JP3140468B2 - Ｄｉｆａｒセンサー - Google Patents
ＤｉｆａｒセンサーInfo
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- JP3140468B2 JP3140468B2 JP09511740A JP51174097A JP3140468B2 JP 3140468 B2 JP3140468 B2 JP 3140468B2 JP 09511740 A JP09511740 A JP 09511740A JP 51174097 A JP51174097 A JP 51174097A JP 3140468 B2 JP3140468 B2 JP 3140468B2
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- Japan
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- sensor
- sensing element
- difar
- mass
- inertial mass
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01V—GEOPHYSICS; GRAVITATIONAL MEASUREMENTS; DETECTING MASSES OR OBJECTS; TAGS
- G01V1/00—Seismology; Seismic or acoustic prospecting or detecting
- G01V1/16—Receiving elements for seismic signals; Arrangements or adaptations of receiving elements
- G01V1/18—Receiving elements, e.g. seismometer, geophone or torque detectors, for localised single point measurements
- G01V1/186—Hydrophones
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S3/00—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received
- G01S3/80—Direction-finders for determining the direction from which infrasonic, sonic, ultrasonic or electromagnetic waves, or particle emission, not having a directional significance, are being received using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
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- Geology (AREA)
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- Geophysics (AREA)
- Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明は方向探知・照準定め（DIFAR）トランスジュ
ーサに関するものである。このトランスジューサは特に
ソノブイを含む水中用に適するが、地震用や空気伝送音
用にも使用できる。
ーサに関するものである。このトランスジューサは特に
ソノブイを含む水中用に適するが、地震用や空気伝送音
用にも使用できる。
DIFAR水中聴音器の如きDIFARセンサーは約20年間に亘
ってソノブイに使用されてきた。既知のDIFAR水中聴音
器は米国特許のUS−4928263号に記載されている。そこ
に記載されている水中聴音器は取付け素子を含む中空外
殻を含み、この取付け素子から慣性質量が比較的堅固な
吊り下げ装置によって吊り下げられる。取付け素子は典
型的には慣性質量の質量より数倍（しばしば10倍又はそ
れ以上）大きい質量をもつ。慣性質量は十字形様式に配
置された４個の上向きに延在しかつ圧電素子に掛合する
ピンをもち、前記圧電素子は取付け素子に対する慣性質
量の動揺を検出する。組み立て中、ねじ山付き調節器を
使用して、慣性質量と圧電素子間に作用する力を調節す
る。一旦、ねじ山付き調節器がセットされると、缶が取
付け素子の下側に堅固に締着されて、慣性質量を取り囲
み、オイルが缶内に導入される。更に、Ｏリングシール
が慣性質量と缶の間に設けられる。次いでこの構造は防
水性ハウジング内に密封される。既知のソノブイは比較
的構造が複雑である。
