JP2684005B2 - 気密ドア装置 - Google Patents

気密ドア装置

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JP2684005B2
JP2684005B2 JP5294050A JP29405093A JP2684005B2 JP 2684005 B2 JP2684005 B2 JP 2684005B2 JP 5294050 A JP5294050 A JP 5294050A JP 29405093 A JP29405093 A JP 29405093A JP 2684005 B2 JP2684005 B2 JP 2684005B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば、洗浄装置の洗
浄室に被洗浄物を搬出入する被洗浄物搬出入口に開閉自
在に設けた機密ドア装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の機密ドア装置を図8および図9に
もとづいて説明する。図において、符号1で示すものは
洗浄装置Sの被洗浄物搬出入口S1に設けた機密ドア装置
本体であり、符号2で示すものは洗浄装置Sの被洗浄物
搬出入口S1の両側に固着した一対のガイドレールであ
る。
【0003】符号3で示すものは洗浄装置Sの被洗浄物
搬出入口S1の下側に固着したシール取付部材であり、符
号4で示すものはシール取付部材3の被洗浄物搬出入口
S1の全幅に亘って取り付けた下部シールである。
【0004】符号5で示すものは洗浄装置Sの被洗浄物
搬出入口S1の上側に被洗浄物搬出入口S1の全幅に亘って
固着した上部シールで、上部シール5の上部には外側に
傾斜した傾斜面5aが形成されている。
【0005】符号6で示すものは一対のガイドレール2
に摺動自在に嵌合した機密ドアである。また、符号7で
示すものは機密ドア6の上部に固着したドアシールで、
ドアシール7の下部には上部シール5の傾斜面5aと係合
可能な傾斜面7aが形成されている。
【0006】符号8で示すものは洗浄装置Sの上部に固
着したブラケット9に固着支持されたドアシリンダで、
このドアシリンダ8のピストンロッド8aはナックル10を
介して機密ドア6に固着した連結金具11に連結してい
る。
【0007】このように構成された従来の機密ドア装置
の作用について説明する。図8および図9はドアシリン
ダ8のピストンロッド8aが短縮して機密ドア6は開状態
にある。そこで、図示しない搬出入装置により被洗浄物
を被洗浄物搬出入口S1から洗浄装置Sの洗浄室の所定位
置に搬入する。
【0008】被洗浄物が洗浄装置Sの洗浄室の所定位置
に搬入されると、ドアシリンダ8が作動してピストンロ
ッド8aが伸長して機密ドア6を仮想線で示す6′の位置
まで摺動、下降させる(図9参照)。
【0009】機密ドア6が仮想線で示す6′の位置まで
下降すると、機密ドア6の下端部は下部シール4と密着
すると共にドアシール7の傾斜面7aは上部シール5の傾
斜面5aと密着して係合する。すなわち、洗浄装置Sの被
洗浄物搬出入口S1は機密ドア6により密閉される。
【0010】洗浄装置Sの被洗浄物搬出入口S1が機密ド
ア6により密閉されると、洗浄装置Sの洗浄室におい
て、洗浄室に設けたジェットノズルから洗浄液を噴出し
て被洗浄物の洗浄を行う。
【0011】この時、洗浄室は完全に密閉された状態で
被洗浄物の洗浄が行われるので、洗浄中の洗浄液の機外
への飛散が防止されると共に洗浄中に発生する騒音が抑
制され、健全な作業環境の下で洗浄作業が行われる。
【0012】洗浄室において被洗浄物の洗浄が完了する
と、ドアシリンダ8が再び作動してピストンロッド8aが
短縮して機密ドア6を上昇させて開状態にし、図示しな
い搬出入装置により被洗浄物を被洗浄物搬出入口S1から
取出して1洗浄サイクルは終了する。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の洗
浄装置の機密ドア装置は、洗浄室内にジェットノズルを
配設し、このジェットノズルから洗浄液を噴出させて被
洗浄物の洗浄を行うようにしているので、洗浄室内の機
密性が十分に維持され、洗浄装置から洗浄中の洗浄液が
外部へ飛散するのを防止すると共に洗浄中に発生する騒
音を抑制することができ、健全な洗浄作業環境を提供す
