JP3132576B2 - スラブ形固体レーザ装置 - Google Patents
スラブ形固体レーザ装置Info
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- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
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- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
- H01S3/093—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp focusing or directing the excitation energy into the active medium
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｎｄ：ＹＡＧレーザな
どを対象とした高出力のスラブ形固体レーザ装置に関す
る。
どを対象とした高出力のスラブ形固体レーザ装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】頭記したスラブ形固定レーザ装置は、冷
却媒体が通流する収納容器内にＮｄ：ＹＡＧレーザなど
のロッドから切出したスラブ形の固体レーザ媒体, およ
び励起光源を組み込み、これに共振器用ミラーを組合わ
せてレーザ発振器として構成したものであり、その構
成，原理は、例えば本発明と同一出願人が先に提案した
特開平３−２２５７９号公報などに開示されている。ま
た、本発明の出願人は、前記のスラブ形固定レーザ装置
に対し、レーザ媒体の両端の斜端面に最小の間隙をもっ
て対向するレーザ光透過部材を収納容器のレーザ光取出
部に設けた構成を特願平２−３２４０７１として提案し
ている。
却媒体が通流する収納容器内にＮｄ：ＹＡＧレーザなど
のロッドから切出したスラブ形の固体レーザ媒体, およ
び励起光源を組み込み、これに共振器用ミラーを組合わ
せてレーザ発振器として構成したものであり、その構
成，原理は、例えば本発明と同一出願人が先に提案した
特開平３−２２５７９号公報などに開示されている。ま
た、本発明の出願人は、前記のスラブ形固定レーザ装置
に対し、レーザ媒体の両端の斜端面に最小の間隙をもっ
て対向するレーザ光透過部材を収納容器のレーザ光取出
部に設けた構成を特願平２−３２４０７１として提案し
ている。
【０００３】ここで、例えばＮｄ：ＹＡＧレーザは、イ
ットリウム・アルミニウム・ガーネット（略称ＹＡＧ）
の結晶体を母材に、活性媒質としてＮｄイオンを注入し
たものであり、前記レーザ材料を炉内で溶解し、引上装
置により結晶を育成しながら引き上げた単結晶体のロッ
ドから良質部分を切出してスラブ形のレーザ媒質を製造
するようにしている。なお、前記のようにして製造され
るＮｄ：ＹＡＧレーザは製造技術面から大きな単結晶体
を得ることが困難であり、現在メーカから入手可能なサ
イズは最大でも縦１０mm，横２７mm，長さ２１０mm程度
である。
ットリウム・アルミニウム・ガーネット（略称ＹＡＧ）
の結晶体を母材に、活性媒質としてＮｄイオンを注入し
たものであり、前記レーザ材料を炉内で溶解し、引上装
置により結晶を育成しながら引き上げた単結晶体のロッ
ドから良質部分を切出してスラブ形のレーザ媒質を製造
するようにしている。なお、前記のようにして製造され
るＮｄ：ＹＡＧレーザは製造技術面から大きな単結晶体
を得ることが困難であり、現在メーカから入手可能なサ
イズは最大でも縦１０mm，横２７mm，長さ２１０mm程度
である。
【０００４】一方、固体レーザ装置のレーザ出力、特に
連続動作での発振出力は、装置内に組み込まれたレーザ
媒体の大きさに支配されて決まる。ところで、前述した
固体レーザ装置では１台の装置ごとにその収納容器内に
１本の単結晶レーザ媒体を収容して構成されており、こ
のために装置１台のレーザ出力も自ずと限界がある。そ
こで、特に大出力レーザ装置の要求に対しては、複数台
のレーザ発振器を直列に連結して用いるカスケード接続
型固体レーザ装置が従来より提唱され、既に実用化され
ている。図３はこのカスケード接続型固体レーザ装置を
示すものであり、共通架台２０の上に光軸を合わせて複
