JP2955936B2 - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
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- JP2955936B2 JP2955936B2 JP5497498A JP5497498A JP2955936B2 JP 2955936 B2 JP2955936 B2 JP 2955936B2 JP 5497498 A JP5497498 A JP 5497498A JP 5497498 A JP5497498 A JP 5497498A JP 2955936 B2 JP2955936 B2 JP 2955936B2
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- Japan
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- cover
- blade
- cutting blade
- dicing apparatus
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はダイシング装置に係
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）を碁盤目状に切断す
るダイシング装置に関する。
り、特に半導体ウェーハ（ワーク）を碁盤目状に切断す
るダイシング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置は、切断刃（ブレード）
を高速回転させて半導体ウェーハをダイス状に切断する
装置である。前記ブレードは、フランジカバー（カバ
ー）によって切断部を除く部分が覆われており、また、
前記フランジカバーには一対のノズルが設けられ、これ
らのノズルからワーク切断中のブレードの両面に向けて
切削水を噴射する。
を高速回転させて半導体ウェーハをダイス状に切断する
装置である。前記ブレードは、フランジカバー（カバ
ー）によって切断部を除く部分が覆われており、また、
前記フランジカバーには一対のノズルが設けられ、これ
らのノズルからワーク切断中のブレードの両面に向けて
切削水を噴射する。
【０００３】ところで、フランジカバーは、ブレードの
交換を行うために２分割されている。従来のフランジカ
バーは、ブレードの回転軸に直交する面を境界面として
２分割されており、これらのカバーのうち、モータ側に
位置する第１カバーはモータ等の固定部材に固定され、
もう一つの第２カバーは第１カバーにボルトによって締
結されている。これらの第１、第２カバーに前記ノズル
が１本ずつ設けられている。すなわち、フランジカバー
が一体的なものであると、ノズルが邪魔をしてブレード
の交換を行うことができないため、ブレードの交換時に
前記第２カバーを第１カバーから取り外して、ノズルに
よる不具合を解消している。
交換を行うために２分割されている。従来のフランジカ
バーは、ブレードの回転軸に直交する面を境界面として
２分割されており、これらのカバーのうち、モータ側に
位置する第１カバーはモータ等の固定部材に固定され、
もう一つの第２カバーは第１カバーにボルトによって締
結されている。これらの第１、第２カバーに前記ノズル
が１本ずつ設けられている。すなわち、フランジカバー
が一体的なものであると、ノズルが邪魔をしてブレード
の交換を行うことができないため、ブレードの交換時に
前記第２カバーを第１カバーから取り外して、ノズルに
よる不具合を解消している。
【０００４】また、前記フランジカバーには、ブレード
の破損を非接触で光学的に検出する検出器が設けられて
いる。この検出器は、投光素子とその光学系からなる投
光ユニットと、受光素子とその光学系からなる受光ユニ
ットから構成され、ブレードを挟んで取り付けられる。
即ち、前記投光ユニットは第１カバーに取り付けられ、
前記受光ユニットは第２カバーに取り付けられている。
の破損を非接触で光学的に検出する検出器が設けられて
いる。この検出器は、投光素子とその光学系からなる投
光ユニットと、受光素子とその光学系からなる受光ユニ
ットから構成され、ブレードを挟んで取り付けられる。
即ち、前記投光ユニットは第１カバーに取り付けられ、
