JP3144039B2 - 光学変位センサ - Google Patents
光学変位センサInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は三角測量法により検出対
象までの距離を光学的に正確に測定する光学変位センサ
に関し、特に位置検出精度を向上させるようにした光学
変位センサに関するものである。
象までの距離を光学的に正確に測定する光学変位センサ
に関し、特に位置検出精度を向上させるようにした光学
変位センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来物体までの距離を検出するセンサと
して第４図に示すような三角測量法による光学変位セン
サが用いられている。この装置では発光ダイオード等の
投光素子１をドライブ回路２より駆動し、その光を投光
レンズ３を用いて平行な光ビームとして距離を検出すべ
き方向に照射している。そして投光レンズ３から所定距
離隔てた位置に物体４からの反射光を受光する受光レン
ズ５と、その後方に光の照射位置に基づいて両端に異な
った電流出力を与える位置検出素子（ＰＳＤ；ポジショ
ンセンシティブディバイス）６が設けられる。物体４が
レンズ２の前面から所定距離隔てた位置でこの光ビーム
を遮断した場合には、拡散反射光が受光レンズ５によっ
て受光されＰＳＤ６に照射される。従って投光レンズ３
から検知対象物体４までの距離によってＰＳＤ６上に照
射される反射光の位置が変化する。ＰＳＤ６にはバイア
ス用電源７が接続され、光の照射位置に応じて異なる２
つのアナログ電流出力を両端より外部に与えるものであ
って、夫々の出力はＩ／Ｖ変換器８，９に与えられる。
Ｉ／Ｖ変換器８，９はＰＳＤ６からの電流出力を電圧信
号に変換し減算器１０及び加算器１１に与える。そして
割算器１２は減算器１０，加算器１１の出力を除算する
ことによって、受光量の総和にかかわらず正規化して受
光位置に対応した信号として出力するようにしている。
して第４図に示すような三角測量法による光学変位セン
サが用いられている。この装置では発光ダイオード等の
投光素子１をドライブ回路２より駆動し、その光を投光
レンズ３を用いて平行な光ビームとして距離を検出すべ
き方向に照射している。そして投光レンズ３から所定距
離隔てた位置に物体４からの反射光を受光する受光レン
ズ５と、その後方に光の照射位置に基づいて両端に異な
った電流出力を与える位置検出素子（ＰＳＤ；ポジショ
ンセンシティブディバイス）６が設けられる。物体４が
レンズ２の前面から所定距離隔てた位置でこの光ビーム
を遮断した場合には、拡散反射光が受光レンズ５によっ
て受光されＰＳＤ６に照射される。従って投光レンズ３
から検知対象物体４までの距離によってＰＳＤ６上に照
射される反射光の位置が変化する。ＰＳＤ６にはバイア
ス用電源７が接続され、光の照射位置に応じて異なる２
つのアナログ電流出力を両端より外部に与えるものであ
って、夫々の出力はＩ／Ｖ変換器８，９に与えられる。
Ｉ／Ｖ変換器８，９はＰＳＤ６からの電流出力を電圧信
号に変換し減算器１０及び加算器１１に与える。そして
割算器１２は減算器１０，加算器１１の出力を除算する
ことによって、受光量の総和にかかわらず正規化して受
光位置に対応した信号として出力するようにしている。
【０００３】図５（ａ）は従来の光学変位センサの光学
系部材の構造を示す斜視図、（ｂ），（ｃ）はその受光
軸側の断面図である。本図に示す光学ベース１３は、投
光素子１，投光レンズ３と受光レンズ５及びＰＳＤ６を
固定するためのベースである。このベースには図５
（ａ）に示すように投光軸用の開口１３ａ及び受光軸用
の開口１３ｂが設けられる。図５（ｂ）はＰＳＤ６と開
口１３ｂを通る断面図であり、図示のように接着剤で受
光レンズ５が取付けられる。又図５（ｃ）に示すように
開口１３ｂにねじが形成され、その内側にねじ溝と噛合
するホルダ１４によって受光レンズ５を固定して、光学
系が構成される場合もある。投光側についても同様であ
る。
系部材の構造を示す斜視図、（ｂ），（ｃ）はその受光
軸側の断面図である。本図に示す光学ベース１３は、投
光素子１，投光レンズ３と受光レンズ５及びＰＳＤ６を
固定するためのベースである。このベースには図５
（ａ）に示すように投光軸用の開口１３ａ及び受光軸用
の開口１３ｂが設けられる。図５（ｂ）はＰＳＤ６と開
口１３ｂを通る断面図であり、図示のように接着剤で受
光レンズ５が取付けられる。又図５（ｃ）に示すように
開口１３ｂにねじが形成され、その内側にねじ溝と噛合
するホルダ１４によって受光レンズ５を固定して、光学
