが対向する位置で、前記孔が形成された前記圧電部材を前記基板に接着し、
   前記超音波加工装置を用いて、前記複数の孔の間に、一の前記圧電部材から他の前記圧電部材の途中まで溝を形成し、
   前記複数の溝の内面、前記複数の孔の内面、駆動部の一部及び前記基板の一部に前記配線部の他部を形成するインクジェットヘッドの製造方法。