JP2020009825A - ロードポート、および、ｅｆｅｍ - Google Patents

Abstract

【課題】ロードポートの適正な動作を担保しつつ、ロードポートの軽量化を実現することができる技術の提供。【解決手段】ロードポート１は、処理装置に形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部１０と、ベース部１０に取り付けられる駆動機構４０，５０と、を備える。ベース部１０は、ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部１１を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレーム１１０と、ポートフレーム１１０と連結され、ポートフレーム１１０よりも剛性が高く、駆動機構４０，５０を支持する支持プレート１２０と、を備える。【選択図】図６

Description

本発明は、格納容器に収納されたウエハを、ウエハに対して処理を行う処理装置に出し入れするためのロードポート、および、該ロードポートを備えるＥＦＥＭに関する。

半導体の製造工程等では、高度の清浄環境（クリーン環境）が必要とされる。近年、半導体の製造工場等において清浄環境を形成するにあたって、ダウンフロー方式に代わって、ミニエンバイロメント方式が採用されることが多くなってきている。ミニエンバイロメント方式は、被処理物であるウエハの周囲だけに局所的な清浄環境を形成する方式であり、工場全体を清浄環境とするダウンフロー方式に比べて、低コストで高度の清浄環境を形成することができる。

ミニエンバイロメント方式においては、ウエハは、外部の雰囲気よりも高い清浄度に保たれた、ＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）等と呼ばれる密閉式の格納容器（キャリア）内に格納されて、搬送・保管等される。格納容器に格納されたウエハは、処理装置に接続されたロードポートを介することにより、外部の雰囲気に晒されることなく、格納容器と処理装置との間で授受される（例えば特許文献１，２参照）。

従来の一般的なロードポートの構成について、図７を参照しながら説明する。図７は、従来の一般的なロードポートを説明するための図である。

ロードポート７は、ベース部７１、載置部７２、ドア部７３、載置部駆動機構７４、ドア部駆動機構７５、等を備える。載置部駆動機構７４およびドア部駆動機構７５は、カバー部７０内に格納される。

ベース部７１は、平板状の部材であり、その面内に開口７１１が形成されている。載置部７２は、ベース部７１の一方側に配置される平板状の部材であり、その上面が、ウエハ９０の格納容器９を載置する載置面を形成する。ドア部７３は、ベース部７１に形成された開口７１１を塞ぐように設けられる平板状の部材である。載置部駆動機構７４は、載置部７２を、水平面内において進退させる（すなわち、ベース部７１に対して近接離間させる方向にスライドさせる）ことによって、載置部７２を、近接位置と離間位置の間で移動させる。ここで「近接位置」は、載置部７２に載置された格納容器９の蓋９２が、開口７１１を塞ぐドア部７３と近接するような位置であり、「離間位置」は、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、等の外部ロボットが載置部７２に対して格納容器９の授受を行う位置である。ドア部駆動機構７５は、ドア部７３を、水平面内において進退させるとともに昇降させることによって、ドア部７３を、閉鎖位置と開放位置の間で移動させる。ここで、「閉鎖位置」は、ドア部７３が開口７１１を塞ぐ位置であり、「開放位置」は、ドア部７３が開口７１１の下方に退避して、開口７１１と完全に重ならないような位置である。

載置部７２、ドア部７３、および、各駆動機構７４，７５は、ベース部７１に支持されており、これら各部７２〜７５を支持したベース部７１が、処理装置８の一端に形成された開口８１１を塞ぐように取り付けられることにより、ロードポート７が処理装置８と接続される。

ロードポート７の動作は次の通りである。まず、未処理のウエハ９０を格納した格納容器９がＡＭＨＳ、ＰＧＶ、等の外部ロボットによって搬送されてきて載置部７２上に載置される。格納容器９は、ウエハ９０を水平姿勢で多段に収容する本体部９１と、本体部９１の一方の側壁に設けられた開口を塞ぐ蓋９２とを備える密閉式の容器であり、蓋９２がドア部７３と対向するような向きで載置部７２に載置される。格納容器９が載置部７２に載置されると、載置部駆動機構７４が、載置部７２を離間位置から近接位置に移動させる。これにより、載置部７２に載置された格納容器９の蓋９２が、ドア部７３と近接しつつ対向配置された状態となる。このような状態となると、ドア部７３に設けられた蓋保持手段７３１が、格納容器９の蓋９２を本体部９１から取り外す（ラッチを解除する）とともに、蓋９２をドア部７３と連結して一体化（ドッキング）する。続いて、ドア部駆動機構７５が、ドア部７３を、これと一体化されている蓋９２とともに、閉鎖位置から開放位置に移動させる。これによって、格納容器９の内部が、開口７１１を介して処理装置８の内部と連通した状態となり、格納容器９に格納されている未処理のウエハ９０が、処理装置８の内部に配置されている搬送ロボットによって取り出される。

