JP2018093342A - プリズムユニット、固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】固体撮像装置の製造精度を高め、製品の信頼度を向上させること。【解決手段】本技術に係るプリズムユニット１２は、イメージセンサ２１Ｒを取り付ける光射出面を有する多板式の波長分解プリズム１４と、多板式の波長分解プリズム１４の両側面に固着された固定板１５と、を備え、波長分解プリズム１４の光射出面側の側縁部に凹部２６が形成されている。凹部２６は、波長分解プリズム１４の光射出面側の両側縁部に形成されていてもよい。【選択図】図４

Description

本技術は、プリズムユニットに関する。より詳しくは、固体撮像素子を取り付ける多板式の波長分解プリズムと、その波長分解プリズムに固着される固定板と、を備えたプリズムユニットに関する。

従来から、カラービデオカメラ又は種々の工業用光学機器において、多板式の波長分解プリズムを備えた固体撮像装置を製造する場合、プリズムユニットを前面板に取り付け、固体撮像素子（イメージセンサ）が取り付けられた撮像素子取付基板を、プリズムユニットのプリズム表面に取り付けることが行われている。ここで、固体撮像素子をプリズムユニットに取り付けるときには、波長分解プリズムの各チャンネルの結像位置と固体撮像素子の受光結像面を一致（フォーカス）させるのみではなく、各チャンネル毎の固体撮像素子受光面の傾き（片ボケ）調整及び各チャンネル相互間のレジストレーション（光軸に垂直面の平行及び回転）調整を考慮して決定されなければならない。

そして、上記調整後に、固体撮像素子をプリズムユニットに取り付ける手法としては、固体撮像素子とプリズムユニットとを接着剤で接合し、その接着剤に紫外線（ＵＶ光）を照射して硬化させて固体撮像素子をプリズムユニットに固定することが行われている。

具体的には、例えば、特許文献１に、色分解プリズムの出射端とスペーサとの接着面のうちの少なくとも一方の接着面、及び固体撮像素子又は素子座とスペーサとの接着面のうちの少なくとも一方の接着面をそれぞれ微細な凹凸を有する面としたこと、が開示されている。これにより、スペーサの移動に大きな抵抗力が生じないようにしたため、結果として光硬化型接着剤の厚みが均一化され、光硬化型接着剤の硬化時にレジストレーションが変化しないようにすることができる、とされている。

また、例えば、特許文献２には、プリズムに撮像素子を固着する場合に、まず基板に実装された撮像素子を固着板に接着するようにし、次に固着板の撮像素子非装着面とプリズムの側面とを固着する固着部材上の、固着板の撮像素子非装着面側及びプリズムの側面側に紫外線硬化接着剤を塗布するようにして、接着剤が塗布された固着部材を、固着板の撮像素子非装着面上をすべらせてプリズムの側面に当て、最後に紫外線を照射して紫外線硬化接着剤を硬化させるようにすること、が開示されている。これにより、固着部材とプリズムとを線接触により固着できるようになり、プリズムと線膨張係数の異なる接着剤の量を、最小限に減らすことができる、とされている。

特開２００７−０６０１１２号公報 特開２００８−１０３８４６号公報

しかしながら、特許文献１および２の技術では、例えば、プリズムと撮像素子との間隔が狭く、紫外線を照射する隙間がほとんどない場合に、接着部に適切な量の紫外線を照射することが困難となり、プリズムと撮像素子との固着強度が弱くなるおそれがある。そのため、各チャンネル毎の固体撮像素子受光面の片ボケや各チャンネル相互間のレジストレーションずれが生じ得るために、固体撮像装置を精度高く製造することができず、製品の信頼度も低下するという問題が考えられる。

本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、固体撮像装置の製造精度を高め、製品の信頼度を向上させる撮像素子ユニットを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本技術は、固体撮像素子を取り付ける光射出面を有する多板式のプリズムと、多板式のプリズムの両側面に固着された固定板と、を備え、プリズムの光射出面側の側縁部に凹部が形成されたプリズムユニットを提供する。なお、凹部は、プリズムの光射出面側の両側縁部に形成されていてもよい。

また、本技術は、固体撮像素子と、固体撮像素子が実装された撮像素子取付基板と、固体撮像素子を取り付ける光射出面を有する多板式のプリズムと、多板式のプリズムの両側面に固着された固定板と、を有し、プリズムの光射出面側の側縁部に凹部が形成されたプリズムユニットと、を備えた固体撮像装置を提供する。

