JP3141361B2 - 電子線照射装置及びそのシート状被処理物通し方法 - Google Patents
電子線照射装置及びそのシート状被処理物通し方法Info
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- JP3141361B2 JP3141361B2 JP03276263A JP27626391A JP3141361B2 JP 3141361 B2 JP3141361 B2 JP 3141361B2 JP 03276263 A JP03276263 A JP 03276263A JP 27626391 A JP27626391 A JP 27626391A JP 3141361 B2 JP3141361 B2 JP 3141361B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、連続方式及びバッチ方
式の両用タイプの電子線照射装置において、シート状の
被処理物を搬送路内に通す方法に関するものである。
式の両用タイプの電子線照射装置において、シート状の
被処理物を搬送路内に通す方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の電子線照射装置、特に実験・研究
用の電子線照射装置では、試料をトレイに入れて搬送
し、電子線を照射するいわゆるバッチ方式が採用されて
いるが、それに加えてシート状の被処理物（ウェブ（we
b ））も使用できる構造になっている。連続方式でウェ
ブに電子線を照射する場合には、例えば、まず長い棒状
の板（ウェブ通し治具）の先端にウェブの先端をテープ
等で固定したうえで、その板を搬送路内に通して引き出
すことにより、ウェブを搬送路内に通す必要がある。そ
して、ガイドローラ等によりウェブを案内して、電子線
照射部でウェブに電子線を照射する。
用の電子線照射装置では、試料をトレイに入れて搬送
し、電子線を照射するいわゆるバッチ方式が採用されて
いるが、それに加えてシート状の被処理物（ウェブ（we
b ））も使用できる構造になっている。連続方式でウェ
ブに電子線を照射する場合には、例えば、まず長い棒状
の板（ウェブ通し治具）の先端にウェブの先端をテープ
等で固定したうえで、その板を搬送路内に通して引き出
すことにより、ウェブを搬送路内に通す必要がある。そ
して、ガイドローラ等によりウェブを案内して、電子線
照射部でウェブに電子線を照射する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、たとえ
ば実験・研究用の電子線照射装置では、搬送路の長さが
約２ｍもあり、上記のウェブ通し治具を使用してウェブ
を搬送路内に通す方法では、最初に板を通すのが難しい
という問題があった。また、搬送路内もかなり狭いた
め、搬送路内に通しやすい、固くて薄い棒状の板を作成
することが困難であるという問題もあった。更に、入口
又は出口側にウエブ通し治具を出し入れするためのスペ
ースが必要となるという問題がある。
ば実験・研究用の電子線照射装置では、搬送路の長さが
約２ｍもあり、上記のウェブ通し治具を使用してウェブ
を搬送路内に通す方法では、最初に板を通すのが難しい
という問題があった。また、搬送路内もかなり狭いた
め、搬送路内に通しやすい、固くて薄い棒状の板を作成
することが困難であるという問題もあった。更に、入口
又は出口側にウエブ通し治具を出し入れするためのスペ
ースが必要となるという問題がある。
【０００４】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、簡単にシート状の被処理物を搬送路内に通すこ
とができ、しかも省スペース化を図ることができる電子
線照射装置及びそのシート状被処理物通し方法を提供す
ることを目的とするものである。
であり、簡単にシート状の被処理物を搬送路内に通すこ
とができ、しかも省スペース化を図ることができる電子
線照射装置及びそのシート状被処理物通し方法を提供す
ることを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの第一の発明に係る電子線照射装置のシート状被処理