ってソノブイに使用されてきた。既知のDIFAR水中聴音
器は米国特許のUS−4928263号に記載されている。そこ
に記載されている水中聴音器は取付け素子を含む中空外
殻を含み、この取付け素子から慣性質量が比較的堅固な
吊り下げ装置によって吊り下げられる。取付け素子は典
型的には慣性質量の質量より数倍（しばしば10倍又はそ
れ以上）大きい質量をもつ。慣性質量は十字形様式に配
置された４個の上向きに延在しかつ圧電素子に掛合する
ピンをもち、前記圧電素子は取付け素子に対する慣性質
量の動揺を検出する。組み立て中、ねじ山付き調節器を
使用して、慣性質量と圧電素子間に作用する力を調節す
る。一旦、ねじ山付き調節器がセットされると、缶が取
付け素子の下側に堅固に締着されて、慣性質量を取り囲
み、オイルが缶内に導入される。更に、Ｏリングシール
が慣性質量と缶の間に設けられる。次いでこの構造は防
水性ハウジング内に密封される。既知のソノブイは比較
的構造が複雑である。
更に、ソノブイの表面に当たる圧力波は取付け素子と
慣性質量の相対運動を生ぜしめるために、防水性ハウジ
ングと取付け素子の両方を加速することが要求される。
慣性質量の相対運動を生ぜしめるために、防水性ハウジ
ングと取付け素子の両方を加速することが要求される。
本発明によれば、慣性質量と、感知素子と、複数のセ
ンサーとを含み、前記感知素子に周囲媒体が圧力を及ぼ
し、前記感知素子は使用中に、それに作用する音圧波に
応答して変位を受けて成るDIFARセンサーにおいて、感
知素子が前記センサーの外面を１部分画成し、かつ前記
外面の別の部分が慣性質量の一部を形成する端キャップ
によって画成され、前記センサーが慣性質量に対する感
知素子の運動を感知し、感知素子の質量は慣性質量の質
量より小さいことを特徴とするDIFARセンサーが提供さ
れる。
ンサーとを含み、前記感知素子に周囲媒体が圧力を及ぼ
し、前記感知素子は使用中に、それに作用する音圧波に
応答して変位を受けて成るDIFARセンサーにおいて、感
知素子が前記センサーの外面を１部分画成し、かつ前記
外面の別の部分が慣性質量の一部を形成する端キャップ
によって画成され、前記センサーが慣性質量に対する感
知素子の運動を感知し、感知素子の質量は慣性質量の質
量より小さいことを特徴とするDIFARセンサーが提供さ
れる。
好適には、慣性質量の質量は感知素子の質量の10倍よ
り大きい。
り大きい。
好適には、DIFARセンサーはほぼ円筒形であり、壁部
分は慣性質量と同軸に取付けられた中空の円筒形壁の形
をなす。
分は慣性質量と同軸に取付けられた中空の円筒形壁の形
をなす。
センサー素子は一体に形成した端キャップを含み、そ
れによって有効に感知ドームを形成する。代案として、
感知素子は慣性質量を形成するよう協働する対向するセ
ンサー端部分間に置かれた環状リングを含む。
れによって有効に感知ドームを形成する。代案として、
感知素子は慣性質量を形成するよう協働する対向するセ
ンサー端部分間に置かれた環状リングを含む。
有利には、感知素子は慣性質量と浮動接触している。
感知素子はエラストマー素子によって慣性質量に連結さ
れており、前記エラストマー素子は慣性質量に対して予
定の休止位置に向かって感知素子を押圧する働きをする
が、また感知素子と慣性質量間に限定された相対運動を
許す。有利には、エラストマー素子は感知素子と慣性質
量間に流体密封シールを形成する。
感知素子はエラストマー素子によって慣性質量に連結さ
れており、前記エラストマー素子は慣性質量に対して予
定の休止位置に向かって感知素子を押圧する働きをする
が、また感知素子と慣性質量間に限定された相対運動を
許す。有利には、エラストマー素子は感知素子と慣性質
量間に流体密封シールを形成する。
好適には、感知素子は夫々のセンサーと協働する径方
向内向きの突出部を担持する。センサーは例えば歪みゲ
ージ又は変位センサーとすることができる。突出部は調
節手段を担持し、それによって、感知素子がその休止位
置にある間に関連するセンサーに及ぼされる力が調節さ
れる、一旦DIFARセンサーが組み立てられると、調節を
なすことができるように前記調節手段は感知素子に形成
されたアクセスポートを介して調節できる。これは既知
のDIFARセンサーに比べて重要な利点を有し、かかる調
節はセンサーの組み立てが完成する前になされる。
向内向きの突出部を担持する。センサーは例えば歪みゲ
ージ又は変位センサーとすることができる。突出部は調
節手段を担持し、それによって、感知素子がその休止位
置にある間に関連するセンサーに及ぼされる力が調節さ
れる、一旦DIFARセンサーが組み立てられると、調節を
なすことができるように前記調節手段は感知素子に形成
されたアクセスポートを介して調節できる。これは既知
のDIFARセンサーに比べて重要な利点を有し、かかる調
節はセンサーの組み立てが完成する前になされる。
代案として、慣性質量に対する感知素子の相対運動は
