JP3142957B2 - 気流の可視化方法 - Google Patents
気流の可視化方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、クリーンルーム内の
気流中に混入された水滴ミストに可視光を照射し、その
際に生ずる散乱光を認識することによってクリーンルー
ム内気流を可視化する方法に関するものである。
気流中に混入された水滴ミストに可視光を照射し、その
際に生ずる散乱光を認識することによってクリーンルー
ム内気流を可視化する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来気流を可視化するにあたっては、い
わゆるトレーサー方法が採られている。これは可視化し
ようとする気流中にトレーサーを混入し、このトレーサ
ーの動きによって当該気流の動きを認識するものであ
る。そして従来のトレーサー方法は、トレーサーとして
使用する物質により大きく二つに分けられる。
わゆるトレーサー方法が採られている。これは可視化し
ようとする気流中にトレーサーを混入し、このトレーサ
ーの動きによって当該気流の動きを認識するものであ
る。そして従来のトレーサー方法は、トレーサーとして
使用する物質により大きく二つに分けられる。
【０００３】一つは気流の中に浮遊しやすい軽い微粒
子、例えば線香からの煙や繊維くずなどをトレーサーと
して用いるもので、これらを可視化しようとする気流中
に混入し、それぞれの微粒子の動きが気流の動きと一致
すると仮定して、これら煙や繊維くずなどの微粒子の動
きによって気流の動きを認識する方法である。
子、例えば線香からの煙や繊維くずなどをトレーサーと
して用いるもので、これらを可視化しようとする気流中
に混入し、それぞれの微粒子の動きが気流の動きと一致
すると仮定して、これら煙や繊維くずなどの微粒子の動
きによって気流の動きを認識する方法である。
【０００４】他の一つは水滴ミストをトレーサーとして
用いるもので、上記と同じくこれを可視化しようとする
気流中に混入して、該水滴ミストの動きによって気流の
動きを認識する方法である。
用いるもので、上記と同じくこれを可視化しようとする
気流中に混入して、該水滴ミストの動きによって気流の
動きを認識する方法である。
【０００５】そしていずれの方法においても、通常は気
流の動きを画像として記録するため、ランプによって気
流中のトレーサーを照明し、その際のトレーサーからの
散乱光をカメラで撮影するという手法を採っている。
流の動きを画像として記録するため、ランプによって気
流中のトレーサーを照明し、その際のトレーサーからの
散乱光をカメラで撮影するという手法を採っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら微粒子を
トレーサーとして用いる方法では、微粒子が気流中や気
流周辺の物体表面に付着してそれらを汚してしまうとい
う欠点があり、クリーンルーム内の気流の可視化には利
用できない。
トレーサーとして用いる方法では、微粒子が気流中や気
流周辺の物体表面に付着してそれらを汚してしまうとい
う欠点があり、クリーンルーム内の気流の可視化には利
用できない。
【０００７】この点水滴ミストをトレーサーとして用い
る方法によれば、水滴ミストは水蒸気に変化するだけな
ので、清浄な水を原料として水滴ミストを発生させれば
上記のような表面汚染を引き起こすおそれはない。とこ
ろが水滴ミストは気流で搬送される短時間の間に、蒸発
したり周囲に拡散してしまって著しく個数濃度が減少
し、その結果画像の鮮明度が不足して、特に気流の下流
側の広がりを十分に可視化できないという問題があっ
た。
る方法によれば、水滴ミストは水蒸気に変化するだけな
ので、清浄な水を原料として水滴ミストを発生させれば
上記のような表面汚染を引き起こすおそれはない。とこ
ろが水滴ミストは気流で搬送される短時間の間に、蒸発
したり周囲に拡散してしまって著しく個数濃度が減少
し、その結果画像の鮮明度が不足して、特に気流の下流
側の広がりを十分に可視化できないという問題があっ
た。
【０００８】本発明はそのような従来の可視化方法の欠
点であった微粒子トレーサーの付着による表面汚染、及
び水滴ミストの蒸発、周囲への拡散による可視化画像の
鮮明度不足という課題を解決することを目的とする。
