JP2018096737A - 差圧式流量計、排ガス分析装置及び流量測定方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】広範囲な流量において高精度に流量測定を行うことのできる差圧式排ガス流量計を提供する。【解決手段】流路を流れる流体の差圧を検出し、その差圧から流体の流量を算出する差圧式流量計であって、測定レンジが互いに異なる少なくとも2つの差圧検出部22、23を有し、第1の差圧検出部を用いて得られた流体の流量が所定値以上の場合には、第2の差圧検出部で得られた流体の流量を測定値として出力する流量演算部を有する。【選択図】図2
Description
本発明は、差圧式流量計、この差圧式流量計を用いた排ガス分析装置、及び前記差圧式流量計を用いた流量測定方法に関するものである。
車両試験には、路上走行時に車両のテールパイプから排出される排ガスを計測する路上走行試験がある。
この路上走行試験では、特許文献1に示すように、車両に各種の排ガス分析計を搭載し、テールパイプから排出される排ガスをサンプリングして当該排ガスに含まれる各成分を分析している。また、テールパイプには、排ガスの流量を測定するための例えばピトー管式流量計が設置されており、当該流量計により得られた排ガス流量と、前記排ガス分析計により得られた各成分の濃度とから、各成分の排出質量を算出している。
ここで、ピトー管式流量計は、テールパイプに装着される取付配管(アタッチメント)に一体的に設けられており、取付配管の配管径が大きいものに対しては、流量の測定レンジが大きいものが設けられている。そして、このピトー管流量計は、テールパイプ径や実排ガス流量に合わせて取り付けられる。
しかしながら、取付配管には1つのピトー管式流量計しか設けられていないため、例えば路上走行試験中にピトー管式流量計を変更することができない。
また、例えばアイドリング時などの低排気時の排ガス流量と、例えば急加速時や高速運転時などの高排気時の排ガス流量との差が大きい車両の場合には、1つのピトー管式流量計では、どっちつかずになってしまい、低排気時の排ガス流量又は高排気時の排ガス流量の少なくとも一方において流量レンジが合致しない場合がある。
さらに、近年の車両は見栄えを良くする等から、テールパイプ径が実際の排ガス流量よりも大きいものが存在している。このような場合にテールパイプ径に合わせて取付配管を取り付けると、排ガス流量に対して過度に広い測定レンジを有するピトー管式流量計を使用することになってしまう。
これらのことから、排ガス流量の測定精度が悪くなってしまい、その結果、排ガスに含まれる各成分の排出質量の測定結果の測定誤差も大きくなってしまう。
そこで本発明は、上述した課題を解決すべくなされたものであり、広範囲の流量において高精度に流量測定を行うことをその主たる課題とするものである。
すなわち本発明に係る差圧式流量計は、流路を流れる流体の差圧を検出し、その差圧から前記流体の流量を算出する差圧式流量計であって、測定レンジが互いに異なる少なくとも2つの差圧検出部を有することを特徴とする。なお、測定レンジが互いに異なることには、両者の測定レンジが重複しないように異なることだけでなく、両者の測定レンジが一部重複することも含む。
このようなものであれば、測定レンジが互いに異なる少なくとも2つの差圧検出部を有するので、広範囲の流量レンジにおいて高精度に流量測定を行うことができる。
前記少なくとも2つの差圧検出部は、第1の差圧検出部と第2の差圧検出部とを備え、前記第1の差圧検出部は、前記第2の差圧検出部よりも低流量側の測定レンジを有することが望ましい。
この構成であれば、低流量側の測定を第1の差圧検出部を用いて行い、高流量側の測定を第2の差圧検出部を用いて行うことにより、広範囲にわたって高精度に流量測定を行うことができる。
この構成であれば、低流量側の測定を第1の差圧検出部を用いて行い、高流量側の測定を第2の差圧検出部を用いて行うことにより、広範囲にわたって高精度に流量測定を行うことができる。
第1差圧検出部及び第2差圧検出部の具体的な構成としては、前記流体の全圧と静圧との差圧を検出するものであって、前記全圧を検出するための全圧孔と前記静圧を検出するための静圧孔とを備えるピトー管を有する構成とすることが考えられる。この構成において、第1の差圧検出部の測定レンジを低流量側にするためには、前記第1の差圧検出部の前記全圧孔及び前記静圧孔は、前記第2の差圧検出部の前記全圧孔及び前記静圧孔よりも大きいことが望ましい。
