JP2988366B2 - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JP2988366B2 JP2988366B2 JP8074846A JP7484696A JP2988366B2 JP 2988366 B2 JP2988366 B2 JP 2988366B2 JP 8074846 A JP8074846 A JP 8074846A JP 7484696 A JP7484696 A JP 7484696A JP 2988366 B2 JP2988366 B2 JP 2988366B2
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 36
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Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、洗浄液を流しなが
ら平板状の被洗浄物の平面をブラシでスクライビングし
ごみ粒子などのパーティクルを剥離させ該洗浄液で洗い
落す洗浄装置に関する。
ら平板状の被洗浄物の平面をブラシでスクライビングし
ごみ粒子などのパーティクルを剥離させ該洗浄液で洗い
落す洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】被洗浄物である半導体ウェハを洗浄する
洗浄装置は種々あるが、このスクライビングブラシで洗
浄する装置は、ウェハ表面に形成された素子や膜などに
ダメージを与えることなくウェハに付着するごみ粒子な
どのパーティクルを物理的に取去ることから、半導体製
造には多く利用されている。
洗浄装置は種々あるが、このスクライビングブラシで洗
浄する装置は、ウェハ表面に形成された素子や膜などに
ダメージを与えることなくウェハに付着するごみ粒子な
どのパーティクルを物理的に取去ることから、半導体製
造には多く利用されている。
【０００３】しかしながら、この洗浄装置では、装置内
で発生するパーティクルなどの不純物などが洗浄液中に
混入し、ウェハに再付着するといった課題が残されてい
た。このような課題を解消する洗浄装置が、例えば、特
開平３一５２２３０号公報に開示されている。この洗浄
装置は、洗浄液の劣化による不純物の発生を避けるため
に、スクライビングブラシが退避し非洗浄時にも、ウェ
ハの洗浄時より少ない節水状態で洗浄液を流し装置の供
給管経路の洗浄液が停留しないようにし、常に劣化のな
い洗浄液を供給することを特徴としている。
で発生するパーティクルなどの不純物などが洗浄液中に
混入し、ウェハに再付着するといった課題が残されてい
た。このような課題を解消する洗浄装置が、例えば、特
開平３一５２２３０号公報に開示されている。この洗浄
装置は、洗浄液の劣化による不純物の発生を避けるため
に、スクライビングブラシが退避し非洗浄時にも、ウェ
ハの洗浄時より少ない節水状態で洗浄液を流し装置の供
給管経路の洗浄液が停留しないようにし、常に劣化のな
い洗浄液を供給することを特徴としている。
【０００４】また、他の洗浄装置の例として特開平３一
５２２２９号公報に開示されている。この洗浄装置は、
ブラシ交換時に不純物が洗浄液に混入しないように、ブ
ラシ取付け軸に洗浄液の供給路を設け、交換時に発生す
る不純物を洗浄液で流し排出することを特徴としてい
る。
５２２２９号公報に開示されている。この洗浄装置は、
ブラシ交換時に不純物が洗浄液に混入しないように、ブ
ラシ取付け軸に洗浄液の供給路を設け、交換時に発生す
る不純物を洗浄液で流し排出することを特徴としてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した洗浄液の劣化
を防止した洗浄装置では、退避してブラシの外側に洗浄
液を浴せて洗浄しているものの、ウェハから発生しブラ
シ内部に付着するパーティクルが除去されず、再びウェ
ハに付着させる懸念がある。また、洗浄液の噴射圧力を
上げ、ブラシの外側に洗浄液を噴射しても、パーティク
