JP2019119002A - チャックテーブル載置治具 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のチャックテーブルを省スペースに載置可能なチャックテーブル載置治具を得る。【解決手段】被加工物（Ｗ）を吸引保持する吸引部（２１）と該吸引部を囲繞する外枠部（２２）とを備えるチャックテーブル（２０）を載置するためのチャックテーブル載置治具であって、下に載置されるチャックテーブルの外枠部に形成した３つ以上の貫通孔（２８）に挿入すると共に、上に載置されるチャックテーブルの外枠部に下方から当接して、上下のチャックテーブル間を離間させて保持する少なくとも３つの中間保持部材（５０）を備え、最下段のチャックテーブルの上部に中間保持部材を介して複数のチャックテーブルを載置する。【選択図】図３

Description

本発明は、チャックテーブルを載置するためのチャックテーブル載置治具に関する。

半導体等の製造に用いる研削装置では、ウェーハ等の被加工物をチャックテーブル上に吸引保持して研削加工を行う。より詳しくは、チャックテーブルはチャックテーブルベース上に固定され、チャックテーブルベースはモータを内蔵した回転駆動部上に搭載されて、回転駆動部により回転される（例えば、特許文献１参照）。チャックテーブルの上方には、下端に研削砥石が取り付けられた研削ホイールが設けられる。被加工物を吸引保持しているチャックテーブルを回転させると共に、研削ホイールを回転させながら下降させて、被加工物に研削砥石を接触させて研削を行う。

チャックテーブル上の被加工物を高精度に加工するために、チャックテーブルのうち被加工物を保持する保持面（チャックテーブルベース上に固定した状態での上面）の平坦度が重要となる。また、保持面の位置精度を出すためには、チャックテーブルのうちチャックテーブルベースに載置される載置面（下面）にも、凹凸や歪み等が生じないことが求められる。

チャックテーブルはチャックテーブルベースに対して着脱可能である。取り外したチャックテーブルは、保持面及び載置面に傷等が付かないように注意して保管する必要がある。

特開２０１１−１７３１８１号公報

複数のチャックテーブルを保管する際に、互いの保持面や載置面が接触するように上下に重ねて載置すると、保持面や載置面が傷ついたりして平坦度が損なわれてしまうおそれがある。一方、複数のチャックテーブルを水平方向に並べて保管するには広い場所が必要になり、スペース効率が悪い。そのため、広い場所が得られない場合でも、ダメージを与えることなく複数枚のチャックテーブルを効率良く保管したいという要求があった。

本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであり、複数のチャックテーブルを省スペースに載置可能なチャックテーブル載置治具を提供することを目的とする。

本発明は、被加工物を上面に吸引保持する吸引部と該吸引部を囲繞する外枠部とから構成される円板形状のチャックテーブルを複数枚上下に重ねて載置するためのチャックテーブル載置治具に関するものである。チャックテーブルの外枠部には、加工装置のチャックテーブルベースにネジ固定するための貫通孔が３つ以上形成される。チャックテーブル載置治具は、下に載置されるチャックテーブルの外枠部の貫通孔に挿入すると共に上に載置されるチャックテーブルの外枠部に下方から当接して上下のチャックテーブル間を離間させて保持する少なくとも３つの中間保持部材を備えており、最下段のチャックテーブルの上部には中間保持部材を介して複数のチャックテーブルが載置されることを特徴とする。

最下段のチャックテーブルの外枠部を下方から当接して載置場所に載置する少なくとも３つの最下段保持部材を更に備え、最下段保持部材に保持された最下段のチャックテーブルの上部には中間保持部材を介して複数のチャックテーブルを載置することが好ましい。

本発明によれば、複数のチャックテーブルを省スペースに載置可能なチャックテーブル載置治具を得ることができる。

チャックテーブルをチャックテーブルベースに取り付けた状態を示す断面図である。 本実施の形態のチャックテーブル載置治具によってチャックテーブルを載置した状態を示す側断面図である。 本実施の形態のチャックテーブル載置治具とチャックテーブルの斜視図である。