系が構成される場合もある。投光側についても同様であ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるにこのような従
来の光学変位センサによれば、受光レンズ５がＰＳＤ６
に対して位置ずれを起こした場合、投光レンズ３が投光
素子１に対して位置ずれを起こした場合、ＰＳＤ６が他
の部材に対して位置ずれを起こした場合、投光素子１が
他の部材に対して位置ずれを起こした場合には、いずれ
もＰＳＤ上の結像位置がずれ、ＰＳＤの両端の出力が変
動する。従って正確な測定精度が要求される光学変位セ
ンサでは、これらの光学部材を正確な位置に固定してお
かなければならない。
来の光学変位センサによれば、受光レンズ５がＰＳＤ６
に対して位置ずれを起こした場合、投光レンズ３が投光
素子１に対して位置ずれを起こした場合、ＰＳＤ６が他
の部材に対して位置ずれを起こした場合、投光素子１が
他の部材に対して位置ずれを起こした場合には、いずれ
もＰＳＤ上の結像位置がずれ、ＰＳＤの両端の出力が変
動する。従って正確な測定精度が要求される光学変位セ
ンサでは、これらの光学部材を正確な位置に固定してお
かなければならない。
【０００５】しかるに図５に示すような接続方法では光
学系を一時的に固定することはできるが、周囲温度の変
化に対して各光学部材を光学ベース１３に対し正確に固
定することは難しいという欠点があった。光学ベース１
３は通常アルミニウム等の金属製部材で形成され、レン
ズは樹脂により構成されている。そのため熱膨張差が大
きく、急激な温度変化があればストレスが生じ、接着自
体がとれてレンズ３，５が脱落したり、レンズの位置が
ずれるという欠点があった。従って従来は温度変化に対
して安定性が悪い光学変位センサとなっていた。
学系を一時的に固定することはできるが、周囲温度の変
化に対して各光学部材を光学ベース１３に対し正確に固
定することは難しいという欠点があった。光学ベース１
３は通常アルミニウム等の金属製部材で形成され、レン
ズは樹脂により構成されている。そのため熱膨張差が大
きく、急激な温度変化があればストレスが生じ、接着自
体がとれてレンズ３，５が脱落したり、レンズの位置が
ずれるという欠点があった。従って従来は温度変化に対
して安定性が悪い光学変位センサとなっていた。
【０００６】本発明はこのような従来の問題点に鑑みて
なされたものであって、投受光素子やレンズの光軸がず
れないように接続し、温度変化に対する安定性を向上さ
せるようにすることを技術的課題とする。
なされたものであって、投受光素子やレンズの光軸がず
れないように接続し、温度変化に対する安定性を向上さ
せるようにすることを技術的課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１の発明
は、投光素子と、投光素子の光を集束して投光軸に沿っ
て投光する投光レンズと、投光軸上の物体から反射され
る受光軸上の光を受光する受光レンズと、受光レンズの
背後に設けられる受光素子とを具備し、受光素子の受光
位置に基づいて物体までの距離を検出する光学変位セン
サであって、受光レンズは、受光レンズの中心を通り投
光軸と受光軸で成す面に垂直な２点で固定したことを特
徴とするものである。
は、投光素子と、投光素子の光を集束して投光軸に沿っ
て投光する投光レンズと、投光軸上の物体から反射され
る受光軸上の光を受光する受光レンズと、受光レンズの
背後に設けられる受光素子とを具備し、受光素子の受光
位置に基づいて物体までの距離を検出する光学変位セン
サであって、受光レンズは、受光レンズの中心を通り投
光軸と受光軸で成す面に垂直な２点で固定したことを特
徴とするものである。
【０００８】本願の請求項２の発明は、投光素子と、投
光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投光レン
ズと、投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受
光する受光レンズと、受光レンズの背後に設けられる受
光素子とを具備し、受光素子の受光位置に基づいて物体
までの距離を検出する光学変位センサであって、投光レ
ンズは、投光レンズの中心を通り、投光軸と受光軸で成
す面に垂直な２点で固定したことを特徴とするものであ
る。
光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投光レン
ズと、投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受
光する受光レンズと、受光レンズの背後に設けられる受
