JP3143631B2 - 互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装置 - Google Patents
互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装置Info
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/404—Cells with anode, cathode and cell electrolyte on the same side of a permeable membrane which separates them from the sample fluid, e.g. Clark-type oxygen sensors
-
- G—PHYSICS
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、三電極型すなわち動作
電極／カウンタ電極／参照電極型の電気化学的測定セル
を複数有し、共通の電解質を含み、さらにまた、複数の
動作電極の種々の電位の設定および制御を行うための、
かつ個々のガス濃度に関連した電気化学的に生じた電流
を測定するための定電位評価回路（ｐｏｔｅｎｔｉｏｓ
ｔａｔｉｃ ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ ｃｉｒｃｕｉｔ）
を備えた、互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装
置に関するものである。
電極／カウンタ電極／参照電極型の電気化学的測定セル
を複数有し、共通の電解質を含み、さらにまた、複数の
動作電極の種々の電位の設定および制御を行うための、
かつ個々のガス濃度に関連した電気化学的に生じた電流
を測定するための定電位評価回路（ｐｏｔｅｎｔｉｏｓ
ｔａｔｉｃ ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ ｃｉｒｃｕｉｔ）
を備えた、互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】三電極型の定電位センサを使用して、純
粋なガスの測定結果を基礎として微量のガスを検知測定
することは広く行われている。このようなガスセンサは
一般に再現性を有し、感度が良く、かつ、複数種のガス
の測定のために使用できる。動作電極（すなわち測定電
極）用触媒、電解質、および動作電極の電位の適切な選
択によって感度が制御できる。しかしながら、すべての
クロス感度（ｃｒｏｓｓ−ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｉｅ
ｓ）を同時に解消することは一般に不可能である。実
際、他の干渉性ガスとの関連下に感度とクロス感度抑圧
度との間に妥協点を見出す必要がある。あるいは、複数
のセンサを組み合わせてセンサの列を作り、被検成分お
よび干渉性のクロス成分に対する種々の感度値を利用し
て、測定変数（ｍｅａｓｕｒｅｄ ｖａｒｉａｂｌｅ
ｓ）の演算処理を行うことも可能である。其後に、すべ
てのセンサの信号を考慮に入れて処理することによって
ガスの組成が決定できる（サンプルデテクション）。従
来のセンサの列は、いわゆる伝動度タイプのソリッドス
テートガスセンサからなるものであった。
粋なガスの測定結果を基礎として微量のガスを検知測定
することは広く行われている。このようなガスセンサは
一般に再現性を有し、感度が良く、かつ、複数種のガス
の測定のために使用できる。動作電極（すなわち測定電
極）用触媒、電解質、および動作電極の電位の適切な選
択によって感度が制御できる。しかしながら、すべての
クロス感度（ｃｒｏｓｓ−ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｉｅ
ｓ）を同時に解消することは一般に不可能である。実
際、他の干渉性ガスとの関連下に感度とクロス感度抑圧
度との間に妥協点を見出す必要がある。あるいは、複数
のセンサを組み合わせてセンサの列を作り、被検成分お
よび干渉性のクロス成分に対する種々の感度値を利用し
て、測定変数（ｍｅａｓｕｒｅｄ ｖａｒｉａｂｌｅ
ｓ）の演算処理を行うことも可能である。其後に、すべ
てのセンサの信号を考慮に入れて処理することによって
ガスの組成が決定できる（サンプルデテクション）。従
来のセンサの列は、いわゆる伝動度タイプのソリッドス
テートガスセンサからなるものであった。
【０００３】独国公開特許第２４３５８１３号公報に
は、一連の電気化学的測定セル上をガスを流動させるよ
うに構成した多電極型電気化学的センサが開示されてい
る。これらの測定セルは、電極に接続された抵抗回路網
を介して相互に接続されており、そして各セルから、或
特定の１種の汚染物に対応する１つの測定電圧値のみが
得られるようになっている。このセンサでは各段階毎に
反応を完全に行うことが必要であり、したがって測定の
際に比較的長い滞留時間および比較的長い休止時間が必
要である。さらに、測定原理から明らかなように、各測
定セルにおいてすべての電極を別々に配置しなければな
らない。これらの条件は、小型かつ簡単な構造の多電極
型電気化学的センサの製作という要望に相反するもので
ある。さらにまた個々の測定センサでは、温度差および
