JP3078555B2 - 電子銃および電子顕微鏡 - Google Patents
電子銃および電子顕微鏡Info
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- JP3078555B2 JP3078555B2 JP01295762A JP29576289A JP3078555B2 JP 3078555 B2 JP3078555 B2 JP 3078555B2 JP 01295762 A JP01295762 A JP 01295762A JP 29576289 A JP29576289 A JP 29576289A JP 3078555 B2 JP3078555 B2 JP 3078555B2
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は電子銃および電子顕微鏡に係り、特に、常に
最適なフィラメント電流を流すことが可能な電子銃およ
び電子顕微鏡に関するものである。
最適なフィラメント電流を流すことが可能な電子銃およ
び電子顕微鏡に関するものである。
（従来の技術） フィラメント交換時には、軸出しと共にフィラメント
電流を最適な値に調整する必要がある。このフィラメン
ト電流は、以下に説明するようにエミッション電流の値
との関係に基づいて調整される。
電流を最適な値に調整する必要がある。このフィラメン
ト電流は、以下に説明するようにエミッション電流の値
との関係に基づいて調整される。
第３図はフィラメント電流とエミッション電流との関
係を示した図であり、曲線Ａは積算使用時間が短いフィ
ラメントでの両者の関係、曲線Ｃは積算使用時間が長い
フィラメントでの両者の関係、曲線Ｂはその中間での両
者の関係を示している。すなわち、フィラメント電流と
エミッション電流との関係は、フィラメントの積算使用
時間が増すに従って曲線Ａの関係→曲線Ｂの関係→曲線
Ｃの関係へと遷移する。
係を示した図であり、曲線Ａは積算使用時間が短いフィ
ラメントでの両者の関係、曲線Ｃは積算使用時間が長い
フィラメントでの両者の関係、曲線Ｂはその中間での両
者の関係を示している。すなわち、フィラメント電流と
エミッション電流との関係は、フィラメントの積算使用
時間が増すに従って曲線Ａの関係→曲線Ｂの関係→曲線
Ｃの関係へと遷移する。
同図に示したように、ある値のエミッション電流を得
るためのフィラメント電流は、フィラメント積算使用時
間が長くなるに従って小さくなる。また、エミッション
電流はフィラメント電流の増加に伴って徐々に増加する
が、ある値を超えると飽和状態となり、それ以後はフィ
ラメント電流が増加しても一定値を保つ。
るためのフィラメント電流は、フィラメント積算使用時
間が長くなるに従って小さくなる。また、エミッション
電流はフィラメント電流の増加に伴って徐々に増加する
が、ある値を超えると飽和状態となり、それ以後はフィ
ラメント電流が増加しても一定値を保つ。
電流顕微鏡での像観察においては、エミッション電流
が飽和状態に近づく程明るい観察像が得られ、コントラ
ストも高くなるので、像観察においては、フィラメント
電流はエミッション電流が飽和状態になる様に設定する
ことが望ましい。
が飽和状態に近づく程明るい観察像が得られ、コントラ
ストも高くなるので、像観察においては、フィラメント
電流はエミッション電流が飽和状態になる様に設定する
ことが望ましい。
ただし、エミッション電流を大きくするためにフィラ
メント電流を大きくし過ぎると、フィラメントの劣化が
早く進む。したがって、フィラメント電流はエミッショ
ン電流が飽和を開始する領域に設定することが望まし
い。
メント電流を大きくし過ぎると、フィラメントの劣化が
早く進む。したがって、フィラメント電流はエミッショ
ン電流が飽和を開始する領域に設定することが望まし
い。
すなわち、フィラメント電流は、フィラメントの積算
使用時間に応じて、曲線Ａでは、飽和が開始する下限値
a2と飽和点（上限値）a1との間αａ、曲線Ｂでは、飽和
が開始する下限値b2と飽和点（上限値）b1との間αｂ、
同様に、曲線Ｃでは，飽和が開始する下限値c2と飽和点
（上限値）c1との間αｃで定義される最適範囲に調整す
ることが望ましい。
使用時間に応じて、曲線Ａでは、飽和が開始する下限値
a2と飽和点（上限値）a1との間αａ、曲線Ｂでは、飽和