ることができる。
【0014】しかしながら、洗浄室を洗浄液を貯留する
ための洗浄槽に形成し、この洗浄槽の側壁に被洗浄物搬
出入口を設け、この被洗浄物搬出入口から被洗浄物を洗
浄槽内の所定位置に搬入し、被洗浄物搬出入口を機密に
密閉して、洗浄液を貯え、この洗浄槽内の高圧洗浄ノズ
ルから高圧洗浄液を噴出させて洗浄槽内の洗浄液を攪拌
し、被洗浄物を回転させながら洗浄を行うようにした洗
浄装置においては、洗浄中、前記した一対のガイドレー
ルと機密ドアとの摺動部から洗浄液が漏れる問題があっ
た。したがって、このような洗浄装置においては、前述
のような機密ドア装置を適用することができない問題が
あった。
【0015】また、一対のガイドレールと機密ドアとの
摺動部から洗浄液が漏れるのを防止するため、摺動部に
シールを設けたとしても、機密ドアのシールへの密着性
が弱いため、洗浄時には洗浄槽内の洗浄液の水圧によ
り、シールの部分から洗浄液が漏れる問題があった。特
に、機密ドアの昇降によって機密ドアとシールとが接触
しシールが摩耗したような場合においてはその漏れが大
きかった。したがって、このような洗浄槽には前述の機
密ドア装置の適用は難しいという問題があった。
【0016】もちろん、洗浄槽の上部に被洗浄物搬出入
口を設け、この被洗浄物搬出入口から被洗浄物を搬出入
することも考えられるが、この場合、被洗浄物を洗浄槽
に投入する被洗浄物投入装置が大掛かりなものとなり、
製作費が高かくなると共に洗浄装置が大型化するという
問題が生じた。
【0017】本発明は、例えば、上記したような洗浄液
を貯えた洗浄槽内の高圧洗浄ノズルから高圧洗浄液を噴
出させて洗浄槽に貯えた洗浄液を攪拌し、被洗浄物を回
転させながら洗浄を行うようにした洗浄装置において、
被洗浄物搬出入口を機密に密閉することができ、かつ、
構造が簡素で、製作費が廉価な機密ドア装置を提供する
ことを目的とする。
【0018】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するための手段として、液槽の壁部に設けた開口部を
機密に閉塞する機密ドア装置において、前記開口部に該
開口部を囲繞して、シール部材を装着した略コ字状のシ
ール基板を、その開口側が上方になるように、かつ、前
記シール部材が前記液槽側になるようにして該液槽から
所定の距離を開けて機密に固着し、前記液槽の、前記シ
ール基板の前記開口部両側に一対のガイドレールを固着
すると共に該一対のガイドレールの軸線上の下部に該ガ
イドレールと同軸に複数対の押圧カムを回転自在に配設
し、前記シール基板と前記液槽との間に機密ドアを昇降
自在に配設し、該機密ドアに前記一対のガイドレールと
前記複数対の押圧カムとに係合可能なガイド溝を有する
一対のガイド部材を装着し、前記機密ドアに該機密ドア
を昇降させる昇降手段を連結し、前記機密ドアが下降す
る時、前記複数対の押圧カムを回動させ、該複数対の押
圧カムにより前記一対のガイド部材を介して前記機密ド
アを前記略コ字状のシール基板に押圧し、前記液槽の開
口部を機密に閉塞する押圧カム回動手段を設けたことを
特徴とするものである。
【0019】
【作用】本発明は、以上説明したように構成したので、
液槽の壁部に設けた開口部から液槽内に被洗浄物が搬入
されて位置決めされると、機密ドアを昇降させるシリン
ダが作動し機密ドアが下降する。
【0020】この時、機密ドアは機密ドアに取付けられ
ている一対のガイド部材のガイド溝は開口部の両側に固
着させた一対のガイドレールに係合しているので、機密
ドアは一対のガイドレールに案内されて下降する。
【0021】下降時に、一対のガイド部材は一対のガイ
ドレールから離脱し、ガイドレールの軸線上の下部に配
設された複数対の押圧カムと係合して、機密ドアは押圧
カムに案内されて下降端に到達する。
【0022】機密ドアが下降端に達すると、一対の押圧
カム回動シリンダが作動して、複数対の押圧カムを回転
させる。
【0023】複数対の押圧カムが回転すると、複数対の
押圧カムは一対のガイド部材のガイド溝の側壁を、機密
ドアがシール基板側に移動するように押圧する。これに
よって、機密ドアはシール基板に装着されているシール
部材を押圧してシール基板に強く密着する。
【0024】即ち、機密ドアは複数対の押圧カムにより
ロックされた状態で開口部を機密に閉塞する。
