JP3077413B2 - Disk polishing method - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
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Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク等の研磨
加工を行うためのディスクの研磨装置に関するものであ
り、特に小型のディスクを研磨加工するのに適した方法
に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk polishing apparatus for polishing a magnetic disk or the like, and more particularly to a method suitable for polishing a small disk.
【0002】[0002]
【従来の技術】磁気ディスク等のディスクの表面を研磨
加工する方法としては、一般に、スピンドルを設け、こ
のスピンドルの先端にディスクの内周縁部をクランプ乃
至チャックするディスク保持手段を装着して、このディ
スク保持手段によりディスクを保持した状態で、スピン
ドルを回転させ、この間に、研磨テープを加圧ローラに
より所定の加圧力をもってディスクの表裏両面に押し付
けるように構成したものが従来から用いられている。2. Description of the Related Art As a method of polishing the surface of a disk such as a magnetic disk, generally, a spindle is provided, and a disk holding means for clamping or chucking the inner peripheral edge of the disk is attached to the tip of the spindle. Conventionally, a spindle is rotated while the disc is held by the disc holding means, and during this time, the polishing tape is pressed against the front and back surfaces of the disc with a predetermined pressing force by a pressure roller.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うに、ディスクをクランプ等の手段で保持するのは、あ
る程度以上の大きさのディスクに限られる。然るに、近
年においては、小径のディスクも用いられるようになっ
てきており、例えば1インチのサイズのディスク等があ
る。このような小径ディスクは、当然、その内径も小さ
く(例えば4mm程度)、それを内径クランプするのは極
めて困難である。また、小径ディスクの場合には、外径
チャックを行うことも考えられるが、その厚みも、例え
ば0.5mm程度というように薄いものであることから、
外周側から内向きに過大な力を加えると、変形してしま
う等の不都合がある。By the way, as described above, holding a disk by means such as a clamp is limited to a disk having a certain size or more. However, in recent years, small-diameter disks have been used, and there are, for example, 1-inch disks. Such a small-diameter disk naturally has a small inner diameter (for example, about 4 mm), and it is extremely difficult to clamp the inner diameter of the disk. In the case of a small-diameter disk, it is conceivable to perform an outer-diameter chuck, but since its thickness is as thin as, for example, about 0.5 mm,
If an excessive force is applied inward from the outer peripheral side, there is a disadvantage such as deformation.
【0004】本発明は、以上のような従来技術の課題を
解決するためになされたものであって、その目的とする
ところは、小径ディスクを円滑に研磨加工を行うことが
できるようにすることにある。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems of the prior art, and an object of the present invention is to enable a small-diameter disk to be smoothly polished. It is in.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明は、スピンドルの先端にディスク当接面
を設け、このディスク当接面によってディスクを真空吸
着させて回転させる間に、研磨テープをディスクの表面
に当接させて、このディスクの一側面を研磨加工し、次
いで、ディスクを反転させて、その他側面を研磨するよ
うになし、この他側面を研磨する際には、前記一側面の
研磨位置とは180°位相を変えた位置に当接させ、か
つスピンドルを一側面の加工時とは反対方向に回転させ
るようにしたことをその特徴とするものである。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a disk contacting surface at the tip of a spindle, and the disk contacting surface rotates the disk by vacuum suction. A polishing tape is brought into contact with the surface of the disk, one side of the disk is polished, and then the disk is turned over, and the other side is polished. The feature is that the polishing position on one side is brought into contact with a position shifted by 180 ° in phase, and the spindle is rotated in the direction opposite to that for processing on one side.
