JP2967397B2 - アルコキシアルシンの精製法 - Google Patents
アルコキシアルシンの精製法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、アルコキシアルシンに
含まれる不純物としての塩素化合物を除去するアルコキ
シアルシンの精製法に関する。さらに詳しくは、アルコ
キシアルシンを蒸留精製する際、アルカリ金属アルコキ
シドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドを添加、撹
拌し、次いで蒸留することからなるアルコキシアルシン
の精製法に関する。
含まれる不純物としての塩素化合物を除去するアルコキ
シアルシンの精製法に関する。さらに詳しくは、アルコ
キシアルシンを蒸留精製する際、アルカリ金属アルコキ
シドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドを添加、撹
拌し、次いで蒸留することからなるアルコキシアルシン
の精製法に関する。
【０００２】
【従来の技術】アルコキシアルシンは、三酸化二ヒ素と
アルコールとの反応、あるいは三塩化ヒ素とアルコール
とアンモニアとの反応から製造されることはすでに公知
である。
アルコールとの反応、あるいは三塩化ヒ素とアルコール
とアンモニアとの反応から製造されることはすでに公知
である。
【０００３】近年、超ＬＳＩの製造工程において、シリ
コンウエハーにヒ素を拡散するためのシリカ系被膜形成
塗布液（例えば特開平３−１１６２４号）や、ＣＶＤ法
でステップカバレッジの格段に優れた酸化ヒ素−シリカ
ガラス膜（例えば特開平１−２８６３１９号）等を作る
ために、塩素や金属不純物を含まない高純度のアルコキ
シアルシンが必要とされている。特に塩素に関しては、
回路の腐食を促進するためその含有量をｐｐｍオーダー
以下にすることが求められている。
コンウエハーにヒ素を拡散するためのシリカ系被膜形成
塗布液（例えば特開平３−１１６２４号）や、ＣＶＤ法
でステップカバレッジの格段に優れた酸化ヒ素−シリカ
ガラス膜（例えば特開平１−２８６３１９号）等を作る
ために、塩素や金属不純物を含まない高純度のアルコキ
シアルシンが必要とされている。特に塩素に関しては、
回路の腐食を促進するためその含有量をｐｐｍオーダー
以下にすることが求められている。
【０００４】しかし、従来からアルコキシアルシンが超
ＬＳＩの製造において使用されることがなかったため、
この目的に合う高純度アルコキシアルシンの製造法、精
製法およびアルコキシアルシン中に含まれる微量の塩素
分の定量分析法等に関する報告を見出し得ない状況にあ
る。
ＬＳＩの製造において使用されることがなかったため、
この目的に合う高純度アルコキシアルシンの製造法、精
製法およびアルコキシアルシン中に含まれる微量の塩素
分の定量分析法等に関する報告を見出し得ない状況にあ
る。
【０００５】そこで本発明者等は、三塩化ヒ素とアルコ
ールとアンモニアとの反応で合成したアルコキシアルシ
ンを蒸留し、その主留分の不純物としての塩素分を分析
したところ、塩素分が数百ｐｐｍと非常に多いことが判
明した。
ールとアンモニアとの反応で合成したアルコキシアルシ
ンを蒸留し、その主留分の不純物としての塩素分を分析
したところ、塩素分が数百ｐｐｍと非常に多いことが判
明した。
【０００６】分析法は、アルコキシアルシンを加水分解
し、生成したスラリー中の塩素を電位差滴定法により定
量し、金属不純物をＩＣＰ発光分析法により定量した。
実施例における分析も上記の分析法を用いた。なお、ア
ルコキシアルシン中の塩素化合物は同定はしていない
が、多くはＡｓ（ＯＲ）ｘＣｌｙ（ＯＲはアルコキシ
基、ｘ＋ｙ＝３）で存在すると推測され、僅か一部が塩
化アンモニウムや三塩化ヒ素であると考えられる。
し、生成したスラリー中の塩素を電位差滴定法により定
量し、金属不純物をＩＣＰ発光分析法により定量した。
実施例における分析も上記の分析法を用いた。なお、ア
ルコキシアルシン中の塩素化合物は同定はしていない
が、多くはＡｓ（ＯＲ）ｘＣｌｙ（ＯＲはアルコキシ
基、ｘ＋ｙ＝３）で存在すると推測され、僅か一部が塩
化アンモニウムや三塩化ヒ素であると考えられる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】三塩化ヒ素とアルコー
ルとアンモニアとの反応でアルコキシアルシンを製造す
る従来の技術では、アルコキシアルシン中に数百ｐｐｍ
の不純物としての塩素分が含まれることは避けられな
い。また、三酸化二ヒ素とアルコールとの反応で製造さ
れるアルコキシアルシン中に微量の塩素分が含まれた場
合には、蒸留などの従来技術では塩素分をｐｐｍオーダ
ー以下に低減することは不可能である。
ルとアンモニアとの反応でアルコキシアルシンを製造す
る従来の技術では、アルコキシアルシン中に数百ｐｐｍ