流入速度の差も考慮に入れなければならない。また、特
定のガス系を測定するための四電極型定電位センサが、
米国特許第４３１５７５３号明細書および欧州特許第０
０６４３３７号明細書に記載されていて公知である。し
かしながら、個々の動作電極の電位をそれぞれ独立的に
選択する手段は設けられていない。したがって、選択性
をそれぞれ個別的に最適値にするための操作の自由度が
ほとんどない。さらにまた、この公知技術の場合には、
操作費が多くかかるガス制御操作を或程度行うことが必
要である。
は、一連の電気化学的測定セル上をガスを流動させるよ
うに構成した多電極型電気化学的センサが開示されてい
る。これらの測定セルは、電極に接続された抵抗回路網
を介して相互に接続されており、そして各セルから、或
特定の１種の汚染物に対応する１つの測定電圧値のみが
得られるようになっている。このセンサでは各段階毎に
反応を完全に行うことが必要であり、したがって測定の
際に比較的長い滞留時間および比較的長い休止時間が必
要である。さらに、測定原理から明らかなように、各測
定セルにおいてすべての電極を別々に配置しなければな
らない。これらの条件は、小型かつ簡単な構造の多電極
型電気化学的センサの製作という要望に相反するもので
ある。さらにまた個々の測定センサでは、温度差および
流入速度の差も考慮に入れなければならない。また、特
定のガス系を測定するための四電極型定電位センサが、
米国特許第４３１５７５３号明細書および欧州特許第０
０６４３３７号明細書に記載されていて公知である。し
かしながら、個々の動作電極の電位をそれぞれ独立的に
選択する手段は設けられていない。したがって、選択性
をそれぞれ個別的に最適値にするための操作の自由度が
ほとんどない。さらにまた、この公知技術の場合には、
操作費が多くかかるガス制御操作を或程度行うことが必
要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、個々
のガス成分の検出感度を最適値にし、電極の電位および
電位構成材料（触媒作用を有する添加剤の使用を包含す
る）の選択に関して充分な自由度があり、かつ、適切な
ガスフィルタおよびガス拡散に対するバリヤが使用でき
るという特長を有する多電極型電気化学的センサを用い
て複数のガス成分を同時にかつ個別的に測定する技術を
提供することにある。本発明の前記目的は、複数の三電
極型測定セルを有する電気化学的センサにおいて、
（ａ）前記の三電極型測定セルが、複数の動作電極と、
共通のカウンタ電極と、共通の参照電極とから構成され
たものであり、これらの電極は同一電解質に接触してお
り、（ｂ）定電位評価回路が、前記参照電極を基準とす
る前記動作電極の電位をそれぞれ個別的かつ互いに独立
的に一定に保つための制御ループを含むものであり、
（ｃ）前記評価回路はさらにまた、前記動作電極上を流
れるガスの濃度に対応する電流値信号を検知する手段を
有することを特徴とする電気化学的セルの使用によって
達成できる。
のガス成分の検出感度を最適値にし、電極の電位および
電位構成材料（触媒作用を有する添加剤の使用を包含す
る）の選択に関して充分な自由度があり、かつ、適切な
ガスフィルタおよびガス拡散に対するバリヤが使用でき
るという特長を有する多電極型電気化学的センサを用い
て複数のガス成分を同時にかつ個別的に測定する技術を
提供することにある。本発明の前記目的は、複数の三電
極型測定セルを有する電気化学的センサにおいて、
（ａ）前記の三電極型測定セルが、複数の動作電極と、
共通のカウンタ電極と、共通の参照電極とから構成され
たものであり、これらの電極は同一電解質に接触してお
り、（ｂ）定電位評価回路が、前記参照電極を基準とす
る前記動作電極の電位をそれぞれ個別的かつ互いに独立
的に一定に保つための制御ループを含むものであり、
（ｃ）前記評価回路はさらにまた、前記動作電極上を流
れるガスの濃度に対応する電流値信号を検知する手段を
有することを特徴とする電気化学的セルの使用によって
達成できる。
【０００５】好ましくは定電位評価回路内の各制御ルー
プは、カスケード接続の形で接続された２つの演算増幅
器からなり、これによって、１つの動作電極および共通
の参照電極の間に電位差が第一増幅器の高抵抗型タップ
点を介して与えられる。第二増幅器は、第一増幅器の出
力側で前記電位差を設定値Ｕｎと比較し、そして、第二
増幅器の出力側から動作電極へと流れる電流Ｉｎを、設
定値Ｕｎからの偏差が最小になるように調節する。この
調節のときに、種々の動作電極に流れる電流Ｉｎが、動
作電極に到達したガス成分のガス濃度の測定値に相当す
る。液状の電解質を使用するのが好ましい。動作電極
は、電解質の１つの表面に、物理的に分離された複数の
測定電界が生じるような形で配置するのが有利である。
一方、共通のカウンタ電極および共通の参照電極は電解
質の反対側の面に配置するのが好ましい。この方法によ
って、小形の多電極型電気化学的センサが非常に有利に
製造できる。
プは、カスケード接続の形で接続された２つの演算増幅
器からなり、これによって、１つの動作電極および共通
の参照電極の間に電位差が第一増幅器の高抵抗型タップ
点を介して与えられる。第二増幅器は、第一増幅器の出
力側で前記電位差を設定値Ｕｎと比較し、そして、第二
増幅器の出力側から動作電極へと流れる電流Ｉｎを、設
定値Ｕｎからの偏差が最小になるように調節する。この