非接触様式で感知される。光学的、電気的又は磁気的非
接触センサーを使用することができる。例えば、光源を
慣性質量内に置き、感知素子の局部領域を照明するよう
配置する。次いで、光学検知器が光強度の変化によって
感知素子の動きを検知することができる。代案として、
感知素子の運動は慣性質量の局部セクションとセンサー
素子の対応するセクション間のキャパシタンスを測定す
ることによって測定される。
非接触様式で感知される。光学的、電気的又は磁気的非
接触センサーを使用することができる。例えば、光源を
慣性質量内に置き、感知素子の局部領域を照明するよう
配置する。次いで、光学検知器が光強度の変化によって
感知素子の動きを検知することができる。代案として、
感知素子の運動は慣性質量の局部セクションとセンサー
素子の対応するセクション間のキャパシタンスを測定す
ることによって測定される。
或る程度まで慣性質量を少なくとも部分的に取り囲む
外殻として作用する比較的軽い剛性の感知素子をもつDI
FARセンサーを備えれば、従来の技術設計に比して、よ
り大きな感度を得ることができる。
外殻として作用する比較的軽い剛性の感知素子をもつDI
FARセンサーを備えれば、従来の技術設計に比して、よ
り大きな感度を得ることができる。
以下本発明を図示の実施例につき詳述する。
図１は本発明の第１実施例をなすDIFARセンサーの横
断面図である。
断面図である。
図２は本発明の第２実施例の横断面図である。
図１に示すDIFARセンサーは回路ベース２を含み、こ
の回路ベースは慣性質量を形成するため円形頂部４と協
働する。ベース２と頂部４は協働して、処理電子装置８
を収容するチャンバ６の対向端部を画成する。円筒形壁
10はベース２と頂部４間に延在する。壁10は４個の均等
に離間した凹部を形成されており、前記凹部はトランス
ジューサ素子を受け入れる。これらの凹部のうちの２個
の凹部12、14は図１に示す。保持リング16は頂部４に掛
合し、そこから径方向外方へ延在して、外面18を画成
し、前記外面はベース２の最大幅の部分の表面と整列し
ている。ベース２は上向きの円形棚部20をもち、この棚
部は最大幅の部分におけるベース２の周囲とベース２の
環状領域24の垂直壁22の間に延在する。棚部20、保持リ
ング16及び壁10は協働して環状凹部25を画成しかつチャ
ンバ６の側面を画成する。環状壁の形をなす感知素子30
は環状凹部内に配置される。ポリウレタン又はシリコン
ゴムの如きエラストマーは外皮32として付着され、この
外皮は保持リング16、感知素子30及びベース２を取り囲
んで、これらと流体密封状の掛合をなす。
の回路ベースは慣性質量を形成するため円形頂部４と協
働する。ベース２と頂部４は協働して、処理電子装置８
を収容するチャンバ６の対向端部を画成する。円筒形壁
10はベース２と頂部４間に延在する。壁10は４個の均等
に離間した凹部を形成されており、前記凹部はトランス
ジューサ素子を受け入れる。これらの凹部のうちの２個
の凹部12、14は図１に示す。保持リング16は頂部４に掛
合し、そこから径方向外方へ延在して、外面18を画成
し、前記外面はベース２の最大幅の部分の表面と整列し
ている。ベース２は上向きの円形棚部20をもち、この棚
部は最大幅の部分におけるベース２の周囲とベース２の
環状領域24の垂直壁22の間に延在する。棚部20、保持リ
ング16及び壁10は協働して環状凹部25を画成しかつチャ
ンバ６の側面を画成する。環状壁の形をなす感知素子30
は環状凹部内に配置される。ポリウレタン又はシリコン
ゴムの如きエラストマーは外皮32として付着され、この
外皮は保持リング16、感知素子30及びベース２を取り囲
んで、これらと流体密封状の掛合をなす。
感知素子30は４個の均等に離間した内向きの突出部を
形成されている。２個の突出部34と36を図１に示す。各
突出部34、36はねじ山付き通路をその中にもち、前記通
路は前記突出部の最内部分と、感知素子30とエラストマ
ー外皮32に形成された関連するアクセス孔との間に延在
する。ねじ山付き調節素子38、40は感知素子30の内向き
に突出する調節突出部を提供する。素子38、40の調節
後、その外面はエラストマープラグと接着剤によって環
境に対して密封される。
形成されている。２個の突出部34と36を図１に示す。各
突出部34、36はねじ山付き通路をその中にもち、前記通
路は前記突出部の最内部分と、感知素子30とエラストマ
ー外皮32に形成された関連するアクセス孔との間に延在
する。ねじ山付き調節素子38、40は感知素子30の内向き
に突出する調節突出部を提供する。素子38、40の調節
後、その外面はエラストマープラグと接着剤によって環
境に対して密封される。
壁10中の各凹部は可撓性ダイアフラム上に設けた圧電
トランスジューサを担持する。２つのトランスジューサ
42、44は図１に示す。ねじ山付き素子38はトランスジュ