物通し方法は、シート状の被処理物を連続的に搬送する
連続方式及び被処理物をトレイに入れ該トレイをトレイ
キャリアで保持して搬送するバッチ方式のいずれの方式
でも被処理物に電子線を照射することができる電子線照
射装置において、前記搬送路の入口側から前記シート状
の被処理物を挿入し、前記トレイキャリアに前記シート
状の被処理物を仮止めした後、前記トレイキャリアを前
記搬送路の出口側に移動させることにより、前記シート
状の被処理物を前記搬送路内に通すことを特徴とするも
のである。
めの第一の発明に係る電子線照射装置のシート状被処理
物通し方法は、シート状の被処理物を連続的に搬送する
連続方式及び被処理物をトレイに入れ該トレイをトレイ
キャリアで保持して搬送するバッチ方式のいずれの方式
でも被処理物に電子線を照射することができる電子線照
射装置において、前記搬送路の入口側から前記シート状
の被処理物を挿入し、前記トレイキャリアに前記シート
状の被処理物を仮止めした後、前記トレイキャリアを前
記搬送路の出口側に移動させることにより、前記シート
状の被処理物を前記搬送路内に通すことを特徴とするも
のである。
【０００６】上記の目的を達成するための第二の発明
は、シート状の被処理物を連続的に搬送する連続方式及
び被処理物をトレイに入れ該トレイをトレイキャリアで
保持して搬送するバッチ方式のいずれの方式でも被処理
物に電子線を照射することができる電子線照射装置にお
いて、前記トレイキャリアの移動開始位置及び停止位置
の上部に開口部を形成し、該開口部には着脱自在の蓋を
設けたことを特徴とするものである。
は、シート状の被処理物を連続的に搬送する連続方式及
び被処理物をトレイに入れ該トレイをトレイキャリアで
保持して搬送するバッチ方式のいずれの方式でも被処理
物に電子線を照射することができる電子線照射装置にお
いて、前記トレイキャリアの移動開始位置及び停止位置
の上部に開口部を形成し、該開口部には着脱自在の蓋を
設けたことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】第一の発明は上記の構成によって、シート状の
被処理物を搬送路内に通す際に、搬送路の入口側からシ
ート状の被処理物を挿入し、トレイキャリアにシート状
の被処理物を仮止めした後、トレイキャリアを搬送路の
出口側に移動させることにより、トレイキャリアと共に
シート状の被処理物を搬送路の入口側から出口側に容易
に搬送することができる。
被処理物を搬送路内に通す際に、搬送路の入口側からシ
ート状の被処理物を挿入し、トレイキャリアにシート状
の被処理物を仮止めした後、トレイキャリアを搬送路の
出口側に移動させることにより、トレイキャリアと共に
シート状の被処理物を搬送路の入口側から出口側に容易
に搬送することができる。
【０００８】第二の発明は上記の構成によって、トレイ
キャリアの移動開始位置及び停止位置の上部に開口部を
形成し、開口部には着脱自在の蓋を設けたことにより、
たとえば、上記第一の発明のシート状被処理物通し方法
を利用してシート状の被処理物を搬送路内に通す場合に
は、シート状の被処理物をトレイキャリアの移動開始位
置まで挿入するだけで、開口部を利用してトレイキャリ
アにシート状の被処理物を容易に仮止めすることができ
る。また、トレイキャリアと共にシート状の被処理物を
移動停止位置に搬送したときにも、開口部を利用してシ
ート状の被処理物をトレイキャリアから容易に取り外す
ことができる。
キャリアの移動開始位置及び停止位置の上部に開口部を
形成し、開口部には着脱自在の蓋を設けたことにより、
たとえば、上記第一の発明のシート状被処理物通し方法
を利用してシート状の被処理物を搬送路内に通す場合に
は、シート状の被処理物をトレイキャリアの移動開始位
置まで挿入するだけで、開口部を利用してトレイキャリ
アにシート状の被処理物を容易に仮止めすることができ
る。また、トレイキャリアと共にシート状の被処理物を
移動停止位置に搬送したときにも、開口部を利用してシ
ート状の被処理物をトレイキャリアから容易に取り外す
ことができる。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明の一実施例を図面を参照して
