JP2017502902A - ガラス組成物、部品、および部品を製造するための方法 - Google Patents

ガラス組成物、部品、および部品を製造するための方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2017502902A
JP2017502902A JP2016540039A JP2016540039A JP2017502902A JP 2017502902 A JP2017502902 A JP 2017502902A JP 2016540039 A JP2016540039 A JP 2016540039A JP 2016540039 A JP2016540039 A JP 2016540039A JP 2017502902 A JP2017502902 A JP 2017502902A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mol
glass composition
glass
proportion
mounting element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016540039A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6357538B2 (ja
Inventor
アンジェラ エバーハート
アンジェラ エバーハート
クリスティーナ ウィレ
クリスティーナ ウィレ
クリスチャン ラッセル
クリスチャン ラッセル
マチアス ミュラー
マチアス ミュラー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osram GmbH
Original Assignee
Osram GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osram GmbH filed Critical Osram GmbH
Publication of JP2017502902A publication Critical patent/JP2017502902A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6357538B2 publication Critical patent/JP6357538B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C8/00Enamels; Glazes; Fusion seal compositions being frit compositions having non-frit additions
    • C03C8/02Frit compositions, i.e. in a powdered or comminuted form
    • C03C8/04Frit compositions, i.e. in a powdered or comminuted form containing zinc
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/12Silica-free oxide glass compositions
    • C03C3/122Silica-free oxide glass compositions containing oxides of As, Sb, Bi, Mo, W, V, Te as glass formers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C12/00Powdered glass; Bead compositions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C27/00Joining pieces of glass to pieces of other inorganic material; Joining glass to glass other than by fusing
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00Glass compositions
    • C03C3/12Silica-free oxide glass compositions
    • C03C3/125Silica-free oxide glass compositions containing aluminium as glass former
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C4/00Compositions for glass with special properties
    • C03C4/12Compositions for glass with special properties for luminescent glass; for fluorescent glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2205/00Compositions applicable for the manufacture of vitreous enamels or glazes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/30Die-attach connectors
    • H10W72/321Structures or relative sizes of die-attach connectors
    • H10W72/325Die-attach connectors having a filler embedded in a matrix
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10WGENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10W72/00Interconnections or connectors in packages
    • H10W72/30Die-attach connectors
    • H10W72/351Materials of die-attach connectors

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)
  • Die Bonding (AREA)

Abstract

本発明は、最少65mol%から最大90mol%の割合の、少なくとも1種類の酸化テルルと、0mol%から20mol%の割合の、R1O(式中、R1は、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、およびMnを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、5mol%から25mol%の割合の、少なくとも1種類のM12O(式中、M1は、Li、Na、およびKを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、1mol%から3mol%の割合の、少なくとも1種類のR22O3(式中、R2は、Al、Ga、In、Bi、Sc、Y、La、および希土類を含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、0mol%から2mol%の割合のM2O2(式中、M2は、Ti、Zr、およびHfを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、0mol%から6mol%の割合のR32O5(式中、R3は、Nbおよび/またはTa)と、を含む、ガラス組成物(2a)に関する。本発明はさらに、成分と、成分を生成するための方法とに関する。

