JP3003126U - 真空検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検査精度を向上させると共に、効率的な検査
を実現し得る真空検査装置を提供する。 【構成】 被検体Ｗを支持する検査治具１と、レギュレ
ータ８を介して空気圧源６に接続されると共に被検体Ｗ
内を真空吸引するように検査治具１に接続された負圧発
生器９と、負圧発生器９と検査治具１との間に接続・配
置され、被検体Ｗ内の負圧を検出する負圧センサ１０
と、負圧センサ１０を負圧発生器９から遮断する開閉バ
ルブ１１と、検査治具１を負圧発生器９及び負圧センサ
１０から遮断する開閉バルブ１２と、検査治具１内に正
圧を導入する開閉バルブ１３と、各部材の作動を制御し
得る制御手段１４と、を備えている。負圧発生器９に発
生した負圧により被検体Ｗ内を真空吸引した後、開閉バ
ルブ１１を一旦閉弁して、この時点からの被検体Ｗの内
圧を検出する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、食品用容器等の所謂、ショート（欠損部）及びバリもしくは割れ等 を検出するための真空検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

例えば洋生菓子等のプラスチック容器において、特にその容器口部にフランジ 部を有するものでは、このフランジ部にてその容器を密閉するための蓋体が被着 される。この種の容器では、内容物の品質維持等のためにその容器自体の品質、 即ち容器の気密性を確保することは極めて重要である。従って製造工程において 適宜不良品の発生をチェックするようにしている。

【０００３】 ところで、フランジ部に極小ショート（０．３〜０．４ｍｍ）が発生すると、 その容器の気密性が損なわれる危険があり、ひいては製品品質に著しい影響を及 ぼすことになる。従来では、容器の抜取り検査を行い、またその検査においては 主に目視によりショート等の検査が行われていた。 一方、前述した内容物の品質維持等の観点から、容器の気密保持、従ってショ ート等の有無検出に対して、近年ますます高い検出精度が要求されるようになっ てきている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、従来の容器品質検査においては、前述のように目視により抜取 り検査を行っているため、ショート等の有無検出に完全を期すことが困難であっ た。しかも、その検査には、かなり長い検査時間を要せざるを得なかった。

【０００５】 本考案はかかる実情に鑑み、検査精度を向上させると共に、効率的な検査を実 現し得る真空検査装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案の真空検査装置は、容器型の被検体を所定位置に支持する検査治具と、 レギュレータを介して空気圧源に接続されると共に、前記被検体内を真空吸引し 得るように前記検査治具に接続された負圧発生器と、前記負圧発生器と前記検査 治具との間に接続・配置され、前記被検体内の負圧を検出し得るようにした負圧 センサと、前記負圧発生器と前記負圧センサとの間に設けられ、この負圧センサ を前記負圧発生器から遮断し得る第１の開閉バルブと、前記負圧センサと前記検 査治具との間に設けられ、この検査治具を前記負圧発生器及び前記負圧センサか ら遮断し得る第２の開閉バルブと、前記検査治具内に正圧を導入し得るようにし た第３の開閉バルブと、前記負圧発生器，前記負圧センサ，前記各開閉バルブの 作動を制御し得る制御手段と、を備え、前記負圧発生器に発生した負圧により前 記被検体内を真空吸引した後、前記第１の開閉バルブを一旦閉弁して、この時点 からの前記被検体の内圧を検出するようにしたものである。

【０００７】 また、この真空検査装置において、特に前記レギュレータは、少なくとも２つ の減圧バルブにより構成されるものである。

【０００８】 更に、本考案の真空検査装置において、前記検査治具は、前記被検体の外周縁 部が係接するようにしたテーパ状の支持面を有する受部、そして更に前記被検体 の内容積の大部分を占める大きさに設定された該被検体のためのガイドと、を備 えている。

【０００９】 また、本考案の真空検査装置の別の態様によれば、前記検査治具と、真空ポン プに接続されると共に、負圧制御弁を介して前記被検体内を真空吸引し得るよう に前記検査治具に接続された負圧用タンクと、前記負圧用タンクと前記検査治具 との間に接続・配置され、前記被検体内の負圧を検出し得るようにした負圧セン サと、前記負圧制御弁と前記負圧センサとの間に設けられ、この負圧センサを前 記負圧用タンクから遮断し得る第１の開閉バルブと、前記負圧センサと前記検査 治具との間に設けられ、この検査治具を前記負圧用タンク及び前記負圧センサか ら遮断し得る第２の開閉バルブと、前記検査治具内に正圧を導入し得るようにし た第３の開閉バルブと、前記負圧用タンク，前記負圧センサ，前記各開閉バルブ の作動を制御し得る制御手段と、を備え、前記負圧用タンクの負圧により前記被 検体内を真空吸引した後、前記第１の開閉バルブを一旦閉弁して、この時点から の前記被検体の内圧を検出するようにしたものである。