以下、添付図面を参照して、本実施の形態に係るチャックテーブル載置治具について説明する。図１は、チャックテーブルを研削装置（加工装置）のチャックテーブルベースに取り付けた状態を示す図であり、図２と図３は、チャックテーブルベースから取り外したチャックテーブルを、チャックテーブル載置治具によって載置する状態を示す図である。なお、図２は、同一の断面位置ではなく、複数の異なる断面位置を複合的に示したものである。

まず、主に図１を参照して研削装置とチャックテーブル２０について説明する。図１に示すチャックテーブルベース１０は、被加工物Ｗを研削加工する研削装置を構成するものである。研削装置の全体的な構成は周知のものであり、図示を省略している。研削装置はモータを内蔵した回転駆動部１１（図１に模式的に示す）を備えており、回転駆動部１１上にチャックテーブルベース１０が搭載されている。チャックテーブルベース１０の上面１２は平坦な円形面であり、上面１２の周縁に複数のネジ孔１３が形成されている。

チャックテーブル２０は、被加工物Ｗを吸引保持する吸引部２１と、吸引部２１を囲む外枠部２２とを有する円板形状の部材である。外枠部２２の上面側に形成した凹部２３内に吸引部２１が配置されており、吸引部２１のうち凹部２３から露出する保持面２４上に被加工物Ｗが吸引保持される。外枠部２２には、保持面２４の反対側を向く載置面２５が形成されている。チャックテーブル２０の表裏に位置する保持面２４と載置面２５は、互いに平行な平坦面である。

外枠部２２の周縁には外周部２６が設けられている。外周部２６は、保持面２４と同方向を向く段差面２７を有する。段差面２７から載置面２５までの外周部２６の肉厚は、保持面２４から載置面２５までのチャックテーブル２０の中央部分の肉厚よりも小さい。外周部２６には、段差面２７から載置面２５まで貫通する複数の貫通孔２８が形成されている。図３に示すように、本実施の形態のチャックテーブル２０では、周方向に等間隔で１２個の貫通孔２８が形成されている。

図１に示すように、各貫通孔２８は、段差面２７側に開口する大径部２８ａと、載置面２５側に開口する小径部２８ｂとが同軸上に形成されている２段構造の孔であり、大径部２８ａと小径部２８ｂの境界部分に大径部２８ａの底面が形成されている。チャックテーブルベース１０には、貫通孔２８に対応する数及び配置のネジ孔１３が設けられている。

チャックテーブル２０は、固定ネジ３０を用いてチャックテーブルベース１０に取り付けられる。固定ネジ３０は、ネジ孔１３に螺合可能な雄ネジ部３１と、雄ネジ部３１よりも大径の頭部３２とを有している。各貫通孔２８と各ネジ孔１３の位置を合わせながら、チャックテーブルベース１０の上面１２にチャックテーブル２０の載置面２５を載せる。そして、各貫通孔２８に対して大径部２８ａ側から固定ネジ３０の雄ネジ部３１を挿入し、貫通孔２８を貫通させた雄ネジ部３１をネジ孔１３に螺合させる。頭部３２が大径部２８ａの底部に当接すると貫通孔２８への固定ネジ３０の挿入が規制される。固定ネジ３０を所定のトルクで締め付けると、チャックテーブルベース１０に対してチャックテーブル２０が固定される。この固定状態で回転駆動部１１を駆動させると、チャックテーブルベース１０と共にチャックテーブル２０が上下方向に向く回転軸を中心として回転する。

チャックテーブル２０の吸引部２１はポーラスセラミックス等の多孔質体からなり、チャックテーブルベース１０にチャックテーブル２０を取り付けた状態（図１）で、研削装置の吸引管路３５に吸引部２１が連通する。吸引管路３５を通して吸引源３６からの吸引力が吸引部２１に作用し、保持面２４上の被加工物Ｗを負圧で吸引保持することができる。