ルはブラシ毛内に潜り込むか、ブラシ毛を貫通し対向す
るブラシ毛内に入り込み除去することが困難となる。
を防止した洗浄装置では、退避してブラシの外側に洗浄
液を浴せて洗浄しているものの、ウェハから発生しブラ
シ内部に付着するパーティクルが除去されず、再びウェ
ハに付着させる懸念がある。また、洗浄液の噴射圧力を
上げ、ブラシの外側に洗浄液を噴射しても、パーティク
ルはブラシ毛内に潜り込むか、ブラシ毛を貫通し対向す
るブラシ毛内に入り込み除去することが困難となる。
【０００６】また、後者である洗浄液流露をブラシ取付
部に設けた洗浄装置では、ブラシ交換時に発生するパー
ティクルは洗浄液で押し流されるものの、ブラシの内側
に付着するパーティクルは前者の洗浄装置と同様に取り
除くことが困難である。さらに、この種の洗浄装置で
は、ブラシを頻繁に交換しなければならないという欠点
がある。
部に設けた洗浄装置では、ブラシ交換時に発生するパー
ティクルは洗浄液で押し流されるものの、ブラシの内側
に付着するパーティクルは前者の洗浄装置と同様に取り
除くことが困難である。さらに、この種の洗浄装置で
は、ブラシを頻繁に交換しなければならないという欠点
がある。
【０００７】従って、本発明の目的は、ブラシに付着す
るパーティクルをより完全に除去し被処理体にパーティ
クルが再付着させないとともにブラシの交換頻度の少な
い洗浄装置を提供することである。
るパーティクルをより完全に除去し被処理体にパーティ
クルが再付着させないとともにブラシの交換頻度の少な
い洗浄装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、被洗浄
物の表面を回転しながら擦り付着するパーティクルを剥
離するスクライビング用の円筒状のブラシを端部に配設
するブラシヘッドと、このブラシヘッドの前記ブラシの
中空に挿入されるとともに前記ブラシの内側に向け洗浄
液を噴射する噴出口が上下方向に複数もつ第１の洗浄ノ
ズルと、前記ブラシヘッドが挿入される洗浄ポットと、
この洗浄ポットに取付けられるとともに前記第１の洗浄
ノズルにより前記ブラシの外側に押し出される前記パー
ティクルを他の洗浄液で洗い落す第２の洗浄ノズルとを
備える洗浄装置である。
物の表面を回転しながら擦り付着するパーティクルを剥
離するスクライビング用の円筒状のブラシを端部に配設
するブラシヘッドと、このブラシヘッドの前記ブラシの
中空に挿入されるとともに前記ブラシの内側に向け洗浄
液を噴射する噴出口が上下方向に複数もつ第１の洗浄ノ
ズルと、前記ブラシヘッドが挿入される洗浄ポットと、
この洗浄ポットに取付けられるとともに前記第１の洗浄
ノズルにより前記ブラシの外側に押し出される前記パー
ティクルを他の洗浄液で洗い落す第２の洗浄ノズルとを
備える洗浄装置である。
【０００９】
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】図１は本発明の一実施の形態における洗浄
装置の概要を示す図である。この洗浄装置は、図１に示
すように、ウェハ１２の表面を回転しながら擦り付着す
るパーティクルを剥離するスクライビング用の円筒状の
ブラジ３ａを端部に配設する円筒状のブラシヘッド３
と、このブラシヘッド３のブラシ３ａの中穴に挿入され
るとともにブラシ３ａの内側に向け洗浄液を噴射する噴
出口１ａが上下方向に複数もつ洗浄ノズル１と、退避し
洗浄ポット４に挿入されたブラシヘッド４の外方に配置
され洗浄液をブラシ３ａの外側に浴せる洗浄ノズル２と
を備えている。
装置の概要を示す図である。この洗浄装置は、図１に示
すように、ウェハ１２の表面を回転しながら擦り付着す
るパーティクルを剥離するスクライビング用の円筒状の
ブラジ３ａを端部に配設する円筒状のブラシヘッド３
と、このブラシヘッド３のブラシ３ａの中穴に挿入され
るとともにブラシ３ａの内側に向け洗浄液を噴射する噴
出口１ａが上下方向に複数もつ洗浄ノズル１と、退避し
洗浄ポット４に挿入されたブラシヘッド４の外方に配置
され洗浄液をブラシ３ａの外側に浴せる洗浄ノズル２と
を備えている。
【００１２】ここで、ブラシヘッド３は旋回軸９に取付