【００１０】

【作用】

本考案によれば、負圧発生器にて発生した負圧は、第１及び第２の開閉バルブ 及び負圧センサ等を経由して、検査治具にセットされている被検体に付与される 。これにより該被検体内が真空吸引されるが、この際、各開閉バルブは所定のタ イミングで開閉する。そして負圧センサは、この時点から一定時間経過後の被検 体の内圧を検出し、この検出結果を予め設定された合否判定の基準値と比較する ことにより、その被検体の合否を判定する。

【００１１】 この場合、被検体の内圧（負圧）は、時間経過に伴い小さくなるが、特に不良 品の場合には良品に比べて急激に変化する。従って、負圧センサによる内圧検査 の際の内圧変化形態の相違により、上記基準値に基づいて的確に合否を判定する ことができる。そして、被検体の内圧検出の際、被検体内を真空吸引した後、第 １の開閉バルブを一旦閉弁して、この時点からの前記被検体の内圧を検出するた め、従来の真空吸引したまま内圧検出する場合に比べて、特に被検体における小 さい欠陥（ショート等）の検出に優れており、格段にその検出精度を高めること ができる。

【００１２】 また、本考案によれば、負圧発生器にて負圧を発生させるべく、該負圧発生器 にレギュレータを介して所定の空気圧が印加されるが、本考案では特にレギュレ ータは、少なくとも２つの減圧バルブにより構成される。このように複数の減圧 バルブを用いて、その元圧を順次、段階的に減圧することにより、負圧発生器に おいて所望の負圧を安定して発生させることができる。これにより検査精度を有 効に向上することが可能となる。

【００１３】 更に、本考案によれば、検査治具においてそのガイドにて被検体をガイドする と共に、被検体の外周縁部を受部の支持面にて受けることにより、被検体を所定 位置に正確に支持する。この場合、受部の支持面をテーパ面もしくは傾斜面とす ることにより、被検体の大きさが変化してもその大きさに応じて的確に支持する ことができる。またガイドの大きさを被検体の内容積の大部分を占める大きさに 設定することにより、実質的に真空吸引すべき被検体の内容積を減少させ、これ により被検体内を真空吸引する時間を短縮することができる。

【００１４】 一方また、真空源としての真空ポンプに接続された負圧用タンクを用いること により、その負圧用タンクの容量により圧力変動をなくして、安定した状態で被 検体内を真空吸引することができる。この結果、検査精度を向上させることがで きる上、複数の被検体内を真空吸引する場合においても各被検体間でバラツキな く安定し且つ高い精度の検出が可能になる。

【００１５】

【実施例】

以下、図１乃至図４に基づき、本考案による真空検査装置の好適な実施例を説 明する。

【００１６】 図１は、本案装置の構成例を示している。図において、容器型の被検体（以下 ワークＷという）は検査治具１の所定位置に支持される。 ここで、本実施例におけるワークＷは、図２に示されるように例えば洋生菓子 等のプラスチック容器であって、概略円筒状もしくは外周部が適宜の大きさのテ ーパで形成されたものが用いられる。また、ワークＷは、その容器口部にフラン ジ部Ｗａを有し、このフランジ部Ｗａにて容器を密閉するための蓋体もしくはカ バーｗが被着されるようになっている。

【００１７】 検査治具１は、ワークＷのフランジ部Ｗａを受ける受部２と、ワークＷの内面 を案内支持するガイド３と、受部２及びガイド３を固定・支持する基部４とを備 えている。なお、受部２と基部４の間には図示のように例えばＯリング等のシー ル手段５が装着されている。 上記受部２は、フランジ部Ｗａの外周縁部が係接する支持面２ａを有している が、この支持面２ａは図示のようなテーパ面もしくは傾斜面として形成されてい る。またガイド３は、ワークＷの内周面の適所に接触するが、ワークＷの内容積 の大部分を占めるように、好適にはワークＷの内容積の９０〜９５％程度を占め る大きさに設定されている。

