JP3141677B2 - 複数の吸着ハンドによるｉｃ搬送機構 - Google Patents
複数の吸着ハンドによるｉｃ搬送機構Info
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- JP3141677B2 JP3141677B2 JP5458394A JP5458394A JP3141677B2 JP 3141677 B2 JP3141677 B2 JP 3141677B2 JP 5458394 A JP5458394 A JP 5458394A JP 5458394 A JP5458394 A JP 5458394A JP 3141677 B2 JP3141677 B2 JP 3141677B2
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- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/0084—Containers and magazines for components, e.g. tube-like magazines
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、複数の吸着ハンドに
よるＩＣ搬送機構についてのものである。吸着ハンドは
供給ステージから測定部にＩＣを移動し、測定部から収
容ステージにＩＣを移動する。このようなＩＣ搬送機構
を使用する装置には、例えばオートハンドラがある。
よるＩＣ搬送機構についてのものである。吸着ハンドは
供給ステージから測定部にＩＣを移動し、測定部から収
容ステージにＩＣを移動する。このようなＩＣ搬送機構
を使用する装置には、例えばオートハンドラがある。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来技術によるＩＣ搬送機構の構
成を図１４により説明する。図１４の５は測定部、５Ａ
と５ＢはＩＣソケット、１０はＩＣ、１１は供給ステー
ジ、１２は収容ステージ、１６は搬送機構、１６Ａと１
６Ｂは吸着ハンド、１６Ｃと１６Ｄは吸着パッドであ
る。
成を図１４により説明する。図１４の５は測定部、５Ａ
と５ＢはＩＣソケット、１０はＩＣ、１１は供給ステー
ジ、１２は収容ステージ、１６は搬送機構、１６Ａと１
６Ｂは吸着ハンド、１６Ｃと１６Ｄは吸着パッドであ
る。
【０００３】図１４では、供給ステージ１１は第１の列
Ｙ１に配置され、Ｙ軸方向に移動する。供給ステージ１
１は複数の行に配置された凹部１１Ａ・１１Ｂをもつ。
凹部１１Ａ・１１ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０
の姿勢が補正される。収容ステージ１２は第２の列Ｙ２
に配置され、Ｙ軸方向に移動する。収容ステージ１２は
複数の行に配置された凹部１２Ａ・１２Ｂをもつ。凹部
１２Ａ・１２ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿
勢が補正される。
Ｙ１に配置され、Ｙ軸方向に移動する。供給ステージ１
１は複数の行に配置された凹部１１Ａ・１１Ｂをもつ。
凹部１１Ａ・１１ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０
の姿勢が補正される。収容ステージ１２は第２の列Ｙ２
に配置され、Ｙ軸方向に移動する。収容ステージ１２は
複数の行に配置された凹部１２Ａ・１２Ｂをもつ。凹部
１２Ａ・１２ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿
勢が補正される。
【０００４】図１４の凹部１１Ａ・１１Ｂと凹部１２Ａ
・１２Ｂは同形状であり、ＩＣ１０の外形より僅かに大
きい矩形の溝が形成されている。前記溝の入口部は傾斜
が設けられているので、傾斜に案内されＩＣ１０に姿勢
が補正される。ＩＣ１０が正確に位置決めされることに
より、供給ステージ１１から後述するＩＣソケット５Ａ
・５Ｂへの位置決めを容易にする。または、収容ステー
ジ１２から次の工程への搬送を容易にする。
・１２Ｂは同形状であり、ＩＣ１０の外形より僅かに大
きい矩形の溝が形成されている。前記溝の入口部は傾斜
が設けられているので、傾斜に案内されＩＣ１０に姿勢
が補正される。ＩＣ１０が正確に位置決めされることに
より、供給ステージ１１から後述するＩＣソケット５Ａ
・５Ｂへの位置決めを容易にする。または、収容ステー
ジ１２から次の工程への搬送を容易にする。
【０００５】測定部５はＩＣソケット５Ａ・５Ｂをも
ち、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂは第１の列Ｙ１と第２の列
Ｙ２から等距離の列ＹＭ上に配置される。ＩＣソケット
５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離は凹部１１Ａ・１１
Ｂおよび凹部１２Ａ・１２Ｂの行間距離と同じである。
ち、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂは第１の列Ｙ１と第２の列
Ｙ２から等距離の列ＹＭ上に配置される。ＩＣソケット
５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離は凹部１１Ａ・１１
Ｂおよび凹部１２Ａ・１２Ｂの行間距離と同じである。
【０００６】搬送機構１６は、吸着ハンド１６Ａ・１６
Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄを備える。吸着ハンド１
６Ａ・１６Ｂは、ＩＣ１０の上面を負圧により吸着する
吸着パッドが内包され、前記吸着パッドの周囲にはＩＣ
１０のリードに接触する圧接体が取り付けられる。吸着
ハンド１６Ａ・１６ＢがＩＣ１０を吸着保持した状態
で、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂに押下すると、前記圧接体
はＩＣ１０のリードをＩＣソケット５Ａ・５Ｂの接触子
に圧接する。吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは吸着ハンド１
６Ａ・１６Ｂに内包される吸着パッドと同じものであ
る。
Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄを備える。吸着ハンド１
６Ａ・１６Ｂは、ＩＣ１０の上面を負圧により吸着する
吸着パッドが内包され、前記吸着パッドの周囲にはＩＣ
１０のリードに接触する圧接体が取り付けられる。吸着
ハンド１６Ａ・１６ＢがＩＣ１０を吸着保持した状態
で、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂに押下すると、前記圧接体
はＩＣ１０のリードをＩＣソケット５Ａ・５Ｂの接触子
に圧接する。吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは吸着ハンド１
６Ａ・１６Ｂに内包される吸着パッドと同じものであ
る。
【０００７】図１４では、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと
吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＺ軸方向に昇降する。吸着
ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄの列
間距離は、第１の列Ｙ１と列ＹＭの距離と同じであり、
吸着ハンド１６Ａと吸着ハンド１６Ｂの行間距離および
吸着パッド１６Ｃと吸着パッド１６Ｄの行間距離は、Ｉ
Ｃソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離と同じで
ある。搬送機構１６は吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着
パッド１６Ｃ・１６Ｄを一体にしてＸ軸方向に移動す
る。
吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＺ軸方向に昇降する。吸着
ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄの列
間距離は、第１の列Ｙ１と列ＹＭの距離と同じであり、
吸着ハンド１６Ａと吸着ハンド１６Ｂの行間距離および
吸着パッド１６Ｃと吸着パッド１６Ｄの行間距離は、Ｉ
Ｃソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離と同じで
ある。搬送機構１６は吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと吸着
パッド１６Ｃ・１６Ｄを一体にしてＸ軸方向に移動す
る。
【０００８】次に、図１４の動作を図１５から図１７の
状態変化図により説明する。図１５から図１７は図１４
の正面図である。図１５の６０は移動体であり、移動体
６０はシリンダ１６Ｅとシリンダ１６Ｆを取り付ける。
シリンダ１６Ｅが駆動すると、移動体６０の側壁に取り
付けられたリニアガイドに案内されて、吸着ハンド１６
Ａ・１６Ｂは昇降する。シリンダ１６Ｆが駆動すると、
移動体６０の側壁に取り付けられたリニアガイドに案内
されて、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは昇降する。モータ
６０Ａはボールねじと連結し、前記ボールねじは移動体
６０に取り付けられるボールナットと結合する。モータ
６０Ａが回転すると、移動体６０をＸ軸方向に移動させ
る。
状態変化図により説明する。図１５から図１７は図１４
の正面図である。図１５の６０は移動体であり、移動体
６０はシリンダ１６Ｅとシリンダ１６Ｆを取り付ける。
シリンダ１６Ｅが駆動すると、移動体６０の側壁に取り
付けられたリニアガイドに案内されて、吸着ハンド１６
Ａ・１６Ｂは昇降する。シリンダ１６Ｆが駆動すると、
移動体６０の側壁に取り付けられたリニアガイドに案内
されて、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは昇降する。モータ
６０Ａはボールねじと連結し、前記ボールねじは移動体
６０に取り付けられるボールナットと結合する。モータ
６０Ａが回転すると、移動体６０をＸ軸方向に移動させ
る。
【０００９】図１５アの状態では、吸着ハンド１６Ａ・
１６ＢによりＩＣ１０がＩＣソケット５Ａ・５Ｂに搬送
され、供給ステージ１１に次のＩＣ１０が待機してい
る。なお、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上のＩＣ１０は測定
が完了している。
１６ＢによりＩＣ１０がＩＣソケット５Ａ・５Ｂに搬送
され、供給ステージ１１に次のＩＣ１０が待機してい
る。なお、ＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上のＩＣ１０は測定
が完了している。
【００１０】図１５アの状態から、移動体６０は供給ス
テージ１１側に移動し、図１５イの状態になる。図１５
イの状態では、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂは供給ステー
ジ１１上に位置し、吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＩＣソ
ケット５Ａ・５Ｂ上に位置する。
テージ１１側に移動し、図１５イの状態になる。図１５
イの状態では、吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂは供給ステー
ジ１１上に位置し、吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＩＣソ
ケット５Ａ・５Ｂ上に位置する。
【００１１】図１５イの状態から、吸着ハンド１６Ａ・
１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは降下し、図１６ア
の状態になる。図１６アでは、吸着ハンド１６Ａ・１６
Ｂが供給ステージ１１のＩＣ１０を吸着するとともに、
吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上
のＩＣ１０を吸着する。図１６アの状態から、吸着ハン
ド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄはそれぞ
れＩＣ１０を吸着保持して上昇し、図１６イの状態にな
る。
１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは降下し、図１６ア
の状態になる。図１６アでは、吸着ハンド１６Ａ・１６
Ｂが供給ステージ１１のＩＣ１０を吸着するとともに、
吸着パッド１６Ｃ・１６ＤはＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上
のＩＣ１０を吸着する。図１６アの状態から、吸着ハン
ド１６Ａ・１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄはそれぞ
れＩＣ１０を吸着保持して上昇し、図１６イの状態にな
る。
【００１２】図１６イの状態から、移動体６０は収容ス
テージ１２側に移動し、図１７アの状態になる。図１７
アの状態では、吸着ハンド１６Ａ・１６ＢはＩＣソケッ
ト５Ａ・５Ｂ上に位置し、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは
収容ステージ１２上に位置する。
テージ１２側に移動し、図１７アの状態になる。図１７
アの状態では、吸着ハンド１６Ａ・１６ＢはＩＣソケッ
ト５Ａ・５Ｂ上に位置し、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは
収容ステージ１２上に位置する。
【００１３】図１７アの状態から、吸着ハンド１６Ａ・
１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは降下し、図１６イ
の状態になる。図１６イでは、吸着ハンド１６Ａ・１６
ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接するとと
もに、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは収容ステージ１２上
の凹部１２Ａ・１２ＢにＩＣ１０を解放する。
１６Ｂと吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは降下し、図１６イ
の状態になる。図１６イでは、吸着ハンド１６Ａ・１６
ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接するとと
もに、吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄは収容ステージ１２上
の凹部１２Ａ・１２ＢにＩＣ１０を解放する。
【００１４】図１７イの状態から、ＩＣソケット５Ａ・
５Ｂ上のＩＣ１０が測定終了し、収容ステージ１２上の
ＩＣ１０が次の工程に搬送され、供給ステージ１１に次
のＩＣ１０が搬送されると、図１５アの状態に戻り、一
連の搬送サイクルが完了する。
５Ｂ上のＩＣ１０が測定終了し、収容ステージ１２上の
ＩＣ１０が次の工程に搬送され、供給ステージ１１に次
のＩＣ１０が搬送されると、図１５アの状態に戻り、一
連の搬送サイクルが完了する。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】図１４の構成によるＩ
Ｃ搬送機構では、図１５アの状態から図１５イの状態に
至る時間と、図１６イから図１７アに到る時間を要する
ため一連の搬送サイクルを短縮することが困難である。
すなわち、移動体６０が供給ステージ１１に往復動して
ＩＣ１０をＩＣソケット５Ａ・５Ｂに搬入するととも
に、移動体６０が収容ステージ１２に往復動してＩＣソ
ケット５Ａ・５ＢからＩＣ１０を搬出するので、処理に
無駄が生じている。
Ｃ搬送機構では、図１５アの状態から図１５イの状態に
