JP3136073B2

JP3136073B2 - 振動体の振動検出装置

Info

Publication number: JP3136073B2
Application number: JP07122728A
Authority: JP
Inventors: 山中　　浩; 滋牧野; 雅喜井上; 卓也中谷
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1994-05-24
Filing date: 1995-05-22
Publication date: 2001-02-19
Anticipated expiration: 2016-02-19
Also published as: JPH0843186A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、振動体の振動を減衰さ
せることなく、６自由度の振動を検出するための振動体
の振動検出装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から特公平３ー１１４１７号公報に
より振動体の振動を検出するための装置が知られてい
る。この従来例のものは、図１７に示すように、基台３
０に固定台３１を固定し、基台３０に対して可動台３２
をシリンダ３３により移動自在とし、固定台３１及び可
動台３２に設けた振動体受けゴム３４によりモータのよ
うな振動体１を弾性的に保持し、電源供給手段２０を振
動体１に接続して電圧を印加することでモータのような
振動体１を振動させ、振動体１に対して非接触状態とな
るように振動体受けゴム３４により支持された非接触振
動センサ３５により振動体１の振動を検出するようにし
ていた。そして、振動体受けゴム３４により振動体１を
保持するに当たり、耐磨耗性を上げるために図１７のよ
うに金属板３６を介在していた。また、従来例にあって
は、振動体１の振動を減衰させない目的でシリンダ３３
による保持力を弱くした状態で振動体１の振動を検出す
るようにしていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例にあって
は、金属板３６があるため、３次元的に６自由度で振動
している振動体１の６自由度全てに対して振動を減衰す
ることができず、正確に測定できないという問題があっ
た。また、非接触振動センサ３５をゴムで支持してある
ので、非接触振動センサ３５の位置が正確に決まらず、
更に非接触振動センサ３５は振動体１の影響を受けてし
まい振動体１の正確な振動検出ができないという問題が
あった。また、振動体１を振動体受けゴム３４で直接支
持しているため振動体受けゴム３４の損傷が発生しやす
く、振動体１の保持力の変化が振動現象に影響を与え、
装置の性能維持が非常に困難になるという問題があっ
た。

【０００４】本発明は上記の従来例の問題点に鑑みて発
明したものであって、その目的とするところは、振動体
の振動を減衰させることなく、しかも正確に検出するこ
とができ、また、振動体を直接緩衝材で支持しないの
で、緩衝材が損傷しにくい振動体の振動検出装置を提供
するにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の従来例の問題点を
解決して本発明の目的を達成するため、本発明の振動体
の振動検出装置は、治具４に振動体１を保持する保持手
段２と振動体１の振動検出手段３とを備え、保持手段２
を対向する支持リブ９と、一方の支持リブ９に設けた可
動板１０と、可動板１０を可動する手段とで形成して可
動板１０と対向する支持リブ９とで振動体１を支持する
とともに治具４に振動体１を支持した状態で振動体１の
重心と治具４の重心とが一致するように構成し、振動体
１の振動を検出するための振動検出手段３を治具４に備
えるに当たって振動体の６自由度の振動を検出するため
に直交座標の各軸方向に２個ずつ配置し、上記振動体１
を保持する保持手段２と振動体１の振動検出手段３を備
えた治具４を、基台に６自由度に揺動自在な緩衝材６を
介して支持して成ることを特徴とするものである。

【０００６】また、治具４に振動体を保持する保持手段
２と重心調整手段を備え、保持手段２を対向する支持リ
ブ９と、一方の支持リブ９に設けた可動板１０と、可動
板１０を可動する手段と、他方の支持リブ９に設けた移
動板２２と、移動板２２を移動する手段とで形成して可
動板１０と移動板２２とで振動体１を支持するように構
成し、重心調整手段を、振動体１を保持しない状態で治
具４を水平に調整するための第１の重心調整手段２１ａ
と、水平にした治具４に振動体１を保持するに当たって
振動体１を保持した状態で水平に調整するための第２の
重心調整手段２１ｂとで構成し、保持手段２と重心調整
手段を備えた治具４を基台５に６自由度に揺動自在な緩
衝材６を介して支持し、治具４と離れた位置に振動体の
６自由度の振動を検出するために直交座標の各軸方向に
振動検出手段３を２個ずつ配置して成る構成とすること
も好ましい。

【０００７】振動体１の保持手段２を駆動する駆動手段
７を治具４とは独立させて基台に配置することも好まし
い。また、振動体１の振動検出時を除いて治具４の振動
を阻止するロック手段８を設けることも好ましい。

【０００８】また、保持手段２とロック手段８とを駆動
可能な駆動手段７を設けることも好ましい。また、可動
板１０を駆動するシリンダ１１を備えることも好まし
い。

【０００９】また、治具４に加振手段１２を設けること
も好ましい。また、治具４の位置を検出する位置検出手
段１３を設けることも好ましい。また、振動体１の振動
と治具４の位置とを検出可能な検出手段を設けることも
好ましい。また、振動体１の動力供給手段を治具４に設
けることも好ましい。

【００１０】また、治具４に、治具４の外部からインパ
ルス状の加振を行うための外部加振手段４０を設けるこ
とも好ましい。また、駆動手段７を移動する移動手段４
３を備え、ロック手段８が駆動手段７や移動手段４３と
は分離されると共に該ロック手段８が、少なくとも複数
のピン６０により構成され、該複数のピン６０を治具４
のロックピン挿入孔６１に挿入自在とすると共に複数の
ピン６０をロックピン挿入孔６１に挿入した状態で治具
４を３次元的に位置決めすることも好ましい。

【００１１】また、治具４に取付ける加振手段１２が１
軸加振器１２ａであって、該１軸加振器１２ａを加振方
向が振動検出手段３をそれぞれ配置した直交座標軸の各
軸方向のいずれとも平行とならないように治具４に取付
けることも好ましい。また、１軸加振器１２ａによる治
具４への加振方向を調整自在とした加振方向調整手段を
設けることも好ましい。

【００１２】また、１軸加振器１２ａを振動させるため
の加振周波数を可変可能な波形発生器４１を設けること
も好ましい。また、１軸加振器１２ａを振動させるため
の複数の加振周波数を発生させることができる波形発生
器４１を設けることも好ましい。また、加振手段１２が
ボイスコイルモータであることも好ましい。

【００１３】

【作用】上記のような構成の本発明によれば、治具４に
振動体１を保持する保持手段２と振動体１の振動検出手
段３とを備え、保持手段２を対向する支持リブ９と、一
方の支持リブ９に設けた可動板１０と、可動板１０を可
動する手段とで形成して可動板１０と対向する支持リブ
９とで振動体１を支持するとともに治具４に振動体１を
支持した状態で振動体１の重心と治具４の重心とが一致
するように構成し、振動体１の振動を検出するための振
動検出手段３を治具４に備えるに当たって振動体の６自
由度の振動を検出するために直交座標の各軸方向に２個
ずつ配置し、上記振動体１を保持する保持手段２と振動
体１の振動検出手段３を備えた治具４を、基台に６自由
度に揺動自在な緩衝材６を介して支持してあることで、
振動体１を振動させると、振動体１と治具４とが一体に
振動し、治具４に固定されている振動検出手段３により
振動が減衰されることなく、各軸方向に配置された２個
の振動検出手段３の出力値の間で演算を施し、振動体１
の直交座標軸回り及び直交座標軸回りの回転方向の振動
を検出することができて振動体１の６自由度の振動を検
出することができる。