【００１８】 元圧である空気圧源６には、配管７を介して先ず、レギュレータ８が接続され ている。このレギュレータ８は、１次減圧バルブ８ａ及び２次減圧バルブ８ｂの ２つの減圧バルブにより構成される。本実施例においては、空気圧源６は、元圧 としての０．３〜０．７メガパスカル（ＭＰａ），好ましくは０．５〜０．７Ｍ Ｐａ程度の正圧を供給する。また１次減圧バルブ８ａの設定値は、０．５ＭＰａ 程度であり、また２次減圧バルブ８ｂの設定値は、０．２ＭＰａ程度であり、こ のように２つの減圧バルブを用いて空気圧源６の元圧を順次減圧するようになっ ている。

【００１９】 なお、２次減圧バルブ８ｂにデジタル圧力センサ（図示せず）を付設してもよ く、これにより減圧状態を的確に把握し得るようにし、安定した圧力設定を行う ことができる。

【００２０】 レギュレータ８によって減圧された空気圧は、配管７を介して次に負圧発生器 ９に供給される。負圧発生器９は、配管７を介して検査治具１と接続され、この 検査治具１にセットされたワークＷ内を真空吸引し得るようになっているが、こ の場合、１つの検査治具１、即ち１つのワークＷに対して、１つの負圧発生器９ が設けられる。なお、１つの負圧発生器９を複数の検査治具１と接続することも 可能であるが、ワークＷに対する真空吸引の効率あるいはその安定性等の点から １つの負圧発生器９を設けることが好ましい。

【００２１】 負圧発生器９と検査治具１との間には、負圧センサ１０が接続・配置され、こ の負圧センサ１０によりワークＷ内の負圧を検出し得るようになっている。負圧 センサ１０において、ワークＷに対する合否判定の基準値（圧力）が予め設定さ れるが、その基準値は任意に設定可能である。また、負圧発生器９と負圧センサ １０との間には、この負圧センサ１０を負圧発生器９から遮断し得る開閉バルブ １１が設けられている。この開閉バルブ１１は、例えば２ポート・シングルバル ブが好適である。また、負圧センサ１０と検査治具１との間には、検査治具１内 を負圧センサ１０から遮断し得る開閉バルブ１２が設けられている。

【００２２】 更に、図１に図示されるように、配管７から分岐した配管７′が検査治具１内 に接続されており、その配管７′の途中には開閉バルブ１３が設けられている。 開閉バルブ１３の開弁により検査治具１内に所定の正圧（０．３〜０．５ＭＰａ 程度）が導入されるようになっている。 負圧発生器９，負圧センサ１０，開閉バルブ１１及び開閉バルブ１２等は、制 御手段としてのシーケンサ１４と接続されており、このシーケンサ１４により制 御されるようになっている。シーケンサ１４は、例えばＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ から成るマイクロコンピュータにより構成されており、負圧センサ１０の合否判 定結果に応じてワーク取出ロボット等の周辺機器もしくは装置に対して作動信号 等を送出し、又は受信するようになっている。

【００２３】 本考案の真空検査装置は、上記のように構成されており、次にその作用を説明 する。

【００２４】 本案装置によるワークＷの検査に際して、先ずワークＷを検査治具１にセット する。この場合、図１に示したようにワークＷは、ガイド３によりガイドされる と共に、そのフランジ部Ｗａが受部２の支持面２ａにて受けられる。これにより ワークＷを検査治具１の所定位置に正確に支持することができるが、受部２の支 持面２ａがテーパ面もしくは傾斜面に形成されているため、ワークＷの大きさに かかわらず的確に支持することができる。

【００２５】 先ず負圧発生器９にて負圧を発生させるべく、該負圧発生器９にレギュレータ ８を介して空気圧源６から所定の空気圧が印加される。なお、このとき開閉バル ブ１２は閉弁させるが、空気圧源６の元圧は、１次減圧バルブ８ａ及び２次減圧 バルブ８ｂを介して順次、段階的に減圧され、本実施例では負圧発生器９に対し て０．２ＭＰａ程度の圧力が印加される。この結果、負圧発生器９において所望 の負圧を安定して発生させることができる。