また、本技術は、撮像素子取付基板の基板表面に固体撮像素子を取り付けて撮像素子ユニットを組み立てる工程と、光射出面を有する多板式のプリズムの両側面に固定板を固着し、プリズムの光射出面側の側縁部に凹部を形成して、プリズムユニットを組み立てる工程と、多板式のプリズムの光射出面に、接着剤で撮像素子ユニットを固定する工程と、プリズムの光射出面側の側縁部に形成された凹部に紫外線を照射して接着剤を硬化させる工程と、を含む固体撮像装置の製造方法を提供する。

本技術によれば、固体撮像装置の製造精度を高め、製品の信頼度を向上させることができる。なお、ここに記載された効果は、必ずしも限定されるものではなく、本技術中に記載されたいずれかの効果であってもよい。

本技術の一実施形態に係るイメージセンサ用光学装置の外観を模式的に示す斜視図である。 本技術の一実施形態に係るイメージセンサ用光学装置を模式的に示す側面図である。 本技術の一実施形態に係るセンサ取付基板を模式的に示す正面図である。 本技術の一実施形態に係るプリズムユニットの一部を模式的に示す拡大側面図である。 本技術の一実施形態に係るセンサユニット取付装置の外観を模式的に示す斜視図である。 本技術の一実施形態に係るイメージセンサ用光学装置の分解した外観を模式的に示す斜視図である。 本技術の一実施形態に係るイメージセンサ用光学装置の製造工程を示すフロー図である。 本技術の他の実施形態に係るプリズムユニットの一部を模式的に示す拡大側面図である。

以下、本技術を実施するための好適な形態について、図面を参照しながら説明する。以下に説明する実施形態は、本技術の代表的な実施形態の一例を示したものであり、これにより本技術の範囲が狭く解釈されることはない。また、本技術は、下記の各実施形態及びその変形例のいずれかを互いに組み合わせることもできる。

＜実施形態１＞
本技術の一実施形態に係るプリズムユニットを適用した固体撮像素子（イメージセンサ）用光学装置について説明する。

［全体構成］
図１は、本技術の一実施形態に係るプリズムユニットを適用したイメージセンサ用光学装置の外観を模式的に示す斜視図である。図２は、本技術の一実施形態に係るプリズムユニットを適用したイメージセンサ用光学装置を模式的に示す側面図である。本実施形態に係るイメージセンサ用光学装置１は、光学装置前面板１１と、プリズムユニット１２と、３個のセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂと、を備えている。

［光学装置前面板］
光学装置前面板１１は、プリズムユニット１２と接合し、固体撮像装置の一例であるカメラのレンズ等に取り付けられる。

［プリズムユニット］
プリズムユニット１２は、例えば、光学装置前面板１１とセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂとの間に取り付けられ、レンズ（図示せず）から入射された光学情報を各センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂへ送信している。

プリズムユニット１２は、光学装置前面板１１から入射した光を出射する光射出面を有する、多板式の一例である３板式の波長分解プリズム１４と、波長分解プリズム１４の左右両側面に固着する固定板１５と、を備えている。固定板１５には、波長分解プリズム１４の光射出面と同一面にセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂを接合するための複数の突出部２５が設けられている。本実施形態の突出部２５は、一例として、先端部がくさび状に形成されているが、突出部２５の形状はこれに限られない。また、固定板１５の素材としては、例えば、波長分解プリズム１４の材料と近似の熱膨張係数を有する金属板又はセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂとの接合面にメタライズ処理したセラミック板等が用いられている。

さらに、波長分解プリズム１４および固定板１５のセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂへの光射出面側の両側縁部には、それぞれ溝状の凹部２６が形成されている。本実施形態では、溝状の凹部２６は、平面形状が略Ｖ字形状に形成されている。なお、本実施形態では、固定板１５に溝状の凹部２６が形成されているが、溝状の凹部２６は固定板１５に形成されていなくてもよい。

［センサユニット］
センサユニット１３Ｒは、イメージセンサ２１Ｒと、センサ取付基板２２Ｒと、コネクタ２３Ｒと、がこの順序で取り付けられて構成されている。同様に、センサユニット１３Ｇ、１３Ｂは、それぞれ、イメージセンサ２１Ｇ、２１Ｂと、センサ取付基板２２Ｇ、２２Ｂと、コネクタ２３Ｇ、２３Ｂと、がこの順序で取り付けられて構成されている。なお、イメージセンサ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂは、例えば、ＣＭＯＳイメージセンサまたはＣＣＤイメージセンサのいずれであってもよい。