調節のときに、種々の動作電極に流れる電流Ｉｎが、動
作電極に到達したガス成分のガス濃度の測定値に相当す
る。液状の電解質を使用するのが好ましい。動作電極
は、電解質の１つの表面に、物理的に分離された複数の
測定電界が生じるような形で配置するのが有利である。
一方、共通のカウンタ電極および共通の参照電極は電解
質の反対側の面に配置するのが好ましい。この方法によ
って、小形の多電極型電気化学的センサが非常に有利に
製造できる。
【０００６】或特定のガスのための動作電極の感度、お
よび或特定のガスのための測定電界の感度は、よく知ら
れているように電極の構成材料および電極の電位に左右
されて種々変わり、したがってこれは電極の電位の変化
によって調節できる。さらに、測定電界の感度は触媒に
よる動作電極の活性化、および入力側へのガス特異性フ
ィルタの接続によって改善できる。さらにまた、オリフ
ィスまたは拡散膜によって測定セルの感度を種々変える
ことができる。原則として、種々の測定電界感度を有す
る多電極型センサの使用によってサンプルデテクション
操作が実施でき、そしてこれによって、ガス混合物の同
定が可能である。
よび或特定のガスのための測定電界の感度は、よく知ら
れているように電極の構成材料および電極の電位に左右
されて種々変わり、したがってこれは電極の電位の変化
によって調節できる。さらに、測定電界の感度は触媒に
よる動作電極の活性化、および入力側へのガス特異性フ
ィルタの接続によって改善できる。さらにまた、オリフ
ィスまたは拡散膜によって測定セルの感度を種々変える
ことができる。原則として、種々の測定電界感度を有す
る多電極型センサの使用によってサンプルデテクション
操作が実施でき、そしてこれによって、ガス混合物の同
定が可能である。
【０００７】本発明は下記のごとき効果を奏する。小形
に製作でき、すなわち、公知の多電極型電気化学的セン
サに比較してかなり容積の小さいセンサが製作できる。
なぜならばすべての動作電極が同一の参照電極、カウン
タ電極、電解質およびセンサ用の完全なハウジングを利
用できるからである。ハイブリッド工学を利用してセン
サを製作した場合には、ソリッドステート電解質が使用
できるのでセンサの容積をさらに小さくすることができ
る。すべての動作電極は同一の温度、圧力、流動条件下
に操作できる。したがって、これらのパラメータの微変
動に起因する干渉効果はこの操作方法によって避けるこ
とができる。すべての動作電極の測定信号（すなわち動
作電極の電流Ｉｎ）は同一の参照電極および同一の電解
質に関連するものであり、したがって、参照電極の電位
の変動が検知でき、そして必要に応じて補償できる。
に製作でき、すなわち、公知の多電極型電気化学的セン
サに比較してかなり容積の小さいセンサが製作できる。
なぜならばすべての動作電極が同一の参照電極、カウン
タ電極、電解質およびセンサ用の完全なハウジングを利
用できるからである。ハイブリッド工学を利用してセン
サを製作した場合には、ソリッドステート電解質が使用
できるのでセンサの容積をさらに小さくすることができ
る。すべての動作電極は同一の温度、圧力、流動条件下
に操作できる。したがって、これらのパラメータの微変
動に起因する干渉効果はこの操作方法によって避けるこ
とができる。すべての動作電極の測定信号（すなわち動
作電極の電流Ｉｎ）は同一の参照電極および同一の電解
質に関連するものであり、したがって、参照電極の電位
の変動が検知でき、そして必要に応じて補償できる。
【０００８】本発明の多電極型センサを使用した場合に
は、非常に高解像度（これは動作電極の数に依存する）
のサイクリカル・ボルタメトリのデータ（すなわちボル
タモグラム）が静的に（ｓｔａｔｉｃａｌｌｙ）、同時
にかつ瞬時に記録できる。これに対し従来のサイクリカ
ル・ボルタメトリの場合には、非常に遅い速度で測定し
たときでも（速度：１ｍＶ／分）、動的限界値（ｄｙｎ
ａｍｉｃ ｌｉｍｉｔｉｎｇ ｖａｌｕｅｓ）しか得ら
れない。さらにまた本発明の多電極型センサの場合に
は、他の不所望のガス成分に関連するクロス感度が特異
的に抑制できる。個々の動作電極はそれぞれ互いに完全
に独立的に定電位条件下に操作できるから、電極電位の
設定および調節、動作電極用触媒の選択、および直列に
接続されるガス特異性フィルタの選択を完全に自由に行
うことができ、したがって個々の測定セルをその測定目
的に応じた最適の感度で使用することができる。
は、非常に高解像度（これは動作電極の数に依存する）
のサイクリカル・ボルタメトリのデータ（すなわちボル
タモグラム）が静的に（ｓｔａｔｉｃａｌｌｙ）、同時
にかつ瞬時に記録できる。これに対し従来のサイクリカ
ル・ボルタメトリの場合には、非常に遅い速度で測定し
たときでも（速度：１ｍＶ／分）、動的限界値（ｄｙｎ
ａｍｉｃ ｌｉｍｉｔｉｎｇ ｖａｌｕｅｓ）しか得ら
れない。さらにまた本発明の多電極型センサの場合に
は、他の不所望のガス成分に関連するクロス感度が特異
的に抑制できる。個々の動作電極はそれぞれ互いに完全
に独立的に定電位条件下に操作できるから、電極電位の
設定および調節、動作電極用触媒の選択、および直列に
接続されるガス特異性フィルタの選択を完全に自由に行
うことができ、したがって個々の測定セルをその測定目
的に応じた最適の感度で使用することができる。
【０００９】被検ガスはすべての動作電極に同時に到達
する。なぜならばガス通路が同じであるからである。そ