点であった微粒子トレーサーの付着による表面汚染、及
び水滴ミストの蒸発、周囲への拡散による可視化画像の
鮮明度不足という課題を解決することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】 本発明では、クリーン
ルーム内の気流を可視化するにあたって水滴ミストをト
レーサーとして用いるが、その気流中のトレーサーにラ
ンプ等で照射するにあたり、主要ピークの波長が６３０
ｎｍから７００ｎｍにある特定波長域の可視光を照射光
として使用し、さらに当該照射によって生ずる散乱光
を、少なくとも前記特定波長域可視光以外の可視光をカ
ットする光学フィルタを通して認識することによって前
記課題を解決するものである。
ルーム内の気流を可視化するにあたって水滴ミストをト
レーサーとして用いるが、その気流中のトレーサーにラ
ンプ等で照射するにあたり、主要ピークの波長が６３０
ｎｍから７００ｎｍにある特定波長域の可視光を照射光
として使用し、さらに当該照射によって生ずる散乱光
を、少なくとも前記特定波長域可視光以外の可視光をカ
ットする光学フィルタを通して認識することによって前
記課題を解決するものである。
【００１０】なお認識するための具体的な手段として
は、視覚による直接の認識の他に、例えば従来から一般
に行われているビデオカメラでの画像化、光学カメラに
よる写真撮影などが挙げられる。
は、視覚による直接の認識の他に、例えば従来から一般
に行われているビデオカメラでの画像化、光学カメラに
よる写真撮影などが挙げられる。
【００１１】また水滴ミストを発生させるには、水槽内
の水を超音波によって振動させてその水面から発生さる
方法、水蒸気を急冷凝縮して霧状トレーサーを発生させ
る方法などがある。
の水を超音波によって振動させてその水面から発生さる
方法、水蒸気を急冷凝縮して霧状トレーサーを発生させ
る方法などがある。
【００１２】そして本発明では以下の理由から紫外線
（波長３９０ｎｍ以下）、赤外線（８００ｎｍ以上）を
使用せず、可視光を照射する構成をとっている。即ち、
紫外線は別名“化学線”とも呼ばれるように強い光学作
用があり、空気中で照射するとオゾンを発生させたり、
ヒトの目に入射した場合は視力障害を引き起こすおそれ
があり好ましくない。また赤外線は紫外線と異なり化学
作用は弱いが、物体にあたると吸収されて大部分が熱に
変わる性質がある。そして高温物体や照明灯表面からも
赤外線が盛んに放射され、常温下の機器、器具さらには
人体からも赤外線が放射されている。従って赤外線を気
流への照射光として使用した場合、気流中に混入した水
滴ミストからの散乱光にこれら種々の物体からの放射赤
外線が混ざり、光学フィルタで両者を分離することが不
可能になり、鮮明な可視化した画像を得るのが難しいか
らである。
（波長３９０ｎｍ以下）、赤外線（８００ｎｍ以上）を
使用せず、可視光を照射する構成をとっている。即ち、
紫外線は別名“化学線”とも呼ばれるように強い光学作
用があり、空気中で照射するとオゾンを発生させたり、
ヒトの目に入射した場合は視力障害を引き起こすおそれ
があり好ましくない。また赤外線は紫外線と異なり化学
作用は弱いが、物体にあたると吸収されて大部分が熱に
変わる性質がある。そして高温物体や照明灯表面からも
赤外線が盛んに放射され、常温下の機器、器具さらには
人体からも赤外線が放射されている。従って赤外線を気
流への照射光として使用した場合、気流中に混入した水
滴ミストからの散乱光にこれら種々の物体からの放射赤
外線が混ざり、光学フィルタで両者を分離することが不
可能になり、鮮明な可視化した画像を得るのが難しいか
らである。
【００１３】 ところで近年の無窓建築工場の照明に
は、分光分布が図１、図２および図３に示されるような
蛍光灯が使用され、その中でも通常は図２に示された昼
白色蛍光灯が多く使用されている。一方特殊な環境、例
えば半導体製造におけるフォトリソ工程では、分光分布
が図４に示される純黄色カラード蛍光灯が使用されてい
る。これらの各分光分布を見てわかるように、主要なピ
ークの波長は６３０ｎｍに達しない波長域に存在してい
る。本発明はこの点に着目し、気流中の水滴ミストに照
射する特定波長域の可視光を、その分光分布中の主要な
ピークの波長が６３０ｎｍ以上の赤色可視光とした、気
流の可視化方法をも提供するものである。