第1の差圧検出部が低流量側の測定レンジにおいて高精度の流量測定を行うことができ、第2の差圧検出部において高流量側の測定レンジにおいて高精度の流量測定を行うことができることから、前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値未満の場合に、前記第1の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力し、前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値以上の場合に、前記第2の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力する流量演算部を有することが望ましい。
低流量側の測定レンジにおいては、上流側に障害物を置くことにより圧力変動の影響を受けやすい。このため、前記第1の差圧検出部が流路上流側に設けられ、前記第2の差圧検出部が流路下流側に設けられていることが望ましい。
この構成であれば、低流量側の測定レンジを有する第1の差圧検出部の上流側に別の差圧検出部が配置される構成ではないので、別の差圧検出部により生じる圧力変動の影響を受けることなく、例えばアイドリング時等の低流量時の流量を精度よく測定することができる。
この構成であれば、低流量側の測定レンジを有する第1の差圧検出部の上流側に別の差圧検出部が配置される構成ではないので、別の差圧検出部により生じる圧力変動の影響を受けることなく、例えばアイドリング時等の低流量時の流量を精度よく測定することができる。
前記差圧式流量計は、排気管の開口部に取り付けられて、当該排気管から出る排ガスが流れる流路を形成する取付配管を備えており、前記取付配管に前記少なくとも2つの差圧検出部が設けられていることが望ましい。
この構成であれば、単一の取付配管を排気管に取り付けるだけで、2つ以上の差圧検出部を用いた流量測定を行うことができる。
この構成であれば、単一の取付配管を排気管に取り付けるだけで、2つ以上の差圧検出部を用いた流量測定を行うことができる。
本発明の差圧式流量計を排ガス分析装置に組み込むこともできる。この場合、排ガス分析装置は、上述した差圧式流量計と、排ガスに含まれる所定成分の濃度を測定する排ガス分析計とを備え、差圧式流量計の取付配管には、前記排ガスをサンプリングして前記排ガス分析部に導く排ガスサンプリング部が設けられていることが望ましい。
また、本発明に係る流量測定方法は、流路を流れる流体の差圧を検出し、その差圧から前記流体の流量を算出するものであって、測定レンジが互いに異なる第1の差圧検出部及び第2の差圧検出部を有し、前記第1の差圧検出部は、前記第2の差圧検出部よりも低流量側の測定レンジを有する差圧式流量計を用いた流量測定方法であって、前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値未満の場合に、前記第1の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力し、前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値以上の場合に、前記第2の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力することを特徴とする。
このように構成した本発明によれば、測定レンジが互いに異なる少なくとも2つの差圧検出部を有するので、広範囲の流量レンジにおいて高精度に流量測定を行うことができる。
以下に本発明に係る差圧式流量計を用いた排ガス分析装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
<装置構成>
本実施形態の排ガス分析装置100は、例えば車両Vに搭載されて、当該車両Vが路上を走行する際に車両の内燃機関Eから排出される排ガスを路上走行中にリアルタイムに分析する車両搭載型のものである。この排ガス分析装置100は、採取した排ガスを希釈せずに、そのまま濃度測定する直接サンプリング方式のものである。なお、シャシダイナモ上で模擬走行される車両の内燃機関から排出される排ガスを模擬走行中にリアルタイムに分析するものであっても良い。