【００１４】また、治具４に振動体を保持する保持手段
２と重心調整手段を備え、保持手段２を対向する支持リ
ブ９と、一方の支持リブ９に設けた可動板１０と、可動
板１０を可動する手段と、他方の支持リブ９に設けた移
動板２２と、移動板２２を移動する手段とで形成して可
動板１０と移動板２２とで振動体１を支持するように構
成し、重心調整手段を、振動体１を保持しない状態で治
具４を水平に調整するための第１の重心調整手段２１ａ
と、水平にした治具４に振動体１を保持するに当たって
振動体１を保持した状態で水平に調整するための第２の
重心調整手段２１ｂとで構成し、保持手段２と重心調整
手段を備えた治具４を基台５に６自由度に揺動自在な緩
衝材６を介して支持し、治具４と離れた位置に振動体の
６自由度の振動を検出するために直交座標の各軸方向に
振動検出手段３を２個ずつ配置したものにおいては、第
１の重心調整手段２１ａ、第２の重心調整手段２１ｂを
調整することで、治具４の重心の水平面における位置と
振動体１の重心の水平面における位置とを水平面視にお
いて一致させることができ、この状態で振動体１を振動
させると、振動体１と治具４とが一体に振動し、治具４
から離れた位置に設けた振動検出手段３により振動が減
衰されることなく、各軸方向に配置された２個の振動検
出手段３の出力値の間で演算を施し、振動体１の直交座
標軸回り及び直交座標軸回りの回転方向の振動を検出す
ることができて正確に振動体１の６自由度の振動を検出
することができる。

【００１５】

【００１６】また、振動体１の保持手段２を駆動する駆
動手段７を治具４とは独立させて基台５に配置すること
で、緩衝材６で弾性支持される全ての質量を軽量化する
ことができ、振動体１の加振力に対する振動ゲインを大
きくすることができることになる。また、振動体１の振
動検出時を除いて治具４の振動を阻止するロック手段８
を設けるものにおいては、治具４への又は治具４からの
振動体１の着脱等による治具４の揺動を阻止でき、治具
４の位置決めを正確に行うことができる。

【００１７】また、保持手段２とロック手段８とを駆動
可能な駆動手段７を設けることで、駆動手段７の駆動に
より保持手段２による振動体１の保持又は保持解除を行
い、また、駆動手段７の駆動によりロック手段８による
ロック又はロック解除を行うものである。

【００１８】また、可動板１０を駆動するシリンダ１１
を備えることで、シリンダ１１を駆動して可動板１０を
可動することで振動体１の保持又は保持解除を行うもの
であって、振動体１の保持手段２への自動着脱ができる
ことになる。

【００１９】また、治具４に加振手段１２を設けること
で、緩衝材６の特性変化による装置の性能変化を検出す
ることができる。つまり、加振力の基準となる基準加振
手段を設けて、一定の加振力を発生させたときの振動を
検出し、正常時の値と比較することで、装置の異常をチ
ェックできることになる。また、治具４の位置を検出す
る位置検出手段１３を設けることで、緩衝材６の特性変
化による装置の性能変化を検出することができる。つま
り、治具４の初期位置を検出し、正常時の値と比較して
性能変化を検出することができる。ここで、振動体１の
振動と治具４の位置とを検出可能な検出手段を設ける
と、該検出手段が振動体１の振動検出手段３と装置の性
能変化を検出するための治具４の位置を検出する位置検
出手段１３とを兼用することができて構成が簡略化され
る。

【００２０】また、振動体１の動力供給手段を治具４に
設けることで、振動体１に他の振動系を結合させなくて
よい。また、治具４に、治具４の外部からインパルス状
の加振を行うための外部加振手段４０を設けることで、
治具４の特性が、振動体１の振動検査時と同じ状態で外
部加振手段４０で加振してチェックができることにな
る。そして、外部加振手段４０により治具４に常に一定
の加振力を与えて治具４の特性チェックができるもので
ある。

【００２１】また、駆動手段７を移動する移動手段４３
を備え、ロック手段８が駆動手段７や移動手段４３とは
分離されると共に該ロック手段８が、少なくとも複数の
ピン６０により構成され、該複数のピン６０を治具４の
ロックピン挿入孔６１に挿入自在とすると共に複数のピ
ン６０をロックピン挿入孔６１に挿入した状態で治具４
を３次元的に位置決めすることで、ピン６０の挿入とい
う簡単な構成で治具４を３次元的に位置決めすることが
でき、また、振動体１の振動検査時に振動体１の振動に
より治具４が駆動手段７に接触することなく正確な検査
が可能となるものである。

【００２２】また、治具４に取付ける加振手段１２が１
軸加振器１２ａであって、該１軸加振器１２ａを加振方
向が振動検出手段３をそれぞれ配置した直交座標軸の各
軸方向のいずれとも平行とならないように治具４に取付
けることで、治具４の特性チェックを６方向同時に行う
ことができるものである。また、１軸加振器１２ａによ
る治具４への加振方向を調整自在とした加振方向調整手
段を設けることで、６方向全てに均等に加振力を分散さ
せることが容易に行えることになる。

【００２３】また、１軸加振器１２ａを振動させるため
の加振周波数を可変可能な波形発生器４１を設けること
で、治具４の周波数特性をチェックすることができるこ
とになる。また、１軸加振器１２ａを振動させるための
複数の加振周波数を発生させることができる波形発生器
４１を設けることで、治具４の周波数特性を効率的にチ
ェックできることになる。

【００２４】また、加振手段１２がボイスコイルモータ
であることで、入力電流に対して線形な加振力が発生で
きるために、加振周波数の設定が容易できることにな
る。

【００２５】

【実施例】以下、本発明を添付図面に示す実施例に基づ
いて詳述する。図１には本発明の振動体の振動検出装置
の一実施例が示してある。基台５には支柱１４が立設し
てあり、この基台５に設けた支柱１４に緩衝材６を介し
て治具４が６自由度に揺動自在に支持してある。治具４
には振動体１を保持する保持手段２と、振動体１の振動
を検出するための振動検出手段３と、振動体１への動力
供給手段である電源供給手段２０と、緩衝材６の特性変
化を検出するため基準加振手段となる加振手段１２が設
けてある。

【００２６】保持手段２は添付図面に示す実施例では対
向する支持リブ９と、一方の支持リブ９に設けた可動板
１０と、該可動板１０を可動する手段とで構成してあ
る。可動板１０は支持リブ９に移動自在に貫通した可動
体１５の先端部に設けてあり、可動板１０と支持リブ９
との間にばね材１６を介在させて該ばね材１６により可
動板１０を対向する支持リブ９側（図２において矢印イ
側）へ弾性的に押圧していて、可動板１０と対向する支
持リブ９とで振動体１を支持するようになっている。支
持リブ９には軸支部１７が設けてあり、軸支部１７にベ
ルクランク１８の支点となる軸１９が軸支してあり、治
具４から離れて配置された駆動手段７を構成するシリン
ダ１１によりベルクランク１８に作用力を加えること
で、ばね材１６のばね力に抗して先端に可動板１０を有
する可動体１５を図２の矢印ロ側へ移動するようになっ
ている。また、可動板１０には電源供給手段２０が設け
てある。