前記受光ユニットは第２カバーに取り付けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ダイシング装置は、ブレードを交換する度に第２カバー
を第１カバーから取り外さなければならないので、ブレ
ードの交換に非常に手間がかかるという欠点がある。本
発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、切断刃
の交換を手間をかけずに容易に行うことができるダイシ
ング装置を提供する。
ダイシング装置は、ブレードを交換する度に第２カバー
を第１カバーから取り外さなければならないので、ブレ
ードの交換に非常に手間がかかるという欠点がある。本
発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、切断刃
の交換を手間をかけずに容易に行うことができるダイシ
ング装置を提供する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、切断刃をカバーで覆い該切断刃を高速回
転させてワークを所定の形状に切断すると共に、前記カ
バーに設けられたノズルからワーク切断中の切断刃の両
面に向けて液体を噴射するダイシング装置において、前
記カバーを２分割すると共に、該分割された第１カバー
及び第２カバーを前記切断刃の回転軸と平行な軸を介し
て回動自在に連結し、第１カバー又は第２カバーを回動
して前記ノズルを切断刃から退避させることにより、切
断刃の交換を可能としたことを特徴としている。
成するために、切断刃をカバーで覆い該切断刃を高速回
転させてワークを所定の形状に切断すると共に、前記カ
バーに設けられたノズルからワーク切断中の切断刃の両
面に向けて液体を噴射するダイシング装置において、前
記カバーを２分割すると共に、該分割された第１カバー
及び第２カバーを前記切断刃の回転軸と平行な軸を介し
て回動自在に連結し、第１カバー又は第２カバーを回動
して前記ノズルを切断刃から退避させることにより、切
断刃の交換を可能としたことを特徴としている。
【０００７】請求項１記載の発明は、分割した第１カバ
ー及び第２カバーを、切断刃の回転軸と平行な軸を介し
て回動自在に連結したので、第１カバー又は第２カバー
を回動するだけでノズルを切断刃から退避させることが
できる。よって、本発明は、切断刃の交換を手間をかけ
ずに容易に行うことができる。請求項２記載の発明によ
れば、切断刃の破損検出手段を、投光部と受光部とを一
体化したユニットとして構成し、この破損検出手段を第
１カバー又は第２カバーに取り付けたので、投光部及び
受光部の煩わしい位置決め作業を省略することができ
る。即ち、投光部と受光部とが別体であると、カバーに
取り付ける際の相対的な位置決めが非常に困難で長時間
を要するが、本発明の如くユニットにすれば、ユニット
において相対的な位置決めをしておくだけで良いので、
カバーに取り付ける際の位置決めが非常に容易になる。
ー及び第２カバーを、切断刃の回転軸と平行な軸を介し
て回動自在に連結したので、第１カバー又は第２カバー
を回動するだけでノズルを切断刃から退避させることが
できる。よって、本発明は、切断刃の交換を手間をかけ
ずに容易に行うことができる。請求項２記載の発明によ
れば、切断刃の破損検出手段を、投光部と受光部とを一
体化したユニットとして構成し、この破損検出手段を第
１カバー又は第２カバーに取り付けたので、投光部及び
受光部の煩わしい位置決め作業を省略することができ
る。即ち、投光部と受光部とが別体であると、カバーに
取り付ける際の相対的な位置決めが非常に困難で長時間
を要するが、本発明の如くユニットにすれば、ユニット
において相対的な位置決めをしておくだけで良いので、
カバーに取り付ける際の位置決めが非常に容易になる。
【０００８】請求項２記載の発明は、第１カバー及び第
２カバーを切断刃の回転軸と平行な軸を介して回動自在
に連結することにより達成されるものであり、第１カバ
ー及び第２カバーを切断刃の回転軸と直交する軸を介し
て連結した場合には、投光部及び受光部を必ず別体にし
なければならないので、達成することはできない。
２カバーを切断刃の回転軸と平行な軸を介して回動自在
に連結することにより達成されるものであり、第１カバ
ー及び第２カバーを切断刃の回転軸と直交する軸を介し
て連結した場合には、投光部及び受光部を必ず別体にし
