JP2020007612A - 合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法及びその被膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】合成樹脂製多重ボトル10を、プラズマCVD装置1の処理室4に収容し、内容器体121の内側にプラズマを発生させて、内容器体121の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成する合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、外殻ボトル111の外側の第3真空度は、内容器体121内の第1真空度及び外殻ボトル111と内容器体121との間の第2真空度に対して外殻ボトル111が潰れない程度の真空度に設定されており、第1真空度及び第2真空度は1Pa〜50Paの範囲内の真空度であり、且つ、第1真空度と第2真空度との差は30Pa以下に設定されている。
【選択図】図1
Description
円筒状の外口部と、前記外口部に連接する筒状胴部と、を有し、押圧による変形に対して原形復帰可能な外殻ボトルと、
前記外殻ボトルの前記外口部の内側に配置される円筒状の内口部と、前記内口部に連接し、前記外殻ボトルの内面形状に沿う形状で、外殻ボトルの肉厚よりも薄肉で、押圧により変形する内容器体本体と、を有する内容器体と、
前記外口部と前記内口部との間に形成されて前記外殻ボトルと前記内容器体との間に外気を導入する通気路と、
を備える合成樹脂製多重ボトルを、処理室に収容して、
前記処理室内を所定の真空度に保持して、前記合成樹脂製多重ボトルの前記内容器体内に、出発原料を供給し、マイクロ波を照射することにより、前記内容器体の内側にプラズマを発生させて、前記内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成する合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記所定の真空度は、前記内容器体の内部の真空度である第1真空度と、前記外殻ボトルと内容器体との間の空間の真空度である第2真空度と、前記外殻ボトルの外側の真空度である第3真空度とに設定し、
前記第3真空度は、前記内容器体の内部でプラズマが発生し、前記外殻ボトルの外でのプラズマの発生を抑えることができる範囲の真空度であり、且つ、前記第1真空度及び前記第2真空度に対して前記外殻ボトルが潰れない程度の真空度に設定されており、
前記第1真空度及び前記第2真空度は1Pa〜50Paの範囲内の真空度であり、且つ、第1真空度と第2真空度との差は30Pa以下に設定されていることを特徴とする。
円筒状の外口部と、前記外口部に連接する筒状胴部と、を有し、押圧による変形に対して原形復帰可能な外殻ボトルと、
前記外殻ボトルの前記外口部の内周側に配置される円筒状の内口部と、前記内口部に連接し、前記外殻ボトルの内面形状に沿う形状で、外殻ボトルの肉厚よりも薄肉で、押圧により変形する内容器体本体と、を有する内容器体と、
前記外口部と前記内口部との間に形成されて前記外殻ボトルと前記内容器体との間に外気を導入する通気路と、
を備える合成樹脂製多重ボトルを、
所定の真空度に保持して、前記合成樹脂製多重ボトルの前記内容器体内に、前記出発原料供給部から出発原料を供給し、マイクロ波を照射することにより、前記内容器体の内側にプラズマを発生させて、前記内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成する合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記所定の真空度は、前記内容器体の内部の真空度である第1真空度と、前記外殻ボトルと内容器体との間の空間の真空度である第2真空度とに設定し、
前記第1真空度及び前記第2真空度は1つの真空装置によって1つの排気路から気体が排気されることにより真空度が設定されていることを特徴とする。
円筒状の外口部と、前記外口部に連接する筒状胴部と、を有し、押圧する変形に対して原形復帰可能な外殻ボトルと、
前記外殻ボトルの前記外口部の内周側に配置される円筒状の内筒部と、前記内口部に連接し前記外殻ボトルの内面形状に沿う形状で、外殻ボトルの肉厚よりも薄肉で、押圧により変形する内容器体本体と、を有する内容器体と、
前記外口部と前記内口部との間に形成されて前記外殻ボトルと前記内容器体との間に外気を導入する通気路と、
を備える合成樹脂製多重ボトルを、
処理室と、前記処理室内にマイクロ波を照射させるマイクロ波発生部と、前記処理室内の合成樹脂製多重ボトルの外殻ボトルの外側、外殻ボトルと内容器体との間の空間、及び内容器体の内側の真空度を制御する真空装置と、ガス状の炭化水素化合物を含む出発原料を供給する出発原料供給部と、を備えるプラズマCVD装置の前記処理室に収容し、前記真空装置で前記処理室内の前記合成樹脂製多重ボトルの外殻ボルトの外側、外殻ボトルと内容器体との間の空間、及び内容器体の内側を所定の真空度に保持して、前記合成樹脂製多重ボトルの前記内容器体内に、前記出発原料供給部から出発原料を供給し、前記マイクロ波発生部から前記処理室内にマイクロ波を照射することにより、前記内容器体の内側にプラズマを発生させて、前記内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成する合成樹脂製多重ボトルの被膜形成装置であって、