なお、一般に、処理装置８は、搬送ロボットおよびこれを格納するチャンバー（搬送チャンバー）等を含む搬送部８１と、各種の処理ユニットおよびこれを格納するチャンバー（処理チャンバー）等を含む本体部８２とから構成されており、ロードポート７と搬送部８１を併せたモジュールが、ＥＦＦＭ（Equipment Front End Module）７０と呼ばれることもある。

特許第４２８７０４０号公報 特許第４６１６４７７号公報

ところで、ロードポートは、載置部、ドア部、および、各種の駆動機構が、ベース部に支持された状態に予め組み立てられ、この状態で工場内に運び入れられて、処理装置に取り付けられる。ロードポートは相当の重量およびサイズを有するものであるため、これを処理装置に取り付けるためには、複数人の作業者による大がかりな作業が必要となる。この作業にかかる負担を軽減するべく、ロードポートの軽量化が強く要望されている。

ロードポートを軽量化する有効な方策の１つとして、ベース部の厚みを小さくすることが考えられる。

ところが、ベース部の厚みを小さくすると、ベース部の剛性が低下し、駆動機構の重みや搬送チャンバーの歪み等の影響を受けて、ベース部が変形する虞がある。ベース部が変形すると、ロードポートが備える各種の駆動機構の位置決め精度が悪化してしまう。例えば、載置部を進退させる載置部駆動機構の位置決め精度が悪化すると、載置部が所定の位置に配置されず、外部ロボットと載置部との間での格納容器の授受や、載置部に載置された格納容器と搬送ロボットとの間でのウエハの授受が適切に行われなくなってしまう。また、ドア部の開閉を行うドア部駆動機構の位置決め精度が悪化すると、格納容器の蓋が適切に開閉されなくなってしまう。

また、ベース部の剛性が低下すると、これに取り付けられる駆動機構における振動の発生も顕著なものとなってしまう。

本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、ロードポートの適正な動作を担保しつつ、ロードポートの軽量化を実現することができる技術の提供を目的としている。

本発明は、かかる目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。

すなわち、本発明は、
格納容器に格納されたウエハを、処理装置に出し入れするためのロードポートであって、
前記処理装置に形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
を備え、
前記ベース部が、
前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、
を備える。

ここで、「剛性」とは、対象となる物体（ここでは、ポートフレーム、あるいは、支持プレート）の変形のし難さの度合いであり、対象となる物体に単位変形を生じさせるために必要な力（荷重／変形量）で表される。物体の剛性は、該物体の形状、該物体の形成材料、等に応じて規定される。例えば、物体の厚みが大きいほど、剛性は高いものとなる。また、物体の形成材料の弾性率が大きいほど、剛性は高いものとなる。剛性には、曲げ変形に対する剛性（曲げ剛性）、ねじり変形に対する剛性（ねじり剛性）、せん断変形に対する剛性（せん断剛性）、等が含まれるが、ここでは、少なくとも、曲げ剛性、ねじり剛性、あるいはこれらの両方について、支持プレートがポートフレームよりも高剛性であればよい。

この構成によると、処理装置に取り付けられるベース部が、剛性の異なる２つの部分を備え、相対的に剛性が高い支持プレートに、駆動機構が取り付けられる。したがって、駆動機構の位置決め精度を担保することができる。また、駆動機構における振動の発生も抑制することができる。その一方で、ベース部の全体が高剛性とされるのではなく、ウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部が、相対的に剛性が低いポートフレームとされることによって、ベース部（ひいては、ロードポート）が軽量化される。このように、上記の構成によると、ロードポートの適正な動作を担保しつつ、ロードポートの軽量化を実現することができる。