ーサ42に対して当接するように調節される。同様に、ね
じ山付き素子40はトランスジューサ44に対して当接する
よう調節される。
トランスジューサを担持する。２つのトランスジューサ
42、44は図１に示す。ねじ山付き素子38はトランスジュ
ーサ42に対して当接するように調節される。同様に、ね
じ山付き素子40はトランスジューサ44に対して当接する
よう調節される。
感知素子30の最下部分は壁24を取り囲み、その結果、
感知素子30の運動は素子30と壁22が衝合することによっ
て制限される。ねじ山付き素子38と40は夫々トランスジ
ューサ42と44との接触を常に維持するように置かれる。
同様な考えは図１の平面より上と下にある他のトランス
ジューサにも当て嵌まる。
感知素子30の運動は素子30と壁22が衝合することによっ
て制限される。ねじ山付き素子38と40は夫々トランスジ
ューサ42と44との接触を常に維持するように置かれる。
同様な考えは図１の平面より上と下にある他のトランス
ジューサにも当て嵌まる。
対向する圧電トランスジューサからの信号はセンサー
の出力間に差を作るよう処理される。圧電センサー42、
44と処理電子装置８間の結像はDIFARセンサー装置内に
囲まれ、それ故環境から保護される。
の出力間に差を作るよう処理される。圧電センサー42、
44と処理電子装置８間の結像はDIFARセンサー装置内に
囲まれ、それ故環境から保護される。
リングシール50はチャンバ６内への流体の侵入を防止
するよう頂部４と保持リング16間に設けられる。
するよう頂部４と保持リング16間に設けられる。
音圧波を直接測定する別の全方向式水中聴音器52はベ
ース２中に形成された凹部内に備えられる。
ース２中に形成された凹部内に備えられる。
ベース２、リング16及び感知素子30はアルミニウムで
作られるが、頂部４は亜鉛で作られる。感知素子30は慣
性質量（即ちベース２、頂部４及びリング16）の質量の
ほぼ10分の１の質量をもつ。
作られるが、頂部４は亜鉛で作られる。感知素子30は慣
性質量（即ちベース２、頂部４及びリング16）の質量の
ほぼ10分の１の質量をもつ。
音圧波の伝搬は音圧波が伝搬する媒体中に局部粒子速
度の変動を生じる。粒子速度は音圧に直接関連するベク
トル量であり、音響伝搬方向に対して敏感である。これ
はスカラー量であるので方向情報を与えない音圧とは本
質的対照をなすものである。感知素子30は局部的粒子速
度の変動に応答することができる。物体が中性浮力に接
近するにつれて、物体は局部的粒子速度で動く傾向があ
り、その結果、感知素子30は音界の存在で動く傾向があ
る。底部２、頂部４及びリング16によって形成される慣
性質量と処理電子装置は乱されない状態に留まる傾向が
あり、それ故、音圧波は感知素子30と慣性質量間に相対
運動を引き起こすだろう。この運動は圧電センサーと感
知素子30間に延在するねじ山付き素子を経て圧電センサ
ーに伝達され、その結果、電気信号が感知素子の相対運
動に応答して発生させられる。１対の圧電センサーを慣
性質量内で互いに斜めに対向するよう配置することによ
って、対向する圧電センサー間のラインに沿う外殻の変
位がセンサーを反対向きに逸らせる。もし対向する圧電
素子が互いに反対の偏波方向で取り付けられるならば、
感知素子30の運動から生じる信号は積極的に加えるよう
取決められる。
度の変動を生じる。粒子速度は音圧に直接関連するベク
トル量であり、音響伝搬方向に対して敏感である。これ
はスカラー量であるので方向情報を与えない音圧とは本
質的対照をなすものである。感知素子30は局部的粒子速
度の変動に応答することができる。物体が中性浮力に接
近するにつれて、物体は局部的粒子速度で動く傾向があ
り、その結果、感知素子30は音界の存在で動く傾向があ
る。底部２、頂部４及びリング16によって形成される慣
性質量と処理電子装置は乱されない状態に留まる傾向が
あり、それ故、音圧波は感知素子30と慣性質量間に相対
運動を引き起こすだろう。この運動は圧電センサーと感
知素子30間に延在するねじ山付き素子を経て圧電センサ
ーに伝達され、その結果、電気信号が感知素子の相対運
動に応答して発生させられる。１対の圧電センサーを慣
性質量内で互いに斜めに対向するよう配置することによ
って、対向する圧電センサー間のラインに沿う外殻の変
位がセンサーを反対向きに逸らせる。もし対向する圧電
素子が互いに反対の偏波方向で取り付けられるならば、
感知素子30の運動から生じる信号は積極的に加えるよう
取決められる。
４個の等間隔をおいたセンサーをDIFARセンサー内に
設けることによって、感知素子30の変位は、直交する方
向に沿う変位の比率から音響伝搬のラインを限定するよ
うに２つの直交する方向に分解することができる。これ
は伝搬ラインの方向のあいまいさを残す。しかし、これ
は音圧波を直接測定する慣例の水中聴音器の追加によっ
て解決できる。更に、DIFARセンサーの本体内に磁気コ