の結果として、個々のガス成分の通路または拡散距離の
相違に起因するレスポンス時間のばらつきを避けること
ができる。本発明の多電極型センサの場合には、原則と
して、或特定のガス成分または或特定のガス混合物の検
出に関する限定条件はない。したがって、たとえば固
体、流体、無機質または有機質の電解質が使用できる。
本発明の若干の実施態様について、添付図面の参照下に
詳細に説明する。
する。なぜならばガス通路が同じであるからである。そ
の結果として、個々のガス成分の通路または拡散距離の
相違に起因するレスポンス時間のばらつきを避けること
ができる。本発明の多電極型センサの場合には、原則と
して、或特定のガス成分または或特定のガス混合物の検
出に関する限定条件はない。したがって、たとえば固
体、流体、無機質または有機質の電解質が使用できる。
本発明の若干の実施態様について、添付図面の参照下に
詳細に説明する。
【００１０】図１は、ハウジング（１）、測定セル内の
電解質（２）、および電極を備えた多電極型センサの略
式回路図である。カウンタ電極（３）、参照電極（４）
および動作電極（５1 …５n ）を電解質（２）中に浸漬
させる。８つ（ｎ＝８）までの動作電極が配置できる。
動作電極（５ｎ）の各々は、共通のカウンタ電極（３）
および共通の参照電極（４）と共に三電極型センサを構
成する。
電解質（２）、および電極を備えた多電極型センサの略
式回路図である。カウンタ電極（３）、参照電極（４）
および動作電極（５1 …５n ）を電解質（２）中に浸漬
させる。８つ（ｎ＝８）までの動作電極が配置できる。
動作電極（５ｎ）の各々は、共通のカウンタ電極（３）
および共通の参照電極（４）と共に三電極型センサを構
成する。
【００１１】評価回路（６）は、共通の電極（３）およ
び（４）を介して相互に接続されたｎ個の定電位コント
ロールループすなわち制御ループ（７1 …７n ）からな
る。各制御ループは、カスケード接続の形で接続された
２個の演算増幅器（８ｎ）および（９ｎ）を有する。前
記の動作電極（５ｎ）と前記の共通の参照電極（４）と
の間の電位差は、高抵抗型測定方法に従って第一増幅器
（８ｎ）において測定される。この電位差は第一増幅器
（８ｎ）の出力側において、それに対応する設定値Ｕｎ
と、第二増幅器（１０ｎ）によって比較され、そして、
フィードバック線（１０ｎ）を通じて動作電極（５ｎ）
に供給される電流が、設定値Ｕｎからの偏差を最小限に
減少させるように自動的に調整される（いわゆるコント
ロールデビエーション）。設定値Ｕｎ、および動作電極
（５ｎ）の電位は、それぞれ個別的かつ独立的に設定で
きる。フィードバック線（１０ｎ）を通る電流は動作電
極（５ｎ）および電解質（２）を経て、共通のカウンタ
電極（３）に流れる。カウンタ電極（３）は接地されて
いる。動作電極（５ｎ）と共通の参照電極（４）との間
の電位差の測定は高抵抗型測定方法によって行われ、そ
して共通のカウンタ電極（３）は接地されているから、
個々の定電位ステージ（定電位制御ループ）（７ｎ）は
それぞれ独立的に操作される。フィードバック線（１０
1 …１０n ）に配置された指示計器（１１1 …１１n ）
で測定された電流値Ｉ1 …Ｉn は、動作電極（５1 …５
n ）において変換されたガスの容量の直接測定値に相当
する。動作電極（５1 …５n ）を流れる電流を記録する
ための別の手段たとえば電子メモリを、前記の指示計器
（１１1 …１１n ）の代わりに使用することも可能であ
る。この態様の場合には被測定ガスは、すべての動作電
極（５1 …５n ）に同時に供給される。
び（４）を介して相互に接続されたｎ個の定電位コント
ロールループすなわち制御ループ（７1 …７n ）からな
る。各制御ループは、カスケード接続の形で接続された
２個の演算増幅器（８ｎ）および（９ｎ）を有する。前
記の動作電極（５ｎ）と前記の共通の参照電極（４）と
の間の電位差は、高抵抗型測定方法に従って第一増幅器
（８ｎ）において測定される。この電位差は第一増幅器
（８ｎ）の出力側において、それに対応する設定値Ｕｎ
と、第二増幅器（１０ｎ）によって比較され、そして、
フィードバック線（１０ｎ）を通じて動作電極（５ｎ）
に供給される電流が、設定値Ｕｎからの偏差を最小限に
減少させるように自動的に調整される（いわゆるコント
ロールデビエーション）。設定値Ｕｎ、および動作電極
（５ｎ）の電位は、それぞれ個別的かつ独立的に設定で
きる。フィードバック線（１０ｎ）を通る電流は動作電
極（５ｎ）および電解質（２）を経て、共通のカウンタ
電極（３）に流れる。カウンタ電極（３）は接地されて
いる。動作電極（５ｎ）と共通の参照電極（４）との間
の電位差の測定は高抵抗型測定方法によって行われ、そ
して共通のカウンタ電極（３）は接地されているから、
個々の定電位ステージ（定電位制御ループ）（７ｎ）は
それぞれ独立的に操作される。フィードバック線（１０
1 …１０n ）に配置された指示計器（１１1 …１１n ）
で測定された電流値Ｉ1 …Ｉn は、動作電極（５1 …５
n ）において変換されたガスの容量の直接測定値に相当
する。動作電極（５1 …５n ）を流れる電流を記録する
ための別の手段たとえば電子メモリを、前記の指示計器
（１１1 …１１n ）の代わりに使用することも可能であ
る。この態様の場合には被測定ガスは、すべての動作電
極（５1 …５n ）に同時に供給される。