は、分光分布が図１、図２および図３に示されるような
蛍光灯が使用され、その中でも通常は図２に示された昼
白色蛍光灯が多く使用されている。一方特殊な環境、例
えば半導体製造におけるフォトリソ工程では、分光分布
が図４に示される純黄色カラード蛍光灯が使用されてい
る。これらの各分光分布を見てわかるように、主要なピ
ークの波長は６３０ｎｍに達しない波長域に存在してい
る。本発明はこの点に着目し、気流中の水滴ミストに照
射する特定波長域の可視光を、その分光分布中の主要な
ピークの波長が６３０ｎｍ以上の赤色可視光とした、気
流の可視化方法をも提供するものである。
【００１４】またクリーンルームにおいては特に高い清
浄度が要求されるので、本発明では請求項１において用
いる水滴ミストを、純水を原料として発生されるものと
した気流の可視化方法を請求項２として提供する。
浄度が要求されるので、本発明では請求項１において用
いる水滴ミストを、純水を原料として発生されるものと
した気流の可視化方法を請求項２として提供する。
【００１５】
【作用】本発明によれば、水滴ミストがトレーサーとし
て機能し、特定波長域の可視光を気流中の水滴ミストに
照射すると、該水滴ミストからその特定波長域の散乱光
が生じ、これをさらに当該特定波長域以外の可視光をカ
ットする光学フィルタを通して認識するので、照射する
光の波長域を気流周辺の照明光の波長域とは違うもの、
好ましくはその分光分布中の主要なピーク波長が相異な
るものを使用することにより、光学フィルタによって散
乱光と照明光とを容易に分離でき、気流を鮮明に可視化
することができる。また使用する光学フィルタは、少な
くとも照射可視光の波長域以外の可視光をカットできれ
ばよく、照射可視光の分光分布中の主要なピーク波長と
その周辺波長域以外の可視光までをもカットするもので
もよい。
て機能し、特定波長域の可視光を気流中の水滴ミストに
照射すると、該水滴ミストからその特定波長域の散乱光
が生じ、これをさらに当該特定波長域以外の可視光をカ
ットする光学フィルタを通して認識するので、照射する
光の波長域を気流周辺の照明光の波長域とは違うもの、
好ましくはその分光分布中の主要なピーク波長が相異な
るものを使用することにより、光学フィルタによって散
乱光と照明光とを容易に分離でき、気流を鮮明に可視化
することができる。また使用する光学フィルタは、少な
くとも照射可視光の波長域以外の可視光をカットできれ
ばよく、照射可視光の分光分布中の主要なピーク波長と
その周辺波長域以外の可視光までをもカットするもので
もよい。
【００１６】 また、その分光分布中の主要なピークの
波長が、６３０ｎｍ以上の赤色可視光を水滴ミストの照
射光として使用しているので、既述の如く主要なピーク
の波長が６３０ｎｍ未満の赤色以外の波長域に存在して
いる蛍光灯を気流周辺照明として使用する場所では、水
滴ミストからの散乱光と照明光の波長の違いを利用して
光学フィルタにより両者を容易に分離でき、鮮明な可視
化画像が得られる。
波長が、６３０ｎｍ以上の赤色可視光を水滴ミストの照
射光として使用しているので、既述の如く主要なピーク
の波長が６３０ｎｍ未満の赤色以外の波長域に存在して
いる蛍光灯を気流周辺照明として使用する場所では、水
滴ミストからの散乱光と照明光の波長の違いを利用して
光学フィルタにより両者を容易に分離でき、鮮明な可視
化画像が得られる。
【００１７】ところで当然のことながら、散乱効率が大
きいほど鮮明な可視化画像が得やすい。そしてＭｉｅ理
論によれば散乱効率Ｋは水滴の円周、照射する光の波長
によって求めた変数Ｘ＝πｄp／λと関係があることが
知られている。ここでｄpは水滴直径、λは照射光の波
長である。そこで水滴直径を３μｍ、可視光の波長を３
８０ｎｍ〜７６０ｎｍの範囲とすれば、変数Ｘの範囲は
約１２〜２５となる。図５はそのようにして求めた変数
Ｘと水滴の散乱効率Ｋの関係を示しているが、これによ
れば波長が３８０ｎｍ〜７６０ｎｍの範囲で散乱効率Ｋ
が最大となるのはＸ＝１５〜１８、波長に換算すると大
体５２０ｎｍ〜６３０ｎｍの間であり、そのときの散乱
効率は約２．７〜２．８となっている。また逆に当該範
囲及びその周辺範囲で散乱効率が最小となるのはＸ＝１
２、波長に換算すると約７８０ｎｍのときであり、その
ときの散乱効率は１．６となっている。そこで、例えば
赤色可視光の波長域を６３０ｎｍから７００ｎｍの範囲
