JP2685923B2 - レーザ共振器 - Google Patents
レーザ共振器Info
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- JP2685923B2 JP2685923B2 JP25775989A JP25775989A JP2685923B2 JP 2685923 B2 JP2685923 B2 JP 2685923B2 JP 25775989 A JP25775989 A JP 25775989A JP 25775989 A JP25775989 A JP 25775989A JP 2685923 B2 JP2685923 B2 JP 2685923B2
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- Japan
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- grating
- prisms
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- laser resonator
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/105—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length
- H01S3/1055—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the mutual position or the reflecting properties of the reflectors of the cavity, e.g. by controlling the cavity length one of the reflectors being constituted by a diffraction grating
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、高分解能を有し、波長選択が可能なレーザ
共振器に関するものである。
共振器に関するものである。
（従来の技術） 従来、波長選択が可能なレーザ共振器においては、そ
の共振器のリアミラーにグレーティング（回折格子）を
設け、グレーティングへの入射角を変化させることによ
り波長選択を行っている。第５図に、波長選択式の安定
形共振器の構成を示した。即ち、出力ミラー１とグレー
ティング２間で発振したレーザ光は、出力ミラー１をハ
ーフミラーとすることにより共振器内部発振の一部が出
力ミラー１から取り出される。一方、グレーティング２
は、選択された波長の光が入射角と同じ方向に回折する
リトロータイプが一般的で、CO2レーザ等では、回折次
数が１次の光を用いることが多い。なお、グレーティン
グへの入射角と回折角の関係式は、次式で表わされる。
の共振器のリアミラーにグレーティング（回折格子）を
設け、グレーティングへの入射角を変化させることによ
り波長選択を行っている。第５図に、波長選択式の安定
形共振器の構成を示した。即ち、出力ミラー１とグレー
ティング２間で発振したレーザ光は、出力ミラー１をハ
ーフミラーとすることにより共振器内部発振の一部が出
力ミラー１から取り出される。一方、グレーティング２
は、選択された波長の光が入射角と同じ方向に回折する
リトロータイプが一般的で、CO2レーザ等では、回折次
数が１次の光を用いることが多い。なお、グレーティン
グへの入射角と回折角の関係式は、次式で表わされる。
ｍλ＝ｄ・cosθ（sini＋sinβｍ） …（１） m :回折次数 λ：波長 i :入射角 βm:m次回折光の回折角 d :格子定数（格子間隔） θ：グレーティングの主断面と入射光のなす角 ここで、入射角が主断面内（θ＝０）で、ｍ＝１のと
き、リトロータイプの使い方（ｉ＝β）の場合、次式が
成り立つ。
き、リトロータイプの使い方（ｉ＝β）の場合、次式が
成り立つ。
ｉ＝sin-1（λ/2d） …（２） （ただし、ｉ＝β） また、モードセレクター３により発振光の横モードが規
定されるが、一般に、光の質が重要視される場合には、
シングルモードが要求される。
定されるが、一般に、光の質が重要視される場合には、
シングルモードが要求される。
ところで、波長選択の精度を支配する要因としては、
グレーティングの角分散と分解能が考えられる。この角
分散は、２つの波長の差ｄλによってどれだけの角度分
離があるかを示す量でｄθ/dλで表される。
グレーティングの角分散と分解能が考えられる。この角
分散は、２つの波長の差ｄλによってどれだけの角度分
離があるかを示す量でｄθ/dλで表される。
ｄθ/dλ＝m/d・cosθ …（３） （３）式から明らかな様に、入射角θと回折次数ｍが
一定の場合、格子定数ｄが小さい程、角分散が大きくな
る。従って、必要な波長選択精度ｄλに対して、共振器
として十分に識別可能な程度の角度分離がとれるだけの
格子定数ｄ（格子間隔）を持ったグレーティングを採用
する必要がある。一方、波長が接近していれば、グレー