Description

ガラス組成物が提供される。さらに、デバイスおよび当該デバイスを製造するための方法が提供される。
従来から、ガラスはんだは材料を接合するのに使用されている。ガラスはんだは主として接合される材料の間に粉末状態で導入されるが、場合によっては油またはポリマー溶液などの適切な補助剤とともに導入される。次いで接合される材料と粉末状ガラスがこのように配置された状態で、ガラス粒子が焼結する温度まで加熱する。この接合においては、粘性流体によって粉末が圧密化され、膨張計軟化温度よりも高い温度が必要とされる。ここでの課題は、400℃未満の接合温度に対応し、且つ腐食安定性とそれに相応して高い結晶化安定性を有し、接合プロセスを実施可能なガラスはんだが存在しないことである。
このような超低焼結ガラスはんだとして可能性がある組成物としてまず挙げられるのが、リン酸塩ガラスおよびホウ酸塩ガラスである。どちらのガラス系においても、それぞれ低い軟化点を持つガラスが製造される。しかし、これらのガラスはかなりの濃度のBまたはPとアルカリ酸化物とを含有し、非常に低い化学安定性しか有さない。したがって、腐食安定性がないため、これらのガラスは多くの用途に適さない。この場合の安定性とは、本発明の用途においては、例えば水力学的安定性または水分安定性、特に85℃および相対湿度85%において1000時間における安定性とみなす。
さらに、上記それぞれのガラスは、通常高い結晶化傾向を持ち、したがって、粘性流体による圧密化よりも結晶化が迅速に進むことが頻繁に生じる。ガラスはんだの結晶化は、焼結が終了する前に決して生じてはならない。さもなければ、焼結プロセスが停止してしまうからである。しかし、多くの用途、特に光学技術分野においては、完全な圧縮後に結晶化が生じるのも不利である。というのもそのような場合には、光散乱が結晶上で観察される可能性があるからである。多くの用途において最高許容温度があり、この温度は、例えば接合される半導体においては、ドーピング物質の拡散によって決定される。
さらなる課題は、接合される材料に対するガラスはんだの接着性である。この課題に対しては、材料の良好な濡れ性は前提条件として常に好ましい。
原則として、テルライトガラスは多くの用途において、接合ガラスとしての好ましい前提条件を備えている。これを用いた接合においては、ガラス転移温度を300℃、またはさらにもう少し低い温度とすることが可能である点に言及すべきであろう。
テルライトガラスは、ほとんどの用途において、十分な腐食安定性も有する。しかし、テルライトガラスの結晶化傾向は、多くの用途や接合プロセスにおいて十分なものではない。例えば、テルライトガラスにアルカリ酸化物および/または亜鉛酸化物を含有させるとガラス転移温度および軟化温度は降下するが、アルカリ酸化物および/または亜鉛酸化物によって結晶化傾向の増大も生じてしまう。
W. Vogel: Glaschemie. 3rd edition, Werner Vogel, Springer-Verlag 1992
本発明の目的は、上に述べたような問題を克服するガラス組成物を提供することである。詳細には、本発明の目的は、化学的および物理的特性が改善されたガラス組成物を提供することである。詳細には、ガラス組成物は、改善された結晶化安定性、改善された腐食安定性、および400℃未満のガラス転移温度および/または軟化温度を有するものとなるべきである。詳細には、ガラス組成物は、ガラス転移温度および軟化温度が400℃未満の超低融点ガラスとして提供される。詳細には、ガラスまたはガラス組成物は、可視スペクトル範囲で非常に透明であり、高い屈折性を有するものとなる。詳細には、ガラス組成物は、極めて良好な化学安定性および高い結晶化安定性を有するものとなる。
本発明のさらなる目的は、特に安定しており、とりわけ400℃未満の温度で製造可能なデバイスを提供することである。
これらの目的は、請求項1に記載のガラス組成物、請求項10に記載のデバイス、および請求項14に記載の方法によって達成される。ガラス組成物、デバイス、および方法のさらなる実施形態は、従属クレームにて提供される。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、
最少65mol%から最大90mol%までの割合の、少なくとも1種類の酸化テルルと、
0mol%から20mol%までの割合の、RO(式中、Rは、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、亜鉛、およびマンガンを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
5mol%から25mol%までの割合の、少なくとも1種類のM O(式中、Mは、リチウム、ナトリウム、およびカリウムを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
1mol%から3mol%までの割合の、少なくとも1種類のR (式中、Rは、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ビスマス、スカンジウム、イットリウム、ランタン、および希土類を含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
0mol%から2mol%までの割合のM(式中、Mは、チタン、ジルコニウム、およびハフニウムを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
0mol%から6mol%までの割合のR (式中、Rは、ニオブおよび/またはタンタル)と、を含む。
本発明に係るガラス組成物は、ガラス転移温度および軟化温度を低下させる成分を含有し、意外なことに結晶化傾向を下げるが、ガラス転移温度および軟化温度を大きく上昇させない成分も含有する。さらに、本発明に係るガラス組成物は、腐食安定性を有する。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物中の、酸化テルル、M O、R 、および場合によってはM、RO、およびR の全ての割合の合計は、他の元素もしくは成分を含有しない場合には100%もしくは100mol%であり、酸化テルル、M O、R 、および場合によってはM、RO、およびR などの上記成分に加えて他の成分を含有する場合には、100%未満もしくは100%mol%未満である。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、最少65mol%から最大90mol%までの割合の酸化テルルと、0.1mol%から15mol%までの割合のRO、および1mol%から3mol%までの割合のR からなる。「からなる」は、この場合、他の成分が組成物中に含有されないことを意味しうる。あるいは、「からなる」は、ガラス組成物が他の成分をppm(百万分率)範囲内のごく少量含有し、かつこれらがガラス出発材料中の本質的な不可避不純物を構成していることを意味しうる。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、TeO、ZnO、NaO、およびR (式中、Rは、アルミニウム、ランタン、ビスマス、イットリウム、および希土類の群から選択される一種)からなる。ガラス組成物における全ての割合の合計は、100%または100mol%である。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は:
最少65mol%から最大90mol%の割合の、少なくとも1種類の酸化テルルと、
0mol%から20mol%の割合の、RO(式中、Rは、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、およびMnを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
5mol%から25mol%の割合の、少なくとも1種類のM O(式中、Mは、Li、Na、およびKを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
1mol%から3mol%の割合の、少なくとも1種類のR (式中、Rは、Al、Ga、In、Bi、Sc、Y、La、および希土類を含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
0mol%から2mol%の割合のM(式中、Mは、Ti、Zr、およびHfを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
0mol%から6mol%の割合のR (式中、Rは、Nbおよび/またはTa)と、から得ることができる。
これは、それぞれ対応する割合の上記成分を軟化させること、および場合によってはさらなる処理ステップによって、ガラス組成物が製造できることを意味する。詳細には、各成分の初期重量の割合は、ガラス組成物中の各成分の割合に対応し、その最大偏差は5%である。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は:
最少65mol%から最大90mol%の割合の、少なくとも1種類の酸化テルルと、
0mol%から20mol%の割合の、RO(式中、Rは、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、およびMnを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
5mol%から25mol%の割合の、少なくとも1種類のM O(式中、Mは、Li、Na、およびKを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
1mol%から3mol%の割合の、少なくとも1種類のR (式中、Rは、Al、Ga、In、Bi、Sc、Y、La、および希土類を含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
0mol%から2mol%の割合のM(式中、Mは、Ti、Zr、およびHfを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
0mol%から6mol%の割合のR (式中、Rは、Nbおよび/またはTa)と、からなる。
上記割合によって、ガラスまたはガラス組成物を含む、酸化物組成物が提供される。しかし、構成成分である原材料は、必ずしも酸化物の形状で添加する必要はなく、水酸化物、炭酸塩、硝酸塩などの化合物が存在する限り、このような形状で混合物中に含まれてもよい。
異なる実施形態では、酸化テルルは、以下の化合物を含んでもよい:酸化テルル(IV)(TeO)、酸化テルル(IV、VI)(Te)、および/または酸化テルル(VI)(TeO)。詳細には、酸化テルルは4価または6価である。
少なくとも1つの実施形態によれば、酸化テルルの割合は、最少で67mol%、68mol%、70mol%、72mol%、75mol%、もしくは77mol%、および/または最大で80mol%、82mol%、85mol%、もしくは87mol%である。
少なくとも1つの実施形態によれば、TeOを酸化テルルとして使用する。TeOの割合は、最少67mol%から最大69mol%までである。特に、酸化テルルの割合は68.5mol%である。本発明者らは、そのような割合の酸化テルルを含むガラス組成物が、結晶化安定性、400℃未満の温度における焼結性、低い軟化およびガラス転移温度など、特に有利な特性を有することを見出した。したがって、当該ガラス組成物は、材料の接合もしくは結合および/または結合した材料のデバイスにおける使用に特に適している。しかし、酸化テルルについて、最少67mol%から最大69mol%までの割合を選択する必要は必ずしもない。酸化テルルの割合は、65mol%から90mol%の範囲を採用することもできる。