被加工物Ｗに対する研削を行うときには、保持面２４上に被加工物Ｗを吸引保持しながら回転駆動部１１によってチャックテーブル２０を回転させる。研削装置は上下方向に向く回転軸を中心として回転可能な研削ホイール（図示略）をチャックテーブル２０の上方に備え、研削ホイールを回転させながら下降させる。そして、研削ホイールの下端に取り付けられた研削砥石（図示略）を被加工物Ｗに接触させて、被加工物Ｗの研削を行う。研削加工の際には研削水が供給される。

研削装置での加工を行わない状態において、固定ネジ３０による締結固定を解除することで、チャックテーブル２０をチャックテーブルベース１０から取り外すことができる。取り外されたチャックテーブル２０は、図２及び図３に示すチャックテーブル載置治具を用いて研削装置外に載置される。本実施の形態のチャックテーブル載置治具は、最下段保持部材４０と中間保持部材５０とを用いて、複数枚のチャックテーブル２０を上下方向に並べて載置させるものであり、以下に詳細を説明する。

図３に示すように、最下段保持部材４０は、チャックテーブル２０の外周部２６に沿う細長い湾曲形状の台座部４１を有する。台座部４１の下部には台座部４１よりも幅広の接地部４２が設けられている。台座部４１と接地部４２は、チャックテーブル２０を傷つけにくい材質（合成樹脂等）で形成される。台座部４１の上端は平坦な載置面４３となっており、載置面４３の両端付近に一対のネジ孔４４が上向きに形成されている。一対のネジ孔４４の相対的な位置関係（間隔）は、チャックテーブル２０上に設けられた１２個の貫通孔２８のうち周方向に隣り合う一対の貫通孔２８の位置関係（間隔）に対応している。

図３に示すように、３つの最下段保持部材４０によって最下段のチャックテーブル２０を支持する。以下、最下段のチャックテーブル２０をチャックテーブル２０Ａとする。チャックテーブル２０Ａは、保持面２４を下方に向けて、段差面２７が各最下段保持部材４０の載置面４３に載せられる（図２参照）。この状態で貫通孔２８の小径部２８ｂが上向きに開口する。

３つの最下段保持部材４０は周方向に等間隔で配置されており、各最下段保持部材４０で載置面４３上に形成されている一対のネジ孔４４と、チャックテーブル２０Ａ上の貫通孔２８とが位置合わせされる。より詳しくは、１２個の貫通孔２８のうち、周方向に隣り合う２つの貫通孔２８が一対のネジ孔４４と上下方向に重なり、次の２つの貫通孔２８はネジ孔４４と重ならない、という周期が３回繰り返される。

そして、ネジ孔４４と重なる各貫通孔２８に対して上方から固定ネジ４５を挿入し、貫通孔２８を貫通した固定ネジ４５をネジ孔４４に螺合させる。固定ネジ４５は、ネジ孔４４に螺合する雄ネジ部４６と、雄ネジ部４６よりも大径の頭部４７とを有し、頭部４７が載置面２５に当接するとそれ以上の挿入が規制される。各固定ネジ４５を所定のトルクで締め付けると、チャックテーブル２０Ａが各最下段保持部材４０に対して固定される。

なお、チャックテーブルベース１０にチャックテーブル２０を取り付けるための固定ネジ３０（図１）を、最下段保持部材４０の取り付け用の固定ネジ４５（図２、図３）として流用してもよい。この場合、最下段保持部材４０に形成するネジ孔４４を、チャックテーブルベース１０のネジ孔１３と同じスペック（内径やネジピッチ）に設定する。

最下段保持部材４０の上下方向の高さ（載置面４３から接地部４２の下面までの距離）は、チャックテーブル２０Ａにおける保持面２４から段差面２７までの厚みよりも大きい。従って、図２のように各最下段保持部材４０の接地部４２を載置場所の支持面Ｇ上に支持させると、保持面２４を支持面Ｇから上方に離間させた状態でチャックテーブル２０Ａが支持される。すなわち、各最下段保持部材４０は、支持面Ｇに対してチャックテーブル２０Ａを上方に離間させるスペーサーとして機能しながら、チャックテーブル２０Ａを下方から支持する。なお、支持面Ｇは、研削装置が設置される部屋の床面であってもよいし、チャックテーブル載置用の棚等の上面であってもよい。