センサユニット１３Ｒのイメージセンサ２１Ｒの側面およびセンサ取付基板２２Ｒの表面には、固定板１５に設けられた複数の突出部２５が接着剤２８で接合されている。センサ取付基板２２Ｒの表面に取り付けられたイメージセンサ２１Ｒの表面と波長分解プリズム１４の光射出面との間には、遮光および埃等の侵入防止のための弾力材で形成されたマスク２４Ｒが取り付けられている。

同様に、センサユニット１３Ｇ、１３Ｂのイメージセンサ２１Ｇ、２１Ｂの側面およびセンサ取付基板２２Ｇ、２２Ｂの表面には、それぞれ固定板１５に設けられた複数の突出部２５が接着剤２８で接合されている。センサ取付基板２２Ｇ、２２Ｂの表面に取り付けられたイメージセンサ２１Ｇ、２１Ｂの表面と波長分解プリズム１４の光射出面との間には、それぞれ遮光および埃等の侵入防止のための弾力材で形成されたマスク２４Ｇ、２４Ｂが取り付けられている。

［センサ取付基板］
図３は、実施形態１のセンサ取付基板を示す正面図である。図２および図３を用いて、本実施形態に係るセンサ取付基板について説明する。本実施形態では、センサ取付基板の一例として、センサユニット１３Ｒのセンサ取付基板２２Ｒを用いて説明する。

センサユニット１３Ｒのセンサ取付基板２２Ｒは、平面形状が矩形形状をなし、イメージセンサ２１Ｒを実装した上面側（波長分解プリズム１４の突出部２５と接合する側）から見て左側の短辺中央にＶ字形状の凹部３１が１つ形成され、イメージセンサ２１Ｒを実装した上面側から見て右側の短辺の上下の両隅にＶ字形状の凹部３２ａ、３２ｂが２つ形成されている。

本実施形態のセンサ取付基板２２Ｒは、上面側から見て左側の短辺中央にＶ字形状の凹部３１が１つ形成され、上面側から見て右側の短辺の上下の両隅にＶ字形状の凹部３２ａ、３２ｂが２つ形成されているが、本技術のセンサ取付基板はこれに限らず、センサ取付基板２２Ｒの凹部３１と凹部３２ａ、３２ｂとの位置が左右逆であってもよい。また、本技術のセンサ取付基板は、対向する辺に非対称の凹部が形成されていれば、凹部の個数は３つに限らず、４つまたは５つ以上であってもよいし、凹部の位置は短辺中央と短辺の上下の両隅に限られない。また、凹部の形状は、Ｖ字形状に限らず、Ｕ字形状等であってもよい。ただし、基板上に配線等を形成するスペースを広くとることができるように、凹部の位置は短辺の両隅に近い位置に形成されていることが望ましい。

本実施形態のセンサ取付基板２２Ｒに形成されたＶ字形状の凹部３１、３２ａ、３２ｂは、センサ取付基板２２Ｒをプリズムユニット１２に接合する際に、取付装置のアーム等で把持するために用いられる。このように、センサ取付基板２２Ｒの対向する辺に左右非対称のＶ字形状の凹部３１と凹部３２ａ、３２ｂとを形成することにより、イメージセンサ用光学装置１の製造時に、センサ取付基板２２Ｒの上下方向を間違えて逆方向にアーム等で把持することを防止することができる。このため、イメージセンサ２１Ｒを適切な方向でプリズムユニット１２に接合することができる。

［センサユニットの取付方法］
図４は、本実施形態のプリズムユニットの一部を模式的に示す拡大側面図である。図４を用いて、本実施形態のプリズムユニットにセンサユニットを取り付ける方法について説明する。本実施形態では、センサユニットの取付方法の一例として、実施形態１のセンサユニット１３Ｒをプリズムユニット１２に取り付ける方法について説明する。

本実施形態の波長分解プリズム１４の光射出面側の両側縁部に形成された溝状の凹部２６は、それぞれイメージセンサ２１Ｒを取り付ける光射出面に平行な平行面４１と、平行面４１から、光射出面との間の距離が広がる方向に傾斜角θで傾斜した傾斜面４２と、を有している。本実施形態では、傾斜面４２の傾斜角θは４５度に形成されているが、本発明の傾斜角θはこれに限られず、傾斜面４２への入射光と反射光とのなす角が９０度となるように傾斜角θを設定することができる。これにより、平行面４１に平行な方向から傾斜面４２に入射した紫外線（ＵＶ光）を、その入射方向に垂直な方向へより多く反射させることができる。

