JP2018200464A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 光学フィルタであって、
   第１のミラーおよび第２のミラーであって、前記第１のミラーおよび前記第２のミラー各々は、１つ以上の第１の１／４波長スタックを含み、前記１つ以上の第１の１／４波長スタックのうちの１つの１／４波長スタックは、第１の材料および第２の材料の交互の層の組を含み、前記第１の材料は、前記第２の材料よりも高い屈折率と対応付けられ、前記第１のミラーおよび前記第２のミラー各々は、１つ以上の第２の１／４波長スタックを含み、前記１つ以上の第２の１／４波長スタックのうちの１つの１／４波長スタックは、第３の材料および第４の材料の１つ以上の交互の層を含み、前記第３の材料は、前記第４の材料よりも高い屈折率と対応付けられ、前記第１の材料、前記第２の材料、前記第３の材料、および前記第４の材料は、３つ以上の異なる材料を含む、第１のミラーおよび第２のミラーと、
   前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間に配置されるスペーサと
   を備える、光学フィルタ。
2. 前記３つ以上の異なる材料のうちの少なくとも１つは、酸化物材料であり、
   前記酸化物材料は、酸化ニオブチタン（ＮｂＴｉＯ_ｘ）、二酸化ケイ素（ＳｉＯ_２）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、二酸化チタン（ＴｉＯ_２）、五酸化ニオブ（Ｎｂ_２Ｏ_５）、五酸化タンタル（Ｔａ_２Ｏ_５）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）、酸化イットリウム（Ｙ_２Ｏ_３）、二酸化ハフニウム（ＨｆＯ_２）、それらの組み合わせのうちの少なくとも１つを含む、
   請求項１に記載の光学フィルタ。
3. 前記３つ以上の異なる材料のうちの少なくとも１つは、窒化物材料、フッ化物材料、硫化物材料、セレン化物材料、それらの組み合わせのうちの少なくとも１つを含む、請求項１に記載の光学フィルタ。
4. 前記第１のミラーおよび前記第２のミラーのうちの少なくとも１つは、水素化シリコン（Ｓｉ：Ｈ）材料を含む、請求項１に記載の光学フィルタ。
5. 前記スペーサは、水素化シリコン（Ｓｉ：Ｈ）スペーサである、請求項１に記載の光学フィルタ。
6. 前記３つ以上の異なる材料のうちの少なくとも１つは、約８００ｎｍ〜約１１００ｎｍのスペクトル域での２．０を超える屈折率と対応付けられる、請求項１に記載の光学フィルタ。
7. 前記３つ以上の異なる材料のうちの少なくとも１つは、約８００ｎｍ〜約１１００ｎｍのスペクトル域での３．０未満の屈折率と対応付けられる、請求項１に記載の光学フィルタ。
8. 前記光学フィルタは、９３２ｎｍの中心波長での約０．９ｎｍ〜約５．３ｎｍの５０％相対帯域幅と対応付けられる、請求項１に記載の光学フィルタ。
9. 前記光学フィルタは、８００ｎｍの中心波長での約３．７５ｎｍ〜約５．７５ｎｍの５０％相対帯域幅と対応付けられる、請求項１に記載の光学フィルタ。
10. 前記光学フィルタは、１１００ｎｍの中心波長での約４ｎｍ〜約８ｎｍの５０％相対帯域幅と対応付けられる、請求項１に記載の光学フィルタ。
11. 前記光学フィルタは、センサ素子アレイのセンサ素子の組と対応付けられる基板上に形成され、
    前記光学フィルタの前記スペーサは、前記センサ素子アレイの前記センサ素子の組に対応する複数のチャネルを形成する複数の層を含む、請求項１に記載の光学フィルタ。
12. 前記光学フィルタは、センサ素子アレイのセンサ素子の組に対応する光学フィルタのアレイに存在する、請求項１に記載の光学フィルタ。
13. マルチスペクトルフィルタであって、
    第１の誘電体層の組であって、当該第１の誘電体層の組への光の一部を反射し、１つ以上の第１の１／４波長スタックを含み、３つ以上の第１の異なる材料の組を備える、第１の誘電体層の組と、
    スペーサ層の組であって、当該スペーサ層の組のうちの層は、当該層の屈折率に基づいて選択され、センサ素子の組のうちの前記スペーサ層の組によって形成されるチャネルの組のうちのチャネルに対応するセンサ素子へと向けられる光の波長に対応する、スペーサ層の組と、
    第２の誘電体層の組であって、当該第２の誘電体層の組への光の一部を反射し、１つ以上の第２の１／４波長スタックを含み、３つ以上の第２の異なる材料の組を備える、第２の誘電体層の組と
    を備える、マルチスペクトルフィルタ。
14. 前記３つ以上の第１の異なる材料の組および前記３つ以上の第２の異なる材料の組は、共通の３つ以上の異なる材料の組である、請求項１３に記載のマルチスペクトルフィルタ。
15. 前記１つ以上の第１の１／４波長スタックは、
    前記３つ以上の第１の異なる材料の組のうちの第１の材料と、前記３つ以上の第１の異なる材料の組のうちの第２の材料とを含む第１の１／４波長スタックと、
    前記第１の材料と、前記３つ以上の第２の異なる材料の組のうちの第３の材料とを含む第２の１／４波長スタックと
    を含む、請求項１３に記載のマルチスペクトルフィルタ。
16. 前記チャネルの組のチャネル量は、チャネル量閾値以上であり、
    前記チャネル量閾値は、８チャネル、１６チャネル、３２チャネル、６４チャネル、１２８チャネルのうちの１つである、
    請求項１３に記載のマルチスペクトルフィルタ。
17. 前記第１の誘電体層の組および前記第２の誘電体層の組のうちの少なくとも１つの層の厚さは、１／４波長厚さから離調される、請求項１３に記載のマルチスペクトルフィルタ。
18. 前記厚さは、閾値パーセンテージによって離調され、
    前記閾値パーセンテージは、１０％低減、２０％低減、３０％低減、４０％低減、５０％低減、１０％増加、２０％増加、３０％増加、４０％増加、５０％増加のうちの少なくとも１つを含む、請求項１７に記載のマルチスペクトルフィルタ。
19. 光学フィルタであって、
    基板と、
    第１のミラーおよび第２のミラーであって、前記第１のミラーおよび前記第２のミラー各々は、複数の１／４波長スタックを含み、前記複数の１／４波長スタックは、第１の材料、第２の材料、および第３の材料を含む複数の層を含む、第１のミラーおよび第２のミラーと、
    前記第１のミラーと前記第２のミラーとの間に配置されるスペーサと
    を備える、光学フィルタ。
20. 前記複数の１／４波長スタックのうちの１つの１／４波長スタックの高指数材料の屈折率と前記複数の１／４波長スタックのうちの前記１つの１／４波長スタックの低指数材料の屈折率との差は、閾値よりも大きい、請求項１９に記載の光学フィルタ。