好ましくは、前記ロードポートは、
前記駆動機構が、
前記格納容器を載置するための載置部を、前記ベース部に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構と、
前記ウエハ通過開口部を塞ぐように設けられるドア部を、前記ウエハ通過開口部を塞ぐ閉鎖位置と、前記ウエハ通過開口部と重ならない開放位置との間で移動させるドア部駆動機構と、
を備える。

この構成によると、載置部駆動機構、および、ドア部駆動機構の位置決め精度を担保することができるとともに、載置部駆動機構、および、ドア部駆動機構における振動の発生を抑制することができる。

好ましくは、前記ロードポートにおいて、
前記ポートフレームが、前記ウエハ通過開口部を囲む第１フレーム部分と、前記支持プレートが取り付けられることにより塞がれる取付開口部を囲む第２フレーム部分とが連なった形状である。

この構成によると、駆動機構が取り付けられる支持プレートの周囲が、ポートフレームの一部（すなわち、第２フレーム部分）に囲まれることとなる。したがって、ポートフレームに対して支持プレートが安定して固定されることとなり、ポートフレームを処理装置に対して適切な位置関係で取り付ければ、支持プレート（ひいては、これに取り付けられている駆動機構）も、処理装置に対してほぼ適切な位置関係に配置される。したがって、ロードポートの取り付けや位置調整に係る作業を簡素化することができる。

好ましくは、前記ロードポートにおいて、
前記ポートフレームが、板金により形成されている。

この構成によると、ポートフレームが軽量化されるので、ロードポートの全体を軽量化することができる。なお、ここでいう「板金」は、厚みが６ｍｍ以下の金属板である。ポートフレームは、板金が折り曲げられた構造、複数枚の板金が間隔を設けつつ多層に配置された構造、等とされてもよい。

好ましくは、前記ロードポートにおいて、
前記支持プレートが、アルミニウム成形板により形成されている。

この構成によると、駆動機構が取り付けられる支持プレートに十分な剛性をもたせることができるので、支持プレートが変形しにくく、駆動機構の位置決め精度を十分に担保することができる。また、駆動機構における振動の発生を十分に抑制することができる。

また、本発明は、前記ロードポートを備えるＥＦＥＭも対象としている。
すなわち、本発明に係るＥＦＥＭは、
搬送ロボットと、前記搬送ロボットを収納する搬送チャンバーと、を備える搬送部と、
格納容器に格納されたウエハを、前記搬送部に出し入れするためのロードポートと、
を備え、
前記ロードポートが、
前記搬送チャンバーに形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
を備え、
前記ベース部が、
前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、
を備える。

本発明によると、ロードポートの適正な動作を担保しつつ、ロードポートの軽量化を実現することができる。

ロードポートおよびこれが接続される処理装置を示す図。 ロードポートを前方の斜め上から見た図。 ロードポートを後方の斜め下から見た図。 ロードポートを前方の斜め下から見た図。 ベース部の構成を説明するための図。 ロードポートの組立ての態様を説明するための図。 従来の一般的なロードポートを説明するための図。

以下、本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。

＜１．ロードポートの概略構成＞
実施形態に係るロードポートの概略構成を、図１を参照しながら説明する。図１は、ロードポート１およびこれが接続される処理装置８を示す図である。

ロードポート１は、格納容器９（図７参照）に格納されたウエハ９０を、外部の雰囲気に晒すことなく、処理装置８の内部に出し入れするための装置であり、処理装置８と接続して用いられる。以下においては、説明の便宜上、処理装置８に対してロードポート１が接続される側を「前方」とする。

処理装置８は、搬送部８１と、その後方に接続された本体部８２と、を備える。搬送部８１は、チャンバー（搬送チャンバー）８１０内に、搬送ロボット、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ：Fan Filter Unit）等が格納された構成を備える。本体部８２は、搬送チャンバー８１０に隣接して設けられたチャンバー（処理チャンバー）８２０内に、ウエハに対する各種の処理を行う処理ユニット等が格納された構成を備える。搬送チャンバー８１０の前面には、１個以上（図の例では３個）の開口８１１が形成されており、各開口８１１を塞ぐようにロードポート１が気密に取り付けられる。ロードポート１と搬送部８１を併せたモジュールが、ＥＦＦＭ（Equipment Front End Module）１００を構成する。