【００２６】 開閉バルブ１２及び負圧発生器９間の負圧値が負圧センサ１０によって測定さ れるが、本実施例における負圧センサ１０は、所謂リファレンス機能を備えてお り、例えばサンクス（株）製圧力センサ「ＤＰＸ２」等が好適である。 図３は、負圧センサ１０の負圧測定値の変化状態を示している。図に示される ように負圧は次第に大きくなり、時間Ｔ1 （例えばＴ1 ＝１秒）後の負圧測定値 がリファレンス値Ｐ0 として、負圧センサ１０に入力される。

【００２７】 次にほぼ時間Ｔ1 後、開閉バルブ１２を開弁させ、これにより負圧発生器９に て発生した負圧は、開閉バルブ１２等を経由して、検査治具１にセットされてい るワークＷに付与される。ワークＷ内を負圧にするタイミングは、ワークＷを検 査治具１にセットするのと同時でもよい。この場合、検査治具１のガイド３は、 ワークＷの内容積の大部分を占める大きさに設定されているため、実質的に真空 吸引すべきワークＷの内容積を減少させ、これによりワークＷを迅速且つ効率的 に真空吸引することができる。

【００２８】 開閉バルブ１２を開弁させてから時間Ｔ2 （例えばＴ2 ＝１秒）後、開閉バル ブ１１を閉弁させる。この開閉バルブ１１の閉弁から時間Ｔ3 （例えばＴ3 ＝１ 秒）後、負圧センサ１０にてワークＷの内圧を測定し、この測定結果を次に示し た（１）式のものと比較することにより、そのワークＷの良否を判定する。 リファレンス値Ｐ0 ＋設定値Ｍ （１）

【００２９】 例えば元圧０．３ＭＰａとした場合の具体的なリファレンス値Ｐ0 は、−４０ ｋＰａ（−３０３ｍｍＨｇ）であり、この場合の良品測定値は−３７〜−３６ｋ Ｐａ（−２７５〜−２７０ｍｍＨｇ）、また不良品測定値は−２８〜−２７ｋＰ ａ（−２０９〜−２０４ｍｍＨｇ）の範囲となる。ここでは判定値の基準として 仮に−３５ｋＰａ（−２６０ｍｍＨｇ）以上の負圧を良品（良品ライン；図３参 照）、また−３３ｋＰａ（−２５０ｍｍＨｇ）以下の負圧を不良品（不良品ライ ン）とする。リファレンス値Ｐ0 として−４０ｋＰａが入力された場合には、良 品判定値（設定値Ｍ1 ）＝−３５ｋＰａ、また不良品判定値（設定値Ｍ2 ）＝− ３３ｋＰａである。

【００３０】 この例では、不良品判定値（＝−３３ｋＰａ）以下の測定値となったワークＷ 1 は不良品と判定され、また良品判定値（＝−３５ｋＰａ）以上の測定値となっ たワークＷ3 は良品と判定される。なお、良品ライン及び不良品ラインの間のワ ークＷ2 は良品として取り扱われる。

【００３１】 このように負圧センサ１０によるワークＷの内圧検査の際に、ワークＷに対す る真空吸引後、開閉バルブ１１を一旦閉弁してこの時点からの内圧変化を検出す る。この場合、図３にも示したように、良品（Ｗ3 ）及び不良品（Ｗ1 ）におけ る内圧変化形態が相互に著しく相違し、これにより負圧センサ１０にて予め設定 されている基準値に基づいて、ワークＷの合否を的確に判定することができる。 また負圧センサ１０の測定値は、元圧の変動の影響を受けるが、この元圧の変動 を考慮してリファレンス値Ｐ0 を毎回測定・入力することにより、微妙な負圧変 化に対して常に正確な判定を保証することができる。

【００３２】 そして、合否の判定結果はシーケンサ１４へ送出され、該シーケンサ１４はそ の合否判定結果に応じてワーク取出ロボット等に対して作動信号を送出する。な お検査完了後、開閉バルブ１２を閉弁すると共に、開閉バルブ１３を開弁するこ とによりワークＷ内に正圧（大気圧もしくはそれ以上）が導入されるため、ワー クＷが検査治具１に吸着するのを防止し、そのワークＷを容易に取り外すことが できる。