数基の固体レーザ発振器２１を直列に配置し、かつその
両側に共振器用ミラーとして全反射ミラー２２，出力ミ
ラー２３を配備して構成されている。なお、各レーザ発
振器２１には各基ごとに単結晶体の固体レーザ媒体２
４，励起光源などが収納容器に組み込まれている。な
お、Ｌはレーザ光、ＬＯはレーザ出力を示す。かかる構
成により装置全体でのレーザ出力は各基のレーザ発振器
２１の出力の総和にほぼ等しくなり、これにより大出力
のレーザ装置が得られる。
連続動作での発振出力は、装置内に組み込まれたレーザ
媒体の大きさに支配されて決まる。ところで、前述した
固体レーザ装置では１台の装置ごとにその収納容器内に
１本の単結晶レーザ媒体を収容して構成されており、こ
のために装置１台のレーザ出力も自ずと限界がある。そ
こで、特に大出力レーザ装置の要求に対しては、複数台
のレーザ発振器を直列に連結して用いるカスケード接続
型固体レーザ装置が従来より提唱され、既に実用化され
ている。図３はこのカスケード接続型固体レーザ装置を
示すものであり、共通架台２０の上に光軸を合わせて複
数基の固体レーザ発振器２１を直列に配置し、かつその
両側に共振器用ミラーとして全反射ミラー２２，出力ミ
ラー２３を配備して構成されている。なお、各レーザ発
振器２１には各基ごとに単結晶体の固体レーザ媒体２
４，励起光源などが収納容器に組み込まれている。な
お、Ｌはレーザ光、ＬＯはレーザ出力を示す。かかる構
成により装置全体でのレーザ出力は各基のレーザ発振器
２１の出力の総和にほぼ等しくなり、これにより大出力
のレーザ装置が得られる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記したカ
スケード接続型レーザ装置は、次記のような難点があ
る。すなわち、 （１）共通架台２０の上に複数基のレーザ発振器２１を
個々に据付ける際には、各レーザ発振器２１の固体レー
ザ媒体２４，ミラー２２，２３の相互間で光軸を正確に
合わせることが必要であり、多少でも光軸がずれている
とパワー損失が増大して所定の出力特性が得られない。
しかも、この光軸合わせの調整作業は極めて厄介であ
り、高精度な位置決めには多くの労力と時間を要する。
また、このような調整を工場出荷試験時に行っても、製
品を現地に輸送する際に振動などが加わると共通架台２
０に対する個々のレーザ発振器２１の据付位置が微妙に
狂うことが避けられず、このために据付先の現地では再
度調整が必要となるなど、その取扱いが極めて面倒であ
る。 （２）また、かかるカスケード接続型レーザ装置の構成
要素である各基のレーザ発振器２１は個々に独立して製
作されるために、装置全体が大形化するほか、トータル
的なコストが嵩んで非常に高価なものとなる。
スケード接続型レーザ装置は、次記のような難点があ
る。すなわち、 （１）共通架台２０の上に複数基のレーザ発振器２１を
個々に据付ける際には、各レーザ発振器２１の固体レー
ザ媒体２４，ミラー２２，２３の相互間で光軸を正確に
合わせることが必要であり、多少でも光軸がずれている
とパワー損失が増大して所定の出力特性が得られない。
しかも、この光軸合わせの調整作業は極めて厄介であ
り、高精度な位置決めには多くの労力と時間を要する。
また、このような調整を工場出荷試験時に行っても、製
品を現地に輸送する際に振動などが加わると共通架台２
０に対する個々のレーザ発振器２１の据付位置が微妙に
狂うことが避けられず、このために据付先の現地では再
度調整が必要となるなど、その取扱いが極めて面倒であ
る。 （２）また、かかるカスケード接続型レーザ装置の構成
要素である各基のレーザ発振器２１は個々に独立して製
作されるために、装置全体が大形化するほか、トータル
的なコストが嵩んで非常に高価なものとなる。
【０００６】本発明は上記の点にかんがみなされたもの
であり、小形，コンパクトな構成で、しかも取扱性にも
優れた効果を発揮する高出力のスラブ形固体レーザ装置
を提供することを目的とする。
であり、小形，コンパクトな構成で、しかも取扱性にも
優れた効果を発揮する高出力のスラブ形固体レーザ装置
を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明によれば、冷却媒体が通流する収納容器に
スラブ形の固体レーザ媒体，励起光源，レーザ光の透過
