JP2977954B2 - ワイヤボンディング方法 - Google Patents
ワイヤボンディング方法Info
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Feedback Control In General (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置製造工程に
適用されるワイヤボンディング方法に関する。
適用されるワイヤボンディング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤボンディング装置は、リードフレ
ームのリードと半導体ペレットのパッドとを撮像する撮
像手段と、撮像手段が撮像した画像信号を取り込んで認
識する画像処理手段と、画像処理手段の認識結果に基づ
き、ボンディングヘッドによりリードフレームのリード
とペレットのパッドとの間のワイヤボンディング動作を
行なわせる制御手段とを有している。
ームのリードと半導体ペレットのパッドとを撮像する撮
像手段と、撮像手段が撮像した画像信号を取り込んで認
識する画像処理手段と、画像処理手段の認識結果に基づ
き、ボンディングヘッドによりリードフレームのリード
とペレットのパッドとの間のワイヤボンディング動作を
行なわせる制御手段とを有している。
【０００３】ここで、画像処理手段は、(1) 教示段階で
は、同一品種間の代表としての基準リードフレームにつ
いて、そのリード上の基準ボンディング座標を設定し、
(2)当該同一品種の生産段階では、一般リードフレーム
について、そのリードが基準リードフレームのリードに
対してなす位置ずれ量を検出する。
は、同一品種間の代表としての基準リードフレームにつ
いて、そのリード上の基準ボンディング座標を設定し、
(2)当該同一品種の生産段階では、一般リードフレーム
について、そのリードが基準リードフレームのリードに
対してなす位置ずれ量を検出する。
【０００４】そして、制御手段は、画像処理手段が検出
した一般リードフレームのリードの上記位置ずれ量に基
づき、一般リードフレームのリード上の実ボンディング
座標を、基準リードフレームについて設定した基準ボン
ディング座標に対して補正することにて設定し、この実
ボンディング座標に基づき、ボンディングヘッドにより
ボンディング動作を行なわせる。
した一般リードフレームのリードの上記位置ずれ量に基
づき、一般リードフレームのリード上の実ボンディング
座標を、基準リードフレームについて設定した基準ボン
ディング座標に対して補正することにて設定し、この実
ボンディング座標に基づき、ボンディングヘッドにより
ボンディング動作を行なわせる。
【０００５】然るに、従来技術において、画像処理手段
は、一般リードフレームについての位置ずれ量の検出時
に、図４又は図５に示す如く、検出視野１の方向１Ａ
を、リード２の傾きに関係なく、画面に対して 0度の方
向（図４参照）又は90度の方向（図５参照）に固定化し
ている。
は、一般リードフレームについての位置ずれ量の検出時
に、図４又は図５に示す如く、検出視野１の方向１Ａ
を、リード２の傾きに関係なく、画面に対して 0度の方
向（図４参照）又は90度の方向（図５参照）に固定化し
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
では、図６又は図７に示す如く、一般リードフレームの
リード２が教示段階の基準リードフレームのリード２Ａ
に対して曲がっていた場合、検出視野１の当初の範囲内
にて検出できない場合がある。この場合には、画像処理
手段は、検出視野１の範囲を検出方向１Ａに沿って徐々
に広げ、リード２を探しに行くこことなる。このため、
検出時間が長くなる。また、曲がりの程度によっては、
検出視野１の範囲をいくら広げても検出できない場合も
生ずる。
では、図６又は図７に示す如く、一般リードフレームの
リード２が教示段階の基準リードフレームのリード２Ａ
に対して曲がっていた場合、検出視野１の当初の範囲内
にて検出できない場合がある。この場合には、画像処理
手段は、検出視野１の範囲を検出方向１Ａに沿って徐々