けられるブラシ固定アーム５の先端に取付けろれ、旋回
軸９によって洗浄ステージ１０と退避する洗浄ポット４
との間を移動できるようになっている。洗浄ステージ１
０にはウェハ１２を吸着保持し回転するスピンチャック
８が設けられている。そして、図面には示していない
が、洗浄液が外部に飛び散らないように洗浄カップが設
けられている。また、この洗浄装置に使用される洗浄液
は、例えば、純水が用いらている。
けられるブラシ固定アーム５の先端に取付けろれ、旋回
軸９によって洗浄ステージ１０と退避する洗浄ポット４
との間を移動できるようになっている。洗浄ステージ１
０にはウェハ１２を吸着保持し回転するスピンチャック
８が設けられている。そして、図面には示していない
が、洗浄液が外部に飛び散らないように洗浄カップが設
けられている。また、この洗浄装置に使用される洗浄液
は、例えば、純水が用いらている。
【００１３】次に、この洗浄装置の動作を説明する。ま
ず、ウェハ１２をブラシ３ａで回転しながら擦り洗浄液
を流しウェハ１２を洗浄する。次に、旋回軸９を回転さ
せブラシヘッド３を洗浄ステージ１０より退避させ洗浄
ポット４にブラシヘッド３を入れブラシ３ａの中穴に洗
浄ノズル１を挿入する。次に、ブラシヘッド３を回転さ
せながら上下動させ、洗浄ノズル１の噴出口１ａから洗
浄液をブラシ３ａの内側に噴射しブラシ３ａの内側に付
着するパーティクルを洗い落す。これと同時に洗浄ノズ
ル２でブラシ３ａの外側に洗浄液を噴射しブラシ３ａの
外側に付着するパーティクルを洗い落す。
ず、ウェハ１２をブラシ３ａで回転しながら擦り洗浄液
を流しウェハ１２を洗浄する。次に、旋回軸９を回転さ
せブラシヘッド３を洗浄ステージ１０より退避させ洗浄
ポット４にブラシヘッド３を入れブラシ３ａの中穴に洗
浄ノズル１を挿入する。次に、ブラシヘッド３を回転さ
せながら上下動させ、洗浄ノズル１の噴出口１ａから洗
浄液をブラシ３ａの内側に噴射しブラシ３ａの内側に付
着するパーティクルを洗い落す。これと同時に洗浄ノズ
ル２でブラシ３ａの外側に洗浄液を噴射しブラシ３ａの
外側に付着するパーティクルを洗い落す。
【００１４】図２は図１の洗浄装置の変形例を示す図で
ある。この洗浄装置は、図２に示すように、洗浄ノズル
１および２に洗浄液の供給圧を変える圧力調整器６ａ，
６ｂと圧力をモニタする圧力計７ａ，７ｂを設けたこと
である。それ以外は図１と同じである。
ある。この洗浄装置は、図２に示すように、洗浄ノズル
１および２に洗浄液の供給圧を変える圧力調整器６ａ，
６ｂと圧力をモニタする圧力計７ａ，７ｂを設けたこと
である。それ以外は図１と同じである。
【００１５】ブラシ３ａのブラシ毛内に入り込んだパー
テイクルは取り除くことは困難であった。そこで、本発
明の洗浄装置では、洗浄ノズル１の噴出口１ａから噴射
される洗浄液の圧力を上げ、ブラシ毛内に入り込んだパ
ーティクルをブラシ３ａの外側に押し出し、しかる後、
洗浄ノズル２から噴出される圧力の小さい洗浄液で洗い
落す動作を採り入れた。
テイクルは取り除くことは困難であった。そこで、本発
明の洗浄装置では、洗浄ノズル１の噴出口１ａから噴射
される洗浄液の圧力を上げ、ブラシ毛内に入り込んだパ
ーティクルをブラシ３ａの外側に押し出し、しかる後、
洗浄ノズル２から噴出される圧力の小さい洗浄液で洗い
落す動作を採り入れた。
【００１６】図３はウェハの洗浄処理枚数とウエハに再
付着するパーティクルの数との関係を示すグラフであ
る。ここで、試みに、図１の洗浄装置を使用して、ブラ
シの内側を洗浄する洗浄ノズル１を外した場合と外さな
い場合と比較してウェハを洗浄処理したところ、図３に
示すように、洗浄ノズル１を外した場合は処理数の増加
に伴なってパーティクル数が増加するのに対し、洗浄ノ
ズル１を使用した場合は、ウェハの洗浄処理数が増えて
も殆ど変らなかった。このことは、ブラシの交換が少な
くて済むという利点がある。
付着するパーティクルの数との関係を示すグラフであ
る。ここで、試みに、図１の洗浄装置を使用して、ブラ
シの内側を洗浄する洗浄ノズル１を外した場合と外さな