部材を組み込み、これに共振器用ミラーを組合わせて構
成したスラブ形固体レーザ装置において、同一収納容器
内に光軸を合わせて複数本のスラブ形レーザ媒体を直列
に並べて収納配備したスラブ形固体レーザ装置であっ
て、直列に並ぶ複数のレーザ媒体のうち両端に位置する
レーザ媒体のそれぞれ反隣接レーザ媒体側に、光軸を合
わせて収納容器内にスラブ形の導光部材を直列に配備し
たものとする。
めに、本発明によれば、冷却媒体が通流する収納容器に
スラブ形の固体レーザ媒体，励起光源，レーザ光の透過
部材を組み込み、これに共振器用ミラーを組合わせて構
成したスラブ形固体レーザ装置において、同一収納容器
内に光軸を合わせて複数本のスラブ形レーザ媒体を直列
に並べて収納配備したスラブ形固体レーザ装置であっ
て、直列に並ぶ複数のレーザ媒体のうち両端に位置する
レーザ媒体のそれぞれ反隣接レーザ媒体側に、光軸を合
わせて収納容器内にスラブ形の導光部材を直列に配備し
たものとする。
【０００８】また、本発明によれば、冷却媒体が通流す
る収納容器にスラブ形の固体レーザ媒体，励起光源，レ
ーザ光の透過部材を組み込み、これに共振器用ミラーを
組合わせて構成したスラブ形固体レーザ装置において、
同一収納容器内に光軸を合わせて複数本のスラブ形レー
ザ媒体を直列に並べて収納配備したスラブ形固体レーザ
装置であって、収納容器の内壁面を取付座面としてレー
ザ媒体の保持具を設置し、該保持具を介して収納容器内
に配列した各レーザ媒体を所定位置に位置決め固定する
ものであり、保持具が熱絶縁材を介してレーザ媒体の励
起光非照射側面を両側から挟持するものであるものとす
る。
る収納容器にスラブ形の固体レーザ媒体，励起光源，レ
ーザ光の透過部材を組み込み、これに共振器用ミラーを
組合わせて構成したスラブ形固体レーザ装置において、
同一収納容器内に光軸を合わせて複数本のスラブ形レー
ザ媒体を直列に並べて収納配備したスラブ形固体レーザ
装置であって、収納容器の内壁面を取付座面としてレー
ザ媒体の保持具を設置し、該保持具を介して収納容器内
に配列した各レーザ媒体を所定位置に位置決め固定する
ものであり、保持具が熱絶縁材を介してレーザ媒体の励
起光非照射側面を両側から挟持するものであるものとす
る。
【０００９】
【作用】上記の構成によれば、単一の収容容器内に複数
の固体レーザ媒体を直列に配列して励起光を照射するよ
うにしたので、１台の装置で従来のカスケード接続型レ
ーザ装置と同等なレーザ出力が得られる。また、直列に
並ぶスラブ形レーザ媒体の両端に光軸を合わせて配備し
たスラブ形の導光部材は光透過率の高い光学ガラスで作
られたものであり、レーザ媒体とほぼ同一断面形状と、
励起光源ランプの両端端子金具の寸法に相応して定めた
長さを有し、レーザ媒体と収容容器の端面に取付けたレ
ーザ光透過部材との間を中継する導光路として機能す
る。このような導光部材を収容容器内に組み込むことに
より、励起光源ランプの端子金具との干渉なしに光源ラ
ンプをレーザ媒体に対して最短距離に接近配置しつつ励
起光を各レーザ媒体に対して均一に照射することができ
る。
の固体レーザ媒体を直列に配列して励起光を照射するよ
うにしたので、１台の装置で従来のカスケード接続型レ
ーザ装置と同等なレーザ出力が得られる。また、直列に
並ぶスラブ形レーザ媒体の両端に光軸を合わせて配備し
たスラブ形の導光部材は光透過率の高い光学ガラスで作
られたものであり、レーザ媒体とほぼ同一断面形状と、
励起光源ランプの両端端子金具の寸法に相応して定めた
長さを有し、レーザ媒体と収容容器の端面に取付けたレ
ーザ光透過部材との間を中継する導光路として機能す
る。このような導光部材を収容容器内に組み込むことに
より、励起光源ランプの端子金具との干渉なしに光源ラ
ンプをレーザ媒体に対して最短距離に接近配置しつつ励
起光を各レーザ媒体に対して均一に照射することができ
る。
【００１０】一方、レーザ媒体の保持具は収納容器の内
壁面を位置決め基準面として設置し、該保持具を介して
直列に並ぶ各レーザ媒体を個々に所定位置に位置決め固
定する。ここで、収納容器の内壁面はレーザ媒体に対し
て均一な冷媒通路を構成するように高精度に加工されて
おり、この内壁面を取付け基準面として利用することで
各レーザ媒体を光軸が一致するように正確な位置に保持
できる。しかも、該保持具は熱絶縁材を介してスラブ形
のレーザ媒体に対して励起光の照射を受けない非励起面