に広げ、リード２を探しに行くこことなる。このため、
検出時間が長くなる。また、曲がりの程度によっては、
検出視野１の範囲をいくら広げても検出できない場合も
生ずる。
【０００７】尚、検出視野１の範囲を予め広く取ってお
くことも考えられるが、リード数が多くなり、隣り合う
リード同士が接近している場合には、隣のリードが一緒
に検出視野に入ってしまうことがあり、誤検出の原因と
なって妥当でない。
くことも考えられるが、リード数が多くなり、隣り合う
リード同士が接近している場合には、隣のリードが一緒
に検出視野に入ってしまうことがあり、誤検出の原因と
なって妥当でない。
【０００８】また、従来技術では、画像処理手段が検出
視野内で検出したリード上の座標が、実ボンディング座
標となる。このため、図６に示す如くにリード２が曲が
っているときに、リード２の先端を検出してしまうと、
リード２の先端が実ボンディング座標となってしまう。
ところが、リード２の先端がボンディングされるに十分
な幅を有さない場合、ボンディング不良を生ずることと
なる。
視野内で検出したリード上の座標が、実ボンディング座
標となる。このため、図６に示す如くにリード２が曲が
っているときに、リード２の先端を検出してしまうと、
リード２の先端が実ボンディング座標となってしまう。
ところが、リード２の先端がボンディングされるに十分
な幅を有さない場合、ボンディング不良を生ずることと
なる。
【０００９】本発明は、リードが曲がっている場合に
も、画像処理手段の検出範囲をむやみに広げることな
く、リードを迅速かつ正確に検出可能とすることを目的
とする。
も、画像処理手段の検出範囲をむやみに広げることな
く、リードを迅速かつ正確に検出可能とすることを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明
は、リードフレームのリードを撮像する撮像手段と、撮
像手段が撮像した画像信号を取込んで認識し、基準リー
ドフレームについてそのリード上の基準ボンディング座
標を設定し、一般リードフレームについてそのリードが
基準リードフレームのリードに対してなす位置ずれ量を
検出する画像処理手段と、画像処理手段が検出した一般
リードフレームのリードの上記位置ずれ量に基づき、一
般リードフレームのリード上の実ボンディング座標を、
基準リードフレームについて設定した基準ボンディング
座標に対して補正することにて設定し、この実ボンディ
ング座標に基づき、ボンディングヘッドによりボンディ
ング動作を行なわせる制御手段とを用いて行なうワイヤ
ボンディング方法において、画像処理手段は、基準リー
ドフレームについての基準ボンディング座標の設定時
に、リードの傾きを認識し、一般リードフレームについ
ての位置ずれ量の検出時に、検出視野を上記基準リード
フレームのリードの傾き方向に略直交する方向に設定し
て検出するようにしたものである。
は、リードフレームのリードを撮像する撮像手段と、撮
像手段が撮像した画像信号を取込んで認識し、基準リー
ドフレームについてそのリード上の基準ボンディング座
標を設定し、一般リードフレームについてそのリードが
基準リードフレームのリードに対してなす位置ずれ量を
検出する画像処理手段と、画像処理手段が検出した一般
リードフレームのリードの上記位置ずれ量に基づき、一
般リードフレームのリード上の実ボンディング座標を、
基準リードフレームについて設定した基準ボンディング
座標に対して補正することにて設定し、この実ボンディ
ング座標に基づき、ボンディングヘッドによりボンディ
ング動作を行なわせる制御手段とを用いて行なうワイヤ
ボンディング方法において、画像処理手段は、基準リー
ドフレームについての基準ボンディング座標の設定時
に、リードの傾きを認識し、一般リードフレームについ
ての位置ずれ量の検出時に、検出視野を上記基準リード
フレームのリードの傾き方向に略直交する方向に設定し
て検出するようにしたものである。
【００１１】請求項２記載の本発明は、リードフレーム
のリードを撮像手段を用いて撮像するとともに、撮像し
た画像信号を画像処理して前記リードの理想パターンに