光素子とを具備し、受光素子の受光位置に基づいて物体
までの距離を検出する光学変位センサであって、投光レ
ンズは、投光レンズの中心を通り、投光軸と受光軸で成
す面に垂直な２点で固定したことを特徴とするものであ
る。
【０００９】本願の請求項３の発明は、投光素子と、投
光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投光レン
ズと、投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受
光する受光レンズと、受光レンズの背後に設けられる受
光素子とを具備し、受光素子の受光位置に基づいて物体
までの距離を検出する光学変位センサであって、受光素
子は、受光素子の中心を通り投光軸と受光軸で成す面に
垂直な２点で固定したことを特徴とするものである。
光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投光レン
ズと、投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受
光する受光レンズと、受光レンズの背後に設けられる受
光素子とを具備し、受光素子の受光位置に基づいて物体
までの距離を検出する光学変位センサであって、受光素
子は、受光素子の中心を通り投光軸と受光軸で成す面に
垂直な２点で固定したことを特徴とするものである。
【００１０】本願の請求項４の発明は、投光素子と、投
光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投光レン
ズと、投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受
光する受光レンズと、受光レンズの背後に設けられる受
光素子とを具備し、受光素子の受光位置に基づいて物体
までの距離を検出する光学変位センサであって、投光素
子は、投光素子の中心を通り投光軸と受光軸で成す面に
垂直な２点で固定したことを特徴とするものである。
光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投光レン
ズと、投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受
光する受光レンズと、受光レンズの背後に設けられる受
光素子とを具備し、受光素子の受光位置に基づいて物体
までの距離を検出する光学変位センサであって、投光素
子は、投光素子の中心を通り投光軸と受光軸で成す面に
垂直な２点で固定したことを特徴とするものである。
【００１１】
【作用】このような特徴を有する本発明によれば、受光
レンズ，投光レンズ，受光素子，投光素子はいずれも投
光軸と受光軸と成す面に垂直な夫々のレンズ又は素子の
中心を通る２点で固定される。従って投受光レンズや投
受光素子が熱膨張によって変形した場合にも投光軸，受
光軸が変動することがなく、同一の距離にある物体から
の反射光を集束すれば受光素子の同一位置で集束させる
ことができる。
レンズ，投光レンズ，受光素子，投光素子はいずれも投
光軸と受光軸と成す面に垂直な夫々のレンズ又は素子の
中心を通る２点で固定される。従って投受光レンズや投
受光素子が熱膨張によって変形した場合にも投光軸，受
光軸が変動することがなく、同一の距離にある物体から
の反射光を集束すれば受光素子の同一位置で集束させる
ことができる。
【００１２】
【実施例】図１は本発明の一実施例による光学変位セン
サの光学系部分を示す斜視図である。本図において前述
した従来例とほぼ同一形状の光学ベース２１を設ける。
この光学ベース２１は図示のように投受光素子と受光レ
ンズを取付けるための部材である。光学ベース２１は投
受光軸が光学ベースの先の位置で交差するように円筒の
開口２１ａ，２１ｂが形成されている。そして投光軸２
２，受光軸２３より形成される平面に垂直で開口２１ｂ
の中心を通る線上に開口２１ｂの上下に図示のように受
光レンズ２４の取付孔２１ｃ，２１ｄを設ける。受光レ
ンズ２４も図示のようにその中心を通り上下の取付孔２
１ｃ，２１ｄの２点で固定できるようにレンズ取付孔を
有しており、この位置でねじ止めされる。その他の構造
は従来例と同様であり、投光用の開口２１ａに投光素子
１が取付けられ、その表面には投光レンズ３が取付けら
れる。又開口２１ｂの内側にはＰＳＤ６が取付けられ
る。
サの光学系部分を示す斜視図である。本図において前述
した従来例とほぼ同一形状の光学ベース２１を設ける。
この光学ベース２１は図示のように投受光素子と受光レ
ンズを取付けるための部材である。光学ベース２１は投