【００２７】振動体１の振動を検出するための振動検出
手段３は、図３の説明図に示すように直交座標の各軸方
向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向）に２個ずつ配置してある。
すなわち、Ｘ軸方向に振動検出手段３として振動検出手
段３ｘ₁、３ｘ₂を配置し、Ｙ軸方向に振動検出手段３
として振動検出手段３ｙ₁、３ｙ₂を配置し、Ｚ軸方向
に振動検出手段３として振動検出手段３ｚ₁、３ｚ₂を
配置してあり、各軸方向に配置された２個の振動検出手
段３の出力値の間で演算をして、振動体１の６自由度の
振動、つまり、振動体１の直交座標軸方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ
方向）及び直交座標軸回りの回転方向（θｘ、θｙ、θ
ｚ方向）の振動を検出するようになっている。ここで、
検出される振動は振動変位、振動速度、振動加速度のい
ずれでもよい。

【００２８】本発明においては治具４に振動体１を保持
させた場合、振動体１の重心と治具４の重心とを一致さ
せるように設定してある。そして、治具４を基台５に６
自由度に揺動自在に支持する緩衝材６は例えば、図４に
示すように弾性係数ｋ₁のばね材６ａ₁と、弾性係数ｋ₁
のばね材６ａ₂と、弾性係数ｋ₂のばね材６ｂ₁と、弾性
係数ｋ₂のばね材６ｂ₂とで緩衝材６が構成してあり、振
動体１とこれを支持している治具４の全質量の重心Ｇを
通る重心軸をＹ軸方向とした場合、Ｙ軸方向にはばね材
６ａ₁とばね材６ａ₂の弾性軸が一致するように設定して
ある。ここで、ばね材６ａ₁とばね材６ａ₂との弾性係数
はいずれもｋ₁、ばね材６ｂ₁とばね材６ｂ₂の弾性係数
はいずれもｋ₂に設定してある。

【００２９】基台５には、更に治具４とは独立させて、
振動体１の保持手段２を駆動する駆動手段７（実施例で
はシリンダ１１）と、ロック手段８とが設けてある。駆
動手段７と、ロック手段８とは保持手段２により振動体
１を保持している状態では治具４と完全に振動絶縁され
た状態となっている。駆動手段７を構成するシリンダ１
１が下降している時は、図１に示すようにベルクランク
１８とシリンダ１１とは非接触の状態であり、また、ロ
ック手段８と治具４とは非接触であり、治具４は緩衝材
６によってのみ基台５に支持され、ばね材１６により可
動板１０が対向する支持リブ９側に押圧されていて、こ
の状態が保持手段２により振動体１を保持して振動検出
を行う状態である。一方、駆動手段７を構成するシリン
ダ１１を駆動して上昇させてベルクランク１８を上方に
押し上げ、これにより支持リブ９を介して治具４が上方
に押し上げられ、図１に示す隙間ｓが０となった時点
で、つまり、治具４がロック手段８に押し付けられた状
態でロック手段８により治具４がロックされる。ここ
で、更に駆動手段７を構成するシリンダ１１がベルクラ
ンプ１８を上方に押し上げると、ばね材１６のばね力に
抗して可動体１５を図２矢印ロ方向に移動させ、可動板
１０と対向する支持リブ９との間の隙間を広げる（つま
り保持手段２を開放状態にする）ようになっている。

【００３０】次に、上記のような構成の振動体の振動検
出装置の動作につき説明する。振動体１が任意の運搬手
段により治具４上にセットされる。この時、駆動手段７
を駆動して治具４が上昇させられて、図１の隙間ｓが０
となって、ロック手段８により治具４がロックされて固
定され、同時にばね材１６のばね力に抗して保持手段２
が開放状態となっている。次に、駆動手段７を逆方向に
動作させる。すると、ばね材１６のばね力で可動板１０
が移動して保持手段２が閉じ、保持手段２により振動体
１が完全に治具４に固定され、同時にロック手段８が解
除され、また、電源供給手段２０が振動体１の電極に接
触し、振動体１に電圧が供給される。そして、運搬手段
が外れ、治具４は基台５に緩衝材６を介してのみ支持さ
れていて６自由度に揺動可能な状態となっている。続い
て、６個の振動検出手段３により同時に各点の振動を検
出し、演算を施して６自由度の振動を算出する。振動検
出が完了すると、再び駆動手段７を動作させて、ロック
手段８により治具４を固定し、保持手段２を開放し、振
動体１を運搬手段により治具４から外す。ここで、駆動
手段７の駆動はパソコン等によりコントロールすること
で振動体１の自動着脱を行うものである。以上の動作を
繰り返し、自動的に振動体１の６自由度の振動を検出す
る。ここで、求めた振動体１の６自由度の振動から特徴
抽出を行い。それにより振動体１の良否の判定を行うこ
ともできる。この場合の振動体１の良否の判定に当たっ
ては、例えば、本出願人がすでに出願している特願平５
ー５９６８号に示したような方法が採用できる。なお、
振動体１としては例えばモータを挙げることができる。

【００３１】ところで、本実施例においては、振動検出
装置性能を維持するための手段として、緩衝材６の特性
変化を検出するため基準加振手段となる加振手段１２が
設けてある。この基準加振手段となる加振手段１２によ
り既知の加振力を治具４に与え、その時の振動検出手段
３の出力値を正常時の値と比較して装置の異常をチェッ
クするようになっている。

【００３２】次に、本発明の他の実施例を図５に基づい
て詳述する。基台５には支柱１４が立設してあり、この
基台５に設けた支柱１４に緩衝材６を介して治具４が６
自由度自在に揺動自在に支持してある。治具４には振動
体１を保持する保持手段２と、重心調整手段２１が設け
てある。本実施例においては、振動体１の重心と治具４
の重心とを一致させるようにしてある。

【００３３】保持手段２は添付図面に示す実施例では対
向する支持リブ９と、一方の支持リブ９に設けた可動板
１０と、該可動板１０を可動する手段と、他方の支持リ
ブ９に設けた移動自在な移動板２２と、移動板２２を移
動する手段とで構成してある。可動板１０は支持リブ９
に移動自在に貫通した可動体１５の先端部に設けてあ
り、可動板１０と支持リブ９との間にばね材１６を介在
させて該ばね材１６により可動板１０を対向する支持リ
ブ９側（図５において矢印イ側）へ弾性的に押圧してい
て、可動板１０と対向する支持リブ９とで振動体１を支
持するようになっている。支持リブ９には軸支部１７が
設けてあり軸支部１７にベルクランク１８の支点となる
軸１９が軸支してあり、治具４から離れて配置された駆
動手段７を構成するシリンダ１１によりベルクランク１
８に作用力を加えることで、ばね材１６のばね力に抗し
て先端に可動板１０を有する可動体１５を図５の矢印ロ
側へ移動するようになっている。また、可動板１０には
電源供給手段２０が設けてある。移動板２２は例えば支
持リブ９に螺挿した横向きのねじ棒２３の先端部に設け
てあり、ねじ棒２３を何らかの手段で回転することで移
動板２２の位置をねじ棒２３の軸方向に移動できるよう
になっている。つまり、振動体１は可動板１０と移動板
２２とで挟持されるのであるが、ねじ棒２３を回転して
移動板２２の位置を変えることで振動体１の保持位置を
ねじ棒２３の軸方向において調整できるようになってい
る。