なければならないので、達成することはできない。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るダイシング装置について詳説する。図１は、本発明の
実施の形態に係るダイシング装置１０の斜視図、図２は
図１に示したダイシング装置１０の縦断面図である。こ
れらの図に示すダイシング装置１０は、カッティングテ
ーブル１２に接着シート１４を介して接着されたワーク
１６をファインアライメントし、その後、高速回転する
ブレード１８でワーク１６をダイス状に切断する装置で
ある。そして、ワーク１６の切断時には、ワーク１６の
加工精度を維持するために、一対の洗浄水噴射ノズル２
０、２０及び切削水噴射ノズル２２からワーク切断中の
ブレード１８の両面に向けて洗浄水、切削水を吹き付け
てブレード１８の冷却、洗浄を実施している。
るダイシング装置について詳説する。図１は、本発明の
実施の形態に係るダイシング装置１０の斜視図、図２は
図１に示したダイシング装置１０の縦断面図である。こ
れらの図に示すダイシング装置１０は、カッティングテ
ーブル１２に接着シート１４を介して接着されたワーク
１６をファインアライメントし、その後、高速回転する
ブレード１８でワーク１６をダイス状に切断する装置で
ある。そして、ワーク１６の切断時には、ワーク１６の
加工精度を維持するために、一対の洗浄水噴射ノズル２
０、２０及び切削水噴射ノズル２２からワーク切断中の
ブレード１８の両面に向けて洗浄水、切削水を吹き付け
てブレード１８の冷却、洗浄を実施している。
【００１０】図２に示すようにブレード１８の駆動モー
タ２４は、そのスピンドル２６の表面が先細のテーパ状
に形成され、このスピンドル２６のテーパ面２６Ａにフ
ランジ２８の内周テーパ面２８Ａが嵌入されてフランジ
２８が取り付けられている。また、前記フランジ２８
は、スピンドル２６に螺合されたフランジ固定用ナット
３０を締め込むことによってスピンドル２６に固定され
ている。フランジ２８の外周部には、ドーナツ形に形成
されたハブ３２が嵌入されており、このハブ３２の外周
部に前記ブレード１８が固着され、ブレード１８はフラ
ンジ２８の支持面２８Ｂに当接されている。前記ハブ３
２は、フランジ２８に螺合されたハブ固定用ナット３４
を締め込むことによってフランジ２８に固定され、これ
によって、前記ブレード１８がハブ３２とフランジ２８
の支持面２８Ｂとの間で挟持されて固定されている。
タ２４は、そのスピンドル２６の表面が先細のテーパ状
に形成され、このスピンドル２６のテーパ面２６Ａにフ
ランジ２８の内周テーパ面２８Ａが嵌入されてフランジ
２８が取り付けられている。また、前記フランジ２８
は、スピンドル２６に螺合されたフランジ固定用ナット
３０を締め込むことによってスピンドル２６に固定され
ている。フランジ２８の外周部には、ドーナツ形に形成
されたハブ３２が嵌入されており、このハブ３２の外周
部に前記ブレード１８が固着され、ブレード１８はフラ
ンジ２８の支持面２８Ｂに当接されている。前記ハブ３
２は、フランジ２８に螺合されたハブ固定用ナット３４
を締め込むことによってフランジ２８に固定され、これ
によって、前記ブレード１８がハブ３２とフランジ２８
の支持面２８Ｂとの間で挟持されて固定されている。
【００１１】ところで、前記ブレード１８は図１に示す
ように、フランジカバー３６によって切断部を除く部分
が覆われている。前記フランジカバー３６は、第１カバ
ー３８と第２カバー４０とで２分割されており、第１カ
バー３８は駆動モータ２４等の固定部材に固定され、前
記第２カバー４０は、その上部において、ブレード１８
の回転軸心１８Ａと平行に配設された軸４２を介して第
１カバー３８に回動自在に連結されている。これによ
り、前記第２カバー４０は図３上実線で示す閉位置と、
図３上二点鎖線で示す開位置との範囲で回動される。第
２カバー４０が前記開位置に移動されると、Ｌ字状の洗
浄水噴射ノズル２０、２０がブレード１８の下方から側
方に退避するので、この状態でブレード１８の交換を行
うことができる。なお、第１カバー３８には、前記切削
水噴射ノズル２２に切削水を供給するチューブ４４が接
続され、前記第２カバー４０には、前記洗浄水噴射ノズ
ル２０、２０に洗浄水を供給するチューブ４６が接続さ
れている。
ように、フランジカバー３６によって切断部を除く部分
が覆われている。前記フランジカバー３６は、第１カバ
ー３８と第２カバー４０とで２分割されており、第１カ