受光軸が光学ベースの先の位置で交差するように円筒の
開口２１ａ，２１ｂが形成されている。そして投光軸２
２，受光軸２３より形成される平面に垂直で開口２１ｂ
の中心を通る線上に開口２１ｂの上下に図示のように受
光レンズ２４の取付孔２１ｃ，２１ｄを設ける。受光レ
ンズ２４も図示のようにその中心を通り上下の取付孔２
１ｃ，２１ｄの２点で固定できるようにレンズ取付孔を
有しており、この位置でねじ止めされる。その他の構造
は従来例と同様であり、投光用の開口２１ａに投光素子
１が取付けられ、その表面には投光レンズ３が取付けら
れる。又開口２１ｂの内側にはＰＳＤ６が取付けられ
る。
【００１３】このように受光レンズ２４を２点で固定す
ることによって、受光レンズ２４が熱膨張しても、図１
に示す一次元のＰＳＤ６の軸方向６Ｘにはほとんど影響
を与えることがない。従って受光レンズ２４が膨張して
も結像位置が変化することはなく、ＰＳＤ６の出力が変
動することはない。ここで結像位置はＰＳＤ６の軸６Ｘ
の垂直方向には変化するが、その量はＰＳＤ６の素子幅
内に充分収まるため実用上は問題がない。このように受
光レンズ２４をその投受光軸の成す面に垂直な受光レン
ズの中心を通る２点で固定することによって、温度変化
に対して安定した光学変位センサを得ることができる。
ることによって、受光レンズ２４が熱膨張しても、図１
に示す一次元のＰＳＤ６の軸方向６Ｘにはほとんど影響
を与えることがない。従って受光レンズ２４が膨張して
も結像位置が変化することはなく、ＰＳＤ６の出力が変
動することはない。ここで結像位置はＰＳＤ６の軸６Ｘ
の垂直方向には変化するが、その量はＰＳＤ６の素子幅
内に充分収まるため実用上は問題がない。このように受
光レンズ２４をその投受光軸の成す面に垂直な受光レン
ズの中心を通る２点で固定することによって、温度変化
に対して安定した光学変位センサを得ることができる。
【００１４】図２は本発明の他の実施例による光学系の
構成を示す斜視図である。前述した図４において投光レ
ンズ３が投受光軸の成す面上でずれた場合には、投光軸
が変動するため、ＰＳＤ６の受光位置が変化し物体が異
なった位置にあるように認識される。従って本実施例で
は投光レンズ２５も受光レンズ２４と同一形状のものを
用い、光学ベース２６にはこの投受光軸で成す面に対し
垂直で開口２１ａの中心を通る２点に開口を設け、実質
的に投光レンズ２５の中心を通る２点で投光レンズ２５
を光学ベース２１ａに固定する。こうすれば投光軸は熱
膨張による影響を受け難くなり、ＰＳＤ６上の結像位置
を安定化させることができる。
構成を示す斜視図である。前述した図４において投光レ
ンズ３が投受光軸の成す面上でずれた場合には、投光軸
が変動するため、ＰＳＤ６の受光位置が変化し物体が異
なった位置にあるように認識される。従って本実施例で
は投光レンズ２５も受光レンズ２４と同一形状のものを
用い、光学ベース２６にはこの投受光軸で成す面に対し
垂直で開口２１ａの中心を通る２点に開口を設け、実質
的に投光レンズ２５の中心を通る２点で投光レンズ２５
を光学ベース２１ａに固定する。こうすれば投光軸は熱
膨張による影響を受け難くなり、ＰＳＤ６上の結像位置
を安定化させることができる。
【００１５】更に図３に示すように投光素子１，ＰＳＤ
６自体を投光素子固定用基板３１，受光素子固定用基板
３２を介して光学ベース２７に取付けるようにしてもよ
い。これらの基板３１，３２は夫々前述したように投受
光軸の成す面に垂直で開口２１ａ，２１ｂの中心を通る
上下の２点で光学ベース２７に固定するものとする。図
３は光学ベースと投受光素子を示す斜視図であって、光
学ベース２７の裏面には投光軸２２及び受光軸２３を貫
通する位置に開口２７ａ，２７ｂが設けられている。投
受光軸２２，２３に垂直で開口２１ａ，２１ｂの中心を
通る上下の各２点にはねじ孔２７ｃ，２７ｄ及び２７
ｅ，２７ｆが形成される。そして投光素子固定用基板３
１，受光素子固定用基板３２には、夫々図示のようにあ
らかじめ投光素子１及び受光素子であるＰＳＤ６を固定
しておくものとする。これらの投受光素子はその中心が
基板３１，３２の上下の開口部を貫通させるものとす
る。そして基板３１，３２の上下の開口部をねじによっ
て光学ベース２７に固定する。こうすれば投受光素子の
中心を通り投受光軸で成す面に垂直な２点で、投受光素
子１，６が夫々光学ベース２７に固定されることとな
る。
６自体を投光素子固定用基板３１，受光素子固定用基板
３２を介して光学ベース２７に取付けるようにしてもよ
い。これらの基板３１，３２は夫々前述したように投受
光軸の成す面に垂直で開口２１ａ，２１ｂの中心を通る
上下の２点で光学ベース２７に固定するものとする。図