本実施形態の排ガス分析装置100は、例えば車両Vに搭載されて、当該車両Vが路上を走行する際に車両の内燃機関Eから排出される排ガスを路上走行中にリアルタイムに分析する車両搭載型のものである。この排ガス分析装置100は、採取した排ガスを希釈せずに、そのまま濃度測定する直接サンプリング方式のものである。なお、シャシダイナモ上で模擬走行される車両の内燃機関から排出される排ガスを模擬走行中にリアルタイムに分析するものであっても良い。
具体的にこの排ガス分析装置100は、図1に示すように、内燃機関Eに接続された排気管EHの開口部EH1に取り付けられて、当該排気管EHから排出される排ガスの流量を測定する差圧式流量計2と、排気管EHから排出される排ガスに含まれる測定対象成分の濃度を測定するためのガス分析計3とを備えている。
差圧式流量計2は、流路を流れる排ガスの差圧を検出し、その差圧から排ガスの流量を算出するものであって、排気管EHの開口部EH1に外付けされる取付配管21と、当該取付配管21を流れる排ガスの差圧を検出するための第1の差圧検出部22及び第2の差圧検出部23とを備えている。
取付配管21は、排気管EHの開口部EH1の外側周面を覆うように取り付けられる直管形状をなすものである。本実施形態では、断面円形状をなす円管である。そして、取付配管21の一端開口部が排気管EHの開口部EH1に装着されるとともに、他端開口部は開放されており、当該他端開口部から排ガスが外部に排出される。
また、取付配管21には、第1の差圧検出部22及び第2の差圧検出部23の他に、排ガスの温度Texh(t)を検出する排ガス温度計4と、排ガス圧力Pexh(t)を測定する絶対圧計5とが設けられている。
第1の差圧検出部22及び第2の差圧検出部23は、排ガスの全圧と静圧との差圧ΔPを検出するものであって、全圧を検出するための全圧孔2h1と静圧を検出するための静圧孔2h2とを備えるピトー管2Pと、当該ピトー管2Pを介して排ガスの全圧と静圧との差圧ΔPを検出する差圧伝送器等の差圧センサ2Sとを有している。
ピトー管2Pは、全圧孔h1が形成されて、全圧を差圧センサ2Sに導入する全圧導管部2P1と、静圧孔2h2が形成されて、静圧を差圧センサ2Sに導入する静圧導管部2P2とを有している。この例では、全圧孔2h1は、流路上流側を向いて開口しており、静圧孔2h2は、全圧孔2h1とは反対側の流路下流側を向いて開口している。なお、本実施形態では、第1の差圧検出部22と第2の差圧検出部23とで1つの差圧センサ2Sを共有する構成であるが、それぞれ別個の差圧センサ2Sを有する構成であっても良い。
然して、本実施形態の第1の差圧検出部22及び第2の差圧検出部23は、流量測定レンジが互いに異なるものであり、具体的には、図2に示すように、第1の差圧検出部22は、第2の差圧検出部23よりも低流量側の測定レンジを有するものである。より詳細には、第1の差圧検出部22の全圧孔2h1及び静圧孔2h2は、第2の差圧検出部23の全圧孔2h1及び静圧孔2h2よりも大きい。このように、第1の差圧検出部22の全圧孔2h1及び静圧孔2h2を大きくすることによって、第1の差圧検出部22において低圧側での圧力を受けやすくして、低差圧を精度よく検出できるように構成している。なお、第1の差圧検出部22の流量測定レンジは、例えば0〜3m3/minであり、第2の差圧検出部23の流量測定レンジは、例えば0〜10m3/minであり、本実施形態では、一方の流量測定レンジが他方の測定レンジに含まれる場合を示している。
また、本実施形態では、第1の差圧検出部22が流路上流側に設けられ、第2の差圧検出部23が流路下流側に設けられている(図2参照)。具体的には第1の差圧検出部22のピトー管2Pの取付配管21への差し込み位置は、第2の差圧検出部23のピトー管2Pの取付配管21への差し込み位置よりも上流側となるようにされている。このとき、第1の差圧検出部22の全圧孔2h1及び静圧孔2h2と、第2の差圧検出部23の全圧孔2h1及び静圧孔2h2とは、流路方向から見て互いに重ならないように配置することが望ましく、例えば、図3に示すように、第1の差圧検出部22のピトー管2Pと第2の差圧検出部23のピトー管2Pとが直交するように配置することによって、それらの全圧孔2h1及び静圧孔2h2が互いに重ならないようにすることが考えられる。
そして、この第1の差圧検出部22及び第2の差圧検出部23により得られた差圧ΔPを用いて、差圧式流量計2の流量演算部24は、排ガスの流量を算出する。
