JP2019128169A - 光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】試料との接触を抑制し、外観検査装置の小型化を可能とする光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法を提供する。【解決手段】外観検査装置に用いられる光伝送体１であって、Ｘ方向に近接して配置された複数の第１レンズ２ａと、前記Ｘ方向と交わるＺ方向に沿って、複数の前記第１レンズ２ａと離間して設けられ、前記Ｘ方向に近接して配置された複数の第２レンズ２ｂと、複数の前記第１レンズ２ａと、複数の前記第２レンズ２ｂとの間に設けられた複数の遮光体３と、複数の前記第１レンズ２ａ、複数の前記第２レンズ２ｂ、及び複数の前記遮光体３を収める筐体４と、を備えることを特徴とする。【選択図】図２

Description

本発明は、光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法に関する。

従来、フィルム等の欠陥を検査する装置として、フィルムの幅方向（Ｘ方向）を一度に検査できる外観検査装置が用いられる。外観検査装置の検出精度を向上させるため、例えば特許文献１では、信頼性の高い外観検査システムが開示されている。また、例えば特許文献２では、１つの検出手段で可能にするピンホール検査方法等が開示されている。

特許文献１では、１方向に長いライン照明を行うライン照明装置において、１又は２以上の発光部を有する光源部と、この光源部から出射した光を平行光に変換する前段光学部と、この前段光学部から出射した平行光を複数のライン状の小光源部に変換して多光源化する多光源化部と、各小光源部から出射した各光を集光し、ライン照明に変換して照射対象面に照射する後段光学系とを備える旨が開示されている。

特許文献２では、被検査物である遮光性フィルムに光を照射する光照射工程と、前記光照射工程にて、複数のセグメントに分割された光源から、セグメント毎に異なる単色光が照射された結果、前記遮光性フィルムのどこかで光が透過した場合に、ロッドレンズアレイによって集光される集光工程と、前記集光工程にて、集光された光が検出部の全ての分光手段に入射され、前記分光手段に備えられた光センサによって検出される検出工程と、前記検出工程にて、どのセグメントで光が検出されたかを判定し、ピンホールの位置を特定する位置特定工程とからなり、前記光照射工程から前記位置特定工程までの全ての工程が同時に実施されることを特徴とするピンホール検査方法が開示されている。

特開２０１６−６５７７１号公報 特開２０１３−１７４５２６号公報

ここで、外観検査装置特有の課題として、装置の小型化が挙げられる。この点、特許文献１に記載された外観検査装置では、小型化に伴い焦点距離が短くなる。このため、外観検査用試料と撮像装置との間の距離が短くなる。これにより、外観検査用試料が撮像装置に接触し、キズ等の欠陥を発生させる懸念が挙げられる。

また、特許文献２では、受光部側の光伝送体には、小型のロッドレンズが用いられている。このため、凸型レンズに比べて、共役長を極めて短くでき、外観検査装置の小型化を実施できる。しかしながら、ロッドレンズを用いた場合、共役長が短すぎる。このため、上述した特許文献１と同様に、ロッドレンズが試料と接触し、キズ等の欠陥を発生させる懸念が挙げられる。

特に、例えばフィルム等を搬送するような製造ライン上に外観検査装置が設けられた場合、フィルムのわずかな変動に伴い、フィルムが撮像装置等と接触する恐れがある。上記により、試料との接触を抑制し、外観検査装置を小型化できる光伝送体の実現が望まれている。

そこで本発明は、上述した問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的とするところは、試料との接触を抑制し、外観検査装置の小型化を可能とする光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法を提供することにある。

第１発明に係る光伝送体は、外観検査装置に用いられる光伝送体であって、第１方向に近接して配置された複数の第１レンズと、前記第１方向と交わる第２方向に沿って、複数の前記第１レンズと離間して設けられ、前記第１方向に近接して配置された複数の第２レンズと、複数の前記第１レンズと、複数の前記第２レンズとの間に設けられた複数の遮光体と、複数の前記第１レンズ、複数の前記第２レンズ、及び複数の前記遮光体を収める筐体と、を備えることを特徴とする。

第２発明に係る光伝送体は、第１発明において、前記筐体は、複数の前記第１レンズのそれぞれに近接して形成された複数の第１孔と、複数の前記第２レンズのそれぞれに近接して形成された複数の第２孔と、を有することを特徴とする。