の不純物としての塩素分が含まれることは避けられな
い。また、三酸化二ヒ素とアルコールとの反応で製造さ
れるアルコキシアルシン中に微量の塩素分が含まれた場
合には、蒸留などの従来技術では塩素分をｐｐｍオーダ
ー以下に低減することは不可能である。
【０００８】本発明の目的は、アルコキシアルシンに含
まれる塩素分をｐｐｍオーダー以下にするアルコキシア
ルシンの精製法を提供することである。
まれる塩素分をｐｐｍオーダー以下にするアルコキシア
ルシンの精製法を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明者等は、長年、金
属アルコキシドの合成反応について研究を続けてきた。
また、その高純度化の方法についても鋭意研究を続けて
きた。その結果、アルコキシアルシンを蒸留精製する
際、アルカリ金属アルコキシドあるいはアルカリ土類金
属アルコキシドを添加、撹拌し、次いで蒸留すれば、効
率よく塩素分を低減できることを見出し本発明を完成さ
せるに至った。
属アルコキシドの合成反応について研究を続けてきた。
また、その高純度化の方法についても鋭意研究を続けて
きた。その結果、アルコキシアルシンを蒸留精製する
際、アルカリ金属アルコキシドあるいはアルカリ土類金
属アルコキシドを添加、撹拌し、次いで蒸留すれば、効
率よく塩素分を低減できることを見出し本発明を完成さ
せるに至った。
【００１０】すなわち、本発明の特徴は、アルコキシア
ルシンを蒸留精製する際、アルカリ金属アルコキシドあ
るいはアルカリ土類金属アルコキシドを添加、撹拌し、
次いで蒸留することである。
ルシンを蒸留精製する際、アルカリ金属アルコキシドあ
るいはアルカリ土類金属アルコキシドを添加、撹拌し、
次いで蒸留することである。
【００１１】添加したアルカリ金属分あるいはアルカリ
土類金属分は塩素分と反応して塩化物として液中に残る
が、これら塩化物および未反応のアルカリ金属アルコキ
シド、アルカリ土類金属アルコキシドは不揮発性の化合
物であるため、蒸留によって容易にアルコキシアルシン
から分離することができる。したがって、アルコキシア
ルシンに含まれる塩素分をｐｐｍオーダー以下にまで除
去できるのである。
土類金属分は塩素分と反応して塩化物として液中に残る
が、これら塩化物および未反応のアルカリ金属アルコキ
シド、アルカリ土類金属アルコキシドは不揮発性の化合
物であるため、蒸留によって容易にアルコキシアルシン
から分離することができる。したがって、アルコキシア
ルシンに含まれる塩素分をｐｐｍオーダー以下にまで除
去できるのである。
【００１２】本発明におけるアルコキシアルシンは、蒸
留できるものであれば何でもよいが、好ましくは、トリ
メトキシアルシン、トリエトキシアルシン、トリプロポ
キシアルシン、トリイソプロポキシアルシン、トリブト
キシアルシン、トリイソブトキシアルシン、トリターシ
ャリーブトキシアルシン、トリセカンダリーブトキシア
ルシンである。
留できるものであれば何でもよいが、好ましくは、トリ
メトキシアルシン、トリエトキシアルシン、トリプロポ
キシアルシン、トリイソプロポキシアルシン、トリブト
キシアルシン、トリイソブトキシアルシン、トリターシ
ャリーブトキシアルシン、トリセカンダリーブトキシア
ルシンである。
【００１３】本発明において用いられるアルカリ金属ア
ルコキシドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドは、
ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、ナトリ
ウムプロポキシド、ナトリウムイソプロポキシド、カリ
ウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムプロポ
キシド、カリウムイソプロポキシド、リチウムメトキシ
ド、リチウムエトキシド、リチウムプロポキシド、リチ
ウムイソプロポキシド、マグネシウムメトキシド、マグ
ネシウムエトキシド、マグネシウムプロポキシド、マグ
ネシウムイソプロポキシド、カルシウムメトキシド、カ
ルシウムエトキシド、カルシウムプロポキシド、カルシ
ウムイソプロポキシド、ストロンチウムメトキシド、ス
トロンチウムエトキシド、ストロンチウムプロポキシ
ド、ストロンチウムイソプロポキシド等である。
ルコキシドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドは、
ナトリウムメトキシド、ナトリウムエトキシド、ナトリ
ウムプロポキシド、ナトリウムイソプロポキシド、カリ
ウムメトキシド、カリウムエトキシド、カリウムプロポ
キシド、カリウムイソプロポキシド、リチウムメトキシ
ド、リチウムエトキシド、リチウムプロポキシド、リチ
ウムイソプロポキシド、マグネシウムメトキシド、マグ
ネシウムエトキシド、マグネシウムプロポキシド、マグ