本実施形態では、まず、固定板１５の２か所にある突出部２５の内側側面とイメージセンサ２１Ｒの側面との間の隙間に、それぞれ紫外線硬化型の接着剤２８を充填する。次に、イメージセンサ２１Ｒの両側面に垂直な方向から接着剤２８に向けて、ＵＶ光を照射する。ここで、イメージセンサ２１Ｒの両側面に垂直な方向からＵＶ光を照射すると、突出部２５を透過させて接着剤２８に照射することになり、接着剤２８に直接ＵＶ光を照射することができない。また、プリズムユニット１２およびセンサユニット１３Ｒの構造から、突出部２５の内側側面とイメージセンサ２１Ｒの側面との間の隙間に向けて、波長分解プリズム１４の光射出面に垂直な方向からＵＶ光を照射することは困難を要する。

そこで、本実施形態では、イメージセンサ２１Ｒの両側面に垂直な方向から照射するＵＶ光の一部を波長分解プリズム１４の溝状の凹部２６の傾斜面４２に入射させ、傾斜面４２で反射したＵＶ光を突出部２５の内側側面とイメージセンサ２１Ｒの側面との間の隙間にある接着剤２８に照射している。同様に、突出部２５の内側側面とイメージセンサ２１Ｇ、２１Ｂの側面との間の隙間にある接着剤２８にもＵＶ光を照射することができる。

このように、本実施形態のプリズムユニット１２は、波長分解プリズム１４に傾斜面４２を有する溝状の凹部２６が形成されていることにより、ＵＶ光を接着剤２８に直接照射できない場合や、プリズムと撮像素子との間隔が狭く、ＵＶ光を照射する隙間がほとんどない場合であっても、接着剤２８に適切な量のＵＶ光を照射することができる。そのため、各チャンネル毎のイメージセンサ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂの受光面の片ボケや各チャンネル相互間のレジストレーションずれが生じることを防ぐことができる。したがって、本技術により、イメージセンサ用光学装置１やイメージセンサ用光学装置１を備えた固体撮像装置の製造精度を高め、製品の信頼度を向上させることができる。

本実施形態では、傾斜面４２の傾斜角θは４５度に形成されているが、本技術の傾斜角θはこれに限られない。また、傾斜面４２は、ＵＶ光を反射する反射部材を有していてもよい。これにより、傾斜面４２に入射したＵＶ光の反射率を高めることができる。なお、接着剤２８の充填位置は、突出部２５の内側側面とイメージセンサ２１Ｒの側面との間の隙間に限られず、プリズムユニット１２とセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂとを固定し、傾斜面４２で反射したＵＶ光を直接照射できる位置であればよい。また、波長分解プリズム１４の材質は特に限定されず、紫外線選択透過性を有するものであれば、フィルタガラス、白板ガラスまたは青板ガラス等であってもよい。

［センサユニット取付装置］
図５は、本実施形態のセンサユニットをプリズムユニットに接合するセンサユニット取付装置の外観を模式的に示す斜視図である。図５を用いて、本実施形態に係るセンサユニット取付装置について説明する。

本実施形態に係るセンサユニット取付装置５１は、本体５２と、右側アーム５３と、左側アーム５４と、を備えている。右側アーム５３の先端には、センサ取付基板２２Ｒに形成された凹部３１に挿入可能な円柱形状のアーム先端部５５が形成されている。左側アーム５４の先端には、センサ取付基板２２Ｒに形成された凹部３２ａ、３２ｂに挿入可能な円柱形状の２つのアーム先端部５６ａ、５６ｂが形成されている。アーム先端部５５およびアーム先端部５６ａ、５６ｂによりセンサ取付基板２２Ｒを把持し、センサユニット１３Ｒをプリズムユニット１２に接合する。

