JP3141846B2 - 半導体の選別装置と選別方法及びこの方法を記録した記録媒体 - Google Patents
半導体の選別装置と選別方法及びこの方法を記録した記録媒体Info
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- JP3141846B2 JP3141846B2 JP10176810A JP17681098A JP3141846B2 JP 3141846 B2 JP3141846 B2 JP 3141846B2 JP 10176810 A JP10176810 A JP 10176810A JP 17681098 A JP17681098 A JP 17681098A JP 3141846 B2 JP3141846 B2 JP 3141846B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の選別装置
と選別方法及びこの方法を記録した記録媒体に係わり、
特に、量産された半導体からできるだけ多くの良品を選
別し、しかも、能率よく良品を選別することを可能にし
た半導体の選別装置と選別方法及びこの方法を記録した
記録媒体に関する。
と選別方法及びこの方法を記録した記録媒体に係わり、
特に、量産された半導体からできるだけ多くの良品を選
別し、しかも、能率よく良品を選別することを可能にし
た半導体の選別装置と選別方法及びこの方法を記録した
記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】特に、超高周波領域のパワートランジス
タにおいては、生産された半導体の中から所定の範囲の
性能を有した半導体のみを選別し、この選別した半導体
から更に所定のスペックを満たした半導体を検査工程で
検査し出荷するようにしている。
タにおいては、生産された半導体の中から所定の範囲の
性能を有した半導体のみを選別し、この選別した半導体
から更に所定のスペックを満たした半導体を検査工程で
検査し出荷するようにしている。
【０００３】図７は、上記した工程を示した図であり、
図において、１は生産された半導体のうちから最低限の
性能を検査し、良品のみを選別する選別工程、２は選別
工程１で選別された半導体の各種の性能を試験し、良品
のみを出荷するための検査工程である。さて、従来の超
高周波領域のパワートランジスタの選別工程１では、試
料の出力レベルが所定の出力になるように信号源から信
号を入力してこの入力レベルを測定し、所定の範囲の入
力レベルになった試料のみを選別し、その後、所定の性
能を検査するようにしている。
図において、１は生産された半導体のうちから最低限の
性能を検査し、良品のみを選別する選別工程、２は選別
工程１で選別された半導体の各種の性能を試験し、良品
のみを出荷するための検査工程である。さて、従来の超
高周波領域のパワートランジスタの選別工程１では、試
料の出力レベルが所定の出力になるように信号源から信
号を入力してこの入力レベルを測定し、所定の範囲の入
力レベルになった試料のみを選別し、その後、所定の性
能を検査するようにしている。
【０００４】さて、選別工程１で選別した半導体トラン
ジスタの所定レベルになる入力レベルは、一般的には図
８のようにバラつくから、初め、図８の入力レベルＳ１
を入力しその時の出力レベルを調べる。この時、Ｓ１の
入力レベルで所定の出力レベルにならない時、次に、Ｓ
２の入力レベルを入力し、その時の出力レベルを調べ
る。更に、Ｓ２の入力レベルで所定の出力レベルになら
ない時、次に、Ｓ３の入力レベルを入力し、その時の出
力レベルを調べる。そして、この入力レベルを入力した
時、出力レベルが所定の範囲内であれば、良品として次
工程に送り、出力レベルが所定の範囲外であればその半
導体を廃棄するようにしている。
ジスタの所定レベルになる入力レベルは、一般的には図
８のようにバラつくから、初め、図８の入力レベルＳ１
を入力しその時の出力レベルを調べる。この時、Ｓ１の
入力レベルで所定の出力レベルにならない時、次に、Ｓ
２の入力レベルを入力し、その時の出力レベルを調べ
る。更に、Ｓ２の入力レベルで所定の出力レベルになら
ない時、次に、Ｓ３の入力レベルを入力し、その時の出
力レベルを調べる。そして、この入力レベルを入力した
時、出力レベルが所定の範囲内であれば、良品として次
工程に送り、出力レベルが所定の範囲外であればその半
導体を廃棄するようにしている。
【０００５】ここで、Ｖは入力レベルの可変幅（「サー
チ幅」ともいう）である。このように、ライン上で生産
される全ての半導体に対して、上記したような方法で、
入力レベルを可変する、所謂、入力レベルのサーチを行
った場合、所定の出力レベルとなる入力レベルを探し出
すサーチ回数が多くなり、この為、選別時間が長くな
り、生産能率が著しく低下するという問題がある。
チ幅」ともいう）である。このように、ライン上で生産
される全ての半導体に対して、上記したような方法で、
入力レベルを可変する、所謂、入力レベルのサーチを行
った場合、所定の出力レベルとなる入力レベルを探し出
すサーチ回数が多くなり、この為、選別時間が長くな
り、生産能率が著しく低下するという問題がある。
【０００６】又、サーチ幅を図８のように予め決めてし
まい、例えば、入力レベルをＳ１〜Ｓ３のみの範囲、例
えば、サーチ幅Ｖでサーチする場合、サーチ幅Ｖの両サ
イドに該当する入力レベルの試料に対しては測定できな
いから、この場合、不良品として取り扱うので廃棄品が
増え、従って、選別時間が短縮されるものの、この場合
も生産能率が低下するという問題があった。
まい、例えば、入力レベルをＳ１〜Ｓ３のみの範囲、例
えば、サーチ幅Ｖでサーチする場合、サーチ幅Ｖの両サ
イドに該当する入力レベルの試料に対しては測定できな
いから、この場合、不良品として取り扱うので廃棄品が