【００１２】図２は、多電極型の電気化学的センサの一
例の実際の構成を示す図面である。この場合の電解質
（１２）の電解質水溶液（５０％Ｈ2 ＳＯ4 ）からな
り、これは容器（１３）に入っている。その下端にカウ
ンタ電極（１４）および参照電極（１５）（たとえばＰ
ｔ／電気電極）が取り付けられている。カウンタ電極
（１４）および参照電極（１５）はそれぞれ導線（１
６）および（１７）に接続される。上端には２個の動作
電極（１８1 ）および（１８2 ）が配置され、これらは
それぞれ給電線（１９）および（２０）に接続される。
例の実際の構成を示す図面である。この場合の電解質
（１２）の電解質水溶液（５０％Ｈ2 ＳＯ4 ）からな
り、これは容器（１３）に入っている。その下端にカウ
ンタ電極（１４）および参照電極（１５）（たとえばＰ
ｔ／電気電極）が取り付けられている。カウンタ電極
（１４）および参照電極（１５）はそれぞれ導線（１
６）および（１７）に接続される。上端には２個の動作
電極（１８1 ）および（１８2 ）が配置され、これらは
それぞれ給電線（１９）および（２０）に接続される。
【００１３】これらの動作電極には拡散膜（２６）が配
置され、しかして該拡散膜はガス側に設けられる。通気
性のスペーサ（２５）が、たとえばＰＴＦＥフィルムか
らなる前記拡散膜（２６）の上方に配置され、該スペー
サ（２５）上に、感度の調節および整合操作を行うため
のオリフィス（２４1 ）および（２４2 ）が配置され
る。電解質（１２）に接している動作電極（１８1 ）お
よび（１８2 ）の内面は、触媒の作用によって活性化で
きる。動作電極／電解質境界面における電気化学的反応
に選択的に影響を与える適切な触媒を選ぶ方法は、当該
技術分野において公知である。この多電極型センサの感
度は、直列に結合されたオリフィス（２１）を操作する
ことによって、個々の測定目的に適するように調節でき
る。
置され、しかして該拡散膜はガス側に設けられる。通気
性のスペーサ（２５）が、たとえばＰＴＦＥフィルムか
らなる前記拡散膜（２６）の上方に配置され、該スペー
サ（２５）上に、感度の調節および整合操作を行うため
のオリフィス（２４1 ）および（２４2 ）が配置され
る。電解質（１２）に接している動作電極（１８1 ）お
よび（１８2 ）の内面は、触媒の作用によって活性化で
きる。動作電極／電解質境界面における電気化学的反応
に選択的に影響を与える適切な触媒を選ぶ方法は、当該
技術分野において公知である。この多電極型センサの感
度は、直列に結合されたオリフィス（２１）を操作する
ことによって、個々の測定目的に適するように調節でき
る。
【００１４】図３ａにおいて、隙間（２３）によって相
互に分離されている２つの半球状の電界（２２1 ）およ
び（２２2 ）は、動作電極（１８1 ）および（１８2 ）
によって電解質（１２）の表面に形成された電界であ
る。図３ｂおよび図３ｃの各々は、種々のガス成分の測
定のための３つまたは４つの扇形測定電界（ｍｅａｓｕ
ｒｉｎｇ ｆｉｅｌｄｓ）を有するセンサ面の実際の例
を示す図面である。感度の改善のために、種々のガス特
異性フィルタを前記測定電界に直列に接続できる。図２
および図３に記載のごとくセンサを構成することによっ
て、無駄な空間を少なくしたコンパクトな構成の多電極
型センサが容易に製作できる。
互に分離されている２つの半球状の電界（２２1 ）およ
び（２２2 ）は、動作電極（１８1 ）および（１８2 ）
によって電解質（１２）の表面に形成された電界であ
る。図３ｂおよび図３ｃの各々は、種々のガス成分の測
定のための３つまたは４つの扇形測定電界（ｍｅａｓｕ
ｒｉｎｇ ｆｉｅｌｄｓ）を有するセンサ面の実際の例
を示す図面である。感度の改善のために、種々のガス特
異性フィルタを前記測定電界に直列に接続できる。図２
および図３に記載のごとくセンサを構成することによっ
て、無駄な空間を少なくしたコンパクトな構成の多電極
型センサが容易に製作できる。
【００１５】
例１ 図４は、古典的なサイクリカル・ボルタメトリ操作によ
って種々のガスの測定を行う際に、たとえばＡｕ／Ｈ2
ＳＯ4 系を使用した場合の電位依存性感度を示すグラフ
である。本例では、ＰＴＦＥ−金粉末からなるガス拡散
電極を使用した。電解質は０．５ｍ（ｍｏｌ／Ｌ）硫酸
であった。測定は室温において行い、被検ガスの流量は
５Ｌ／時であった。図４のグラフには、ガス成分ＮＯ，
ＳＯ2 ，ＮＯ2 ，ＨＣｌ，Ｃｌ2 およびＨ2 Ｓに関する
準定常電流／電圧曲線が示されている。いわゆる基本ト
レース（図中の太線の曲線）は、純粋な空気を用いて記
録した。電位は、電解質中の可逆Ｈ2 電極を基準として
測定した。適度のガス特異性電極電位は各回毎に前記グ
ラフ（すなわち、標準的な三電極型センサを用いる測定
に基づいて作られたグラフ）から決定できる。電位の設
定の場合には、一般に所望感度と、抑圧すべきクロス感
度との間に妥協が図られる。本発明に係る多電極型セン
サでは、常に最も好ましい電位において個々の動作電極
が操作されるような条件下に、測定操作が行われる。電
位はたとえば次のごとく設定され、すなわち、ＮＯの測
定の場合には１．２Ｖに、ＳＯ2 の測定の場合には１．
１Ｖに、ＮＯ2 の測定の場合には１Ｖに設定される。経
験によって、前記の測定感度はすべての被検成分に対し
て充分に高い感度であることが判っているが、このこと
は、測定電界（２２）（図３ａ−図３ｃ）に応じて測定