が開始する下限値b2と飽和点（上限値）b1との間αｂ、
同様に、曲線Ｃでは，飽和が開始する下限値c2と飽和点
（上限値）c1との間αｃで定義される最適範囲に調整す
ることが望ましい。
従来、このようにして定義される最適なフィラメント
電流の判断は、オペレータがフィラメント電流を変化さ
せながら観察像の明るやコントラストを観察することに
よって行われていた。
電流の判断は、オペレータがフィラメント電流を変化さ
せながら観察像の明るやコントラストを観察することに
よって行われていた。
（発明が解決しようとする課題） 上記した従来技術では、フィラメント電流の最適値の
判断がオペレータの勘によって行われるために、熟練し
ていないオペレータにはその判断が難しく、過大電流を
流してしまってフィラメントを破損してしまったり、過
小電流から輝度不足を招き、画像の精度が悪くなってし
まうという問題があった。
判断がオペレータの勘によって行われるために、熟練し
ていないオペレータにはその判断が難しく、過大電流を
流してしまってフィラメントを破損してしまったり、過
小電流から輝度不足を招き、画像の精度が悪くなってし
まうという問題があった。
本発明の目的は、以上に述べた問題点を解決し、最適
なフィラメント電流を容易に設定することが可能な電子
銃および電子顕微鏡を提供することにある。
なフィラメント電流を容易に設定することが可能な電子
銃および電子顕微鏡を提供することにある。
（課題を解決するための手段） 上記した問題点を解決するために、本発明では以下の
ような手段を講じた。
ような手段を講じた。
（１）フィラメントの積算使用時間に基づいてフィラメ
ント電流の最適範囲を求め、フィラメント電流が前記最
適範囲を逸脱すると警報を発するようにした。
ント電流の最適範囲を求め、フィラメント電流が前記最
適範囲を逸脱すると警報を発するようにした。
（２）フィラメントの積算使用時間に基づいてフィラメ
ント電流の最適範囲を求め、フィラメント電流が自動的
に前記最適範囲に設定されるようにした。
ント電流の最適範囲を求め、フィラメント電流が自動的
に前記最適範囲に設定されるようにした。
（作用） 上記した（１）の構成によれば、オペレータは、フィ
ラメント電流がフィラメントの積算使用時間を考慮した
最適範囲に設定されているか否かを容易に判断できるよ
うになる。
ラメント電流がフィラメントの積算使用時間を考慮した
最適範囲に設定されているか否かを容易に判断できるよ
うになる。
また、（２）の構成によれば、オペレータの手を煩わ
すことなく、フィラメント電流が自動的に最適範囲に設
定される。
すことなく、フィラメント電流が自動的に最適範囲に設
定される。
（実施例） 前記第３図に関して説明したように、フィラメント電
流とエミッション電流とはフィラメントの積算使用時間
ｔに応じた関係を有するが、各積算使用時間ｔにおける
最適範囲の上限a1、b1、c1（以下、MAX（ｔ）で代表す
る）および下限値a2、b2、c2（以下、MIN（ｔ）で代表
する）も、積算使用時間ｔとの間に次式で表される比例
関係を有する。
流とエミッション電流とはフィラメントの積算使用時間
ｔに応じた関係を有するが、各積算使用時間ｔにおける
最適範囲の上限a1、b1、c1（以下、MAX（ｔ）で代表す
る）および下限値a2、b2、c2（以下、MIN（ｔ）で代表
する）も、積算使用時間ｔとの間に次式で表される比例
関係を有する。
MAX（ｔ）＝MAX−ｋ・ｔ …（１） MIN（ｔ）＝MIN−ｋ・ｔ …（２） 但し、MAX:新品時の最適範囲の上限値 MIN:新品時の最適範囲の下限値 t :フィラメント積算使用時間 k :定数 このうち、定数ｋはフィラメントの種類ごとに定まる
定数であり、予め該フィラメントのフィラメント電流−
エミッション電流の関係を第３図のようにして求め、そ
の関係から求めることができる。ただし、前記定数ｋ
は、MAX（ｔ）を算出するのに用いる場合とMIN（ｔ）を
算出するのに用いる場合とで異なることもある。
定数であり、予め該フィラメントのフィラメント電流−
エミッション電流の関係を第３図のようにして求め、そ
の関係から求めることができる。ただし、前記定数ｋ
は、MAX（ｔ）を算出するのに用いる場合とMIN（ｔ）を
算出するのに用いる場合とで異なることもある。
以下に説明する本発明では、上記した関係式（１）、