３は光学ベースと投受光素子を示す斜視図であって、光
学ベース２７の裏面には投光軸２２及び受光軸２３を貫
通する位置に開口２７ａ，２７ｂが設けられている。投
受光軸２２，２３に垂直で開口２１ａ，２１ｂの中心を
通る上下の各２点にはねじ孔２７ｃ，２７ｄ及び２７
ｅ，２７ｆが形成される。そして投光素子固定用基板３
１，受光素子固定用基板３２には、夫々図示のようにあ
らかじめ投光素子１及び受光素子であるＰＳＤ６を固定
しておくものとする。これらの投受光素子はその中心が
基板３１，３２の上下の開口部を貫通させるものとす
る。そして基板３１，３２の上下の開口部をねじによっ
て光学ベース２７に固定する。こうすれば投受光素子の
中心を通り投受光軸で成す面に垂直な２点で、投受光素
子１，６が夫々光学ベース２７に固定されることとな
る。
【００１６】こうすれば投光素子１やＰＳＤ６が温度に
対して温度変化によって位置ずれを起こしてもこの変化
を吸収することができ、ＰＳＤ６での結像位置の位置ず
れをなくすことができる。
対して温度変化によって位置ずれを起こしてもこの変化
を吸収することができ、ＰＳＤ６での結像位置の位置ず
れをなくすことができる。
【００１７】尚前述した各実施例はＰＳＤを受光素子と
した位置検出装置について説明しているが、２分割型フ
ォトトランジスタやＣＣＤを用いた変位センサに適用す
ることが可能である。
した位置検出装置について説明しているが、２分割型フ
ォトトランジスタやＣＣＤを用いた変位センサに適用す
ることが可能である。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように本発明によれ
ば、投光レンズ，受光レンズが熱膨張によって変形した
場合にも投光素子，受光素子との相対的な位置関係はほ
とんど変化しない。又投光素子，受光素子が熱膨張によ
って変形した場合も投光レンズ，受光レンズとの相対的
な位置関係はほとんど変化しない。従って温度変化によ
っても受光素子上の結像位置が変化することはない。そ
れ故温度変化に対して安定性の良い光学変位センサを得
ることができるという効果が得られる。
ば、投光レンズ，受光レンズが熱膨張によって変形した
場合にも投光素子，受光素子との相対的な位置関係はほ
とんど変化しない。又投光素子，受光素子が熱膨張によ
って変形した場合も投光レンズ，受光レンズとの相対的
な位置関係はほとんど変化しない。従って温度変化によ
っても受光素子上の結像位置が変化することはない。そ
れ故温度変化に対して安定性の良い光学変位センサを得
ることができるという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例による光学変位センサの光学
系部分を示す斜視図である。
系部分を示す斜視図である。
【図２】本発明の他の実施例による光学変位センサの光
学系部分を示す斜視図である。
学系部分を示す斜視図である。
【図３】本発明の更に他の実施例による光学変位センサ
の光学系部分を示す斜視図である。
の光学系部分を示す斜視図である。
【図４】光学変位センサの全体構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図５】（ａ）は従来の光学変位センサの光学系部分を
示す斜視図、（ｂ），（ｃ）は受光素子の取付位置を示
す縦断面図である。
示す斜視図、（ｂ），（ｃ）は受光素子の取付位置を示
す縦断面図である。
１ 投光素子 ２ 投光レンズ ６ ＰＳＤ ２１，２６，２７ 光学ベース ２１ａ，２１ｂ，２７ａ，２７ｂ 開口 ２１ｃ，２１ｄ，２７ｃ〜２７ｆ ねじ孔 ２４ 受光レンズ ２５ 投光レンズ ３１ 投光素子固定用基板 ３２ 受光素子固定用基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀井 孝佳 京都府京都市右京区花園土堂町10番地 オムロン株式会社内 (56)参考文献 特開 昭62−81523（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−313705（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−122211（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−144803（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−27305（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00