用電極面の面積を減少させることによって生じる感度の
損失に限界がないことを意味する。電流の測定値は、個
別的に検出された種々のガスの直接検証のために利用で
きる。さらにまた、１種またはそれ以上の主成分のクロ
ス感度は、数種の成分を並列に測定し演算することによ
って補正できる。
って種々のガスの測定を行う際に、たとえばＡｕ／Ｈ2
ＳＯ4 系を使用した場合の電位依存性感度を示すグラフ
である。本例では、ＰＴＦＥ−金粉末からなるガス拡散
電極を使用した。電解質は０．５ｍ（ｍｏｌ／Ｌ）硫酸
であった。測定は室温において行い、被検ガスの流量は
５Ｌ／時であった。図４のグラフには、ガス成分ＮＯ，
ＳＯ2 ，ＮＯ2 ，ＨＣｌ，Ｃｌ2 およびＨ2 Ｓに関する
準定常電流／電圧曲線が示されている。いわゆる基本ト
レース（図中の太線の曲線）は、純粋な空気を用いて記
録した。電位は、電解質中の可逆Ｈ2 電極を基準として
測定した。適度のガス特異性電極電位は各回毎に前記グ
ラフ（すなわち、標準的な三電極型センサを用いる測定
に基づいて作られたグラフ）から決定できる。電位の設
定の場合には、一般に所望感度と、抑圧すべきクロス感
度との間に妥協が図られる。本発明に係る多電極型セン
サでは、常に最も好ましい電位において個々の動作電極
が操作されるような条件下に、測定操作が行われる。電
位はたとえば次のごとく設定され、すなわち、ＮＯの測
定の場合には１．２Ｖに、ＳＯ2 の測定の場合には１．
１Ｖに、ＮＯ2 の測定の場合には１Ｖに設定される。経
験によって、前記の測定感度はすべての被検成分に対し
て充分に高い感度であることが判っているが、このこと
は、測定電界（２２）（図３ａ−図３ｃ）に応じて測定
用電極面の面積を減少させることによって生じる感度の
損失に限界がないことを意味する。電流の測定値は、個
別的に検出された種々のガスの直接検証のために利用で
きる。さらにまた、１種またはそれ以上の主成分のクロ
ス感度は、数種の成分を並列に測定し演算することによ
って補正できる。
【００１６】例２ 図５ａは、僅か２つの動作電極を備えた多電極型センサ
における所定のＨＣｌ濃度と測定電流値の変化との関係
を示すグラフである。両方の動作電極は金からなるもの
であった。硫酸系電解質の中のＰｔ／空気電極に対する
動作電極の電位について述べれば、第一動作電極は電位
１５０ｍＶにおいて作動させ、第二動作電極は電位０ｍ
Ｖにおいて動作させた。よく知られているように、第一
作動電極の方がＨＣｌに対し一層敏感に反応する。図５
ｂは、同じ多電極型センサにおける所定のＣｌ2 濃度
と、測定電流値との関係を示すグラフである。電位の異
なる動作電極について調べたが、この場合には第一動作
電極よりも第二動作電極の方が、Ｃｌ2 に対して一層高
い感度を示した。
における所定のＨＣｌ濃度と測定電流値の変化との関係
を示すグラフである。両方の動作電極は金からなるもの
であった。硫酸系電解質の中のＰｔ／空気電極に対する
動作電極の電位について述べれば、第一動作電極は電位
１５０ｍＶにおいて作動させ、第二動作電極は電位０ｍ
Ｖにおいて動作させた。よく知られているように、第一
作動電極の方がＨＣｌに対し一層敏感に反応する。図５
ｂは、同じ多電極型センサにおける所定のＣｌ2 濃度
と、測定電流値との関係を示すグラフである。電位の異
なる動作電極について調べたが、この場合には第一動作
電極よりも第二動作電極の方が、Ｃｌ2 に対して一層高
い感度を示した。
【００１７】選択性は公知の方法によって一層高めるこ
とができ、たとえば、触媒作用を有する材料を動作電極
として使用できる。たとえば、ルテニウム黒作動電極を
使用することによって、ＮＯ2 およびＣＯを同時かつ個
別的に測定できるセンサが製作できる。ルテニウム黒作
動電極は可逆水素電極に対する電極電位０．６Ｖにおい
て、白金動作電極（設定電位１．１Ｖ）および電解質と
しての硫酸と共に使用できる。
とができ、たとえば、触媒作用を有する材料を動作電極
として使用できる。たとえば、ルテニウム黒作動電極を
使用することによって、ＮＯ2 およびＣＯを同時かつ個
別的に測定できるセンサが製作できる。ルテニウム黒作
動電極は可逆水素電極に対する電極電位０．６Ｖにおい
て、白金動作電極（設定電位１．１Ｖ）および電解質と
しての硫酸と共に使用できる。
【００１８】例３ 本例では、Ｃｌ2 およびＨＣｌガスの測定の場合の、図
１に記載の多電極型センサの時間特性およびクロス感度
を調べた。使用された２つの動作電極は金粉拡散電極で
あった。参照電極およびカウンタ電極として白金黒拡散
電極を使用した。電解質は５０％硫酸であった。塩素敏
感性動作電極の電位を１０００ｍＶに設定し、ＨＣｌ敏
感性動作電極の電位を１１５０ｍＶに設定した。この多
電極型センサにおいて５ｐｐｍのＣｌ2をガス化する場
合のＣｌ2 動作電極およびＨＣｌ動作電極の各測定値信
号を同時に記録した。該測定値と時間との関係を図７に
示す。被検ガスの流量は５Ｌ／時であった。Ｃｌ2 動作
電極は充分な測定値信号を発し、一方、ＨＣｌ動作電極
は低いクロス感度のみを示した。
１に記載の多電極型センサの時間特性およびクロス感度
を調べた。使用された２つの動作電極は金粉拡散電極で
あった。参照電極およびカウンタ電極として白金黒拡散
電極を使用した。電解質は５０％硫酸であった。塩素敏
感性動作電極の電位を１０００ｍＶに設定し、ＨＣｌ敏
