JP2942014B2 - 記録及び／又は再生方法及び情報記録担体 - Google Patents
記録及び／又は再生方法及び情報記録担体Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば高密度かつ大
容量を有する情報記録担体及びそれに対する記録及び／
又は再生方法に関するものである。
容量を有する情報記録担体及びそれに対する記録及び／
又は再生方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年においてメモリ素子およびメモリシ
ステムの用途は、コンピユータおよびその関連機器、ビ
デオデイスク、デイジタルオーデイオデイスク等、多岐
にわたり、エレクトロニクス産業の中核を成している。
従来は磁気メモリや半導体メモリが主流であったが、最
近のレーザー技術の進展に伴い、安価で高密度な記録媒
体を用いた光メモリ素子などが登場してきた。しかし、
今後のホームユースでのコンピユータ利用や画像を中心
とした情報産業化が進む上で、さらに容量を大きく、か
つ容積を小さくしたメモリ装置あるいは方法の具現化が
切望されている。
ステムの用途は、コンピユータおよびその関連機器、ビ
デオデイスク、デイジタルオーデイオデイスク等、多岐
にわたり、エレクトロニクス産業の中核を成している。
従来は磁気メモリや半導体メモリが主流であったが、最
近のレーザー技術の進展に伴い、安価で高密度な記録媒
体を用いた光メモリ素子などが登場してきた。しかし、
今後のホームユースでのコンピユータ利用や画像を中心
とした情報産業化が進む上で、さらに容量を大きく、か
つ容積を小さくしたメモリ装置あるいは方法の具現化が
切望されている。
【０００３】一方、近年において、導体の表面原子の電
子構造を直接観察できる走査型トンネル顕微鏡（以後、
ＳＴＭと略す）が開発され、→［Ｇ．Ｂｉｎｎｉｇｅｔ
ａｌ．，Ｈｅｌｖｅｔｉｃａ Ｐｈｙｓｉｃａ Ａｃｔ
ａ．，５５．７２６（１９８２）］単結晶、非晶質を問
わず実空間で高い分解能の測定ができるようになった。
ＳＴＭは、金属の探針と導電性物質の間に電圧を加え
て、１ｎｍ程度の距離まで近づけるとトンネル電流が流
れることを利用している。この電流は両者の距離変化に
非常に敏感であり、トンネル電流を一定に保つように探
針を操作することにより実空間の表面像を描くことがで
きる。ＳＴＭを用いた測定は導電性材料に限られるが、
導電性材料の表面に薄く形成された絶縁膜の構造解析に
も応用され初めている。更に、ＳＴＭは微少電流を検知
する方法を用いているため、測定材料に損傷を与えず
に、かつ低電力で観察できる利点をも有する。また、超
高真空中のみならず大気中、溶液中でも動作し、種々の
材料に対して用いることができるため広範囲な応用が期
待されている。
子構造を直接観察できる走査型トンネル顕微鏡（以後、
ＳＴＭと略す）が開発され、→［Ｇ．Ｂｉｎｎｉｇｅｔ
ａｌ．，Ｈｅｌｖｅｔｉｃａ Ｐｈｙｓｉｃａ Ａｃｔ
ａ．，５５．７２６（１９８２）］単結晶、非晶質を問
わず実空間で高い分解能の測定ができるようになった。
ＳＴＭは、金属の探針と導電性物質の間に電圧を加え
て、１ｎｍ程度の距離まで近づけるとトンネル電流が流
れることを利用している。この電流は両者の距離変化に
非常に敏感であり、トンネル電流を一定に保つように探
針を操作することにより実空間の表面像を描くことがで
きる。ＳＴＭを用いた測定は導電性材料に限られるが、
導電性材料の表面に薄く形成された絶縁膜の構造解析に
も応用され初めている。更に、ＳＴＭは微少電流を検知
する方法を用いているため、測定材料に損傷を与えず
に、かつ低電力で観察できる利点をも有する。また、超
高真空中のみならず大気中、溶液中でも動作し、種々の
材料に対して用いることができるため広範囲な応用が期
待されている。
【０００４】特に、資料中に高分解能で情報を書き込む
記録装置、又資料中に書き込まれた情報を高分解能で読
出す再生装置としての応用が進められている。このよう
にＳＴＭ技術を応用した装置では、プローブ電極と記録
媒体とを約１ｎｍ程度まで近づけるため、高度な精密制
御技術が必要とされている。
記録装置、又資料中に書き込まれた情報を高分解能で読
出す再生装置としての応用が進められている。このよう
にＳＴＭ技術を応用した装置では、プローブ電極と記録
媒体とを約１ｎｍ程度まで近づけるため、高度な精密制
御技術が必要とされている。
【０００５】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、上
記ＳＴＭの原理を応用した従来技術において、プローブ
電極と記録媒体表面との距離をｎｍオーダーで精密に制
御する必要がある。そのために今までは複雑な制御回路
・機構などが必要であった。
記ＳＴＭの原理を応用した従来技術において、プローブ
電極と記録媒体表面との距離をｎｍオーダーで精密に制