【0025】機密ドアが液槽の開口部を機密に閉塞する
と、洗浄液が液槽内の所定の水準まで注入され、所定の
洗浄サイクルが行われ、被洗浄物の洗浄が行われる。
【0026】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1ないし図7に
もとづいて説明する。図1において、符号S10 で示すも
のは洗浄装置であり、符号S11 で示すものは洗浄装置S1
0に設けた洗浄槽である。
【0027】また、符号S12 で示すものは、洗浄槽S11
内に貯えられる洗浄液S13 の液面より下方位置で、洗浄
槽S11 の壁部側面に設けた開口部である被洗浄物搬出入
口である。
【0028】符号20で示すものは被洗浄物搬出入口S12
に設けた機密ドア装置本体である。また符号21で示すも
のは洗浄槽S11 内に貯えられる洗浄液S13の液面より上
方に延び、被洗浄物搬出入口S12の両側位置となるよう
に洗浄槽S11の側面に機密に固着した一対の基台で、こ
の一対の基台21間の下部には基板22が被洗浄物搬出入口
S12 の下側位置となるように機密に固着している。
【0029】すなわち、一対の基台21と基板22は、上部
が洗浄槽S11 内に貯えられる洗浄液S13 の液面より上方
に延び、かつ、上部が開口した略コ字状となるように被
洗浄物搬出入口S12 を囲繞して洗浄槽S11 の側面に機密
に固着している。
【0030】符号23は一対の基台21と基板22上に、被洗
浄物搬出入口S12 の縁部より突出するように機密に固着
した、上部が開口した略コ字状のシール基板で、このシ
ール基板23の突出部内側、即ち洗浄槽S11 側にはシール
溝24がシール基板23の全長に亘って形成されている(図
7参照)。
【0031】符号25で示すものはシール部材で、このシ
ール部材25はその一部が突出するようにシール溝24内に
挿入されている。
【0032】したがって、この略コ字状のシール基板23
には、シール部材25がシール基板23の全長に亘って装着
されており、洗浄槽S11 の被洗浄物搬出入口S12 に被洗
浄物搬出入口S12 を囲繞して、シール基板23のコ字状の
開口側が洗浄槽S11 内に貯えられる洗浄液S13 の液面よ
り上方に延び、シール部材25が洗浄槽S11 側となるよう
に洗浄槽S11 から所定の間隔を開けて機密に固着してい
る。
【0033】符号26で示すものは一対の基台21の上部に
固着した上方に伸びた一対のガイドレールであり、符号
27で示すものは一対のガイドレール26の軸線上の下部に
ガイドレールと同軸となるように回転自在に配設した押
圧カムである。
【0034】押圧カム27は一対の基台21に固着したホル
ダ29に回転自在に支持された支持軸28の先端部に固着し
ている。なお、この実施例では押圧カム27は3対設けら
れている。
【0035】符号30で示すものは略コ字状のシール基板
23と洗浄槽S11 間に昇降自在に設けた機密ドアであり、
符号31で示すものは機密ドア30に固着したブラケット32
に固着支持された一対のガイド部材である。
【0036】この一対のガイド部材31には一対のガイド
レール26と3対の押圧カム27に係合可能なガイド溝31a
が形成されており、この一対のガイド部材31は機密ドア
30の下降時、即ち、被洗浄物搬出入口S12 を閉塞する
際、一対のガイドレール26から離脱するように機密ドア
30に固着している。
【0037】したがって、機密ドア30は洗浄槽S11 に固
着した一対のガイドレール26および3対組の押圧カム27
に係合するガイド溝31a を有する一対のガイド部材31に
より案内され昇降する。
【0038】符号33で示すものは機密ドア30の適所に固
着した連結金具で、連結金具33には連結溝33a が形成さ
れている(図4参照)。符号34で示すものは洗浄装置S1
0 に固着した機密ドア30の昇降手段であるドア昇降シリ
ンダである。
【0039】ドア昇降シリンダ34のピストンロッド34a
には狭部35a を有するナックル35が固着されており、ナ
ックル35は狭部35a が連結金具33の連結溝33a (図4参
照)に摺動自在に嵌合するように連結金具33と連結して
いる。したがって、機密ドア30はドア昇降シリンダ34に
シール基板23に対して接近離反可能に連結支持されてい
る。
【0040】符号36で示すものは一対の基台21間の上部