とすれば、散乱効率Ｋは２．１２〜２．７５となり、ま
ずまず大きい値となり、当該波長域の赤色可視光を気流
中の水滴ミストに照射した際の散乱光を画像化した場
合、鮮明な画像が得られるものである。
きいほど鮮明な可視化画像が得やすい。そしてＭｉｅ理
論によれば散乱効率Ｋは水滴の円周、照射する光の波長
によって求めた変数Ｘ＝πｄp／λと関係があることが
知られている。ここでｄpは水滴直径、λは照射光の波
長である。そこで水滴直径を３μｍ、可視光の波長を３
８０ｎｍ〜７６０ｎｍの範囲とすれば、変数Ｘの範囲は
約１２〜２５となる。図５はそのようにして求めた変数
Ｘと水滴の散乱効率Ｋの関係を示しているが、これによ
れば波長が３８０ｎｍ〜７６０ｎｍの範囲で散乱効率Ｋ
が最大となるのはＸ＝１５〜１８、波長に換算すると大
体５２０ｎｍ〜６３０ｎｍの間であり、そのときの散乱
効率は約２．７〜２．８となっている。また逆に当該範
囲及びその周辺範囲で散乱効率が最小となるのはＸ＝１
２、波長に換算すると約７８０ｎｍのときであり、その
ときの散乱効率は１．６となっている。そこで、例えば
赤色可視光の波長域を６３０ｎｍから７００ｎｍの範囲
とすれば、散乱効率Ｋは２．１２〜２．７５となり、ま
ずまず大きい値となり、当該波長域の赤色可視光を気流
中の水滴ミストに照射した際の散乱光を画像化した場
合、鮮明な画像が得られるものである。
【００１８】 請求項２によれば、上記請求項１におい
て、トレーサーに用いる水滴ミストが純水を原料として
発生されたものであるから、これら水滴ミストが蒸発し
ても不純物が残存せず、物体の表面や室内を汚染するこ
とはないものである。
て、トレーサーに用いる水滴ミストが純水を原料として
発生されたものであるから、これら水滴ミストが蒸発し
ても不純物が残存せず、物体の表面や室内を汚染するこ
とはないものである。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明すると、図６は本実施例を実施するためのシステムの
構成を示す説明図であって、１は水蒸気の急冷方式によ
る純水ミストの発生装置、２はこの発生装置１によって
発生されるミストを吹き出すためのノズルである。 ３
は可視光照射用光源であり、純水ミストが気流に乗って
流れてくる空間に可視光を照射するようになっている。
本実施例で使用した可視光照射用光源３は純赤色カラー
ド蛍光灯であり、その分光分布は図７に示したように、
６５０ｎｍ付近をピークに６００ｎｍから７００ｎｍの
範囲にスペクトルが分布しているものである。
明すると、図６は本実施例を実施するためのシステムの
構成を示す説明図であって、１は水蒸気の急冷方式によ
る純水ミストの発生装置、２はこの発生装置１によって
発生されるミストを吹き出すためのノズルである。 ３
は可視光照射用光源であり、純水ミストが気流に乗って
流れてくる空間に可視光を照射するようになっている。
本実施例で使用した可視光照射用光源３は純赤色カラー
ド蛍光灯であり、その分光分布は図７に示したように、
６５０ｎｍ付近をピークに６００ｎｍから７００ｎｍの
範囲にスペクトルが分布しているものである。
【００２０】そして可視光照射用光源３の光を照射した
際に生ずる散乱光を、光学フィルタ４とカメラ用レンズ
５を通してビデオカメラ６で撮影する。本実施例で使用
した光学フィルタ４の透過性並びにビデオカメラ６の撮
像管の分光感度は図８に示したようになっている。この
ような特性を有する光学フィルタ４とビデオカメラ６の
組合わせにより、６００ｎｍから７５０ｎｍの範囲の波
長の光を選択的に取り込めるようになっている。またビ
デオカメラ６で撮影した画像の画像信号はモニタ７で確
認しながらこれをビデオデッキ８に記録するようになっ
ている。なお図６中、９は室内照明灯であって、その光
源は広く一般に使用されている昼白色蛍光灯であり、１
０は適宜の物体である。
際に生ずる散乱光を、光学フィルタ４とカメラ用レンズ
５を通してビデオカメラ６で撮影する。本実施例で使用
した光学フィルタ４の透過性並びにビデオカメラ６の撮
像管の分光感度は図８に示したようになっている。この
ような特性を有する光学フィルタ４とビデオカメラ６の
組合わせにより、６００ｎｍから７５０ｎｍの範囲の波
長の光を選択的に取り込めるようになっている。またビ
デオカメラ６で撮影した画像の画像信号はモニタ７で確