バー３８は駆動モータ２４等の固定部材に固定され、前
記第２カバー４０は、その上部において、ブレード１８
の回転軸心１８Ａと平行に配設された軸４２を介して第
１カバー３８に回動自在に連結されている。これによ
り、前記第２カバー４０は図３上実線で示す閉位置と、
図３上二点鎖線で示す開位置との範囲で回動される。第
２カバー４０が前記開位置に移動されると、Ｌ字状の洗
浄水噴射ノズル２０、２０がブレード１８の下方から側
方に退避するので、この状態でブレード１８の交換を行
うことができる。なお、第１カバー３８には、前記切削
水噴射ノズル２２に切削水を供給するチューブ４４が接
続され、前記第２カバー４０には、前記洗浄水噴射ノズ
ル２０、２０に洗浄水を供給するチューブ４６が接続さ
れている。
【００１２】したがって、前記の如く構成されたダイシ
ング装置１０によれば、第２カバー４０を開位置に移動
させるだけでブレード１８を交換することができるの
で、ブレード１８の交換を手間をかけずに容易に行うこ
とができる。一方、前記ダイシング装置１０を２台揃
え、これらのダイシング装置１０、１０を同時に駆動す
ることによりワークを効率良く切断する装置がある。こ
の装置では、各々の回転軸が同軸上に一致するように２
台のダイシング装置１０、１０が配置され、そして、２
台のダイシング装置１０、１０を互いに近づく方向、又
は互いに離れる方向に移動させてワークを切断する。こ
の場合、２台のダイシング装置１０、１０が最も近接し
た位置に移動した場合、従来のダイシング装置では、分
割した２つのカバーを締結するボルト同士が干渉するた
めに接近距離に限界があるが、本実施の形態ではボルト
に規制されないので、限界まで接近させることができ
る。
ング装置１０によれば、第２カバー４０を開位置に移動
させるだけでブレード１８を交換することができるの
で、ブレード１８の交換を手間をかけずに容易に行うこ
とができる。一方、前記ダイシング装置１０を２台揃
え、これらのダイシング装置１０、１０を同時に駆動す
ることによりワークを効率良く切断する装置がある。こ
の装置では、各々の回転軸が同軸上に一致するように２
台のダイシング装置１０、１０が配置され、そして、２
台のダイシング装置１０、１０を互いに近づく方向、又
は互いに離れる方向に移動させてワークを切断する。こ
の場合、２台のダイシング装置１０、１０が最も近接し
た位置に移動した場合、従来のダイシング装置では、分
割した２つのカバーを締結するボルト同士が干渉するた
めに接近距離に限界があるが、本実施の形態ではボルト
に規制されないので、限界まで接近させることができ
る。
【００１３】ところで、図１に示した第２カバー４０に
は、ブレード１８の破損を検出する破損検出装置５０が
取り付けられている。この破損検出装置５０は図２、図
４に示すように、ＬＥＤ５２及びその光学系を構成する
集光レンズ５４、プリズム５６から成る投光部５８と、
受光素子６０及びその光学系を構成する集光レンズ６
２、プリズム６４から成る受光部６６とを一体化したユ
ニットとして構成されている。
は、ブレード１８の破損を検出する破損検出装置５０が
取り付けられている。この破損検出装置５０は図２、図
４に示すように、ＬＥＤ５２及びその光学系を構成する
集光レンズ５４、プリズム５６から成る投光部５８と、
受光素子６０及びその光学系を構成する集光レンズ６
２、プリズム６４から成る受光部６６とを一体化したユ
ニットとして構成されている。
【００１４】前記ＬＥＤ５２及び受光素子６０は図４に
示すように、筒状のケーシング６８に設けられると共
に、ケーシング６８の内筒７０で仕切られた収納部７
２、７４に離間して設けられている。前記投光部５８の
集光レンズ５４は、前記収納部７２に嵌入された鏡筒７
６に設けられており、この集光レンズ５４の下方に前記
プリズム５６がケーシング６８と内筒７０とに固定され
ている。また、前記受光部６６の集光レンズ６２は、前
記収納部７４に嵌入された鏡筒７８に設けられ、集光レ
ンズ６２の下方にプリズム６４がケーシング６８と内筒
７０とに固定されている。
示すように、筒状のケーシング６８に設けられると共
に、ケーシング６８の内筒７０で仕切られた収納部７
２、７４に離間して設けられている。前記投光部５８の
集光レンズ５４は、前記収納部７２に嵌入された鏡筒７
６に設けられており、この集光レンズ５４の下方に前記
プリズム５６がケーシング６８と内筒７０とに固定され