御する必要がある。そのために今までは複雑な制御回路
・機構などが必要であった。
【０００６】本発明は、上述従来例の応用発明であり記
録又は再生時のプローブと記録媒体との間隔制御をより
容易かつ確実なものとした記録及び／又は再生方法及び
情報記録担体を提供する事を目的とする。
録又は再生時のプローブと記録媒体との間隔制御をより
容易かつ確実なものとした記録及び／又は再生方法及び
情報記録担体を提供する事を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述目的を達成する為本
発明は、情報記録媒体にプローブを介して情報を記録及
び／又は再生する方法で、前記情報記録媒体の記録層と
プローブとの間に記録層・プローブ間隔を設定するため
の間隔設定層を設け、該間隔設定層を挾んだ状態で前記
プローブを介して前記記録層に情報を記録及び／又は再
生する様にしている。
発明は、情報記録媒体にプローブを介して情報を記録及
び／又は再生する方法で、前記情報記録媒体の記録層と
プローブとの間に記録層・プローブ間隔を設定するため
の間隔設定層を設け、該間隔設定層を挾んだ状態で前記
プローブを介して前記記録層に情報を記録及び／又は再
生する様にしている。
【０００８】又、本発明は記録層に対向したプローブを
介して情報を記録及び／又は再生される情報記録担体
で、前記記録層上に該記録層とプローブとの間隔を設定
するための間隔設定層を設けている。
介して情報を記録及び／又は再生される情報記録担体
で、前記記録層上に該記録層とプローブとの間隔を設定
するための間隔設定層を設けている。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の第１実施例を用いた情報記録
再生装置を表わす図面である。同図において、１は電解
研磨法で作成したタングステン製のプローブ電極、２は
プローブ電極をｘｙ方向には拘束しｚ方向には可動とす
るように支持する弾性支持機構、３はプローブ電極をｚ
方向に粗動させるｚ方向粗動機構である。４は記録媒体
で、ｘｙ面に平行な表面を有する。４０はマイカをへき
開して得られた平滑な基板、４１は基板４０の上にＡｕ
をエピタキシヤル成長させた下地電極、４２は電気メモ
リー効果を有するスクアリリウム−ビス−６−オクチル
アズレン（以下ＳＯＡＺと略す）をＬＢ法により８層累
積した記録層、４３はポリイソブチルメタクリレートを
ＬＢ法により１層付けた間隔設定層である。記録媒体４
は基板４０、下地電極４１、記録層４２、間隔設定層４
３から構成されている。５は記録媒体４をｘｙ方向に操
作させるｘｙ方向走査機構である。６は記録再生装置の
外部装置との接続を行なうインターフエースである。イ
ンターフエース６と外部装置との間では書き込み読み出
し情報、ステータス信号、記録再生装置の制御信号、ア
ドレス信号などがやりとりされる。６０は記録再生装置
内の各ブロツク間の相互動作の集中制御を行なう制御回
路、６１は書き込み読み出し情報（データ）を制御回路
６０からの指示により書き込んだり読み出したりする書
き込み読み出し回路、６２は書き込み読み出し回路６１
からの指令信号により、プローブ電極１と記録媒体４と
の間に、記録時にはデータを書き込むためのパルス状電
圧を印加し、かつ再生時には読み出し電圧を印加する電
圧印加回路、６３はプローブ電極１と記録媒体４との間
に流れる電流を増幅する電流増幅回路である。６８は後
述する弾性支持機構３に取り付けられたセンサーからプ
ローブ電極１と記録媒体４との接触を検出し、またｘｙ
方向走査機構５の駆動状態からプローブ電極１の記録媒
体４上でのｘｙ方向走査位置を検出する為の位置検出回
路である。６４は制御回路６０などの指示により電流増
幅回路６３や位置検出回路６８の信号を基にプローブ電
極１や記録媒体４の位置を決定する位置決め回路、６５
は位置決め回路６４からのサーボ信号を基にプローブ電
極１と記録媒体４の位置をサーボ制御するサーボ回路、
６６は位置決め回路６４の信号に従いプローブ電極１の
ｚ方向粗動機構を駆動するｚ方向駆動回路、６７はサー
ボ回路６５の信号に従い記録媒体４が取り付けられてい
るｘｙ方向走査機構５を駆動するｘｙ方向駆動回路であ
る。
再生装置を表わす図面である。同図において、１は電解
研磨法で作成したタングステン製のプローブ電極、２は
プローブ電極をｘｙ方向には拘束しｚ方向には可動とす
るように支持する弾性支持機構、３はプローブ電極をｚ
方向に粗動させるｚ方向粗動機構である。４は記録媒体
で、ｘｙ面に平行な表面を有する。４０はマイカをへき
開して得られた平滑な基板、４１は基板４０の上にＡｕ
をエピタキシヤル成長させた下地電極、４２は電気メモ
リー効果を有するスクアリリウム−ビス−６−オクチル
アズレン（以下ＳＯＡＺと略す）をＬＢ法により８層累
積した記録層、４３はポリイソブチルメタクリレートを
ＬＢ法により１層付けた間隔設定層である。記録媒体４