【００３３】 ここで、図４は、本案装置を組み込んだ検査専用自動機２０の構成例を示して いる。この例では、リーク検査ステージ２１において複数（例えば６つ）の検査 治具１が設けられている。前工程である成形機３０にて成形されたワークＷの全 品がリーク検査ステージ２１へ移載され、リーク検査ステージ２１の各検査治具 １において前述したワークＷの合否検査が行われる。そして検査終了後のワーク Ｗは、ピックアップ・移送手段２２等によって図中、矢印で示すように次工程へ 搬送されるようになっている。

【００３４】 なおリーク検査ステージ２１の後工程において、図４（ａ）に示されるように 不良品落とし込みステージ２３にて不良品のワークＷを落とし込み（排除）、次 のピンホール検査ステージ２４にてワークＷの特に底面のピンホールを検出し、 更に不良品落とし込みステージ２５にて不良品のワークＷを落とし込むようにな っている。上記不良品落とし込みステージ２５においては、コロナ放電通電検査 が行われる。

【００３５】 本案の真空検査装置によれば前述のように短時間で簡単且つ確実にワークＷの 合否検査を行うことができ、これを組み込んだ検査専用自動機２０を上記のよう にシーケンサ１４を介して成形機３０等の周辺機器と接続することにより、ワー クＷの成形から搬送・搬出に至るまでの一連の工程を完全自動化することが可能 になる。

【００３６】 次に、図５は、本考案による真空検査装置の別の実施例を示している。 この実施例による装置は、検査治具１と、真空ポンプ６０に接続され、且つ負 圧制御弁８０を介してワークＷ内を真空吸引し得るように検査治具１に接続され た負圧用タンク９０と、この負圧用タンク９０と検査治具１との間に接続・配置 され、ワークＷ内の負圧を検出し得るようにした負圧センサ１００と、負圧制御 弁８０と負圧センサ１００との間に設けられており、この負圧センサ１００を負 圧用タンク９０から遮断し得る開閉バルブ１１０と、負圧センサ１００と検査治 具１との間に設けられ、この検査治具１を負圧用タンク９０及び負圧センサ１０ ０から遮断し得る開閉バルブ１２０と、検査治具１内に正圧を導入し得るように した開閉バルブ１３０と、を備えている。

【００３７】 また、負圧用タンク９０，負圧センサ１００，各開閉バルブ１１０，１２０及 び１３０等は、制御手段としてのシーケンサ１４０によって作動制御されるよう になっている。なお、図５において、負圧制御弁８０とシーケンサ１４０の間に は負圧設定・圧力監視用センサ８１が設けられ、また上記各部材は、配管７０も しくは配管７０′によって接続されている。

【００３８】 この実施例において、負圧用タンク９０の負圧によりワークＷ内を真空吸引し た後、開閉バルブ１１０を一旦閉弁して、この時点からのワークＷの内圧を検出 し、前述の実施例と同様に、ワークＷの特に小さいショート等を極めて高い精度 で検出することができる。そして、この実施例によれば、特に負圧用タンク９０ が付設されているため、圧力変動をなくして、安定した状態でワークＷ内を真空 吸引することができる。例えば、前述した検査専用自動機２０（図４）にて複数 個取りで検査を行う場合、単一の負圧用タンク９０に複数の検査治具１を上記構 成のように接続し、それらのワークＷを真空吸引する際に、各ワークＷ間でバラ ツキなく安定し且つ高い精度の検出が可能になる。

【００３９】 上記各実施例において、検査治具１と成形品であるワークＷとの間に温度差が ある場合（通常、ワークＷの方が高温）、そのワークＷの熱収縮により内容量が 変化すると、これが検出精度に影響を及ぼす。そこで、検査治具１の適所にその 温度を検知するための温度センサを設け、その温度検出結果に基づき検査治具１ を適度に加熱し、これにより検査治具１及びワークＷの温度差をなくして温度差 に影響されずに適正な検査を行うことができる。また、そのような温度差を見込 んで検査治具１を設計するようにしてもよい。

【００４０】 以上本考案を実施例に基づき説明したが、本考案はこの実施例で示した具体的 数値等に限定されるものでなく、本考案の技術思想の範囲内で種々の変形等が可 能である。例えば、被検体としてフランジ部Ｗａを有するワークＷの例を説明し たが、本案装置は、図示例のようなワークＷに限らず、そのようなフランジ部Ｗ ａを有さない例えば筒状の容器に対しても有効に適用可能である。また被検体に 生じているショートばかりか、ピンホール等の検査においても上記実施例と同様 に合否判定を行うことができる。