に機密に固着したシール金具で、シール金具36は、機密
ドア30の下降時、機密ドア30に固着した後述するシール
取付板37と係合して機密ドア30のストッパとしても働
く。機密ドア30の頂部に固着したシール取付板37の下面
にはシール部材38が装着されている(図5参照)。
【0041】なお、シール部材38は、シール部材38によ
るシール部が洗浄槽S11 内に貯えられる洗浄液S13 の液
面から相当離れており、このシール部から洗浄中に洗浄
液S13が飛散する虞れがない時は、装着しなくてもよ
い。
【0042】符号39で示すものは、支持軸28の基部に固
着したリンクで、リンク39はリンク39のアーム部が機密
ドア30の両側に配設した一対の駆動軸41とヒンジピン40
により回転自在に連結している。
【0043】符号42で示すものは洗浄装置S10 に固着し
たブラケット43にヒンジピン44により回転自在に支持さ
れた一対の押圧カム回動シリンダで、一対の押圧カム回
動シリンダ42のピストンロッド42a はナックル45を介し
てヒンジピン46により一対の駆動軸41と回転自在に連結
している。
【0044】次に、本実施例の作用を説明する。まず、
機密ドア装置本体1の全ての装置は元位置にあるものと
する。即ち、機密ドア30はドア昇降シリンダ34のピスト
ンシリンダ34a が短縮し、図1に仮想線30′で示すよう
に上昇している。
【0045】また、一対の押圧カム回動シリンダ42のピ
ストンロッド42a が短縮し、リンク39のアーム部を図3
に仮想線39′で示す位置に回動し、3対の押圧カム27
を、図6に仮想線27′で示す位置に回転して一対のガイ
ド部材31のガイド溝31a の一側壁(図2のガイド溝31a
のシール基板23側の壁)と係合して、図7に仮想線30′
で示すようにシール基板23から離反している。
【0046】また、洗浄装置S10 に設けた洗浄槽S11 の
被洗浄物搬出入口S12 は開放されており、洗浄槽S11 内
の洗浄液S13 は排出されている。
【0047】この状態において、被洗浄物搬出入口S12
から洗浄槽S11 内の所定位置に被洗浄物が搬入され、位
置決めされると、ドア昇降シリンダ34が作動し、ピスト
ンロッド34a を伸長させて、機密ドア30のシール取付板
37がシール金具36に当接するまで、機密ドア30を下降す
る。
【0048】この時、機密ドア30は機密ドア30に取付け
られている一対のガイド部材31のガイド溝31a が一対の
ガイドレール26と3対の押圧カム27に係合しているの
で、機密ドア30は一対のガイドレール26と3対の押圧カ
ム27に案内されて下降し、機密ドア30のシール取付板37
がシール金具36に当接すると、洗浄槽S11 の被洗浄物搬
出入口S12 の上部はシール部材38により機密に閉塞され
る。
【0049】一対のガイド部材31は一対のガイドレール
26から離脱し、3対の押圧カム27のみと係合し、機密ド
ア30は下降端に到達し、洗浄槽S11 の被洗浄物搬出入口
S12を閉塞可能にする位置に達する。
【0050】機密ドア30が下降端に達すると、一対の押
圧カム回動シリンダ42が作動して、ピストンロッド42a
を伸長させ、一対の駆動軸41を下方に移動させて、リン
ク39のアーム部を下方に回動させる。
【0051】リンク39のアーム部が下方に回動すると、
それに伴って、支持軸28が回転し、3対の押圧カム27を
回転させる。
【0052】3対の押圧カム27が回転すると、3対の押
圧カム27は一対のガイド部材31のガイド溝31a の他側壁
(図2のガイド溝31a のシール基板23側とは反対の壁)
を押圧する。
【0053】一対のガイド部材31のガイド溝31a の他側
壁がシール基板23側に押圧されると、機密ドア30はシー
ル基板23に装着されているシール部材25を押圧してシー
ル基板23に密着する。
【0054】即ち、機密ドア装置本体1は図1に示した
状態となり、機密ドア30は3対の押圧カム27によりロッ
クされた状態で洗浄槽S11 の被洗浄物搬出入口S12 を機
密に閉塞する。
【0055】機密ドア30が洗浄槽S11 の被洗浄物搬出入
口S12 を機密に閉塞すると、洗浄液S13 が洗浄槽S11 内
の所定の水準まで注入され、所定の洗浄サイクルが行わ
れ、被洗浄物の洗浄が行われる。
【0056】洗浄槽S11 内で被洗浄物の洗浄が完了する