を両側から挟持するようにしたので、保持具が励起光の
障害物となるおそれがなく、かつレーザ媒体内部での不
当な温度勾配発生を抑えて各レーザ媒体を所定位置に固
定支持することができる。
壁面を位置決め基準面として設置し、該保持具を介して
直列に並ぶ各レーザ媒体を個々に所定位置に位置決め固
定する。ここで、収納容器の内壁面はレーザ媒体に対し
て均一な冷媒通路を構成するように高精度に加工されて
おり、この内壁面を取付け基準面として利用することで
各レーザ媒体を光軸が一致するように正確な位置に保持
できる。しかも、該保持具は熱絶縁材を介してスラブ形
のレーザ媒体に対して励起光の照射を受けない非励起面
を両側から挟持するようにしたので、保持具が励起光の
障害物となるおそれがなく、かつレーザ媒体内部での不
当な温度勾配発生を抑えて各レーザ媒体を所定位置に固
定支持することができる。
【００１１】
【実施例】以下本発明の実施例を図１，図２により説明
する。図１はスラブ形固定レーザ装置全体の構成断面
図、図２は図１の矢視II−II断面図を示すものであり、
図において、１は液密な密閉容器とした構成された装置
の収納容器、２は収納容器１内の中央に光軸を合わせて
直列に配備した複数本（図示例では２本）のスラブ形レ
ーザ媒体（単結晶のレーザロッドから断面矩形状に切出
して作られたもの）、３はレーザ媒体２を中央に挟んで
その上下両側に平行配備した励起光源ランプ、４は光源
ランプ３のリフレクタ、５は光源ランプ３とレーザ媒体
２との間に介装した紫外光フィルタ、６は直列に並ぶレ
ーザ媒体２の両側に光軸を合わせて直列に配備したスラ
ブ形の導光部材、７は導光部材６の端面と向かい合わせ
て収納容器１の端板１ａに取付けたレーザ光取出窓とな
るレーザ光透過部材、８，９はレーザ光透過部材７に対
向して収納容器１の両側に配備した共振器用の全反射ミ
ラー，出力ミラー、１０は前記した各レーザ媒体２，お
よび導光部材６を個々に所定位置に位置決め固定する保
持具であり、レーザ媒体２，導光部材６に対してその長
手方向の両端部を支持している。また、収納容器１の各
接合面，収納容器１に組み込んだ各部品の貫通部にはＯ
リングなどにより液密シールされている。
する。図１はスラブ形固定レーザ装置全体の構成断面
図、図２は図１の矢視II−II断面図を示すものであり、
図において、１は液密な密閉容器とした構成された装置
の収納容器、２は収納容器１内の中央に光軸を合わせて
直列に配備した複数本（図示例では２本）のスラブ形レ
ーザ媒体（単結晶のレーザロッドから断面矩形状に切出
して作られたもの）、３はレーザ媒体２を中央に挟んで
その上下両側に平行配備した励起光源ランプ、４は光源
ランプ３のリフレクタ、５は光源ランプ３とレーザ媒体
２との間に介装した紫外光フィルタ、６は直列に並ぶレ
ーザ媒体２の両側に光軸を合わせて直列に配備したスラ
ブ形の導光部材、７は導光部材６の端面と向かい合わせ
て収納容器１の端板１ａに取付けたレーザ光取出窓とな
るレーザ光透過部材、８，９はレーザ光透過部材７に対
向して収納容器１の両側に配備した共振器用の全反射ミ
ラー，出力ミラー、１０は前記した各レーザ媒体２，お
よび導光部材６を個々に所定位置に位置決め固定する保
持具であり、レーザ媒体２，導光部材６に対してその長
手方向の両端部を支持している。また、収納容器１の各
接合面，収納容器１に組み込んだ各部品の貫通部にはＯ
リングなどにより液密シールされている。
【００１２】上記の構成で、収納容器１の内部には図示
されてない冷却媒体入口，出口を通じて冷却媒体（純
水）が次記のように通流し、レーザ媒体２，励起光源ラ
ンプ３，リフレクタ４などを冷却して発生熱を系外に排
熱するようにしている。すなわち、図２において収納容
器１の入口側ヘッダ室１ｂに流入した冷却媒体は、ここ
からレーザ媒体２と紫外光フィルタ５との間に仕切られ
た空間１ｃを流れ、さらに励起光源ランプ３の周囲空間
１ｄを通流した後に出口側ヘッダ室１ｅを経由して流出
するように通流する。
されてない冷却媒体入口，出口を通じて冷却媒体（純
水）が次記のように通流し、レーザ媒体２，励起光源ラ
ンプ３，リフレクタ４などを冷却して発生熱を系外に排
熱するようにしている。すなわち、図２において収納容
器１の入口側ヘッダ室１ｂに流入した冷却媒体は、ここ
からレーザ媒体２と紫外光フィルタ５との間に仕切られ