具体的に流量演算部24は、第1の差圧検出部22又は第2の差圧検出部23の少なくとも一方から得らえた差圧センサ2Sからの差圧ΔPと、排ガス温度計4からの排ガス温度Texh(t)[K]と、絶対圧計5からの排ガス圧力Pexh(t)[kPa]とから、以下の式により、標準状態における排ガスの体積流量Qexh(t)[m3/min]を算出する。
P0:標準圧力(101.3[kPa])
T0:標準温度(293.15[K])
ρexh:標準状態における排ガス密度[g/m3]
なお、比例係数K、標準圧力P0、標準温度T0、排ガス密度ρexhは、予め入力されている。
ここで、流量演算部24は、図4に示すように、例えば以下の手順により排ガスの流量を出力する。
流量演算部24は、第1の差圧検出部22又は第2の差圧検出部23を用いて得られた排ガスの流量Qexh(t)が所定値未満か否かを判断して(ステップS1)、所定値未満の場合には、第1の差圧検出部22により得られた排ガスの流量Qexh(t)を測定値として出力する(ステップS2)。一方、流量演算部24は、上記ステップS1での判断の結果、所定値以上の場合には、第2の差圧検出部23により得られた排ガスの流量Qexh(t)を測定値として出力する(ステップS3)。流量演算部24は、このシーケンスを流量測定終了時まで定期的又は連続的に行う(ステップS4)。
なお、排ガスの流量Qexh(t)と流量測定レンジとの比較によって用いる差圧検出部22を切り替えるようにしても良い。つまり、例えば、排ガスの流量Qexh(t)と第1の差圧検出部22の流量測定レンジとを比較して、当該流量Qexh(t)が流量測定レンジの上限値又は上限値近傍の設定値以上であれば、第2の差圧検出部23に切り替えるようにしても良い。また、排ガスの流量Qexh(t)と第2の差圧検出部23の流量測定レンジとを比較して、当該流量Qexh(t)が流量測定レンジの下限値又は下限値近傍の第2の設定値以下であれば、第1の差圧検出部22に切り替えるようにしても良い。前記上限値近傍の設定値及び前記下限値近傍の設定値は、ユーザが任意に設定できる値である。
流量演算部24は、第1の差圧検出部22又は第2の差圧検出部23を用いて得られた排ガスの流量Qexh(t)が所定値未満か否かを判断して(ステップS1)、所定値未満の場合には、第1の差圧検出部22により得られた排ガスの流量Qexh(t)を測定値として出力する(ステップS2)。一方、流量演算部24は、上記ステップS1での判断の結果、所定値以上の場合には、第2の差圧検出部23により得られた排ガスの流量Qexh(t)を測定値として出力する(ステップS3)。流量演算部24は、このシーケンスを流量測定終了時まで定期的又は連続的に行う(ステップS4)。
なお、排ガスの流量Qexh(t)と流量測定レンジとの比較によって用いる差圧検出部22を切り替えるようにしても良い。つまり、例えば、排ガスの流量Qexh(t)と第1の差圧検出部22の流量測定レンジとを比較して、当該流量Qexh(t)が流量測定レンジの上限値又は上限値近傍の設定値以上であれば、第2の差圧検出部23に切り替えるようにしても良い。また、排ガスの流量Qexh(t)と第2の差圧検出部23の流量測定レンジとを比較して、当該流量Qexh(t)が流量測定レンジの下限値又は下限値近傍の第2の設定値以下であれば、第1の差圧検出部22に切り替えるようにしても良い。前記上限値近傍の設定値及び前記下限値近傍の設定値は、ユーザが任意に設定できる値である。
また、ガス分析計3は、排ガスに含まれる測定対象成分(例えばCO、CO2、NOX、THC等)の濃度を連続測定するものである。なお、ガス分析計3は、CO、CO2の濃度を測定するものの場合には、非分散型赤外吸収法(NDIR法)を用いたNDIR検出器を用いることができ、NOXの濃度を測定するものの場合には、化学発光分析法(CLD)を用いたCLD検出器を用いることができ、THCの濃度を測定するものの場合には、水素炎イオン化分析法(FID)を用いたFID検出器を用いることができる。ガス分析計3は、これらの何れかの検出器を有するものであっても良いし、上記のうち複数種の検出器を有するものであっても良い。その他、ガス分析計3は、測定対象成分に応じて種々の分析法を用いた検出器とすることができる。