（２）から積算使用時間ｔにおけるMAX（ｔ）およびMIN
（ｔ）を求め、これに基づいてフィラメント電流が最適
範囲に調整されるようにしている。
（２）から積算使用時間ｔにおけるMAX（ｔ）およびMIN
（ｔ）を求め、これに基づいてフィラメント電流が最適
範囲に調整されるようにしている。
なお、以上の説明では、エミッション電流を観察する
ことによってフィラメント電流の最適範囲を設定し、こ
れに基づいて関係式（１）、（２）を求めたが、その代
わりに、テストピース等に電子線を照射して該試料から
発生する二次電子や反射電子等を観察し、その飽和状態
から最適範囲、関係式を求めるようにしても良い。
ことによってフィラメント電流の最適範囲を設定し、こ
れに基づいて関係式（１）、（２）を求めたが、その代
わりに、テストピース等に電子線を照射して該試料から
発生する二次電子や反射電子等を観察し、その飽和状態
から最適範囲、関係式を求めるようにしても良い。
第１図は本発明の一実施例である電子顕微鏡のフィラ
メント電流の制御を行う部分のブロック図である。
メント電流の制御を行う部分のブロック図である。
同図において、CPU1にはフィラメント電流制御装置
２、ROM4、RAM5、およびタイマ７が接続されている。前
記フィラメント電流制御装置２には入力装置６およびフ
ィラメント３が接続されている。
２、ROM4、RAM5、およびタイマ７が接続されている。前
記フィラメント電流制御装置２には入力装置６およびフ
ィラメント３が接続されている。
前記新品時の最適範囲の上限値MAX、下限値MIN、フィ
ラメント積算使用時間ｔ、および定数ｋは、いずれもRA
M5に記憶されている。
ラメント積算使用時間ｔ、および定数ｋは、いずれもRA
M5に記憶されている。
このような構成を有する電子顕微鏡の動作を、第４図
のフローチャートを参照して説明する。
のフローチャートを参照して説明する。
像観察が開始されると、ステップS1ではCPU1が像観察
の実行に必要なプログラムをROM4から読み出して初期設
定を行い、ステップS2では前記MAX、MIN、積算使用時間
ｔ、定数ｋをRAM5から読み出し、ステップS3ではMAX
（ｔ）およびMIN（ｔ）を算出する。
の実行に必要なプログラムをROM4から読み出して初期設
定を行い、ステップS2では前記MAX、MIN、積算使用時間
ｔ、定数ｋをRAM5から読み出し、ステップS3ではMAX
（ｔ）およびMIN（ｔ）を算出する。
たとえば、 上限値MAX＝2.0A 下限値MIN＝1.8A 積算使用時間ｔ＝100h 定数ｋ＝0.001 であるとすると、 MAX（100） ＝2.0−0.001×100 ＝1.9A MIN（100） ＝1.8−0.001×100 ＝1.7A ステップS4では、オペレータがフィラメント電流制御
装置２を操作してフィラメント電流を調整し、これによ
ってフィラメント３が付勢され、点灯する。ステップS5
ではタイマ７が時間計測を開始し、前記積算使用時間ｔ
がタイマ７の計測時間に応じて更新される。
装置２を操作してフィラメント電流を調整し、これによ
ってフィラメント３が付勢され、点灯する。ステップS5
ではタイマ７が時間計測を開始し、前記積算使用時間ｔ
がタイマ７の計測時間に応じて更新される。
ステップS6では、オペレータによって調整されたフィ
ラメント電流ＩがMIN（ｔ）＜Ｉ＜MAX（ｔ）であるか否
かが判定され、フィラメント電流Ｉがこの範囲から外れ
ていると、ステップS7ではCPU1が警告音を発してフィラ
メント電流Ｉが最適範囲外にあることをオペレータに知
らせる。
ラメント電流ＩがMIN（ｔ）＜Ｉ＜MAX（ｔ）であるか否
かが判定され、フィラメント電流Ｉがこの範囲から外れ
ていると、ステップS7ではCPU1が警告音を発してフィラ
メント電流Ｉが最適範囲外にあることをオペレータに知
らせる。
ステップS8では、像観察が終了したか否かが判定さ
れ、終了していない場合にはステップS3へ戻って上記し
た処理を繰り返す。オペレータは、警告音が発せられな
いようにフィラメント電流制御装置２を操作してフィラ
メント電流を調整する。
れ、終了していない場合にはステップS3へ戻って上記し
た処理を繰り返す。オペレータは、警告音が発せられな
いようにフィラメント電流制御装置２を操作してフィラ
メント電流を調整する。