た空間１ｃを流れ、さらに励起光源ランプ３の周囲空間
１ｄを通流した後に出口側ヘッダ室１ｅを経由して流出
するように通流する。
【００１３】一方、励起光源ランプ３は、その発光部の
長さが直列に並ぶ２本のレーザ媒体２の総和長に対応し
た長さを有し、その両端の端子金具３ａを含めて収納容
器１の内部に収容されている。また、２本のレーザ媒体
２の前後両端側に直列配備した導光部材６は光学ガラス
で作られたスラブ形の導光部材で、その断面形状はスラ
ブ形レーザ媒体２と同一もしくは一回り大きく、長さは
レーザ媒体２の前後端とレーザ光透過部材７との間の間
隔に合わせたサイズに構成されている。この導光部材６
はレーザ媒体２とレーザ光透過部材７との間を中継する
導光路として機能するもので、レーザ光は導光部材６の
中を全反射を繰り返しながらジグザグ進む。
長さが直列に並ぶ２本のレーザ媒体２の総和長に対応し
た長さを有し、その両端の端子金具３ａを含めて収納容
器１の内部に収容されている。また、２本のレーザ媒体
２の前後両端側に直列配備した導光部材６は光学ガラス
で作られたスラブ形の導光部材で、その断面形状はスラ
ブ形レーザ媒体２と同一もしくは一回り大きく、長さは
レーザ媒体２の前後端とレーザ光透過部材７との間の間
隔に合わせたサイズに構成されている。この導光部材６
はレーザ媒体２とレーザ光透過部材７との間を中継する
導光路として機能するもので、レーザ光は導光部材６の
中を全反射を繰り返しながらジグザグ進む。
【００１４】前記のように収納容器１の内部にレーザ媒
体２とほぼ同様な断面形状を有するスラブ形の導光部材
６をレーザ媒体２と収納容器１の端面に取付けたレーザ
光透過部材７との間に介在させて追加装備することによ
り、励起光源ランプ３の端子金具３ａとの干渉なしに光
源ランプ３の発光部をレーザ媒体２に接近して配備しつ
つ、かつ直列配置の各レーザ媒体２に対して励起光をレ
ーザ媒体の励起面全域に均一照射することができ、これ
によりレーザ発振効率を高めてレーザ出力の増大化が図
れる。
体２とほぼ同様な断面形状を有するスラブ形の導光部材
６をレーザ媒体２と収納容器１の端面に取付けたレーザ
光透過部材７との間に介在させて追加装備することによ
り、励起光源ランプ３の端子金具３ａとの干渉なしに光
源ランプ３の発光部をレーザ媒体２に接近して配備しつ
つ、かつ直列配置の各レーザ媒体２に対して励起光をレ
ーザ媒体の励起面全域に均一照射することができ、これ
によりレーザ発振効率を高めてレーザ出力の増大化が図
れる。
【００１５】次にレーザ媒体２の保持具１０についての
詳細構造を述べる。図２において、まずレーザ媒体２を
囲んで収納容器１の内部に画成した冷却媒体通流空間１
ｃはその両側の内壁面がＶ字形溝を形成するように高精
度に加工されており、このＶ字形の内壁面を取付座面と
してここに熱絶縁材１１を介して各レーザ媒体２を両側
面（励起光源ランプ３から励起光照射を受けない非励起
側の側面）から挟持するように先端部が二股状に分かれ
たＹ字形の保持具９が向かい合わせに設置されている。
ここで、一方の保持具（図２の下方側）はその基部が貫
通ボルト１２を介して収納容器２に遊嵌式に固定され、
他方の保持具（図２の上方側）は締付ねじ１３を介して
背後から締付け固定されている。なお、前記した導光部
材６も同様な保持具１０を介して固定される。
詳細構造を述べる。図２において、まずレーザ媒体２を
囲んで収納容器１の内部に画成した冷却媒体通流空間１
ｃはその両側の内壁面がＶ字形溝を形成するように高精
度に加工されており、このＶ字形の内壁面を取付座面と
してここに熱絶縁材１１を介して各レーザ媒体２を両側
面（励起光源ランプ３から励起光照射を受けない非励起
側の側面）から挟持するように先端部が二股状に分かれ
たＹ字形の保持具９が向かい合わせに設置されている。
ここで、一方の保持具（図２の下方側）はその基部が貫
通ボルト１２を介して収納容器２に遊嵌式に固定され、
他方の保持具（図２の上方側）は締付ねじ１３を介して
背後から締付け固定されている。なお、前記した導光部
材６も同様な保持具１０を介して固定される。
【００１６】前記構成のように高精度に加工された収納
容器１の内壁面を取付座面とし、これを基準面に保持具
１０を介して直列に並ぶ各レーザ媒体２，導光部材６を
個々にその非励起面を両側から挟持固定するようにした
支持構造では、保持具１０がレーザ媒体２の励起面に対