ティングによって生ずるそれらの波長主極大値が、でき
るだけ細い状態に現れるようにしなければ見分けられに
くく、グレーティングで分解された２つの波長の差をΔ
λとすると、分解能Ｒは、 Ｒ＝λ／Δλ …（４） で定義される。（４）式から明らかな様に、Δλの値が
小さければ小さい程、分解能Ｒは大きくなる。Rayleigh
の判定条件によると、もし、波長（λ＋Δλ）の主極大
値が波長λの最初の極小値と重なるときが２つの波長の
光波が２つに見える限界となる。いま、グレーティング
における発振光が当たっている格子の数をＮとすると、
分解能Ｒは、 Ｒ＝ｍ・Ｎ …（５） となる。従って、格子スペクトルの分解能は格子の全数
Ｎと回折次数ｍに比例する。しかし、回折次数ｍをあま
り大きくとれない共振器では、分解能を良好にするには
格子の数Ｎを増やさなければならない。また、ピークパ
ワーの大きなパルスレーザでは、グレーティングの耐光
強度が問題になるため、グレーティングへの入射パワー
密度を小さくするという意味でも、ビーム径を大きくす
ることが要求される場合がある。
一定の場合、格子定数ｄが小さい程、角分散が大きくな
る。従って、必要な波長選択精度ｄλに対して、共振器
として十分に識別可能な程度の角度分離がとれるだけの
格子定数ｄ（格子間隔）を持ったグレーティングを採用
する必要がある。一方、波長が接近していれば、グレー
ティングによって生ずるそれらの波長主極大値が、でき
るだけ細い状態に現れるようにしなければ見分けられに
くく、グレーティングで分解された２つの波長の差をΔ
λとすると、分解能Ｒは、 Ｒ＝λ／Δλ …（４） で定義される。（４）式から明らかな様に、Δλの値が
小さければ小さい程、分解能Ｒは大きくなる。Rayleigh
の判定条件によると、もし、波長（λ＋Δλ）の主極大
値が波長λの最初の極小値と重なるときが２つの波長の
光波が２つに見える限界となる。いま、グレーティング
における発振光が当たっている格子の数をＮとすると、
分解能Ｒは、 Ｒ＝ｍ・Ｎ …（５） となる。従って、格子スペクトルの分解能は格子の全数
Ｎと回折次数ｍに比例する。しかし、回折次数ｍをあま
り大きくとれない共振器では、分解能を良好にするには
格子の数Ｎを増やさなければならない。また、ピークパ
ワーの大きなパルスレーザでは、グレーティングの耐光
強度が問題になるため、グレーティングへの入射パワー
密度を小さくするという意味でも、ビーム径を大きくす
ることが要求される場合がある。
以上より、波長選択精度を上げるためには、必要な角
分散の得られる格子定数ｄを有するグレーティングを採
用し、グレーティング面に当たる光束の巾を拡大し、格
子の数Ｎを大きくしてやる必要がある。また、光の質が
重要視される場合には、シングルモードが要求されるた
め、ビーム径を大きくとれないので、格子を横切る方向
のビーム径を拡大しなければならない。この様な共振器
内に用いられるビーム拡大器としては、第６図に示した
様なブリュースター角で入射させるプリズムが一般的で
ある。この様なビーム拡大器においては、プリズム４の
屈折率をn,入射ビームのビーム巾をd1，出射ビームのビ
ーム巾をd2とすると、 d2＝ｎ・d1 …（６） となる。例えば、CO2レーザでは、プリズムにZnSe等が
用いられ、ZnSeの場合ｎ2.4なので、ビーム巾を約2.4
倍にできる。もし、2.4倍で不十分な場合には、第７図
に示す様に、第１プリズム５と第２プリズム６を用いた
ダブルプリズムが採用され、このとき、 d2＝n2・d1 …（７） となる。即ち、一般に、ｘ個のプリズムを通過した光
は、 d2＝nx・d1 …（８） となる。従って、多数のプリズムを通過させる程ビーム
巾を拡大でき、耐光強度、分解能共に向上させることが
できる。
分散の得られる格子定数ｄを有するグレーティングを採
用し、グレーティング面に当たる光束の巾を拡大し、格
子の数Ｎを大きくしてやる必要がある。また、光の質が
重要視される場合には、シングルモードが要求されるた
め、ビーム径を大きくとれないので、格子を横切る方向
のビーム径を拡大しなければならない。この様な共振器
内に用いられるビーム拡大器としては、第６図に示した
様なブリュースター角で入射させるプリズムが一般的で
ある。この様なビーム拡大器においては、プリズム４の
屈折率をn,入射ビームのビーム巾をd1，出射ビームのビ
ーム巾をd2とすると、 d2＝ｎ・d1 …（６） となる。例えば、CO2レーザでは、プリズムにZnSe等が
用いられ、ZnSeの場合ｎ2.4なので、ビーム巾を約2.4
倍にできる。もし、2.4倍で不十分な場合には、第７図
に示す様に、第１プリズム５と第２プリズム６を用いた
ダブルプリズムが採用され、このとき、 d2＝n2・d1 …（７） となる。即ち、一般に、ｘ個のプリズムを通過した光
は、 d2＝nx・d1 …（８） となる。従って、多数のプリズムを通過させる程ビーム
巾を拡大でき、耐光強度、分解能共に向上させることが
できる。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上述した様な従来のレーザ共振器に
は、以下に述べる様な解決すべき課題があった。即ち、