なお、前記警告音の種類を、フィラメント電流ＩがMI
N（ｔ）を下回った場合とMAX（ｔ）を上回った場合とで
異ならせれば、オペレータはさらに簡単にフィラメント
電流を調整できるようになる。
N（ｔ）を下回った場合とMAX（ｔ）を上回った場合とで
異ならせれば、オペレータはさらに簡単にフィラメント
電流を調整できるようになる。
また、フィラメント電流ＩがMAX（ｔ）を超えて設定
されると、フィラメント破損等の重大な事故に結い付く
可能性があるので、フィラメント電流Ｉの設定上限値を
MAX（ｔ）とするリミッタ回路を設け、フィラメント電
流ＩがMAX（ｔ）を超えるように設定される場合には、
常にフィラメント電流ＩがMAX（ｔ）に設定されるよう
にしても良い。
されると、フィラメント破損等の重大な事故に結い付く
可能性があるので、フィラメント電流Ｉの設定上限値を
MAX（ｔ）とするリミッタ回路を設け、フィラメント電
流ＩがMAX（ｔ）を超えるように設定される場合には、
常にフィラメント電流ＩがMAX（ｔ）に設定されるよう
にしても良い。
このようにしてフィラメント電流が最適範囲に調整さ
れ、像観察が開始されると、ステップS5ではフィラメン
トの点灯時間がタイマ７によって計数されるので、時間
経過に伴って前記MIN（ｔ）、MAX（ｔ）が少しづつ変化
する。
れ、像観察が開始されると、ステップS5ではフィラメン
トの点灯時間がタイマ７によって計数されるので、時間
経過に伴って前記MIN（ｔ）、MAX（ｔ）が少しづつ変化
する。
その結果、フィラメント電流Ｉが最適範囲を逸脱する
と、再び警報が発せられてフィラメント電流Ｉが最適範
囲外にあることをオペレータに知らせる。
と、再び警報が発せられてフィラメント電流Ｉが最適範
囲外にあることをオペレータに知らせる。
像観察が終了し、フィラメントの付勢を停止すると、
ステップS9では、その時のフィラメント積算使用時間ｔ
が新たなフィラメント積算使用時間ｔとしてRAM5に記憶
される。したがって、次回の像観察時には、該新たなフ
ィラメント積算使用時間によってMIN（ｔ）、MAX（ｔ）
が算出される。
ステップS9では、その時のフィラメント積算使用時間ｔ
が新たなフィラメント積算使用時間ｔとしてRAM5に記憶
される。したがって、次回の像観察時には、該新たなフ
ィラメント積算使用時間によってMIN（ｔ）、MAX（ｔ）
が算出される。
本実施例によれば、オペレータは簡単にフィラメント
電流を最適範囲に調整することができる。
電流を最適範囲に調整することができる。
なお、上記した実施例では、オペレータが入力装置を
手動操作してフィラメント電流を最適範囲内に調整する
ものとして説明したが、CPU1が前記算出された最適範囲
に応じて自動的にフィラメント電流を制御するようにし
ても良く、このようにすればオペレータの負担が軽減さ
れて、さらに操作性が向上する。
手動操作してフィラメント電流を最適範囲内に調整する
ものとして説明したが、CPU1が前記算出された最適範囲
に応じて自動的にフィラメント電流を制御するようにし
ても良く、このようにすればオペレータの負担が軽減さ
れて、さらに操作性が向上する。
また、上記した実施例では、フィラメント点灯中にタ
イマ７がフィラメント積算使用時間を自動的に計測し、
使用後には新たなフィラメント積算使用時間がRAMに記
憶されるものとして説明したが、タイマ７を設けずに、
使用開始時にオペレータが概略のフィラメント積算使用
時間を入力するようにし、CPUは該入力された積算使用
時間に応じてMIN（ｔ）、MAX（ｔ）を算出するようにし
ても良い。
イマ７がフィラメント積算使用時間を自動的に計測し、
使用後には新たなフィラメント積算使用時間がRAMに記
憶されるものとして説明したが、タイマ７を設けずに、
使用開始時にオペレータが概略のフィラメント積算使用
時間を入力するようにし、CPUは該入力された積算使用
時間に応じてMIN（ｔ）、MAX（ｔ）を算出するようにし
ても良い。
第２図は本発明の他の実施例のブロック図であり、第
１図と同一の符号は同一または同等部分を表す。
１図と同一の符号は同一または同等部分を表す。
本実施例では、フィラメント３近傍の環境温度を測定
するために、感温素子９および温度検出回路８をさらに
設置した点に特徴がある。
するために、感温素子９および温度検出回路８をさらに
