JP2578956B2

JP2578956B2 - 移送ヘッドの往復駆動装置

Info

Publication number: JP2578956B2
Application number: JP63284542A
Authority: JP
Inventors: 渡秀瀬
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-11-10
Filing date: 1988-11-10
Publication date: 1997-02-05
Anticipated expiration: 2012-02-05
Also published as: JPH02130898A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は移送ヘッドの往復駆動装置に係り、殊に移送
ヘッド部を正確なピッチで横方向に往復動させるための
装置に関する。

（従来の技術）電子部品実装装置として、移送ヘッドを横方向に往復
動させることにより、電子部品をリードフレームなどの
基板に移送搭載するものが知られている（例えば特開昭
61−264793号の特に第３図（ロ）参照）。このものの移
送ヘッドの往復動手段は、移送ヘッドに連結された水平
なロッドを、カム駆動装置に駆動されるレバーに連結し
て構成されており、レバーが揺動することにより、ロッ
ドを往復動させて、移送ヘッドを所定のピッチで横方向
に往復動させるようになっている。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら上記従来手段は、レバーのわずかな揺動
誤差によって、移送ヘッドの往復ストロークに大きな狂
いを生じやすく、かくなると移送ヘッドの停止位置が狂
って、電子部品のピックアップミスや着地ミスを犯しや
すい問題があった。

したがって本発明は、移送ヘッドを正確なストローク
で往復動させることができる手段を提供することを目的
とする。

（課題を解決するための手段）このために本発明は、この種電子部品実装装置におい
て、駆動装置に駆動されて往復回転する回転子と、この
回転子に駆動されてこの回転子を中心に往復揺動する揺
動部材と、この揺動部材の先端側に結合されてこの揺動
部材と一体的に上記回転子を中心に往復回動する回動子
を設けるとともに、この回動子に係合する係合部を移送
ヘッド部側に設けることにより、この回動子の往復回動
に連動して、移送ヘッド部を横方向に往復動させるよう
にしたものである。

（作用）上記構成において、駆動装置に駆動されて回動子が回
転子を中心に往復回動すると、係合部を介してこの回動
子と連動する移送ヘッド部は横方向に往復動し、電子部
品を基板に実装する。この場合、回動子に回動量の狂い
を生じても、回動量の横方向すなわち移送ヘッドの往復
動方向の成分はきわめて小さいので、この狂いに基づく
移送ヘッドのストロークの狂いはきわめて小さい。

（実施例）次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。

第１図は電子部品の実装装置の全体を簡略に示すもの
であって、この実装装置は、駆動装置Ａと、実装装置Ｂ
から成っている。駆動装置Ａは、モータ１と、ベルト
２、伝動ボックス３を介してこのモータ１に駆動されて
回転する溝カム４等から成っている。５は溝カム４の壁
面に形成されたカム溝に嵌入するカムフォロアであっ
て、揺動レバー６の先端部に装着されている。このレバ
ー６は、スプライン軸７の一端部に装着されており、モ
ータ１が駆動して溝カム４が回転すると、スプライン軸
７は45゜の角度で往復回転する。次に実装装置Ｂを説明
する。

11は台部であって、その上面に基台12が載置されてい
る。台部11の上面に設けられたＸ方向のガイド材13に、
基台12の下面に設けられたガイド材14が嵌合しており、
基台12は台部11上にＸ方向に摺動自在に載置されてい
る。15は基台12の背後に設けられたＸ方向駆動部であっ
て、送りねじ16を駆動するパルスモータ17と、基台12の
後縁部に立設されて、この送りねじ16に螺着された送り
ナット18から成っており、モータ17が駆動すると、基台
12はガイド材13,14に案内されて、台部11上をＸ方向に
往復摺動する。このモータ17の負荷は、基台12とこの基
台12に配設された各部材だけであるので、この負荷はか
なり小さく、したがって低容量のモータであっても、基
台12をＸ方向に高速にて往復動させることができる。