増え、従って、選別時間が短縮されるものの、この場合
も生産能率が低下するという問題があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
した従来技術の欠点を改良し、特に、短時間の選別時間
で多くの試料を選別すると共に、できるだけ多くの良品
を選び出し、以って、生産数量を増加せしめるようにし
た新規な半導体の選別装置と選別方法を提供するもので
ある。
した従来技術の欠点を改良し、特に、短時間の選別時間
で多くの試料を選別すると共に、できるだけ多くの良品
を選び出し、以って、生産数量を増加せしめるようにし
た新規な半導体の選別装置と選別方法を提供するもので
ある。
【０００８】この発明の他の目的は、前記選別方法を記
録したコンピュータが読み出し可能な記録媒体を提供す
るものである。
録したコンピュータが読み出し可能な記録媒体を提供す
るものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わる半
導体の選別装置の第１態様は、被測定半導体と、この被
測定半導体に入力する入力レベルを可変可能にした信号
源と、この信号源のレベルを測定する測定部と、前記被
測定半導体の出力レベルを測定する測定部と、前記信号
源の入力レベルを可変制御する制御部とで構成した半導
体選別装置において、複数の前記被測定半導体の所定の
出力レベルになる信号源のレベルを測定し、そのレベル
の分布の状態を分析する第１の手段と、前記第１の手段
の分析結果である分布データに基づき、前記信号源のレ
ベルの可変範囲を決定する第２の手段と、前記被測定半
導体の所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定し
た後、この測定データを前記分析データに加え、前記分
析データを更新する第３の手段と、を前記制御部に設け
たことを特徴とするものであり、又、第２態様は、前記
第３の手段は、異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選
別回数を算出する第１の算出手段と、各可変幅毎の選別
時間を算出する第２の算出手段と、各可変幅毎の単位時
間当たりの選別数量を算出する第３の算出手段と、前記
第３の算出手段が算出した単位時間当たりの選別数量か
ら最大の選別数量が得られる可変幅を選択する可変幅の
選択手段と、で構成したことを特徴とするものであり、
又、第３態様は、前記レベルの分布は、度数分布である
ことを特徴とするものであり、又、第４態様は、前記信
号源のレベルの可変範囲を決定する第２の手段は、前記
レベルの分布の３σ以内の範囲で可変範囲を決定するこ
とを特徴とするものである。
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わる半
導体の選別装置の第１態様は、被測定半導体と、この被
測定半導体に入力する入力レベルを可変可能にした信号
源と、この信号源のレベルを測定する測定部と、前記被
測定半導体の出力レベルを測定する測定部と、前記信号
源の入力レベルを可変制御する制御部とで構成した半導
体選別装置において、複数の前記被測定半導体の所定の
出力レベルになる信号源のレベルを測定し、そのレベル
の分布の状態を分析する第１の手段と、前記第１の手段
の分析結果である分布データに基づき、前記信号源のレ
ベルの可変範囲を決定する第２の手段と、前記被測定半
導体の所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定し
た後、この測定データを前記分析データに加え、前記分
析データを更新する第３の手段と、を前記制御部に設け
たことを特徴とするものであり、又、第２態様は、前記
第３の手段は、異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選
別回数を算出する第１の算出手段と、各可変幅毎の選別
時間を算出する第２の算出手段と、各可変幅毎の単位時
間当たりの選別数量を算出する第３の算出手段と、前記
第３の算出手段が算出した単位時間当たりの選別数量か
ら最大の選別数量が得られる可変幅を選択する可変幅の
選択手段と、で構成したことを特徴とするものであり、
又、第３態様は、前記レベルの分布は、度数分布である
ことを特徴とするものであり、又、第４態様は、前記信
号源のレベルの可変範囲を決定する第２の手段は、前記
レベルの分布の３σ以内の範囲で可変範囲を決定するこ
とを特徴とするものである。
【００１０】又、本発明に係る半導体の選別装置の選別
方法の第１態様は、被測定半導体と、この被測定半導体
に入力する入力レベルを可変可能にした信号源と、この
信号源のレベルを測定する測定部と、前記被測定半導体
の出力レベルを測定する測定部と、前記信号源の入力レ
ベルを可変制御する制御部とで構成した半導体選別装置
の選別方法において、前記被測定半導体の所定の出力レ
ベルになる信号源のレベルを測定し、そのレベルの分布
の状態を分析する第１の工程と、前記第１の手段の分析
結果である分布データに基づき、前記信号源のレベルの
可変範囲を決定する第２の工程と、前記被測定半導体の
所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定した後、
この測定データを前記分析データに加え、前記分布デー
タを更新する第３の工程と、を含むことを特徴とするも
のであり、又、第２態様は、前記第３の工程は、異なる
可変幅を設定し、各可変幅毎の選別回数を算出する第１
の工程と、各可変幅毎の選別時間を算出する第２の工程
と、各可変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する
第３の工程と、前記第３の算出手段が算出した単位時間