ている。また、前記受光部６６の集光レンズ６２は、前
記収納部７４に嵌入された鏡筒７８に設けられ、集光レ
ンズ６２の下方にプリズム６４がケーシング６８と内筒
７０とに固定されている。
【００１５】したがって、ＬＥＤ５２から出射された光
は、集光レンズ５４で集光されてプリズム５６に導か
れ、そして、プリズム５６によって９０度水平方向に反
射されてプリズム６４に導かれる。そして、プリズム６
４に導かれた前記光は、プリズム６４によって９０度上
方に反射された後、集光レンズ６２で集光されて受光素
子６０の受光面に結像される。このように破損検出装置
５０は、ＬＥＤ５２からの光が受光素子６０の受光面で
結像されるように、投光部５８と受光部６６とがケーシ
ング６８において予め位置決めされている。
は、集光レンズ５４で集光されてプリズム５６に導か
れ、そして、プリズム５６によって９０度水平方向に反
射されてプリズム６４に導かれる。そして、プリズム６
４に導かれた前記光は、プリズム６４によって９０度上
方に反射された後、集光レンズ６２で集光されて受光素
子６０の受光面に結像される。このように破損検出装置
５０は、ＬＥＤ５２からの光が受光素子６０の受光面で
結像されるように、投光部５８と受光部６６とがケーシ
ング６８において予め位置決めされている。
【００１６】前記内筒７０には、ねじ棒８０が貫通配置
されている。また、ねじ棒８０の上端部には、ねじ棒８
０を回転させるツマミ８２が設けられ、さらに、ねじ棒
８０と内筒７０との間にはスプリング８４が挿入されて
いる。前記の如く構成された破損検出装置５０は図２に
示すように、第２カバー４０に形成された貫通孔４０Ａ
に投光部５８を嵌入すると共に貫通孔４０Ｂに受光部６
６を嵌入することによって第２カバー４０に装着され
る。そして、ツマミ８０でねじ棒８０を回して、ねじ棒
８０の雄ねじ部８１を第２カバー４０に形成されたねじ
孔４０Ｃにねじ込むと、ケーシング６８がツマミ８２に
よって押進されることにより、投光部５８と受光部６６
とを第２カバー４０の内側に押し込むことができる。こ
の押し込み量を調整して破損検出装置５０を、ブレード
１８の破損を検出することが可能な図２の位置に位置決
めする。なお、第２カバー４０と破損検出装置５０との
間の隙間によって生じるガタは、スプリング８４の付勢
力によって吸収することができる。
されている。また、ねじ棒８０の上端部には、ねじ棒８
０を回転させるツマミ８２が設けられ、さらに、ねじ棒
８０と内筒７０との間にはスプリング８４が挿入されて
いる。前記の如く構成された破損検出装置５０は図２に
示すように、第２カバー４０に形成された貫通孔４０Ａ
に投光部５８を嵌入すると共に貫通孔４０Ｂに受光部６
６を嵌入することによって第２カバー４０に装着され
る。そして、ツマミ８０でねじ棒８０を回して、ねじ棒
８０の雄ねじ部８１を第２カバー４０に形成されたねじ
孔４０Ｃにねじ込むと、ケーシング６８がツマミ８２に
よって押進されることにより、投光部５８と受光部６６
とを第２カバー４０の内側に押し込むことができる。こ
の押し込み量を調整して破損検出装置５０を、ブレード
１８の破損を検出することが可能な図２の位置に位置決
めする。なお、第２カバー４０と破損検出装置５０との
間の隙間によって生じるガタは、スプリング８４の付勢
力によって吸収することができる。
【００１７】したがって、前記破損検出装置５０によれ
ば、投光部５８と受光部６６とを一体化してユニットと
して構成したので、フランジカバー３６における投光部
及び受光部の相対的な位置決め作業を省略することがで
き、また、ブレード１８に対する位置調整も容易にな
る。なお、本実施の形態では、破損検出装置５０を第２
カバー４０に取り付けたが、第１カバー３８に取り付け
ても良い。
ば、投光部５８と受光部６６とを一体化してユニットと
して構成したので、フランジカバー３６における投光部
及び受光部の相対的な位置決め作業を省略することがで
き、また、ブレード１８に対する位置調整も容易にな
る。なお、本実施の形態では、破損検出装置５０を第２
カバー４０に取り付けたが、第１カバー３８に取り付け
ても良い。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るダイシ
ング装置によれば、切断刃を覆うカバーを２分割し、こ
の分割した第１カバー及び第２カバーを、切断刃の回転
軸と平行な軸を介して回動自在に連結したので、第１カ