感性動作電極の電位を１１５０ｍＶに設定した。この多
電極型センサにおいて５ｐｐｍのＣｌ2をガス化する場
合のＣｌ2 動作電極およびＨＣｌ動作電極の各測定値信
号を同時に記録した。該測定値と時間との関係を図７に
示す。被検ガスの流量は５Ｌ／時であった。Ｃｌ2 動作
電極は充分な測定値信号を発し、一方、ＨＣｌ動作電極
は低いクロス感度のみを示した。
【００１９】同様に図８は、同じ多電極型センサにおけ
るＨＣｌのガス化の場合の測定値のグラフである。この
場合の操作条件は、図７記載の試験の場合の操作条件と
同じであった。この場合にはＨＣｌ動作電極は充分な測
定信号を発し、一方、Ｃｌ2動作信号は低いクロス感度
を示した。
るＨＣｌのガス化の場合の測定値のグラフである。この
場合の操作条件は、図７記載の試験の場合の操作条件と
同じであった。この場合にはＨＣｌ動作電極は充分な測
定信号を発し、一方、Ｃｌ2動作信号は低いクロス感度
を示した。
【００２０】次に、本発明の若干の態様を示す。 １．三電極型すなわち動作電極／カウンタ電極／参照電
極型の電気化学的測定セルを複数有し、共通の電解質を
含み、さらにまた、動作電極の電位の設定および調節を
行うための、かつ個々のガス濃度に関連する電気化学的
に作られた電気信号を測定するための定電位評価回路を
備えた、互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装置
において、（ａ）前記の三電極型測定セルが、複数の動
作電極と、共通のカウンタ電極（３）と、共通の参照電
極（４）とから構成されたものであり、（ｂ）前記の定
電位評価回路（６）が、前記参照電極（４）を基準とす
る前記動作電極（５1 …５n ）の電位をそれぞれ個別的
かつ互いに独立的に一定に保つための制御ループ（７1
…７n ）を含むものであり、（ｃ）前記評価回路（６）
はさらにまた、前記動作電極（５1 …５n ）上を流れる
ガスの濃度に対応する電流値信号（Ｉ1 …Ｉn ）を検知
する手段（１１1 …１１n ）を有することを特徴とす
る、互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装置。
極型の電気化学的測定セルを複数有し、共通の電解質を
含み、さらにまた、動作電極の電位の設定および調節を
行うための、かつ個々のガス濃度に関連する電気化学的
に作られた電気信号を測定するための定電位評価回路を
備えた、互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装置
において、（ａ）前記の三電極型測定セルが、複数の動
作電極と、共通のカウンタ電極（３）と、共通の参照電
極（４）とから構成されたものであり、（ｂ）前記の定
電位評価回路（６）が、前記参照電極（４）を基準とす
る前記動作電極（５1 …５n ）の電位をそれぞれ個別的
かつ互いに独立的に一定に保つための制御ループ（７1
…７n ）を含むものであり、（ｃ）前記評価回路（６）
はさらにまた、前記動作電極（５1 …５n ）上を流れる
ガスの濃度に対応する電流値信号（Ｉ1 …Ｉn ）を検知
する手段（１１1 …１１n ）を有することを特徴とす
る、互いに相異なる複数のガス成分の同時検出装置。
【００２１】２．各制御ループ（７ｎ）が、カスケード
接続の形で接続された２つの演算増幅器（８ｎおよび９
ｎ）を有し、第一増幅器（８ｎ）によって高抵抗型測定
方法に従って動作電極（５ｎ）と参照電極（４）との間
の電位差が測定され、第一増幅器（８ｎ）の出力側にお
いて該電位差が第二増幅器（９ｎ）によって設定値Ｕｎ
と比較され、そして、第二増幅器（９ｎ）の出力側から
動作電極（５ｎ）に流れる電流Ｉｎが、設定値Ｕｎから
の偏差を最小にするように調節される第１項に記載の複
数のガス成分の同時検出装置。 ３．電解質（１２）が電解質溶液からなるものであり、
動作電極（１８1 ，１８2 ）がガス側の電解質を共通膜
上で、物理的に分離された複数の測定電界（２２1 ，２
２2 ）の形に分界し（ｄｅｌｉｍｉｔ）、カウンタ電極
（１４）および参照電極（１５）が電解質（１２）の反
対側に配置される第１項−第２項に記載の複数のガス成
分の同時検出装置。 ４．ガス特異性フィルタが、それぞれ動作電極（５ｎ，
１８1 ，１８2 ）および測定電界（２２）に直列に接続
される第１項−第３項に記載の複数のガス成分の同時検
出装置。
接続の形で接続された２つの演算増幅器（８ｎおよび９
ｎ）を有し、第一増幅器（８ｎ）によって高抵抗型測定
方法に従って動作電極（５ｎ）と参照電極（４）との間
の電位差が測定され、第一増幅器（８ｎ）の出力側にお
いて該電位差が第二増幅器（９ｎ）によって設定値Ｕｎ
と比較され、そして、第二増幅器（９ｎ）の出力側から
動作電極（５ｎ）に流れる電流Ｉｎが、設定値Ｕｎから
の偏差を最小にするように調節される第１項に記載の複
数のガス成分の同時検出装置。 ３．電解質（１２）が電解質溶液からなるものであり、
動作電極（１８1 ，１８2 ）がガス側の電解質を共通膜
上で、物理的に分離された複数の測定電界（２２1 ，２
２2 ）の形に分界し（ｄｅｌｉｍｉｔ）、カウンタ電極
（１４）および参照電極（１５）が電解質（１２）の反
対側に配置される第１項−第２項に記載の複数のガス成
分の同時検出装置。 ４．ガス特異性フィルタが、それぞれ動作電極（５ｎ，
１８1 ，１８2 ）および測定電界（２２）に直列に接続