至る時間と、図１６イから図１７アに到る時間を要する
ため一連の搬送サイクルを短縮することが困難である。
すなわち、移動体６０が供給ステージ１１に往復動して
ＩＣ１０をＩＣソケット５Ａ・５Ｂに搬入するととも
に、移動体６０が収容ステージ１２に往復動してＩＣソ
ケット５Ａ・５ＢからＩＣ１０を搬出するので、処理に
無駄が生じている。
【００１６】この発明は、搬送機構に第１群の吸着ハン
ドと第２群の吸着ハンドを設け、第１群の吸着ハンドが
供給ステージのＩＣを吸着するときは、同時に第２群の
吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接し、第２群の吸
着ハンドが供給ステージのＩＣを吸着するときは、同時
に第１群の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接し、
第１群の吸着ハンドが収容ステージにＩＣを解放すると
きは、同時に第２群の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣ
を圧接し、第２群の吸着ハンドが収容ステージにＩＣを
解放するときは、同時に第１群の吸着ハンドはＩＣソケ
ットにＩＣを圧接して、処理時間を短くするＩＣ搬送機
構の提供を目的とする。
ドと第２群の吸着ハンドを設け、第１群の吸着ハンドが
供給ステージのＩＣを吸着するときは、同時に第２群の
吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接し、第２群の吸
着ハンドが供給ステージのＩＣを吸着するときは、同時
に第１群の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接し、
第１群の吸着ハンドが収容ステージにＩＣを解放すると
きは、同時に第２群の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣ
を圧接し、第２群の吸着ハンドが収容ステージにＩＣを
解放するときは、同時に第１群の吸着ハンドはＩＣソケ
ットにＩＣを圧接して、処理時間を短くするＩＣ搬送機
構の提供を目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、列Ｙ１の
下段に配置され、ＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿
勢が補正される複数の凹部１Ａ・１Ｂをもち、凹部１Ａ
・１Ｂを複数の行に配置し、Ｙ軸方向に移動する供給ス
テージ１と、列Ｙ１の上段に配置され、ＩＣ１０が載置
されるとＩＣ１０の姿勢が補正される複数の凹部２Ａ・
２Ｂをもち、凹部２Ａ・２Ｂを複数の行に配置し、Ｙ軸
方向に移動する収容ステージ２と、列Ｙ２の下段に配置
され、ＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正さ
れる複数の凹部３Ａ・３Ｂをもち、凹部３Ａ・３Ｂを複
数の行に配置し、Ｙ軸方向に移動する供給ステージ３
と、列Ｙ２の上段に配置され、ＩＣ１０が載置されると
ＩＣ１０の姿勢が補正される複数の凹部４Ａ・４Ｂをも
ち、凹部４Ａ・４Ｂを複数の行に配置し、Ｙ軸方向に移
動する収容ステージ４と、列Ｙ１と列Ｙ２から等距離の
列ＹＭ上に複数の行に配置されるＩＣソケット５Ａ・５
Ｂをもつ測定部５とを備え、搬送機構６は複数の行に配
置される第１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂと複数の行に配
置される第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄを一体にしてＸ
軸方向に移動し、第１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが供給
ステージ１の凹部１Ａ・１ＢのＩＣ１０を吸着するとき
は、同時に第２群の吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣソケッ
ト５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、第２群の吸着ハンド
６Ｃ・６Ｄが供給ステージ３の凹部３Ａ・３ＢのＩＣ１
０を吸着するときは、同時に第１群の吸着ハンド６Ａ・
６ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、第
１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが収容ステージ２の凹部２
Ａ・２Ｂに測定後のＩＣ１０を解放するときは、同時に
第２群の吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣソケット５Ａ・５
ＢにＩＣ１０を圧接し、第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄ
が収容ステージ４の凹部４Ａ・４Ｂに測定後のＩＣ１０
を解放するときは、同時に第１群の吸着ハンド６Ａ・６
ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
下段に配置され、ＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿
勢が補正される複数の凹部１Ａ・１Ｂをもち、凹部１Ａ
・１Ｂを複数の行に配置し、Ｙ軸方向に移動する供給ス
テージ１と、列Ｙ１の上段に配置され、ＩＣ１０が載置
されるとＩＣ１０の姿勢が補正される複数の凹部２Ａ・
２Ｂをもち、凹部２Ａ・２Ｂを複数の行に配置し、Ｙ軸
方向に移動する収容ステージ２と、列Ｙ２の下段に配置
され、ＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正さ
れる複数の凹部３Ａ・３Ｂをもち、凹部３Ａ・３Ｂを複
数の行に配置し、Ｙ軸方向に移動する供給ステージ３
と、列Ｙ２の上段に配置され、ＩＣ１０が載置されると
ＩＣ１０の姿勢が補正される複数の凹部４Ａ・４Ｂをも
ち、凹部４Ａ・４Ｂを複数の行に配置し、Ｙ軸方向に移
動する収容ステージ４と、列Ｙ１と列Ｙ２から等距離の
列ＹＭ上に複数の行に配置されるＩＣソケット５Ａ・５
Ｂをもつ測定部５とを備え、搬送機構６は複数の行に配
置される第１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂと複数の行に配
置される第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄを一体にしてＸ
軸方向に移動し、第１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが供給
ステージ１の凹部１Ａ・１ＢのＩＣ１０を吸着するとき
は、同時に第２群の吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣソケッ
ト５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、第２群の吸着ハンド
６Ｃ・６Ｄが供給ステージ３の凹部３Ａ・３ＢのＩＣ１
０を吸着するときは、同時に第１群の吸着ハンド６Ａ・
６ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、第
１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが収容ステージ２の凹部２
Ａ・２Ｂに測定後のＩＣ１０を解放するときは、同時に
第２群の吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣソケット５Ａ・５
ＢにＩＣ１０を圧接し、第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄ
が収容ステージ４の凹部４Ａ・４Ｂに測定後のＩＣ１０
を解放するときは、同時に第１群の吸着ハンド６Ａ・６
ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