３つの最下段保持部材４０を用いることで、チャックテーブル２０Ａを安定して載置することができる。特に、３つの最下段保持部材４０が周方向に等間隔で配置され、且つ各最下段保持部材４０は周方向に長い載置面４３によってチャックテーブル２０Ａを支持するので、安定性に優れる。

また、各最下段保持部材４０は、チャックテーブル２０Ａの外周部２６を支持するので、被加工物Ｗ（図１）の保持に直接的に関与する中央部分の保持面２４や載置面２５にダメージを与えることがない。しかも、合成樹脂等からなる各最下段保持部材４０は、載置面４３の接触によってチャックテーブル２０Ａの外周部２６（段差面２７）を損傷させるおそれが少ない。

図２及び図３に示すように、最下段のチャックテーブル２０Ａの上部に配置される二段目以降の各チャックテーブル２０は、中間保持部材５０を用いて載置される。

図３に示すように、中間保持部材５０は、小径部５１と大径部５２と棒状部５３が同軸上に並ぶ構成を有している。小径部５１と大径部５２は、チャックテーブル２０を傷つけにくい材質（合成樹脂等）で形成される。小径部５１の径は貫通孔２８の大径部２８ａの内径に対応し、棒状部５３の径は貫通孔２８の小径部２８ｂの内径に対応している。大径部５２は小径部５１及び棒状部５３よりも大径であり、貫通孔２８内には挿入不可である。棒状部５３は大径部５２の端面から突出しており、棒状部５３のうち大径部５２に近い基端側の一部領域の外面は、弾性体５４で覆われている。

二段目のチャックテーブル２０（以下、チャックテーブル２０Ｂとする）は、３つの中間保持部材５０を用いて、最下段のチャックテーブル２０Ａの上部に載置される。チャックテーブル２０Ｂはチャックテーブル２０Ａと同一の構造であり、チャックテーブル２０Ａと同様に、チャックテーブル２０Ｂも保持面２４を下向きにして載置される。各中間保持部材５０は、最下段のチャックテーブル２０Ａの貫通孔２８に棒状部５３が挿入され、二段目のチャックテーブル２０Ｂの貫通孔２８に小径部５１が挿入される。

大径部５２の端面がチャックテーブル２０Ａの外周部２６に上方から当接して、各中間保持部材５０の上下方向位置が定まる。棒状部５３は、チャックテーブル２０Ａの貫通孔２８の小径部２８ｂの内面によって水平方向の位置を定められ、貫通孔２８から下方に突出する。この状態で、小径部２８ｂの内面に対して、棒状部５３の外側に設けた弾性体５４（図３参照）が接触する。弾性体５４を介在させることにより、貫通孔２８の内面を損傷から保護すると共に、中間保持部材５０のガタつきを抑制することができる。

図２に示すように、二段目のチャックテーブル２０Ｂは、貫通孔２８の大径部２８ａの底面が各中間保持部材５０の小径部５１の端面に当接することによって上下方向の位置が定まる（下方への移動が規制される）。また、大径部２８ａの内面が各中間保持部材５０の小径部５１の周面に当接することによって、チャックテーブル２０Ｂの水平方向の位置が定まる。

各中間保持部材５０における小径部５１の端面から大径部５２の端面までの上下方向の高さは、チャックテーブル２０Ｂの保持面２４から段差面２７までの厚みよりも大きい。従って、以上のようにチャックテーブル２０Ａとチャックテーブル２０Ｂの互いの外周部２６の間に各中間保持部材５０の小径部５１及び大径部５２を挿入させると、チャックテーブル２０Ｂの保持面２４とチャックテーブル２０Ａの載置面２５が上下方向に離間した状態となる。すなわち、各中間保持部材５０は、チャックテーブル２０Ａとチャックテーブル２０Ｂを上下方向に離間させるスペーサーとして機能しながら、チャックテーブル２０Ａ上にチャックテーブル２０Ｂを載置させる。