ンパスを含むことによって、伝搬方向を磁気ベアリング
に関連付けることができる。２つの直交するセンサー
（センサー対によって形成される）に全方向式水中聴音
器を加わえた組み合わせは慣例のDIFARソノブイにおい
て既知である。
設けることによって、感知素子30の変位は、直交する方
向に沿う変位の比率から音響伝搬のラインを限定するよ
うに２つの直交する方向に分解することができる。これ
は伝搬ラインの方向のあいまいさを残す。しかし、これ
は音圧波を直接測定する慣例の水中聴音器の追加によっ
て解決できる。更に、DIFARセンサーの本体内に磁気コ
ンパスを含むことによって、伝搬方向を磁気ベアリング
に関連付けることができる。２つの直交するセンサー
（センサー対によって形成される）に全方向式水中聴音
器を加わえた組み合わせは慣例のDIFARソノブイにおい
て既知である。
図２は本発明の別の実施例を示す。図２に示すよう
に、慣性質量は上部分60と下部分62に分割され、これら
の部分は着脱自在に互いに結合されてチャンバ64を画成
する。慣性質量下部分62は下方に延在する円筒形部分66
をもち、この円筒形部分はその周囲に等間隔をおいた４
つのダイアフラムを担持し、各ダイアフラムは圧電トラ
ンスジューサを担持する。感知素子30はドームを形成す
るよう端キャップ30′を備えることによって変更され
る。前記ドームは容積69を囲む。ドーム30はピン68と70
上に支持され、前記ピンは感知素子の壁の最上部分に形
成された開口71、72を通して延在して、慣性質量部分6
0、62内の位置決め凹部内に保持される。感知素子30は
４個のねじ山付き調節器を担持し、前記調節器はダイア
フラムに当接するように配置されかつ図１に示す実施例
に関して記載した如き手法でダイアフラムを逸らせるよ
うに配置される。感知素子30は領域66を取り囲む円筒形
空洞を形成されており、かつ慣性質量62に対する感知素
子30の相対運動を、運動限界を確定するよう前記部分66
に衝合することによって、制限する働きをする。全方向
式水中聴音器73は音波伝搬の実際の方向を決定できるよ
うにDIFARセンサーに取付けられる。Ｏリングシール74
は慣性質量下部素子62と感知素子30の上部壁部分間の環
状間隙内に置かれる。Ｏリングは流体密封シールを形成
する。感知素子30と慣性質量下部素子62間の容量69は、
感知素子30の振動を減衰させる制御手段を提供するため
に、空気を充填してもよく、感知素子30中に形成した孔
を介して周囲媒体を充填してもよく或いはシリコンオイ
ルの如きオイルを充填してもよい。感知素子30は慣性質
量に比して軽く、音圧波に応答して容易に動かされる。
このことは、DIFAR水中聴音器が良好な感度をもつこと
を可能にする。
に、慣性質量は上部分60と下部分62に分割され、これら
の部分は着脱自在に互いに結合されてチャンバ64を画成
する。慣性質量下部分62は下方に延在する円筒形部分66
をもち、この円筒形部分はその周囲に等間隔をおいた４
つのダイアフラムを担持し、各ダイアフラムは圧電トラ
ンスジューサを担持する。感知素子30はドームを形成す
るよう端キャップ30′を備えることによって変更され
る。前記ドームは容積69を囲む。ドーム30はピン68と70
上に支持され、前記ピンは感知素子の壁の最上部分に形
成された開口71、72を通して延在して、慣性質量部分6
0、62内の位置決め凹部内に保持される。感知素子30は
４個のねじ山付き調節器を担持し、前記調節器はダイア
フラムに当接するように配置されかつ図１に示す実施例
に関して記載した如き手法でダイアフラムを逸らせるよ
うに配置される。感知素子30は領域66を取り囲む円筒形
空洞を形成されており、かつ慣性質量62に対する感知素
子30の相対運動を、運動限界を確定するよう前記部分66
に衝合することによって、制限する働きをする。全方向
式水中聴音器73は音波伝搬の実際の方向を決定できるよ
うにDIFARセンサーに取付けられる。Ｏリングシール74
は慣性質量下部素子62と感知素子30の上部壁部分間の環
状間隙内に置かれる。Ｏリングは流体密封シールを形成
する。感知素子30と慣性質量下部素子62間の容量69は、
感知素子30の振動を減衰させる制御手段を提供するため
に、空気を充填してもよく、感知素子30中に形成した孔
を介して周囲媒体を充填してもよく或いはシリコンオイ
ルの如きオイルを充填してもよい。感知素子30は慣性質
量に比して軽く、音圧波に応答して容易に動かされる。
このことは、DIFAR水中聴音器が良好な感度をもつこと
を可能にする。
図１、２に示した各実施例では、感知素子30の質量は
慣性質量の質量のほぼ10分の１である。
慣性質量の質量のほぼ10分の１である。
従って、敏感な、丈夫な、製造が比較的簡単なDIFAR
を提供することができる。