する励起光照射の障害物となることがなく、かつ各レー
ザ媒体２，導光部材６を相互間で光軸が一致するような
位置に正しく位置決めして固定支持することができる。
容器１の内壁面を取付座面とし、これを基準面に保持具
１０を介して直列に並ぶ各レーザ媒体２，導光部材６を
個々にその非励起面を両側から挟持固定するようにした
支持構造では、保持具１０がレーザ媒体２の励起面に対
する励起光照射の障害物となることがなく、かつ各レー
ザ媒体２，導光部材６を相互間で光軸が一致するような
位置に正しく位置決めして固定支持することができる。
【００１７】
【発明の効果】本発明のスラブ形固体レーザ装置は以上
説明したように構成されているので、次記の効果を奏す
る。 （１）同一収容容器内に単結晶からなる複数本のスラブ
形レーザ媒体を光軸を合わせて直列配備し、各レーザ媒
体に励起光を照射するよう構成したので、１台のレーザ
装置で従来のカスケード接続型レーザ装置と同等な高出
力が得られる。しかも、各独立した複数基のレーザ発振
器を共通架台上に並べて据付けたカスケード接続型レー
ザ装置構成と比べて必要な部品点数も少なくて済み、装
置の小形，コンパクト化，並びに製作コストの低減化が
図れるほか、工場から据付現地へ輸送する際の振動によ
るレーザ媒体相互の光軸ずれも生じ難く、取扱い面での
信頼性も大幅に向上する。
説明したように構成されているので、次記の効果を奏す
る。 （１）同一収容容器内に単結晶からなる複数本のスラブ
形レーザ媒体を光軸を合わせて直列配備し、各レーザ媒
体に励起光を照射するよう構成したので、１台のレーザ
装置で従来のカスケード接続型レーザ装置と同等な高出
力が得られる。しかも、各独立した複数基のレーザ発振
器を共通架台上に並べて据付けたカスケード接続型レー
ザ装置構成と比べて必要な部品点数も少なくて済み、装
置の小形，コンパクト化，並びに製作コストの低減化が
図れるほか、工場から据付現地へ輸送する際の振動によ
るレーザ媒体相互の光軸ずれも生じ難く、取扱い面での
信頼性も大幅に向上する。
【００１８】（２）また、直列に並ぶレーザ媒体に対
し、その両端側にスラブ形の導光部材を追加装備して収
納容器の端面に取付けたレーザ光透過部材との間に中継
導光路を形成した構造を採用することにより、励起光源
ランプの端子金具との干渉なしに光源ランプをレーザ媒
体に接近配備させつつ、各レーザ媒体の励起面全域に励
起光を均一照射することができ、これによりレーザ装置
の効率（ランプ入力に対するレーザ出力の比率）の向上
化が図れる。
し、その両端側にスラブ形の導光部材を追加装備して収
納容器の端面に取付けたレーザ光透過部材との間に中継
導光路を形成した構造を採用することにより、励起光源
ランプの端子金具との干渉なしに光源ランプをレーザ媒
体に接近配備させつつ、各レーザ媒体の励起面全域に励
起光を均一照射することができ、これによりレーザ装置
の効率（ランプ入力に対するレーザ出力の比率）の向上
化が図れる。
【００１９】（３）さらに、高精度に加工された収納容
器内の冷媒流通路の内壁面を取付座面として利用し、こ
の取付座面を基準面に保持具を介して各レーザ媒体を所
定位置に固定した支持構造を採用することにより、直列
に並ぶ各レーザ媒体の相互間で正しく光軸を合わせて組
立てることができる。ここで、保持具が熱絶縁材を介し
てレーザ媒体の非励起面を両側から挟持するような断熱
支持構造とするで、保持具自身が励起光の照射の障害物
となることがなく、かつレーザ媒体の内部に不当な温度
勾配を与えることもない。
器内の冷媒流通路の内壁面を取付座面として利用し、こ
の取付座面を基準面に保持具を介して各レーザ媒体を所
定位置に固定した支持構造を採用することにより、直列
に並ぶ各レーザ媒体の相互間で正しく光軸を合わせて組
立てることができる。ここで、保持具が熱絶縁材を介し
てレーザ媒体の非励起面を両側から挟持するような断熱
支持構造とするで、保持具自身が励起光の照射の障害物
となることがなく、かつレーザ媒体の内部に不当な温度
勾配を与えることもない。
【図１】本発明実施例の構成断面図
【図２】図１の矢視II−II断面図
【図３】従来におけるカスケード接続型固体レーザ装置
の構成図
の構成図