図３に示すように、３つの中間保持部材５０は、周方向に等間隔となる配置でチャックテーブル２０Ｂを支持する。別言すれば、チャックテーブル２０Ａ、２０Ｂのそれぞれにおける１２個の貫通孔２８のうち、１つの貫通孔２８に対して中間保持部材５０が挿入され、次の３つの貫通孔２８に中間保持部材５０が挿入されない、という周期が３回繰り返される。

３つの中間保持部材５０を用いることで、チャックテーブル２０Ａ上にチャックテーブル２０Ｂを安定して載置することができる。特に、３つの中間保持部材５０が周方向に等間隔で配置されているので、特定の方向へ傾かせる力が作用しにくく安定性に優れる。

また、各中間保持部材５０は、チャックテーブル２０Ａやチャックテーブル２０Ｂの外周部２６に接触するので、被加工物Ｗ（図１）の保持に直接的に関与する中央部分の保持面２４や載置面２５にダメージを与えることがない。しかも、合成樹脂等からなる各中間保持部材５０の小径部５１や大径部５２は、チャックテーブル２０Ａの外周部２６やチャックテーブル２０Ｂの外周部２６（貫通孔２８）を接触によって損傷させるおそれが少ない。

なお、最下段のチャックテーブル２０Ａでは、１２個の貫通孔２８のうち６つに固定ネジ４５が挿入されている。そのため、チャックテーブル２０Ｂを載置するための３つの中間保持部材５０の棒状部５３は、チャックテーブル２０Ａのうち固定ネジ４５が挿入されていない残り６つの貫通孔２８から選択して挿入されている。この構成は、単に固定ネジ４５と干渉しない位置に中間保持部材５０を配置するというだけでなく、３つの最下段保持部材４０と３つの中間保持部材５０の周方向位置を異ならせることによる載置の安定性向上という効果も得られる。

二段目のチャックテーブル２０Ｂの上部には、三段目のチャックテーブル２０（チャックテーブル２０Ｃとする）が上下方向に離間して載置される。チャックテーブル２０Ｂと同様に、チャックテーブル２０Ｃは３つの中間保持部材５０を用いて載置される。各中間保持部材５０を用いたチャックテーブル２０Ｃの載置の詳細は、先のチャックテーブル２０Ｂの載置と同様であるため、重複した説明を省略する。

二段目のチャックテーブル２０Ｂでは、１２個の貫通孔２８のうち３つに中間保持部材５０の小径部５１が挿入されている。そのため、三段目のチャックテーブル２０Ｃを載置するための３つの中間保持部材５０の棒状部５３は、チャックテーブル２０Ｂのうち小径部５１が挿入されていない残り９つの貫通孔２８から選択して挿入されている。より詳しくは、載置状態のチャックテーブル２０Ａからチャックテーブル２０Ｃまでを上面視すると、１２個の貫通孔２８のうち、６つの貫通孔２８が３つの最下段保持部材４０と重なる位置にあり、別の３つの貫通孔２８がチャックテーブル２０Ｂを支持する３つの中間保持部材５０と重なる位置にある。そして、上面視して残る３つの貫通孔２８と重なる位置に、チャックテーブル２０Ｃを支持する３つの中間保持部材５０が配されている。このように、三段目までの全ての段のチャックテーブル２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃにおいて、周方向の位置を異ならせて最下段保持部材４０や中間保持部材５０による支持を行うことで、負荷の偏りを低減させて載置の安定性向上を図ることができる。

図２に示す四段目のチャックテーブル２０（チャックテーブル２０Ｄ）は、二段目及び三段目のチャックテーブル２０Ｂ、２０Ｃと同様に、周方向に位置を異ならせた３つの中間保持部材５０を用いて、チャックテーブル２０Ｃの上部に上下方向に離間させて載置される。