第３発明に係る光伝送体は、第２発明において、前記第２孔の直径は、前記第１孔の直径よりも大きいことを特徴とする。

第４発明に係る光伝送体は、第２発明又は第３発明において、前記第２方向から見て、前記第１孔は、前記第１レンズ、前記第２レンズ、及び前記第２孔と重なることを特徴とする。

第５発明に係る光伝送体は、第２発明〜第４発明の何れかにおいて、前記第２方向から見て、前記第１孔は、前記遮光体と離間することを特徴とする。

第６発明に係る光伝送体は、第１発明〜第５発明の何れかにおいて、前記第１方向に沿って、前記第２レンズの長さは、前記遮光体の長さよりも長いことを特徴とする。

第７発明に係る光伝送体は、第１発明〜第６発明の何れかにおいて、複数の前記第１レンズの間に設けられた複数の第１遮光部と、複数の前記第２レンズの間に設けられた複数の第２遮光部と、をさらに備え、前記遮光体は、前記第１遮光部と、前記第２遮光部との間に設けられることを特徴とする。

第８発明に係る外観検査装置は、光を放射する光源部と、外観検査用試料を反射又は透過した前記光を伝送する光伝送体と、前記光伝送体から伝送された前記光を受光する受光部と、を備え、前記光伝送体は、第１方向に近接して配置された複数の第１レンズと、前記第１方向と交わる第２方向に沿って、複数の前記第１レンズと離間して設けられ、前記第１方向に近接して配置された複数の第２レンズと、複数の前記第１レンズと、複数の前記第２レンズとの間に設けられた複数の遮光体と、複数の前記第１レンズ、複数の前記第２レンズ、及び複数の前記遮光体を収める筐体と、を有することを特徴とする。

第９発明に係る外観検査装置は、前記受光部は、複数の受光素子を有し、前記第２方向において、複数の前記第１レンズのうち１つ、及び複数の前記第２レンズのうち１つは、前記外観検査用試料と、少なくとも１つの前記受光素子との間に設けられることを特徴とする。

第１０発明に係る外観検査方法は、光源部から光を放射する放射工程と、外観検査用試料を反射又は透過した前記光を、光伝送体を介して伝送させる光伝送工程と、前記光伝送体から伝送された前記光を、受光部に受光させる受光工程と、を備え、前記光伝送体は、第１方向に近接して配置された複数の第１レンズと、前記第１方向と交わる第２方向に沿って、複数の前記第１レンズと離間して設けられ、前記第１方向に近接して配置された複数の第２レンズと、複数の前記第１レンズと、複数の前記第２レンズとの間に設けられた複数の遮光体と、複数の前記第１レンズ、複数の前記第２レンズ、及び複数の前記遮光体を収める筐体と、を有することを特徴とする。

第１発明〜第１０発明によれば、複数の第２レンズは、第２方向に沿って複数の第１レンズと離間して設けられる。このため、光伝送体を経由する光の焦点距離を長くすることができる。これにより、試料と接触しない位置に光伝送体を設けることができ、光伝送体を用いた外観検査装置の小型化が可能である。

また、第１発明〜第１０発明によれば、複数の遮光体は、複数の第１レンズと、複数の第２レンズとの間に設けられる。このため、各第１レンズの端部から出射した光は、近接する第１レンズから出射した光と干渉せず、各第２レンズの端部に入射する。これにより、複数の第１レンズを並列に配置することが容易に実現できる。

特に、第２発明によれば、筐体は、複数の第１孔と、複数の第２孔とを有する。このため、各孔を介した光の入射以外を遮断することができる。これにより、光伝送の精度を向上させることが可能となる。

特に、第３発明によれば、第２孔の直径は、第１孔の直径よりも大きい。このため、筐体内に入射する光を最小限に抑制することができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能となる。

特に、第４発明によれば、第２方向から見て、第１孔は、第１レンズ、第２レンズ、及び第２孔と重なる。このため、各第１孔から入射した光と、他の第１孔から入射した光との干渉を抑制することができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能となる。

特に、第５発明によれば、第２方向から見て、第１孔は、遮光体と離間する。このため、第１レンズから出射した光に対し、遮光体によって遮光する光量を抑制することができる。これにより、光伝送体を経由した光の光量の低下を抑制することが可能となる。