を提供することができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 バッキンガム デイヴィッド エドウィ ン ジェームス イギリス国 ミドルセックス ユービー ６ ８ユーエイ グリーンフォード ブ リッドポート ロード（番地なし）ウル トラ エレクトロニクス リミテッド (56)参考文献 特開 昭56−57400（ＪＰ，Ａ) 特開 昭50−126457（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−269988（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−143496（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−47898（ＪＰ，Ａ) 米国特許4928263（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01S 7/52 - 7/64 H04R 1/44
Claims (13)
- 【請求項１】慣性質量（２、４、60、62）と、感知素子
（30）と、複数のセンサー（42、44）とを含み、前記感
知素子に周囲媒体が圧力を及ぼし、前記感知素子は使用
中に、それに作用する音圧波に応答して変位を受けて成
るDIFARセンサーにおいて、感知素子（30）が前記セン
サーの外面を１部分画成し、かつ前記外面の別の部分が
慣性質量の一部を形成する端キャップ（２、４）によっ
て画成され、前記センサーが慣性質量に対する感知素子
の運動を感知し、感知素子（30）の質量は慣性質量
（２、４）の質量より小さいことを特徴とするDIFARセ
ンサー。 - 【請求項２】慣性質量（２、4;60、62）の質量は感知素
子の質量の10倍より大きいこと特徴とする請求項１に記
載のDIFARセンサー。 - 【請求項３】前記壁部分は慣性質量（２、4;60、62）と
同軸に取り付けられた円筒形壁であること特徴とする請
求項１又は２に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項４】感知素子（30）は一体に形成された端キャ
ップ（30′）をもつこと特徴とする請求項１から３の何
れか１項に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項５】感知素子（30）は慣性質量を形成するよう
協働する対向するセンサー端部分（２、４）間に置かれ
た環状リングを含むこと特徴とする請求項１から３の何
れか１項に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項６】感知素子（30）は慣性質量（２、4;60、6
2）の浮動接触していること特徴とする請求項１から５
の何れか１項に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項７】感知素子（30）はエラストマー素子によっ
て慣性質量（２、4;60、62）に連結されており、前記エ
ラストマー素子は慣性質量に対して予定の休止位置に向
かって感知素子を押圧する働きをするが、また感知素子
（30）と慣性質量（２、4;60、62）間に限定された相対
運動を許すこと特徴とする請求項１から６の何れか１項
に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項８】感知素子（30）は夫々のセンサーと協働す
る径方向内向きの突出部（34、36）を担持すること特徴
とする請求項１から７の何れか１項に記載のDIFARセン
サー。 - 【請求項９】突出部（34、36）は調節手段を担持し、そ
れによって、感知素子（30）がその休止位置にある間に
関連するセンサーに及ぼされる力が調節されること特徴
とする請求項８に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項１０】DIFARセンサーが組み立てられた後に調
節をなすことができるように前記調節手段は感知素子
（30）に形成されたアクセスポートを介して調節できる
こと特徴とする請求項９に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項１１】センサー（42、44）は歪みゲージ又は変
位センサーとすること特徴とする請求項１から10の何れ
か１項に記載のDIFARセンサー。 - 【請求項１２】センサーは非接触モードで作動すること
特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載のDIFAR
センサー。 - 【請求項１３】センサーは光学的、電気的、磁気的又は
容量性センサーとすること特徴とする請求項12に記載の
DIFARセンサー。
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