は基板４０、下地電極４１、記録層４２、間隔設定層４
３から構成されている。５は記録媒体４をｘｙ方向に操
作させるｘｙ方向走査機構である。６は記録再生装置の
外部装置との接続を行なうインターフエースである。イ
ンターフエース６と外部装置との間では書き込み読み出
し情報、ステータス信号、記録再生装置の制御信号、ア
ドレス信号などがやりとりされる。６０は記録再生装置
内の各ブロツク間の相互動作の集中制御を行なう制御回
路、６１は書き込み読み出し情報（データ）を制御回路
６０からの指示により書き込んだり読み出したりする書
き込み読み出し回路、６２は書き込み読み出し回路６１
からの指令信号により、プローブ電極１と記録媒体４と
の間に、記録時にはデータを書き込むためのパルス状電
圧を印加し、かつ再生時には読み出し電圧を印加する電
圧印加回路、６３はプローブ電極１と記録媒体４との間
に流れる電流を増幅する電流増幅回路である。６８は後
述する弾性支持機構３に取り付けられたセンサーからプ
ローブ電極１と記録媒体４との接触を検出し、またｘｙ
方向走査機構５の駆動状態からプローブ電極１の記録媒
体４上でのｘｙ方向走査位置を検出する為の位置検出回
路である。６４は制御回路６０などの指示により電流増
幅回路６３や位置検出回路６８の信号を基にプローブ電
極１や記録媒体４の位置を決定する位置決め回路、６５
は位置決め回路６４からのサーボ信号を基にプローブ電
極１と記録媒体４の位置をサーボ制御するサーボ回路、
６６は位置決め回路６４の信号に従いプローブ電極１の
ｚ方向粗動機構を駆動するｚ方向駆動回路、６７はサー
ボ回路６５の信号に従い記録媒体４が取り付けられてい
るｘｙ方向走査機構５を駆動するｘｙ方向駆動回路であ
る。
【００１０】図２を用いて弾性支持機構２の説明をす
る。同図において、１は直径２５μｍのタングステンを
電解研磨法で尖らせたプローブ電極、２０は長さ１ｍｍ
幅０．２ｍｍ厚さ１０μｍのＡｕ箔からなる弾性部材、
１１はプローブ電極１と弾性部材２０とを固定する導電
製の接着剤からなる接着部、２１は弾性部材２０のプロ
ーブ電極１と反対側の端部を固定するベースで、更にベ
ース２１は不図示のｚ方向粗動機構と接着される。２２
は弾性部材２０の撓みを表面の歪みから検出する撓みセ
ンサーである。
る。同図において、１は直径２５μｍのタングステンを
電解研磨法で尖らせたプローブ電極、２０は長さ１ｍｍ
幅０．２ｍｍ厚さ１０μｍのＡｕ箔からなる弾性部材、
１１はプローブ電極１と弾性部材２０とを固定する導電
製の接着剤からなる接着部、２１は弾性部材２０のプロ
ーブ電極１と反対側の端部を固定するベースで、更にベ
ース２１は不図示のｚ方向粗動機構と接着される。２２
は弾性部材２０の撓みを表面の歪みから検出する撓みセ
ンサーである。
【００１１】発明装置の動作説明を行なう。
【００１２】プローブ電極１は記録媒体設置時等に記録
媒体４との衝突を避けるために離れているので、ｚ方向
粗動機構３によって両者を接近させる。手順は、まずｚ
方向粗動機構３を駆動して弾性支持機構２に取り付けら
れた撓みセンサー２２がプローブ電極１と記録媒体４と
の接触を検出（弾性部材２０の撓みの発生をもって接触
有と判定）するまでプローブ電極１を近づけることで行
なう。この時、プローブ電極１は弾性部材２０が撓むこ
とによる弾性力で記録媒体４に押し付けられている。ま
た、プローブ電極１の先端と記録媒体の記録層４２との
間隔は間隔設定層４３によって決まっており、この間隔
はポリイソブチルメタクリレートの１層の厚さで約１ｎ
ｍである。ここでｚ方向粗動機構３を保持し、プローブ
電極１と記録媒体の下地電極４１との間に電圧印加回路
６２から０．１Ｖのバイアス電圧を印加しながら、プロ
ーブ電極１に対し記録媒体４をｘｙ方向走査機構５を用
いて走査することで、プローブ電極１と記録媒体の下地
電極４１との間隔を一定に保ちながら記録再生が可能な
状態になる。実際にこの状態で読み出し情報を見たとこ
ろ情報は何もはいっていなかった。更に詳しくは、記録
媒体４を走査しながら得られる電流増幅回路６３の出力
値はプローブ電極１と記録媒体４の下地電極４１の間に
流れる電流に換算して１ｐＡ以下の値であった。
媒体４との衝突を避けるために離れているので、ｚ方向
粗動機構３によって両者を接近させる。手順は、まずｚ
方向粗動機構３を駆動して弾性支持機構２に取り付けら
れた撓みセンサー２２がプローブ電極１と記録媒体４と
の接触を検出（弾性部材２０の撓みの発生をもって接触
有と判定）するまでプローブ電極１を近づけることで行
なう。この時、プローブ電極１は弾性部材２０が撓むこ
とによる弾性力で記録媒体４に押し付けられている。ま
た、プローブ電極１の先端と記録媒体の記録層４２との
間隔は間隔設定層４３によって決まっており、この間隔
はポリイソブチルメタクリレートの１層の厚さで約１ｎ
ｍである。ここでｚ方向粗動機構３を保持し、プローブ