特に、第６発明によれば、第１方向に沿って、第２レンズの長さは、遮光体の長さよりも長い。このため、第１レンズから出射した光に対し、遮光体によって遮光する光量を抑制することができる。これにより、光伝送体を経由した光の光量の低下をさらに抑制することが可能となる。

特に、第７発明によれば、複数の第１レンズの間に設けられた複数の第１遮光部と、複数の第２レンズの間に設けられた複数の第２遮光部と、をさらに備える。このため、第１レンズの間及び第２レンズの間を経由する光を抑制することができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能となる。

特に、第７発明によれば、複数の第１レンズのうち１つ、及び複数の第２レンズのうち１つは、外観検査用試料と、少なくとも１つの受光素子との間に設けられる。このため、試料を介して各第１レンズに入射した光を少なくとも１つの受光素子に受光させることができる。これにより、各受光素子には、試料の所定位置に対応した光を受光させることができ、外観検査装置の検出精度を向上させることが可能である。また、１つの第１レンズ及び１つの第２レンズに対して複数の受光素子を配置することもできる。これにより、検出精度をさらに向上させることが可能である。

本実施形態における外観検査装置の一例を示す模式断面図である。 本実施形態における光伝送体の一例を示す模式断面図である。 本実施形態における光伝送体の他の例を示す模式断面図である。 本実施形態における外観検査方法の一例を示すフローチャートである。 図５（ａ）は、本実施形態における光伝送体の第１変形例を示す模式斜視図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）の５Ｂ−５Ｂ線に対応する模式断面図であり、図５（ｃ）は、第１変形例におけるレンズ及び遮光部の一例を示す模式斜視図である。 図６（ａ）及び図６（ｂ）は、本実施形態における光伝送体の第２変形例を示す模式斜視図である。

以下、本実施形態における光伝送体及び外観検査装置の一例について説明する。

図１は、本実施形態における外観検査装置７の一例を示す模式断面図である。図１以降では、外観検査用試料６（例えばフィルム：以下試料６とする）の幅方向をＸ方向（第１方向）とし、試料６の長さ方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と交わる方向をＺ方向（第２方向）とする。

図１に示すように、光伝送体１は、外観検査装置７内に設けられる。外観検査装置７は、試料６上に設けられ、試料６のＸ方向に延びる。外観検査装置７は、例えば光源部７１と、受光部７２とを備える他、例えば図示しない制御部等、入力部、及び出力部を備えてもよい。

光源部７１は、光を放射する。光源部７１は、試料６上に設けられる他、試料６下に設けられてもよい。光源部７１は、光を放射する任意の構成を備え、例えば複数のＬＥＤ素子を有する。光源部７１から放射される光の有する波長は任意であり、例えば３６０ｎｍ〜８３０ｎｍ程度の可視光領域の波長を有する。

受光部７２は、光伝送体１から伝送された光を受光する。受光部７２は、試料６上に設けられ、複数の受光素子７２ａを有する。受光素子７２ａとして、光を受光する任意の構成を備え、例えばＣＣＤが用いられる。

光伝送体１は、試料６を反射又は透過した光を伝送する。光伝送体１は、試料６と、受光部７２との間に設けられる。光伝送体１は、複数のレンズ２と、複数の遮光体３と、筐体４とを備える。Ｚ方向において、複数のレンズ２のそれぞれは、試料６と、少なくとも１つの受光素子７２ａとの間に設けられる。複数のレンズ２は、Ｘ方向に近接して複数配置される。

外観検査装置７は、試料６の表面（外観）に形成された欠陥等を検出し、出力部等に出力する。外観検査装置７は、Ｘ方向における試料６の外観を同時に検査することができる。外観検査装置７は、例えば試料６をＹ方向に搬送するライン上に設けられ、Ｙ方向における試料６の外観を連続的に検査することができる。

図２は、本実施形態における光伝送体１の一例を示す模式断面図である。図２に示すように、複数のレンズ２は、複数の第１レンズ２ａと、複数の第２レンズ２ｂとを有する。複数の第１レンズ２ａは、Ｘ方向に近接して配置される。複数の第２レンズ２ｂは、Ｚ方向に沿って、複数の第１レンズ２ａと離間して設けられる。複数の第２レンズ２ｂは、Ｘ方向に近接して配置される。複数の第１レンズ２ａ及び複数の第２レンズ２ｂは、例えばＹ方向に近接して配置されてもよい。