説明する。図１は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略断面図、図２乃至図４は本発明の一実施例であ
る電子線照射装置のシート状被処理物通し方法を説明す
るための図、図５は本実施例で使用するトレイキャリア
の概略平面図、図６は本実施例装置を制御する操作用パ
ネルの正面図である。
説明する。図１は本発明の一実施例である電子線照射装
置の概略断面図、図２乃至図４は本発明の一実施例であ
る電子線照射装置のシート状被処理物通し方法を説明す
るための図、図５は本実施例で使用するトレイキャリア
の概略平面図、図６は本実施例装置を制御する操作用パ
ネルの正面図である。
【００１０】図１に示す電子線照射装置は、いわゆる連
続方式とバッチ方式の両用タイプのものであり、電子線
発生部２と、電子線照射部４と、被処理物を搬送する搬
送路６と、連続方式で電子線照射処理を行う際にシート
状の被処理物（ウェブ（web））６０を案内するための
ガイドローラ８ａ，８ｂと、バッチ方式で電子線照射処
理を行う際に被処理物が載置されるトレイを保持して搬
送するためのトレイキャリア１０とを備えるものであ
る。
続方式とバッチ方式の両用タイプのものであり、電子線
発生部２と、電子線照射部４と、被処理物を搬送する搬
送路６と、連続方式で電子線照射処理を行う際にシート
状の被処理物（ウェブ（web））６０を案内するための
ガイドローラ８ａ，８ｂと、バッチ方式で電子線照射処
理を行う際に被処理物が載置されるトレイを保持して搬
送するためのトレイキャリア１０とを備えるものであ
る。
【００１１】電子線発生部２では、フィラメントに所定
の電力を供給して熱電子を発生させ、その熱電子を加速
管１２において印加した高電圧により加速して電子線と
して取り出す。電子線照射部４では、チタン箔などを用
いて電子線発生部２と搬送路６との雰囲気を仕切る照射
窓１４を介して、電子線を搬送路６内で搬送される被処
理物に照射する。
の電力を供給して熱電子を発生させ、その熱電子を加速
管１２において印加した高電圧により加速して電子線と
して取り出す。電子線照射部４では、チタン箔などを用
いて電子線発生部２と搬送路６との雰囲気を仕切る照射
窓１４を介して、電子線を搬送路６内で搬送される被処
理物に照射する。
【００１２】搬送路６は、Ｘ線遮蔽のため、その全体が
鉛で覆われている。搬送路６の左端には入口側ウェブア
ダプタ１６ａが、右側には出口側ウェブアダプタ１６ｂ
が設けられ、またウェブ入口部１８ａ、ウェブ出口部１
８ｂは搬送路６に対して所定の角度で傾斜して設けられ
ている。これは、Ｘ線の漏洩を防止するためである。搬
送路６の中間部には電子線照射部４が、また、ウェブア
ダプタ１６ａ，１６ｂ内には、それぞれガイドローラ８
ａ，８ｂが設けられている。
鉛で覆われている。搬送路６の左端には入口側ウェブア
ダプタ１６ａが、右側には出口側ウェブアダプタ１６ｂ
が設けられ、またウェブ入口部１８ａ、ウェブ出口部１
８ｂは搬送路６に対して所定の角度で傾斜して設けられ
ている。これは、Ｘ線の漏洩を防止するためである。搬
送路６の中間部には電子線照射部４が、また、ウェブア
ダプタ１６ａ，１６ｂ内には、それぞれガイドローラ８
ａ，８ｂが設けられている。
【００１３】通常、トレイキャリア１０は、搬送路６の
左端部の所定位置（図１に示す位置）に配置されてお
り、このトレイキャリア１０の移動開始位置の上部にメ
ンテ用の開口部２２ａを形成し、その上に着脱自在な鉛
製の蓋２４ａを設けている。また、トレイキャリア１０
の停止位置（搬送路６の右端部）の上部にもメンテ用の
開口部２２ｂを形成し、その上に鉛製の蓋２４ｂを設け
ている。
左端部の所定位置（図１に示す位置）に配置されてお
り、このトレイキャリア１０の移動開始位置の上部にメ
ンテ用の開口部２２ａを形成し、その上に着脱自在な鉛
製の蓋２４ａを設けている。また、トレイキャリア１０
の停止位置（搬送路６の右端部）の上部にもメンテ用の
開口部２２ｂを形成し、その上に鉛製の蓋２４ｂを設け
ている。
【００１４】トレイキャリア１０は、図５に示すよう
に、枠体状に形成され、左右の内側面に形成された四つ