上記に代えて、または上記に加えて、ガラス組成物は少なくとも1種のアルカリ土類酸化物および/または酸化亜鉛および/または酸化マンガンを、ROとして含むことができる。詳細には、ROの割合は、最少で10mol%、12mol%、もしくは14mol%、および/または最大で16mol%、18mol%、もしくは18.5mol%である。
Oに関して、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウム、マンガン、および亜鉛の組合せは、本明細書中において、少なくとも2種の成分、例えば、マグネシウムとカルシウム、または亜鉛とバリウム、あるいは3種の成分が同時に、酸化物としてガラス組成物中に含まれてもよいことを意味する。
少なくとも1つの実施形態によれば、ROは、酸化亜鉛および/または酸化バリウムである。
ガラス組成物は、アルカリ酸化物(M O)を含む。詳細には、M Oの割合は、最少で4mol%、6mol%、8mol%、10mol%、もしくは12mol%、および/または最大で14mol%、16mol%、18mol%、20mol%、22mol%、もしくは24mol%である。例えば、M Oの割合は、10mol%から12mol%(限界値を含む)である。
酸化リチウム(LiO)、酸化ナトリウム(NaO)、または酸化カリウム(KO)、およびこれら3種の酸化物の組合せは、ガラス組成物を製造するのに使用することができ、またはガラス組成物中で使用することもできる。
アルカリ酸化物のもっとも基本的な役割は、ガラスまたはガラス組成物の粘度を下げることであり、これは温度感受性材料を低温で接合するのに、または温度感受性材料をガラスに埋め込むのに、有利である。この場合の接合手段とは、これらの材料が強い結合を形成するような材料の接合を意味する。特に、酸化リチウム(LiO)および/または酸化ナトリウム(NaO)が使用されるが、それはこれらの化合物が、軟化温度を最大限低下させるが、例えば酸化カリウム(KO)のように、化学安定性は最小限しか低下させないからである。
ガラス組成物は、アルミニウム、ガリウム、インジウム、ビスマス、スカンジウム、イットリウム、ランタン、及び希土類などの3価金属の酸化物およびこれらの組合せをさらに含む(R )。特に、アルミニウム、ランタン、ビスマス、イットリウム、および/または希土類の酸化物が好ましい。
この場合、希土類は、周期表の第3亜族元素(アクチニウムを除く)およびランタニドを指す。
少なくとも1つの実施形態によれば、R の割合は、最少で1.2mol%、1.4mol%、1.5mol%、もしくは1.75mol%、および/または最大で1.9mol%、2mol%、2.4mol%、もしくは2.6mol%であり、例えば1.7mol%である。詳細には、R の割合は、ガラス組成物中で3mol%を超えてはならない。3mol%を超えるとガラス組成物の特性に対して悪影響を及ぼすためである。R の割合が3mol%を超えると、転移温度、焼結温度、および/または軟化温度が上昇する可能性がある。
ガラス組成物用の成分は、3価金属の酸化物から選択することができるが、3価金属の水酸化物、炭酸塩、硝酸塩などの化合物が存在する限り、そのような化合物からも選択することができる。しかし、非着色性の化合物、または着色性であるが、着色が制御された化合物(「フィルター類」)、例えば酸化アルミニウム、酸化ランタン、酸化ビスマス、酸化イットリウム、および/または希土類金属の酸化物などが、好ましく選択される。
ガラス組成物中にあるR によって、結晶化傾向は意外なほど大きく影響を受ける。よってR を添加すると、使用に供されている際(例えば接合時や、デバイスの中にある時)のガラス組成物が結晶化するのを防ぐことができる。したがって、380nmから800nmの広いスペクトル範囲において光散乱がないガラス組成物を得ることができる。
上記に代えて、または上記に加えて、ガラス組成物は、少なくとも二酸化チタン、二酸化ジルコニウム、二酸化ハフニウム、またはこれらの酸化物の組合せを、Mとして含んでもよい。詳細には、Mの割合は、1から1.5mol%であり、例えば1.3mol%である。
上記に代えて、または上記に加えて、ガラス組成物は、酸化ニオブおよび/または酸化タンタルを含んでもよい(R )。酸化ニオブは、酸化ニオブ(II)(NbO)、酸化ニオブ(IV)(NbO)、および/または酸化ニオブ(V)(Nb)の形態で使用することができる。酸化タンタルは、酸化タンタル(II)(TaO)、酸化タンタル(IV)(TaO)、および/または酸化タンタル(V)(Ta)の形態で使用することができる。酸化ニオブまたは酸化タンタルは、ガラス組成物の化学安定性を増大させることができ、また僅かではあるが、粘度も増大させることができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、酸化ニオブおよび/または酸化タンタルの割合は、最少で1mol%、2mol%、もしくは3mol%、および/または最大で4mol%もしくは5mol%である。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、酸化テルル、M O、RO、およびR からなる(ここでR は、1.5mol%から2mol%の割合を占める)。
本発明者らは、ガラス組成物の成分が、ガラス転移温度および軟化温度を大きく上昇させることなく、結晶化傾向を低下させることを見出した。詳細には、酸化アルミニウム、酸化ランタン、酸化ビスマス、酸化イットリウム、および/または希土類が、結晶化傾向の低下を担っている。
ガラス転移温度(Tg)は、ガラスまたはガラス組成物が脆性−弾性の範囲から粘弾性の範囲に変換する温度である。ガラス転移温度は、特に膨張計(TMA=熱機械的分析)または動的示差熱量測定(DSC)または示差熱量分析(DTA)を用いることで、測定することができる。
軟化温度(Te)は、ガラスまたはガラス組成物が著しく変形し始めて、自らの重量の影響によって変形する温度である。軟化温度は、接合の際に必須のパラメーターである。これらのプロセスにおいてガラスは、接合される材料の間に強い結合を作り出すために、軟化温度よりも高い温度に加熱され、かなりの程度まで流動しなければならない。使用する材料が温度感受性の場合、耐久性のある接合は、接合温度をできるだけ低くするために、可能な限り低い軟化温度を必要とする。軟化温度は、動的示差熱量測定(DSC)または膨張計(TMA)または粘度測定を使用して決定できる。
ガラス組成物の結晶化の有無は、X線回折(XRD)によって決定することができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、三酸化ホウ素、酸化ゲルマニウム、リン酸塩、ハロゲン化物、P、ケイ酸塩、および/またはSiOを含まない。本段落およびこれ以降の「〜を含まない」という記載は、ガラス組成物における割合が全くない、またはppm範囲のごく僅かな割合である、例えば、ガラス組成物の含む当該化合物の割合が最大でも10−4ppmである、ことを意味する。
三酸化ホウ素や、例えば五酸化リンは非常に化学安定性が低いという欠点がある。その腐食安定性の欠如故に、多くの用途に適さない。
さらに、例えば低軟化点のリン酸塩ガラスおよびホウ酸塩ガラスは、一般にかなりの濃度のBまたはPと、アルカリ酸化物とを含有しており、化学安定性が非常に低い。その腐食安定性の欠如故に、多くの用途に適さない。さらに、テルライトガラスの偏析挙動は、TeOと、BおよびGeOとの組合せの場合には、突然変化する(非特許文献1参照)。これは、テルライトガラスの鎖単位に比べて、ホウ酸塩相およびゲルマニウム酸塩相が、かなり稠密な3−D構造であるためにおこるものである。偏析プロセスは、結晶化を加速させることができるが、その一方でそれ自体が散乱を引き起こすように働くか、または腐食特性に悪影響を及ぼす。さらには、ホウ酸塩、リン酸塩、およびケイ酸塩の系はあまり屈折性がなく、その割合によっては屈折率が低下する。
したがって、三酸化ホウ素および/または酸化ゲルマニウムを含有するガラス組成物の結晶化は、不利益なものとなる傾向にある。その理由は、偏析挙動であり、結果として、ガラス組成物の透過率が散乱のために低下する可能性がある。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、RoHS(Restriction of certain Hazardous Substances:特定有害物質使用制限)に準拠し、鉛、ヒ素、カドミウム、ウラン、およびThを含まない。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス転移温度の値は、320℃未満、特に295℃以下である。
少なくとも1つの実施形態によれば、膨張計軟化温度の値は、400℃未満、特に350℃未満、または325℃未満である。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、放射線透過性であり、および/または散乱がない。これは特に、入射した電磁放射線の90%、より小さいフレネルロスでは95%超、理想的には99%超が、380nmから800nmの波長範囲で透過することを意味する。ガラス組成物は、特に、高い透過率と低い吸収率という特性を有する。詳細には、ガラス組成物は、380nmから800nmの波長範囲の入射した電磁放射線の10%未満、好ましくは5%未満、特に好ましくは1%未満を吸収する。フレネルロスは、屈折率に応じて、境界面積当たり8〜11%とすることができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は無色である。本段落およびこれ以降の記載において、無色とは、ガラス組成物が電磁放射線を吸収しないこと、即ち、吸収したとしても380nmから800nmの波長範囲の入射した電磁放射線の、最大5%であることを意味する。これに対する例外としては、ガラス組成物中の成分がフィルタリング効果を発揮する場合、またはその効果として、1次放射線による励起の後に2次放射線が放出されるような場合が挙げられる。後者は、特に蛍光ガラスをもたらすような希土類に当てはまる。さらに、ガラス組成物は、有利なことに屈折特性が高い。例えば屈折率は、ガラス組成物中またはガラス中の酸化テルルの含量に左右される。詳細には、ガラス組成物の屈折率nは、1.8以上、特に2以上である。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、ガラス組成物の屈折率を増大させる他の成分を含む。屈折率を増大させる化合物であって、例えば当業者に公知の化合物としては、Laなどをガラス組成物に添加することができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、放射線吸収特性を有するさらなる追加の成分を含む。さらなる追加の成分は、好ましくは380nm以下の波長範囲の放射線を吸収し、好ましくは400nm以下の波長範囲を吸収する。詳細には、さらなる追加の成分は、前記波長範囲の放射線の20%超、好ましくは40%超、特に好ましくは60%超を吸収する。したがってガラス組成物またはガラスを、UVフィルターとすることもできる。
さらに、デバイスを製造するための方法とデバイスも、提供される。当該デバイスは、上記ガラス組成物、または上述のガラス組成物を含んでなる(with)ガラスを含む。上記ガラス組成物に対してなされたのと同じ定義および実施形態が、方法もしくはデバイスにも適用され、またその逆も同様である。
少なくとも1つの実施形態によれば、デバイスは、取付け表面を持つ第1の取付け要素、上述したようなガラス組成物、および第2の取付け要素を含む。ガラス組成物は、第1の取付け要素の取付け表面と第2の取付け要素との間に配置されており、このガラス組成物は接着層をなし、このガラス組成物は第1の取付け要素の取付け表面と第2の取付け要素とを互いに接合している。
詳細にはデバイスは、発光ダイオードや、高電力LEDであり、あるいは、または同時にレーザー用途に適している。