当たりの選別数量から最大の選別数量が得られる可変幅
を選択する第４の工程と、を含むことを特徴とするもの
である。
方法の第１態様は、被測定半導体と、この被測定半導体
に入力する入力レベルを可変可能にした信号源と、この
信号源のレベルを測定する測定部と、前記被測定半導体
の出力レベルを測定する測定部と、前記信号源の入力レ
ベルを可変制御する制御部とで構成した半導体選別装置
の選別方法において、前記被測定半導体の所定の出力レ
ベルになる信号源のレベルを測定し、そのレベルの分布
の状態を分析する第１の工程と、前記第１の手段の分析
結果である分布データに基づき、前記信号源のレベルの
可変範囲を決定する第２の工程と、前記被測定半導体の
所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定した後、
この測定データを前記分析データに加え、前記分布デー
タを更新する第３の工程と、を含むことを特徴とするも
のであり、又、第２態様は、前記第３の工程は、異なる
可変幅を設定し、各可変幅毎の選別回数を算出する第１
の工程と、各可変幅毎の選別時間を算出する第２の工程
と、各可変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する
第３の工程と、前記第３の算出手段が算出した単位時間
当たりの選別数量から最大の選別数量が得られる可変幅
を選択する第４の工程と、を含むことを特徴とするもの
である。
【００１１】又、本発明に係る記録媒体の態様は、被測
定半導体と、この被測定半導体に入力する入力レベルを
可変可能にした信号源と、この信号源のレベルを測定す
る測定部と、前記被測定半導体の出力レベルを測定する
測定部と、前記信号源の入力レベルを可変制御する制御
部とで構成した半導体選別装置の選別方法のコンピュー
タプログラムを記録した記録媒体であって、前記被測定
半導体の所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定
し、そのレベルの分布の状態を分析する第１の工程と、
前記第１の手段の分析結果である分布データに基づき、
前記信号源のレベルの可変範囲を決定する第２の工程
と、前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源
のレベルを測定した後、この測定データを前記分析デー
タに加え、前記分布データを更新する第３の工程と、と
からなる一連の処理をコンピュータに実行させるための
プログラムを記録したことを特徴とするものである。
定半導体と、この被測定半導体に入力する入力レベルを
可変可能にした信号源と、この信号源のレベルを測定す
る測定部と、前記被測定半導体の出力レベルを測定する
測定部と、前記信号源の入力レベルを可変制御する制御
部とで構成した半導体選別装置の選別方法のコンピュー
タプログラムを記録した記録媒体であって、前記被測定
半導体の所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定
し、そのレベルの分布の状態を分析する第１の工程と、
前記第１の手段の分析結果である分布データに基づき、
前記信号源のレベルの可変範囲を決定する第２の工程
と、前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源
のレベルを測定した後、この測定データを前記分析デー
タに加え、前記分布データを更新する第３の工程と、と
からなる一連の処理をコンピュータに実行させるための
プログラムを記録したことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明に係る半導体の選別装置
は、被測定半導体と、この被測定半導体に入力する入力
レベルを可変可能にした信号源と、この信号源のレベル
を測定する測定部と、前記被測定半導体の出力レベルを
測定する測定部と、前記信号源の入力レベルを可変制御
する制御部とで構成した半導体選別装置において、複数
の前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源の
レベルを測定し、そのレベルの分布の状態を分析する第
１の手段と、前記第１の手段の分析結果である分布デー
タに基づき、前記信号源のレベルの可変範囲を決定する
第２の手段と、前記被測定半導体の所定の出力レベルに
なる信号源のレベルを測定した後、この測定データを前
記分析データに加え、前記分析データを更新する第３の
手段と、を前記制御部に設けたものであり、特に、前記
第３の手段は、異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選
別回数を算出する第１の算出手段と、各可変幅毎の選別
時間を算出する第２の算出手段と、各可変幅毎の単位時
間当たりの選別数量を算出する第３の算出手段と、前記
第３の算出手段が算出した単位時間当たりの選別数量か
ら最大の選別数量が得られる可変幅を選択する可変幅の
選択手段と、で構成したものである。
は、被測定半導体と、この被測定半導体に入力する入力
レベルを可変可能にした信号源と、この信号源のレベル
を測定する測定部と、前記被測定半導体の出力レベルを
測定する測定部と、前記信号源の入力レベルを可変制御
する制御部とで構成した半導体選別装置において、複数
の前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源の
レベルを測定し、そのレベルの分布の状態を分析する第
１の手段と、前記第１の手段の分析結果である分布デー
タに基づき、前記信号源のレベルの可変範囲を決定する
第２の手段と、前記被測定半導体の所定の出力レベルに
なる信号源のレベルを測定した後、この測定データを前