のローラ２６と、上下部分の枠体として設けたロール
（又は円柱状の部材）２８とを備える。トレイは、これ
らのローラ２６及びロール２８により保持される。ま
た、トレイキャリア１０には、左右の外側面に駆動用の
チェーンコンベア３２が取り付けられている。トレイキ
ャリア１０は、パルスモータ等を用いてチェーンコンベ
ア３２を駆動することにより移動する。
に、枠体状に形成され、左右の内側面に形成された四つ
のローラ２６と、上下部分の枠体として設けたロール
（又は円柱状の部材）２８とを備える。トレイは、これ
らのローラ２６及びロール２８により保持される。ま
た、トレイキャリア１０には、左右の外側面に駆動用の
チェーンコンベア３２が取り付けられている。トレイキ
ャリア１０は、パルスモータ等を用いてチェーンコンベ
ア３２を駆動することにより移動する。
【００１５】また、図示しないが、搬送路６より低い位
置に、互いに搬送方向が略直角となるように副搬送路が
設けられている。本実施例の電子線照射装置では、副搬
送路の先端部にある出入部においてトレイの送り出し及
び取り出しを行い、搬送路６と副搬送路との間ではトレ
イを昇降装置（不図示）により搬送するように構成して
いる。尚、この副搬送路はバッチ方式の処理を行うとき
にのみ使用される。
置に、互いに搬送方向が略直角となるように副搬送路が
設けられている。本実施例の電子線照射装置では、副搬
送路の先端部にある出入部においてトレイの送り出し及
び取り出しを行い、搬送路６と副搬送路との間ではトレ
イを昇降装置（不図示）により搬送するように構成して
いる。尚、この副搬送路はバッチ方式の処理を行うとき
にのみ使用される。
【００１６】副搬送路の出入部近傍には、図６に示すよ
うに、コンベアシステム操作パネル４０と、セレクトス
イッチ５０とが配置された操作用パネルが設けられてい
る。コンベアシステム操作パネル４０には、トレイキャ
リア１０を移動させるチェーンコンベア３２を制御する
ためのコンベア制御スイッチ４２，４２、トレイの送出
口及び取出口のドアを開閉するためのドアスイッチ４
４、搬送されているトレイの現在の位置及び進行方向を
オペレータに表示するための発光素子４６等が備えられ
ている。また、セレクトスイッチ５０は、ウェブ６０を
搬送路６内に通したり、電子線発生部２に高電圧及びビ
ーム電流を出力したりするためのものである。
うに、コンベアシステム操作パネル４０と、セレクトス
イッチ５０とが配置された操作用パネルが設けられてい
る。コンベアシステム操作パネル４０には、トレイキャ
リア１０を移動させるチェーンコンベア３２を制御する
ためのコンベア制御スイッチ４２，４２、トレイの送出
口及び取出口のドアを開閉するためのドアスイッチ４
４、搬送されているトレイの現在の位置及び進行方向を
オペレータに表示するための発光素子４６等が備えられ
ている。また、セレクトスイッチ５０は、ウェブ６０を
搬送路６内に通したり、電子線発生部２に高電圧及びビ
ーム電流を出力したりするためのものである。
【００１７】上記のように二つの搬送路を設け、これら
を直角に配置してトレイの送り出しと取り出しを一ヶ所
で行うように構成したことにより、バッチ方式で被処理
物に電子線を照射する場合には、オペレータは装置の前
面において、トレイの出し入れや操作用パネルの操作を
行うことができるので、操作性が向上する。
を直角に配置してトレイの送り出しと取り出しを一ヶ所
で行うように構成したことにより、バッチ方式で被処理
物に電子線を照射する場合には、オペレータは装置の前
面において、トレイの出し入れや操作用パネルの操作を
行うことができるので、操作性が向上する。
【００１８】次に、本実施例の電子線照射装置におい
て、連続方式でウェブ６０に電子線を照射する場合に、
ウェブ６０を搬送路６内に通す方法について説明する。
て、連続方式でウェブ６０に電子線を照射する場合に、
ウェブ６０を搬送路６内に通す方法について説明する。
【００１９】まず、蓋２４ａを取り外してから、ウェブ
６０をウェブアダプタ１６ａのウェブ入口部１８ａに入
れる。図２に示すように、ウェブ６０の先端部が、移動
開始位置にあるトレイキャリア１０の上側のロール２８
の位置にくるまでウェブ６０を挿入する。そして、図３