基づいて予め得られる正規のリード位置である基準リー
ド位置からのずれ量を検出し、このずれ量と予め設定さ
れている基準ボンディング座標とから前記リード上にお
ける実ボンディング座標を求め、この求めた実ボンディ
ング座標に基づきボンディングヘッドを移動させてボン
ディングを行なうようにしたワイヤボンディング方法に
おいて、前記画像信号を画像処理するにあたり、ずれ量
を検出しようとする１個のリード毎に唯一の検出視野を
設定し、その検出視野を前記基準リードの傾き方向に略
直交する方向に設定するようにしたものである。
のリードを撮像手段を用いて撮像するとともに、撮像し
た画像信号を画像処理して前記リードの理想パターンに
基づいて予め得られる正規のリード位置である基準リー
ド位置からのずれ量を検出し、このずれ量と予め設定さ
れている基準ボンディング座標とから前記リード上にお
ける実ボンディング座標を求め、この求めた実ボンディ
ング座標に基づきボンディングヘッドを移動させてボン
ディングを行なうようにしたワイヤボンディング方法に
おいて、前記画像信号を画像処理するにあたり、ずれ量
を検出しようとする１個のリード毎に唯一の検出視野を
設定し、その検出視野を前記基準リードの傾き方向に略
直交する方向に設定するようにしたものである。
【００１２】
【作用】リードの曲がりは、リードフレームに対する当
該リードの付け根回りに回転する如くの方向に生ずる。
従って、一般リードフレームのリードの曲がり方向は、
基準リードフレームのリードの傾き方向に略直交する方
向に略一致するものとなる。このとき、本発明にあって
は、画像処理手段の検出視野が基準リードフレームのリ
ードの傾き方向に略直交する方向に設定されており、結
果として検出視野は一般リードフレームのリードの曲が
り方向に略一致するものとなり、画像処理手段の検出範
囲をむやみに広げることなく、リードを迅速かつ正確に
検出できる。
該リードの付け根回りに回転する如くの方向に生ずる。
従って、一般リードフレームのリードの曲がり方向は、
基準リードフレームのリードの傾き方向に略直交する方
向に略一致するものとなる。このとき、本発明にあって
は、画像処理手段の検出視野が基準リードフレームのリ
ードの傾き方向に略直交する方向に設定されており、結
果として検出視野は一般リードフレームのリードの曲が
り方向に略一致するものとなり、画像処理手段の検出範
囲をむやみに広げることなく、リードを迅速かつ正確に
検出できる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の実施に用いられるワイヤボン
ディング装置の一例を示す模式図、図２は基準リードフ
レームにおける基準ボンディング座標の設定原理を示す
模式図、図３は一般リードフレームにおけるリードの位
置ずれ量の検出原理を示す模式図である。
ディング装置の一例を示す模式図、図２は基準リードフ
レームにおける基準ボンディング座標の設定原理を示す
模式図、図３は一般リードフレームにおけるリードの位
置ずれ量の検出原理を示す模式図である。
【００１４】ワイヤボンディング装置１１は、基台１２
を備えている。この基台１２にはＸ移動モータ１３とＹ
移動モータ１４とによって平面上をＸ、Ｙ方向に移動さ
れるＸＹテーブル１５と、リードフレーム１６を搬送す
る送り装置１７とが対向して配置されている。上記ＸＹ
テーブル１５にはボンディングヘッド１８が設けられて
いる。
を備えている。この基台１２にはＸ移動モータ１３とＹ
移動モータ１４とによって平面上をＸ、Ｙ方向に移動さ
れるＸＹテーブル１５と、リードフレーム１６を搬送す
る送り装置１７とが対向して配置されている。上記ＸＹ
テーブル１５にはボンディングヘッド１８が設けられて
いる。
【００１５】ボンディングヘッド１８には先端にキャピ
ラリ１９を有し、Ｚ移動モータ２０によって回動せしめ
られるボンディングアーム２１が支持されるとともに、
支持体２２が配設されている。この支持体２２には、上
記キャピラリ１９にワイヤを供給するワイヤスプール２
３と、上記送り装置１７によって搬送されてくるリード
フレーム１６を撮像する撮像装置２４とが取付けられて
いる。