電極１と記録媒体の下地電極４１との間に電圧印加回路
６２から０．１Ｖのバイアス電圧を印加しながら、プロ
ーブ電極１に対し記録媒体４をｘｙ方向走査機構５を用
いて走査することで、プローブ電極１と記録媒体の下地
電極４１との間隔を一定に保ちながら記録再生が可能な
状態になる。実際にこの状態で読み出し情報を見たとこ
ろ情報は何もはいっていなかった。更に詳しくは、記録
媒体４を走査しながら得られる電流増幅回路６３の出力
値はプローブ電極１と記録媒体４の下地電極４１の間に
流れる電流に換算して１ｐＡ以下の値であった。
【００１３】記録は、記録媒体４を走査しながらプロー
ブ電極１が記録領域の書き込み位置にきたら電圧印加回
路６２で書き込み電圧を印加して行なう。この書込み電
圧は電気メモリー効果を有する記録層４２がＯＮ（低抵
抗）状態に変化するのに充分な電圧である。この時のプ
ローブ電極１と記録媒体４の関係を示すのが図３（ｘｚ
断面図）で、７は記録ビツト（記録層のＯＮ部分）、８
は記録媒体４の走査方向（この図においてはｘ方向）を
示す矢印である。書き込みのタイミング等は制御回路６
０の制御信号による。記録媒体４をｘ方向に移動しなが
ら記録が行なわれ、ｘ方向１列分の記録が終了すると、
ｙ方向に一段ずれて次の列で同様にｘ方向１列分の記録
が行なわれる。記録媒体４の走査中に、記録媒体４上の
各電圧印加位置で、書き込み電圧が加えられる。これに
より記録ビツト７が形成されていく。
ブ電極１が記録領域の書き込み位置にきたら電圧印加回
路６２で書き込み電圧を印加して行なう。この書込み電
圧は電気メモリー効果を有する記録層４２がＯＮ（低抵
抗）状態に変化するのに充分な電圧である。この時のプ
ローブ電極１と記録媒体４の関係を示すのが図３（ｘｚ
断面図）で、７は記録ビツト（記録層のＯＮ部分）、８
は記録媒体４の走査方向（この図においてはｘ方向）を
示す矢印である。書き込みのタイミング等は制御回路６
０の制御信号による。記録媒体４をｘ方向に移動しなが
ら記録が行なわれ、ｘ方向１列分の記録が終了すると、
ｙ方向に一段ずれて次の列で同様にｘ方向１列分の記録
が行なわれる。記録媒体４の走査中に、記録媒体４上の
各電圧印加位置で、書き込み電圧が加えられる。これに
より記録ビツト７が形成されていく。
【００１４】再生は、プローブ電極１と記録媒体の下地
電極４１の間に例えば０．１ｖの読み出し電圧を電圧印
加回路６２で印加しながらｘｙ方向走査機構５を用いて
記録媒体４を記録時と同様の経路で走査して、電流増幅
回路６３で電流変化を見ることで行なう。印加電圧は記
録層４２が抵抗状態の変化をおこさない充分小さな値に
する。実際に記録媒体４を走査しながら得られる電流増
幅回路６３の出力値はプローブ電極１と記録媒体４の下
地電極４１の間に流れる電流に換算して、記録ビツト７
の位置では０．１ｎＡであり、その他の場所は１ｐＡ以
下の値であった。この電流変化は書き込み読み出し回路
６１によって読み出し情報となりインターフエース６を
通して上位装置へ伝えられる。読み出しのタイミング等
は制御回路６０の制御信号による。
電極４１の間に例えば０．１ｖの読み出し電圧を電圧印
加回路６２で印加しながらｘｙ方向走査機構５を用いて
記録媒体４を記録時と同様の経路で走査して、電流増幅
回路６３で電流変化を見ることで行なう。印加電圧は記
録層４２が抵抗状態の変化をおこさない充分小さな値に
する。実際に記録媒体４を走査しながら得られる電流増
幅回路６３の出力値はプローブ電極１と記録媒体４の下
地電極４１の間に流れる電流に換算して、記録ビツト７
の位置では０．１ｎＡであり、その他の場所は１ｐＡ以
下の値であった。この電流変化は書き込み読み出し回路
６１によって読み出し情報となりインターフエース６を
通して上位装置へ伝えられる。読み出しのタイミング等
は制御回路６０の制御信号による。
【００１５】記録再生どちらの時も、プローブ電極先端
と記録層との距離は間隔設定層によって精度良く決まっ
ており、安定した記録再生ができた。記録ビツトの寸法
は直径９０ｎｍであった。
と記録層との距離は間隔設定層によって精度良く決まっ
ており、安定した記録再生ができた。記録ビツトの寸法
は直径９０ｎｍであった。
【００１６】本実施例で使用したプローブ電極は、タン
グステン棒を電解研磨したものであったが白金−ロジウ
ムや白金−イリジウムなどの棒を電解研磨あるいは機械
研磨して用いてもかまわない。
グステン棒を電解研磨したものであったが白金−ロジウ
ムや白金−イリジウムなどの棒を電解研磨あるいは機械
研磨して用いてもかまわない。
【００１７】図４は、本発明の他の実施例を示す図面で
あり、同図において、１はプローブ電極、２２は２本の
プローブ電極のユニツトが取り付けられている支持体、
３０は支持体を介してプローブ電極１をｚ方向へ動かす
ｚ方向粗動機構（チルト機構も含んでいる）、２３はプ
ローブ電極１をｒ方向（記録媒体の半径方向）へ動かす