＜２．ロードポートの具体的構成＞
ロードポート１の構成を、図１に加え、図２〜図４を参照しながらより具体的に説明する。図２は、ロードポート１を前方の斜め上から見た図である。図３は、ロードポート１を後方の斜め下から見た図である。図４は、ロードポート１を前方の斜め下から見た図である。

ロードポート１は、ベース部１０、載置部２０、ドア部３０、載置部駆動機構４０、および、ドア部駆動機構５０を備える。駆動機構４０，５０は、ロードポート１の前面に設けられるカバー部６０（図１参照）内に収容されるが、図２〜図４では、説明の便宜上、カバー部６０の図示を省略している。

ベース部１０は、処理装置８（具体的には、搬送チャンバー８１０）に形成された開口８１１よりも一回り大きな平板状の部材である。ベース部１０の面内には、ウエハ９０を通過させるための開口部（ウエハ通過開口部）１１と、スライドプレート５３を挿通させるためのスリット１２とが形成されている。ベース部１０の構成については、後に詳細に説明する。

載置部２０は、平板状の部材であり、ベース部１０の前方に配置される。載置部２０の上面は、格納容器９を載置する載置面を形成する。載置部２０の上面には、格納容器９を所定の位置に案内するガイドピン、格納容器９を該所定の位置に固定する固定ピン、格納容器９の内部に所定のガスを供給するガス供給ノズル、格納容器９の内部のガスを排出するガス排出ノズル、等が適宜設けられる（いずれも図示省略）。

ドア部３０は、ベース部１０に形成されたウエハ通過開口部１１よりも一回り大きな平板状の部材であり、ベース部１０の後方に配置される。ドア部３０の前面には、シール部材（図示省略）が設けられており、ドア部３０がウエハ通過開口部１１を塞ぐ位置（後述する閉鎖位置）に配置されたときに、ドア部３０とベース部１０との間が気密に封止されるようになっている。また、ドア部３０には、蓋保持手段３１が設けられる。蓋保持手段３１は、載置部２０が後述する近接位置に配置されて、そこに載置された格納容器９の蓋９２がドア部３０に近接しつつ対向するような位置におかれたときに、蓋９２を本体部９１から取り外す（ラッチを解除する）とともに、蓋９２をドア部３０と連結して一体化（ドッキング）する。

載置部駆動機構４０は、載置部２０を、水平面内において前後に移動させる（すなわち、ベース部１０に対して近接離間させる方向にスライドさせる）ことによって、載置部２０を、近接位置と離間位置の間で移動させる。ここで、「近接位置」は、載置部２０に載置された格納容器９の蓋９２が、ウエハ通過開口部１１を塞ぐドア部３０と近接するような位置であり、「離間位置」は、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、等の外部ロボットが載置部２０に対して格納容器９の授受を行う位置である。

載置部駆動機構４０は、具体的には、図４に示されるように、ベース部１０の前面から前方に突出するように設けられたベースプレート４１を備える。ベースプレート４１の上面は、水平な支持面を構成し、ここに、スライドプレート４２と、これを前後に移動させる直動機構４３とが配設される。直動機構４３は、例えば、ボールねじ機構、リニアガイド、等を含んで構成される。スライドプレート４２は、連結具４４によって載置部２０の裏面と連結されており、直動機構４３がスライドプレート４２を前後に移動させると、載置部２０が近接位置と離間位置の間で移動する。

ドア部駆動機構５０は、ドア部３０を、水平面内において前後に移動させるとともに、昇降させることによって、ドア部３０を、閉鎖位置と開放位置の間で移動させる。ここで、「閉鎖位置」は、ドア部３０がウエハ通過開口部１１を塞ぐ位置であり、「開放位置」は、ドア部３０がウエハ通過開口部１１の下方に退避して、ウエハ通過開口部１１と完全に重ならないような位置である。