【００３４】治具４には重心調整手段２１が設けてあ
る。重心調整手段２１は第１の重心調整手段２１ａと、
第２の重心調整手段２１ｂとで構成してある。第１の重
心調整手段２１ａは治具４の左右両側の前後部に縦向き
のねじ棒２４を４本立設し、各縦向きのねじ棒２４に荷
重となる重り２５を螺合して構成してあり、治具４に振
動体１をセットしない状態で、重り２５を上下方向に移
動調整することで治具４の重心位置を調整する。ここ
で、実施例では第１の重心調整手段２１ａを調整して水
平にしている。また、第２の重心調整手段２１ｂはすで
に説明した移動板２２を横方向に移動するための横方向
のねじ棒２３により構成してあり、治具４の保持手段２
に振動体１を保持した状態で、第２の重心調整手段２１
ｂであるねじ棒２３を回転して支持リブ９に対して移動
することで、移動板２２のねじ棒２３の軸方向の位置を
微調整し、これにより移動板２２と可動板１０とで振動
体１を保持した治具４が水平になるように調整し、これ
により実施例では振動体１の重心の水平面における位置
と、治具４の重心の水平面における位置とを水平面視に
おいて一致させることができるようにしてある。このよ
うに第１の重心調整手段２１ａと第２の重心位置調整手
段２１ｂを調整することで、振動体１の重心の水平面に
おける位置と治具４の重心の水平面における位置とを水
平面視において一致させることができるようになってい
る。

【００３５】本実施例においては、振動体１の振動を検
出するための振動検出手段３は治具４とは独立させて設
けてある。すなわち、基台５から複数の支持部２６を立
設し、該支持部２６に振動検出手段３を設けてあり、こ
の振動検出手段３は治具４とは非接触の非接触式位置検
出センサにより構成してある。この実施例においても、
振動体１の振動を検出するための振動検出手段３は、図
３の説明図に示すように直交座標の各軸方向（Ｘ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸方向）に２個ずつ配置してある。すなわち、Ｘ
軸方向に振動検出手段３として振動検出手段３ｘ₁、３
ｘ₂を配置し、Ｙ軸方向に振動検出手段３として振動検
出手段３ｙ₁、３ｙ₂を配置し、Ｚ軸方向に振動検出手
段３として振動検出手段３ｚ₁、３ｚ₂を配置してあ
り、各軸方向に配置された２個の振動検出手段３の出力
値の間で演算をして、振動体１の６自由度の振動、つま
り、振動体１の直交座標軸方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ方向）及び
直交座標軸回りの回転方向（θｘ、θｙ、θｚ方向）の
振動を検出するようになっている。ここで、検出される
振動は振動変位、振動速度、振動加速度のいずれでもよ
い。

【００３６】基台５には、更に治具４とは独立させて、
振動体１の保持手段２を駆動する駆動手段７（実施例で
はシリンダ１１）と、ロック手段８とが設けてある。駆
動手段７と、ロック手段８とは保持手段２により振動体
１を保持している状態では治具４と完全に振動絶縁され
た状態となっている。駆動手段７を構成するシリンダ１
１が下降している時は、図５に示すようにベルクランク
１８とシリンダ１１とは非接触の状態であり、また、ロ
ック手段８と治具４とは非接触であり、治具４は緩衝材
６によってのみ基台５に支持され、ばね材１６により可
動板１０が対向する移動板２２側に押圧されていて、こ
の状態が保持手段２により振動体１を保持して振動検出
を行う状態である。一方、駆動手段７を構成するシリン
ダ１１を駆動して上昇させてベルクランク１８を上方に
押し上げ、これにより支持リブ９を介して治具４が上方
に押し上げられ、治具４がロック手段８に押し付けられ
た状態でロック手段８により治具４がロックされる。こ
こで、更に駆動手段７を構成するシリンダ１１がベルク
ランプ１８を上方に押し上げると、ばね材１６のばね力
に抗して可動体１５を図５矢印ロ方向に移動させ、可動
板１０と対向する移動板２２との間の隙間を広げる（つ
まり保持手段２を開放状態にする）ようになっている。

【００３７】次に、上記のような構成の第２実施例にお
ける振動体の振動検出装置の動作につき説明する。ま
ず、振動体１をセットする前に第１の重心調整手段２１
ａにより治具４の重心の微調整をし、治具４を水平に調
整する。この状態で、駆動手段７を駆動して治具４が上
昇させられて、ロック手段８により治具４がロックされ
て固定され、同時にばね材１６のばね力に抗して保持手
段２が開放状態となる。この状態で振動体２１が任意の
運搬手段により治具４上にセットされる。次に、駆動手
段７を逆方向に動作させる。すると、ばね材１６のばね
力で可動板１０が移動して保持手段２が閉じ、保持手段
２により振動体１が完全に治具４に固定され、同時にロ
ック手段８が解除され、また、電源供給手段２０が振動
体１の電極に接触し、振動体１に電圧が供給される。そ
して、運搬手段が外れ、治具４は基台５に緩衝材６を介
してのみ支持されていて６自由度に揺動可能な状態とな
っている。次に、第２の重心調整手段２１ｂを調整し、
保持手段２により振動体１を保持した状態の治具４が水
平となるように調整する。これにより、治具４の重心の
水平面における位置と、振動体１の水平面における位置
とが水平面視で一致させることができる。この場合、第
１の重心調整手段２１ａにより水平にした治具４上に振
動体１をセットした場合、振動体１の重心の水平面にお
ける位置と治具４の重心の水平面における位置とが水平
面視で一致していないと、治具４が傾くことになるが、
上記のように、第２の重心調整手段２１ｂにより調整し
て振動体１をセットした状態の治具４を水平にすると、
振動体１の重心の水平面における位置と治具４の重心の
水平面における位置とが水平面視で一致することにな
る。続いて、６個の振動検出手段３により同時に各点の
振動を検出し、演算を施して６自由度の振動を算出す
る。振動検出が完了すると、再び駆動手段７を動作させ
て、ロック手段８により治具４を固定し、保持手段２を
開放し、振動体１を運搬手段により治具４から外す。こ
こで、駆動手段７の駆動はパソコン等によりコントロー
ルすることで振動体１の自動着脱を行うものである。以
上の動作を繰り返し、自動的に振動体１の６自由度の振
動を検出する。ここで、求めた振動体１の６自由度の振
動から特徴抽出を行い。それにより振動体１の良否の判
定を行うこともできる。この場合の振動体１の良否の判
定に当たっては、例えば、本出願人がすでに出願してい
る特願平５ー５９６８号に示したような方法が採用でき
る。

【００３８】

【００３９】ところで、本実施例における振動検出手段
３は振動体１の振動系に対して非接触式位置検出センサ
で構成してあり、振動体１の振動検出を行うだけでな
く、重心調整時の治具４の水平の目安とすると共に振動
体１をセットしない状態での治具４の初期位置を検出
し、正常時の値と比較して緩衝材６の劣化等による治具
４の位置ずれを検査する手段としても用いるものであ
る。