設置した点に特徴がある。
フィラメント電流とエミッション電流とは、同種のフ
ィラメントであれば定常的には前記第３図に示した曲線
関係を有するが、フィラメント３の近傍の環境温度が特
に高かったり、特に低かったりすると、前記定常的な関
係にずれが生じる。
ィラメントであれば定常的には前記第３図に示した曲線
関係を有するが、フィラメント３の近傍の環境温度が特
に高かったり、特に低かったりすると、前記定常的な関
係にずれが生じる。
具体的に言うならば、環境温度が高いと前記曲線関係
が図中左方向、すなわち積算使用時間が長くなったよう
な関係を示すようになり、環境温度が低いとその逆を示
すようになる。
が図中左方向、すなわち積算使用時間が長くなったよう
な関係を示すようになり、環境温度が低いとその逆を示
すようになる。
したがって、温度が高い場合には、最適範囲内に設定
したはずのフィラメント電流が上限値を超えてしまった
り、また温度が低い場合には下限値を下回ってしまう可
能性があった。
したはずのフィラメント電流が上限値を超えてしまった
り、また温度が低い場合には下限値を下回ってしまう可
能性があった。
そこで、本実施例ではフィラメント３近傍の環境温度
を測定し、該温度が高い場合には最適範囲を図中左方向
にシフトし、低い場合には図中右方向にシフトするよう
にした。
を測定し、該温度が高い場合には最適範囲を図中左方向
にシフトし、低い場合には図中右方向にシフトするよう
にした。
本実施例によれば、電子顕微鏡が設置される環境温度
が所定の範囲から外れる場合であっても、フィラメント
電流が最適範囲から逸脱してしまうことが無い。
が所定の範囲から外れる場合であっても、フィラメント
電流が最適範囲から逸脱してしまうことが無い。
ところで、電子顕微鏡に限らず一般の精密機器におい
ても同様であるが、電源投入直後は回路動作が不安定で
あり、これが電子顕微鏡においては、フィラメント電流
の変動として表れる。
ても同様であるが、電源投入直後は回路動作が不安定で
あり、これが電子顕微鏡においては、フィラメント電流
の変動として表れる。
したがって、電源投入直後のフィラメント調整におい
て該フィラメント調整値が最適範囲の上限値または下限
値近くにあると、前記変動によってフィラメント電流が
最適範囲を逸脱してしまう場合がある。
て該フィラメント調整値が最適範囲の上限値または下限
値近くにあると、前記変動によってフィラメント電流が
最適範囲を逸脱してしまう場合がある。
下限を下回る場合には、観察像が暗くなったりコント
ラストが低下するだけで大きな問題とはならないが、上
限値を超えてしまうような場合には、フィラメントの劣
化が促進され、場合によっては破損に至る場合がある。
ラストが低下するだけで大きな問題とはならないが、上
限値を超えてしまうような場合には、フィラメントの劣
化が促進され、場合によっては破損に至る場合がある。
そこで、電源投入から一定時間（例えは30分）が経過
するまでは、前記最適範囲を狭めることによって、フィ
ラメント電源が変動しても本来の最適範囲を逸脱するこ
が無いようにしても良い。
するまでは、前記最適範囲を狭めることによって、フィ
ラメント電源が変動しても本来の最適範囲を逸脱するこ
が無いようにしても良い。
このようにすれば、電源投入直後の不安定な状態にお
いても、フィラメント電源が最適範囲を逸脱することが
なく、フィラメント寿命の低下を防止する効果がある。
いても、フィラメント電源が最適範囲を逸脱することが
なく、フィラメント寿命の低下を防止する効果がある。
さらに、上記した各実施例では一種類のフィラメント
のみを用いる場合について説明したが、複数種のフィラ
メントが取り付け可能な電子銃であれば、各フィラメン
トの上限値MAX、下限値MIN、フィラメント積算使用時間
ｔ、および定数ｋをRAM5に記憶するようにし、取り付け
たフィラメントに応じて前記それぞれの値を選択するよ
うにしても良い。
のみを用いる場合について説明したが、複数種のフィラ
メントが取り付け可能な電子銃であれば、各フィラメン
トの上限値MAX、下限値MIN、フィラメント積算使用時間
ｔ、および定数ｋをRAM5に記憶するようにし、取り付け
たフィラメントに応じて前記それぞれの値を選択するよ
うにしても良い。
この時、各フィラメントに適宜の識別符号を付し、CP
Uが適宜の識別手段でこれを自動的に認識するようにす