【００１８】第２の発明は、行群Ｘ１にＩＣ１０が供給
される複数の凹部７Ａ・７Ｂをもち、行群Ｘ２にＩＣ１
０が収容される複数の凹部７Ｃ・７Ｄをもち、複数の凹
部７Ａ・７Ｂと複数の凹部７Ｃ・７Ｄを列Ｙ１上に配置
し、Ｙ軸方向に移動する移動ステージ７と、行群Ｘ３に
ＩＣ１０が供給される複数の凹部８Ａ・８Ｂをもち、行
群Ｘ４にＩＣ１０が収容される複数の凹部８Ｃ・８Ｄを
もち、複数の凹部８Ａ・８Ｂと複数の凹部８Ｃ・８Ｄが
列Ｙ１上に配置され、Ｙ軸方向に移動する移動ステージ
８と、列Ｙ１と列Ｙ２から等距離の列ＹＭ上に複数の行
に配置されるＩＣソケット５Ａ・５Ｂをもつ測定部５と
を備え、搬送機構６は複数の行に配置される第１群の吸
着ハンド６Ａ・６Ｂと複数の行に配置される第２群の吸
着ハンド６Ｃ・６Ｄを一体にしてＸ軸方向に移動し、第
１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが移動ステージ７の凹部７
Ａ・７ＢのＩＣ１０を吸着するときは、同時に第２群の
吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ
１０を圧接し、第１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが移動ス
テージ７の凹部７Ｃ・７Ｄに測定後のＩＣ１０を解放す
るときは、同時に第２群の吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣ
ソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、第２群の吸着
ハンド６Ｃ・６Ｄが移動ステージ８の凹部８Ａ・８Ｂの
ＩＣ１０を吸着するときは、同時に第１群の吸着ハンド
６Ａ・６ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接
し、第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄが移動ステージ８の
凹部８Ｃ・８Ｄに測定後のＩＣ１０を解放するときは、
同時に第１群の吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソケット５
Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、移動ステージ７にＩＣ１
０を供給または移動ステージ７に収容された測定後のＩ
Ｃ１０を次の工程に搬送するときは、移動ステージ７は
測定部５から離れた位置に移動し、移動ステージ８にＩ
Ｃ１０を供給または移動ステージ８に収容された測定後
のＩＣ１０を次の工程に搬送するときは、移動ステージ
８は測定部５から離れた位置に移動する。
される複数の凹部７Ａ・７Ｂをもち、行群Ｘ２にＩＣ１
０が収容される複数の凹部７Ｃ・７Ｄをもち、複数の凹
部７Ａ・７Ｂと複数の凹部７Ｃ・７Ｄを列Ｙ１上に配置
し、Ｙ軸方向に移動する移動ステージ７と、行群Ｘ３に
ＩＣ１０が供給される複数の凹部８Ａ・８Ｂをもち、行
群Ｘ４にＩＣ１０が収容される複数の凹部８Ｃ・８Ｄを
もち、複数の凹部８Ａ・８Ｂと複数の凹部８Ｃ・８Ｄが
列Ｙ１上に配置され、Ｙ軸方向に移動する移動ステージ
８と、列Ｙ１と列Ｙ２から等距離の列ＹＭ上に複数の行
に配置されるＩＣソケット５Ａ・５Ｂをもつ測定部５と
を備え、搬送機構６は複数の行に配置される第１群の吸
着ハンド６Ａ・６Ｂと複数の行に配置される第２群の吸
着ハンド６Ｃ・６Ｄを一体にしてＸ軸方向に移動し、第
１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが移動ステージ７の凹部７
Ａ・７ＢのＩＣ１０を吸着するときは、同時に第２群の
吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ
１０を圧接し、第１群の吸着ハンド６Ａ・６Ｂが移動ス
テージ７の凹部７Ｃ・７Ｄに測定後のＩＣ１０を解放す
るときは、同時に第２群の吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣ
ソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、第２群の吸着
ハンド６Ｃ・６Ｄが移動ステージ８の凹部８Ａ・８Ｂの
ＩＣ１０を吸着するときは、同時に第１群の吸着ハンド
６Ａ・６ＢはＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接
し、第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄが移動ステージ８の
凹部８Ｃ・８Ｄに測定後のＩＣ１０を解放するときは、
同時に第１群の吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソケット５
Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接し、移動ステージ７にＩＣ１
０を供給または移動ステージ７に収容された測定後のＩ
Ｃ１０を次の工程に搬送するときは、移動ステージ７は
測定部５から離れた位置に移動し、移動ステージ８にＩ
Ｃ１０を供給または移動ステージ８に収容された測定後
のＩＣ１０を次の工程に搬送するときは、移動ステージ
８は測定部５から離れた位置に移動する。
【００１９】
【作用】第１の発明の構成によれば、供給ステージ１が
ＩＣソケット５Ａ・５Ｂと同行に並置したときは、収容
ステージ４も並置され、収容ステージ２がＩＣソケット
５Ａ・５Ｂと同行に並置したときは、供給ステージ３も
並置される。
ＩＣソケット５Ａ・５Ｂと同行に並置したときは、収容
ステージ４も並置され、収容ステージ２がＩＣソケット
５Ａ・５Ｂと同行に並置したときは、供給ステージ３も
並置される。
【００２０】吸着ハンド６Ａ・６Ｂが供給ステージ１の
ＩＣ１０を吸着するとき、または収容ステージ２にＩＣ
１０を解放するときは、、同時に吸着ハンド６Ｃ・６Ｄ
はＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
ＩＣ１０を吸着するとき、または収容ステージ２にＩＣ
１０を解放するときは、、同時に吸着ハンド６Ｃ・６Ｄ
はＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
【００２１】吸着ハンド６Ｃ・６Ｄが供給ステージ３の
ＩＣ１０を吸着するとき、または収容ステージ４にＩＣ
１０を解放するときは、同時に吸着ハンド６Ａ・６Ｂは
ＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
ＩＣ１０を吸着するとき、または収容ステージ４にＩＣ
１０を解放するときは、同時に吸着ハンド６Ａ・６Ｂは
ＩＣソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
【００２２】第２の発明の構成によれば、移動ステージ
７の供給行群Ｘ１がＩＣソケット５Ａ・５Ｂと同行に並
置したときは、移動ステージ８の収容行群Ｘ４も並置さ
れ、移動ステージ７の収容行群Ｘ２がＩＣソケット５Ａ
・５Ｂと同行に並置したときは、移動ステージ８の供給
行群Ｘ３も並置される。
７の供給行群Ｘ１がＩＣソケット５Ａ・５Ｂと同行に並
置したときは、移動ステージ８の収容行群Ｘ４も並置さ
れ、移動ステージ７の収容行群Ｘ２がＩＣソケット５Ａ
・５Ｂと同行に並置したときは、移動ステージ８の供給
行群Ｘ３も並置される。
【００２３】吸着ハンド６Ａ・６Ｂが供給行群Ｘ１のＩ
Ｃ１０を吸着するとき、または収容行群Ｘ２にＩＣ１０
を解放するときは、、同時に吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩ
Ｃソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
Ｃ１０を吸着するとき、または収容行群Ｘ２にＩＣ１０
を解放するときは、、同時に吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩ
Ｃソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
【００２４】吸着ハンド６Ｃ・６Ｄが供給行群Ｘ３のＩ
Ｃ１０を吸着するとき、または収容行群Ｘ４にＩＣ１０
を解放するときは、同時に吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣ
ソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
Ｃ１０を吸着するとき、または収容行群Ｘ４にＩＣ１０
を解放するときは、同時に吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣ
ソケット５Ａ・５ＢにＩＣ１０を圧接する。
【００２５】すなわち、第１の発明と第２の発明では、
搬送機構６が往復動する間にＩＣ１０を同時に搬入およ
び搬出するので、従来と比べ処理時間を約半分にでき
る。
搬送機構６が往復動する間にＩＣ１０を同時に搬入およ
び搬出するので、従来と比べ処理時間を約半分にでき
る。
【００２６】
【実施例】次に、第１の発明によるＩＣ搬送機構の構成
を図１の実施例により説明する。図１の１と３は供給ス
テージ、２と４は収容ステージ、６は搬送機構、６Ａ〜
６Ｄは吸着ハンドであり、その他は図１４と同じもので
ある。
を図１の実施例により説明する。図１の１と３は供給ス
テージ、２と４は収容ステージ、６は搬送機構、６Ａ〜
６Ｄは吸着ハンドであり、その他は図１４と同じもので
ある。
【００２７】図１では、供給ステージ１は第１の列Ｙ１
の下段に配置され、Ｙ軸方向に移動する。供給ステージ
１は複数の行に配置された凹部１Ａ・１Ｂをもつ。凹部
１Ａ・１ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が
補正される。収容ステージ２は第１の列Ｙ１の上段に配
置され、Ｙ軸方向に移動する。収容ステージ２は複数の
行に配置された凹部２Ａ・２Ｂをもつ。凹部２Ａ・２Ｂ
にＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正され
る。
の下段に配置され、Ｙ軸方向に移動する。供給ステージ
１は複数の行に配置された凹部１Ａ・１Ｂをもつ。凹部
１Ａ・１ＢにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が
補正される。収容ステージ２は第１の列Ｙ１の上段に配
置され、Ｙ軸方向に移動する。収容ステージ２は複数の
行に配置された凹部２Ａ・２Ｂをもつ。凹部２Ａ・２Ｂ
にＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正され
る。
【００２８】供給ステージ３は第２の列Ｙ２の下段に配
置され、Ｙ軸方向に移動する。供給ステージ３は複数の
行に配置された凹部３Ａ・３Ｂをもつ。凹部３Ａ・３Ｂ
にＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正され
る。収容ステージ４は第２の列Ｙ２の上段に配置され、
Ｙ軸方向に移動する。収容ステージ４は複数の行に配置
された凹部４Ａ・４Ｂをもつ。凹部４Ａ・４ＢにＩＣ１
０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正される。
置され、Ｙ軸方向に移動する。供給ステージ３は複数の
行に配置された凹部３Ａ・３Ｂをもつ。凹部３Ａ・３Ｂ
にＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正され
る。収容ステージ４は第２の列Ｙ２の上段に配置され、
Ｙ軸方向に移動する。収容ステージ４は複数の行に配置
された凹部４Ａ・４Ｂをもつ。凹部４Ａ・４ＢにＩＣ１
０が載置されるとＩＣ１０の姿勢が補正される。
【００２９】図１の凹部１Ａ・１Ｂ、凹部２Ａ・２Ｂ、
凹部３Ａ・３Ｂ、凹部４Ａ・４Ｂは図１３の凹部１１Ａ
・１１Ｂ、凹部１２Ａ・１２Ｂと同形状であり、ＩＣ１
０の位置決めを容易にする。また、凹部１Ａ・１Ｂ、凹
部２Ａ・２Ｂ、凹部３Ａ・３Ｂ、凹部４Ａ・４Ｂの各行
間距離は、ＩＣソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間
距離と同じである。さらに、凹部１Ａ・１Ｂと凹部２Ａ
・２Ｂの中心は列Ｙ１の線上にあり、凹部３Ａ・３Ｂ、
凹部４Ａ・４Ｂの中心は列Ｙ２の線上にある。
凹部３Ａ・３Ｂ、凹部４Ａ・４Ｂは図１３の凹部１１Ａ
・１１Ｂ、凹部１２Ａ・１２Ｂと同形状であり、ＩＣ１
０の位置決めを容易にする。また、凹部１Ａ・１Ｂ、凹
部２Ａ・２Ｂ、凹部３Ａ・３Ｂ、凹部４Ａ・４Ｂの各行
間距離は、ＩＣソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間
距離と同じである。さらに、凹部１Ａ・１Ｂと凹部２Ａ
・２Ｂの中心は列Ｙ１の線上にあり、凹部３Ａ・３Ｂ、
凹部４Ａ・４Ｂの中心は列Ｙ２の線上にある。
【００３０】図１では、測定部５から離れた位置で、供
給ステージ１・３の凹部にＩＣ１０が供給される。ま
た、測定部５から離れた位置で、収容ステージ２・４の
凹部に収容されたＩＣ１０が取り出され、次の工程に搬
送される。
給ステージ１・３の凹部にＩＣ１０が供給される。ま
た、測定部５から離れた位置で、収容ステージ２・４の
凹部に収容されたＩＣ１０が取り出され、次の工程に搬
送される。
【００３１】搬送機構６は第１群の吸着ハンド６Ａ・６
Ｂと第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄを備える。吸着ハン
ド６Ａ〜６Ｄは、図１４の吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと
同じものである。すなわち、図１の搬送機構６は図１４
の吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄを吸着ハンド６Ｃ・６Ｄに
置き換えたものである。
Ｂと第２群の吸着ハンド６Ｃ・６Ｄを備える。吸着ハン
ド６Ａ〜６Ｄは、図１４の吸着ハンド１６Ａ・１６Ｂと
同じものである。すなわち、図１の搬送機構６は図１４
の吸着パッド１６Ｃ・１６Ｄを吸着ハンド６Ｃ・６Ｄに
置き換えたものである。
【００３２】次に、図１の動作を図２から図４の状態変
化図により説明する。図２から図４は図１の正面図であ
る。図２の６１は移動体であり、移動体６１はシリンダ
６Ｅとシリンダ６Ｆを取り付ける。シリンダ６Ｅが駆動
すると、移動体６１の側壁に取り付けられたリニアガイ
ドに案内されて、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは昇降する。シ
リンダ６Ｆが駆動すると、移動体６１の側壁に取り付け
られたリニアガイドに案内されて、吸着ハンド６Ｃ・６
Ｄは昇降する。モータ６１Ａはボールねじと連結し、前
記ボールねじは移動体６１に取り付けられるボールナッ
トと結合する。モータ６１Ａが回転すると、移動体６１
をＸ軸方向に移動させる。
化図により説明する。図２から図４は図１の正面図であ
る。図２の６１は移動体であり、移動体６１はシリンダ
６Ｅとシリンダ６Ｆを取り付ける。シリンダ６Ｅが駆動
すると、移動体６１の側壁に取り付けられたリニアガイ
ドに案内されて、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは昇降する。シ
リンダ６Ｆが駆動すると、移動体６１の側壁に取り付け
られたリニアガイドに案内されて、吸着ハンド６Ｃ・６
Ｄは昇降する。モータ６１Ａはボールねじと連結し、前
記ボールねじは移動体６１に取り付けられるボールナッ
トと結合する。モータ６１Ａが回転すると、移動体６１
をＸ軸方向に移動させる。
【００３３】図２アの状態では、列Ｙ１の供給ステージ
１は測定部５側に移動しており、列Ｙ２の収容ステージ
４は測定部５側に移動して待機している。吸着ハンド６
Ｃ・６Ｄは降下して、ＩＣ１０を圧接している状態であ
り、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは供給ステージ１のＩＣ１０