い場合と比較してウェハを洗浄処理したところ、図３に
示すように、洗浄ノズル１を外した場合は処理数の増加
に伴なってパーティクル数が増加するのに対し、洗浄ノ
ズル１を使用した場合は、ウェハの洗浄処理数が増えて
も殆ど変らなかった。このことは、ブラシの交換が少な
くて済むという利点がある。
【００１７】図４は本発明の関連技術における洗浄装置
の概略を示す図である。この洗浄装置は、図４に示すよ
うに、ブラシ３ａの内側を洗浄する洗浄ノズル１ｂをブ
ラシ３ａ内に設けたことである。また、洗浄ノズル１ｂ
にいよってウェハ１２上に洗い落されるパーティクルを
ウェハ１２外に押し流すリンスノズル２ａはウェハ１２
の上に配置されている。
の概略を示す図である。この洗浄装置は、図４に示すよ
うに、ブラシ３ａの内側を洗浄する洗浄ノズル１ｂをブ
ラシ３ａ内に設けたことである。また、洗浄ノズル１ｂ
にいよってウェハ１２上に洗い落されるパーティクルを
ウェハ１２外に押し流すリンスノズル２ａはウェハ１２
の上に配置されている。
【００１８】この洗浄装置の動作は、まず、ウェハ１２
の表面を擦りながら回転するブラシ３ａの内側に洗浄ノ
ズル１ｂの噴出口１ａから洗浄液を噴射しブラシ３ａに
付着するパーティクルを剥離する。ウェハ１２上に洗い
落されたパーティクルをリンスノズル２ａの洗浄液でウ
ェハ１２外に押し流す。
の表面を擦りながら回転するブラシ３ａの内側に洗浄ノ
ズル１ｂの噴出口１ａから洗浄液を噴射しブラシ３ａに
付着するパーティクルを剥離する。ウェハ１２上に洗い
落されたパーティクルをリンスノズル２ａの洗浄液でウ
ェハ１２外に押し流す。
【００１９】この洗浄装置は、前述の洗浄装置に比べブ
ラシヘッドを退避する必要がなく、洗浄水を連続的に供
給できるので、パーティクルの付着強さを助長する退避
による一時的に洗浄液の供給停止によるブラシの乾きが
なく、パーティクルが剥離し易いという利点がある。
ラシヘッドを退避する必要がなく、洗浄水を連続的に供
給できるので、パーティクルの付着強さを助長する退避
による一時的に洗浄液の供給停止によるブラシの乾きが
なく、パーティクルが剥離し易いという利点がある。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、円筒状の
ブラシ内側に洗浄液を噴射する噴出口の複数を上下に並
べ配設する第１の洗浄ノズルと、ブラシの外側に洗浄液
を直接噴射するかあるいは被洗浄物を介して間接的に供
給する第２の洗浄ノズルを設けることによって、ブラシ
に付着するパーティクルをより完全に剥離除去し、被洗
浄物にパーティクルが再付着することなく清浄度の高め
ることができるという効果がある。また、ブラシに付着
するパーティクルは常に少なく維持できるので、ブラシ
の交換がより少なくて済むという効果もある。
ブラシ内側に洗浄液を噴射する噴出口の複数を上下に並
べ配設する第１の洗浄ノズルと、ブラシの外側に洗浄液
を直接噴射するかあるいは被洗浄物を介して間接的に供
給する第２の洗浄ノズルを設けることによって、ブラシ
に付着するパーティクルをより完全に剥離除去し、被洗
浄物にパーティクルが再付着することなく清浄度の高め
ることができるという効果がある。また、ブラシに付着
するパーティクルは常に少なく維持できるので、ブラシ
の交換がより少なくて済むという効果もある。
【図１】本発明の一実施の形態における洗浄装置の概要
を示す図である。
を示す図である。
【図２】図１の洗浄装置の変形例を示す図である。
【図３】ウェハの洗浄処理枚数とウエハに再付着するパ
ーティクルの数との関係を示すグラフである。
ーティクルの数との関係を示すグラフである。
【図４】本発明の関連技術における洗浄装置の概略を示
す図である。
す図である。
１，１ｂ，２ 洗浄ノズル １ａ 噴出口 ２ａ リンスノズル ３ ブラシヘッド ３ａ ブラシ ４ 洗浄ポット ５ ブラシ固定アーム ６ａ，６ｂ 圧力調整器 ７ａ，７ｂ 圧力計 ８ スピンチャック ９ 旋回軸 １０ 洗浄ステージ １１ 洗浄カップ １２ ウェハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ０８Ｂ 3/02 Ｂ０８Ｂ 3/02 Ｂ