多数のプリズムを使う程、耐光強度，分解能共に良好な
共振器となるが、プリズムの数が増える程、共振器のア
ライメントが複雑になる。特に、プリズムを共振器内に
採用すると、光軸が変化すると共に、光の偏光方向も変
化するため、一般の透過形の光学部品の２倍のアライメ
ント量が要求され、特に、複数のプリズムを使用した場
合には、プリズム同志の相対位置精度（姿勢）も共振器
のアライメントのキーポイントとなる。
は、以下に述べる様な解決すべき課題があった。即ち、
多数のプリズムを使う程、耐光強度，分解能共に良好な
共振器となるが、プリズムの数が増える程、共振器のア
ライメントが複雑になる。特に、プリズムを共振器内に
採用すると、光軸が変化すると共に、光の偏光方向も変
化するため、一般の透過形の光学部品の２倍のアライメ
ント量が要求され、特に、複数のプリズムを使用した場
合には、プリズム同志の相対位置精度（姿勢）も共振器
のアライメントのキーポイントとなる。
しかし、従来のレーザ共振器においては、第４図に示
した様に、出力ミラー、プリズムユニット、グレーティ
ングのそれぞれの姿勢が基準光軸と１対１に対応してお
り、それぞれの姿勢が決まって初めて基準光軸が定まる
構成となっているため、まず、出力ミラー、プリズムユ
ニット、グレーティングの粗調整を行い、徐々に互いの
姿勢を最良のアライメントに向けて調整していた。この
様に、従来のレーザ共振器においては、複数のプリズム
を用いたプリズムユニットのアライメント機能が不十
分、不適格であったため、共振器のアライメントに多大
な時間を要していた。
した様に、出力ミラー、プリズムユニット、グレーティ
ングのそれぞれの姿勢が基準光軸と１対１に対応してお
り、それぞれの姿勢が決まって初めて基準光軸が定まる
構成となっているため、まず、出力ミラー、プリズムユ
ニット、グレーティングの粗調整を行い、徐々に互いの
姿勢を最良のアライメントに向けて調整していた。この
様に、従来のレーザ共振器においては、複数のプリズム
を用いたプリズムユニットのアライメント機能が不十
分、不適格であったため、共振器のアライメントに多大
な時間を要していた。
本発明は、以上の欠点を解消するために提案されたも
ので、その目的は、複数のプリズムを用いた場合でも、
アライメントの容易な、精度の高いレーザ共振器を提供
することにある。
ので、その目的は、複数のプリズムを用いた場合でも、
アライメントの容易な、精度の高いレーザ共振器を提供
することにある。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、２つ以上のプリズムを用いて、グレーティ
ングに入射する発振光を拡大するレーザ共振器におい
て、複数個のプリズムを同一のプリズムマウント上に配
設し、入射光に対する第１プリズムの入射面の中心に、
プリズムマウントの水平回転、あおり、垂直回転、左右
方向、上下方向の５方向のアライメント軸の回転あるい
は移動中心がくるように、プリズムマウントの姿勢調整
装置を設けたことを特徴とするものである。
ングに入射する発振光を拡大するレーザ共振器におい
て、複数個のプリズムを同一のプリズムマウント上に配
設し、入射光に対する第１プリズムの入射面の中心に、
プリズムマウントの水平回転、あおり、垂直回転、左右
方向、上下方向の５方向のアライメント軸の回転あるい
は移動中心がくるように、プリズムマウントの姿勢調整
装置を設けたことを特徴とするものである。
（作用） 本発明のレーザ共振器によれば、出力ミラー側からの
基準光軸に対して、プリズムユニットを単独で調整する
ことができる。また、プリズム間のアライメントが不要
となる。
基準光軸に対して、プリズムユニットを単独で調整する
ことができる。また、プリズム間のアライメントが不要
となる。
（実施例） 以下、本発明の一実施例を第１図乃至第３図に基づい
て具体的に説明する。なお、第５図乃至第７図に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
て具体的に説明する。なお、第５図乃至第７図に示した
従来型と同一の部材には同一の符号を付して、説明は省
略する。
本実施例においては、第１図及び第２図に示した様
に、複数個のプリズム10,11を同一のプリズムマウント1
2上に備えたプリズムユニットが、出力ミラー１とグレ
ーティング２の間に配設され、出力ミラー側からの入射
光に対する第１プリズム10の入射面の中心Ａに、プリズ
ムマウント12の水平回転“a"、あおり“b"、垂直回転
“c"、左右方向“d"、上下方向“e"の５方向のアライメ
ント軸の回転あるいは移動中心がくるように、プリズム
ユニットの姿勢調整装置が設けられている。また、前記
プリズムマウント12には、第１プリズム10と第２プリズ
ム11が取付けられ、両者の相対位置精度は、プリズム単
体の形状精度とプリズムマウント12の機械加工精度によ
り確保されている。
に、複数個のプリズム10,11を同一のプリズムマウント1
2上に備えたプリズムユニットが、出力ミラー１とグレ
ーティング２の間に配設され、出力ミラー側からの入射
光に対する第１プリズム10の入射面の中心Ａに、プリズ