を吸着して上昇して測定が終了するまで待機している。
１は測定部５側に移動しており、列Ｙ２の収容ステージ
４は測定部５側に移動して待機している。吸着ハンド６
Ｃ・６Ｄは降下して、ＩＣ１０を圧接している状態であ
り、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは供給ステージ１のＩＣ１０
を吸着して上昇して測定が終了するまで待機している。
【００３４】図２アの状態から、列Ｙ１の供給ステージ
１は測定部５から離れた位置に移動し、列Ｙ１の収容ス
テージ２が測定部５側に移動し、待機する。図２アの状
態から測定が終了すると、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは測定
部５のＩＣ１０を吸着保持して上昇し、図２イの状態に
なる。
１は測定部５から離れた位置に移動し、列Ｙ１の収容ス
テージ２が測定部５側に移動し、待機する。図２アの状
態から測定が終了すると、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは測定
部５のＩＣ１０を吸着保持して上昇し、図２イの状態に
なる。
【００３５】図２イの状態から、移動体６１は列Ｙ２側
に移動し、図３アの状態になる。図３アの状態では、吸
着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上に位置
し、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは列Ｙ２の収容ステージ４上
に位置する。
に移動し、図３アの状態になる。図３アの状態では、吸
着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソケット５Ａ・５Ｂ上に位置
し、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは列Ｙ２の収容ステージ４上
に位置する。
【００３６】図３アの状態から、吸着ハンド６Ａ・６Ｂ
は降下してＩＣ１０をＩＣソケット５Ａ・５Ｂに圧接
し、同時に、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは列Ｙ２の収容ステ
ージ４にＩＣ１０を解放し、図３イの状態になる。
は降下してＩＣ１０をＩＣソケット５Ａ・５Ｂに圧接
し、同時に、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは列Ｙ２の収容ステ
ージ４にＩＣ１０を解放し、図３イの状態になる。
【００３７】図３イの状態から、列Ｙ２の収容ステージ
４は測定部５から離れた位置に移動し、列Ｙ２の供給ス
テージ３が次に測定されるＩＣ１０を保有して測定部５
側に移動し、図４アの状態になる。なお、図４アでは、
ＩＣ１０は測定が完了していないので、吸着ハンド６Ａ
・６ＢはＩＣ１０を圧接している。
４は測定部５から離れた位置に移動し、列Ｙ２の供給ス
テージ３が次に測定されるＩＣ１０を保有して測定部５
側に移動し、図４アの状態になる。なお、図４アでは、
ＩＣ１０は測定が完了していないので、吸着ハンド６Ａ
・６ＢはＩＣ１０を圧接している。
【００３８】図４アの状態から、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄ
は降下し、列Ｙ２の供給ステージ３のＩＣ１０を吸着
し、図４イの状態になる。
は降下し、列Ｙ２の供給ステージ３のＩＣ１０を吸着
し、図４イの状態になる。
【００３９】図４イの状態から、次に、吸着ハンド６Ｃ
・６ＤはＩＣ１０を吸着保持して、上昇する。ＩＣ１０
の測定が完了すると、吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソケ
ット５Ａ・５Ｂの吸着して上昇する。
・６ＤはＩＣ１０を吸着保持して、上昇する。ＩＣ１０
の測定が完了すると、吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソケ
ット５Ａ・５Ｂの吸着して上昇する。
【００４０】次に、移動体６１は列Ｙ１側に移動し、吸
着ハンド６Ａ・６Ｂは測定完了後のＩＣ１０を列Ｙ１の
収容ステージ２に解放する。同時に、吸着ハンド６Ｃ・
６ＤはＩＣ１０をＩＣソケット５Ａ・５Ｂに圧接する。
次に、列Ｙ１の収容ステージ２は測定部５から離れた位
置に移動し、列Ｙ１の供給ステージ１が次に測定される
ＩＣ１０を保有して測定部５側に移動し、吸着ハンド６
Ａ・６Ｂは降下し、列Ｙ１の供給ステージ１上のＩＣ１
０を吸着保持して上昇し、図２アの状態に戻る。
着ハンド６Ａ・６Ｂは測定完了後のＩＣ１０を列Ｙ１の
収容ステージ２に解放する。同時に、吸着ハンド６Ｃ・
６ＤはＩＣ１０をＩＣソケット５Ａ・５Ｂに圧接する。
次に、列Ｙ１の収容ステージ２は測定部５から離れた位
置に移動し、列Ｙ１の供給ステージ１が次に測定される
ＩＣ１０を保有して測定部５側に移動し、吸着ハンド６
Ａ・６Ｂは降下し、列Ｙ１の供給ステージ１上のＩＣ１
０を吸着保持して上昇し、図２アの状態に戻る。
【００４１】次に、第２の発明によるＩＣ搬送機構の構
成を図５の実施例により説明する。図５の７は第１の移
動ステージ、８は第２の移動ステージであり、その他は
図１と同じものである。すなわち、第１の移動ステージ
７は図１の供給ステージ１と収容ステージ２を一体にし
て配置したものであり、第２の移動ステージ８は図１の
供給ステージ３と収容ステージ４を一体にして配置した
ものである。
成を図５の実施例により説明する。図５の７は第１の移
動ステージ、８は第２の移動ステージであり、その他は
図１と同じものである。すなわち、第１の移動ステージ
７は図１の供給ステージ１と収容ステージ２を一体にし
て配置したものであり、第２の移動ステージ８は図１の
供給ステージ３と収容ステージ４を一体にして配置した
ものである。
【００４２】図５では、移動ステージ７は列Ｙ１上に配
置され、Ｙ軸方向に移動する。移動ステージ７は、行群
Ｘ１にＩＣ１０が供給される複数の凹部７Ａ・７Ｂをも
ち、行群Ｘ２にＩＣ１０が収容される複数の凹部７Ｃ・
７Ｄをもつ。凹部７Ａ〜７ＤにＩＣ１０が載置されると
ＩＣ１０の姿勢が補正される。
置され、Ｙ軸方向に移動する。移動ステージ７は、行群
Ｘ１にＩＣ１０が供給される複数の凹部７Ａ・７Ｂをも
ち、行群Ｘ２にＩＣ１０が収容される複数の凹部７Ｃ・
７Ｄをもつ。凹部７Ａ〜７ＤにＩＣ１０が載置されると
ＩＣ１０の姿勢が補正される。
【００４３】移動ステージ８は列Ｙ２上に配置され、Ｙ
軸方向に移動する。移動ステージ８は、行群Ｘ３にＩＣ
１０が供給される複数の凹部８Ａ・８Ｂをもち、行群Ｘ
４にＩＣ１０が収容される複数の凹部８Ｃ・８Ｄをも
つ。凹部８Ａ〜８ＤにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０
の姿勢が補正される。
軸方向に移動する。移動ステージ８は、行群Ｘ３にＩＣ
１０が供給される複数の凹部８Ａ・８Ｂをもち、行群Ｘ
４にＩＣ１０が収容される複数の凹部８Ｃ・８Ｄをも
つ。凹部８Ａ〜８ＤにＩＣ１０が載置されるとＩＣ１０
の姿勢が補正される。
【００４４】凹部７Ａ〜７Ｄと凹部８Ａ〜８Ｄは図１の
凹部と同じものである。また、凹部７Ａ・７Ｂ、凹部７
Ｃ・７Ｄ、凹部８Ａ・８Ｂ、凹部８Ｃ・８Ｄの各行間距
離は、ＩＣソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離
と同じである。さらに、凹部７Ａ〜７Ｄの中心は列Ｙ１
の線上にあり、凹部８Ａ〜８Ｄの中心は列Ｙ２の線上に
ある。なお、移動ステージ７の上面と、移動ステージ８
の上面は同一平面上に配置される。
凹部と同じものである。また、凹部７Ａ・７Ｂ、凹部７
Ｃ・７Ｄ、凹部８Ａ・８Ｂ、凹部８Ｃ・８Ｄの各行間距
離は、ＩＣソケット５ＡとＩＣソケット５Ｂの行間距離
と同じである。さらに、凹部７Ａ〜７Ｄの中心は列Ｙ１
の線上にあり、凹部８Ａ〜８Ｄの中心は列Ｙ２の線上に
ある。なお、移動ステージ７の上面と、移動ステージ８
の上面は同一平面上に配置される。
【００４５】次に、図１の動作を図６から図１３の状態