ネシウムイソプロポキシド、カルシウムメトキシド、カ
ルシウムエトキシド、カルシウムプロポキシド、カルシ
ウムイソプロポキシド、ストロンチウムメトキシド、ス
トロンチウムエトキシド、ストロンチウムプロポキシ
ド、ストロンチウムイソプロポキシド等である。
【００１４】上記の化合物は、アルコキシアルシンに含
まれる塩素分の反応当量以上、好ましくは該当量の３〜
５倍量添加すればよい。また、アルコキシアルシン中に
水分が含まれる場合は、これらの化合物が水分と反応し
て消失するので、水分当量以上、好ましくは３〜５倍量
を加算して添加すればよい。
まれる塩素分の反応当量以上、好ましくは該当量の３〜
５倍量添加すればよい。また、アルコキシアルシン中に
水分が含まれる場合は、これらの化合物が水分と反応し
て消失するので、水分当量以上、好ましくは３〜５倍量
を加算して添加すればよい。
【００１５】本発明において、アルカリ金属アルコキシ
ドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドの添加は、水
分が入らないように不活性ガス雰囲気中で行い、撹拌し
ながら液温を３０℃〜８０℃で約１時間保てばよい。
ドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドの添加は、水
分が入らないように不活性ガス雰囲気中で行い、撹拌し
ながら液温を３０℃〜８０℃で約１時間保てばよい。
【００１６】本発明において用いるアルコキシアルシン
は、三塩化ヒ素とアルコールとアンモニアとの反応生成
物から、副生した塩化アンモニウム結晶を濾過や遠心分
離などの機械的操作で除去する製法により製造されたも
のが好ましい。すなわち、この製法で用いられる三塩化
ヒ素原料は、蒸留で精製することが容易であるため、他
の金属不純物を非常に少なくすることができ、ひいては
アルコキシアルシン中の金属不純物の低減が可能である
ためである。
は、三塩化ヒ素とアルコールとアンモニアとの反応生成
物から、副生した塩化アンモニウム結晶を濾過や遠心分
離などの機械的操作で除去する製法により製造されたも
のが好ましい。すなわち、この製法で用いられる三塩化
ヒ素原料は、蒸留で精製することが容易であるため、他
の金属不純物を非常に少なくすることができ、ひいては
アルコキシアルシン中の金属不純物の低減が可能である
ためである。
【００１７】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。
なお、当然のことであるが、以下の実施例は本発明の一
例を示すものであって、本発明はこの実施例にのみ限定
されるものではない。
なお、当然のことであるが、以下の実施例は本発明の一
例を示すものであって、本発明はこの実施例にのみ限定
されるものではない。
【００１８】
【実施例１】撹拌機、コンデンサー付きのアルゴン置換
した４つ口フラスコに、脱水したトルエン６１と脱水し
たエタノール１７３３ｇ（３７．６モル）を仕込み、撹
拌しながら無水三塩化ヒ素２１６８ｇ（１１．９６モ
ル）を添加し、次いでフラスコを冷却しながら、アンモ
ニアガス９００１（４０．２モル）を６時間かけて吹き
込んだ。この間反応温度は３０〜５０℃に保った。
した４つ口フラスコに、脱水したトルエン６１と脱水し
たエタノール１７３３ｇ（３７．６モル）を仕込み、撹
拌しながら無水三塩化ヒ素２１６８ｇ（１１．９６モ
ル）を添加し、次いでフラスコを冷却しながら、アンモ
ニアガス９００１（４０．２モル）を６時間かけて吹き
込んだ。この間反応温度は３０〜５０℃に保った。
【００１９】生成物を濾過して、副生した塩化アンモニ
ウム結晶を除き、濾液にナトリウムエトキシド７ｇを加
え、５０℃に加熱撹拌を１時間行った。次いでエタノー
ル、トルエンを常圧留去したのち、１００Ｔｏｒｒで単
蒸留し、粗トリエトキシアルシンを得た。
ウム結晶を除き、濾液にナトリウムエトキシド７ｇを加
え、５０℃に加熱撹拌を１時間行った。次いでエタノー
ル、トルエンを常圧留去したのち、１００Ｔｏｒｒで単
蒸留し、粗トリエトキシアルシンを得た。
【００２０】これを精留釜に仕込み、５時間かけて１０
０Ｔｏｒｒの減圧精留を行い、１０７℃付近の主留分と
して無色透明の精トリエトキシアルシン２１４０ｇを得
た（収率８５％）。この精トリエトキシアルシンを分析
したところ、塩素分は１ｐｐｍ、ナトリウムは１ｐｐｍ
以下であった。
０Ｔｏｒｒの減圧精留を行い、１０７℃付近の主留分と
して無色透明の精トリエトキシアルシン２１４０ｇを得
た（収率８５％）。この精トリエトキシアルシンを分析
したところ、塩素分は１ｐｐｍ、ナトリウムは１ｐｐｍ
以下であった。
【００２１】
【実施例２】実施例１において用いたナトリウムエトキ
シドの代わりにストロンチウムイソプロポキシド１５ｇ
を用いたほかは、実施例１と同様な操作を行い主留分を