ラリ１９を有し、Ｚ移動モータ２０によって回動せしめ
られるボンディングアーム２１が支持されるとともに、
支持体２２が配設されている。この支持体２２には、上
記キャピラリ１９にワイヤを供給するワイヤスプール２
３と、上記送り装置１７によって搬送されてくるリード
フレーム１６を撮像する撮像装置２４とが取付けられて
いる。
【００１６】そして、撮像装置２４には、画像処理装置
２５と制御装置２６が順次電気的に接続されている。画
像処理装置２５には、メモリ２７が接続されている。
２５と制御装置２６が順次電気的に接続されている。画
像処理装置２５には、メモリ２７が接続されている。
【００１７】撮像装置２４は、ＩＴＶカメラからなり、
リードフレーム１６のリード３０と半導体ペレットのパ
ッド（不図示）とを撮像する。また、画像処理装置２５
は、撮像装置２４が撮像した画像信号を取込んで認識す
る。また、制御装置２６は、画像処理装置２５の認識結
果に基づき、ボンディングヘッド１８のモータ１３、１
４、２０を駆動し、リードフレーム１６のリード３０と
ペレットのパッドとの間のワイヤボンディング動作を行
なわせる。
リードフレーム１６のリード３０と半導体ペレットのパ
ッド（不図示）とを撮像する。また、画像処理装置２５
は、撮像装置２４が撮像した画像信号を取込んで認識す
る。また、制御装置２６は、画像処理装置２５の認識結
果に基づき、ボンディングヘッド１８のモータ１３、１
４、２０を駆動し、リードフレーム１６のリード３０と
ペレットのパッドとの間のワイヤボンディング動作を行
なわせる。
【００１８】ここで、画像処理装置２５は、(1) 教示段
階では、同一品種間の代表としての基準リードフレーム
１６Ａについて、そのリード３０Ａ上の基準ボンディン
グ座標３１Ａを設定し、(2) 当該同一品種の生産段階で
は、一般リードフレーム１６Ｂについて、そのリード３
０Ｂが基準リードフレーム１６Ａのリード３０Ａに対し
てなす位置ずれ量（△X ，△Y ）を検出する。
階では、同一品種間の代表としての基準リードフレーム
１６Ａについて、そのリード３０Ａ上の基準ボンディン
グ座標３１Ａを設定し、(2) 当該同一品種の生産段階で
は、一般リードフレーム１６Ｂについて、そのリード３
０Ｂが基準リードフレーム１６Ａのリード３０Ａに対し
てなす位置ずれ量（△X ，△Y ）を検出する。
【００１９】そして、制御装置２６は、画像処理装置２
５が検出した一般リードフレーム１６Ｂのリード３０Ｂ
の上記位置ずれ量（△X ，△Y ）に基づき、一般リード
フレーム１６Ｂのリード３０Ｂ上の実ボンディング座標
３１Ｂを、基準リードフレーム１６Ａについて設定した
基準ボンディング座標３１Ａに対して補正することにて
設定し、この実ボンディング座標３１Ｂに基づき、上述
のボンディングヘッド１８によるボンディング動作を行
なわせる。
５が検出した一般リードフレーム１６Ｂのリード３０Ｂ
の上記位置ずれ量（△X ，△Y ）に基づき、一般リード
フレーム１６Ｂのリード３０Ｂ上の実ボンディング座標
３１Ｂを、基準リードフレーム１６Ａについて設定した
基準ボンディング座標３１Ａに対して補正することにて
設定し、この実ボンディング座標３１Ｂに基づき、上述
のボンディングヘッド１８によるボンディング動作を行
なわせる。
【００２０】然るに、本実施例にあっては、画像処理装
置２５の上記(1) における、基準リードフレーム１６Ａ
のリード３０Ａ上の基準ボンディング座標３１Ａの設定
を下記〜の如くにより行なう。
置２５の上記(1) における、基準リードフレーム１６Ａ
のリード３０Ａ上の基準ボンディング座標３１Ａの設定
を下記〜の如くにより行なう。
【００２１】オペレータにてリード３０Ａを指定する
（図２（Ａ）参照）。
（図２（Ａ）参照）。
【００２２】画像処理装置２５の検出視野３２にて、
リード３０Ａのエッジを検出してリード幅を求め、この
リード幅の中央の座標点Ａを算出する（図２（Ｂ）参
照）。
リード３０Ａのエッジを検出してリード幅を求め、この
リード幅の中央の座標点Ａを算出する（図２（Ｂ）参
照）。
【００２３】この際、リード３０ＡをＸ方向、Ｙ方向の
両検出方向で検出し、この検出により測定したリード幅