変化図により説明する。図６から図１３の「ア」は図５
の平面図であり、「イ」は正面図である。なお、搬送機
構６は図１４と同じものである。
変化図により説明する。図６から図１３の「ア」は図５
の平面図であり、「イ」は正面図である。なお、搬送機
構６は図１４と同じものである。
【００４６】図６の状態では、移動ステージ７の行群Ｘ
１は測定部５と並置しており、移動ステージ８の行群Ｘ
４は測定部５と並置している。吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは
降下して、ＩＣ１０Ａ・１０Ｂを圧接している状態であ
り、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは行群Ｘ１のＩＣ１０Ｃ・１
０Ｄを吸着して上昇して測定が終了するまで待機してい
る。
１は測定部５と並置しており、移動ステージ８の行群Ｘ
４は測定部５と並置している。吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは
降下して、ＩＣ１０Ａ・１０Ｂを圧接している状態であ
り、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは行群Ｘ１のＩＣ１０Ｃ・１
０Ｄを吸着して上昇して測定が終了するまで待機してい
る。
【００４７】図６の状態から測定が終了すると、吸着ハ
ンド６Ｃ・６Ｄは測定部５のＩＣ１０Ａ・１０Ｂを吸着
保持して上昇し、図７の状態になる。図７の状態から、
移動体６１は移動ステージ７側に移動し、図８の状態に
なる。図８の状態では、吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソ
ケット５Ａ・５Ｂ上に位置し、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは
移動ステージ８の行群Ｘ４上に位置する。
ンド６Ｃ・６Ｄは測定部５のＩＣ１０Ａ・１０Ｂを吸着
保持して上昇し、図７の状態になる。図７の状態から、
移動体６１は移動ステージ７側に移動し、図８の状態に
なる。図８の状態では、吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣソ
ケット５Ａ・５Ｂ上に位置し、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは
移動ステージ８の行群Ｘ４上に位置する。
【００４８】図８の状態から、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは
降下してＩＣ１０Ｃ・１０ＤをＩＣソケット５Ａ・５Ｂ
に圧接し、同時に、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは移動ステー
ジ８の行群Ｘ４にＩＣ１０Ａ・１０Ｂを解放し、図９の
状態になる。
降下してＩＣ１０Ｃ・１０ＤをＩＣソケット５Ａ・５Ｂ
に圧接し、同時に、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄは移動ステー
ジ８の行群Ｘ４にＩＣ１０Ａ・１０Ｂを解放し、図９の
状態になる。
【００４９】図９の状態から、移動ステージ８は測定部
５から離れた位置に移動し、次に測定されるＩＣ１０Ｅ
・１０Ｆを移動ステージ８の行群Ｘ３に保有して測定部
５側に戻り、図１０の状態になる。なお、図１０では、
ＩＣ１０Ｃ・１０Ｄは測定が完了していないので、吸着
ハンド６Ａ・６ＢはＩＣ１０Ｃ・１０Ｄを圧接してい
る。
５から離れた位置に移動し、次に測定されるＩＣ１０Ｅ
・１０Ｆを移動ステージ８の行群Ｘ３に保有して測定部
５側に戻り、図１０の状態になる。なお、図１０では、
ＩＣ１０Ｃ・１０Ｄは測定が完了していないので、吸着
ハンド６Ａ・６ＢはＩＣ１０Ｃ・１０Ｄを圧接してい
る。
【００５０】図１０の状態から、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄ
は降下し、移動ステージ８の行群Ｘ３列のＩＣ１０Ｅ・
１０Ｆを吸着し、図１１の状態になる。
は降下し、移動ステージ８の行群Ｘ３列のＩＣ１０Ｅ・
１０Ｆを吸着し、図１１の状態になる。
【００５１】図１１の状態から、吸着ハンド６Ｃ・６Ｄ
はＩＣ１０Ｅ・１０Ｆを吸着保持して上昇し、図１２の
状態になる。ＩＣ１０Ｃ・１０Ｄの測定が完了すると、
吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣ１０Ｃ・１０Ｄを吸着保持
して上昇する。次に、移動体６１は移動ステージ７側に
移動し、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは測定完了後のＩＣ１０
Ｃ・１０Ｄを移動ステージ７の行群Ｘ２に解放する。同
時に、吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣ１０Ｅ・１０ＦをＩ
Ｃソケット５Ａ・５Ｂに圧接し、図１３の状態になる。
はＩＣ１０Ｅ・１０Ｆを吸着保持して上昇し、図１２の
状態になる。ＩＣ１０Ｃ・１０Ｄの測定が完了すると、
吸着ハンド６Ａ・６ＢはＩＣ１０Ｃ・１０Ｄを吸着保持
して上昇する。次に、移動体６１は移動ステージ７側に
移動し、吸着ハンド６Ａ・６Ｂは測定完了後のＩＣ１０
Ｃ・１０Ｄを移動ステージ７の行群Ｘ２に解放する。同
時に、吸着ハンド６Ｃ・６ＤはＩＣ１０Ｅ・１０ＦをＩ
Ｃソケット５Ａ・５Ｂに圧接し、図１３の状態になる。
【００５２】次に、移動ステージ７は測定部５から離れ
た位置に移動し、次に測定されるＩＣ１０Ｇ・１０Ｈを
移動ステージ７は保有して測定部５側に戻り、吸着ハン
ド６Ａ・６Ｂは降下し、移動ステージ７の行群Ｘ１のＩ
Ｃ１０Ｇ・１０Ｈを吸着保持して上昇し、図６の状態に
戻る。
た位置に移動し、次に測定されるＩＣ１０Ｇ・１０Ｈを
移動ステージ７は保有して測定部５側に戻り、吸着ハン
ド６Ａ・６Ｂは降下し、移動ステージ７の行群Ｘ１のＩ
Ｃ１０Ｇ・１０Ｈを吸着保持して上昇し、図６の状態に
戻る。
【００５３】
【発明の効果】この発明は、搬送機構に第１群の吸着ハ
ンドと第２群の吸着ハンドを設け、第１群の吸着ハンド
が供給ステージのＩＣを吸着するときは、同時に第２群
の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接し、第２群の
吸着ハンドが供給ステージのＩＣを吸着するときは、同
時に第１群の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接
し、第１群の吸着ハンドが収容ステージにＩＣを解放す
るときは、同時に第２群の吸着ハンドはＩＣソケットに
ＩＣを圧接し、第２群の吸着ハンドが収容ステージにＩ
Ｃ１０を解放するときは、同時に第１群の吸着ハンドは
ＩＣソケットにＩＣを圧接して、ＩＣの処理時間を短く
することができる。
ンドと第２群の吸着ハンドを設け、第１群の吸着ハンド
が供給ステージのＩＣを吸着するときは、同時に第２群
の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接し、第２群の
吸着ハンドが供給ステージのＩＣを吸着するときは、同
時に第１群の吸着ハンドはＩＣソケットにＩＣを圧接
し、第１群の吸着ハンドが収容ステージにＩＣを解放す
るときは、同時に第２群の吸着ハンドはＩＣソケットに
ＩＣを圧接し、第２群の吸着ハンドが収容ステージにＩ
Ｃ１０を解放するときは、同時に第１群の吸着ハンドは
ＩＣソケットにＩＣを圧接して、ＩＣの処理時間を短く
することができる。
【図１】第１の発明によるＩＣ搬送機構の構成図であ
る。
る。
【図２】図１の動作を説明する状態図である。
【図３】図２の状態変化図である。
【図４】図３の状態変化図である。
【図５】第２の発明によるＩＣ搬送機構の構成図であ
る。
る。
【図６】図５の動作を説明する状態図である。
【図７】図６の状態変化図である。
【図８】図７の状態変化図である。
【図９】図８の状態変化図である。
【図１０】図９の状態変化図である。
【図１１】図１０の状態変化図である。