少なくとも1つの実施形態によれば、第1の取付け要素および/または第2の取付け要素はそれぞれ、半導体チップ、セラミック、ケイ酸塩ガラス、金属、変換セラミック、レンズ、および機能性酸化物コーティングを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せである。デバイス、特に第1の取付け要素および/または第2の取付け要素の形態のデバイスは、例えばパッシベーション、保護層、および/または光学要素として機能する1種または複数種の機能性酸化物コーティングを、更に含むことができる。この少なくとも1種のコーティングは、単層としてまたは積層体としても形成することができ、非晶質、結晶質、または部分結晶質とすることができる。そして上記に代えて、または上記に加えて、ガラス組成物中のガラスに接合することができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、第1の取付け要素および/または第2の取付け要素を一方とし、ガラス組成物をもう一方とした間に、そのような機能性酸化物コーティングが設けられる。この場合、機能性酸化物コーティングは、第1の取付け要素および/または第2の取付け要素と、ガラス組成物とに、直接接触していることが好ましい。
特に好ましいのは、第1の取付け要素および/または第2の取付け要素が、取付け表面として機能性酸化物コーティングを有することである。酸化物コーティングは、例えば、サファイヤなどの上のダイクロイックミラーまたは層積層体、アラノッドなどの金属上の保護層、または半導体チップ上のパッシベーションなどである。詳細には、機能性酸化物コーティングは、下記材料:酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化亜鉛、酸化スズ、および酸化銅の一種または二種以上からなる、または含むものであり、好ましくはSiOおよび/またはTiOである。詳細には、機能性酸化物コーティングは、アルミニウムもしくはモリブデンなどの金属、サファイヤなどの絶縁体、またはSiもしくはGeなどの半導体に施される。
詳細には、レンズまたはセラミックを、ガラス組成物を用いて半導体チップに取付けることができる。したがって、レンズまたはセラミックと、半導体チップとを、互いに固定して接合することができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、第1の取付け要素はセラミックまたは金属であり、第2の取付け要素はセラミックである。詳細には、デバイスは、レーザーまたは半導体チップから離れた状態でビーム経路内に配置されている。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、1次放射線を2次放射線に変換するように配置された変換要素を、半導体チップに接合することができる。この場合、ガラス組成物は接着層として機能する。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、接合層または接着層単体として形成される。これは特に、ガラス組成物が、粒子または粉末粒子、例えば散乱粒子および/または発光材料および/または発光粒子を含まないことを意味する。したがって、電磁1次放射線および/または2次放射線の後方散乱、つまり散乱粒子および/または発光粒子によって引き起こされる、半導体チップ方向への後方散乱を防止し、デバイスの光のアウトカップリングを増大させることができる。詳細には、それによって色度座標および/または発光色が変化しない。
少なくとも1つの実施形態によれば、半導体チップは、半導体積層体を含む。半導体チップの半導体積層体は、V−IV化合物半導体材料に基づくものであることが好ましい。半導体材料は、AlIn1−n−mGaNなどの窒化化合物半導体材料またはAlIn1−n−mGaPなどのリン化化合物半導体材料であることが好ましい(いずれの場合も、0≦n≦1、0≦m≦1、およびn+m≦1である)。半導体材料は、同様にAlGa1−xAs(0≦x≦1)であってもよい。このようにして半導体積層体は、ドーパントおよび追加の構成成分を含むことができる。しかし説明を簡便化するために、半導体積層体の結晶格子の本質的な構成成分であるAl、As、Ga、In、N、またはPのみを示し、これらの部分的な置き換えおよび/または補完が少量の他の物質によって可能であっても、それらは示さない。
半導体素子は、少なくとも1つのpn接合および/または1つもしくは複数の量子井戸構造を持つ、活性層を含有することができる。半導体素子の動作中、電磁1次放射線は活性層内に発生する。電磁1次放射線の波長は、好ましくは紫外および/または可視スペクトル範囲にあり、特に420nmから680nmの波長、例えば440nmから480nmでの波長である。
少なくとも1つの実施形態によれば、第1の取付け要素は半導体チップであり、第2の取付け要素は透明なケイ酸塩ガラス、変換セラミック、または透過セラミックである。
本段落およびこれ以降の記載において、ケイ酸塩ガラスは、二酸化ケイ素を主な構成成分として含むガラスである。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は超低融点材料である。最高でも350℃の温度で軟化する材料は、本出願においては超低融点材料であるとみなす。これは、最高でも350℃という低温でガラス組成物を半導体チップに直接接合可能であるという利点をもたらし、このような温度では、半導体チップが損傷を受けることはない。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、接着促進層または接着層として形成される。詳細には、上記ガラス組成物または上述のガラス組成物を含んでなるガラスは、例えばLARPなどのレーザー用途(透過または反射)において、半導体チップまたはセラミック、ガラス、もしくは金属基板(例えば、サファイヤ、アルミニウム、またはその他の反射体)を、第2の取付け要素に接合する。この第2の取付け要素は、ガラスでもセラミックとすることができる。詳細には、第2の取付け要素は、変換要素とすることができる。上記に代えて、または上記に加えて、ガラス組成物は、他の要素、例えばレンズまたはカバーまたは基板を接合するのに使用することもできる。その他全ての実施形態においても同じように、デバイスは例えばパッシベーション、保護層、および/または光学要素として機能する1つまたは複数の機能性酸化物コーティングを含むことができる。この少なくとも1つの機能性酸化物コーティングは、単層として、または積層体としても形成することができ、非晶質、結晶質、または部分結晶質とすることができる。そして上記に代えて、または上記に加えて、ガラス組成物中のガラスに接合することができる。
デバイスを製造するための方法は、以下の方法ステップ:
a)取付け表面を含む第1の取付け要素を用意するステップと、
b)上述したガラス組成物または上述のガラス組成物を含んでなるガラスを取付け表面に直接適用し(ここでガラス組成物をデバイスの機能性酸化物コーティングとすることもできる)、上記に代えて、または上記に加えて、機能性酸化物コーティングをガラス組成物に提供することもできるステップと、
b1)第2の取付け要素を、ガラス組成物に適用するステップと、
c)第1の取付け要素の取付け表面とガラス組成物との間、または上述のガラス組成物を含んでなるガラスと第2の取付け要素との間に結合が形成されるように、デバイスを、最高で400℃に加熱するステップと
を含む。
本発明者らは、本明細書に記載のガラス組成物、または本明細書に記載のガラス組成物を含んでなるガラスは結晶化傾向が低く、極めて低い温度で焼結するため、接合用途、即ち少なくとも2つの取付け要素の接合に適していることを見出した。さらに、ガラス組成物は、軟化温度が低い。ガラス組成物は、透明および/または高屈折性である。したがってガラス組成物は、特に光学的用途において取付け要素を接合するのに適している。この場合、好ましくは透明な光学取付け要素が、固定されかつ耐久性を持った状態で互いに接合される。取付け要素とガラス組成物との間の結合は、400℃よりも低い温度で形成される。したがって、この低い接合温度のおかげで、高温に耐えることができない取付け要素も互いに接合することができる。完全を期すために申し添えると、温度安定性デバイスの接合の際は、より高い接合温度も使用することができるため、極めて薄い接着層を形成することが可能となる。その際の接合温度は、好ましくは少なくとも400℃であり、代わりに、またはさらに、最高で600℃または550℃である。
本発明に係るガラス組成物は、融解の後に粉砕し、特定の粒度画分に分別することもできる。次いで接合される材料または取付け要素の間に、場合によっては油やポリマー溶液などの適切な補助剤とともに導入することができる。更なる方法ステップでは、ガラス組成物またはガラス、および接合される材料を、場合によっては真空中で、最高400℃に加熱することができる。こうして、ガラス組成物またはガラス粉末粒子を焼結し、ガラス組成物またはガラスと、接合される材料とを結合し、したがってガラス組成物または接合ガラスと、接合される材料とが強力に取着する。詳細には、酸化物R (例えばアルミニウムなど)は、製造の際にガラス組成物の結晶化に良い影響を及ぼすため、ガラス組成物またはガラスは、接合の際に結晶化しない。
多くの用途、特に光学技術分野においては、ガラス粉末層の圧密化(ガラス化とも呼ばれる)の際に結晶化が生じた場合、その後に結晶上で光散乱が観察される、または生じる可能性があるので、不利である。一実施形態では、ガラス組成物には、圧密化後に結晶体は存在しない。特にガラス組成物は、半導体およびセラミック、ならびにケイ酸塩ガラスを接合するのに適している。
詳細には、ガラス組成物は半導体を、透明なケイ酸塩ガラス、および金属に接合するのに適している。
詳細には、ガラス組成物はセラミック要素を、半導体または反射性基板や透過性基板に接合するのに適している。
詳細には、ガラス組成物は、2つのセラミック要素を接合するのに適している。これらの要素は、反射性、および/または透過性、および/または放射線変換性である。例えば、ガラス組成物は、同じまたは異なる色の2つの変換セラミックを接合するのに使用することができる。
本段落およびこれ以降の記載において、変換セラミックに関する色の詳細は、電磁放射線、例えば電磁2次放射線のスペクトル範囲を示す。
詳細には、ガラス組成物は、セラミック要素を反射性金属基板に接合するのに適している。例えば、レーザーの用途では、変換セラミックを反射性金属基板、または透過性もしくは反射性セラミック基板に接合することができる。この場合、基板は、デバイスに関連して説明したような機能性酸化物コーティングを含むこともでき、ガラス組成物中のガラスを介して変換セラミックに接合することができる。
少なくとも1つの実施形態によれば、方法ステップc)を、荷重をかけながら行う。
少なくとも1つの実施形態によれば、第1の取付け要素は、少なくとも青色スペクトル範囲から電磁1次放射線を発生させるように配置された半導体チップであり、取付け表面は、放射線出射表面である。ここでは、高電力チップおよびレーザーへの用途も含まれる。レーザー用途の場合、第1の取付け要素を透過性または反射性基板の表面とすることができる。半導体チップの温度感受性により、一般的に有機材料、通常はシリコーンが結合材料として使用される。シリコーンは、熱伝導率が低く(0.1W/mK)また屈折率も低いため(約1.4)、熱が十分に放散されず、また光が効率的にカップリングアウトしないため、デバイスの効率が低下する。光が効率的にカップリングアウトしないのは、半導体表面が典型的には屈折性が高いことが原因である。例えばGaNの屈折率は、2.5である。結合が、上述のガラス組成物を含んでなるガラスによって形成される場合、高屈折率であるために、光のアウトカップリングが改善され、改善された熱伝導率により、放熱が何倍も増大する。純粋なガラスにおけるガラス組成物の熱伝導率は約0.7W/mKであるため、放熱量はシリコーンの場合に比べて約7倍高い。