前記内容器体の内部の気体を排出する第1排気路と、
前記処理室内であって、前記外殻ボトルの外側に存在する気体を排出する第2排気路と、
前記通気路を介して前記外殻ボトルと前記内容器体との間の気体を排出する第3排気路と、
を備えることを特徴とする。
前記第1排気路は、前記第3排気路と連通させることにより、前記第3排気路としての機能を兼ね備え、前記合成樹脂製多重ボトルの前記通気路を介して前記外殻ボトルと前記内容器体との間の空間の気体も排出することを特徴とする。
比較例1では、内容器体の内面にアモルファス炭素被膜を形成していないポリエステル樹脂製多重ボトルを製造した。
比較例2では、図2に示すように、第2真空度専用の第3排気路24と真空ポンプ23とをプラズマCVD装置に設けて、第3排気路24と第1排気路としての貫通孔11aとが連通しないようにOリング14aを拡径部11bと内口部122の上縁との間に配置して第2真空度を45Paに設定した以外は、実施例1と全く同一にして、内面に厚さ450オングストロームのアモルファス炭素含有被膜を備えるポリエステル樹脂製多重ボトルを製造した。
比較例3では、真空ポンプ22で第3真空度を8000Paに設定した以外は、実施例1と全く同一にして、内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成しようとした。しかしながら、外殻ボトルが変形し、またプラズマが内容器体内で均一に発生せず、アモルファス炭素含有被膜を適切に形成することができなかった。
比較例4では、アモルファス炭素含有被膜の膜厚を80オングストロームになるようにマイクロ波の照射時間を設定した以外は、実施例1と全く同一にして、ポリエステル樹脂製多重ボトルを製造した。
比較例5では、アモルファス炭素含有被膜の膜厚を830オングストロームになるようにマイクロ波の照射時間を設定した以外は、実施例1と全く同一にして、ポリエステル樹脂製多重ボトルを製造した。
2 側壁
3 底板
4 処理室
5 マイクロ波発生装置
6 側壁
7 上壁
8 排気室
9 隔壁
10 ポリエステル樹脂製多重ボトル
11 口部保持具
11a 貫通孔
11b 拡径部
11c ボール
11e 環状弾性部材
12 排気孔
14 Oリング
14a Oリング
16 通気口
17 バルブ
18 開口
19 シール
20 ガス導入管
21 真空装置
22 真空装置
23 真空装置
24 第3排気路
111 外殻ボトル
112 外口部
114 筒状胴部
121 内容器体
122 内口部
124 内容器体本体
131 通気路
Claims (9)
- 円筒状の外口部と、前記外口部に連接する筒状胴部と、を有し、押圧による変形に対して原形復帰可能な外殻ボトルと、
前記外殻ボトルの前記外口部の内側に配置される円筒状の内口部と、前記内口部に連接し、前記外殻ボトルの内面形状に沿う形状で、外殻ボトルの肉厚よりも薄肉で、押圧により変形する内容器体本体と、を有する内容器体と、
前記外口部と前記内口部との間に形成されて前記外殻ボトルと前記内容器体との間に外気を導入する通気路と、
を備える合成樹脂製多重ボトルを、処理室に収容して、
前記処理室内を所定の真空度に保持して、前記合成樹脂製多重ボトルの前記内容器体内に、出発原料を供給し、マイクロ波を照射することにより、前記内容器体の内側にプラズマを発生させて、前記内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成する合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記所定の真空度は、前記内容器体の内部の真空度である第1真空度と、前記外殻ボトルと内容器体との間の空間の真空度である第2真空度と、前記外殻ボトルの外側の真空度である第3真空度とに設定し、
前記第3真空度は、前記内容器体の内部でプラズマが発生し、前記外殻ボトルの外でのプラズマの発生を抑えることができる範囲の真空度であり、且つ、前記第1真空度及び前記第2真空度に対して前記外殻ボトルが潰れない程度の真空度に設定されており、
前記第1真空度及び前記第2真空度は1Pa〜50Paの範囲内の真空度であり、且つ、第1真空度と第2真空度との差は30Pa以下に設定されていることを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法。 - 請求項1に記載の合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記内容器体本体が前記外殻ボトルに密着した状態で、内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成することを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記内容器体の中に、ガス状の炭化水素化合物を含む出発原料を、表面積当り0.1sccm/cm2の範囲の流量で供給し、合成樹脂製多重ボトルに150〜600Wの範囲のエネルギーのマイクロ波を0.3〜2.0秒の範囲の時間で照射することを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法。 - 請求項1から請求項3の何れか1項に記載の合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