【００４０】次に、本発明の更に他の実施例を図６乃至
図１１に基づいて説明する。この実施例における振動検
出装置の構造は、振動体１を保持する保持手段２と、振
動を検出する振動検出手段３とを備えた治具４を、基台
５に６自由度に揺動自在な緩衝材６を介して支持し、更
に、保持手段２を駆動する駆動手段７と、駆動手段７を
上下方向に移動させる移動手段４３と、振動検出時以外
において治具４の揺動を阻止するロック手段８と、治具
４の特性変化を検出するための外部加振手段４０とで構
成してある。

【００４１】ここで、保持手段２は対向する支持リブ９
と、少なくとも一方の支持リブ９に設けた可動板１０
と、該可動板１０を可動する手段とで構成してある。可
動板１０は支持リブ９に移動自在に貫通した可動体１５
の先端部に設けてあり、可動板１０と支持リブ９との間
にばね材１６を介在させて該ばね材１６により可動板１
０を対向する支持リブ９側へ弾性的に押圧していて、可
動板１０と対向する支持リブ９とで振動体１を支持する
ようになっている。可動体１５の後端部には平面視コ字
状をしたコ字状係止部１５ａが設けてある。

【００４２】シリンダ装置４４の駆動ロッド４５の先端
部に係止突部４６を設けて駆動手段７が構成してあり、
該駆動手段７を構成するシリンダ装置４４は移動手段４
３により上下方向に移動自在となっている。シリンダ装
置４４が下降して係止突部４６がコ字状係止部１５ａよ
りも下方に位置している状態では駆動手段７と可動体１
５とは完全に縁が切れて分離している。そして、シリン
ダ装置４４を上昇させコ字状係止部１５ａ内にコ字状係
止部１５ａの下開口から係止突部４６を挿入し、この状
態でシリンダ装置４４を駆動してばね材１６に抗して可
動体１５を移動させるようになっている。このように駆
動手段７を移動手段４３により上下移動自在としてある
ことで、駆動手段７を下降させて振動体１を保持手段２
により保持している状態では、駆動手段７は完全に治具
４とは振動絶縁された状態となり、振動検出の信頼性向
上を図れるようになっている。また、駆動手段７を完全
に治具４と分離して独立した位置に設けることで治具４
の軽量化が図れるようになっている。

【００４３】振動検出時以外において治具４の揺動を阻
止するロック手段８は駆動手段７や移動手段４３とは分
離されて独立した位置に設けてある。このロック手段８
は複数のピン６０により構成してある。実施例では３本
のピン６０により構成してあり、治具４の前方又は後方
のいずれかに２個、いずれかに１個配置してあり、ピン
駆動手段６２により前後方向に移動自在となっており、
治具４の前面部及び後面部に設けたロックピン挿入孔６
１に挿入自在となっている。基台５の上面部に固着した
基板６３の上にピン６０を移動自在に挿通したピン支持
体６４が固定ボルト６５により固着してあり、また、基
板６３にはピン駆動手段６２を構成するシリンダ装置６
７が固定してある。ピン６０の後端部には係止突部６６
が設けてあり、シリンダ装置６７のロッド６８の先端に
はコ字状係止部６９が設けてあり、コ字状係止部６９内
に係止突部６６が上下移動自在にはめ込んである。ピン
支持体６４にはピン挿入角度調整手段７０が設けてあ
る。ピン角度調整手段７０は図８乃至図１０の実施例で
は左右及び前後に少なくとも３個以上のボルト７１を螺
挿して構成してある。つまり上記各ボルト７１はピン支
持体６４に設けた雌ねじ部に螺合してある。そして、治
具４に設けた複数（実施例では３個）のロックピン挿入
孔６１に対して複数のピン６０がそれぞれ完全に一致し
ていなければこじてしまうため、上記ピン挿入角度調整
手段７０を用いてピン６０の挿入角度調整を行うことが
できるようにしてある。つまり、図８のようにピン支持
体６４を基板６３の上に載置した状態で固定ボルト６５
を締め付けて固定した状態からピン６０の挿入角度を調
整するには、まず固定ボルト６５を緩め、この状態でボ
ルト７１を回転してボルト７１の下端部をピン支持体６
４から突出させて基板６３に押し当てることで、図９の
ように、基板６３からピン支持体６４を浮かせ、ピン６
０の高さを調整し、この状態で固定ボルト６５を固定し
たり、あるいは、図１０のように、複数のボルト７１の
ピン支持体６４から下方への突出長さをそれぞれ異なら
せることでピン６０を傾けると共に傾き角度を調整して
この状態で固定ボルト６５により固定したりする。図８
の状態から図９、図１０の状態に調整しても、係止突部
６６はコ字状係止部６９内で上下に移動するのみで係止
状態は確保されものであり、ピン駆動手段６７によるピ
ン６０の駆動に支障がないようになっている。

【００４４】外部加振手段４０は治具４とは完全に離れ
た位置に配置してあり、治具４の外部から治具４に対し
てインパルス状の加振（衝撃的な加振）を行い、治具４
の特性変化を検出する時に用いる。インパルス状加振と
は、下記の数１に示す式で表された波形で加振すること
をいう。

【００４５】

【数１】

【００４６】そして、上記の数１で示す式で表された波
形で加振する特徴として、図１１（ａ）に示すような周
波数成分、すなわち全ての周波数をほぼ同程度（完全な
インパルス波形で全く同じだけ）含んでおり、インパル
ス加振による治具４の振動を観測することにより治具４
の低周波域から高周波域までの周波数特性が短時間に解
析できる。この時、インパルス加振力を毎回一定の大き
さで治具４に与えることが困難であるため、加振力を正
規化することが必要となる。また、外部加振手段４０の
衝突部４０ａに用いる材質により加振力の周波数を調整
することができる。例えば、高周波までの特性を調べる
必要がない場合には樹脂材質を用いることにより、図１
１（ｂ）に示すような周波数を含む加振力を与えること
ができる。これに対し金属材質を用いることで図１１
（ｃ）に示すような周波数を含む加振力を与えることが
でき、高周波までの周波数特性がわかる。次に、本実施
例の動作を説明する。まず、３箇所のロック手段８を構
成するピン６０を治具４に設けたロックピン挿入孔６１
に挿入して治具４を３次元的に位置決めして固定する。
すなわち、この実施例では図６において３個のピン６０
をロックピン挿入孔６１に挿入することで、ピン６０の
軸方向と直交する２方向位置決めがされるとともに、ピ
ン６０に段部６０ａを設けてあることで、該段部６０ａ
がロックピン挿入孔６１の縁に当たってピン６０の軸方
向の位置決めがされ、結果的に治具４を３次元的に動か
ないように位置決め固定する。このように治具４の位置
決め固定をロック手段８により行った後、移動手段４３
で駆動手段７を図６のＡ位置に移動させ、係止突部４６
をコ字状係止部１５ａ内に挿入し、この状態で駆動手段
７を駆動して保持手段２を引っ張ってクランプを解除す
る。このクランプ解除状態で治具４に振動体１を何らか
の運搬手段により運搬しててセットし、セットが完了す
ると、駆動手段７を上記とは逆に駆動して保持手段２に
より振動体１をクランプして保持する。その後、移動手
段４３により駆動手段７を図６のＢ位置まで移動し、ま
た、ロック手段８による治具４のロックを解除する。こ
れにより治具４は完全に基台５とは振動絶縁された状態
となる（この状態を振動検出可能状態と言う）。この振
動検出可能状態で振動検出手段３により治具４の振動を
検出した後、再びロック手段８、移動手段４３、駆動手
段７をそれぞれ動作し、運搬手段により振動体１を治具
４から取り外す。以後、以上の動作を繰り返し、自動的
に振動体１の６自由度の振動を検出する。