キヤリツジ、２４はキヤリツジ２３を駆動するｒ方向駆
動機構である。４は記録媒体で、研磨したガラス円板上
にＡｕをスパツタ法により付けて下地電極とした後、電
気メモリー効果を有するＳＯＡＺをＬＢ法で８層累積し
記録層とし、更にポリイソブチルメタクリレートをＬＢ
法により１層付け間隔設定層としてある。４４は記録媒
体４を固定し回転させるスピンドル、４５はスピンドル
４４を回転させるモータ、４６はモータ４５の回転をス
ピンドル４４に伝えるベルトである。この様に本実施例
では記録媒体を回転させ、この回転の円周方向に情報記
録及び再生を行なう。回路まわりのブロツクは全実施例
とほぼ同じであるが、特に制御回路６０がモータ４５の
回転の始動停止制御を行なう事、及び回路６２からの記
録用電圧を２本のプローブ電極に切り替えて印加する
為、及び２本のプローブ電極からの信号を電流増幅回路
６３が切り替えて増幅して回路６１に送信する為の不図
示の切り替え器が設けられていることと、記録媒体４が
円板形状をしているため、座標系がスピンドル４４の回
転中心を基準にｒ、θ、ｚとなっている（図６参照）こ
と、及び符番６９で示した、サーボ回路６５の信号に従
いプローブ電極１が取り付けられているキヤリツジ２３
をｒ方向（回転の半径方向）に駆動するｒ方向駆動機構
に駆動信号を発するｒ方向駆動回路を設けている事が異
なっている。
あり、同図において、１はプローブ電極、２２は２本の
プローブ電極のユニツトが取り付けられている支持体、
３０は支持体を介してプローブ電極１をｚ方向へ動かす
ｚ方向粗動機構（チルト機構も含んでいる）、２３はプ
ローブ電極１をｒ方向（記録媒体の半径方向）へ動かす
キヤリツジ、２４はキヤリツジ２３を駆動するｒ方向駆
動機構である。４は記録媒体で、研磨したガラス円板上
にＡｕをスパツタ法により付けて下地電極とした後、電
気メモリー効果を有するＳＯＡＺをＬＢ法で８層累積し
記録層とし、更にポリイソブチルメタクリレートをＬＢ
法により１層付け間隔設定層としてある。４４は記録媒
体４を固定し回転させるスピンドル、４５はスピンドル
４４を回転させるモータ、４６はモータ４５の回転をス
ピンドル４４に伝えるベルトである。この様に本実施例
では記録媒体を回転させ、この回転の円周方向に情報記
録及び再生を行なう。回路まわりのブロツクは全実施例
とほぼ同じであるが、特に制御回路６０がモータ４５の
回転の始動停止制御を行なう事、及び回路６２からの記
録用電圧を２本のプローブ電極に切り替えて印加する
為、及び２本のプローブ電極からの信号を電流増幅回路
６３が切り替えて増幅して回路６１に送信する為の不図
示の切り替え器が設けられていることと、記録媒体４が
円板形状をしているため、座標系がスピンドル４４の回
転中心を基準にｒ、θ、ｚとなっている（図６参照）こ
と、及び符番６９で示した、サーボ回路６５の信号に従
いプローブ電極１が取り付けられているキヤリツジ２３
をｒ方向（回転の半径方向）に駆動するｒ方向駆動機構
に駆動信号を発するｒ方向駆動回路を設けている事が異
なっている。
【００１８】図５は本実施例の記録再生装置に用いた２
本のプローブ電極まわりの斜視図であり、１Ａと１Ｂは
プローブ電極、１２Ａと１２Ｂはプローブ電極の信号を
引出すためのＡｕ製の引き出し電極、２０Ａと２０Ｂは
長さ０．８ｍｍ幅０．１ｍｍ厚さ５μｍのＳｉからなる
弾性部材、２１は支持体２２に固定するためのベースで
ある。不図示であるが、弾性部材２０Ａと２０Ｂには第
１実施例と同様弾性部材の撓みを検出するセンサーが形
成されている。プローブ電極１Ａと１Ｂや弾性部材２０
Ａと２０Ｂは、いわゆるマイクロメカニクス技術→
［Ｋ．Ｅ．Ｐｅｔｅｒｓｅｎ，Ｐｒｏｃ．ＩＥＥＥ７
０，４２０（１９８２）］で製作するので、同じ形状の
ものを精度良く作ることが可能である。
本のプローブ電極まわりの斜視図であり、１Ａと１Ｂは
プローブ電極、１２Ａと１２Ｂはプローブ電極の信号を
引出すためのＡｕ製の引き出し電極、２０Ａと２０Ｂは
長さ０．８ｍｍ幅０．１ｍｍ厚さ５μｍのＳｉからなる
弾性部材、２１は支持体２２に固定するためのベースで
ある。不図示であるが、弾性部材２０Ａと２０Ｂには第
１実施例と同様弾性部材の撓みを検出するセンサーが形
成されている。プローブ電極１Ａと１Ｂや弾性部材２０
Ａと２０Ｂは、いわゆるマイクロメカニクス技術→
［Ｋ．Ｅ．Ｐｅｔｅｒｓｅｎ，Ｐｒｏｃ．ＩＥＥＥ７
０，４２０（１９８２）］で製作するので、同じ形状の
ものを精度良く作ることが可能である。
【００１９】図４と図６を用いて本発明装置の動作説明
を行なう。最初、プローブ電極１は記録媒体４との衝突
を避けるために離れている。まず、モータ４５を駆動
し、スピンドル４４を回転させ、記録媒体４を回転させ
る。この回転方向９は、図６に示すように弾性部材の固
定部が回転上流になる方向にする。記録媒体の回転が安
定したら、弾性部材２０Ａと２０Ｂに取り付けられたセ
ンサーがプローブ電極１Ａと１Ｂとが共に記録媒体との