本実施形態では、センサユニット取付装置５１に対して左右方向をＸ軸方向、上下方向をＹ軸方向、前後方向をＺ軸方向とし、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸周りの回転角をそれぞれθ_Ｘ、θ_Ｙおよびθ_Ｚとする。センサユニット取付装置５１は、Ｘ軸方向に右側アーム５３および左側アーム５４を稼働させてセンサ取付基板２２Ｒを把持し、Ｚ軸方向に本体５２を移動させてセンサユニット１３Ｒをプリズムユニット１２に近づける。そして、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θ_Ｘ方向、θ_Ｙ方向およびθ_Ｚ方向の６軸方向の位置を調整して精度よく位置決めし、センサユニット１３Ｒをプリズムユニット１２に取り付ける。

［イメージセンサ用光学装置の製造手順］
図６は、本実施形態に係るイメージセンサ用光学装置の分解した外観を模式的に示す斜視図である。図６では、一例として、光学装置前面板１１と、プリズムユニット１２と、センサユニット１３Ｒと、を組み立てる製造工程を表している。図７は、本実施形態に係るイメージセンサ用光学装置の製造工程を示すフロー図である。図５ないし図７を用いて、イメージセンサ用光学装置の製造手順の一例について説明する。

ステップＳ７０１において、センサユニット１３Ｒを組み立てる。具体的には、まず、センサ取付基板２２Ｒの波長分解プリズム１４の突出部２５と接合する側から見て左側の短辺中央にＶ字形状の凹部３１を１つ形成し、波長分解プリズム１４の突出部２５と接合する側から見て右側の短辺の上下の両隅にＶ字形状の凹部３２ａ、３２ｂを２つ形成する。

次に、凹部３１および凹部３２ａ、３２ｂを形成したセンサ取付基板２２Ｒの波長分解プリズム１４との接合面にイメージセンサ２１Ｒを半田等により取り付け、イメージセンサ２１Ｒの表面にマスク２４Ｒを取り付ける。そして、センサ取付基板２２Ｒのイメージセンサ２１Ｒを取り付けた面の反対の面にコネクタ２３Ｒを取り付ける。同様に、センサユニット１３Ｇ、１３Ｂも組み立てる。以上の工程により、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂを組み立てると、ステップＳ７０２に進む。

ステップＳ７０２において、プリズムユニット１２を組み立てる。具体的には、まず、３板式の波長分解プリズム１４の左右側面にそれぞれ固定板１５を固着する。次に、波長分解プリズム１４および固定板１５のセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂへの光射出面側の両側縁部に、それぞれ平面形状が略Ｖ字形状の溝状の凹部２６を形成する。溝状の凹部２６は、イメージセンサ２１Ｒを取り付ける光射出面に平行な平行面４１と、平行面４１から、光射出面との間の距離が広がる方向に傾斜角θで傾斜した傾斜面４２と、を有するように形成する。これにより、プリズムユニット１２を組み立てると、ステップＳ７０３に進む。なお、ステップＳ７０１の工程とステップＳ７０２の工程とは、手順が逆であってもよく、どちらのステップから作業を行ってもよい。

ステップＳ７０３において、ステップＳ７０２で組み立てたプリズムユニット１２を光学装置前面板１１に取り付ける。

ステップＳ７０４において、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂの取付け位置を調整（粗調整および微調整）して、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂをプリズムユニット１２に固定する。

一例として、図５に示すように、センサ取付基板２２Ｒの凹部３１および凹部３２ａ、３２ｂにセンサユニット取付装置５１のアーム先端部５５およびアーム先端部５６ａ、５６ｂを挿入してセンサ取付基板２２Ｒを把持する。同時に、別の２つのセンサユニット取付装置５１で、それぞれセンサ取付基板２２Ｇおよび２２Ｂを把持する。これにより、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂの取付け位置を調整して、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂをプリズムユニット１２に固定すると、ステップＳ７０５に進む。

ステップＳ７０５において、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂを固定した箇所にＵＶ光を照射して、プリズムユニット１２にセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂを取り付ける。具体的には、例えば、固定板１５の突出部２５の接合面とセンサ取付基板２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂの表面との間に紫外線硬化型接着剤２８を充填し、そこに波長分解プリズム１４に形成された溝状の凹部２６の傾斜面４２で反射したＵＶ光を照射して接着剤２８を硬化させ、固定板１５にセンサ取付基板２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂを接着する。この工程により、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂをプリズムユニット１２に取り付けると、ステップＳ７０６に進む。