【００４７】次に外部加振手段４０による治具４の特性
変化検出方法につき説明する。まず、振動体１を治具４
にセットして振動検出可能状態として、外部加振手段４
０により治具４にインパルス波形で加振する。加振後の
治具４の振動を６個の振動検出手段３で検出し、演算に
より６自由度の振動方向別振動に分け、インパルス応答
波形を観測する。この応答波形を周波数分析することに
より治具４の６自由度の各方向別に周波数特性を観測す
ることがでる。この結果を正常時のものと比較すること
で現在の治具４の特性変化を検出する。

【００４８】次に、本発明の更に他の実施例につき説明
する。本実施例の振動体の振動検出装置の構成は、前述
の図６乃至図１０に示す実施例の構成と同じであるが、
本実施例では治具４の特性変化検出をするための加振手
段１２の構成に特徴がある。つまり、本実施例の加振手
段１２は治具４に既知の振動を与えることが可能な基準
加振手段であり、該加振手段１２は１軸加振器１２ａで
あって、該１軸加振器１２ａを加振方向が振動検出手段
３をそれぞれ配置した直交座標軸のいずれとも平行とな
らないように治具４に取付ける点に特徴がある。

【００４９】１軸加振器１２ａは１方向のみ加振可能な
加振器であり、１軸加振器１２ａを保持した加振器保持
手段８０が治具４に取付けてある。加振器保持手段８０
は治具４に設けた保持手段２により挟持して保持される
下台部８１の上に図１３に示すように上台部８２を取付
け、上台部８２に１軸加振器１２ａを取付けるための取
付け部８３が設けて構成してある。そして、図１５に示
すように取付け部８３に１軸加振器１２ａを取付ける。
図１５のように取付け部８３に１軸加振器１２ａを取付
けた状態で、１軸加振器１２ａの加振方向は図１３の直
交座標軸の各軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向）に対して
いずれも平行とならないように設定してある。したがっ
て、保持手段２により下台部８１を保持した状態で、１
軸加振器１２ａにより１方向にのみ加振した場合、治具
４に対して直交座標軸直交座標軸の各軸方向（Ｘ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸方向）及びその回りの回転方向（θｘ、θｙ、
θｚ）への加振が可能な構造となっている。なお、上記
直交座標軸の各軸方向（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向）にはす
でに最初の実施例で述べたように２個ずつの振動検出手
段３が配置してある。

【００５０】ここで、上台部８２には図１４（ａ）
（ｂ）（ｃ）に示すように取付け部８３となる孔部を傾
斜して設け、更に該上台部８２の下面部に２個のねじ孔
８４が設けてあり、一方、下台部８１には図１４（ｄ）
（ｅ）（ｆ）に示すように１個の軸孔８５ａと１個の断
面弧状をした長孔８５ｂとが設けてある。そして、下台
部８１に図１３に示すように上台部８２を載置し、軸孔
８５ａに挿入したボルト（図示せず）を上台部８２の１
方のねじ孔８４に螺合し、長孔８５ｂに挿入したボルト
（図示せず）を他方のねじ孔８４に螺合して下台部８１
に上台部８２を取付けてあり、この場合、長孔８５ｂ内
でボルトをスライドして位置決めした状態で螺合するこ
とで、治具４に対する１軸加振器１２ａの加振方向を調
整し、なるべくどの方向へも均等な加振となるように調
整できるようにしてある。

【００５１】１軸加振器１２ａには波形発生器４１から
動力が供給されるものであり、８６は波形発生器４１の
出力を増幅するアンプである。波形発生器４１は、例え
ば三角関数のサイン波を発生させる機能を持ち、これに
より１軸加振器１２ａは振動を発生するが、１軸加振器
１２ａとしてボイスコイルモータ内蔵のものを用いるこ
とで、波形発生器４１で出力される信号と同一の周波数
の振動を発生するため、加振周波数が容易にわかる利点
がある。図１６に加振手段１２としてボイスコイルモー
タ内蔵の１軸加振器１２ａを示す。これは固定部８７
と、固定部８７に固定された永久磁石８８と、コイル８
９と、コイル８９を固定部８７に対して１方向にスムー
ズに運動させるためのリニアガイド９０とから構成され
ており、アンプ８６から供給される電流に比例した電磁
力がコイルに働き、リニアガイド９０で強制された方向
にコイルが運動し、それにより振動を発生する仕組みと
なっている。波形発生器４１が出力する信号の周波数を
変動できる機能を有するものを用いると、治具４の周波
数別の特性が観測できる。更に、波形発生器４１が複数
の周波数を含む波形を出力可能な機能を有するものを用
いると、上記周波数別の治具４の特性が非常に効率的に
求められることになる。

【００５２】次に、本実施例の動作につき説明する。ま
ず、基準加振手段である加振手段１２を構成する１軸加
振器１２ａを上台部８２の取付け部８３に取付ける。そ
して、治具４に設けた保持手段２を開いて下台部８１を
保持手段２にセットして保持手段２を閉じる。その後本
実施例を前述の実施例で述べた振動検出可能状態とし
て、基準加振手段である１軸加振器１２ａに波形発生器
４１の出力信号を入力して治具４を加振する。この時、
加振手段１２が１方向のみに加振可能なボイスコイルモ
ータ内蔵の１軸加振器１２ａであっても、１軸加振器１
２ａを保持手段２に取付けた状態では前述のように治具
４に対してそれぞれ振動検出手段３を配置した直交座標
軸のどの軸方向に対しても平行とならないように取付け
られるものであり、このため、６方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ
ｘ、θｙ、θｚ）に加振することができることとなる。
ここで、図１４のような構成としてあることで、治具４
の加振方向を調整して各方向の加振を調整し、なるべく
どの方向にも均等となるように調整するのが好ましい。

【００５３】この基準加振手段である加振手段１２によ
る治具４への振動を振動検出手段３により検出し、最初
の実施例で説明した方法で振動検出手段３の各検出出力
から治具４の６方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θｙ、θｚ）
の振動を算出し、加振入力の大きさに対する治具４の振
動の大きさを正常時の値と比較して、治具４の特性変化
を検出するのである。この時、加振周波数を変化させ、
各周波数に対する治具４の振動の大きさを観測すること
で治具４の周波数特性がわかり、より正確に治具４の特
性変化を検出することができる。更に、この時、波形発
生器４１として複数の周波数を含む波形を同時に出力可
能なものを用いれば、効率的に治具４の周波数特性を分
析することができるものである。