ドア部駆動機構５０は、具体的には、図２、図４に示されるように、ベース部１０の前方に配置された昇降ブロック５１と、これを鉛直方向に移動させる直動機構５２とを備える。直動機構５２は、例えば、ボールねじ機構、リニアガイド、等を含んで構成される。昇降ブロック５１は、前後に長尺な形状とされており、その上面は、水平な支持面を構成する。そして、該支持面に、スライドプレート５３と、これを前後に移動させる直動機構５４とが配設される。直動機構５４は、例えば、ボールねじ機構、リニアガイド、等を含んで構成される。スライドプレート５３は、前後に長尺な平板状の部材であり、ベース部１０に形成されたスリット１２内を挿通され、後端において、連結具５５を介してドア部３０と連結される（図６参照）。したがって、直動機構５２が昇降ブロック５１を昇降させるとドア部３０が昇降し、直動機構５４がスライドプレート５３を前後に移動させるとドア部３０が前後に移動することになる。閉鎖位置にあるドア部３０は、後方に移動され、さらに下方に移動されることによって、開放位置まで移動する。逆に、開放位置にあるドア部３０は、上方に移動され、さらに前方に移動されることによって、閉鎖位置まで移動する。

＜３．ベース部１０の構成＞
ベース部１０の構成について、図５を参照しながら説明する。図５は、ベース部１０の構成を説明するための図である。

ベース部１０は、ポートフレーム１１０と支持プレート１２０とが、連結プレート１３０を介して連結された構成を備える。

ポートフレーム１１０は、板金により形成される。ここでいう「板金」は、厚みが６ｍｍ以下の金属板であり、特に、厚みが１．０ｍｍ以上かつ６．０ｍｍ以下の金属板であることが好ましい。板金は、軽量であり、安価であるという利点を有する。なお、板金は、比較的剛性が低い。そこで、ポートフレーム１１０は、その剛性を高めるために、板金が折り曲げられた構造、複数枚の板金が間隔を設けつつ多層に配置された構造、等とされてもよい。

ポートフレーム１１０は、矩形のウエハ通過開口部１１を囲む矩形のフレーム部分（第１フレーム部分）１１０ａと、矩形の取付開口部１３を囲む矩形のフレーム部分（第２フレーム部分）１１０ｂとが上下に連なって、全体として「日」の字形状をなしている。取付開口部１３は、支持プレート１２０よりも一回り小さい開口部であり、支持プレート１２０が取り付けられることにより塞がれる。

支持プレート１２０は、載置部駆動機構４０およびドア部駆動機構５０を支持する、矩形の平板部材であり、アルミニウム成形板により形成される。アルミニウム成形板は、押出成形、射出成形、等の手法を用いてアルミニウムを板状に成形したものである。支持プレート１２０は、ポートフレーム１１０よりも剛性が高いものとされている。例えば、ポートフレーム１１０が、厚みが３．０ｍｍの板金により形成される場合、支持プレート１２０を、厚みが６．０ｍｍ以上のアルミニウム成形板により形成すれば、支持プレート１２０の剛性をポートフレーム１１０の剛性よりも十分に高いものとすることができる。なお、支持プレート１２０を形成するアルミニウム成形板の厚みが増すにつれて、支持プレート１２０の剛性が高まるものの、重量も重くなってしまう。そこで、支持プレート１２０は、厚みが１６．０ｍｍ以下のアルミニウム成形板であることが好ましい。

連結プレート１３０は、ポートフレーム１１０と支持プレート１２０とを連結するための部材である。ここでは、３枚の連結プレート１３０が用いられる。３枚の連結プレート１３０のうちの２枚は、支持プレート１２０の側辺よりも僅かに短い長さを有する長尺の平板状部材であり、残りの１枚は、支持プレート１２０の上辺よりも僅かに短い長さを有する長尺の平板状部材である。いずれの連結プレート１３０にも、その面内に複数のボルト挿通孔１３１が設けられている。

＜４．ロードポートの組立ておよび設置の態様＞
ロードポート１の組み立ておよび設置の態様について、図１〜図５に加え、図６を参照しながら説明する。図６は、ロードポート１の組立ての態様を説明するための図である。

まず、支持プレート１２０に、載置部駆動機構４０とドア部駆動機構５０が取り付けられる。具体的には、ベースプレート４１が、その後面において支持プレート１２０の前面に固定されて、該前面の法線方向に突出するように設けられる。上記の通り、スライドプレート４２および直動機構４３は、ベースプレート４１の上面に配設される。つまり、スライドプレート４２および直動機構４３は、ベースプレート４１を介して、支持プレート１２０に支持されることになる。また、昇降ブロック５１が配設された直動機構５２が、支持プレート１２０の前面に固定される。上記の通り、スライドプレート５３および直動機構５４は、昇降ブロック５１の上面に配設される。つまり、昇降ブロック５１、スライドプレート５３、および、直動機構５４は、直動機構５２を介して、支持プレート１２０に支持されることになる。