出発原料がアセチレンを主成分とする原料であることを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法。 - 請求項1から請求項4の何れか1項に記載の合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記合成樹脂製多重ボトルがポリエステル樹脂製多重ボトルからなることを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法。 - 請求項1から請求項5の何れか1項に記載の合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記第3真空度は、3000Pa以上6000Pa以下の真空度に設定されていることを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法。 - 円筒状の外口部と、前記外口部に連接する筒状胴部と、を有し、押圧による変形に対して原形復帰可能な外殻ボトルと、
前記外殻ボトルの前記外口部の内周側に配置される円筒状の内口部と、前記内口部に連接し、前記外殻ボトルの内面形状に沿う形状で、外殻ボトルの肉厚よりも薄肉で、押圧により変形する内容器体本体と、を有する内容器体と、
前記外口部と前記内口部との間に形成されて前記外殻ボトルと前記内容器体との間に外気を導入する通気路と、
を備える合成樹脂製多重ボトルを、
所定の真空度に保持して、前記合成樹脂製多重ボトルの前記内容器体内に、前記出発原料供給部から出発原料を供給し、マイクロ波を照射することにより、前記内容器体の内側にプラズマを発生させて、前記内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成する合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法であって、
前記所定の真空度は、前記内容器体の内部の真空度である第1真空度と、前記外殻ボトルと内容器体との間の空間の真空度である第2真空度とに設定し、
前記第1真空度及び前記第2真空度は1つの真空装置によって1つの排気路から気体が排気されることにより真空度が設定されていることを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成方法。 - 円筒状の外口部と、前記外口部に連接する筒状胴部と、を有し、押圧する変形に対して原形復帰可能な外殻ボトルと、
前記外殻ボトルの前記外口部の内周側に配置される円筒状の内筒部と、前記内口部に連接し前記外殻ボトルの内面形状に沿う形状で、外殻ボトルの肉厚よりも薄肉で、押圧により変形する内容器体本体と、を有する内容器体と、
前記外口部と前記内口部との間に形成されて前記外殻ボトルと前記内容器体との間に外気を導入する通気路と、
を備える合成樹脂製多重ボトルを、
処理室と、前記処理室内にマイクロ波を照射させるマイクロ波発生部と、前記処理室内の合成樹脂製多重ボトルの外殻ボトルの外側、外殻ボトルと内容器体との間の空間、及び内容器体の内側の真空度を制御する真空装置と、ガス状の炭化水素化合物を含む出発原料を供給する出発原料供給部と、を備えるプラズマCVD装置の前記処理室に収容し、前記真空装置で前記処理室内の合成樹脂製多重ボトルの外殻ボトルの外側、外殻ボトルと内容器体との間の空間、及び内容器体の内側を所定の真空度に保持して、前記合成樹脂製多重ボトルの前記内容器体内に、前記出発原料供給部から出発原料を供給し、前記マイクロ波発生部から前記処理室内にマイクロ波を照射することにより、前記内容器体の内側にプラズマを発生させて、前記内容器体の内面にアモルファス炭素含有被膜を形成する合成樹脂製多重ボトルの被膜形成装置であって、
前記内容器体の内部の気体を排出する第1排気路と、
前記処理室内であって、前記外殻ボトルの外側に存在する気体を排出する第2排気路と、
前記通気路を介して前記外殻ボトルと前記内容器体との間の気体を排出する第3排気路と、
を備えることを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成装置。 - 請求項8に記載の合成樹脂製多重ボトルの被膜形成装置であって、
前記第1排気路は、前記第3排気路としての機能を兼ね備え、前記合成樹脂製多重ボトルの前記通気路とも連通し、前記合成樹脂製多重ボトルの前記通気路を介して前記外殻ボトルと前記内容器体との間の空間の気体を排出することを特徴とする合成樹脂製多重ボトルの被膜形成装置。
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|---|---|---|---|---|
| JP2023162764A (ja) * | 2022-04-27 | 2023-11-09 | 北海製罐株式会社 | ポリエステル樹脂製多重ボトル、及びその製造方法 |
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