そして、このガス分析計3には、サンプリングした排ガスを導入するための導入配管6が接続されている。導入配管6の一端部はガス分析計3に接続されており、導入配管6の他端部には、排ガスをサンプリングする排ガスサンプリング部7が設けられている。排ガスサンプリング部7は、上述した差圧式流量計の取付配管21に設けられている。この排ガスサンプリング部7は、取付配管21を流れる排ガスの一部を採取するサンプリング管により構成されている。なお、排ガスサンプリング部7は、取付配管21において、第1、第2の差圧検出部22、23よりも下流側に設けられており、第1、第2の差圧検出部22、23の差圧検出に圧力変動などの影響を与えないようにしている。
このガス分析計3により得られた各成分の濃度信号は、上位の演算装置8に送られて、前記差圧式流量計2の流量演算部24から出力される流量信号とともに、各成分の排出質量の演算に用いられる。
<本実施形態の効果>
このように構成された本実施形態に係る排ガス分析装置100によれば、流量測定レンジが互いに異なる2つの差圧検出部22、23を有するので、広範囲の流量レンジにおいて高精度に流量測定を行うことができる。特に低流量側の測定を第1の差圧検出部22を用いて行い、高流量側の測定を第2の差圧検出部23を用いて行うことで、広範囲にわたって高精度に流量測定を行うことができる。
また、低流量側の測定レンジを有する第1の差圧検出部22の上流側に別の差圧検出部23が配置される構成ではないので、別の差圧検出部23により生じる圧力変動の影響を受けることなく、例えばアイドリング時等の低流量時の流量を精度よく測定することができる。
さらに、単一の取付配管21に2つの差圧検出部22、23が設けられているので、当該取付配管21を排気管EHに取り付けるだけで、2つ以上の差圧検出部22、23を用いた流量測定を行うことができる。ここで、取付配管21に排ガスサンプリング部7が設けられているので、排ガスサンプリング部7の取り付けも容易にすることができる。
このように構成された本実施形態に係る排ガス分析装置100によれば、流量測定レンジが互いに異なる2つの差圧検出部22、23を有するので、広範囲の流量レンジにおいて高精度に流量測定を行うことができる。特に低流量側の測定を第1の差圧検出部22を用いて行い、高流量側の測定を第2の差圧検出部23を用いて行うことで、広範囲にわたって高精度に流量測定を行うことができる。
また、低流量側の測定レンジを有する第1の差圧検出部22の上流側に別の差圧検出部23が配置される構成ではないので、別の差圧検出部23により生じる圧力変動の影響を受けることなく、例えばアイドリング時等の低流量時の流量を精度よく測定することができる。
さらに、単一の取付配管21に2つの差圧検出部22、23が設けられているので、当該取付配管21を排気管EHに取り付けるだけで、2つ以上の差圧検出部22、23を用いた流量測定を行うことができる。ここで、取付配管21に排ガスサンプリング部7が設けられているので、排ガスサンプリング部7の取り付けも容易にすることができる。
<その他の実施形態>
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、2つの差圧検出部22、23が、流路方向から見て交差するように配置されているが、図5に示すように、流路方向から見て両者が交わらないように例えば並列に配置しても良い。この場合、第1の差圧検出部22及び第2の差圧検出部23の流路方向に沿った位置は特に限定されず、2つの差圧検出部22、23が横並びであっても良いし、第1の差圧検出部が第2の差圧検出部23よりも下流側に位置しても良い。
また、前記実施形態では、2つの差圧検出部22、23を有する構成について説明したが、3つ以上の差圧検出部を有するものであっても良い。
さらに、前記実施形態では、2つの差圧検出部22、23が異なるピトー管を有する構成であったが、図6に示すように、1つのピトー管2Pに、第1の差圧検出部22の全圧導管部2P1及び静圧導管部2P2並びに第2の差圧検出部23の全圧導管部2P1及び静圧導管部2P2を設けても良い。これにより、取付配管21の内部構成を簡単にすることができ、圧力変動を抑えて、測定精度を向上させることができる。
その上、前記実施形態では、差圧式流量計を排ガス分析装置に適用した場合を説明したが、その他の分析装置に適用しても良いし、差圧式流量計単体で使用するものであっても良い。