レンズ２は、例えば凸型レンズである。レンズ２として、試料６を介した光を透過できる材料が用いられ、例えばアクリル樹脂等の合成樹脂や、無機ガラスが用いられる。Ｘ方向に沿って、第１レンズ２ａの長さＬ１は、例えば第２レンズ２ｂの長さＬ２と等しい。長さＬ１、Ｌ２は、例えば３ｍｍ〜１５ｍｍ程度である。Ｚ方向に沿って、レンズ２の高さは、例えば５ｍｍ〜１５ｍｍ程度である。第１レンズ２ａと、第２レンズ２ｂとの間の距離は、３ｍｍ〜９０ｍｍ程度である。上述した各条件は、検査条件に応じて任意に設定できる。

Ｚ方向において、複数の第１レンズ２ａのうち１つ、及び複数の第２レンズ２ｂのうち１つは、例えば試料６と、少なくとも１つの前記受光素子７２ａとの間に設けられる

複数の遮光体３は、複数の第１レンズ２ａと、複数の第２レンズ２ｂとの間に設けられる。例えばＸ方向に沿って、第２レンズ２ｂの長さＬ２は遮光体３の長さＬ３よりも長く、第１レンズ２ａの長さＬ１は遮光体３の長さＬ３よりも長い。遮光体３として、レンズ２に入射した光を遮光する材料が用いられる。遮光体３は、例えば光吸収剤、光反射剤、光散乱剤等を有する樹脂を含むほか、例えばアルミニウム等の材料を用いて形成されてもよい。

筐体４は、複数の第１レンズ２ａ、複数の第２レンズ２ｂ、及び複数の遮光体３を収める。筐体４は、例えば複数の第１レンズ２ａ、複数の第２レンズ２ｂ、及び複数の遮光体３を支持する。筐体４は、例えば複数の第１レンズ２ａのそれぞれに近接して形成された複数の第１孔４ａと、複数の第２レンズ２ｂのそれぞれに近接して形成された複数の第２孔４ｂとを有する。第１レンズ２ａ及び第２レンズ２ｂの一部は、例えば筐体４から露出してもよい。１つの筐体４に複数の第１レンズ２ａ、複数の第２レンズ２ｂ、及び複数の遮光体３を収めることで、光伝送体１を小さく形成することができ、外観検査装置７の小型化を実現することが可能となる。

第２孔４ｂの直径Ｒ２は、例えば第１孔４ａの直径Ｒ１よりも大きい。Ｚ方向から見て、例えば第１孔４ａは、第１レンズ２ａ、第２レンズ２ｂ、及び第２孔４ｂと重なる。Ｚ方向から見て、例えば第１孔４ａは、遮光体３と離間する。Ｘ方向に沿って、筐体４の長さは、例えば１００ｍｍ〜３００ｍｍ程度であり、試料６の幅に応じて複数配置されてもよい。Ｚ方向に沿って、筐体４の高さは、例えば１５ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。Ｙ方向に沿って、筐体４の長さは、例えば１５ｍｍ〜１００ｍｍ程度である。

図２の破線矢印に示すように、第１孔４ａには、例えば試料６を介した光が通過する。第１レンズ２ａには、第１孔４ａを通過した光が入射する。第１レンズ２ａの一端から入射した光が他端に放射するとき、試料６に対して倒立像を形成する光が放射する。

第２レンズ２ｂには、第１レンズ２ａから出射した光が入射する。第２レンズ２ｂの一端から入射した光が他端に放射するとき、試料６に対して正立像を形成する光が放射する。第２孔４ｂには、第２レンズ２ｂから出射した光が通過する。このため、受光部７２には、試料６に対して正立像を形成する光を入射させることができる。

なお、各レンズ２から出射される光の倍率は、例えばレンズ２のＺ方向の高さ、両端部の曲率半径、第１レンズ２ａと試料６との間の距離、第１レンズ２ａと第２レンズ２ｂとの間の距離、及び第２レンズ２ｂと受光素子７２ａとの間の距離により、任意に制御できる。

遮光体３は、各第１レンズ２ａの他端から出射した光を各第２レンズ２ｂの一端に入射させるとき、近接する第１レンズ２ａの他端から出射した光との干渉を抑制することができる。すなわち、遮光体３は、第１レンズ２ａの他端から出射した光を、Ｚ方向に配置された１つの第２レンズ２ｂのみに入射させることができる。