と、洗浄槽S11 内の洗浄液S13 は排出され、機密ドア装
置本体1の全ての装置は上記とは逆の順序で作動し、元
位置に復帰する。
【0057】機密ドア装置本体1の全ての装置が元位置
に復帰すると、洗浄槽S11 の被洗浄物搬出入口S12 は開
口するので、洗浄槽S11 から洗浄後の被洗浄物を取出し
て、1洗浄サイクルは終了する。
【0058】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、機密ド
アを洗浄槽と平行させて昇降自在に設け、機密ドアを液
圧がかかる側からシール部材に押圧して洗浄槽の被洗浄
物搬出入口を機密に閉塞するようにしたので、また、機
密ドアの昇降時は、機密ドアがシール部材に接触せずに
昇降するようにして、シール部材の摩耗をほとんど回避
するようにしたので、洗浄槽の被洗浄物搬出入口を機密
に効率的に閉塞することができ、洗浄液の漏れをなくす
ことができる。
【0059】また、シール部材の摩擦を回避したので、
シール部材の寿命を相当に長く延ばすことができる。ま
た、困難なシール部材の取替え作業がほとんど無くなっ
て、メンテナンス作業を容易にすることができる。さら
に、構造が簡素であるため、機密ドア装置の製作費が廉
価なものとすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る機密ドア装置の正面図である。
【図2】図1のものの平面図である。
【図3】押圧カム回動機構の側面図である。
【図4】図1のA−A線に沿う断面図である。
【図5】図1のB−B線に沿う断面図である。
【図6】押圧カムとガイド部材の係合を示す拡大説明図
である。
【図7】機密ドアの機密閉塞部を示す図2のD部の拡大
説明図である。
【図8】従来の機密ドア装置の正面図である。
【図9】図8のC−C線に沿う断面図である。
【符号の説明】
23 シール基板 25 シール部材 26 ガイドレール 27 押圧カム 30 機密ドア 31 ガイド部材 31a ガイド溝 34 ドア昇降シリンダ 42 押圧カム回動シリンダ
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−155299(JP,A) 実開 昭60−186331(JP,U) 実開 昭59−25098(JP,U)

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液槽の壁部に設けた開口部を機密に閉塞
    する機密ドア装置において、前記開口部に該開口部を囲
    繞して、シール部材を装着した略コ字状のシール基板
    を、その開口側が上方になるように、かつ、前記シール
    部材が前記液槽側になるようにして該液槽から所定の距
    離を開けて機密に固着し、前記液槽の、前記シール基板
    の開口側に一対のガイドレールを固着すると共に該一対
    のガイドレールの軸線上の下部に該ガイドレールと同軸
    に複数対の押圧カムを回転自在に配設し、前記シール基
    板と前記液槽との間に機密ドアを昇降自在に配設し、該
    機密ドアに前記一対のガイドレールと前記複数対の押圧
    カムとに係合可能なガイド溝を有する一対のガイド部材
    を装着し、前記機密ドアに該機密ドアを昇降させる昇降
    手段を連結し、前記機密ドアが下降する時、前記複数対
    の押圧カムを回動させ、該複数対の押圧カムにより前記
    一対のガイド部材を介して前記機密ドアを前記略コ字状
    のシール基板に押圧し、前記液槽の開口部を機密に閉塞
    する押圧カム回動手段を設けたことを特徴とする機密ド
    ア装置。
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CN103334678B (zh) * 2013-07-01 2015-11-25 核工业理化工程研究院 用于真空室的气动式仓门密封结构
JP6384941B2 (ja) * 2016-08-23 2018-09-05 株式会社滋賀山下 洗浄装置
CN106362987A (zh) * 2016-08-26 2017-02-01 深圳市美雅洁技术股份有限公司 一种超声喷淋清洗消毒烘干装置

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