図示を省略するが、中間保持部材５０を用いて、さらに五段目以降のチャックテーブル２０を載置することができる。

以上のように、本実施の形態のチャックテーブル載置治具を用いることで、複数枚のチャックテーブル２０を、互いの保持面２４や載置面２５を接触させることなく、上下方向に重ねて（並べて）載置することができる。複数枚のチャックテーブル２０の載置に必要な支持面Ｇ上のスペースは、チャックテーブル２０一枚分で済む。つまり、複数枚のチャックテーブル２０を、保持面２４や載置面２５の平坦度が損なわれるようなダメージを与えずに、省スペースに保管することができる。

チャックテーブル載置治具を構成する最下段保持部材４０や中間保持部材５０は、色分け等によって識別性を向上させてもよい。例えば、最下段保持部材４０と中間保持部材５０の色を異ならせることができる。また、上記実施の形態では、二段目以降のチャックテーブル２０の載置に用いる中間保持部材５０を全て共通としているが、各段で異なるスペックの中間保持部材を用いる場合には、各段用の中間保持部材を色分けしてもよい。

上記実施の形態では、各段のチャックテーブル２０の載置に用いる最下段保持部材４０と中間保持部材５０の数をそれぞれ３つとしているが、各段のチャックテーブルの載置に４つ以上の最下段保持部材や中間保持部材を用いることも可能である。すなわち、チャックテーブルの安定した支持のために、各段用の最下段保持部材や中間保持部材は少なくとも３つ必要である。そして、チャックテーブルの大きさや貫通孔の数といった条件に応じて３つ以上の任意の数を選択できる。

なお、上記実施の形態のように、最下段保持部材４０や中間保持部材５０は周方向に等間隔で配置すると安定性において有利であるが、十分な安定性が得られることを条件として、等間隔ではない配置にすることも可能である。

上記実施の形態では、中間保持部材５０の小径部５１を、チャックテーブル２０の貫通孔２８の大径部２８ａに対して下方から挿入している。これにより、二段目以降のチャックテーブル２０の水平方向の安定性を高めることができる。これと異なる変形例として、中間保持部材５０の小径部５１を貫通孔２８に挿入せずに、小径部５１の端面をチャックテーブル２０の段差面２７に当接させる構成を採用することもできる。

この変形例では、上側のチャックテーブル２０に対して中間保持部材５０による水平方向の移動規制が行われなくなるが、上下方向の支持は行われる。よって、上記実施の形態と同様に複数枚のチャックテーブル２０を上下方向に並べて載置することが可能である。

また、この変形例は、上下のチャックテーブル２０で貫通孔２８の相対的な位置関係が一致していなくても成立する。そのため、例えば上下に並ぶチャックテーブルのスペック（貫通孔の数や周方向間隔）が異なる場合にも適用が可能である。

上記実施の形態のチャックテーブル２０は肉厚が小さい外周部２６を周縁に有しているが、周縁まで肉厚が一定の（保持面２４から段差面２７までが面一となるような）チャックテーブルの載置にも適用が可能である。上記実施の形態では、中間保持部材５０の棒状部５３がチャックテーブル２０の貫通孔２８から下方に突出している。別言すれば、棒状部５３の長さに余裕があるため、図示のチャックテーブル２０よりも周縁部の肉厚が大きい（貫通孔が深い）チャックテーブルの載置にも中間保持部材５０をそのまま利用することができる。

上記実施の形態では、中間保持部材５０と異なる構成の最下段保持部材４０を用いて、最下段のチャックテーブル２０Ａの安定性を向上させているが、最下段のチャックテーブル２０Ａの支持を中間保持部材５０と同様の部材で行うことも可能である。この場合、中間保持部材５０から下方に突出する棒状部５３が支持面Ｇ（図２）と干渉することを防ぐべく、棒状部５３を備えないタイプの中間保持部材５０を準備するか、支持面Ｇ上に棒状部５３を挿入可能な孔を形成するとよい。

また、最下段保持部材４０の変形例として、固定ネジ４５による固定に変わる構成を採用してもよい。例えば、固定ネジ４５のようなネジではなく、外面にネジが形成されていない棒状の部材を、最下段のチャックテーブル２０Ａの貫通孔２８を通して最下段保持部材４０に挿入させてもよい。この場合、最下段保持部材４０に設けるのは、ネジ孔４４ではなく、内面にネジを有さないシンプルな孔とすることができる。