得た。その分析値は、塩素分２ｐｐｍ、ストロンチウム
１ｐｐｍ以下であった。
シドの代わりにストロンチウムイソプロポキシド１５ｇ
を用いたほかは、実施例１と同様な操作を行い主留分を
得た。その分析値は、塩素分２ｐｐｍ、ストロンチウム
１ｐｐｍ以下であった。
【００２２】
【比較例】ナトリウムエトキシドを添加しないことのほ
かは、実施例１と同様な操作を行い主留分を得た。その
分析値は、塩素分２４０ｐｐｍ、ナトリウム１ｐｐｍ以
下であった。
かは、実施例１と同様な操作を行い主留分を得た。その
分析値は、塩素分２４０ｐｐｍ、ナトリウム１ｐｐｍ以
下であった。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、アルコキシアルシンを
蒸留精製する際、アルカリ金属アルコキシドあるいはア
ルカリ土類金属アルコキシドを添加、撹拌し、次いで蒸
留することによって、塩素分を極微量に低減したアルコ
キシアルシンを収率よく得ることができる特徴がある。
比較例のようにアルコキシアルシンにアルカリ金属アル
コキシドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドを添加
しないで蒸留すると、塩素分が数百ｐｐｍと高く、ｐｐ
ｍオーダーまで精製できない。これに対して、本発明に
よれば実施例からも明かなとおり、塩素分をｐｐｍオー
ダー以下にまで精製できる。
蒸留精製する際、アルカリ金属アルコキシドあるいはア
ルカリ土類金属アルコキシドを添加、撹拌し、次いで蒸
留することによって、塩素分を極微量に低減したアルコ
キシアルシンを収率よく得ることができる特徴がある。
比較例のようにアルコキシアルシンにアルカリ金属アル
コキシドあるいはアルカリ土類金属アルコキシドを添加
しないで蒸留すると、塩素分が数百ｐｐｍと高く、ｐｐ
ｍオーダーまで精製できない。これに対して、本発明に
よれば実施例からも明かなとおり、塩素分をｐｐｍオー
ダー以下にまで精製できる。
Claims (2)
- 【請求項１】 アルコキシアルシンを蒸留精製する際、
アルカリ金属アルコキシドあるいはアルカリ土類金属ア
ルコキシドを添加、撹拌し、次いで蒸留することを特徴
とするアルコキシアルシンの精製法。 - 【請求項２】 アルコキシアルシンが、トリメトキシア
ルシン、トリエトキシアルシン、トリプロポキシアルシ
ン、トリイソプロポキシアルシン、トリブトキシアルシ
ン、トリイソブトキシアルシン、トリターシャリーブト
キシアルシン、トリセカンダリーブトキシアルシンであ
ることを特徴とする請求項１のアルコキシアルシンの精
製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4120195A JP2967397B2 (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | アルコキシアルシンの精製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4120195A JP2967397B2 (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | アルコキシアルシンの精製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08198626A JPH08198626A (ja) | 1996-08-06 |
| JP2967397B2 true JP2967397B2 (ja) | 1999-10-25 |
Family
ID=12601813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4120195A Expired - Fee Related JP2967397B2 (ja) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | アルコキシアルシンの精製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2967397B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20230131536A (ko) * | 2022-03-07 | 2023-09-14 | 에스케이이노베이션 주식회사 | 폐플라스틱 열분해유의 염소 제거 방법 |
-
1995
- 1995-01-20 JP JP4120195A patent/JP2967397B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08198626A (ja) | 1996-08-06 |
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