【００５４】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の発明にあって
は、上述のように、治具に振動体を保持する保持手段と
振動体の振動検出手段とを備え、保持手段を対向する支
持リブと、一方の支持リブに設けた可動板と、可動板を
可動する手段とで形成して可動板と対向する支持リブと
で振動体を支持するとともに治具に振動体を支持した状
態で振動体の重心と治具の重心とが一致するように構成
し、振動体の振動を検出するための振動検出手段を治具
に備えるに当たって振動体の６自由度の振動を検出する
ために直交座標の各軸方向に２個ずつ配置し、上記振動
体を保持する保持手段と振動体の振動検出手段を備えた
治具を、基台に６自由度に揺動自在な緩衝材を介して支
持してあるので、振動体と振動体を保持した治具とを完
全に固定し、一体となった系の振動を検出することにな
り、この結果、振動体の保持力の違いによる振動減衰率
への影響が無くなり、各軸方向に配置された２個の振動
検出手段の出力値の間で演算を施し、振動体の直交座標
軸回り及び直交座標軸回りの回転方向の振動を検出する
ことができて振動体の６自由度の振動を検出することが
できて振動体の正確な振動が検出できるものである。ま
た、治具の振動を検出することにより、振動体の着脱時
に振動検出手段を一旦駆動系から外す必要がなく、更
に、振動検出手段を弾性支持する必要もないため、正確
に振動体の振動が検出できるものである。

【００５５】また、請求項２記載の発明においては、治
具に振動体を保持する保持手段と重心調整手段を備え、
保持手段を対向する支持リブと、一方の支持リブに設け
た可動板と、可動板を可動する手段と、他方の支持リブ
に設けた移動板と、移動板を移動する手段とで形成して
可動板と移動板とで振動体を支持するように構成し、重
心調整手段を、振動体を保持しない状態で治具を水平に
調整するための第１の重心調整手段と、水平にした治具
に振動体を保持するに当たって振動体を保持した状態で
水平に調整するための第２の重心調整手段とで構成し、
保持手段と重心調整手段を備えた治具を基台に６自由度
に揺動自在な緩衝材を介して支持し、治具と離れた位置
に振動体の６自由度の振動を検出するために直交座標の
各軸方向に振動検出手段を２個ずつ配置してあるので、
第１の重心調整手段、第２の重心調整手段を調整するこ
とで、治具の重心の水平面における位置と振動体の重心
の水平面における位置とを水平面視において一致させる
ことができ、このように、治具の重心の水平面における
位置と振動体の重心の水平面における位置とを水平面視
において一致させて振動体と振動体を保持した治具とを
完全に固定し、一体となった系の振動を検出することに
なり、この結果、振動体の保持力の違いによる振動減衰
率への影響が無くなり、各軸方向に配置された２個の振
動検出手段の出力値の間で演算を施し、振動体の直交座
標軸回り及び直交座標軸回りの回転方向の振動を検出す
ることができて正確に振動体の６自由度の振動を検出す
ることができて振動体の正確な振動が検出できるもので
ある。また、治具と離れた位置に振動検出手段により治
具の振動を検出することにより、治具から離れた位置に
設けた振動検出手段により振動が減衰されることなく、
正確に振動体の振動が検出できるものである。

【００５６】

【００５７】

【００５８】また、請求項３記載の発明においては、請
求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、振動体
の保持手段を駆動する駆動手段を治具とは独立させて基
台に配置することで、緩衝材で弾性支持される全ての質
量を軽量化することができ、この結果、振動体の加振力
に対する振動ゲインを大きくすることができるものであ
る。

【００５９】また、請求項４記載の発明においては、請
求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、振動体
の振動検出時を除いて治具の振動を阻止するロック手段
を設けてあるので、振動体の振動検出時以外の治具の揺
動を阻止できて治具の位置決めを正確に行うことがで
き、生産性を向上することができるものである。

【００６０】また、請求項５記載の発明においては、請
求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、保持手
段とロック手段とを駆動可能な駆動手段を設けること
で、駆動手段の駆動により保持手段による振動体の保持
又は保持解除を行ったり、駆動手段の駆動によりロック
手段によるロック又はロック解除を行うことができ、装
置の機構が簡略化できるものである。

【００６１】また、請求項６記載の発明においては、請
求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、可動板
を駆動するシリンダとを備えることで、シリンダを駆動
して可動板を可動することで振動体の保持又は保持解除
を行うことができ、振動体の保持手段への自動着脱がで
きることになり、生産性が向上するものである。

【００６２】また、請求項７記載の発明においては、請
求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、治具に
加振手段を設けてあるので、緩衝材の特性変化による装
置の性能変化を検出してチェックでき、正確な振動検出
を可能とするものである。また、請求項８記載の発明に
おいては、請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加
えて、治具の位置を検出する位置検出手段を設けてある
ので、緩衝材の特性変化による装置の性能変化を検出し
てチェックでき、正確な振動検出を可能とするものであ
る。

【００６３】また、請求項９記載の発明においては、請
求項８記載の発明の効果に加えて、振動体の振動と治具
の位置とを検出可能な検出手段を設けてあるので、検出
手段が振動体の振動検出手段と装置の性能変化を検出す
るための治具の位置を検出する位置検出手段とを兼用で
きて装置の簡略化がはかれるものである。また、請求項
１０記載の発明においては、請求項１又は請求項２記載
の発明の効果に加えて、振動体の動力供給手段を治具に
設けてあるので、動力供給手段を弾性体で振動体に押し
付ける必要がなく、正確な振動が検出できるものであ
る。

【００６４】また、請求項１１記載の発明においては、
請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、治具
に、治具の外部からインパルス状の加振を行うための外
部加振手段を設けてあるので、治具の特性が振動体の検
査時と同じ状態（つまり振動体を保持手段で保持した状
態）でチェックできるものであって、より正確なチェッ
クが可能となり、また、一定の加振力を治具に与えるこ
とができるものである。

【００６５】また、請求項１２記載の発明においては、
請求項３又は請求項４記載の発明の効果に加えて、駆動
手段を移動する移動手段を備え、ロック手段が駆動手段
や移動手段とは分離されると共に該ロック手段が少なく
とも複数のピンにより構成され、該複数のピンを治具の
ロックピン挿入孔に挿入自在とすると共に複数のピンを
ロックピン挿入孔に挿入した状態で治具を３次元的に位
置決めしてあるので、振動体の検査時に振動体により治
具が駆動手段に接触することなく正確な検査が可能とな
り、また、治具の位置決めを３次元的に行うことが可能
となって、治具の位置決めが正確にできるものである。

【００６６】また、請求項１３記載の発明にあっては、
請求項７記載の発明の効果に加えて、治具に取付ける加
振手段が１軸加振器であって、該１軸加振器を加振方向
が振動検出手段をそれぞれ配置した直交座標軸の各軸方
向のいずれとも平行とならないように治具に取付けてあ
るので、治具の特性チェックが６方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ
ｘ、θｙ、θｚ）同時に行えるものである。

【００６７】また、請求項１４記載の発明にあっては、
請求項１３記載の発明の効果に加えて、１軸加振器によ
る治具への加振方向を調整自在とした加振方向調整手段
を設けてあるので、加振方向を調整できるために６方向
全てに均等に加振力を分散させることが容易にできるも
のである。また、請求項１５記載の発明にあっては、請
求項１３又は請求項１４記載の発明の効果に加えて、１
軸加振器を振動させるための加振周波数を可変可能な波
形発生器を設けてあるので、治具の周波数特性をチェッ
クすることができるものである。