に示すように、開口部２２ａを介してウェブ６０をトレ
イキャリア１０の上側のロール２８にテープ３４等で仮
止めする。
６０をウェブアダプタ１６ａのウェブ入口部１８ａに入
れる。図２に示すように、ウェブ６０の先端部が、移動
開始位置にあるトレイキャリア１０の上側のロール２８
の位置にくるまでウェブ６０を挿入する。そして、図３
に示すように、開口部２２ａを介してウェブ６０をトレ
イキャリア１０の上側のロール２８にテープ３４等で仮
止めする。
【００２０】この状態で、セレクトスイッチ５０を“Ｗ
ＥＢ ＳＥＴ”にすることにより、本来バッチ方式で使
用するトレイキャリア１０をウェブ６０を通すときにも
動かすことができ、トレイキャリア１０は電子線照射部
４の下を通り出口側の蓋２４ｂの下部の移動停止位置ま
で搬送される。また、このとき、コンベアシステム操作
パネル４０でウェブ６０の移動状態を発光素子４６ａ，
４６ｂにより確認することができる。すなわち、セレク
トスイッチ５０を“ＷＥＢ ＳＥＴ”にすると、最初に
トレイキャリア１０がある移動開始位置に対応する発光
素子４６ａが点灯し、トレイキャリア１０が移動停止位
置に移動すると、発光素子４６ａに代わって発光素子４
６ｂが点灯する。
ＥＢ ＳＥＴ”にすることにより、本来バッチ方式で使
用するトレイキャリア１０をウェブ６０を通すときにも
動かすことができ、トレイキャリア１０は電子線照射部
４の下を通り出口側の蓋２４ｂの下部の移動停止位置ま
で搬送される。また、このとき、コンベアシステム操作
パネル４０でウェブ６０の移動状態を発光素子４６ａ，
４６ｂにより確認することができる。すなわち、セレク
トスイッチ５０を“ＷＥＢ ＳＥＴ”にすると、最初に
トレイキャリア１０がある移動開始位置に対応する発光
素子４６ａが点灯し、トレイキャリア１０が移動停止位
置に移動すると、発光素子４６ａに代わって発光素子４
６ｂが点灯する。
【００２１】このようにトレイキャリア１０が出口側の
蓋２４ｂの下部の移動停止位置まで搬送されると、図４
に示すように開口部２２ｂを介してテープ３４を剥がす
ことによって、仮止めされたウェブ６０の先端部をトレ
イキャリア１０から外す。そして、ウェブ６０を出口側
ウェブアダプタ１６ｂに入れ、ウェブ出口部１８ｂから
取り出す。セレクトスイッチ５０を“ＯＦＦ”にする
と、トレイキャリア１０は元の位置に戻る。最後に、蓋
２４ａ，２４ｂを取り着けて、ウェブ６０を搬送路６内
に通す作業が終了する。
蓋２４ｂの下部の移動停止位置まで搬送されると、図４
に示すように開口部２２ｂを介してテープ３４を剥がす
ことによって、仮止めされたウェブ６０の先端部をトレ
イキャリア１０から外す。そして、ウェブ６０を出口側
ウェブアダプタ１６ｂに入れ、ウェブ出口部１８ｂから
取り出す。セレクトスイッチ５０を“ＯＦＦ”にする
と、トレイキャリア１０は元の位置に戻る。最後に、蓋
２４ａ，２４ｂを取り着けて、ウェブ６０を搬送路６内
に通す作業が終了する。
【００２２】ウェブ６０をガイドローラ８ａ，８ｂで送
り出し、セレクトスイッチ５０を“ＨＶ（high voltag
e） ＯＮ”にすると、電子線発生部２に高電圧及びビ
ーム電流が出力され、発生した電子線が照射窓１４を介
して、搬送路６内を搬送されるウェブ６０に照射され
る。処理を終了するときには、セレクトスイッチ５０を
“ＯＦＦ”にする。これにより電子線の照射を終了す
る。
り出し、セレクトスイッチ５０を“ＨＶ（high voltag
e） ＯＮ”にすると、電子線発生部２に高電圧及びビ
ーム電流が出力され、発生した電子線が照射窓１４を介
して、搬送路６内を搬送されるウェブ６０に照射され
る。処理を終了するときには、セレクトスイッチ５０を
“ＯＦＦ”にする。これにより電子線の照射を終了す
る。
【００２３】本実施例では、ウェブ６０を通す作業中に
誤って“ＨＶ ＯＮ”にならないように、セレクトスイ
ッチ５０に“ＷＥＢ ＳＥＴ”、“ＯＦＦ”、“ＨＶ
ＯＮ”の三段階のスイッチを採用することにより、人為
的ミスを防ぐ構造とし、安全性を高めている。
誤って“ＨＶ ＯＮ”にならないように、セレクトスイ
ッチ５０に“ＷＥＢ ＳＥＴ”、“ＯＦＦ”、“ＨＶ
ＯＮ”の三段階のスイッチを採用することにより、人為