記分析データに加え、前記分析データを更新する第３の
手段と、を前記制御部に設けたものであり、特に、前記
第３の手段は、異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選
別回数を算出する第１の算出手段と、各可変幅毎の選別
時間を算出する第２の算出手段と、各可変幅毎の単位時
間当たりの選別数量を算出する第３の算出手段と、前記
第３の算出手段が算出した単位時間当たりの選別数量か
ら最大の選別数量が得られる可変幅を選択する可変幅の
選択手段と、で構成したものである。
【００１３】従って、本発明によれば、生産状況に応じ
て、常に、入力信号の可変幅を可能な限り小さくすると
共に、単位時間当たりの生産数量を最大になるように前
記可変幅を調節する構成であるから、生産能率を著しく
改善することができる。
て、常に、入力信号の可変幅を可能な限り小さくすると
共に、単位時間当たりの生産数量を最大になるように前
記可変幅を調節する構成であるから、生産能率を著しく
改善することができる。
【００１４】
【実施例】以下に、本発明に係わる半導体の選別装置と
その選別方法及びその方法を記録した記録媒体の具体例
を図面を参照しながら詳細に説明する。図１、３は、本
発明に係わる半導体の選別装置の具体例を示す図であっ
て、図１はハードウエアのブロック図、図３は制御部の
機能ブロック図である。
その選別方法及びその方法を記録した記録媒体の具体例
を図面を参照しながら詳細に説明する。図１、３は、本
発明に係わる半導体の選別装置の具体例を示す図であっ
て、図１はハードウエアのブロック図、図３は制御部の
機能ブロック図である。
【００１５】そして、これらの図には、被測定半導体１
１と、この被測定半導体１１に入力する入力レベルを可
変可能にした信号源１２と、この信号源１２のレベル１
２ａを測定する測定部１３と、前記被測定半導体１１の
出力レベル１１ａを測定する測定部１４と、前記信号源
１２の入力レベル１２ａを可変制御する制御部１５とで
構成した半導体選別装置において、複数の前記被測定半
導体１１の所定の出力レベルになる信号源１２のレベル
１２ａを測定し、そのレベル１２ａの分布の状態を分析
する第１の手段３と、前記第１の手段３の分析結果であ
る分布データに基づき、前記信号源１２のレベル１２ａ
の可変範囲を決定する第２の手段４と、前記被測定半導
体１１の所定の出力レベルになる信号源１２のレベル１
２ａを測定した後、この測定データを前記分析データに
加え、前記分析データを更新する第３の手段５とを前記
制御部１５に設けた半導体の選別装置が示され、更に、
前記第３の手段５は、異なる可変幅を設定し、各可変幅
毎の選別回数を算出する第１の算出手段５ａと、各可変
幅毎の選別時間を算出する第２の算出手段５ｂと、各可
変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する第３の算
出手段５ｃと、前記第３の算出手段５ｃが算出した単位
時間当たりの選別数量から最大の選別数量が得られる可
変幅を選択する可変幅の選択手段５ｄと、で構成したこ
とが示されている。
１と、この被測定半導体１１に入力する入力レベルを可
変可能にした信号源１２と、この信号源１２のレベル１
２ａを測定する測定部１３と、前記被測定半導体１１の
出力レベル１１ａを測定する測定部１４と、前記信号源
１２の入力レベル１２ａを可変制御する制御部１５とで
構成した半導体選別装置において、複数の前記被測定半
導体１１の所定の出力レベルになる信号源１２のレベル
１２ａを測定し、そのレベル１２ａの分布の状態を分析
する第１の手段３と、前記第１の手段３の分析結果であ
る分布データに基づき、前記信号源１２のレベル１２ａ
の可変範囲を決定する第２の手段４と、前記被測定半導
体１１の所定の出力レベルになる信号源１２のレベル１
２ａを測定した後、この測定データを前記分析データに
加え、前記分析データを更新する第３の手段５とを前記
制御部１５に設けた半導体の選別装置が示され、更に、
前記第３の手段５は、異なる可変幅を設定し、各可変幅
毎の選別回数を算出する第１の算出手段５ａと、各可変
幅毎の選別時間を算出する第２の算出手段５ｂと、各可
変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する第３の算
出手段５ｃと、前記第３の算出手段５ｃが算出した単位
時間当たりの選別数量から最大の選別数量が得られる可
変幅を選択する可変幅の選択手段５ｄと、で構成したこ
とが示されている。
【００１６】次に、本発明の流れを図４のフローチャー
トを用いて説明する。まず、初期設定として、被測定半
導体１１の規定ＲＦ出力値となるＲＦ入力値の分布予
測、およびσの予測を行う。これを最初の半導体２０個
に対し実施する（ステップＡ１）。入力レベルは図２に
示すように、個々の被測定半導体の特性（増幅率）違い
によりＲＦ入力値が異なる。
トを用いて説明する。まず、初期設定として、被測定半
導体１１の規定ＲＦ出力値となるＲＦ入力値の分布予
測、およびσの予測を行う。これを最初の半導体２０個
に対し実施する（ステップＡ１）。入力レベルは図２に
示すように、個々の被測定半導体の特性（増幅率）違い
によりＲＦ入力値が異なる。
【００１７】この結果を制御部１５にて処理し、被測定
半導体１１の母体における、規定ＲＦ出力値となるＲＦ
入力値の分布（ステップＡ２）、σ（ステップＡ３）、
及びＲＦ入力値の可変幅（サーチ幅）が製品母体の９
９．７％となる３σの予測を行う（ステップＡ４）。以
上により、初期設定を完了する。
半導体１１の母体における、規定ＲＦ出力値となるＲＦ
入力値の分布（ステップＡ２）、σ（ステップＡ３）、
及びＲＦ入力値の可変幅（サーチ幅）が製品母体の９
９．７％となる３σの予測を行う（ステップＡ４）。以
上により、初期設定を完了する。