れば、フィラメントの種類にかかわらず、簡単にフィラ
メント電流を最適値に設定できるようになる。
Uが適宜の識別手段でこれを自動的に認識するようにす
れば、フィラメントの種類にかかわらず、簡単にフィラ
メント電流を最適値に設定できるようになる。
（発明の効果） 以上の説明から明らかなように、本発明によれば以下
のような効果が達成される。
のような効果が達成される。
（１）フィラメント電流を最適範囲内に容易に調整する
ことができるので、オペレータの熟練度にかかわらず、
最高の状態での像観察が可能になる。
ことができるので、オペレータの熟練度にかかわらず、
最高の状態での像観察が可能になる。
（２）フィラメント電流が自動的に最適範囲内に設定さ
れるか、あるいは最適範囲外に設定されると警報が発せ
られ、オペレータのフィラメント電流の設定値が最適範
囲外にあることを知らせるようにしたので、フィラメン
ト電流が最適範囲外に設定されることがなく、フィラメ
ントの寿命が縮まったり、破損したりすることがない。
れるか、あるいは最適範囲外に設定されると警報が発せ
られ、オペレータのフィラメント電流の設定値が最適範
囲外にあることを知らせるようにしたので、フィラメン
ト電流が最適範囲外に設定されることがなく、フィラメ
ントの寿命が縮まったり、破損したりすることがない。
第１図は本発明の一実施例のブロック図、第２図は本発
明の他の実施例のブロック図、第３図はフィラメント電
流とエミッション電流との関係を示した図、第４図は第
１図の動作を説明するためのフローチャートである。 １……CPU、２……フィラメント電流制御装置、３……
フィラメント、４……ROM、５……RAM、６……入力装
置、７……タイマ、８……温度検出回路、９……感温素
子
明の他の実施例のブロック図、第３図はフィラメント電
流とエミッション電流との関係を示した図、第４図は第
１図の動作を説明するためのフローチャートである。 １……CPU、２……フィラメント電流制御装置、３……
フィラメント、４……ROM、５……RAM、６……入力装
置、７……タイマ、８……温度検出回路、９……感温素
子
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−50652（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−12450（ＪＰ，Ａ) 特開 昭55−126949（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 37/06 - 37/07 H01J 37/248
Claims (12)
- 【請求項１】フィラメント電流とエミッション電流との
相関関係がフィラメントの積算使用時間に応じて変化す
ることを利用してフィラメント電流が調整される電子銃
であって、 フィラメントの積算使用時間に基づいてフィラメント電
流の最適範囲を求める手段と、 フィラメント電流が前記最適範囲を逸脱すると警報を発
する手段とを具備したことを特徴とする電子銃。 - 【請求項２】前記警報は、フィラメント電流が前記最適
範囲を上回った場合と下回った場合とで異なることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の電子銃。 - 【請求項３】フィラメント電流が前記最適範囲を上回る
ような場合には、フィラメント電流が該最適範囲の上限
値に設定されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
または第２項記載の電子銃。 - 【請求項４】フィラメント電流とエミッション電流との
相関関係がフィラメントの積算使用時間に応じて変化す
ることを利用してフィラメント電流が調整される電子銃
であって、 フィラメントの積算使用時間に基づいてフィラメント電
流の最適範囲を求める手段と、 フィラメント電流を、前記最適範囲に基づいて設定する
制御手段とを具備したことを特徴とする電子銃。 - 【請求項５】フィラメントの積算使用時間を入力する手
段をさらに具備したこを特徴とする特許請求の範囲第１
項ないし第４項のいずれかに記載の電子銃。 - 【請求項６】フィラメントの積算使用時間を記憶する記
憶手段と、 フィラメントの今回の使用時間を計時する第１の計時手