接触を検出するまで、即ち、２つの撓み検出センサーが
共に撓みを検出するまで、ｚ方向粗動機構（チルト機
構）３０を駆動しプローブ電極を記録媒体に接近させ
る。この時、プローブ電極１Ａと１Ｂは、それぞれ弾性
部材２０Ａと２０Ｂが撓むことによる弾性力で記録媒体
４に押し付けられており、プローブ電極１Ａと１Ｂの先
端と記録媒体の記録層との間隔はポリイソブチルメタク
リレートの１層の厚さ約１ｎｍとなっている。ここでｚ
方向粗動機構３を保持し、プローブ電極をｒ方向駆動機
構を用いて記録媒体上を動かすことで記録再生ができ
る。
を行なう。最初、プローブ電極１は記録媒体４との衝突
を避けるために離れている。まず、モータ４５を駆動
し、スピンドル４４を回転させ、記録媒体４を回転させ
る。この回転方向９は、図６に示すように弾性部材の固
定部が回転上流になる方向にする。記録媒体の回転が安
定したら、弾性部材２０Ａと２０Ｂに取り付けられたセ
ンサーがプローブ電極１Ａと１Ｂとが共に記録媒体との
接触を検出するまで、即ち、２つの撓み検出センサーが
共に撓みを検出するまで、ｚ方向粗動機構（チルト機
構）３０を駆動しプローブ電極を記録媒体に接近させ
る。この時、プローブ電極１Ａと１Ｂは、それぞれ弾性
部材２０Ａと２０Ｂが撓むことによる弾性力で記録媒体
４に押し付けられており、プローブ電極１Ａと１Ｂの先
端と記録媒体の記録層との間隔はポリイソブチルメタク
リレートの１層の厚さ約１ｎｍとなっている。ここでｚ
方向粗動機構３を保持し、プローブ電極をｒ方向駆動機
構を用いて記録媒体上を動かすことで記録再生ができ
る。
【００２０】記録再生方法については、前記実施例と同
様である。この時のプローブ電極１Ａと記録媒体４の関
係を示すのが図７（θｚ断面図）で、７は記録ビツト
（記録層のＯＮ部分）、９は記録媒体４の回転方向を示
す矢印である。
様である。この時のプローブ電極１Ａと記録媒体４の関
係を示すのが図７（θｚ断面図）で、７は記録ビツト
（記録層のＯＮ部分）、９は記録媒体４の回転方向を示
す矢印である。
【００２１】以上述べたように、ＬＢ膜一層で間隔設定
層が構成されているので、記録媒体上を均一な厚さの間
隔設定層が強い力で付いている。そのため、記録領域全
面で安定したプローブ電極先端と記録層との距離を設定
維持することができ、また、プローブの接触に対しても
充分な強度を有している。
層が構成されているので、記録媒体上を均一な厚さの間
隔設定層が強い力で付いている。そのため、記録領域全
面で安定したプローブ電極先端と記録層との距離を設定
維持することができ、また、プローブの接触に対しても
充分な強度を有している。
【００２２】間隔設定層の材料としては、ポリイソブチ
ルメタクリレートを実施例では用いたが、他にポリメチ
ルメタクリレートやポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポ
リイソブチレンなども使用可能であり、他にも均一な約
１ｎｍの厚さに成膜でき、電気メモリー効果を有しない
材料ならば、本発明の間隔設定層に用いることができ
る。
ルメタクリレートを実施例では用いたが、他にポリメチ
ルメタクリレートやポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポ
リイソブチレンなども使用可能であり、他にも均一な約
１ｎｍの厚さに成膜でき、電気メモリー効果を有しない
材料ならば、本発明の間隔設定層に用いることができ
る。
【００２３】また、前記両実施例の間隔設定層は、記録
媒体側に設定していたがプローブ電極側でも良い（図８
参照）。更に、記録層としてＳＯＡＺを例にあげたが電
気メモリー効果を有する他の材料でも用いることができ
る。そして、装置は記録再生装置であったが、記録と再
生の一方の機能だけの装置でも良い。
媒体側に設定していたがプローブ電極側でも良い（図８
参照）。更に、記録層としてＳＯＡＺを例にあげたが電
気メモリー効果を有する他の材料でも用いることができ
る。そして、装置は記録再生装置であったが、記録と再
生の一方の機能だけの装置でも良い。
【００２４】
【発明の効果】以上説明によれば、プローブと記録媒体
との距離の設定が複雑な回路を必要とせずに行なえ、か
つより正確になり、情報の記録再生が簡単かつ確実に行
なえるようになった。
との距離の設定が複雑な回路を必要とせずに行なえ、か
つより正確になり、情報の記録再生が簡単かつ確実に行
なえるようになった。
【図１】本発明の第１実施例を用いた記録再生装置の概
略ブロツク図である。
略ブロツク図である。
【図２】第１実施例のプローブ電極と弾性部材部分の斜
視図である。
視図である。
【図３】記録時のプローブ電極と記録媒体の位置関係を
示す説明断面図である。
示す説明断面図である。
【図４】本発明他の実施例を用いた記録再生装置の概略
ブロツク図である。
ブロツク図である。