図３は、本実施形態における光伝送体１の他の例を示す模式断面図である。図３に示すように、光伝送体１は、例えば複数の第１レンズ２ａの間に設けられた複数の第１遮光部３ａと、複数の第２レンズ２ｂの間に設けられた複数の第２遮光部３ｂとをさらに備えてもよい。このとき、遮光体３は、第１遮光部３ａと、第２遮光部３ｂとの間に設けられる。

次に、図４を参照して、本実施形態における外観検査方法の一例について説明する。図４は、本実施形態における外観検査方法の一例を示すフローチャートである。

先ず、外観検査装置７は、制御部等からの制御により、光源部７１から光を放射する（放射工程：ステップＳ１１０）。放射された光は試料６に達し、試料６を反射する。

次に、試料６を反射した光は、光伝送体１を経由して、受光部７２側に伝送される（光伝送工程：ステップＳ１２０）。試料６を反射した光は、第１孔４ａを通過し、第１レンズ２ａに入射して出射する。その後、第１レンズ２ａから出射した光は、第２レンズ２ｂに入射して出射する。その後、第２レンズ２ｂから出射した光は、第２孔４ｂを通過し、受光部７２に達する。

次に、光伝送体１内で伝送された光は、受光素子７２ａに達し、受光される（受光工程：ステップＳ１３０）。受光部７２は、受光素子７２ａに達した光に対応する信号を、制御部等に送信する。これにより、制御部等に送信された信号に基づき、試料６の外観の状態を検出し、外観検査を行うことができる。

なお、外観検査装置７は、試料６を反射した光に基づいた外観検査の他、例えば試料６を透過した光に基づいた検査も行うことができる。この場合、光源部７１は、試料６下に設けられる。

本実施形態によれば、複数の第２レンズ２ｂは、Ｚ方向に沿って複数の第１レンズ２ａと離間して設けられる。このため、光伝送体１を経由する光の焦点距離を長くすることができる。これにより、試料６と接触しない位置に光伝送体１を設けることができ、光伝送体１を用いた外観検査装置７の小型化が可能である。例えば、試料６と光伝送体１との間の距離は、２０ｍｍ以上１００ｍｍ以下の間で任意に設定することができる。

また、本実施形態によれば、複数の遮光体３は、複数の第１レンズ２ａと、複数の第２レンズ２ｂとの間に設けられる。このため、各第１レンズ２ａの端部から出射した光は、近接する第１レンズ２ａから出射した光と干渉せず、各第２レンズ２ｂの端部に入射する。これにより、複数の第１レンズ２ａを並列に配置することが容易に実現できる。

特に、本実施形態によれば、筐体４は、複数の第１孔４ａと、複数の第２孔４ｂとを有する。このため、各孔４ａ、４ｂを介した光の入射以外を遮断することができる。これにより、光伝送の精度を向上させることが可能となる。

特に、本実施形態によれば、第２孔４ｂの直径Ｌ２は、第１孔４ａの直径Ｌ１よりも大きい。このため、筐体４内に入射する光を最小限に抑制することができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能となる。

特に、本実施形態によれば、Ｚ方向から見て、第１孔４ａは、第１レンズ２ａ、第２レンズ２ｂ、及び第２孔４ｂと重なる。このため、各第１孔４ａから入射した光と、他の第１孔４ａから入射した光との干渉を抑制することができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能となる。

特に、本実施形態によれば、Ｚ方向から見て、第１孔４ａは、遮光体３と離間する。このため、第１レンズ２ａから出射した光に対し、遮光体３によって遮光する光量を抑制することができる。これにより、光伝送体１を経由した光の光量の低下を抑制することが可能となる。

特に、本実施形態によれば、Ｘ方向に沿って、第２レンズ２ｂの長さＬ２は、遮光体３の長さＬ３よりも長い。このため、第１レンズ２ａから出射した光に対し、遮光体３によって遮光する光量を抑制することができる。これにより、光伝送体１を経由した光の光量の低下をさらに抑制することが可能となる。

特に、本実施形態によれば、複数の第１レンズ２ａの間に設けられた複数の第１遮光部３ａと、複数の第２レンズ２ｂの間に設けられた複数の第２遮光部３ｂと、をさらに備える。このため、第１レンズ２ａの間及び第２レンズ２ｂの間を経由する光を抑制することができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能となる。