【００１８】初期設定完了後、選別を開始する。初期設
定同様、被測定半導体１１が規定ＲＦ出力値となるよう
にＲＦ入力値を制御した後、選別を実施する（ステップ
Ａ５）。この時の被測定半導体１１へのＲＦ入力値は、
初期設定にて求めた制御部１５からの信号に基づいて、
ＲＦ入力値分布の中心値から順に図８に示したような順
にサーチを行い、選別時間の短縮を図る。製品測定毎に
求めたＲＦ入力値は、常に制御部１５にフィードバック
され、製品母体の規定ＲＦ出力値となるＲＦ入力値分布
の再予測、σの再設定を行う（ステップＡ６）。
定同様、被測定半導体１１が規定ＲＦ出力値となるよう
にＲＦ入力値を制御した後、選別を実施する（ステップ
Ａ５）。この時の被測定半導体１１へのＲＦ入力値は、
初期設定にて求めた制御部１５からの信号に基づいて、
ＲＦ入力値分布の中心値から順に図８に示したような順
にサーチを行い、選別時間の短縮を図る。製品測定毎に
求めたＲＦ入力値は、常に制御部１５にフィードバック
され、製品母体の規定ＲＦ出力値となるＲＦ入力値分布
の再予測、σの再設定を行う（ステップＡ６）。
【００１９】この後、再設定後のＲＦ入力値分布より３
σ以内における任意のＲＦ入力値のサーチ幅での生産数
量、および選別予測時間を予測する（ステップＡ７）。
次に、図５を用いて更に具体的に説明する。図５におい
て、母体数は２００個、測定時間は０．１秒／ポイント
とする。ＲＦ入力値サーチ幅がＡの場合のサーチ点をａ
１、ａ２の２点とし、サーチ幅がＢの場合、サーチ幅Ａ
にｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ４の４点を加えた計６点をサー
チ点とする。又、サーチ幅がＣの場合は、サーチ幅Ｂに
ｃ１、ｃ２、ｃ３、ｃ４を加えた計１０点をサーチ点と
する。
σ以内における任意のＲＦ入力値のサーチ幅での生産数
量、および選別予測時間を予測する（ステップＡ７）。
次に、図５を用いて更に具体的に説明する。図５におい
て、母体数は２００個、測定時間は０．１秒／ポイント
とする。ＲＦ入力値サーチ幅がＡの場合のサーチ点をａ
１、ａ２の２点とし、サーチ幅がＢの場合、サーチ幅Ａ
にｂ１、ｂ２、ｂ３、ｂ４の４点を加えた計６点をサー
チ点とする。又、サーチ幅がＣの場合は、サーチ幅Ｂに
ｃ１、ｃ２、ｃ３、ｃ４を加えた計１０点をサーチ点と
する。
【００２０】図５に示すように、サーチ点ａ１に分布す
る数量を２６、ａ２に分布する数量を２４、サーチ点ｂ
１、ｂ２での分布数を各々２２、ｂ３、ｂ４では各々１
８、サーチ点ｃ１、ｃ２での分布数を各々８、ｃ３、ｃ
４では各々２とする。各サーチ幅での予想生産数量は、
サーチ幅Ａの時のサーチ可能点はａ１、ａ２であり、母
体数２００を選別した場合、サーチ点ａ１に分布する数
量は２６、ａ２に分布する数量は２４、したがって、予
想生産数量は計５０となり、他の１５０個はサーチ可能
範囲外（不良）となる。
る数量を２６、ａ２に分布する数量を２４、サーチ点ｂ
１、ｂ２での分布数を各々２２、ｂ３、ｂ４では各々１
８、サーチ点ｃ１、ｃ２での分布数を各々８、ｃ３、ｃ
４では各々２とする。各サーチ幅での予想生産数量は、
サーチ幅Ａの時のサーチ可能点はａ１、ａ２であり、母
体数２００を選別した場合、サーチ点ａ１に分布する数
量は２６、ａ２に分布する数量は２４、したがって、予
想生産数量は計５０となり、他の１５０個はサーチ可能
範囲外（不良）となる。
【００２１】同様にして、サーチ幅Ｂのサーチ可能範囲
は、ｂ３、ｂ１、ａ１、ａ２、ｂ２、ｂ４であり、１８
＋２２＋２６＋２４＋２２＋１８＝１３０となり、他の
７０個はサーチ範囲外となる。サーチ幅Ｃの時、サーチ
可能範囲はｃ３、ｃ１、ｂ３、ｂ１、ａ１、ａ２、ｂ
２、ｂ４、ｃ２、ｃ４であり、２＋８＋１８＋２２＋２
６＋２４＋２２＋１８＋８＋２＝１５０となり、他の５
０個はサーチ可能範囲外となり、不良となる。
は、ｂ３、ｂ１、ａ１、ａ２、ｂ２、ｂ４であり、１８
＋２２＋２６＋２４＋２２＋１８＝１３０となり、他の
７０個はサーチ範囲外となる。サーチ幅Ｃの時、サーチ
可能範囲はｃ３、ｃ１、ｂ３、ｂ１、ａ１、ａ２、ｂ
２、ｂ４、ｃ２、ｃ４であり、２＋８＋１８＋２２＋２
６＋２４＋２２＋１８＋８＋２＝１５０となり、他の５
０個はサーチ可能範囲外となり、不良となる。
【００２２】この結果では、サーチ幅が一番広いＣの
時、歩留りが最大となり、よって生産数量が最大とな
る。しかし、サーチ幅が広い分だけサーチ回数も増え、
選別時間を長く要することが予想される。各サーチ幅で
の選別回数は、サーチ幅Ａの時、サーチ点ａ１での選別
回数は母体数２００となり、ａ２での選別回数は、母体
数２００からａ１での良品数２６を引いた値１７４とな
る。
時、歩留りが最大となり、よって生産数量が最大とな
る。しかし、サーチ幅が広い分だけサーチ回数も増え、
選別時間を長く要することが予想される。各サーチ幅で
の選別回数は、サーチ幅Ａの時、サーチ点ａ１での選別
回数は母体数２００となり、ａ２での選別回数は、母体
数２００からａ１での良品数２６を引いた値１７４とな
る。
【００２３】サーチ幅Ｂでは、サーチ幅Ａの選別回数
に、サーチ点ｂ１、ｂ２、ｂ３、およびｂ４での選別回
数を加えたものになる。サーチ点ｂ１での選別回数は、
サーチ幅Ａ選別終了後の母体数の残り、即ち、母体数２
００からサーチ点ａ１、ａ２での良品数５０を引いた１
５０となり、サーチ点ｂ２での選別回数は、サーチ点ａ
１、ａ２終了後の残母体数１５０からサーチ点ｂ１での
良品数２２を引いた１２８、ｂ３での選別回数は、残母
体数１２８からｂ２での良品数２２を引いた１０６、ｂ
４での選別回数は、残母体数１０６からｂ３での良品数
１８を引いた８８となる。
に、サーチ点ｂ１、ｂ２、ｂ３、およびｂ４での選別回
数を加えたものになる。サーチ点ｂ１での選別回数は、