ムマウント12の水平回転“a"、あおり“b"、垂直回転
“c"、左右方向“d"、上下方向“e"の５方向のアライメ
ント軸の回転あるいは移動中心がくるように、プリズム
ユニットの姿勢調整装置が設けられている。また、前記
プリズムマウント12には、第１プリズム10と第２プリズ
ム11が取付けられ、両者の相対位置精度は、プリズム単
体の形状精度とプリズムマウント12の機械加工精度によ
り確保されている。
この様な構成を有する本実施例のレーザ共振器におい
ては、出力ミラー１とグレーティング２間で発振したレ
ーザ光は、グレーティング２に入射する直前に、第１プ
リズム10及び第２プリズム11により、グレーティング２
の格子を横切る方向のビーム径が拡大される。例えば、
第１及び第２プリズム10,11としてZnSeを用いた場合に
は、ビーム径は約5.8倍に拡大される。また、グレーテ
ィング２によって波長選択された光は、再び第２プリズ
ム11及び第１プリズム10を通過することにより、元のビ
ーム径に縮小されて出力ミラー１にもどされ、その一部
がレーザ出力として取り出される。この時、出力ミラー
側からの基準光軸に対して、プリズムマウントに設けら
れた姿勢調整装置を適宜調節することによって、効率良
くビーム巾を拡大することができるように、プリズムユ
ニットを単独で調整することができる。また、複数個の
プリズムは同一のプリズムマウント上に配設されている
ため、各プリズム間におけるアライメントは不要とな
る。
ては、出力ミラー１とグレーティング２間で発振したレ
ーザ光は、グレーティング２に入射する直前に、第１プ
リズム10及び第２プリズム11により、グレーティング２
の格子を横切る方向のビーム径が拡大される。例えば、
第１及び第２プリズム10,11としてZnSeを用いた場合に
は、ビーム径は約5.8倍に拡大される。また、グレーテ
ィング２によって波長選択された光は、再び第２プリズ
ム11及び第１プリズム10を通過することにより、元のビ
ーム径に縮小されて出力ミラー１にもどされ、その一部
がレーザ出力として取り出される。この時、出力ミラー
側からの基準光軸に対して、プリズムマウントに設けら
れた姿勢調整装置を適宜調節することによって、効率良
くビーム巾を拡大することができるように、プリズムユ
ニットを単独で調整することができる。また、複数個の
プリズムは同一のプリズムマウント上に配設されている
ため、各プリズム間におけるアライメントは不要とな
る。
第３図に、本実施例のレーザ共振器におけるアライメ
ントのブロック図を示した。即ち、本実施例において
は、基準光軸（一般的には、放電部の中心）を中心とし
て、出力ミラーのアライメントＰ、プリズムユニットの
アライメントＱ及びプリズムユニットとグレーティング
間のアライメントＲが、プリズムマウントの姿勢調整装
置を適宜調節することにより、それぞれ独立して行え
る。
ントのブロック図を示した。即ち、本実施例において
は、基準光軸（一般的には、放電部の中心）を中心とし
て、出力ミラーのアライメントＰ、プリズムユニットの
アライメントＱ及びプリズムユニットとグレーティング
間のアライメントＲが、プリズムマウントの姿勢調整装
置を適宜調節することにより、それぞれ独立して行え
る。
この様に、本実施例によれば、あらかじめ規定された
基準光軸に対して、出力ミラーのアライメントＰ、プリ
ズムユニットのアライメントＱ及びプリズムユニットと
グレーティング間のアライメントＲを、単独で調整する
ことができるので、より効率の良いアライメント構成が
得られる。
基準光軸に対して、出力ミラーのアライメントＰ、プリ
ズムユニットのアライメントＱ及びプリズムユニットと
グレーティング間のアライメントＲを、単独で調整する
ことができるので、より効率の良いアライメント構成が
得られる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものでは
なく、プリズムユニットに配設されるプリズムの数は２
個以上でも良い。この場合も同様の効果が得られる。
なく、プリズムユニットに配設されるプリズムの数は２
個以上でも良い。この場合も同様の効果が得られる。
［発明の効果］ 以上述べた様に、本発明によれば、複数個のプリズム
を同一のプリズムマウント上に配設し、入射光に対する
第１プリズムの入射面の中心に、プリズムマウントの水
平回転、あおり、垂直回転、左右方向、上下方向の５方
向のアライメント軸の回転あるいは移動中心がくるよう
に、プリズムマウントの姿勢調整装置を設けることによ
り、複数のプリズムを用いた場合でも、アライメントの
容易な、精度の高いレーザ共振器を提供することでき
る。
を同一のプリズムマウント上に配設し、入射光に対する
第１プリズムの入射面の中心に、プリズムマウントの水
平回転、あおり、垂直回転、左右方向、上下方向の５方
向のアライメント軸の回転あるいは移動中心がくるよう
に、プリズムマウントの姿勢調整装置を設けることによ
り、複数のプリズムを用いた場合でも、アライメントの
容易な、精度の高いレーザ共振器を提供することでき
る。
第１図は本発明のレーザ共振器に用いられる第１プリズ