Claims (1)
- 【請求項１】 被洗浄物の表面を回転しながら擦り付着
するパーティクルを剥離するスクライビング用の円筒状
のブラシを端部に配設するブラシヘッドと、このブラシ
ヘッドの前記ブラシの中空に挿入されるとともに前記ブ
ラシの内側に向け洗浄液を噴射する噴出口が上下方向に
複数もつ第１の洗浄ノズルと、前記ブラシヘッドが挿入
される洗浄ポットと、この洗浄ポットに取付けられると
ともに前記第１の洗浄ノズルにより前記ブラシの外側に
押し出される前記パーティクルを他の洗浄液で洗い落す
第２の洗浄ノズルとを備えることを特徴とする洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8074846A JP2988366B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8074846A JP2988366B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09266187A JPH09266187A (ja) | 1997-10-07 |
| JP2988366B2 true JP2988366B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=13559101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8074846A Expired - Lifetime JP2988366B2 (ja) | 1996-03-28 | 1996-03-28 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2988366B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6418584B1 (en) * | 2000-05-24 | 2002-07-16 | Speedfam-Ipec Corporation | Apparatus and process for cleaning a work piece |
| US6461441B1 (en) * | 2001-05-09 | 2002-10-08 | Speedfam-Ipec Corporation | Method of removing debris from cleaning pads in work piece cleaning equipment |
| KR100664815B1 (ko) * | 2001-08-13 | 2007-01-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 폴리싱 패드 컨디셔너의 스트립의 건조방지장치 |
| JP5643556B2 (ja) * | 2009-07-10 | 2014-12-17 | キヤノン株式会社 | 電子写真感光体用の円筒状基体のすすぎ洗浄方法および電子写真感光体の製造方法。 |
| JP6885754B2 (ja) | 2017-03-09 | 2021-06-16 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
| CN111261553B (zh) * | 2020-01-19 | 2024-03-26 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 晶圆清洗装置 |
-
1996
- 1996-03-28 JP JP8074846A patent/JP2988366B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09266187A (ja) | 1997-10-07 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990907 |