続いて、支持プレート１２０が、ポートフレーム１１０の取付開口部１３を塞ぐように配置される。さらに、連結プレート１３０が、ポートフレーム１１０と支持プレート１２０の境界位置に配置される。具体的には、支持プレート１２０の上辺および各側辺とポートフレーム１１０との各境界位置に、連結プレート１３０が配置される。そして、各連結プレート１３０に設けられた各ボルト挿通孔１３１にボルトが挿通され、該連結プレート１３０と支持プレート１２０が締結されるとともに、該連結プレート１３０とポートフレーム１１０とが締結される。これにより、ポートフレーム１１０と支持プレート１２０とが互いに動かないように強固に締結される。

続いて、スライドプレート４２の上方に、連結具４４を介して載置部２０が連結される。また、ベース部１０の後方側に突出しているスライドプレート５３の後端に、連結具５５を介してドア部３０が連結される。これにより、ロードポート１の組立てが完了する。

組み立てられたロードポート１は、処理装置８の設置場所まで運ばれて、処理装置８に取り付けられる。上記の通り、ロードポート１においては、載置部２０、ドア部３０、および、各駆動機構４０，５０が、ベース部１０に支持された構成となっており、これら各部１０〜５０を支持したベース部１０が、処理装置８（具体的には、搬送チャンバー８１０）の前面に形成された開口８１１を塞ぐように配置される（図１参照）。そして、ベース部１０に設けられた各ボルト挿通孔（図示省略）にボルトが挿通され、ベース部１０と搬送チャンバー８１０が締結される。これにより、ロードポート１が処理装置８に取り付けられる。

ただし、処理装置８に取り付けられるにあたって、ロードポート１は、これが備える各部（特に、支持プレート１２０およびこれに支持されている各駆動機構４０，５０）が所定の位置に配置されるように、厳密に位置調整される。具体的には例えば、作業者が、支持プレート１２０の下端縁にジャッキを当てて、これで支持プレート１２０の高さ方向の位置を調整するとともに、水平出しおよび垂直出しを行う。また、例えば、ベース部１０の四隅等に設けられた調整ネジを用いて、ベース部１０の後面と搬送チャンバー８１０の前面との離間距離が微調整されることにより、支持プレート１２０の姿勢の調整（チルト調整）が行われる。支持プレート１２０の位置調整が行われた後、さらに、各駆動機構４０，５０が備える直動機構等の位置調整（具体的には、直動機構４３，５４の水平出し、直動機構５２の垂直出し、等）が行われる。

その後、ロードポート１の前面にカバー部６０（図１参照）が配設される等して、ロードポート１の設置が完了する。

＜５．ロードポートの動作＞
ロードポート１の動作について、図１等を参照しながら説明する。

まず、未処理のウエハ９０を格納した格納容器９が、ＡＭＨＳ、ＰＧＶ、等の外部ロボットによって搬送されてきて、載置部２０上に載置される。

格納容器９が載置部２０に載置されると、載置部駆動機構４０が、載置部２０を離間位置から近接位置に移動させる。これにより、載置部２０に載置された格納容器９が、その蓋９２がドア部３０と近接しつつ対向するような位置におかれることとなる。続いて、ドア部３０に設けられた蓋保持手段３１が、格納容器９の蓋９２を本体部９１から取り外す（ラッチを解除する）とともに、蓋９２をドア部３０と連結して一体化（ドッキング）する。

続いて、ドア部駆動機構５０が、ドア部３０を、これと一体化されている蓋９２とともに、閉鎖位置から開放位置に移動させる。これによって、格納容器９の内部が、ウエハ通過開口部１１を介して処理装置８の内部と連通した状態となる。この状態において、搬送チャンバー８１０内に配置されている搬送ロボットが、格納容器９に格納されている未処理のウエハ９０を取り出して、本体部８２に搬入する。また、搬送ロボットは、本体部８２で所定の処理を施された処理済みのウエハ９０を本体部８２から搬出して、格納容器９に格納する。

格納容器９に所定枚数の処理済みのウエハ９０が格納されると、ドア部駆動機構５０が、ドア部３０を、これと一体化されている蓋９２とともに、開放位置から閉鎖位置に移動させる。これによって、格納容器９の内部が封止された状態となる。その後、蓋保持手段３１が、格納容器９の蓋９２を本体部９１に取り付け（ラッチをかける）とともに、蓋９２をドア部３０から分離する。