サーチ幅Ａ選別終了後の母体数の残り、即ち、母体数２
００からサーチ点ａ１、ａ２での良品数５０を引いた１
５０となり、サーチ点ｂ２での選別回数は、サーチ点ａ
１、ａ２終了後の残母体数１５０からサーチ点ｂ１での
良品数２２を引いた１２８、ｂ３での選別回数は、残母
体数１２８からｂ２での良品数２２を引いた１０６、ｂ
４での選別回数は、残母体数１０６からｂ３での良品数
１８を引いた８８となる。
【００２４】サーチ幅Ｃの選別回数は、サーチ幅Ｂの選
別回数に、サーチ点ｃ１およびｃ２での選別回数を加え
たものになる。サーチ点ｃ１での選別回数は、サーチ幅
Ｂ選別終了後の母体数の残り、即ち、残母体数７０、サ
ーチ点ｃ２での選別回数は、サーチ幅Ｂ終了後の残母体
数７０からサーチ点ｃ１での良品数８を引いた６２とな
り、ｃ３での選別回数は、残母体数６２からｃ２での良
品数８を引いた５４、ｃ４での選別回数は、残母体数５
４からｃ３での良品数２を引いた５２となる。
別回数に、サーチ点ｃ１およびｃ２での選別回数を加え
たものになる。サーチ点ｃ１での選別回数は、サーチ幅
Ｂ選別終了後の母体数の残り、即ち、残母体数７０、サ
ーチ点ｃ２での選別回数は、サーチ幅Ｂ終了後の残母体
数７０からサーチ点ｃ１での良品数８を引いた６２とな
り、ｃ３での選別回数は、残母体数６２からｃ２での良
品数８を引いた５４、ｃ４での選別回数は、残母体数５
４からｃ３での良品数２を引いた５２となる。
【００２５】以上より、各サーチ幅での選別回数は、 サーチ幅Ａの時 ２００＋１７４＝３７４ サーチ幅Ｂの時 ３７４＋１５０＋１２８＋１０６＋８
８＝８４６ サーチ幅Ｂの時 ８４６＋７０＋６２＋５４＋５２＝１
０８４ よって、各サーチ幅での選別予測時間は サーチ幅Ａの時 ３７４×０．１＝３７．４秒 サーチ幅Ｂの時 ８４６×０．１＝８４．６秒 サーチ幅Ｂの時 １０８４×０．１＝１０８．４秒 となる（ステップＡ７）。
８＝８４６ サーチ幅Ｂの時 ８４６＋７０＋６２＋５４＋５２＝１
０８４ よって、各サーチ幅での選別予測時間は サーチ幅Ａの時 ３７４×０．１＝３７．４秒 サーチ幅Ｂの時 ８４６×０．１＝８４．６秒 サーチ幅Ｂの時 １０８４×０．１＝１０８．４秒 となる（ステップＡ７）。
【００２６】次に、単位時間当たりの生産数量を計算す
る（ステップＡ８）。これは、予想生産数量／選別予測
時間で求めることができる。サーチ幅Ａの場合、 生産数量：５０、選別予測時間：３７．４秒 よって、単位時間当たりの生産数量は ５０／３７．４＝１．３３ となる。
る（ステップＡ８）。これは、予想生産数量／選別予測
時間で求めることができる。サーチ幅Ａの場合、 生産数量：５０、選別予測時間：３７．４秒 よって、単位時間当たりの生産数量は ５０／３７．４＝１．３３ となる。
【００２７】同様に、サーチ幅Ｂの場合、 生産数量：１３０、選別予測時間：８４．６秒 よって、単位時間当たりの生産数量は １３０／８４．６＝１．５３ サーチ幅Ｃの場合、 生産数量：１５０、選別予測時間：１０８．４秒 よって、単位時間当たりの生産数量は １５０／１０８．４＝１．３８ となる。
【００２８】この結果より、サーチ幅Ｂの時に単位時間
当たりの生産数量が最大となるから、ＲＦ入力値のサー
チ幅をサーチ幅Ｂとし（ステップＡ９）、ＲＦ入力サー
チ幅規格をＢに変更する（ステップＡ１０）。このよう
に、生産状況に合わせて、サーチ幅を制御することで、
常に単位時間当たりの生産数量を最大に制御することが
可能になる。
当たりの生産数量が最大となるから、ＲＦ入力値のサー
チ幅をサーチ幅Ｂとし（ステップＡ９）、ＲＦ入力サー
チ幅規格をＢに変更する（ステップＡ１０）。このよう
に、生産状況に合わせて、サーチ幅を制御することで、
常に単位時間当たりの生産数量を最大に制御することが
可能になる。
【００２９】上記例では、データ更新、及び、ＲＦ入力
値サーチ幅決定を半導体測定の度に行ったが、任意の測
定回数毎に実施してもよい。このように、本発明に係る
半導体の選別装置の選別方法は、被測定半導体と、この
被測定半導体に入力する入力レベルを可変可能にした信
号源と、この信号源のレベルを測定する測定部と、前記
被測定半導体の出力レベルを測定する測定部と、前記信
号源の入力レベルを可変制御する制御部とで構成した半
導体選別装置の選別方法において、前記被測定半導体の
所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定し、その
レベルの分布の状態を分析する第１の工程と（ステップ
Ａ１〜Ａ３）、前記第１の手段の分析結果である分布デ
ータに基づき、前記信号源のレベルの可変範囲を決定す
る第２の工程と（ステップＡ４）、前記被測定半導体の
所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定した後、
この測定データを前記分析データに加え、前記分布デー
タを更新する第３の工程と、を含むことを特徴とするも
のであり（ステップＡ５〜Ａ１０）、特に、前記第３の
工程は、異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選別回数
を算出する第１の工程と（ステップＡ７）、各可変幅毎
の選別時間を算出する第２の工程と（ステップＡ７）、
各可変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する第３
の工程と（ステップＡ８）、前記第３の算出手段が算出
した単位時間当たりの選別数量から最大の選別数量が得
られる可変幅を選択する第４の工程と（ステップＡ
９）、を含むことを特徴とするものである。
値サーチ幅決定を半導体測定の度に行ったが、任意の測
定回数毎に実施してもよい。このように、本発明に係る
半導体の選別装置の選別方法は、被測定半導体と、この
被測定半導体に入力する入力レベルを可変可能にした信