【0006】[0006]
【作用】小径ディスク等を研磨加工する際には、それを
保持して回転駆動する手段の問題から、両面同時研磨を
行うのは不可能である。そこで、片面ずつ加工するよう
にした。即ち、スピンドルの先端に真空吸着によりディ
スクを保持するディスク当接面を形成して、このディス
ク当接面にディスクを当接させる。そして、スピンドル
を回転駆動すると共に、このディスクに研磨テープを当
接させて、研磨テープを送りながら、一側面の研磨加工
を行う。一側面の加工が終了すると、ディスクを反転さ
せて他側面を加工するが、この他側面の回転方向は既加
工面とは反対方向となる。そこで、この他側面の加工を
行う際には、研磨テープを180°位相を変えた位置に
当接させ、かつスピンドルを前述とは反対方向に回転さ
せながら研磨加工する。これによって、両面が実質的に
同じ条件で加工できるようになる。When polishing a small-diameter disk or the like, it is impossible to perform simultaneous double-side polishing because of the problem of means for holding and rotating the disk. Therefore, processing was performed on each side. That is, a disk contact surface for holding the disk by vacuum suction is formed at the tip of the spindle, and the disk is brought into contact with this disk contact surface. Then, while the spindle is driven to rotate, a polishing tape is brought into contact with the disc, and the polishing tape is fed to perform polishing on one side. When the processing of one side surface is completed, the disk is turned over and the other side surface is processed, but the rotation direction of the other side surface is opposite to the already processed surface. Therefore, when processing the other side surface, the polishing tape is brought into contact with a position where the phase is changed by 180 °, and the polishing is performed while rotating the spindle in the opposite direction to that described above. This allows both surfaces to be processed under substantially the same conditions.
【0007】[0007]
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。まず、図1にスピンドルの構成を示す。1
はスピンドルを示し、このスピンドル1は、回転軸2の
先端にディスク当接部3を連設してなるものであって、
回転軸2は軸受4に回転自在に支承されている。そし
て、この回転軸2を回転駆動するために、そのディスク
当接部3への連設部とは反対側にはプーリ5が取り付け
られており、また回転駆動用の正逆回転モータ6の出力
軸6aにプーリ7を装着して、このプーリ7と回転軸2
のプーリ5との間には伝達ベルト8が巻回して設けられ
ている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. First, FIG. 1 shows a configuration of a spindle. 1
Indicates a spindle, and the spindle 1 is formed by connecting a disk contact portion 3 to the tip of a rotating shaft 2,
The rotating shaft 2 is rotatably supported by a bearing 4. A pulley 5 is mounted on a side of the rotating shaft 2 opposite to the portion connected to the disk abutting portion 3 so as to rotate and drive the rotating shaft 2. The pulley 7 is mounted on the shaft 6a, and the pulley 7 is
A transmission belt 8 is wound around the pulley 5.
【0008】ディスク当接部3は、ディスクDを吸着保
持するためのものであって、このために、このディスク
当接部3の先端面は平坦となった当接面3aとなってお
り、ディスクDはこの当接面3aに真空吸着により位置
決め固定されるようになっている。ディスクDを吸着保
持するために、当接面3aには複数の真空吸着孔9が開
口している。そして、この真空吸着孔9は回転軸2の中
心線に沿って穿設した真空通路10に連通し、この回転
軸2のディスク当接部3とは反対側の端部には真空ポン
プ(図示せず)からの配管11の先端に設けたカップリ
ング部12が相対回転自在に連結されている。The disk contact portion 3 is for holding the disk D by suction. For this reason, the tip end surface of the disk contact portion 3 is a flat contact surface 3a, The disk D is positioned and fixed to the contact surface 3a by vacuum suction. In order to hold the disk D by suction, a plurality of vacuum suction holes 9 are opened in the contact surface 3a. The vacuum suction hole 9 communicates with a vacuum passage 10 formed along the center line of the rotating shaft 2, and a vacuum pump (see FIG. 1) is provided at the end of the rotating shaft 2 opposite to the disk contact portion 3. A coupling portion 12 provided at the tip of a pipe 11 (not shown) is relatively rotatably connected.
【0009】次に、13は研磨テープを示し、この研磨
テープ13は加圧ローラ14によってディスクDの表面
に一定の圧力で押し付けられて、図示しないテープ送り
手段によって所定の速度で走行せしめられるようになっ
ている。図2及び図3に示したように、これら研磨テー
プ13,加圧ローラ14及びテープ送り手段からなる研
磨ユニット15が構成され、この研磨ユニット15は、
研磨テープ13を、スピンドル1に装架したディスクD
に対して、研磨ラインAで示した部位と、この研磨ライ
ンAから180°位相を変えた研磨ラインBで示した部
位との2箇所に選択的に当接できるようになっている。Reference numeral 13 denotes a polishing tape. The polishing tape 13 is pressed against the surface of the disk D by a pressure roller 14 at a constant pressure, and is run at a predetermined speed by a tape feeding means (not shown). It has become. As shown in FIGS. 2 and 3, a polishing unit 15 including the polishing tape 13, the pressure roller 14, and the tape feeding unit is configured.