【図５】２本のプローブ電極と弾性部材部分の斜視図で
ある。
ある。
【図６】円板状の記録媒体と２本の弾性部材との位置関
係を示す斜視図である。
係を示す斜視図である。
【図７】記録再生時のプローブ電極と記録媒体の位置関
係を示す断面図である。
係を示す断面図である。
【図８】本発明の更に他の実施例の説明図である。
１ プローブ電極 ２ 弾性支持機構 ３ ｚ方向粗動機構 ４ 記録媒体 ５ ＸＹ方向走査機構 ６ インターフエース ２０ 弾性部材 ２２ 撓みセンサー ４１ 下地電極 ４２ 記録層 ４３ 間隔設定層 ６２ 電圧印加回路 ６３ 電流増幅回路
フロントページの続き (72)発明者 酒井 邦裕 東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤ ノン株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 9/00 G11B 9/04
Claims (6)
- 【請求項１】 情報記録媒体にプローブを介して情報を
記録及び／又は再生する方法で、前記情報記録媒体の記
録層とプローブとの間に記録層・プローブ間隔を設定す
るための間隔設定層を設け、該間隔設定層を挾んだ状態
で前記プローブを介して前記記録層に情報を記録及び／
又は再生することを特徴とする情報記録及び／又は再生
方法。 - 【請求項２】 前記間隔設定層は前記情報記録媒体の記
録層の上に設けられることを特徴とする請求項１の記録
及び／又は再生方法。 - 【請求項３】 前記間隔設定層はＬＢ膜であることを特
徴とする請求項１または２の記録及び／又は再生方法。 - 【請求項４】 前記間隔設定層の厚さは１ｎｍであるこ
とを特徴とする請求項１乃至３の記録及び／又は再生方
法。 - 【請求項５】 前記プローブを前記間隔設定層に押し付
けた状態で前記プローブによって前記情報記録媒体を操
作しながら記録及び／又は再生を行なうことを特徴とす
る請求項１乃至４の記録及び／又は再生方法。 - 【請求項６】 記録層に対向したプローブを介して情報
を記録及び／又は再生される情報記録担体で、前記記録
層上に該記録層とプローブとの間隔を設定するための間
隔設定層を設けたことを特徴とする情報記録担体。
Priority Applications (11)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19412791A JP2942014B2 (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 記録及び／又は再生方法及び情報記録担体 |
| EP92112106A EP0523676B1 (en) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Information recording/reproducing apparatus for recording and/or reproducing information on information recording carrier by use of a probe electrode. |
| ES92112106T ES2137167T3 (es) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Aparato para la grabacion/reproduccion de informaciones, para la grabacion y/o reproduccion de informaciones sobre un soporte para grabacion de informaciones por medio de un electrodo sonda. |
| CA002073919A CA2073919C (en) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Multiple probe electrode arrangement for scanning tunnelling microscope recording and reading |
| EP98111158A EP0871165B1 (en) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Information recording/reproducing apparatus and method for recording and/or reproducing information on information recording carrier by use of probe electrode |