続いて、載置部駆動機構４０が、載置部２０を近接位置から離間位置に移動させる。その後、載置部２０に載置された、処理済みのウエハ９０を格納した格納容器９が、外部ロボットによって受け取られて搬出される。

＜６．効果＞
上記の実施形態に係るロードポート１によると、ロードポート１の適正な動作を担保しつつ、ロードポート１の軽量化を実現することができる。すなわち、ロードポート１においては、処理装置８に取り付けられるベース部１０が、剛性が異なる２つの部分１１０，１２０を備え、相対的に剛性が高い支持プレート１２０に、駆動機構４０，５０が取り付けられる。したがって、駆動機構４０，５０の位置決め精度を担保することができる。また、駆動機構４０，５０における振動の発生も抑制される。その一方で、ベース部１０の全体が高剛性とされるのではなく、ウエハ通過開口部１１を囲むフレーム部分の少なくとも一部が、相対的に剛性が低いポートフレーム１１０とされることにより、ベース部１０（ひいては、ロードポート１）が軽量化される。ロードポート１が軽量化されることにより、ロードポート１の取り付けや位置調整に係る作業の負担が大幅に低減される。

また、上記の実施形態に係るロードポート１においては、ベース部１０が、ポートフレーム１１０と、これと別体に構成された支持プレート１２０とが連結された構成となっているので、ポートフレーム１１０および支持プレート１２０の各々の設計の自由度が高い。すなわち、各部分１１０，１２０を互いに異なる材料で形成することや、互いに異なる厚みに形成することが許容される。したがって、支持プレート１２０の剛性をポートフレーム１１０の剛性よりも十分に大きなものとすることが容易である。例えば、上記の通り、ポートフレーム１１０を、厚みが３．０ｍｍの板金により形成し、支持プレート１２０を、厚みが６．０ｍｍ以上のアルミニウム成形板により形成することにより、支持プレート１２０の剛性をポートフレーム１１０の剛性よりも十分に高いものとすることができる。

また、上記の実施形態に係るロードポート１においては、ベース部１０が備えるポートフレーム１１０が、ウエハ通過開口部１１を囲む第１フレーム部分１１０ａと、取付開口部１３を囲む第２フレーム部分１１０ｂとが連なって、全体として「日」の字形状をなしている。この構成によると、駆動機構４０，５０が取り付けられる支持プレート１２０の周囲が、ポートフレーム１１０の一部（すなわち、第２フレーム部分１１０ｂ）に囲まれることとなる。したがって、ポートフレーム１１０に対して支持プレート１２０が安定して固定されることとなり、ポートフレーム１１０を処理装置８に対して適切な位置関係で取り付ければ、支持プレート１２０（ひいては、これに取り付けられている駆動機構４０，５０）も、処理装置８に対してほぼ適切な位置関係に配置される。したがって、ロードポート１の取り付けや位置調整に係る作業を簡素化することができる。

また、上記の実施形態に係るロードポート１においては、ポートフレーム１１０が、板金により形成されている。この構成によると、ポートフレーム１１０が軽量化されるので、ロードポート１の全体を軽量化することができる。また、板金はアルミニウム成形板等と比べて安価であるため、ベース部１０の全体をアルミニウム成形板等により形成する場合と比べて、ベース部１０（ひいては、ロードポート１）の製造コストを低減することができる。

また、上記の実施形態に係るロードポート１においては、支持プレート１２０が、アルミニウム成形板により形成されている。この構成によると、駆動機構４０，５０が取り付けられる支持プレート１２０に十分な剛性をもたせることができるので、支持プレート１２０が変形しにくく、駆動機構４０，５０の位置決め精度を十分に担保することができる。また、駆動機構４０，５０における振動の発生を十分に抑制することができる。

＜７．変形例＞
上記の実施形態では、ポートフレーム１１０は、第１フレーム部分１１０ａと、第２フレーム部分１１０ｂとが上下に連なって、全体として「日」の字形状をなしていたが、ポートフレーム１１０の形状はこれに限られるものではなく、ウエハ通過開口部１１を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するものであればよい。例えば、ポートフレームを、第１フレーム部分１１０ａのみから成るものとしてもよい。この場合、ポートフレームの下縁に支持プレート１２０の上縁を取り付ければよい。また例えば、ポートフレームを、ウエハ通過開口部１１の側方および上方を囲む門型の形状としてもよい。この場合、ポートフレームの一対の支柱の下端を、支持プレート１２０の上縁に固定すればよい。