Disk D with polishing tape 13 mounted on spindle 1
On the other hand, two portions can be selectively brought into contact with a portion indicated by the polishing line A and a portion indicated by the polishing line B whose phase is shifted by 180 ° from the polishing line A.
【0010】さらに、16はディスク反転装置を示し、
このディスク反転装置16は、それぞれ2個のチャック
部材17を設けた反転アーム18を2組有し、この反転
アーム18はアクチュエータ19によって相互に近接・
離間する方向に変位可能となっている。また、アクチュ
エータ19は、駆動ユニット20に連結されており、こ
の駆動ユニット20はアクチュエータ19と共に反転ア
ーム18をスピンドル1に近接・離間する方向に変位さ
せることができ、かつ180°反転させることもできる
ようになっている。Further, reference numeral 16 denotes a disk reversing device,
The disc reversing device 16 has two sets of reversing arms 18 each provided with two chuck members 17.
It can be displaced in the direction of separation. The actuator 19 is connected to a drive unit 20. The drive unit 20 can displace the reversing arm 18 together with the actuator 19 in a direction approaching / separating from the spindle 1, and can also reverse the rotation by 180 °. It has become.
【0011】本実施例はこのような装置構成を有する研
磨加工装置によって、ディスクDの加工を行うものであ
って、次にこの装置を用いてディスクDの加工を行う方
法について説明する。In the present embodiment, a disk D is processed by a polishing apparatus having such an apparatus configuration. Next, a method of processing the disk D using this apparatus will be described.
【0012】例えば、ディスクDの一側面を真空吸着す
るピックアンドプレイス手段によって、ディスクDを保
持して、スピンドル1におけるディスク当接部3の当接
面3aに当接させる。そして、このスピンドル1側の真
空通路10を真空状態にすることによって、当接面3a
に開口する真空吸着孔9の吸着力により、ディスクDを
保持すると共に、ピックアンドプレイス手段側の真空吸
着力を解除して、それを退避させる。そして、モータ6
を作動させることによって、スピンドル1を回転駆動す
ると共に、研磨ユニット15を作動させて、研磨テープ
13をディスクDの研磨ラインAの位置に配置して、加
圧ローラ14をディスクD側に変位させることによっ
て、研磨テープ13をディスクDに押し付け、かつこの
研磨テープ13を所定の速度で走行させることによっ
て、ディスクDの一側面の研磨加工が行われる。For example, the disk D is held by a pick-and-place means that vacuum-adsorbs one side surface of the disk D and is brought into contact with the contact surface 3a of the disk contact portion 3 of the spindle 1. By bringing the vacuum passage 10 on the spindle 1 side into a vacuum state, the contact surface 3a
The disk D is held by the suction force of the vacuum suction hole 9 that is opened at the same time, the vacuum suction force on the pick-and-place means side is released, and the disc is retracted. And the motor 6
, The spindle 1 is rotationally driven, the polishing unit 15 is operated, the polishing tape 13 is arranged at the position of the polishing line A of the disk D, and the pressure roller 14 is displaced toward the disk D. As a result, the polishing tape 13 is pressed against the disk D, and the polishing tape 13 is caused to run at a predetermined speed, so that one side surface of the disk D is polished.
【0013】ディスクDの一側面の加工が終了すると、
研磨テープ13をディスクDから離間させ、かつスピン
ドル1の回転を停止させる。そして、ディスク反転装置
16を作動させて、一対の反転アーム18に設けたチャ
ック部材17をディスクDに当接させる。ここで、チャ
ック部材17はディスクDを脱落しないように保持する
軽い力が加えられるだけであって、このためにチャック
部材17によってチャックされても、このディスクDが
変形する等といった不都合を生じることはない。そし
て、ディスクDをスピンドル1から離間させて、180
°反転させるが、この時には、真空吸着孔9によるディ
スクDに対する吸着力は生じないようになし、好ましく
は真空吸着孔9から加圧エアを吹き出させることによっ
て、ディスクDの当接面3aからの分離を促進する。When the processing of one side of the disk D is completed,
The polishing tape 13 is separated from the disk D, and the rotation of the spindle 1 is stopped. Then, the disk reversing device 16 is operated to bring the chuck members 17 provided on the pair of reversing arms 18 into contact with the disk D. Here, the chuck member 17 is only applied with a light force for holding the disk D so that the disk D does not fall off. For this reason, even if the chuck D is chucked by the chuck member 17, the disk D may be deformed. There is no. Then, the disk D is separated from the spindle 1 and
At this time, the suction force against the disk D by the vacuum suction hole 9 is prevented from being generated. Preferably, the compressed air is blown out from the vacuum suction hole 9 so that the disc D is released from the contact surface 3a. Promotes separation.