【図１２】図１１の状態変化図である。
【図１３】図１２の状態変化図である。
【図１４】従来技術によるＩＣ搬送機構の構成図であ
る。
る。
【図１５】図１４の動作を説明する状態図である。
【図１６】図１５の状態変化図である。
【図１７】図１６の状態変化図である。
１ 供給ステージ １Ａ 凹部 １Ｂ 凹部 ２ 収容ステージ ２Ａ 凹部 ２Ｂ 凹部 ３ 供給ステージ ３Ａ 凹部 ３Ｂ 凹部 ４ 収容ステージ ４Ａ 凹部 ２Ｂ 凹部 ５ 測定部 ５Ａ ＩＣソケット ５Ｂ ＩＣソケット ６ 搬送機構 ６Ａ 吸着ハンド ６Ｂ 吸着ハンド ６Ｃ 吸着ハンド ６Ｄ 吸着ハンド ７ 移動ステージ ７Ａ 凹部 ７Ｂ 凹部 ７Ｃ 凹部 ７Ｄ 凹部 ８ 移動ステージ ８Ａ 凹部 ８Ｂ 凹部 ８Ｃ 凹部 ８Ｄ 凹部 １０ ＩＣ Ｘ１ 行群 Ｘ２ 行群 Ｘ３ 行群 Ｘ４ 行群 Ｙ１ 列 Ｙ２ 列 ＹＭ 列
Claims (2)
- 【請求項１】 第１の列(Y1)の下段に配置され、ＩＣ(1
0)が載置されるとＩＣ(10)の姿勢が補正される複数の凹
部(1A)・(1B)をもち、凹部(1A)・(1B)を複数の行に配置
し、Ｙ軸方向に移動する第１の供給ステージ(1)と、 第１の列(Y1)の上段に配置され、ＩＣ(10)が載置される
とＩＣ(10)の姿勢が補正される複数の凹部(2A)・(2B)を
もち、凹部(2A)・(2B)を複数の行に配置し、Ｙ軸方向に
移動する第１の収容ステージ(2) と、 第２の列(Y2)の下段に配置され、ＩＣ(10)が載置される
とＩＣ(10)の姿勢が補正される複数の凹部(3A)・(3B)を
もち、凹部(3A)・(3B)を複数の行に配置し、Ｙ軸方向に
移動する第２の供給ステージ(3) と、 第２の列(Y2)の上段に配置され、ＩＣ(10)が載置される
とＩＣ(10)の姿勢が補正される複数の凹部(4A)・(4B)を
もち、凹部(4A)・(4B)を複数の行に配置し、Ｙ軸方向に
移動する第２の収容ステージ(4) と、 第１の列(Y1)と第２の列(Y2)から等距離の列(YM)上に複
数の行に配置されるＩＣソケット(5A)・(5B) をもつ測
定部(5) とを備え、 搬送機構(6) は複数の行に配置される第１群の吸着ハン
ド(6A)・(6B)と複数の行に配置される第２群の吸着ハン
ド(6C)・(6D)を一体にしてＸ軸方向に移動し、 第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)が第１の供給ステージ
(1) の凹部(1A)・(1B)のＩＣ(10)を吸着するときは、同
時に第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)はＩＣソケット(5A)
・(5B)にＩＣ(10)を圧接し、 第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)が第２の供給ステージ
(3) の凹部(3A)・(3B)のＩＣ(10)を吸着するときは、同
時に第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)はＩＣソケット(5A)
・(5B)にＩＣ(10)を圧接し、 第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)が第１の収容ステージ
(2) の凹部(2A)・(2B)に測定後のＩＣ(10)を解放すると
きは、同時に第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)はＩＣソケ
ット(5A)・(5B)にＩＣ(10)を圧接し、 第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)が第２の収容ステージ
(4) の凹部(4A)・(4B)に測定後のＩＣ(10)を解放すると
きは、同時に第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)はＩＣソケ
ット(5A)・(5B)にＩＣ(10)を圧接することを特徴とする
複数の吸着ハンドによるＩＣ搬送機構。 - 【請求項２】 第１の行群(X1)にＩＣ(10)が供給される
複数の凹部(7A)・(7B)をもち、第２の行群(X2)にＩＣ(1
0)が収容される複数の凹部(7C)・(7D)をもち、複数の凹
部(7A)・(7B)と複数の凹部(7C)・(7D)を第１の列(Y1)上
に配置し、Ｙ軸方向に移動する第１の移動ステージ(7)
と、 第３の行群(X3)にＩＣ(10)が供給される複数の凹部(8A)
・(8B)をもち、第４の行群(X4)にＩＣ(10)が収容される
複数の凹部(8C)・(8D)をもち、複数の凹部(8A)・(8B)と
複数の凹部(8C)・(8D)が第２の列(Y2)上に配置され、Ｙ
軸方向に移動する第２の移動ステージ(8) と、 第１の列(Y1)と第２の列(Y2)から等距離の列(YM)上に複
数の行に配置されるＩＣソケット(5A)・(5B)をもつ測定
部(5) とを備え、 搬送機構(6) は複数の行に配置される第１群の吸着ハン
ド(6A)・(6B)と複数の行に配置される第２群の吸着ハン
ド(6C)・(6D)を一体にしてＸ軸方向に移動し、 第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)が第１の移動ステージ
(7) の凹部(7A)・(7B)のＩＣ(10)を吸着するときは、同
時に第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)はＩＣソケット(5A)
・(5B)にＩＣ(10)を圧接し、 第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)が第１の移動ステージ
(7) の凹部(7C)・(7D)に測定後のＩＣ(10)を解放すると
きは、同時に第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)はＩＣソケ
ット(5A)・(5B)にＩＣ(10)を圧接し、 第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)が第２の移動ステージ
(8) の凹部(8A)・(8B)のＩＣ(10)を吸着するときは、同
時に第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)はＩＣソケット(5A)
・(5B)にＩＣ(10)を圧接し、 第２群の吸着ハンド(6C)・(6D)が第２の移動ステージ
(8) の凹部(8C)・(8D)に測定後のＩＣ(10)を解放すると
きは、同時に第１群の吸着ハンド(6A)・(6B)はＩＣソケ
ット(5A)・(5B)にＩＣ(10)を圧接し、 第１の移動ステージ(7) にＩＣ(10)を供給または第１の
移動ステージ(7) に収容された測定後のＩＣ(10)を次の
工程に搬送するときは、第１の移動ステージ(7) は測定
部(5) から離れた位置に移動し、 第２の移動ステージ(8) にＩＣ(10)を供給または第２の
移動ステージ(8) に収容された測定後のＩＣ(10)を次の
工程に搬送するときは、第２の移動ステージ(8) は測定
部(5) から離れた位置に移動することを特徴とする複数
の吸着ハンドによるＩＣ搬送機構。
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5458394A JP3141677B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 複数の吸着ハンドによるｉｃ搬送機構 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP5458394A Expired - Fee Related JP3141677B2 (ja) | 1994-02-28 | 1994-02-28 | 複数の吸着ハンドによるｉｃ搬送機構 |
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1995
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