段と、 前記積算使用時間に前記今回の使用時間を加算し、これ
を新たな積算使用時間とする手段とを具備し、前記フィ
ラメント電流の最適範囲は、該新たな積算使用時間に基
づいて求められることを特徴とする特許請求の範囲第１
項ないし第４項のいずれかに記載の電子銃。 - 【請求項７】フィラメント近傍の環境温度を検出する手
段をさらに具備し、 前記フィラメント電流の最適範囲は、該環境温度を考慮
して求められることを特徴とする特許請求の範囲第１項
ないし第６項のいずれかに記載の電子銃。 - 【請求項８】フィラメントの点灯開始からの経過時間を
計時する第２の計時手段をさらに具備し、予定の時間が
経過するまでは、前記フィラメント電流の最適範囲が該
経過時間を考慮して狭められることを特徴とする特許請
求の範囲第１項ないし第７項のいずれかに記載の電子
銃。 - 【請求項９】前記経過時間を考慮して狭められた範囲
は、前記最適範囲に対して上限値の降下および下限値の
上昇の少なくとも一方を施した範囲であることを特徴と
する特許請求の範囲第８項記載の電子銃。 - 【請求項１０】フィラメントの種類を識別する手段をさ
らに具備し、前記フィラメント電流の最適範囲は、前記
識別手段によって識別されたフィラメントの種類に応じ
て求められることを特徴とする特許請求の範囲第１項な
いし第９項のいずれかに記載の電子銃。 - 【請求項１１】フィラメントに電流を流して電子を放出
させる電子銃を備えた電子顕微鏡において、 フィラメントの積算使用時間に基づいてフィラメント電
流の最適範囲を求める手段と、 前記フィラメント電流が前記最適範囲を逸脱すると、前
記フィラメント電流を前記最適範囲内に設定する手段と
を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項１２】フィラメントに電流を流して電子を放出
させる電子銃を備えた電子顕微鏡において、 フィラメントの環境温度に基づいて、エミッション電流
が飽和しないように、フィラメント電流の最適範囲を求
める手段と、 フィラメント電流が前記最適範囲に収まるように前記フ
ィラメント電流を制御する手段とを備えたことを特徴と
する電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01295762A JP3078555B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 電子銃および電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01295762A JP3078555B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 電子銃および電子顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03155032A JPH03155032A (ja) | 1991-07-03 |
| JP3078555B2 true JP3078555B2 (ja) | 2000-08-21 |
Family
ID=17824839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01295762A Expired - Lifetime JP3078555B2 (ja) | 1989-11-14 | 1989-11-14 | 電子銃および電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3078555B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5067652B2 (ja) * | 2006-07-25 | 2012-11-07 | 株式会社島津製作所 | 電子銃フィラメントのモニタ方法、および制御方法 |
-
1989
- 1989-11-14 JP JP01295762A patent/JP3078555B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03155032A (ja) | 1991-07-03 |
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