| AT98111158T ATE225557T1 (de) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Informationsaufzeichnungs-/-wiedergabegerät oder -verfahren zur informationsaufzeichnung/- wiedergabe auf/von einem informationsaufzeichnungsmedium unter verwendung einer vielzahl von sondenelektroden |
| AT92112106T ATE186151T1 (de) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Informationsaufzeichnungs-/wiedergabegrät zur informationsaufzeichnung und/oder -wiedergabe auf/von einem informationsaufzeichnungsträger durch benutzung einer sonde. |
| DE69230198T DE69230198T2 (de) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Informationsaufzeichnungs-/Wiedergabegrät zur Informationsaufzeichnung und/oder -wiedergabe auf/von einem Informationsaufzeichnungsträger durch Benutzung einer Sonde. |
| DE69232806T DE69232806T2 (de) | 1991-07-17 | 1992-07-15 | Informationsaufzeichnungs-/-wiedergabegerät oder -verfahren zur Informationsaufzeichnung/- wiedergabe auf/von einem Informationsaufzeichnungsmedium unter Verwendung einer Vielzahl von Sondenelektroden |
| US08/381,289 US5461605A (en) | 1991-07-17 | 1995-01-31 | Information recording/reproducing method, recording carrier and apparatus for recording and/or reproducing information on information recording carrier by use of probe electrode |
| US08/483,862 US5610898A (en) | 1991-07-17 | 1995-06-07 | Information recording/reproducing method for recording and/or reproducing information on information recording carrier by use of probe electrode |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19412791A JP2942014B2 (ja) | 1991-08-02 | 1991-08-02 | 記録及び／又は再生方法及び情報記録担体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0540970A JPH0540970A (ja) | 1993-02-19 |
| JP2942014B2 true JP2942014B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=16319361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19412791A Expired - Fee Related JP2942014B2 (ja) | 1991-07-17 | 1991-08-02 | 記録及び／又は再生方法及び情報記録担体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2942014B2 (ja) |
-
1991
- 1991-08-02 JP JP19412791A patent/JP2942014B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0540970A (ja) | 1993-02-19 |
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