を比較し、小さい幅を検出した検出方向を選択し、中央
座標を求める。
両検出方向で検出し、この検出により測定したリード幅
を比較し、小さい幅を検出した検出方向を選択し、中央
座標を求める。
【００２４】上記で選択した検出方向にて、座標点
ＡからＹ方向に距離Ｍ離れた位置で、リード３０Ａのリ
ード幅の中央の座標点Ｂを算出する（図２（Ｂ）参
照）。
ＡからＹ方向に距離Ｍ離れた位置で、リード３０Ａのリ
ード幅の中央の座標点Ｂを算出する（図２（Ｂ）参
照）。
【００２５】座標点Ａ、Ｂから、リード３０Ａの傾き
θを求める。このとき、リード３０Ａの傾きθをメモリ
２７に記憶しておく。
θを求める。このとき、リード３０Ａの傾きθをメモリ
２７に記憶しておく。
【００２６】画像処理装置２５の検出視野３２をリー
ド３０Ａの傾き方向に設定し、撮像出力のダウンエッジ
を探し、リード３０Ａの先端を認識する。検出視野３２
の当初の範囲でリード３０Ａの先端を検出できなけれ
ば、検出範囲をリード３０Ａの傾き方向に徐々に広げて
いく。座標点Ａ、Ｂを結ぶ直線とリード３０Ａの先端と
が交わる点が、リード３０Ａの先端の座標点Ｃとなる
（図２（Ｃ）参照）。
ド３０Ａの傾き方向に設定し、撮像出力のダウンエッジ
を探し、リード３０Ａの先端を認識する。検出視野３２
の当初の範囲でリード３０Ａの先端を検出できなけれ
ば、検出範囲をリード３０Ａの傾き方向に徐々に広げて
いく。座標点Ａ、Ｂを結ぶ直線とリード３０Ａの先端と
が交わる点が、リード３０Ａの先端の座標点Ｃとなる
（図２（Ｃ）参照）。
【００２７】リード３０Ａの先端の座標点Ｃを原点と
し、リード３０Ａ上にて、リード３０Ａの傾き方向に、
指定された距離Ｌをなす位置にボンディング座標Ｄを設
定する（図２（Ｄ）参照）。
し、リード３０Ａ上にて、リード３０Ａの傾き方向に、
指定された距離Ｌをなす位置にボンディング座標Ｄを設
定する（図２（Ｄ）参照）。
【００２８】ここで、上記距離Ｌは、リード３０Ａ上に
て、ワイヤをボンディングするのに十分なリード幅があ
り、ワイヤループを形成したときに、隣接するワイヤル
ープ同士が接触することがないように設定されたリード
の先端からの距離である。
て、ワイヤをボンディングするのに十分なリード幅があ
り、ワイヤループを形成したときに、隣接するワイヤル
ープ同士が接触することがないように設定されたリード
の先端からの距離である。
【００２９】また、本実施例にあっては、画像処理装置
２５の上記(2) における一般リードフレームの１６Ｂの
リード３０Ｂの位置ずれ量（△X ，△Y ）の検出を以下
の如くにより行なう。
２５の上記(2) における一般リードフレームの１６Ｂの
リード３０Ｂの位置ずれ量（△X ，△Y ）の検出を以下
の如くにより行なう。
【００３０】即ち、画像処理装置２５は、上述した基準
リードフレーム１６Ａについての基準ボンディング座標
３１Ａの設定時に、上述にてリード３０Ａの傾きθを
認識し、メモリ２７に記憶してある。そこで、画像処理
装置２５は、一般リードフレーム１６Ｂについてのリー
ド３０Ｂの位置ずれ量（△X ，△Y ）検出時に、検出視
野３２を上記基準リードフレーム１６Ａのリード３０Ａ
の傾き方向に略直交する方向に設定して検出するのであ
る（図３（Ａ）参照）。
リードフレーム１６Ａについての基準ボンディング座標
３１Ａの設定時に、上述にてリード３０Ａの傾きθを
認識し、メモリ２７に記憶してある。そこで、画像処理
装置２５は、一般リードフレーム１６Ｂについてのリー
ド３０Ｂの位置ずれ量（△X ，△Y ）検出時に、検出視
野３２を上記基準リードフレーム１６Ａのリード３０Ａ
の傾き方向に略直交する方向に設定して検出するのであ
る（図３（Ａ）参照）。
【００３１】次に、上記実施例の作用について説明す
る。
る。
【００３２】一般リードフレーム１６Ｂのリード３０Ｂ
の曲がりは、該リードフレーム１６Ｂに対する当該リー
ド３０Ｂの付け根回りに回転する如くの方向に生ずる。
従って、一般リードフレーム１６Ｂのリード３０Ｂの曲
がり方向は、基準リードフレーム１６Ａのリード３０Ａ
の傾き方向に略直交する方向に略一致するものとなる。