少なくとも1つの実施形態によれば、方法ステップb)において、ガラス組成物は、粉体としてまたは予備形成体として、または融解物からの液滴として、第1の取付け要素の表面に適用する。この文脈において、予備形成体とは、ガラス組成物またはガラスを第1の取付け要素の表面、例えばピックアンドプレイス・プロセスにおける半導体チップの表面または放射線出射表面に、取付けることができるということを意味する。予備形成体は、最初に混合物のガラスを融解することによって製造することができる。ガラス融解物を流延または成型し、次いで冷却して固形物を形成することにより予備形成体が得られる。
少なくとも1つの実施形態によれば、予備形成体は、別個の小板である。小板を、半導体チップの放射線出射表面に適用する。詳細には、ガラス組成物は、半導体チップ上に薄層として直接形成する、または別個の小板として、350℃を超える高温で形成する。上記に代えて、または上記に加えて、ガラス組成物は、薄層としてまたは融解物からの液滴として、基板またはレンズに直接適用することができる。この温度におけるガラスの粘度ηは、好ましくは107.6dPas・秒≧η≧10−2dPas・秒であり、特に10dPas・秒≧η≧10−2dPas・秒であり、理想的には10dPas・秒≧η≧10−2dPas・秒である。
上記に代えて、この層は、陰圧下でおよび/またはより低い温度において荷重をかけながら、即ちより高い粘度で、形成することもできる。詳細には、ガラスの粘度ηは、その軟化温度において好ましくは107.6dPas・秒である、および/またはその加工温度で10dPas・秒である。こうすることによって気泡をほとんど含まない、極端に圧密化されたガラス層が形成される。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物またはガラスの、接合される取付け要素への接着性、従って把持力は、その他公知のガラス組成物と比べて高い。本発明に係るガラス組成物には、取付け要素上での良好な濡れ性という利点があり、したがって、強力な結合が、第1の取付け要素、ガラス組成物、および第2の取付け要素の間に形成成される。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物層の厚さは、接着用の場合、0〜30μm、特に5〜20μm、特に好ましくは8〜15μmとすることができる。好ましい実施形態では、ガラス組成物層の厚さは、最少で0、または10nm、または100nm、および/または最大で10μm、または5μm、または3μmであり、特に100nmから3μmである。これは特に、接合される表面の均等性、および/または幾何形状に左右される可能性があり、および/または3種の材料の間での膨張率の相違によって制限される可能性がある。さらに、ガラス組成物層の厚さは、例えば接合温度の影響を受ける可能性があるため、接合ガラスの粘度、および加えられる圧力の影響も受ける可能性がある。
少なくとも1つの実施形態によれば、ガラス組成物は、蛍光性である、および/または1次放射線の少なくとも一部を変換する。しかしこれは、ガラス組成物が本来蛍光性および/または変換性であって、蛍光または1次放射線の変換を引き起こす粒子、例えば散乱粒子または発光粒子を含まないことを意味する。
本明細書に記述されるガラス組成物、デバイス、およびデバイスの製造方法を、図面を参照しつつ、例示的な実施形態の補助により、以下により詳細に説明する。個々の図において、同様の符号は同様の要素を指す。しかし、基準尺は示されていない。むしろ個々の要素は、よりよい理解のために、大幅に強調された状態で示すことがある。
ガラス組成物の例示的な実施形態A1からA7と、比較例V1からV4を示す図である。 例示的な実施形態の透過スペクトルを示す図である。 例示的な実施形態のX線回折図を示す図である。 例示的な実施形態の透過スペクトルを示す図である。 例示的な実施形態の透過スペクトルを示す図である。 3つの例示的な実施形態の、X線回折図の比較を示す図である。 一実施形態によるデバイスを示す図である。 一実施形態によるデバイスを示す図である。
図1は、ガラス組成物の実施形態A1からA7を、表として示す。さらに、この表は、公知のガラス組成物の比較例V1からV4を示す。表に示される値は、最大誤差5%を含む。例示的な実施形態A1からA7のガラス組成物は、酸化テルルを含む。詳細には、酸化テルルはTeOである。A1からA7における酸化テルルの割合は、67mol%から69mol%である。詳細には、酸化テルルの割合は、67.5mol%から68.5mol%である。
ガラス組成物はさらに、酸化亜鉛をROとして含む。酸化亜鉛の割合は、18mol%から20mol%である。
ガラス組成物はさらに、酸化二ナトリウムの形態でM Oを含む。ガラス組成物中の酸化二ナトリウムの割合は、10mol%から12mol%である。
さらに、ガラス組成物は、例えば三酸化アルミニウム、三酸化ランタン、三酸化ビスマス、および/または三酸化イットリウムなどの3価金属の酸化物を含む。3価金属の酸化物の割合は、1.5mol%から2.5mol%である。
さらに図1は、例示的な実施形態A1からA7の、膨張計測によって決定されたガラス転移温度T(単位 ℃)を示す。ガラス転移温度は、283℃から294℃である。詳細には、ガラス組成物のガラス転移温度は295℃未満である。
さらに図1は、例示的な実施形態A1からA7の、関連熱膨張係数αと、軟化温度T(単位 ℃)を示す。Tは、308℃から323℃であり、膨張計測によって決定した。
さらに図1は、例示的な実施形態A2、A5、およびA6の屈折率n(約2)を示し、これは波長546.06nmにおいて決定した。
比較例V1からV4を、実施形態A1からA7との比較として示す。比較例V1からV4が例示的な実施形態A1からA7とは異なる点は、特にV1からV4のガラス組成物が3価金属の酸化物を含まない点である。対応してみると、比較例は、特に製造の際に、329℃以上のより高い軟化温度Te(V2、V4)および/または高い結晶化傾向(V1、V3)を示す。
図2は、図1の表に示した例示的な実施形態A2の透過スペクトルを示す。透過率T(単位 %)を、波長λ(単位 nm)に対して示す。曲線1は、耐候試験前のガラス組成物を示し、サンプルの壁厚WDは、WD=0.89mmである。曲線2は、耐候試験を実施した後のガラス組成物A2の透過率曲線を示す。耐候試験は、ガラス組成物を温度85℃および相対湿度85%の条件下に1000時間にわたり置くことにより行った。耐候試験の前(曲線1)および後(曲線2)のガラス組成物を比較すると、透過率に本質的な差がない。これによりガラス組成物またはガラスは試験中に変化しなかったと結論付けられる。したがって、例示的な実施形態A2のガラス組成物は、特に、耐候性および耐腐食性を有する。
図3は、図1の表に示した例示的な実施形態A2のX線回折図を示す。強度I(単位 a.u.(任意の単位))を、2θ(単位 °)に対して示す。グラフから、ガラス組成物が純粋に非晶質であり、結晶化形態で存在していないと見ることができる。これは、結果として、特にガラス組成物が可視範囲の電磁放射線を散乱させないので、有利である。
図4は、図1の表に示した例示的な実施形態A6の透過スペクトルを示す。透過率T(単位 %)を、波長λ(単位 nm)に対して示す。曲線1は、壁厚が0.98mmである耐候試験前のガラス組成物を示し、曲線2は、耐候試験後のガラス組成物を示す。透過率は、200nmから1000nmの全波長範囲において、温度、相対湿度、および経過時間(1000時間)の影響による変化が実質的にない。
図5−1は、図1の表に示した壁厚が0.96mmである例示的な実施形態A7の、透過スペクトルT(単位 %)を、波長λ(単位 nm)に対して示す。耐候試験の前(曲線1)および後(曲線2)の透過率曲線を示す。例示的な実施形態A7も、耐候性を有する。
図5−2は、図1の表に示した例示的な実施形態A2、A5、およびA6のそれぞれのX線回折図を示す。強度I(単位a.u.(任意の単位))を、2θ(単位 °)に対して示す。グラフから、ガラス組成物A2、A5、およびA6が純粋に非晶質であり、結晶が存在していないことがわかる。これは、結果として、特にガラス組成物が可視範囲からの電磁放射線を散乱させないので、有利である。
図6は、一実施形態によるデバイス10の概略側面図を示す。ガラス組成物は、第1の取付け要素6に適用する。ガラス組成物2aは、ガラス層として形成される。ガラス組成物またはガラスからなる層2aは、粉体の形状で適用することができる。あるいは、ガラス組成物またはガラスからなる層2aは、第1の取付け要素6の取付け表面に、予備形成体の形状、例えば小板または繊維部または球体もしくは半球体の形状で適用することができる。さらに、第2の取付け要素7を、ガラス組成物またはガラスからなる層2aに適用する。これも、荷重をかけながら行うことができる。少なくともガラス組成物またはガラスからなる層2aを焼結することによって、即ち最高で400℃に昇温することによって、第1の取付け要素6、ガラス組成物またはガラスからなる層2aと、第2の取付け要素7との間に結合を形成することができる。したがって、ガラス組成物またはガラスからなる層2aは、2つの取付け要素の間の接着促進層として機能する。詳細には、本発明に係るガラス組成物は、その軟化温度が400℃よりも低く、かつ腐食安定性であり結晶化安定性でもあるので、温度感受性の取付け要素を接合するのに適している。
あるいは接着は、陰圧下でおよび/または同じ、もしくはより低い温度で荷重をかけながら行うことができる。
詳細には、図6に示される接着を、デバイス内で複数回行うこともできる。これは例えば、レンズを接着する変換セラミックへの、半導体チップの接着が考えられる。
図7は、一実施形態によるデバイス10、例えば光電子デバイスの概略側面図を示す。半導体チップ1は、キャリア5上に配置される。次いでガラス組成物2aおよび変換層2を配置する。変換層2は、詳細にはセラミックである。デバイス10は、キャリア5を設け、半導体チップ1を適用することにより、製造することができる。次いでガラス組成物を、半導体チップ1の放射線出射表面11に適用することができる。このようにガラス組成物2aは、例えば小板などの予備形成体として適用するか、または粉体やガラス球体として適用することもできる。半導体積層体1の放射線出射表面11に対する、小板形状での適用は、いわゆるピックアンドプレイス・プロセスで実施することができる。次いで変換要素2を、ガラス組成物2aに適用することができ、最高で350℃に昇温することによって、半導体チップ1および変換要素2を互いに接合する。これは、荷重をかけながら実施することが好ましい。ガラス組成物2aに変換要素2を適用する際、このガラス組成物を、半導体チップ1の側面および/または変換要素2の隣側にはみ出させる、または溢れさせてもよい。これは例えば、より多量の液体またはペースト状のガラス組成物2aを使用した場合に起こり得る。したがってガラス組成物2aは、半導体チップ1の放射線出射表面11上に完全に均質な層を形成し、放射線出射表面11の広範に渡って、ビーズ状の構造を形成する。詳細には、ビーズ状に押し出されたガラス組成物2aは無色であり、これはガラス組成物2aが退色せず、また低粘度であったことを示す。
例示的な実施形態を用いた記述は、本発明を限定するものではなく、むしろ本発明は、いかなる特徴及びそれらのいかなる組み合わせをも含み、特に請求項に含まれる特徴の任意の組み合わせを含み、これはその特徴又は組み合わせが請求項又は例示的な実施形態にて明示的に示されていない場合でも含まれるものとする。
本特許出願は、その内容が本明細書に参照によって援用される独国特許出願第102013226636.7の優先権を主張し、その開示内容は参照によって本明細書に援用される。