【００６８】また、請求項１６記載の発明にあっては、
請求項１３乃至請求項１５のいずれかに記載の発明の効
果に加えて、１軸加振器を振動させるための複数の加振
周波数を発生させることができる波形発生器を設けてあ
るので、治具の周波数特性を効率的にチェックすること
ができるものである。また、請求項１７記載の発明にあ
っては、請求項１３乃至請求項１６のいずれかに記載の
発明の効果に加えて、加振手段がボイスコイルモータで
あるから入力電流に対して線形な加振力が発生できるこ
とになって、加振周波数の設定が容易にできるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の概略正面図である。

【図２】同上の可動板を駆動する機構を示す説明図であ
る。

【図３】同上の振動検出手段を直交座標の各軸方向（Ｘ
軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向）に２個ずつ配置することを説明す
る説明図である。

【図４】同上の緩衝材による支持の例を示す説明図であ
る。

【図５】本発明の他の実施例を示す概略正面図である。

【図６】本発明の更に他の実施例を示す概略正面図であ
る。

【図７】同上の概略平面図である。

【図８】同上のピンを支持したピン支持体の取付け状態
を示す図面で、（ａ）は概略側面図であり、（ｂ）は概
略正面図である。

【図９】同上のピンの位置調整を示す図面で、（ａ）は
概略側面図であり、（ｂ）は概略正面図である。

【図１０】同上のピンの位置調整を示す図面で、（ａ）
は概略側面図であり、（ｂ）は概略正面図である。

【図１１】（ａ）（ｂ）（ｃ）は同上の振動加速度レベ
ルと周波数の関係を示すグラフである。

【図１２】本発明の更に他の実施例を示す概略正面図で
ある。

【図１３】（ａ）は同上に用いる加振器保持手段の斜視
図であり、（ｂ）は他の方向から見た斜視図である。

【図１４】（ａ）（ｂ）（ｃ）はそれぞれ上台部の正面
図、側面図、下面図であり、（ｄ）（ｅ）（ｆ）はそれ
ぞれ下台部の正面図、側面図、下面図である。

【図１５】（ａ）は同上の加振器保持手段に１軸加振器
を取付けた状態の斜視図であり、（ｂ）は他の方向から
見た斜視図である。

【図１６】同上に用いるボイスコイルモータを用いた１
軸加振器の一部破断した正面図である。

【図１７】従来例を示す概略説明図である。

【符号の説明】

１振動体２保持手段３振動検出手段４治具５基台６緩衝材７駆動手段８ロック手段９支持リブ１０可動板１１シリンダ１２加振手段１２ａ１軸加振器１３位置検出手段４０外部加振手段４１波形発生器４３移動手段６０ピン６１ロックピン挿入孔

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中谷卓也大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株式会社内 (56)参考文献特公平３−11417（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01H 1/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】治具に振動体を保持する保持手段と振動
体の振動検出手段とを備え、保持手段を対向する支持リ
ブと、一方の支持リブに設けた可動板と、可動板を可動
する手段とで形成して可動板と対向する支持リブとで振
動体を支持するとともに治具に振動体を支持した状態で
振動体の重心と治具の重心とが一致するように構成し、
振動体の振動を検出するための振動検出手段を治具に備
えるに当たって振動体の６自由度の振動を検出するため
に直交座標の各軸方向に２個ずつ配置し、上記振動体を
保持する保持手段と振動体の振動検出手段を備えた治具
を、基台に６自由度に揺動自在な緩衝材を介して支持し
て成ることを特徴とする振動体の振動検出装置。
【請求項２】治具に振動体を保持する保持手段と重心
調整手段を備え、保持手段を対向する支持リブと、一方
の支持リブに設けた可動板と、可動板を可動する手段
と、他方の支持リブに設けた移動板と、移動板を移動す
る手段とで形成して可動板と移動板とで振動体を支持す
るように構成し、重心調整手段を、振動体を保持しない
状態で治具を水平に調整するための第１の重心調整手段
と、水平にした治具に振動体を保持するに当たって振動
体を保持した状態で水平に調整するための第２の重心調
整手段とで構成し、保持手段と重心調整手段を備えた治
具を基台に６自由度に揺動自在な緩衝材を介して支持
し、治具と離れた位置に振動体の６自由度の振動を検出
するために直交座標の各軸方向に振動検出手段を２個ず
つ配置して成ることを特徴とする振動体の振動検出装
置。
【請求項３】振動体の保持手段を駆動する駆動手段を
治具とは独立させて基台に配置して成ることを特徴とす
る請求項１又は請求項２記載の振動体の振動検出装置。
【請求項４】振動体の振動検出時を除いて治具の振動
を阻止するロック手段を設けて成ることを特徴とする請
求項１又は請求項２記載の振動体の振動検出装置。
【請求項５】保持手段とロック手段とを駆動可能な駆
動手段を設けて成ることを特徴とする請求項４記載の振
動体の振動検出装置。
【請求項６】可動板を駆動するシリンダを備えて成る
ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の振動体の
振動検出装置。
【請求項７】治具に加振手段を設けて成ることを特徴
とする請求項１又は請求項２記載の振動体の振動検出装
置。
【請求項８】治具の位置を検出する位置検出手段を設
けて成ることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の
振動体の振動検出装置。
【請求項９】振動体の振動と治具の位置とを検出可能
な検出手段を設けて成ることを特徴とする請求項８記載
の振動体の振動検出装置。
【請求項１０】振動体の動力供給手段を治具に設けて
成ることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の振動
体の振動検出装置。
【請求項１１】治具に、治具の外部からインパルス状
の加振を行うための外部加振手段を設けて成ることを特
徴とする請求項１又は請求項２記載の振動体の振動検出
装置。
【請求項１２】駆動手段を移動する移動手段を備え、
ロック手段が駆動手段や移動手段とは分離されると共に
該ロック手段が少なくとも複数のピンにより構成され、
該複数のピンを治具のロックピン挿入孔に挿入自在とす
ると共に複数のピンをロックピン挿入孔に挿入した状態
で治具を３次元的に位置決めして成ることを特徴とする
請求項３又は請求項４記載の振動体の振動検出装置。
【請求項１３】治具に取付ける加振手段が１軸加振器
であって、該１軸加振器を加振方向が振動検出手段をそ
れぞれ配置した直交座標軸の各軸方向のいずれとも平行
とならないように治具に取付けて成ることを特徴とする
請求項７記載の振動体の振動検出装置。
【請求項１４】１軸加振器による治具への加振方向を
調整自在とした加振方向調整手段を設けて成ることを特
徴とする請求項１３記載の振動体の振動検出装置。
【請求項１５】１軸加振器を振動させるための加振周
波数を可変可能な波形発生器を設けて成ることを特徴と
する請求項１３又は請求項１４記載の振動体の振動検出
装置。
【請求項１６】１軸加振器を振動させるための複数の
加振周波数を発生させることができる波形発生器を設け
て成ることを特徴とする請求項１３乃至請求項１５のい
ずれかに記載の振動体の振動検出装置。
【請求項１７】加振手段がボイスコイルモータである
ことを特徴とする請求項１３乃至請求項１６のいずれか
に記載の振動体の振動検出装置。