バー又は第２カバーを回動するだけでノズルを切断刃か
ら退避させることができる。よって、本発明は、切断刃
の交換を手間をかけずに容易に行うことができる。
ング装置によれば、切断刃を覆うカバーを２分割し、こ
の分割した第１カバー及び第２カバーを、切断刃の回転
軸と平行な軸を介して回動自在に連結したので、第１カ
バー又は第２カバーを回動するだけでノズルを切断刃か
ら退避させることができる。よって、本発明は、切断刃
の交換を手間をかけずに容易に行うことができる。
【図１】本発明の実施の形態に係るダイシング装置の斜
視図
視図
【図２】図１上２−２線に沿うダイシング装置の断面図
【図３】図１のダイシング装置の正面図
【図４】図１のダイシング装置に取り付けられた破損検
出装置の拡大断面図
出装置の拡大断面図
１０…ダイシング装置 １８…ブレード ２０…洗浄水噴射ノズル ３６…フランジカバー ３８…第１カバー ４０…第２カバー ５０…破損検出装置 ５２…ＬＥＤ ５８…投光部 ６０…受光素子 ６６…受光部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−66559（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−299748（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−72411（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭60−123210（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/301 B24B 55/02 B24B 55/04 B23D 47/00
Claims (2)
- 【請求項１】切断刃をカバーで覆い該切断刃を高速回転
させてワークを所定の形状に切断すると共に、前記カバ
ーに設けられたノズルからワーク切断中の切断刃の両面
に向けて液体を噴射するダイシング装置において、 前記カバーを２分割すると共に、該分割された第１カバ
ー及び第２カバーを前記切断刃の回転軸と平行な軸を介
して回動自在に連結し、第１カバー又は第２カバーを回
動して前記ノズルを切断刃から退避させることにより、
切断刃の交換を可能としたことを特徴とするダイシング
装置。 - 【請求項２】前記第１カバー又は第２カバーには、前記
切断刃の破損を検出する破損検出手段が設けられ、該破
損検出手段は、投光部と受光部とを一体に設けてユニッ
トとして構成されていることを特徴とする請求項１記載
のダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5497498A JP2955936B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5497498A JP2955936B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | ダイシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11251263A JPH11251263A (ja) | 1999-09-17 |
| JP2955936B2 true JP2955936B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=12985638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5497498A Expired - Fee Related JP2955936B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2955936B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4590058B2 (ja) * | 2000-04-12 | 2010-12-01 | 株式会社ディスコ | 切削装置の切削ブレード検出機構 |
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1998
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