Claims (15)

  1. 最少65mol%から最大90mol%の割合の、少なくとも1種類の酸化テルルと、
    0mol%から20mol%の割合の、RO(式中、Rは、Mg、Ca、Sr、Ba、Zn、およびMnを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
    5mol%から25mol%の割合の、少なくとも1種類のM O(式中、Mは、Li、Na、およびKを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
    1mol%から3mol%の割合の、少なくとも1種類のR (式中、Rは、Al、Ga、In、Bi、Sc、Y、La、および希土類を含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
    0mol%から2mol%の割合のM(式中、Mは、Ti、Zr、およびHfを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せ)と、
    0mol%から6mol%の割合のR (式中、Rは、Nbおよび/またはTa)と
    を含む、ガラス組成物(2a)。
  2. 酸化テルルが、TeOであり、最少67mol%から最大で69mol%の割合を占める、請求項1に記載のガラス組成物(2a)。
  3. Oの割合が、14mol%から18mol%である、請求項1または2に記載のガラス組成物(2a)。
  4. Oの割合が、8mol%から14mol%である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)。
  5. 三酸化ホウ素、酸化ゲルマニウム、リン酸塩、ハロゲン化物、P、二酸化ケイ素、およびケイ酸塩を含まない、請求項1〜4のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)。
  6. が、Al、La、Y、およびBiの群から選択され、R が、1.5mol%から2.5mol%の割合を占める、請求項1〜5のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)。
  7. 酸化テルル、M O、およびR からなり、R が、1.5mol%から2mol%の割合を占める、請求項1〜6のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)。
  8. ガラス転移温度が320℃未満であり、膨張計軟化温度が400℃未満である、請求項1〜7のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)。
  9. 380nmから800nmの波長範囲の入射した電磁放射線の少なくとも90%が透過する、放射線透過性である請求項1〜8のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)。
  10. 取付け表面を持つ第1の取付け要素(6)、
    請求項1〜9のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)、
    第2の取付け要素(7)
    を含み、
    前記ガラス組成物(2a)が、前記第1の取付け要素(6)の前記取付け表面と、前記第2の取付け要素(7)との間に配置されており、
    前記ガラス組成物(2a)が、接着層をなし、
    前記ガラス組成物(2a)が、前記第1の取付け要素(6)の前記取付け表面と、前記第2の取付け要素(7)とを互いに接合している、
    デバイス(10)。
  11. 前記第1の取付け要素および/または前記第2の取付け要素が、それぞれ、半導体チップ、セラミック、ケイ酸塩ガラス、金属、変換セラミック、およびレンズを含む群から選択される一種、またはこれらの組合せであり、
    前記取付け表面および/または前記第2の取付け要素が、機能性酸化物コーティングを含む、請求項10に記載のデバイス。
  12. 前記第1の取付け要素が半導体チップであり、前記第2の取付け要素が、透明ケイ酸塩ガラス、変換セラミック、または透過セラミックである、請求項10に記載のデバイス。
  13. 前記第1の取付け要素が、セラミックまたは金属であり、第2の取付け要素がセラミックである、請求項10に記載のデバイス。
  14. 下記の方法ステップ:
    a)取付け表面を含む第1の取付け要素(6)を用意するステップと、
    b)請求項1〜9のいずれか一項に記載のガラス組成物(2a)を、前記取付け表面に直接適用するステップと、
    b1)第2の取付け要素(7)を、前記ガラス組成物(2a)に適用するステップと、
    c)前記第1の取付け要素(6)の前記取付け表面と、前記ガラス組成物(2a)と、前記第2の取付け要素(7)との間に結合が形成されるように、前記デバイスを、最大で400℃に加熱するステップと
    を含む、請求項10〜13のいずれか一項に記載のデバイス(10)を製造するための方法。
  15. 方法ステップb)において、前記第1の取付け要素(6)の前記表面に、前記ガラス組成物(2a)を粉体または予備形成体として適用させる、請求項14に記載の方法。
JP2016540039A 2013-12-19 2014-12-15 ガラス組成物、部品、および部品を製造するための方法 Active JP6357538B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102013226636.7A DE102013226636A1 (de) 2013-12-19 2013-12-19 Glaszusammensetzung, Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements
DE102013226636.7 2013-12-19
PCT/EP2014/077793 WO2015091374A1 (de) 2013-12-19 2014-12-15 Glaszusammensetzung, bauelement und verfahren zur herstellung eines bauelements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017502902A true JP2017502902A (ja) 2017-01-26
JP6357538B2 JP6357538B2 (ja) 2018-07-11