上記基台12の前部には、前壁部12aが垂設されてお
り、この前壁部12aに、Ｙ方向のガイド材21が設けられ
ている。22は移送ヘッド部、23はサブ移送ヘッド部であ
って、そのプレート24,25の背面には、上記ガイド材21
に嵌入するガイド材26,27が設けられている。またプレ
ート24,25の前面には、それぞれ移送ヘッド28とサブ移
送ヘッド29が設けられている。28a,29aは各ヘッド28,29
の下端部から突出するノズルであって、その下端部に電
子部品を吸着する。31はウェハー、32はサブステージで
あって、サブ移送ヘッド29はウェハー31とサブステージ
32の間を往復動し、ウェハー31上の電子部品をサブステ
ージ32上に移送する。サブステージ32は、電子部品の位
置補正を行うためのステージである。また移送ヘッド28
は、サブステージ32とリードフレームLFの間を往復動
し、サブステージ32で位置補正された電子部品をリード
フレームLF上に実装する。33はリードフレームLFを移送
ヘッド28の下方に間欠搬送するコンベヤである。次に、
両ヘッド部22,23をＹ方向（リードフレームLFの巾方
向）に往復動させるための機構を説明する。

35は移送ヘッド部22の側方に配設された移送ヘッド部
22のＹ方向駆動部であって、連結材34により上記プレー
ト25と連結されており、移送ヘッド部22と一体的にＹ方
向に往復動する。このＹ方向駆動部35は、プレート36
と、このプレート36の背面に設けられて上記ガイド材21
に嵌合するガイド材37と、このプレート36に取り付けら
れたパルスモータ38と、このパルスモータ38に駆動され
る送りねじ39と、この送りねじ39に螺着された送りナッ
ト40から成っている（第２図も併せて参照）。送りナッ
ト40は移送ヘッド部22のプレート24の縁部に設けられて
おり、モータ38が駆動すると、移送ヘッド部22はＹ方向
に往復動する。

第３図及び第４図において、42は上記基台12の一側部
に立設された支柱であって、この支柱42は上記スプライ
ン軸７の他端部に摺動自在に装着されている。43はこの
支柱42に装着された扇形のギヤであって、スプライン軸
７に駆動されて往復回動する。44は上記プレート36の上
部に装着された断面コの字状の係合部であって、その溝
部41に回動子45が嵌入している。46はこの回動子45を支
持する揺動部材であって、その一端部は上記支柱42の下
部に装着された回動子としてのギヤ47に連結されてい
る。このギヤ47は上記扇形のギヤ43に係合しており、ギ
ヤ43がモータ１に駆動されて45゜往復回動することによ
り、ギヤ47は180゜往復回転する。すると揺動部材46は
ギヤ47を中心に180゜往復揺動し、この揺動部材46の先
端側に結合された回動子45は揺動部材46と一体的にギヤ
47の軸心を中心に180゜往復回動し、回動子45に係合す
る係合部44は横方向（Ｙ方向）へ往復動する。すると係
合部44と一体の上記Ｙ方向駆動部35及び両ヘッド部22,2
3は一体的にＹ方向に往復動し、上述のようにサブ移送
ヘッド29はウェハー31とサブステージ32の間を、また移
送ヘッド28はサブステージ32とリードフレームLFの間を
往復動する。

第１図において、8,9は上記モータ１に駆動されるプ
ーリ及びベルト、50はシャフト51を介して駆動されるカ
ム、52はカムフォロア、53はカムフォロア52を支持する
揺動レバー、54はロッド、55は上記基台12上に配設され
た台板、56は台板55上に設けられたモータである。これ
らの各部材50〜56は、両ヘッド28,29の各ノズル28a,29a
を昇降駆動するための装置を構成するものであるが、本
発明との直接の関連性はないので、その詳細な説明は省
略する。