このとき、上記実施例にあっては、画像処理装置２５の
検出視野３２が基準リードフレーム１６Ａのリード３０
Ａの傾き方向に略直交する方向に設定されており、結果
として検出視野３２は一般リードフレーム１６Ｂのリー
ド３０Ｂの曲がり方向に略一致するものとなり、画像処
理装置２５の検出範囲をむやみに広げることなく、リー
ド３０Ｂを迅速かつ正確に検出できる。
の曲がりは、該リードフレーム１６Ｂに対する当該リー
ド３０Ｂの付け根回りに回転する如くの方向に生ずる。
従って、一般リードフレーム１６Ｂのリード３０Ｂの曲
がり方向は、基準リードフレーム１６Ａのリード３０Ａ
の傾き方向に略直交する方向に略一致するものとなる。
このとき、上記実施例にあっては、画像処理装置２５の
検出視野３２が基準リードフレーム１６Ａのリード３０
Ａの傾き方向に略直交する方向に設定されており、結果
として検出視野３２は一般リードフレーム１６Ｂのリー
ド３０Ｂの曲がり方向に略一致するものとなり、画像処
理装置２５の検出範囲をむやみに広げることなく、リー
ド３０Ｂを迅速かつ正確に検出できる。
【００３３】従って、リード３０Ｂが曲がっていても、
検出視野３２から外れる確率が低くなり、リード３０Ｂ
の曲がりが極端に大きくないかぎり検出視野３２から外
れることがなくなり、検出時間を短縮できる。
検出視野３２から外れる確率が低くなり、リード３０Ｂ
の曲がりが極端に大きくないかぎり検出視野３２から外
れることがなくなり、検出時間を短縮できる。
【００３４】また、リード３０Ｂが曲がった場合におけ
る、実ボンディング座標３１Ｂが基準ボンディング座標
３１Ａの相当座標３１Ａ’に対するずれ量を小とするこ
とができる（図３（Ｂ）参照）。図３（Ｂ）において、
３１Ｃは検出視野３２の方向を画面に対し90度の方向に
設定した場合の検出位置であり、基準ボンディング座標
３１Ａの相当座標３１Ａ’に対するずれ量が大きい。
る、実ボンディング座標３１Ｂが基準ボンディング座標
３１Ａの相当座標３１Ａ’に対するずれ量を小とするこ
とができる（図３（Ｂ）参照）。図３（Ｂ）において、
３１Ｃは検出視野３２の方向を画面に対し90度の方向に
設定した場合の検出位置であり、基準ボンディング座標
３１Ａの相当座標３１Ａ’に対するずれ量が大きい。
【００３５】尚、上記実施例においては、検出視野３２
の設定にあたり、基準リードフレーム１６Ａのリード３
０Ａに傾きを検出し、この検出した傾き方向に対して略
直交する方向となるように設定したが、リードフレーム
の理想パターンに基づいてリードの傾き方向を得るよう
にしてもかまわない。
の設定にあたり、基準リードフレーム１６Ａのリード３
０Ａに傾きを検出し、この検出した傾き方向に対して略
直交する方向となるように設定したが、リードフレーム
の理想パターンに基づいてリードの傾き方向を得るよう
にしてもかまわない。
【００３６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、リードが
曲がっている場合にも、画像処理手段の検出範囲をむや
みに広げることなく、リードを迅速かつ正確に検出でき
る。
曲がっている場合にも、画像処理手段の検出範囲をむや
みに広げることなく、リードを迅速かつ正確に検出でき
る。
【図１】図１は本発明の実施に用いられるワイヤボンデ
ィング装置の一例を示す模式図である。
ィング装置の一例を示す模式図である。
【図２】図２は基準リードフレームにおける基準ボンデ
ィング座標の設定原理を示す模式図である。
ィング座標の設定原理を示す模式図である。
【図３】図３は一般リードフレームにおけるリードの位
置ずれ量の検出原理を示す模式図である。
置ずれ量の検出原理を示す模式図である。
【図４】図４は検出視野の方向を 0度の方向に設定した
状態を示す模式図である。
状態を示す模式図である。
【図５】図５は検出視野の方向を90度の方向に設定した
状態を示す模式図である。
状態を示す模式図である。
【図６】図６は検出方向を 0度とする場合のリードの曲
がり状態を示す模式図である。
がり状態を示す模式図である。
【図７】図７は検出方向を90度とする場合のリードの曲
がり状態を示す模式図である。