Family

ID=52278591

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016540039A Active JP6357538B2 (ja) 2013-12-19 2014-12-15 ガラス組成物、部品、および部品を製造するための方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10233114B2 (ja)
JP (1) JP6357538B2 (ja)
DE (2) DE102013226636A1 (ja)
WO (1) WO2015091374A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023157574A1 (ja) * 2022-02-18 2023-08-24 デンカ株式会社 粉末及び粉末の製造方法
JP2025512171A (ja) * 2023-03-15 2025-04-17 ベイス カンパニー,リミテッド 全固体電池用固体電解質の焼結助剤およびこれを含む固体電解質

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR3036396B1 (fr) * 2015-05-22 2020-02-28 Axon Cable Composition de verre pour le scellement de connecteur micro-d
EP3469423B1 (en) 2016-06-09 2020-04-15 Osram Sylvania Inc. Target assembly with glass-bonded wavelength converter
KR102752872B1 (ko) 2018-11-26 2025-01-09 오웬스 코닝 인텔렉츄얼 캐피탈 엘엘씨 향상된 탄성 계수를 갖는 고성능 섬유 유리 조성물
EP3887328A2 (en) 2018-11-26 2021-10-06 Owens Corning Intellectual Capital, LLC High performance fiberglass composition with improved specific modulus
DE102019105831B4 (de) * 2019-03-07 2025-11-20 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optoelektronisches bauelement mit einer transparenten verbindung zwischen zwei fügepartnern und verfahren zu dessen herstellung
FR3141693A1 (fr) * 2022-11-08 2024-05-10 Axon Cable Verres pour connecteur hermetique miniature

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS623042A (ja) * 1985-06-28 1987-01-09 Hoya Corp テルライトガラス
JPS62288135A (ja) * 1986-06-05 1987-12-15 Hoya Corp テルライトガラス及びこのガラスを用いてなる光変調・光偏光素子
JPH11236240A (ja) * 1997-02-14 1999-08-31 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> テルライトガラス、該テルライトガラスを用いた光増幅器および光源
JP2002506791A (ja) * 1998-03-19 2002-03-05 ザ ユニバーシティ オブ リーズ エルビウム添加光学ガラス
JP2004043294A (ja) * 2002-05-22 2004-02-12 Asahi Glass Co Ltd 光学ガラスおよびレンズ
JP2005324969A (ja) * 2004-04-13 2005-11-24 Toyo Glass Co Ltd 低融点ガラス接着剤
JP2008105869A (ja) * 2006-10-23 2008-05-08 Ohara Inc 光学ガラス
JP2009224790A (ja) * 2009-05-25 2009-10-01 Asahi Glass Co Ltd 発光ダイオード素子
WO2010126097A1 (ja) * 2009-04-28 2010-11-04 株式会社オハラ 光学ガラス、光学素子及び精密プレス成形用プリフォーム