認しながらこれをビデオデッキ８に記録するようになっ
ている。なお図６中、９は室内照明灯であって、その光
源は広く一般に使用されている昼白色蛍光灯であり、１
０は適宜の物体である。
【００２１】本実施例は以上のようなシステムとして構
成されているので、物体１０周辺の気流を可視化する場
合、純水ミストの発生装置１によって発生したミスト
を、ノズル２によって物体１０周辺の気流に混入し、さ
らに可視光照射用光源３の光を当該気流中のミストに照
射すれば、その際に生ずるミストからの散乱光を室内照
明の光よりも効率よくビデオカメラ６に取り込むことが
できる。
成されているので、物体１０周辺の気流を可視化する場
合、純水ミストの発生装置１によって発生したミスト
を、ノズル２によって物体１０周辺の気流に混入し、さ
らに可視光照射用光源３の光を当該気流中のミストに照
射すれば、その際に生ずるミストからの散乱光を室内照
明の光よりも効率よくビデオカメラ６に取り込むことが
できる。
【００２２】そして実際に本実施例によって画像化した
結果を、従来の可視化方法によるものと比較すれば、次
のようになった。図９は本実施例によってビデオデッキ
８に取り込んだ画像信号をもとに、モニタ７の画面に可
視化された純水ミスト群の速さと方向、即ち気流の速度
ベクトルを記号表示したものであり、同図中例えば
「・」の右側に「−」が結合している記号は、気流方向
が左から右で、速さが「−」の長さに対応することを示
している。一方図１０は本実施例と同一条件、同一シス
テムの下で、可視光照射用光源に室内照明９と同じ分光
分布を持った蛍光灯を使用し、さらに従来と同様光学フ
ィルタ４を通さずに直接ビデオカメラ６からビデオデッ
キ８に取り込んだ画像信号をもとに、図９と同一の記号
表示を用いて気流速度をベクトル表示したものである。
結果を、従来の可視化方法によるものと比較すれば、次
のようになった。図９は本実施例によってビデオデッキ
８に取り込んだ画像信号をもとに、モニタ７の画面に可
視化された純水ミスト群の速さと方向、即ち気流の速度
ベクトルを記号表示したものであり、同図中例えば
「・」の右側に「−」が結合している記号は、気流方向
が左から右で、速さが「−」の長さに対応することを示
している。一方図１０は本実施例と同一条件、同一シス
テムの下で、可視光照射用光源に室内照明９と同じ分光
分布を持った蛍光灯を使用し、さらに従来と同様光学フ
ィルタ４を通さずに直接ビデオカメラ６からビデオデッ
キ８に取り込んだ画像信号をもとに、図９と同一の記号
表示を用いて気流速度をベクトル表示したものである。
【００２３】これら各図をみれば、図９、１０ともに、
上方から純水ミストが画面下方に向かって流れているこ
とがわかる。また純水ミストを吹き出しているノズル２
付近の一様な鉛直下方向の気流が、物体１０に当たっ
て、その気流の速度ベクトルが変化している様子もうか
がえる。
上方から純水ミストが画面下方に向かって流れているこ
とがわかる。また純水ミストを吹き出しているノズル２
付近の一様な鉛直下方向の気流が、物体１０に当たっ
て、その気流の速度ベクトルが変化している様子もうか
がえる。
【００２４】 ところが両図面に示された速度表示を具
体的に比較すれば、本実施例によって得た図９の方は、
物体１０の周囲の気流の速度ベクトル分布が明確に表示
されているのに対し、従来の可視化方法による図１０の
方は、物体１０の周囲において、純水ミストが蒸発ない
し周囲に拡散してその散乱光が弱まった分、そのまま画
像の鮮明度が悪くなっており、その部分の気流の速度ベ
クトル分布を表示することが不可能になっていることが
わかる。従って、本実施例の方がより鮮明に気流を可視
化していることが確認できた。
体的に比較すれば、本実施例によって得た図９の方は、
物体１０の周囲の気流の速度ベクトル分布が明確に表示
されているのに対し、従来の可視化方法による図１０の
方は、物体１０の周囲において、純水ミストが蒸発ない
し周囲に拡散してその散乱光が弱まった分、そのまま画
像の鮮明度が悪くなっており、その部分の気流の速度ベ
クトル分布を表示することが不可能になっていることが
わかる。従って、本実施例の方がより鮮明に気流を可視
化していることが確認できた。
【００２５】
【発明の効果】本発明による効果は以下のように挙げら
れる。即ち請求項１によれば、照射する光の波長域に他