的ミスを防ぐ構造とし、安全性を高めている。
【００２４】従来は、Ｘ線遮蔽のため、搬送路全体を鉛
で覆っていたので、ウェブを通すのに専用の治具を必要
としていたが、本実施例では、メンテ用に搬送路に開口
部を形成し、電子線を照射する際に生じるＸ線を遮蔽す
るため開口部に鉛製の蓋を設けたことにより、搬送路の
入口部にだけウェブを挿入するのみで、搬送路内の大部
分では上記のようにトレイキャリアを使用して、ウェブ
を機械的に搬送することができるので、簡単にウェブを
搬送路内に通すことができる。
で覆っていたので、ウェブを通すのに専用の治具を必要
としていたが、本実施例では、メンテ用に搬送路に開口
部を形成し、電子線を照射する際に生じるＸ線を遮蔽す
るため開口部に鉛製の蓋を設けたことにより、搬送路の
入口部にだけウェブを挿入するのみで、搬送路内の大部
分では上記のようにトレイキャリアを使用して、ウェブ
を機械的に搬送することができるので、簡単にウェブを
搬送路内に通すことができる。
【００２５】尚、上記の実施例では、ウェブを搬送路内
に通す際に、メンテ用の開口部を利用して、ウェブをト
レイキャリアに仮止めしてウェブを搬送路内に通す場合
について説明したが、本発明のウェブ通し方法はこれに
限定されるものではなく、たとえばウェブアダプタを着
脱自在に構成した場合には、開口部を設けなくとも、ウ
ェブアダプタを取り外して、トレイキャリアにウェブを
仮止めすることにより、ウェブを搬送路内に通すことが
できる。
に通す際に、メンテ用の開口部を利用して、ウェブをト
レイキャリアに仮止めしてウェブを搬送路内に通す場合
について説明したが、本発明のウェブ通し方法はこれに
限定されるものではなく、たとえばウェブアダプタを着
脱自在に構成した場合には、開口部を設けなくとも、ウ
ェブアダプタを取り外して、トレイキャリアにウェブを
仮止めすることにより、ウェブを搬送路内に通すことが
できる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、搬
送路の入口側からシート状の被処理物を入れて、トレイ
キャリアにシート状の被処理物を仮止めした後、トレイ
キャリアを搬送路の出口側に移動させることにより、ト
レイキャリアと共にシート状の被処理物を搬送路の入口
側から出口側に搬送することができるので、シート状の
被処理物を搬送路内に簡単に通すことができる電子線照
射装置のシート状被処理物通し方法を提供することがで
きる。
送路の入口側からシート状の被処理物を入れて、トレイ
キャリアにシート状の被処理物を仮止めした後、トレイ
キャリアを搬送路の出口側に移動させることにより、ト
レイキャリアと共にシート状の被処理物を搬送路の入口
側から出口側に搬送することができるので、シート状の
被処理物を搬送路内に簡単に通すことができる電子線照
射装置のシート状被処理物通し方法を提供することがで
きる。
【００２７】また、以上説明したように本発明によれ
ば、トレイキャリアの移動開始位置及び停止位置の上部
に開口部を形成し、開口部には着脱自在の蓋を設けたこ
とにより、シート状の被処理物を搬送路内に通す場合
に、開口部を利用してトレイキャリアにシート状の被処
理物を仮止めしたり、トレイキャリアからシート状の被
処理物を取り外す作業を容易に行うことができ、また省
スペース化を図ることができるので、特に実験・研究用
に好適な電子線照射装置を提供することができる。
ば、トレイキャリアの移動開始位置及び停止位置の上部
に開口部を形成し、開口部には着脱自在の蓋を設けたこ
とにより、シート状の被処理物を搬送路内に通す場合
に、開口部を利用してトレイキャリアにシート状の被処
理物を仮止めしたり、トレイキャリアからシート状の被
処理物を取り外す作業を容易に行うことができ、また省
スペース化を図ることができるので、特に実験・研究用
に好適な電子線照射装置を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例である電子線照射装置の概略
断面図である。
断面図である。
【図２】本発明の一実施例である電子線照射装置のシー
ト状被処理物通し方法を説明するための図である。
ト状被処理物通し方法を説明するための図である。