また、上記の実施形態では、支持プレート１２０は矩形状とされていたが、支持プレート１２０の形状はこれに限られるものではなく、載置部駆動機構４０（具体的には、ベースプレート４１）が取り付けられる部分と、ドア部駆動機構５０（具体的には、直動機構５２）が取り付けら得る部分とを少なくともカバーできるような形状であればよい。例えば、支持プレートは、ベースプレート４１が取り付けられる横に延在するプレート部分と、直動機構５２が取り付けられる縦に延在するプレート部分と、が連結された「Ｔ」字形状をなしてもよい。この場合、ポートフレームの第２フレーム部分は、例えば、矩形の平板状部材にＴ字状の取付開口部が形成されたものとすることができる。

また、上記の実施形態では、ポートフレーム１１０は板金により形成され、支持プレート１２０はアルミニウム成形板により形成されていたが、各部１１０，１２０の形成材料はこれに限らない。例えば、各部１１０，１２０の形成材料として、各種のプラスチック（例えば、炭素繊維強化プラスチック、ガラス繊維強化プラスチック、等の繊維強化プラスチック）を用いてもよい。また、各部１１０，１２０は、複数の板材（例えば、形成材料が異なる複数の板材）が貼り合わされた積層構造を有するものであってもよい。

その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１ ロードポート
１０ ベース部
１１０ ポートフレーム
１１０ａ 第１フレーム部分
１１０ｂ 第２フレーム部分
１２０ 支持プレート
１３０ 連結プレート
１１ ウエハ通過開口部
１２ スリット
１３ 取付開口部
２０ 載置部
３０ ドア部
４０ 載置部駆動機構
４１ 支持プレート
４２ スライドプレート
４３ 直動機構
４４ 連結具
５０ ドア部駆動機構
５１ 昇降ブロック
５２ 直動機構
５３ スライドプレート
５４ 直動機構
５５ 連結具
６０ カバー部
８ 処理装置
９ 格納容器

Claims (6)

1. 格納容器に格納されたウエハを、処理装置に出し入れするためのロードポートであって、
   前記処理装置に形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
   前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
   を備え、
   前記ベース部が、
   前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
   前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、
   を備える、ロードポート。
2. 請求項１に記載のロードポートであって、
   前記駆動機構が、
   前記格納容器を載置するための載置部を、前記ベース部に対して近接離間する方向に移動させる載置部駆動機構と、
   前記ウエハ通過開口部を塞ぐように設けられるドア部を、前記ウエハ通過開口部を塞ぐ閉鎖位置と、前記ウエハ通過開口部と重ならない開放位置との間で移動させるドア部駆動機構と、
   を備える、ロードポート。
3. 請求項１または２に記載のロードポートであって、
   前記ポートフレームが、前記ウエハ通過開口部を囲む第１フレーム部分と、前記支持プレートが取り付けられることにより塞がれる取付開口部を囲む第２フレーム部分とが連なった形状である、
   ロードポート。
4. 請求項１から３のいずれかに記載のロードポートであって、
   前記ポートフレームが、板金により形成されている、
   ロードポート。
5. 請求項１から４のいずれかに記載のロードポートであって、
   前記支持プレートが、アルミニウム成形板により形成されている、
   ロードポート。
6. 搬送ロボットと、前記搬送ロボットを収納する搬送チャンバーと、を備える搬送部と、
   格納容器に格納されたウエハを、前記搬送部に出し入れするためのロードポートと、
   を備え、
   前記ロードポートが、
   前記搬送チャンバーに形成された開口を塞ぐように取り付けられるベース部と、
   前記ベース部に取り付けられる駆動機構と、
   を備え、
   前記ベース部が、
   前記ウエハを通過させるためのウエハ通過開口部を囲むフレーム部分の少なくとも一部を形成するポートフレームと、
   前記ポートフレームと連結され、前記ポートフレームよりも剛性が高く、前記駆動機構を支持する支持プレートと、
   を備える、ＥＦＥＭ。

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