１ 収納容器 ２ スラブ形固体レーザ媒体 ３ 励起光源ランプ ６ スラブ形導光部材 ７ レーザ光透過部材 ８ 全反射ミラー ９ 出力ミラー １０ 保持具 １１ 熱絶縁材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01S 3/02 - 3/0979 H01S 3/23
Claims (2)
- 【請求項１】冷却媒体が通流する収納容器にスラブ形の
固体レーザ媒体，励起光源，レーザ光の透過部材を組み
込み、これに共振器用ミラーを組合わせて構成したスラ
ブ形固体レーザ装置において、同一収納容器内に光軸を
合わせて複数本のスラブ形レーザ媒体を直列に並べて収
納配備したスラブ形固体レーザ装置であって、 直列に並ぶ複数のレーザ媒体のうち両端に位置するレー
ザ媒体のそれぞれ反隣接レーザ媒体側に、光軸を合わせ
て収納容器内にスラブ形の導光部材を直列に配備したこ
とを特徴とするスラブ形固体レーザ装置。 - 【請求項２】冷却媒体が通流する収納容器にスラブ形の
固体レーザ媒体，励起光源，レーザ光の透過部材を組み
込み、これに共振器用ミラーを組合わせて構成したスラ
ブ形固体レーザ装置において、同一収納容器内に光軸を
合わせて複数本のスラブ形レーザ媒体を直列に並べて収
納配備したスラブ形固体レーザ装置であって、 収納容器の内壁面を取付座面としてレーザ媒体の保持具
を設置し、該保持具を介して収納容器内に配列した各レ
ーザ媒体を所定位置に位置決め固定するものであり、 保持具が熱絶縁材を介してレーザ媒体の励起光非照射側
面を両側から挟持するものであることを特徴とするスラ
ブ形固体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10768591A JP3132576B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | スラブ形固体レーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10768591A JP3132576B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | スラブ形固体レーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336479A JPH04336479A (ja) | 1992-11-24 |
| JP3132576B2 true JP3132576B2 (ja) | 2001-02-05 |
Family
ID=14465374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10768591A Expired - Fee Related JP3132576B2 (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | スラブ形固体レーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3132576B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09214024A (ja) * | 1996-02-02 | 1997-08-15 | Fanuc Ltd | 固体レーザ発振装置 |
| JPH10215013A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
| EP1168532A1 (de) * | 2000-06-23 | 2002-01-02 | Universität Bern | Verfahren zur Kompensation thermisch optischer Effekte |
| JP5349757B2 (ja) * | 2007-01-22 | 2013-11-20 | 株式会社メガオプト | 固体レーザー発振装置 |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP10768591A patent/JP3132576B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04336479A (ja) | 1992-11-24 |
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