の照明灯などの光の波長域と違うものを使用すれば、ト
レーサーたる水滴ミストからの散乱光と他の照明光とを
容易に分離できるので、気流を鮮明に可視化することが
できる。しかも照射する光は可視光であるから、発熱体
周りの気流の可視化を行う場合でもこれら発熱体からの
赤外輻射によって可視化が妨げられたり、鮮明度が低下
することはなく、また紫外線のようにオゾンを発生させ
たり、周囲物体への化学作用や視覚障害を引き起こすこ
ともない。
れる。即ち請求項１によれば、照射する光の波長域に他
の照明灯などの光の波長域と違うものを使用すれば、ト
レーサーたる水滴ミストからの散乱光と他の照明光とを
容易に分離できるので、気流を鮮明に可視化することが
できる。しかも照射する光は可視光であるから、発熱体
周りの気流の可視化を行う場合でもこれら発熱体からの
赤外輻射によって可視化が妨げられたり、鮮明度が低下
することはなく、また紫外線のようにオゾンを発生させ
たり、周囲物体への化学作用や視覚障害を引き起こすこ
ともない。
【００２６】また、その分光分布中の主要なピークの波
長が６３０ｎｍ以上の赤色可視光を水滴ミストの照射光
として使用しているので、通常の昼白色蛍光灯の照明下
の気流を鮮明に可視化することができる。またその場
合、水滴ミストの散乱効率も比較的高いので、両者が相
俟って極めて鮮明に気流を可視化することがでる。
長が６３０ｎｍ以上の赤色可視光を水滴ミストの照射光
として使用しているので、通常の昼白色蛍光灯の照明下
の気流を鮮明に可視化することができる。またその場
合、水滴ミストの散乱効率も比較的高いので、両者が相
俟って極めて鮮明に気流を可視化することがでる。
【００２７】 請求項２によれば、上記請求項１の効果
をそのまま具有しつつ、さらに水滴ミストが蒸発しても
不純物が残存しないので、器物表面や室内を汚染するこ
とはない。従って、厳格な清浄度が要求されるクリーン
ルームなどにおいても適用できるという効果がある。
をそのまま具有しつつ、さらに水滴ミストが蒸発しても
不純物が残存しないので、器物表面や室内を汚染するこ
とはない。従って、厳格な清浄度が要求されるクリーン
ルームなどにおいても適用できるという効果がある。
【図１】昼光色蛍光灯の分光分布を示すグラフである。
【図２】昼白色蛍光灯の分光分布を示すグラフである。
【図３】白色蛍光灯の分光分布を示すグラフである。
【図４】純黄色カラード蛍光灯の分光分布を示すグラフ
である。
である。
【図５】Ｍｉｅ理論により計算した水滴の散乱効率を示
すグラフである。
すグラフである。
【図６】実施例にかかる気流の可視化システムの構成を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図７】実施例で用いた可視光照射用光源の分光分布を
示すグラフである。
示すグラフである。
【図８】実施例で用いた光学フィルタの透過特性とビデ
オカメラの撮像管の分光感度特性を夫々示すグラフであ
る。
オカメラの撮像管の分光感度特性を夫々示すグラフであ
る。
【図９】実施例によって得られた可視化画像をもとに記
号表示した気流の速度ベクトルを示す説明図である。
号表示した気流の速度ベクトルを示す説明図である。
【図１０】従来の可視化方法によって得られた可視化画
像をもとに記号表示した気流の速度ベクトルを示す説明
図である。
像をもとに記号表示した気流の速度ベクトルを示す説明
図である。
１ 純水ミストの発生装置 ２ ノズル ３ 可視光照射用光源 ４ 光学フィルタ ５ カメラ用レンズ ６ ビデオカメラ ７ モニタ ８ ビデオデッキ ９ 室内照明灯 １０ 物体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 隆紀 神奈川県座間市立野台639−２ (56)参考文献 特開 昭62−67419（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−5145（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−111467（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−22563（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01P 13/00 G01P 5/00 - 5/22