【００４１】

【考案の効果】

以上説明したように本考案によれば、この種の製品（被検体）の良・不良品検 査において、多数の被検体を確実且つ短時間で合否判定を行い、従来の検査に比 べて格段に効率的である。しかも、目視によらない全品検査を実現し、検査精度 と生産性の双方を有効に向上させることができる等の利点を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による真空検査装置の一実施例における
構成例を示す図である。

【図２】本考案の真空検査装置における被検体の一例を
示す斜視図である。

【図３】本考案の真空検査装置における内圧検査の際の
内圧変化状態の一例を示す図である。

【図４】本考案の真空検査装置を組み込んだ検査専用自
動機及びの周辺装置の構成例を示す（ａ）は平面図、
（ｂ）は側面図である。

【図５】本考案による真空検査装置の別の実施例におけ
る構成例を示す図である。

【符号の説明】

１ 検査治具 ２ 受部 ３ ガイド ４ 基部 ５ シール手段 ６ 空気圧源 ７ 配管 ７′ 配管 ８ レギュレータ ９ 負圧発生器 １０ 負圧センサ １１ 開閉バルブ １２ 開閉バルブ １４ シーケンサ ６０ 真空ポンプ ７０ 配管 ７０′ 配管 ８０ 負圧制御弁 ９０ 負圧用タンク １００ 負圧センサ １１０ 開閉バルブ １２０ 開閉バルブ １３０ 開閉バルブ １４０ シーケンサ Ｗ ワーク

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 容器型の被検体を所定位置に支持する検
   査治具と、 レギュレータを介して空気圧源に接続されると共に、前
   記被検体内を真空吸引し得るように前記検査治具に接続
   された負圧発生器と、 前記負圧発生器と前記検査治具との間に接続・配置さ
   れ、前記被検体内の負圧を検出し得るようにした負圧セ
   ンサと、 前記負圧発生器と前記負圧センサとの間に設けられ、こ
   の負圧センサを前記負圧発生器から遮断し得る第１の開
   閉バルブと、 前記負圧センサと前記検査治具との間に設けられ、この
   検査治具を前記負圧発生器及び前記負圧センサから遮断
   し得る第２の開閉バルブと、 前記検査治具内に正圧を導入し得るようにした第３の開
   閉バルブと、 前記負圧発生器，前記負圧センサ，前記各開閉バルブの
   作動を制御し得る制御手段と、を備え、 前記負圧発生器に発生した負圧により前記被検体内を真
   空吸引した後、前記第１の開閉バルブを一旦閉弁して、
   この時点からの前記被検体の内圧を検出するように構成
   されていることを特徴とする真空検査装置。
2. 【請求項２】 前記レギュレータは、少なくとも２つの
   減圧バルブにより構成されることを特徴とする請求項１
   に記載の真空検査装置。
3. 【請求項３】 前記検査治具は、前記被検体の外周縁部
   が係接するようにしたテーパ状の支持面を有する受部を
   備えていることを特徴とする請求項１に記載の真空検査
   装置。
4. 【請求項４】 前記検査治具は更に、前記被検体の内容
   積の大部分を占める大きさに設定された該被検体のため
   のガイドを備えていることを特徴とする請求項３に記載
   の真空検査装置。
5. 【請求項５】 請求項１に記載の検査治具と、 真空ポンプに接続されると共に、負圧制御弁を介して前
   記被検体内を真空吸引し得るように前記検査治具に接続
   された負圧用タンクと、 前記負圧用タンクと前記検査治具との間に接続・配置さ
   れ、前記被検体内の負圧を検出し得るようにした負圧セ
   ンサと、 前記負圧制御弁と前記負圧センサとの間に設けられ、こ
   の負圧センサを前記負圧用タンクから遮断し得る第１の
   開閉バルブと、 前記負圧センサと前記検査治具との間に設けられ、この
   検査治具を前記負圧用タンク及び前記負圧センサから遮
   断し得る第２の開閉バルブと、 前記検査治具内に正圧を導入し得るようにした第３の開
   閉バルブと、 前記負圧用タンク，前記負圧センサ，前記各開閉バルブ
   の作動を制御し得る制御手段と、を備え、 前記負圧用タンクの負圧により前記被検体内を真空吸引
   した後、前記第１の開閉バルブを一旦閉弁して、この時
   点からの前記被検体の内圧を検出するように構成されて
   いることを特徴とする真空検査装置。