ムの一実施例を示す斜視図、第２図は本発明のレーザ共
振器の一実施例を示す構成図、第３図は本発明のアライ
メントブロック図、第４図は従来のレーザ共振器のアラ
イメントブロック図、第５図は波長選択型の安定形レー
ザ共振器の一例を示す構成図、第６図はシングルプリズ
ムを用いた場合のビーム拡大効果を示す図、第７図はダ
ブルプリズムを用いた場合のビーム拡大効果を示す図で
ある。 １…出力ミラー、２…グレーティング、３…モードセレ
クター、４…プリズム、５…第１プリズム、６…第２プ
リズム、10…第１プリズム、11…第２プリズム、12…プ
リズムマウント。
ムの一実施例を示す斜視図、第２図は本発明のレーザ共
振器の一実施例を示す構成図、第３図は本発明のアライ
メントブロック図、第４図は従来のレーザ共振器のアラ
イメントブロック図、第５図は波長選択型の安定形レー
ザ共振器の一例を示す構成図、第６図はシングルプリズ
ムを用いた場合のビーム拡大効果を示す図、第７図はダ
ブルプリズムを用いた場合のビーム拡大効果を示す図で
ある。 １…出力ミラー、２…グレーティング、３…モードセレ
クター、４…プリズム、５…第１プリズム、６…第２プ
リズム、10…第１プリズム、11…第２プリズム、12…プ
リズムマウント。
Claims (1)
- 【請求項１】２つ以上のプリズムを用いて、グレーティ
ングに入射する発振光を拡大するレーザ共振器におい
て、 前記複数個のプリズムを同一のプリズムマウント上に配
設し、入射光に対する第１プリズムの入射面の中心に、
前記プリズムマウントの水平回転、あおり、垂直回転、
左右方向、上下方向の５方向のアライメント軸の回転あ
るいは移動中心がくるように、プリズムマウントの姿勢
調整装置を設けたことを特徴とするレーザ共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25775989A JP2685923B2 (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | レーザ共振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25775989A JP2685923B2 (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | レーザ共振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03120772A JPH03120772A (ja) | 1991-05-22 |
| JP2685923B2 true JP2685923B2 (ja) | 1997-12-08 |
Family
ID=17310703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25775989A Expired - Lifetime JP2685923B2 (ja) | 1989-10-04 | 1989-10-04 | レーザ共振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2685923B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220124296A (ko) * | 2020-03-10 | 2022-09-13 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 파장 변환 레이저 장치 및 파장 변환 레이저 가공기 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3831798B2 (ja) | 2001-11-02 | 2006-10-11 | ギガフォトン株式会社 | プリズムユニット及びレーザ装置 |
| CN108780979B (zh) * | 2016-04-22 | 2021-03-19 | 极光先进雷射株式会社 | 激光装置 |
-
1989
- 1989-10-04 JP JP25775989A patent/JP2685923B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220124296A (ko) * | 2020-03-10 | 2022-09-13 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 파장 변환 레이저 장치 및 파장 변환 레이저 가공기 |
| KR102528248B1 (ko) * | 2020-03-10 | 2023-05-03 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 파장 변환 레이저 장치 및 파장 변환 레이저 가공기 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03120772A (ja) | 1991-05-22 |
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