Claims (2)
- 【請求項１】 可視化しようとするクリーンルーム内の
気流中に水滴ミストを混入し、さらに該気流中の水滴ミ
ストに、主要ピークの波長が６３０ｎｍから７００ｎｍ
にある特定波長域の可視光を照射し、その際に生ずる散
乱光を、少なくとも当該特定波長域以外の可視光をカッ
トする光学フィルタを通して認識する、クリーンルーム
内気流の可視化方法。 - 【請求項２】 水滴ミストは純水を原料として発生され
るものである請求項１に記載のクリーンルーム内気流の
可視化方法。
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|---|---|---|---|
| JP04160013A JP3142957B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 気流の可視化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04160013A JP3142957B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 気流の可視化方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05333039A JPH05333039A (ja) | 1993-12-17 |
| JP3142957B2 true JP3142957B2 (ja) | 2001-03-07 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04160013A Expired - Fee Related JP3142957B2 (ja) | 1992-05-28 | 1992-05-28 | 気流の可視化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3142957B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6891353B1 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-06-18 | 株式会社大気社 | 気流検出装置、気流検出方法、および気流検出プログラム |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61111467A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-29 | Shimizu Constr Co Ltd | 気流分布の検出方法及びその検出装置 |
| JPH0654279B2 (ja) * | 1985-07-01 | 1994-07-20 | 日本フア−ネス工業株式会社 | 流れの三次元観察方法 |
| JPS6267419A (ja) * | 1985-09-20 | 1987-03-27 | Shinryo Air Conditioning Co Ltd | 気流の可視化方法 |
| JPH0222563A (ja) * | 1988-07-11 | 1990-01-25 | Nkk Corp | 物体周囲の気流の流れ方向検出方法 |
-
1992
- 1992-05-28 JP JP04160013A patent/JP3142957B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6891353B1 (ja) * | 2019-09-06 | 2021-06-18 | 株式会社大気社 | 気流検出装置、気流検出方法、および気流検出プログラム |
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| Publication number | Publication date |
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| JPH05333039A (ja) | 1993-12-17 |
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