Claims (4)
- 【請求項１】 投光素子と、 前記投光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投
光レンズと、 前記投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受光
する受光レンズと、 前記受光レンズの背後に設けられる受光素子とを具備
し、前記受光素子の受光位置に基づいて物体までの距離
を検出する光学変位センサであって、 前記受光レンズは、受光レンズの中心を通り前記投光軸
と受光軸で成す面に垂直な２点で固定したことを特徴と
する光学変位センサ。 - 【請求項２】 投光素子と、 前記投光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投
光レンズと、 前記投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受光
する受光レンズと、 前記受光レンズの背後に設けられる受光素子とを具備
し、前記受光素子の受光位置に基づいて物体までの距離
を検出する光学変位センサであって、 前記投光レンズは、投光レンズの中心を通り、前記投光
軸と受光軸で成す面に垂直な２点で固定したことを特徴
とする光学変位センサ。 - 【請求項３】 投光素子と、 前記投光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投
光レンズと、 前記投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受光
する受光レンズと、 前記受光レンズの背後に設けられる受光素子とを具備
し、前記受光素子の受光位置に基づいて物体までの距離
を検出する光学変位センサであって、 前記受光素子は、前記受光素子の中心を通り前記投光軸
と受光軸で成す面に垂直な２点で固定したことを特徴と
する光学変位センサ。 - 【請求項４】 投光素子と、 前記投光素子の光を集束して投光軸に沿って投光する投
光レンズと、 前記投光軸上の物体から反射される受光軸上の光を受光
する受光レンズと、 前記受光レンズの背後に設けられる受光素子とを具備
し、前記受光素子の受光位置に基づいて物体までの距離
を検出する光学変位センサであって、 前記投光素子は、前記投光素子の中心を通り前記投光軸
と受光軸で成す面に垂直な２点で固定したことを特徴と
する光学変位センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04098900A JP3144039B2 (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 光学変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04098900A JP3144039B2 (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 光学変位センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05272918A JPH05272918A (ja) | 1993-10-22 |
| JP3144039B2 true JP3144039B2 (ja) | 2001-03-07 |
Family
ID=14232009
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04098900A Expired - Fee Related JP3144039B2 (ja) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | 光学変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3144039B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4588544B2 (ja) * | 2005-06-06 | 2010-12-01 | シャープ株式会社 | 光学式測距センサ |
-
1992
- 1992-03-24 JP JP04098900A patent/JP3144039B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05272918A (ja) | 1993-10-22 |
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