【0014】ディスク反転装置16によりディスクDを
反転させた後に、再びディスクDをスピンドル1のディ
スク当接部3に吸着保持させて、ディスク反転装置16
を退避させる。然る後に、研磨ユニット15における研
磨テープ13をディスクDに対面する位置に変位させ
て、加圧ローラ14によってこの研磨テープ13をディ
スクDに当接させる。ただし、この他側面の研磨加工を
行う際においては、前述した一側面の加工時における研
磨ラインAとは180°位相をずらせた研磨ラインBの
位置に当接させる。そして、モータ6を前述とは反対方
向に回転駆動することによって、この他側面の研磨加工
を実行する。After the disk D is inverted by the disk inverting device 16, the disk D is sucked and held on the disk contact portion 3 of the spindle 1 again.
Evacuation. Thereafter, the polishing tape 13 in the polishing unit 15 is displaced to a position facing the disc D, and the polishing tape 13 is brought into contact with the disc D by the pressing roller 14. However, when the other side surface is polished, it is brought into contact with the position of the polishing line B which is 180 ° out of phase with the polishing line A at the time of polishing the one side surface. Then, the other side surface is polished by rotating the motor 6 in a direction opposite to the above.
【0015】即ち、実際にディスクDを磁気ディスク装
置に組み込んで情報の書き込みや読み出しを行う際にお
いては、磁気ヘッドは表裏両面側からディスクDに臨む
ようになっており、このために他側面を一側面と同じ回
転方向で回転させながら加工すると、磁気ヘッド側から
見て、ディスクDにおける研磨方向と回転方向とが反対
になってしまう。従って、他側面を加工する場合には、
一側面とは反対方向にディスクDを回転させるようにす
る。また、一側面におけるディスクDに対する研磨テー
プ13の当接位置は、ディスクDを反転させた時には、
180°位相を変えた位置となる。そこで、この他側面
を加工する際には、研磨テープ13を研磨ラインをAの
位置からBの位置に変える。これによって、ディスクD
の両側の面は実質的に同じ条件で加工されることにな
る。That is, when actually writing or reading information by incorporating the disk D into the magnetic disk device, the magnetic head is configured to face the disk D from both the front and back sides. If processing is performed while rotating in the same rotation direction as one side surface, the polishing direction and the rotation direction of the disk D will be opposite when viewed from the magnetic head side. Therefore, when processing the other side,
The disk D is rotated in a direction opposite to one side. Further, the contact position of the polishing tape 13 with respect to the disk D on one side is such that when the disk D is turned over,
This is a position where the phase is changed by 180 °. Therefore, when processing the other side surface, the polishing line of the polishing tape 13 is changed from the position A to the position B. Thus, the disk D
Will be machined under substantially the same conditions.