される第１項−第３項に記載の複数のガス成分の同時検
出装置。
【００２２】５．動作電極（５ｎ，１８1 ，１８2 ）
が、被検ガス成分の種類に応じて種々の方法に従って触
媒の作用によって活性化されたものである第１項−第４
項に記載の複数のガス成分の同時検出装置。 ６．動作電極（５ｎ，１８1 ，１８2 ）の測定感度が、
オリフィス（２４1 ，２４2 ）または拡散膜（２６）を
直列に接続することによって個別に調節できるように構
成した第１項−第５項に記載の複数のガス成分の同時検
出装置。 ７．ＨＣｌおよびＣｌ2 の測定の場合には、使用される
電解質が硫酸水溶液からなり、動作電極が金からなるも
のである第１項−第６項に記載の複数のガス成分の同時
検出装置。
が、被検ガス成分の種類に応じて種々の方法に従って触
媒の作用によって活性化されたものである第１項−第４
項に記載の複数のガス成分の同時検出装置。 ６．動作電極（５ｎ，１８1 ，１８2 ）の測定感度が、
オリフィス（２４1 ，２４2 ）または拡散膜（２６）を
直列に接続することによって個別に調節できるように構
成した第１項−第５項に記載の複数のガス成分の同時検
出装置。 ７．ＨＣｌおよびＣｌ2 の測定の場合には、使用される
電解質が硫酸水溶液からなり、動作電極が金からなるも
のである第１項−第６項に記載の複数のガス成分の同時
検出装置。
【図１】動作電極および電位を制御し、動作電極を流れ
る電流を測定する多元型定電位回路を備えた多電極型セ
ンサの基本構造説明図である。
る電流を測定する多元型定電位回路を備えた多電極型セ
ンサの基本構造説明図である。
【図２】多電極型センサの実際の構成を示す略図であ
る。
る。
【図３】（ａ）〜（ｃ）流体状電解質のガス接触側にそ
れぞれ２つ、３つまたは４つの測定電界を有する多電極
型センサの略図である。
れぞれ２つ、３つまたは４つの測定電界を有する多電極
型センサの略図である。
【図４】選択性に及ぼす動作電極の電位の影響に関する
種々の測定結果を示すグラフである。
種々の測定結果を示すグラフである。
【図５】選択性に及ぼす動作電極の電位の影響に関する
種々の測定結果を示すグラフである。
種々の測定結果を示すグラフである。
【図６】選択性に及ぼす動作電極の電位の影響に関する
種々の測定結果を示すグラフである。
種々の測定結果を示すグラフである。
【図７】Ｃｌ2 およびＨＣｌをガス化したときの図１記
載の多電極型センサ中の２つの測定電界における測定信
号の時間特性に関する曲線（レスポンス曲線）を示すグ
ラフである。
載の多電極型センサ中の２つの測定電界における測定信
号の時間特性に関する曲線（レスポンス曲線）を示すグ
ラフである。
【図８】図７の場合と同じ多電極型センサにおけるＨＣ
ｌのガス化の際の測定値のグラフである。
ｌのガス化の際の測定値のグラフである。
１ ハウジング ２ 電解質 ３ カウンタ電極 ４ 参照電極 ５1 −５n 動作電極 ６ 評価回路 ７1 −７n 定電位制御ループ ８1 −８n 第一増幅器 ９1 −９n 第二増幅器 １０1 −１０n フィードバック線 １１1 −１１n 指示計器 １２ 電解質 １３ 容器 １４ カウンタ電極 １５ 参照電極 １６、１７ 接続線 １８1 −１８n 動作電極 １９、２０ 給電線 ２２1 −２２n 測定電界 ２３ 隙間 ２４1 −２４n オリフィス ２５ ガス透過性スペーサ ２６ 拡散膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−71649（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 27/416
Claims (1)
- 【請求項１】 三電極型すなわち動作電極／カウンタ電
極／参照電極型の電気化学的測定セルを複数有し、共通
の電解質を含み、さらにまた、動作電極の電位の設定お
よび調節を行うための、かつ個々のガス濃度に関連する
電気化学的に作られた電気信号を測定するための定電位
評価回路を備えた、互いに相異なる複数のガス成分の同
時検出装置において、 （ａ）前記の三電極型測定セルが、複数の動作電極と、
共通のカウンタ電極（３）と、共通の参照電極（４）と
から構成されたものであり、 （ｂ）前記の定電位評価回路（６）が、前記参照電極
（４）を基準とする前記動作電極（５1 …５n ）の電位
をそれぞれ個別的かつ互いに独立的に一定に保つための
制御ループ（７1 …７n ）を含むものであり、 （ｃ）前記評価回路（６）はさらにまた、前記動作電極
（５1 …５n ）上を流れるガスの濃度に対応する電流値
信号（Ｉ1 …Ｉn ）を検知する手段（１１1 …１１n ）
を有することを特徴とする、互いに相異なる複数のガス
成分の同時検出装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4136779.0 | 1991-11-08 | ||
| DE4136779A DE4136779A1 (de) | 1991-11-08 | 1991-11-08 | Vorrichtung zum simultanen nachweis verschiedener gaskomponenten |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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