ステップＳ７０６において、プリズムユニット１２にセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂが適切に取り付けられたか否かを判定する。適切に取り付けられていて「ＹＥＳ」の場合は、上記製造工程を終了し、完成したイメージセンサ用光学装置１をカメラ等の固体撮像装置に取り付ける。プリズムユニット１２にセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂが適切に取り付けられていなくて「ＮＯ」の場合、ステップＳ７０４に戻り、再度センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂの取付け位置を調整して、センサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂをプリズムユニット１２に固定する。

＜実施形態２＞
図８は、実施形態２のプリズムユニットの一部を模式的に示す拡大側面図である。図８を用いて、本実施形態のプリズムユニットにセンサユニットを取り付ける方法について説明する。本実施形態が、実施形態１と相違する点は、プリズムユニット８０の中央に位置し、センサユニット１３Ｒと接合する波長分解プリズム１４の両側面部にＵＶ光を反射させる反射板８１が取り付けられている点である。本実施形態では、一例として、プリズムユニット８０にセンサユニット１３Ｂを取り付ける方法について説明する。

本実施形態のプリズムユニット８０にセンサユニット１３Ｂを取り付ける場合、まず、センサユニット１３Ｂを取り付ける側の波長分解プリズム１４の側面部（図８の下方）に位置する反射板８１でＵＶ光を反射させる。次に、図８に示すように、反射させたＵＶ光を傾斜面４２Ｂに入射させることで、傾斜面４２Ｂでさらに反射させたＵＶ光を、突出部２５の内側側面とイメージセンサ２１Ｂの側面との間の隙間に充填した接着剤２８に直接照射することができる。同様に、センサユニット１３Ｇを取り付ける側（図８の上方）に位置する反射板８１にＵＶ光を照射することによって、突出部２５の内側側面とイメージセンサ２１Ｇの側面との間の隙間に充填した接着剤２８にＵＶ光を直接照射することができる。

したがって、本実施形態のプリズムユニット８０は、波長分解プリズム１４の側面部に反射板８１を有することにより、プリズムユニット８０に固定されたセンサユニット１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂ相互の間隔が狭く、各イメージセンサ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂの側面に垂直な方向からＵＶ光を照射できない場合であっても、接着剤２８に適切な量のＵＶ光を照射することができる。そのため、実施形態１と同様の効果を有することができる。

１ イメージセンサ用光学装置
１１ 光学装置用前面板
１２、８０ プリズムユニット
１３Ｒ、１３Ｇ、１３Ｂ センサユニット
１４ プリズム
１５ 固定板
２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ イメージセンサ
２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ センサ取付基板
２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ コネクタ
２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂ マスク
２５ 突出部
２６ 溝状の凹部
２８ 接着剤
３１、３２ａ、３２ｂ Ｖ字形状の凹部
４１ 平行面
４２ 傾斜面
５１ センサユニット取付装置
５２ 本体
５３、５４ アーム
５５、５６ａ、５６ｂ アーム先端部
８１ 反射板

Claims (7)

1. 固体撮像素子を取り付ける光射出面を有する多板式のプリズムと、
   前記多板式のプリズムの両側面に固着された固定板と、
   を備え、
   前記プリズムの前記光射出面側の側縁部に凹部が形成されたプリズムユニット。
2. 前記凹部は、前記プリズムの前記光射出面側の両側縁部に形成されている請求項１に記載のプリズムユニット。
3. 前記凹部は、前記光射出面との間の距離が広がる方向に傾斜した傾斜面を有する請求項１または２に記載のプリズムユニット。
4. 前記傾斜面は、前記光射出面に対して４５度傾斜している請求項３に記載のプリズムユニット。
5. 前記傾斜面は、紫外線を反射する反射部材を有している請求項３または４に記載のプリズムユニット。
6. 固体撮像素子と、該固体撮像素子が実装された撮像素子取付基板と、該撮像素子取付基板に接合された請求項１ないし５のいずれか一項に記載のプリズムユニットと、を備えた固体撮像装置。
7. 撮像素子取付基板の基板表面に固体撮像素子を取り付けて撮像素子ユニットを組み立てる工程と、
   光射出面を有する多板式のプリズムの両側面に固定板を固着し、前記プリズムの前記光射出面側の側縁部に凹部を形成して、プリズムユニットを組み立てる工程と、
   前記プリズムの前記光射出面に、接着剤で前記撮像素子ユニットを固定する工程と、
   前記プリズムの前記光射出面側の側縁部に形成された凹部に紫外線を照射して前記接着剤を硬化させる工程と、
   を含む固体撮像装置の製造方法。