JP2020003366A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 柔軟であり、外面の少なくとも一部が不透明な包装材の内部の異物を検査する異物検査装置であって、
   不透明な前記外面を平坦化する平坦化機構と、
   二次元走査しつつ平坦化された前記外面にテラヘルツ光を照射するテラヘルツ光照射部と、
   前記テラヘルツ光が反射された戻り光を受光するテラヘルツ光受光部と、
   を備える、
   異物検査装置。
2. 前記平坦化機構は、前記包装材を牽引して張力を付与する張力付与部である、
   請求項１に記載の異物検査装置。
3. 中央部に空間を有するステージをさらに備え、
   前記張力付与部が、前記ステージに取り付けられている、
   請求項２に記載の異物検査装置。
4. 前記包装材に反射した可視光を受光する可視光受光部をさらに備える、
   請求項１に記載の異物検査装置。
5. 柔軟であり、外面の少なくとも一部が不透明な包装材の内部の異物を検査する異物検査方法であって、
   不透明な前記外面を平坦化する平坦化工程と、
   二次元走査しつつ平坦化された前記外面にテラヘルツ光を照射するテラヘルツ光照射工程と、
   前記テラヘルツ光が反射された戻り光を受光するテラヘルツ光受光工程と、
   を備える、
   異物検査方法。
6. 前記平坦化工程は、前記包装材を牽引して張力を付与する張力付与工程である、
   請求項５に記載の異物検査方法。
7. 前記包装材は、透明で柔軟な第一部材と、不透明かつ柔軟で滅菌ガスを透過可能な第二部材とで形成されている、請求項５に記載の異物検査方法。