特に、本実施形態によれば、複数の第１レンズ２ａのうち１つ、及び複数の第２レンズ２ｂのうち１つは、外観検査用試料６と、少なくとも１つの受光素子７２ａとの間に設けられる。このため、試料６を介して各第１レンズ２ａに入射した光を少なくとも１つの受光素子７２ａに受光させることができる。これにより、各受光素子７２ａには、試料６の所定位置に対応した光を受光させることができ、外観検査装置７の検出精度を向上させることが可能である。また、１つの第１レンズ２ａ及び１つの第２レンズ２ｂに対して複数の受光素子７２ａを配置することもできる。これにより、検出精度をさらに向上させることが可能である。

次に、図５及び図６を参照して、本実施形態における光伝送体１及び外観検査装置７の第１変形例及び第２変形例について説明する。

図５（ａ）は、本実施形態における光伝送体１の第１変形例を示す模式斜視図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）の５Ｂ−５Ｂ線に対応する模式断面図であり、図５（ｃ）は、第１変形例におけるレンズ２及び遮光部３０の一例を示す模式斜視図である。

上述した光伝送体１及び外観検査装置７と、第１変形例及び第２変形例との違いは、レンズ２が柱状を有する点、及び遮光部３０を有する点である。なお、上述した説明と等しい構成については、説明を省略する。また、上述した第１レンズ２ａ及び第２レンズ２ｂの少なくとも何れかが、以下の形状を有してもよい。

図５（ａ）〜図５（ｃ）に示すように、レンズ２は、Ｚ方向に両端部（一端２１、他端２２）を有する。両端部２１、２２は、突出した曲面を有し、例えばＸ方向に曲面を有するシリンドリカル状である。レンズ２の形状は、例えば角柱状である。レンズ２として、試料６を介した光を透過できる材料が用いられ、例えばアクリル樹脂等の合成樹脂や、無機ガラスが用いられる。

レンズ２の一端２１から入射した光が他端２２に放射するとき、例えば試料６に対して等倍率で倒立像を形成する光が出射する。レンズ２から出射される光の倍率は、例えばレンズ２のＺ方向の長さ、両端部２１、２２の曲率半径、試料６と一端２１との間の距離、第１レンズ２ａと第２レンズ２ｂとの間の距離、及び他端２２と受光素子７２ａとの間の距離により、任意に制御できる。

遮光部３０は、例えば両端部２１、２２を除いたレンズ２の側面に接し、Ｚ方向に延びる。遮光部３０は、薄膜状の他、例えばレンズ２の側面に塗布法や蒸着法等により形成されてもよい。遮光部３０として、レンズ２に入射した光を遮光する材料が用いられる。遮光部３０は、例えば光吸収剤、光反射剤、光散乱剤等を有する樹脂を含むほか、例えばアルミニウム等の材料を用いて形成されてもよい。

光伝送体１は、例えば保持部５を有してもよい。保持部５は、レンズ２及び遮光部３０の配置状態を保持する。保持部５として、例えばレンズ２に入射した光を遮光する材料が用いられる。保持部５は、例えば光吸収剤、光反射剤、光散乱剤等を有する樹脂を含む。

図６（ａ）及び図６（ｂ）は、本実施形態における光伝送体１の第２変形例を示す模式斜視図である。

図６（ａ）に示すように、レンズ２は、例えばＸ方向に加えてＹ方向にも複数配置されてもよい。この場合、遮光部３０は、Ｙ方向に配置されたレンズ２の間にも設けられる。この構成により、試料６上に形成され、Ｙ方向に延びるスジ状の欠陥等を容易に検出することが可能となる。なお、Ｘ方向及びＹ方向にレンズ２を配置する数は、任意である。

図６（ｂ）に示すように、レンズ２の形状は、例えば円柱状でもよい。この場合、両端部２１、２２は、凸状である。例えば、円柱状のレンズ２は、ＸＹ平面上において千鳥格子状に配置されてもよい。

本変形例によれば、上述した実施形態と同様に、複数の第２レンズ２ｂは、Ｚ方向に沿って複数の第１レンズ２ａと離間して設けられる。このため、光伝送体１を経由する光の焦点距離を長くすることができる。これにより、試料６と接触しない位置に光伝送体１を設けることができ、光伝送体１を用いた外観検査装置７の小型化が可能である。