その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。
100・・・排ガス分析装置
2・・・差圧式流量計
21・・・取付配管
22・・・第1の差圧検出部
23・・・第2の差圧検出部
2P・・・ピトー管
2h1・・・全圧孔
2h2・・・静圧孔
24・・・流量演算部
3・・・排ガス分析計
6・・・導入配管
7・・・排ガスサンプリング部
8・・・演算装置
2・・・差圧式流量計
21・・・取付配管
22・・・第1の差圧検出部
23・・・第2の差圧検出部
2P・・・ピトー管
2h1・・・全圧孔
2h2・・・静圧孔
24・・・流量演算部
3・・・排ガス分析計
6・・・導入配管
7・・・排ガスサンプリング部
8・・・演算装置
Claims (9)
- 流路を流れる流体の差圧を検出し、その差圧から前記流体の流量を算出する差圧式流量計であって、
測定レンジが互いに異なる少なくとも2つの差圧検出部を有する差圧式流量計。 - 前記少なくとも2つの差圧検出部は、第1の差圧検出部と第2の差圧検出部とを備え、
前記第1の差圧検出部は、前記第2の差圧検出部よりも低差圧側の測定レンジを有する、請求項1に記載の差圧式流量計。 - 前記第1の差圧検出部及び前記第2の差圧検出部は、前記流体の全圧と静圧との差圧を検出するものであって、前記全圧を検出するための全圧孔と前記静圧を検出するための静圧孔とを備えるピトー管を有し、
前記第1の差圧検出部の前記全圧孔及び前記静圧孔は、前記第2の差圧検出部の前記全圧孔及び前記静圧孔よりも大きい、請求項2に記載の差圧式流量計。 - 前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値未満の場合に、前記第1の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力し、前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値以上の場合に、前記第2の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力する流量演算部を有する、請求項2又は3に記載の差圧式流量計。
- 前記第1の差圧検出部が流路上流側に設けられ、前記第2の差圧検出部が流路下流側に設けられている、請求項2、3又は4に記載の差圧式流量計。
- 排気管の開口部に取り付けられて、当該排気管から出る排ガスが流れる流路を形成する取付配管を備え、
前記取付配管に前記少なくとも2つの差圧検出部が設けられている、請求項1、2、3、4又は5に記載の差圧式流量計。 - 請求項6に記載の差圧式流量計と、
前記排ガスに含まれる所定成分の濃度を測定する排ガス分析計とを備え、
前記取付配管には、前記排ガスをサンプリングして前記排ガス分析計に導く排ガスサンプリング部が設けられている、排ガス分析装置。 - 車両搭載型のものである請求項7記載の排ガス分析装置。
- 流路を流れる流体の差圧を検出し、その差圧から前記流体の流量を算出するものであって、測定レンジが互いに異なる第1の差圧検出部及び第2の差圧検出部を有し、前記第1の差圧検出部は、前記第2の差圧検出部よりも低流量側の測定レンジを有する差圧式流量計を用いた流量測定方法であって、
前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値未満の場合に、前記第1の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力し、前記第1の差圧検出部又は前記第2の差圧検出部を用いて得られた前記流体の流量が所定値以上の場合に、前記第2の差圧検出部により得られた前記流体の流量を測定値として出力することを特徴とする流量測定方法。
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| US11105667B2 (en) | 2018-10-02 | 2021-08-31 | Horiba, Ltd. | High and low flow rate measurement device and method having a flow rate correction for overlapping flow ranges |
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