最下段保持部材４０のさらに異なる変形例として、ネジ孔４４に代えて、上方に突出する棒状の突起を設けてもよい。この突起は、最下段のチャックテーブル２０Ａの貫通孔２８に対して下方から挿入されて、チャックテーブル２０Ａの水平方向の位置を安定させる。さらに、当該突起の外面に雄ネジを形成して、貫通孔２８から上方に突出した突起に対してナットを螺合させる構成にしてもよい。ナットによって上方へのチャックテーブル２０Ａの移動が規制されて、上下方向にチャックテーブル２０Ａを安定させることができる。

上記実施の形態では、各チャックテーブル２０に１２個の貫通孔２８が形成されているが、貫通孔の数は１２個以外でもよい。但し、中間保持部材５０のようなチャックテーブル載置治具を挿入させるために、各チャックテーブルは少なくとも３つ以上の貫通孔を備えるものとする。

上記実施の形態のチャックテーブル２０は、研削装置のチャックテーブルベース１０に取り付けられるが、研削装置以外の加工装置（例えば切削装置等）に搭載されるチャックテーブルの載置にも本発明は適用が可能である。また、チャックテーブルに吸引保持されて加工される被加工物の種類や大きさも限定されない。

また、本発明の各実施の形態を説明したが、本発明の他の実施の形態として、上記実施の形態及び変形例を全体的又は部分的に組み合わせたものでもよい。

また、本発明の実施の形態は上記の実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。さらには、技術の進歩又は派生する別技術によって、本発明の技術的思想を別の仕方で実現することができれば、その方法を用いて実施されてもよい。したがって、特許請求の範囲は、本発明の技術的思想の範囲内に含まれ得る全ての実施形態をカバーしている。

以上説明したように、本発明のチャックテーブル載置治具によれば、表裏の面にダメージを与えることなく複数のチャックテーブルを省スペースに載置可能であり、チャックテーブルの保管スペースに制約がある作業環境等で特に有用である。

１０ ：チャックテーブルベース
１１ ：回転駆動部
１３ ：ネジ孔
２０ ：チャックテーブル
２１ ：吸引部
２２ ：外枠部
２４ ：保持面（チャックテーブルの上面）
２５ ：載置面
２６ ：外周部
２７ ：段差面
２８ ：貫通孔
２８ａ ：大径部
２８ｂ ：小径部
３０ ：固定ネジ
４０ ：最下段保持部材（チャックテーブル載置治具）
４１ ：台座部
４２ ：接地部
４３ ：載置面
４４ ：ネジ孔
４５ ：固定ネジ
５０ ：中間保持部材（チャックテーブル載置治具）
５１ ：小径部
５２ ：大径部
５３ ：棒状部
５４ ：弾性体
Ｇ ：支持面
Ｗ ：被加工物

Claims (2)

1. 被加工物を上面に吸引保持する吸引部と該吸引部を囲繞する外枠部とから構成される円板形状のチャックテーブルを複数枚上下に重ねて載置するためのチャックテーブル載置治具であって、
   チャックテーブルの外枠部には、加工装置のチャックテーブルベースにネジ固定するための貫通孔が３つ以上形成され、
   下に載置されるチャックテーブルの該外枠部の該貫通孔に挿入すると共に上に載置されるチャックテーブルの該外枠部に下方から当接して上下のチャックテーブル間を離間させて保持する少なくとも３つの中間保持部材を備え、
   最下段のチャックテーブルの上部には該中間保持部材を介して複数のチャックテーブルを載置することを特徴とする、チャックテーブル載置治具。
2. 最下段の該チャックテーブルの該外枠部を下方から当接して載置場所に載置する少なくとも３つの最下段保持部材を更に備え、
   該最下段保持部材に保持された最下段のチャックテーブルの上部には該中間保持部材を介して複数のチャックテーブルを載置する、請求項１記載のチャックテーブル載置治具。

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