また、本変形例によれば、上述した実施形態と同様に、複数の遮光体３は、複数の第１レンズ２ａと、複数の第２レンズ２ｂとの間に設けられる。このため、各第１レンズ２ａの端部から出射した光は、近接する第１レンズ２ａから出射した光と干渉せず、各第２レンズ２ｂの端部に入射する。これにより、複数の第１レンズ２ａを並列に配置することが容易に実現できる。

本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

１…光伝送体、
２…レンズ、
２ａ…第１レンズ、
２ｂ…第２レンズ、
２１…一端、
２２…他端、
３…遮光体、
３ａ…第１遮光部、
３ｂ…第２遮光部、
３０…遮光部、
４…筐体、
５…保持部
６…試料、
７…外観検査装置、
７１…光源部、
７２…受光部、
７２ａ…受光素子

Claims (10)

1. 外観検査装置に用いられる光伝送体であって、
   第１方向に近接して配置された複数の第１レンズと、
   前記第１方向と交わる第２方向に沿って、複数の前記第１レンズと離間して設けられ、前記第１方向に近接して配置された複数の第２レンズと、
   複数の前記第１レンズと、複数の前記第２レンズとの間に設けられた複数の遮光体と、
   複数の前記第１レンズ、複数の前記第２レンズ、及び複数の前記遮光体を収める筐体と、
   を備えることを特徴とする光伝送体。
2. 前記筐体は、
   複数の前記第１レンズのそれぞれに近接して形成された複数の第１孔と、
   複数の前記第２レンズのそれぞれに近接して形成された複数の第２孔と、
   を有すること
   を特徴とする請求項１記載の光伝送体。
3. 前記第２孔の直径は、前記第１孔の直径よりも大きいこと
   を特徴とする請求項２記載の光伝送体。
4. 前記第２方向から見て、前記第１孔は、前記第１レンズ、前記第２レンズ、及び前記第２孔と重なること
   を特徴とする請求項２又は３記載の光伝送体。
5. 前記第２方向から見て、前記第１孔は、前記遮光体と離間すること
   を特徴とする請求項２〜４の何れか１項記載の光伝送体。
6. 前記第１方向に沿って、前記第２レンズの長さは、前記遮光体の長さよりも長いこと
   を特徴とする請求項１〜５の何れか１項記載の光伝送体。
7. 複数の前記第１レンズの間に設けられた複数の第１遮光部と、
   複数の前記第２レンズの間に設けられた複数の第２遮光部と、
   をさらに備え、
   前記遮光体は、前記第１遮光部と、前記第２遮光部との間に設けられること
   を特徴とする請求項１〜６の何れか１項記載の光伝送体。
8. 光を放射する光源部と、
   外観検査用試料を反射又は透過した前記光を伝送する光伝送体と、
   前記光伝送体から伝送された前記光を受光する受光部と、
   を備え、
   前記光伝送体は、
   第１方向に近接して配置された複数の第１レンズと、
   前記第１方向と交わる第２方向に沿って、複数の前記第１レンズと離間して設けられ、前記第１方向に近接して配置された複数の第２レンズと、
   複数の前記第１レンズと、複数の前記第２レンズとの間に設けられた複数の遮光体と、
   複数の前記第１レンズ、複数の前記第２レンズ、及び複数の前記遮光体を収める筐体と、
   を有すること
   を特徴とする外観検査装置。
9. 前記受光部は、複数の受光素子を有し、
   前記第２方向において、複数の前記第１レンズのうち１つ、及び複数の前記第２レンズのうち１つは、前記外観検査用試料と、少なくとも１つの前記受光素子との間に設けられること
   を特徴とする請求項８記載の外観検査装置。
10. 光源部から光を放射する放射工程と、
    外観検査用試料を反射又は透過した前記光を、光伝送体を介して伝送させる光伝送工程と、
    前記光伝送体から伝送された前記光を、受光部に受光させる受光工程と、
    を備え、
    前記光伝送体は、
    第１方向に近接して配置された複数の第１レンズと、
    前記第１方向と交わる第２方向に沿って、複数の前記第１レンズと離間して設けられ、前記第１方向に近接して配置された複数の第２レンズと、
    複数の前記第１レンズと、複数の前記第２レンズとの間に設けられた複数の遮光体と、
    複数の前記第１レンズ、複数の前記第２レンズ、及び複数の前記遮光体を収める筐体と、
    を有すること
    を特徴とする外観検査方法。

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