JP2019155332A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、付着物を除去する効果の高い(c)アルカリ水による洗浄が行われた後、(a)硬度成分含有水による洗浄が行われ、最後にすすぎとして(b)純水による洗浄が行われる。
図1または図2に示す洗浄装置を用いて、洗浄対象物として油分付着量の異なるガラスビーカーの洗浄を行った。用いた各洗浄用液体の詳細を表1に示す。油分付着度合い測定手段として、洗浄排液に185nmの紫外線を含むUV照射によって油分の光酸化を行った後に導電率を測定する導電率測定装置(オルガノ株式会社製、RG12)を用いた。表2に示すように、少量のアルカリ水(100mL/min×1min)で洗浄した後、洗浄排液について導電率の測定を行った後、導電率の測定値に応じて運転工程を変更して洗浄を行った(実施例1〜3)。比較例1では、図3に示すようなアルカリ水を用いない従来の洗浄装置5を用いて洗浄を行った。比較例1に対する実施例1〜3の水の使用量の比を表2に示す。
Claims (8)
- 液体を用いて洗浄対象物を洗浄する洗浄装置であって、
前記液体として、少なくとも(1)アルカリ水と純水との組み合わせ、(2)アルカリ水と硬度成分含有水と純水との組み合わせ、(3)アルカリ水と界面活性剤含有水と硬度成分含有水と純水との組み合わせのうちの少なくとも1つの組み合わせを用いることを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1に記載の洗浄装置であって、
前記洗浄対象物に油分が付着しており、前記洗浄対象物の油分の付着度合いに応じて、用いる液体の前記組み合わせを選択し、前記組み合わせ内の洗浄順序を切り替えることを特徴とする洗浄装置。 - 請求項2に記載の洗浄装置であって、
前記洗浄対象物の油分の付着度合いを測定するための、洗浄排液のUV酸化後の導電率を測定する導電率測定手段を備えることを特徴とする洗浄装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の洗浄装置であって、
前記液体として前記(2)または(3)の組み合わせを用いる場合、前記硬度成分含有水として、逆浸透膜装置の濃縮水を含む水を用いることを特徴とする洗浄装置。 - 液体を用いて洗浄対象物を洗浄する洗浄方法であって、
前記液体として、少なくとも(1)アルカリ水と純水との組み合わせ、(2)アルカリ水と硬度成分含有水と純水との組み合わせ、(3)アルカリ水と界面活性剤含有水と硬度成分含有水と純水との組み合わせのうちの少なくとも1つの組み合わせを用いることを特徴とする洗浄方法。 - 請求項5に記載の洗浄方法であって、
前記洗浄対象物に油分が付着しており、前記洗浄対象物の油分の付着度合いに応じて、用いる液体の前記組み合わせを選択し、前記組み合わせ内の洗浄順序を切り替えることを特徴とする洗浄方法。 - 請求項6に記載の洗浄方法であって、
前記洗浄対象物の油分の付着度合いを測定するために、洗浄排液のUV酸化後の導電率を測定することを特徴とする洗浄方法。 - 請求項5〜7のいずれか1項に記載の洗浄方法であって、
前記液体として前記(2)または(3)の組み合わせを用いる場合、前記硬度成分含有水として、逆浸透膜装置の濃縮水を含む水を用いることを特徴とする洗浄方法。
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2018
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