がり状態を示す模式図である。
１１ ワイヤボンディング装置 １６Ａ 基準リードフレーム １６Ｂ 一般リードフレーム １８ ボンディングヘッド ２４ 撮像装置 ２５ 画像処理装置 ２６ 制御装置 ３０Ａ、３０Ｂ リード ３１Ａ 基準ボンディング座標 ３１Ｂ 実ボンディング座標 ３２ 検出視野
Claims (2)
- 【請求項１】 リードフレームのリードを撮像する撮像
手段と、撮像手段が撮像した画像信号を取込んで認識
し、基準リードフレームについてそのリード上の基準ボ
ンディング座標を設定し、一般リードフレームについて
そのリードが基準リードフレームのリードに対してなす
位置ずれ量を検出する画像処理手段と、画像処理手段が
検出した一般リードフレームのリードの上記位置ずれ量
に基づき、一般リードフレームのリード上の実ボンディ
ング座標を、基準リードフレームについて設定した基準
ボンディング座標に対して補正することにて設定し、こ
の実ボンディング座標に基づき、ボンディングヘッドに
よりボンディング動作を行なわせる制御手段とを用いて
行なうワイヤボンディング方法において、画像処理手段
は、基準リードフレームについての基準ボンディング座
標の設定時に、リードの傾きを認識し、一般リードフレ
ームについての位置ずれ量の検出時に、検出視野を上記
基準リードフレームのリードの傾き方向に略直交する方
向に設定して検出することを特徴とするワイヤボンディ
ング方法。 - 【請求項２】 リードフレームのリードを撮像手段を用
いて撮像するとともに、撮像した画像信号を画像処理し
て前記リードの理想パターンに基づいて予め得られる正
規のリード位置である基準リード位置からのずれ量を検
出し、このずれ量と予め設定されている基準ボンディン
グ座標とから前記リード上における実ボンディング座標
を求め、この求めた実ボンディング座標に基づきボンデ
ィングヘッドを移動させてボンディングを行なうように
したワイヤボンディング方法において、前記画像信号を
画像処理するにあたり、ずれ量を検出しようとする１個
のリード毎に唯一の検出視野を設定し、その検出視野を
前記基準リードの傾き方向に略直交する方向に設定した
ことを特徴とするワイヤボンディング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3160759A JP2977954B2 (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | ワイヤボンディング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3160759A JP2977954B2 (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | ワイヤボンディング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04359527A JPH04359527A (ja) | 1992-12-11 |
| JP2977954B2 true JP2977954B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=15721855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3160759A Expired - Fee Related JP2977954B2 (ja) | 1991-06-06 | 1991-06-06 | ワイヤボンディング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2977954B2 (ja) |
-
1991
- 1991-06-06 JP JP3160759A patent/JP2977954B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04359527A (ja) | 1992-12-11 |
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