【図３】本発明の一実施例である電子線照射装置のシー
ト状被処理物通し方法を説明するための図である。
ト状被処理物通し方法を説明するための図である。
【図４】本発明の一実施例である電子線照射装置のシー
ト状被処理物通し方法を説明するための図である。
ト状被処理物通し方法を説明するための図である。
【図５】本実施例で使用するトレイキャリアの概略平面
図である。
図である。
【図６】本実施例装置を制御する操作用パネルの正面図
である。
である。
２ 電子線発生部 ４ 電子線照射部 ６ 搬送路 ８ａ，８ｂ ガイドローラ １０ トレイキャリア １２ 加速管 １４ 照射窓 １６ａ 入口側ウェブアダプタ １６ｂ 出口側ウェブアダプタ １８ａ ウェブ入口部 １８ｂ ウェブ出口部 ２２ａ，２２ｂ 開口部 ２４ａ，２４ｂ 蓋 ２６ ローラ ２８ ロール ３２ チェーンコンベア ３４ テープ ４０ コンベアシステム操作パネル ４２ コンベア制御スイッチ ４４ ドアスイッチ ４６ トレイ位置表示用発光素子 ５０ セレクトスイッチ ６０ ウェブ
Claims (2)
- 【請求項１】 シート状の被処理物を連続的に搬送する
連続方式及び被処理物をトレイに入れ該トレイをトレイ
キャリアで保持して搬送するバッチ方式のいずれの方式
でも被処理物に電子線を照射することができる電子線照
射装置において、前記搬送路の入口側から前記シート状
の被処理物を挿入し、前記トレイキャリアに前記シート
状の被処理物を仮止めした後、前記トレイキャリアを前
記搬送路の出口側に移動させることにより、前記シート
状の被処理物を前記搬送路内に通すことを特徴とする電
子線照射装置のシート状被処理物通し方法。 - 【請求項２】 シート状の被処理物を連続的に搬送する
連続方式及び被処理物をトレイに入れ該トレイをトレイ
キャリアで保持して搬送するバッチ方式のいずれの方式
でも被処理物に電子線を照射することができる電子線照
射装置において、前記トレイキャリアの移動開始位置及
び停止位置の上部に開口部を形成し、該開口部には着脱
自在の蓋を設けたことを特徴とする電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03276263A JP3141361B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子線照射装置及びそのシート状被処理物通し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03276263A JP3141361B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子線照射装置及びそのシート状被処理物通し方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587999A JPH0587999A (ja) | 1993-04-09 |
| JP3141361B2 true JP3141361B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=17567001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03276263A Expired - Lifetime JP3141361B2 (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | 電子線照射装置及びそのシート状被処理物通し方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3141361B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP03276263A patent/JP3141361B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0587999A (ja) | 1993-04-09 |
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