号源と、この信号源のレベルを測定する測定部と、前記
被測定半導体の出力レベルを測定する測定部と、前記信
号源の入力レベルを可変制御する制御部とで構成した半
導体選別装置の選別方法において、前記被測定半導体の
所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定し、その
レベルの分布の状態を分析する第１の工程と（ステップ
Ａ１〜Ａ３）、前記第１の手段の分析結果である分布デ
ータに基づき、前記信号源のレベルの可変範囲を決定す
る第２の工程と（ステップＡ４）、前記被測定半導体の
所定の出力レベルになる信号源のレベルを測定した後、
この測定データを前記分析データに加え、前記分布デー
タを更新する第３の工程と、を含むことを特徴とするも
のであり（ステップＡ５〜Ａ１０）、特に、前記第３の
工程は、異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選別回数
を算出する第１の工程と（ステップＡ７）、各可変幅毎
の選別時間を算出する第２の工程と（ステップＡ７）、
各可変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する第３
の工程と（ステップＡ８）、前記第３の算出手段が算出
した単位時間当たりの選別数量から最大の選別数量が得
られる可変幅を選択する第４の工程と（ステップＡ
９）、を含むことを特徴とするものである。
【００３０】そして、上記をコンピュータで実行するた
めに、本発明に係る記録媒体は、被測定半導体と、この
被測定半導体に入力する入力レベルを可変可能にした信
号源と、この信号源のレベルを測定する測定部と、前記
被測定半導体の出力レベルを測定する測定部と、前記信
号源の入力レベルを可変制御する制御部とで構成した半
導体選別装置の選別方法のコンピュータプログラムを記
録した記録媒体であって、前記被測定半導体の所定の出
力レベルになる信号源のレベルを測定し、そのレベルの
分布の状態を分析する第１の工程と（ステップＡ１〜Ａ
３）、前記第１の手段の分析結果である分布データに基
づき、前記信号源のレベルの可変範囲を決定する第２の
工程と（ステップＡ４）、前記被測定半導体の所定の出
力レベルになる信号源のレベルを測定した後、この測定
データを前記分析データに加え、前記分布データを更新
する第３の工程と（ステップＡ５〜Ａ１０）、とからな
る一連の処理をコンピュータに実行させるためのプログ
ラムを記録したものである。
めに、本発明に係る記録媒体は、被測定半導体と、この
被測定半導体に入力する入力レベルを可変可能にした信
号源と、この信号源のレベルを測定する測定部と、前記
被測定半導体の出力レベルを測定する測定部と、前記信
号源の入力レベルを可変制御する制御部とで構成した半
導体選別装置の選別方法のコンピュータプログラムを記
録した記録媒体であって、前記被測定半導体の所定の出
力レベルになる信号源のレベルを測定し、そのレベルの
分布の状態を分析する第１の工程と（ステップＡ１〜Ａ
３）、前記第１の手段の分析結果である分布データに基
づき、前記信号源のレベルの可変範囲を決定する第２の
工程と（ステップＡ４）、前記被測定半導体の所定の出
力レベルになる信号源のレベルを測定した後、この測定
データを前記分析データに加え、前記分布データを更新
する第３の工程と（ステップＡ５〜Ａ１０）、とからな
る一連の処理をコンピュータに実行させるためのプログ
ラムを記録したものである。
【００３１】
【発明の効果】本発明に係る半導体の選別装置とその方
法は、上述のように構成したので、サーチ回数を少なく
して測定時間を短くすると共に、生産数量を増加させる
ことができた。従って、不良品として廃棄される数も著
しく減少した。
法は、上述のように構成したので、サーチ回数を少なく
して測定時間を短くすると共に、生産数量を増加させる
ことができた。従って、不良品として廃棄される数も著
しく減少した。
【００３２】しかも、生産の状況に基づいてサーチ幅を
調整しているから、常に最大な生産能率が確保される。
調整しているから、常に最大な生産能率が確保される。
【図１】本発明に係る半導体選別装置のハードウエアの
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】試料の入力レベルに対する出力レベルを示す図
であり、入力レベルの可変幅を示す図である。
であり、入力レベルの可変幅を示す図である。
【図３】本発明に係る半導体選別装置の機能ブロック図
である。
である。
【図４】本発明の動作を説明するフローチャートであ
る。
る。
【図５】分布の状態と、サーチ幅を説明するための図で
ある。
ある。
【図６】本発明によるサーチ幅に対する単位時間当たり
の生産数量変化を示す図である。
の生産数量変化を示す図である。
【図７】従来の工程のブロック図である。
【図８】分布の状態を示す図である。
１ 選別工程 ２ 検査工程 ３ 第１の手段 ４ 第２の手段 ５ 第３の手段 ５ａ 第１の算出手段 ５ｂ 第２の算出手段 ５ｃ 第３の算出手段 ５ｄ 可変幅（サーチ幅）の選択手段 １１ 被測定半導体 １２ 信号源 １３、１４ 測定部 １５ 制御部
Claims (7)
- 【請求項１】 被測定半導体と、この被測定半導体に入
力する入力レベルを可変可能にした信号源と、この信号
源のレベルを測定する測定部と、前記被測定半導体の出
力レベルを測定する測定部と、前記信号源の入力レベル
を可変制御する制御部とで構成した半導体選別装置にお
いて、 複数の前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号
源のレベルを測定し、そのレベルの分布の状態を分析す
る第１の手段と、 前記第１の手段の分析結果である分布データに基づき、