【0016】即ち、図3に示したように、ディスクDの
一側面D1 を加工する際には、研磨テープ13を研磨ラ
インAに当接させて、研磨テープ13を矢印S方向に走
行させ、ディスクDを矢印T方向に回転させる。また、
ディスクDの他側面D2 を加工する際には、研磨テープ
13を研磨ラインBの位置に当接させ、この研磨テープ
13の走行方向は一側面D1 と同じS方向で、ディスク
Dの回転方向は矢印Vで示したように、反対方向とす
る。これによって、図にRで示した線で折り曲げれば明
らかなように、ディスクDの面D1 も面D2 も全く同じ
条件で加工されることになる。[0016] That is, as shown in FIG. 3, when processing one side D 1 of the disc D is brought into contact with the polishing tape 13 on the polishing line A, is run the polishing tape 13 in the direction of arrow S Then, the disk D is rotated in the direction of arrow T. Also,
When processing other side D 2 of the disc D, the polishing tape 13 is brought into contact with the position of the polishing line B, running direction of the polishing tape 13 in the same S-direction with one side D 1, the rotation of the disk D The direction is the opposite direction as indicated by arrow V. Thus, as it is clear Orimagere in line indicated by R in Figure, so that the surface D 1 of the disc D may be surface D 2 are processed under the same conditions.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ディス
クの表裏両面を研磨加工するに当って、スピンドルの先
端に設けたディスク当接面にディスクを真空吸着させ
て、このディスクを回転すると共に、研磨テープを当接
させて、このディスクの一側を研磨加工し、次いで、デ
ィスクを反転させて、その他側面を研磨するようにな
し、この他側面を研磨する際には、前記一側面の研磨の
際に対して180°位相を変えた位置に当接させ、かつ
スピンドルを一側面の加工時とは反対方向に回転させる
ようにしたので、特に小径ディスクのように、スピンド
ルにクランプさせて、両面同時加工を行うことができ
ず、片面ずつ加工する場合においても、ディスクの表裏
両面を実質的に同じ条件で研磨加工できるようになる。As described above, according to the present invention, when polishing the front and back surfaces of a disk, the disk is rotated by vacuum suction of the disk on the disk contact surface provided at the tip of the spindle. Along with the polishing tape, one side of the disk is polished, and then the disk is turned over and the other side is polished. In the case of polishing, the abutment was made at a position 180 ° out of phase, and the spindle was rotated in the opposite direction to that for processing one side. Thus, simultaneous processing on both sides cannot be performed, and even when processing is performed on one side at a time, both sides of the disk can be polished under substantially the same conditions.
【図1】スピンドルの断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a spindle.
【図2】ディスク研磨加工装置の全体構成を示す説明図
である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing an overall configuration of a disk polishing apparatus.
【図3】研磨加工の作用説明図である。FIG. 3 is an operation explanatory view of a polishing process.
1 スピンドル 3 ディスク当接部 6 モータ 9 真空吸着孔 13 研磨テープ 16 ディスク反転装置 D ディスク D1 一側面 D2 他側面DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Spindle 3 Disc contact part 6 Motor 9 Vacuum suction hole 13 Polishing tape 16 Disk reversing device D Disk D 1 One side D 2 Other side
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B24B 21/00,41/06 G11B 5/84 Continuation of the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 7 , DB name) B24B 21/00, 41/06 G11B 5/84
Claims (1)
け、このディスク当接面によってディスクを真空吸着さ
せて回転させる間に、研磨テープをディスクの表面に当
接させて、このディスクの一側面を研磨加工し、次い
で、ディスクを反転させて、その他側面を研磨するよう
になし、この他側面を研磨する際には、前記一側面の研
磨位置とは180°位相を変えた位置に当接させ、かつ
スピンドルを一側面の加工時とは反対方向に回転させる
ようにしたことを特徴とするディスクの研磨方法。A disk contact surface is provided at a tip of a spindle, and a polishing tape is brought into contact with a surface of the disk while the disk is being vacuum-sucked and rotated by the disk contact surface. Then, the disc is turned over, and the other side is polished. When the other side is polished, the disc is brought into contact with a position shifted by 180 ° from the polishing position of the one side. And a spindle is rotated in a direction opposite to a direction in which one side is machined.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25364192A JP3077413B2 (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Disk polishing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25364192A JP3077413B2 (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Disk polishing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679605A JPH0679605A (en) | 1994-03-22 |
| JP3077413B2 true JP3077413B2 (en) | 2000-08-14 |
Family
ID=17254160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25364192A Expired - Lifetime JP3077413B2 (en) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | Disk polishing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3077413B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101580426B1 (en) * | 2015-01-14 | 2015-12-24 | 김경태 | Abrader a surface of compact disk |
| CN111673587B (en) * | 2020-06-17 | 2021-08-27 | 佛山市顺德区康仕玻璃五金工艺有限公司 | Production and processing technology of toughened glass |
| CN114473763B (en) * | 2022-02-14 | 2023-06-30 | 东莞市北湘实业有限公司 | Cambered surface polishing device for processing optical lens shell |
-
1992
- 1992-08-31 JP JP25364192A patent/JP3077413B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0679605A (en) | 1994-03-22 |
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