本装置は上記のような構成より成り、次に全体の動作
を説明する。

モータ１が駆動すると、扇形のギヤ43はスプライン軸
７を中心に45゜往復回転し、このギヤ43に駆動されるギ
ヤ47は180゜往復回転する。すると回動子45はこのギヤ4
7の軸心を中心に180゜往復回動し、係合部44を介してこ
の回動子45に連動するＹ方向駆動部35及び両ヘッド部2
2,23は一体的にＹ方向に往復動し、サブ移送ヘッド29は
ウェハー31上の電子部品をサブステージ32上に移送し、
また移送ヘッド28は、サブステージ32で位置補正された
電子部品をリードフレームLF上に実装する。移送ヘッド
28がそのノズル28aに吸着した電子部品をリードフレー
ムLFに予め塗布されたボンド上に着地させる場合、Ｘ方
向駆動部15とＹ方向駆動部35はわずかに駆動し、移送ヘ
ッド28をXY方向にわずかに（0.1mm程度）スクラブさせ
ることにより、電子部品をボンドにしっかり接着させて
実装する。また、複数枚のリードフレームLFが移送ヘッ
ド28の下方へ並送され、これらのリードフレームLFの実
装地点ａにそれぞれ電子部品を実装する場合がある。か
かる場合、移送ヘッド28は、Ｙ方向すなわちリードフレ
ームLFの巾方向に、リードフレームLFの横巾分のピッチ
だけ大きく摺動しなければならないが、この摺動は、上
記Ｙ方向駆動部35を駆動することにより行われる。この
場合、モータ38の負荷は、各ヘッド部22,23だけである
ので、その負荷はきわめて小さく、したがって低容量の
モータ38であっても、高速にて往復摺動させることがで
き、ひいては電子部品の実装速度をあげることができ
る。

ところで、移送ヘッド28及びサブ移送ヘッド29の横方
向の往復動ストロークの精度は、回動子45の回動量の精
度により決定される。ここで、第５図に示すように、回
動子45の回動量にθの狂いがあった場合、往復動ストロ
ークの誤差△Ｄは次式となる。

△Ｄ＝Ｌ−Lcos△θ＝Ｌ（１−cos△θ） L:回動子45の回動半径（揺動部材46のアーム長）一般にθは０゜に近いので、回動量の誤差θがかなり
あったとしても、これに基づくストロークの誤差△Ｄは
きわめて小さく、したがって両ヘッド28,29の往復動ス
トロークを正確に保持して、電子部品の実装作業を行う
ことができる。

（発明の効果）以上説明したように本発明は、この種電子部品実装装
置において、駆動装置に駆動されて往復回転する回転子
と、この回転子に駆動されてこの回転子を中心に往復揺
動する揺動部材と、この揺動部材の先端側に結合されて
この揺動部材と一体的に上記回転子を中心に往復回動す
る回動子を設けるとともに、この回動子に係合する係合
部を上記移送ヘッド部側に設けることにより、この回動
子の往復回動に連動して移送ヘッド部を横方向に往復動
させるようにしているので、移送ヘッドの往復ストロー
クの精度の良否を決定する回動子に回動量の狂いを生じ
ても、この回動量の横方向すなわち移送ヘッドの往復動
方向の成分はきわめて小さいので、この狂いに基づく移
送ヘッドの往復動ストロークの狂い、すなわち停止位置
の狂いはきわめて僅かであり、したがって移送ヘッドの
往復動ストロークをきわめて正確に保持して、電子部品
のピックアップや基板への実装を確実かつ正確に行うこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は電子
部品実装装置の斜視図、第２図は平面図、第３図は要部
の斜視図、第４図は要部正面図、第５図は説明図であ
る。 22……移送ヘッド部 28……移送ヘッド 44……係合部 45……回動子 47……回転子Ａ……駆動装置 LF……基板

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】移送ヘッドを備えた移送ヘッド部を、駆動
装置の駆動により横方向に往復動させて、この移送ヘッ
ドにより電子部品を基板に移送搭載するようにした電子
部品実装装置において、上記駆動装置に駆動されて往復
回転する回転子と、この回転子に駆動されてこの回転子
を中心に往復揺動する揺動部材と、この揺動部材の先端
側に結合されてこの揺動部材と一体的に上記回転子を中
心に往復回動する回動子を設けるとともに、この回動子
に係合する係合部を上記移送ヘッド部側に設けることに
より、この回動子の往復回動に連動して、移送ヘッド部
を横方向に往復動させるようにしたことを特徴とする移
送ヘッドの往復駆動装置。