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9015072D0 (en) * 1990-07-09 1990-08-29 Cookson Group Plc Glass composition
US5251062A (en) * 1992-10-15 1993-10-05 Bell Communications Research, Inc. Tellurite glass and fiber amplifier
EP1433760B1 (en) 1997-02-14 2008-05-14 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Optical fibre splicing structure
KR100340047B1 (ko) * 1999-10-11 2002-06-12 오길록 할로겐이 첨가된 다성분계 산화물 조성의 광증폭기 및 레이저용 유리
CA2387437A1 (en) * 1999-10-12 2001-04-19 Corning Incorporated Tellurite glasses and optical components
DE10139904A1 (de) * 2001-08-15 2003-02-27 Univ Schiller Jena Optische Telluritgläser für Lichtwellenleiterverstärker und Oszillatoren sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
US7033966B2 (en) * 2003-05-21 2006-04-25 Asahi Glass Company, Limited Optical glass and lens
JPWO2006001346A1 (ja) * 2004-06-24 2008-04-17 旭硝子株式会社 光学ガラスおよびレンズ
US20060231737A1 (en) * 2005-04-15 2006-10-19 Asahi Glass Company, Limited Light emitting diode element
KR100772501B1 (ko) * 2005-06-30 2007-11-01 한국전자통신연구원 텔루라이트 유리 조성물, 이를 이용한 광도파로 및광증폭기
WO2009001907A1 (en) * 2007-06-27 2008-12-31 Nikon Corporation Glass composition and optical member and optical instrument using the same
DE102010009456A1 (de) 2010-02-26 2011-09-01 Osram Opto Semiconductors Gmbh Strahlungsemittierendes Bauelement mit einem Halbleiterchip und einem Konversionselement und Verfahren zu dessen Herstellung
CN101812299B (zh) * 2010-04-23 2013-03-13 同济大学 纳米晶增强稀土掺杂碲酸盐发光膜材料及其制备方法
DE102013226630A1 (de) * 2013-12-19 2015-06-25 Osram Gmbh Konversionselement, Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines Bauelements

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS623042A (ja) * 1985-06-28 1987-01-09 Hoya Corp テルライトガラス
JPS62288135A (ja) * 1986-06-05 1987-12-15 Hoya Corp テルライトガラス及びこのガラスを用いてなる光変調・光偏光素子
JPH11236240A (ja) * 1997-02-14 1999-08-31 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> テルライトガラス、該テルライトガラスを用いた光増幅器および光源
JP2002506791A (ja) * 1998-03-19 2002-03-05 ザ ユニバーシティ オブ リーズ エルビウム添加光学ガラス
JP2010260790A (ja) * 1998-03-19 2010-11-18 Univ Of Leeds エルビウム添加光学ガラス
JP2004043294A (ja) * 2002-05-22 2004-02-12 Asahi Glass Co Ltd 光学ガラスおよびレンズ
JP2005324969A (ja) * 2004-04-13 2005-11-24 Toyo Glass Co Ltd 低融点ガラス接着剤
JP2008105869A (ja) * 2006-10-23 2008-05-08 Ohara Inc 光学ガラス
WO2010126097A1 (ja) * 2009-04-28 2010-11-04 株式会社オハラ 光学ガラス、光学素子及び精密プレス成形用プリフォーム
JP2009224790A (ja) * 2009-05-25 2009-10-01 Asahi Glass Co Ltd 発光ダイオード素子

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
N.M.SOUZA NETO ET AL.: ""Er3+ environment in TeO2-ZnO-Na2O glasses"", JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, vol. Volume 304, Issues 1-3, JPN6017027217, July 2002 (2002-07-01), NL, pages 195 - 199, ISSN: 0003769674 *
SHAOXIONG SHEN ET AL.: ""Tellurite Glasses for Broadband Amplifiers and Integrated Optics"", JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY, vol. Volume 85, Issue 6, JPN6017027218, July 2002 (2002-07-01), US, pages 1391 - 1395, ISSN: 0003769675 *
T.TAMAOKA ET AL.: ""Concentration Dependence of Emission Properties of Tm3+-Doped Tellurite Glasses in Telecommunicatio", JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN, vol. 110, no. 1280, JPN6017027221, April 2002 (2002-04-01), JP, pages 325 - 328, ISSN: 0003769677 *
T.TAMAOKA ET AL.: ""Emission Properties of Tm3+-Ln3+ (Ho3+,Tb3+,Eu3+) Co-Doped Tellurite Glasses by Energy Transfer"", JOURNAL OF THE CERAMIC SOCIETY OF JAPAN, vol. 110, no. 1282, JPN6017027223, June 2002 (2002-06-01), JP, pages 583 - 586, ISSN: 0003769678 *
V.A.G.RIVERA ET AL.: ""Waveguide produced by fiber on glass method using Er3+-doped tellrite glass"", JOURNAL OF NON-CRYSTALLINE SOLIDS, vol. Volume 353, Issue 4, JPN6017027220, 30 January 2007 (2007-01-30), NL, pages 339 - 343, ISSN: 0003769676 *
牧島亮男 他: ""ガラス材料設計支援システム:VitrES"", FUJITSU, vol. 第44巻第6号, JPN6017012715, 10 November 1993 (1993-11-10), JP, pages 560 - 565, ISSN: 0003769679 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023157574A1 (ja) * 2022-02-18 2023-08-24 デンカ株式会社 粉末及び粉末の製造方法
JP2023120508A (ja) * 2022-02-18 2023-08-30 デンカ株式会社 粉末及び粉末の製造方法
JP2025512171A (ja) * 2023-03-15 2025-04-17 ベイス カンパニー,リミテッド 全固体電池用固体電解質の焼結助剤およびこれを含む固体電解質

Also Published As

Publication number Publication date
JP6357538B2 (ja) 2018-07-11
US20160304391A1 (en) 2016-10-20
US10233114B2 (en) 2019-03-19
DE102013226636A1 (de) 2015-06-25
WO2015091374A1 (de) 2015-06-25
DE112014005962A5 (de) 2016-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6357538B2 (ja) ガラス組成物、部品、および部品を製造するための方法
US9688910B2 (en) Conversion element, component and process for producing a component
JP6253392B2 (ja) 発光装置及びそれを用いたプロジェクター用光源
CN105423238B (zh) 波长变换部件、发光装置、投影机、以及波长变换部件的制造方法
TWI455350B (zh) 特別用於含發光二極體的白或彩色光源之轉換材料及其製法和含此轉換材料的光源
US20190186711A1 (en) Target assembly with glass-bonded wavelength converter
US20200303597A1 (en) Optical wavelength converter and composite optical device
US20200035872A1 (en) Wavelength conversion member, light-emitting device, and method for manufacturing wavelength conversion member
JP2018532256A (ja) 密封型装置及びその構成方法
JP2013033854A (ja) 光波長変換部材
JP2017504058A (ja) 変換素子、変換素子の製造方法、変換素子を備えるオプトエレクトロニクスデバイス
EP3601878B1 (en) Light concentrator module with high refractive index interconnect
WO2018163830A1 (ja) 光源装置
TW201815717A (zh) 波長轉換構件及使用其而成之發光裝置
CN111699420A (zh) 光波长转换装置
TW202103342A (zh) 附接著層之光學構件及發光裝置
US20120140496A1 (en) Wavelength conversion member, light emitting device, illuminating device, vehicle headlamp, and production method
US20200006913A1 (en) Optoelectronic Component and Method for Producing an Optoelectronic Component
JP7418621B2 (ja) 波長変換部材及びそれを備える光源装置
US11611019B2 (en) Optoelectronic component having a reflection element with diffuser particles and filler particles embedded therein
WO2019021846A1 (ja) 波長変換部材及び発光装置
US10847684B2 (en) Optoelectronic component and method of manufacturing an optoelectronic component
WO2021241511A1 (ja) 樹脂組成物、光学素子及び紫外線発光装置
JP2012124250A (ja) 白色発光装置
JP2016052968A (ja) 波長変換部材用原料粉末

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160812

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160812

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161020

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170706

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170725

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171024

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180403

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180511

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20180529

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20180618

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6357538

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250