前記信号源のレベルの可変範囲を決定する第２の手段
と、 前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源のレ
ベルを測定した後、この測定データを前記分析データに
加え、前記分析データを更新する第３の手段と、を前記
制御部に設けたことを特徴とする半導体の選別装置。 - 【請求項２】 前記第３の手段は、 異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選別回数を算出す
る第１の算出手段と、 各可変幅毎の選別時間を算出する第２の算出手段と、 各可変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する第３
の算出手段と、 前記第３の算出手段が算出した単位時間当たりの選別数
量から最大の選別数量が得られる可変幅を選択する可変
幅の選択手段と、 で構成したことを特徴とする請求項１記載の半導体の選
別装置。 - 【請求項３】 前記レベルの分布は、度数分布であるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の半導体の選別装
置。 - 【請求項４】 前記信号源のレベルの可変範囲を決定す
る第２の手段は、前記レベルの分布の３σ以内の範囲で
可変範囲を決定することを特徴とする請求項１乃至３の
何れかに記載の半導体の選別装置。 - 【請求項５】 被測定半導体と、この被測定半導体に入
力する入力レベルを可変可能にした信号源と、この信号
源のレベルを測定する測定部と、前記被測定半導体の出
力レベルを測定する測定部と、前記信号源の入力レベル
を可変制御する制御部とで構成した半導体選別装置の選
別方法において、 前記被測定半導体の所定の出力レベ
ルになる信号源のレベルを測定し、そのレベルの分布の
状態を分析する第１の工程と、 前記第１の手段の分析結果である分布データに基づき、
前記信号源のレベルの可変範囲を決定する第２の工程
と、 前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源のレ
ベルを測定した後、この測定データを前記分析データに
加え、前記分布データを更新する第３の工程と、を含む
ことを特徴とする半導体の選別装置の選別方法。 - 【請求項６】 前記第３の工程は、 異なる可変幅を設定し、各可変幅毎の選別回数を算出す
る第１の工程と、 各可変幅毎の選別時間を算出する第２の工程と、 各可変幅毎の単位時間当たりの選別数量を算出する第３
の工程と、 前記第３の算出手段が算出した単位時間当たりの選別数
量から最大の選別数量が得られる可変幅を選択する第４
の工程と、 を含むことを特徴とする請求項５記載の半導体の選別装
置の選別方法。 - 【請求項７】 被測定半導体と、この被測定半導体に入
力する入力レベルを可変可能にした信号源と、この信号
源のレベルを測定する測定部と、前記被測定半導体の出
力レベルを測定する測定部と、前記信号源の入力レベル
を可変制御する制御部とで構成した半導体選別装置の選
別方法のコンピュータプログラムを記録した記録媒体で
あって、 前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源のレ
ベルを測定し、そのレベルの分布の状態を分析する第１
の工程と、 前記第１の手段の分析結果である分布データに基づき、
前記信号源のレベルの可変範囲を決定する第２の工程
と、 前記被測定半導体の所定の出力レベルになる信号源のレ
ベルを測定した後、この測定データを前記分析データに
加え、前記分布データを更新する第３の工程と、 とからなる一連の処理をコンピュータに実行させるため
のプログラムを記録したことを特徴とする記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10176810A JP3141846B2 (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 半導体の選別装置と選別方法及びこの方法を記録した記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10176810A JP3141846B2 (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 半導体の選別装置と選別方法及びこの方法を記録した記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000012641A JP2000012641A (ja) | 2000-01-14 |
| JP3141846B2 true JP3141846B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=16020245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10176810A Expired - Fee Related JP3141846B2 (ja) | 1998-06-24 | 1998-06-24 | 半導体の選別装置と選別方法及びこの方法を記録した記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3141846B2 (ja) |
-
1998
- 1998-06-24 JP JP10176810A patent/JP3141846B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000012641A (ja) | 2000-01-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |