JP3144506B2 - 大気圧プラズマ発生装置及びそれを用いた処理方法 - Google Patents
大気圧プラズマ発生装置及びそれを用いた処理方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この出願発明は大気圧下でプラズ
マを発生させることのできる装置、及びそれを用いた処
理方法に関する。
マを発生させることのできる装置、及びそれを用いた処
理方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、高分子などの表面改質の手段
の１つとして、低温プラズマによる処理が知られてい
る。しかしながら、この低温プラズマによる処理を行な
うためには、１×１０-5〜１×１０-3トール（Torr）程
度の真空状態にする必要があるため、この条件を満たす
には、密閉性に優れた高価な装置が必要であるばかりで
なく、処理作業が煩雑であるという問題があった。
の１つとして、低温プラズマによる処理が知られてい
る。しかしながら、この低温プラズマによる処理を行な
うためには、１×１０-5〜１×１０-3トール（Torr）程
度の真空状態にする必要があるため、この条件を満たす
には、密閉性に優れた高価な装置が必要であるばかりで
なく、処理作業が煩雑であるという問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この出願発明は大気圧
下でプラズマを発生させることのできる装置、及びそれ
を用いた処理方法を提供することを目的とする。
下でプラズマを発生させることのできる装置、及びそれ
を用いた処理方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この出願発明の大気圧プ
ラズマ発生装置は、ガス導入部とガス排出部とを有する
反応容器内に、少なくとも一方が１０3〜１０6Ωの表面
抵抗を有する電極を配した装置である。なお、電極の表
面抵抗が１０4〜１０5Ωであると、より均一にプラズマ
を発生させることのできる装置であり、導電性高分子に
より被覆された繊維シートからなる電極であると、より
プラズマが発生しやすい。
ラズマ発生装置は、ガス導入部とガス排出部とを有する
反応容器内に、少なくとも一方が１０3〜１０6Ωの表面
抵抗を有する電極を配した装置である。なお、電極の表
面抵抗が１０4〜１０5Ωであると、より均一にプラズマ
を発生させることのできる装置であり、導電性高分子に
より被覆された繊維シートからなる電極であると、より
プラズマが発生しやすい。
【０００５】また、この出願発明の大気圧プラズマ処理
方法は、上記の大気圧プラズマ発生装置の、ガス導入部
から希ガスを導入し、大気圧下で、電極間に印加するこ
とによりプラズマを発生させて、基材を処理する方法で
ある。なお、ガス導入部から希ガスと反応性ガスとを導
入すると、基材の表面改質を行なうことができる。
方法は、上記の大気圧プラズマ発生装置の、ガス導入部
から希ガスを導入し、大気圧下で、電極間に印加するこ
とによりプラズマを発生させて、基材を処理する方法で
ある。なお、ガス導入部から希ガスと反応性ガスとを導
入すると、基材の表面改質を行なうことができる。
【０００６】
【作用】この出願発明の大気圧プラズマ発生装置は、反
応容器内に表面抵抗が１０3〜１０6Ωの電極２を配して
いるため、放電を容易に生じることなく、しかも放電を
生じるのが困難な表面抵抗ではないため、ある程度の印
加電圧までは蓄電し、一定の印加電圧になると放電を生
じるため、電極間全体に亘って、均一なプラズマが生じ
ると考えられる。この現象は大気圧下で生じるので、従
来のような、密閉性の高い装置は不要で、作業性も飛躍
的に向上する。
応容器内に表面抵抗が１０3〜１０6Ωの電極２を配して
いるため、放電を容易に生じることなく、しかも放電を
生じるのが困難な表面抵抗ではないため、ある程度の印
加電圧までは蓄電し、一定の印加電圧になると放電を生
じるため、電極間全体に亘って、均一なプラズマが生じ
ると考えられる。この現象は大気圧下で生じるので、従
来のような、密閉性の高い装置は不要で、作業性も飛躍
的に向上する。
【０００７】この出願発明の電極２の表面抵抗は１０3
〜１０6Ωである必要があるが、これは表面抵抗が１０3
Ω未満であると、放電が生じやすいものの、電極間全体
に亘って均一なプラズマが生じず、部分的に生じる、ア
ーク放電が生じるためであり、逆に、１０6Ωを越える
と、印加電圧をかなり高くしなければ放電を生じ難いた
め、エネルギー的に不利であるばかりでなく、放電が生
じたとしても、アーク放電となるためである。より好ま
しくは１０4〜１０5Ωである。
〜１０6Ωである必要があるが、これは表面抵抗が１０3
Ω未満であると、放電が生じやすいものの、電極間全体
に亘って均一なプラズマが生じず、部分的に生じる、ア
ーク放電が生じるためであり、逆に、１０6Ωを越える
と、印加電圧をかなり高くしなければ放電を生じ難いた
め、エネルギー的に不利であるばかりでなく、放電が生
じたとしても、アーク放電となるためである。より好ま
しくは１０4〜１０5Ωである。
【０００８】この出願発明の電極２は表面抵抗が１０3
〜１０6Ωであれば良いが、織物、編物、不織布などの
繊維シート、より好ましくは、これら繊維シートを起毛
させたものを電極２として使用することが好ましい。こ
の場合、繊維シートの構成繊維自体に１０3〜１０6Ωの
表面抵抗があれば良いが、ない場合には、表面抵抗が１
０3〜１０6Ωとなるように導電加工を施せば良い。
〜１０6Ωであれば良いが、織物、編物、不織布などの
繊維シート、より好ましくは、これら繊維シートを起毛
させたものを電極２として使用することが好ましい。こ
の場合、繊維シートの構成繊維自体に１０3〜１０6Ωの
表面抵抗があれば良いが、ない場合には、表面抵抗が１
０3〜１０6Ωとなるように導電加工を施せば良い。
【０００９】この繊維シートとしては、繊維の配列が規
則正しい織物、編物よりも繊維の配列が無方向性の不織
布がより好ましい。この不織布の中でも、繊維ウエブを
ニードルパンチ、或いは水流などの流体流によって絡合
して得られる不織布は、繊維の配向が不織布の略厚み方
向で、より放電が生じやすいため、好適に使用できる。
則正しい織物、編物よりも繊維の配列が無方向性の不織
布がより好ましい。この不織布の中でも、繊維ウエブを
ニードルパンチ、或いは水流などの流体流によって絡合
して得られる不織布は、繊維の配向が不織布の略厚み方
向で、より放電が生じやすいため、好適に使用できる。
【００１０】なお、不織布に使用する繊維は特に限定す
るものではなく、例えば、絹、羊毛、綿、麻などの天然
繊維、レーヨン繊維などの再生繊維、アセテート繊維な
どの半合成繊維、ポリアミド繊維、ポリビニルアルコー
ル繊維、アクリル繊維、ポリエステル繊維、ポリ塩化ビ
ニリデン繊維、ポリ塩化ビニル系繊維、ポリウレタン繊
維、ポリエチレン繊維、ポリプロピレン繊維などの合成
繊維、或いは炭素繊維のような導電性の繊維を使用する
ことができる。なお、上記の繊維のように一成分からな
る繊維のみではなく、２成分以上の樹脂成分からなる芯
鞘型、サイドバイサイド型の複合繊維なども使用するこ
とができる。
るものではなく、例えば、絹、羊毛、綿、麻などの天然
繊維、レーヨン繊維などの再生繊維、アセテート繊維な
どの半合成繊維、ポリアミド繊維、ポリビニルアルコー
ル繊維、アクリル繊維、ポリエステル繊維、ポリ塩化ビ
ニリデン繊維、ポリ塩化ビニル系繊維、ポリウレタン繊
維、ポリエチレン繊維、ポリプロピレン繊維などの合成
繊維、或いは炭素繊維のような導電性の繊維を使用する
ことができる。なお、上記の繊維のように一成分からな
る繊維のみではなく、２成分以上の樹脂成分からなる芯
鞘型、サイドバイサイド型の複合繊維なども使用するこ
とができる。
【００１１】また、これら繊維の繊度は特に限定するも
のではないが、０.５デニール以下の、一般に極細繊維
といわれる繊維を使用すると、より放電が生じやすく、
均一な表面をもつ繊維シートが得られるので、極細繊維
を使用することがより好ましい。
のではないが、０.５デニール以下の、一般に極細繊維
といわれる繊維を使用すると、より放電が生じやすく、
均一な表面をもつ繊維シートが得られるので、極細繊維
を使用することがより好ましい。
【００１２】この繊度が０.５デニール以下の極細繊維
としては、ノズルから繊維を紡糸すると共に圧縮空気を
作用させることにより繊維を細繊度化させた、一般的に
メルトブロー法と呼ばれる方法により得られる繊維、或
いは、化学的又は機械的に分割可能な繊維を分割するこ
とにより得ることができる。この分割可能な繊維として
は、例えば、一成分中に他成分を島状に配置した断面を
もつ海島型繊維、異なる成分を交互に層状に積層した断
面をもつ多重バイメタル型繊維、或いは一成分を他成分
中に放射状に配した断面をもつ菊花型繊維がある。
としては、ノズルから繊維を紡糸すると共に圧縮空気を
作用させることにより繊維を細繊度化させた、一般的に
メルトブロー法と呼ばれる方法により得られる繊維、或
いは、化学的又は機械的に分割可能な繊維を分割するこ
とにより得ることができる。この分割可能な繊維として
は、例えば、一成分中に他成分を島状に配置した断面を
もつ海島型繊維、異なる成分を交互に層状に積層した断
面をもつ多重バイメタル型繊維、或いは一成分を他成分
中に放射状に配した断面をもつ菊花型繊維がある。
【００１３】このような極細繊維は２０重量％以上含ま
れているのが好ましいが、多ければ多いほど、繊維シー
ト表面が均一になるため、１００重量％極細繊維である
のが最も好ましい。
れているのが好ましいが、多ければ多いほど、繊維シー
ト表面が均一になるため、１００重量％極細繊維である
のが最も好ましい。
【００１４】なお、前述のように、不織布として、繊維
ウエブをニードルパンチ、或いは水流などの流体流によ
って絡合して得られる不織布が好ましいため、機械的に
分割可能な繊維から繊維ウエブを形成し、ニードルパン
チ或いは流体流によって繊維同士を絡合させると、同時
に繊維を分割することができるので、製造上、好ましい
不織布の形成方法である。
ウエブをニードルパンチ、或いは水流などの流体流によ
って絡合して得られる不織布が好ましいため、機械的に
分割可能な繊維から繊維ウエブを形成し、ニードルパン
チ或いは流体流によって繊維同士を絡合させると、同時
に繊維を分割することができるので、製造上、好ましい
不織布の形成方法である。
【００１５】以上のようにして得られた繊維シートは、
この出願発明の必要とする表面抵抗を有していない場
合、導電加工を施した後に、電極２として使用する。
この出願発明の必要とする表面抵抗を有していない場
合、導電加工を施した後に、電極２として使用する。
【００１６】この出願発明の導電加工としては、例え
ば、導電性高分子による被覆処理、金属メッキ処理、蒸
着処理、スパッタリング処理、イオンプレーティング、
金属溶射などがあるが、これらに限定するものではな
い。なお、導電性高分子による被覆処理は密着性が良
く、しかも導電性高分子の被覆処理によって得られる繊
維シートの導電性、つまり表面抵抗は一般に１０3〜１
０6Ωの範囲内にあるばかりでなく、繊維シートの表面
状態も損わないので、放電も生じやすく、好適に使用す
ることができる。
ば、導電性高分子による被覆処理、金属メッキ処理、蒸
着処理、スパッタリング処理、イオンプレーティング、
金属溶射などがあるが、これらに限定するものではな
い。なお、導電性高分子による被覆処理は密着性が良
く、しかも導電性高分子の被覆処理によって得られる繊
維シートの導電性、つまり表面抵抗は一般に１０3〜１
０6Ωの範囲内にあるばかりでなく、繊維シートの表面
状態も損わないので、放電も生じやすく、好適に使用す
ることができる。
【００１７】この導電性高分子を構成するモノマー単位
としては、例えば、ピロール、アセチレン、ベンゼン、
アニリン、フェニルアセチレン、フラン、チオフェン、
インドール及びこれらモノマーの誘導体などがある。
としては、例えば、ピロール、アセチレン、ベンゼン、
アニリン、フェニルアセチレン、フラン、チオフェン、
インドール及びこれらモノマーの誘導体などがある。
【００１８】好適には、以上のようにして得た繊維シー
トを、少なくとも一方の電極２として、反応容器内に配
する。なお、一方の電極２の表面抵抗が１０3Ω未満で
あると、アーク放電が生じやすく、１０6Ωを越える
と、放電が生じ難く、エネルギー的に不利であるばかり
でなく、放電が生じたとしても、アーク放電となりやす
いため、好ましくは、両方とも表面抵抗が１０3〜１０6
Ωの電極２を使用する。また、電極２はプラズマが生じ
易いように、略平行に配するのが好ましい。
トを、少なくとも一方の電極２として、反応容器内に配
する。なお、一方の電極２の表面抵抗が１０3Ω未満で
あると、アーク放電が生じやすく、１０6Ωを越える
と、放電が生じ難く、エネルギー的に不利であるばかり
でなく、放電が生じたとしても、アーク放電となりやす
いため、好ましくは、両方とも表面抵抗が１０3〜１０6
Ωの電極２を使用する。また、電極２はプラズマが生じ
易いように、略平行に配するのが好ましい。
【００１９】上述のような電極２を配する反応容器１は
ガス導入部１１とガス排出部１２を有している必要があ
り、ガス導入部１１からは、放電によって励起される希
ガスや反応性ガスを導入し、ガス排出部１２から排出す
る。なお、必要であれば、再度、ガス導入部１１から導
入して循環させることもできる。
ガス導入部１１とガス排出部１２を有している必要があ
り、ガス導入部１１からは、放電によって励起される希
ガスや反応性ガスを導入し、ガス排出部１２から排出す
る。なお、必要であれば、再度、ガス導入部１１から導
入して循環させることもできる。
【００２０】また、反応容器１の材質はパイレックスガ
ラス、石英、テフロン、ポリスチレンなどで良く、特に
限定するものではない。
ラス、石英、テフロン、ポリスチレンなどで良く、特に
限定するものではない。
【００２１】この出願発明の大気圧プラズマ処理方法
は、上記のような反応容器１のガス導入部１１から希ガ
ス、又は希ガスと反応性ガスとを導入し、大気圧下で、
電極間を印加することによりプラズマを発生させて、基
材を処理する方法である。
は、上記のような反応容器１のガス導入部１１から希ガ
ス、又は希ガスと反応性ガスとを導入し、大気圧下で、
電極間を印加することによりプラズマを発生させて、基
材を処理する方法である。
【００２２】この出願発明に使用する希ガスは電極２か
ら放電されたエネルギーにより励起され、プラズマを発
生する。この希ガスはアルゴン、ヘリウム、ネオンなど
で良く、アルゴンはプラズマになりやすく、コスト的に
優れており、ヘリウムはプラズマ状態が連続的になりや
すいため、好適に使用することができる。
ら放電されたエネルギーにより励起され、プラズマを発
生する。この希ガスはアルゴン、ヘリウム、ネオンなど
で良く、アルゴンはプラズマになりやすく、コスト的に
優れており、ヘリウムはプラズマ状態が連続的になりや
すいため、好適に使用することができる。
【００２３】この希ガスの濃度が５０％未満ではプラズ
マが発生しにくいため、５０％以上の濃度にするのが好
ましく、より好ましくは、９０％以上である。
マが発生しにくいため、５０％以上の濃度にするのが好
ましく、より好ましくは、９０％以上である。
【００２４】この出願発明では、反応容器内に希ガスの
みを導入してプラズマを発生させれば、基材表面をエッ
チングすることができ、希ガス以外に反応性ガスとし
て、アンモニア、窒素、酸素などを導入すれば、基材に
水酸基、カルボニル基、カルボキシル基、アミノ基など
の官能基を付与することができ、メタン、エタンなどの
飽和炭素系や、エチレン、アクリルニトリルなどの不飽
和化合物や、ベンゼン、シクロヘキサンなどの環式化合
物や、４フッ化エチレン、６フッ化エタンなどのフッ素
系分子を重合させると、基材を撥水化したり、接着性な
どを改善することができる。
みを導入してプラズマを発生させれば、基材表面をエッ
チングすることができ、希ガス以外に反応性ガスとし
て、アンモニア、窒素、酸素などを導入すれば、基材に
水酸基、カルボニル基、カルボキシル基、アミノ基など
の官能基を付与することができ、メタン、エタンなどの
飽和炭素系や、エチレン、アクリルニトリルなどの不飽
和化合物や、ベンゼン、シクロヘキサンなどの環式化合
物や、４フッ化エチレン、６フッ化エタンなどのフッ素
系分子を重合させると、基材を撥水化したり、接着性な
どを改善することができる。
【００２５】なお、反応性気体を混合する場合、反応性
気体の濃度が５０％を越えると、希ガス濃度が低くな
り、プラズマが発生しないので、反応性気体の濃度は５
０％未満であるのが好ましい。より好ましくは、１０％
未満である。
気体の濃度が５０％を越えると、希ガス濃度が低くな
り、プラズマが発生しないので、反応性気体の濃度は５
０％未満であるのが好ましい。より好ましくは、１０％
未満である。
【００２６】このようなプラズマによって処理できる基
材としては、例えば、合金、セラミックス、ガラス、プ
ラスチック、繊維、布帛、フィルムなどがあり、様々な
基材の表面改質を行なうことができる。
材としては、例えば、合金、セラミックス、ガラス、プ
ラスチック、繊維、布帛、フィルムなどがあり、様々な
基材の表面改質を行なうことができる。
【００２７】以下に、実施例を記載するが以下の実施例
に限定されるものではない。
に限定されるものではない。
【００２８】
（実施例１〜４、比較例１〜３）ポリエステル成分を主
体とし、このポリエステル成分をポリアミド成分により
接合した繊度２デニール、繊維長３８mmで、０.１デニ
ールに分割できる、菊花型断面の分割繊維１００％を、
カーディングして繊維ウエブとした後、水圧５０〜９５
kg/cm2の水流により絡合と同時に分割し、目付８５g/
m2、厚さ０.５mmの絡合不織布を得た。この絡合不織布
に３０％濃度の塩化鉄（III）を含浸した後、ピロール
溶液を蒸発させたピロールモノマーガスに接触させるこ
とにより、絡合不織布表面がポリピロールにより被覆さ
れた絡合不織布を得た。なお、この絡合不織布を得る際
に、ピロールモノマーガスとの接触時間、アルカリ処理
を変化させることにより、表面抵抗が、１０1、１０2、
１０3、１０4、１０5、１０6、１０7Ω（順に、比較例
１、比較例２、実施例１、実施例２、実施例３、実施例
４、比較例３）の絡合不織布を得た。この絡合不織布を
図２に示すように、一方はシート状態のままとし、他方
は３枚を折り曲げて接合してより毛羽立たせた状態と
し、毛先同士の距離が約５mmの電極２として、パイレッ
クスガラスからなる反応容器中に略平行に配した。その
後、ヘリウムガスを１,０００CC／分で導入した。な
お、電源としては３KHzの交流を使用し、電源の出力は
表１の通りであった。この時のプラズマの発生状態は表
１及び図３に示す通りである。
体とし、このポリエステル成分をポリアミド成分により
接合した繊度２デニール、繊維長３８mmで、０.１デニ
ールに分割できる、菊花型断面の分割繊維１００％を、
カーディングして繊維ウエブとした後、水圧５０〜９５
kg/cm2の水流により絡合と同時に分割し、目付８５g/
m2、厚さ０.５mmの絡合不織布を得た。この絡合不織布
に３０％濃度の塩化鉄（III）を含浸した後、ピロール
溶液を蒸発させたピロールモノマーガスに接触させるこ
とにより、絡合不織布表面がポリピロールにより被覆さ
れた絡合不織布を得た。なお、この絡合不織布を得る際
に、ピロールモノマーガスとの接触時間、アルカリ処理
を変化させることにより、表面抵抗が、１０1、１０2、
１０3、１０4、１０5、１０6、１０7Ω（順に、比較例
１、比較例２、実施例１、実施例２、実施例３、実施例
４、比較例３）の絡合不織布を得た。この絡合不織布を
図２に示すように、一方はシート状態のままとし、他方
は３枚を折り曲げて接合してより毛羽立たせた状態と
し、毛先同士の距離が約５mmの電極２として、パイレッ
クスガラスからなる反応容器中に略平行に配した。その
後、ヘリウムガスを１,０００CC／分で導入した。な
お、電源としては３KHzの交流を使用し、電源の出力は
表１の通りであった。この時のプラズマの発生状態は表
１及び図３に示す通りである。
【００２９】
【表１】
【００３０】（実施例５）実施例２と同様にして得た絡
合不織布を、常法の無電解メッキ法によりニッケルメッ
キを施して、表面抵抗が１０4Ωの絡合不織布を得た。
この絡合不織布を実施例２と同様に電極２として使用
し、プラズマの発生状態を観た。この時のプラズマ発生
状態も表１に示す。
合不織布を、常法の無電解メッキ法によりニッケルメッ
キを施して、表面抵抗が１０4Ωの絡合不織布を得た。
この絡合不織布を実施例２と同様に電極２として使用
し、プラズマの発生状態を観た。この時のプラズマ発生
状態も表１に示す。
【００３１】（表面処理時間の評価）実施例２の反応容
器中に、接触角が７３.９゜のポリエチレンテレフタレ
ートフィルム（以下、ＰＥＴフィルムという）を挿入
し、プラズマ処理時間と接触角との関係を調べた。な
お、ヘリウムガスと酸素ガスを、夫々５,０００cc／
分、１０cc／分で導入して混合し、電源の出力は５Ｗと
した。なお、接触角はイオン交換水をＰＥＴフィルム上
に滴下３０秒後に、接触角測定装置（協和化学株式会社
製ＣＡ−ＤＳ）を用いて、温度２０℃、湿度６５％の条
件下で測定した値である。この結果は表２に示す通りで
ある。
器中に、接触角が７３.９゜のポリエチレンテレフタレ
ートフィルム（以下、ＰＥＴフィルムという）を挿入
し、プラズマ処理時間と接触角との関係を調べた。な
お、ヘリウムガスと酸素ガスを、夫々５,０００cc／
分、１０cc／分で導入して混合し、電源の出力は５Ｗと
した。なお、接触角はイオン交換水をＰＥＴフィルム上
に滴下３０秒後に、接触角測定装置（協和化学株式会社
製ＣＡ−ＤＳ）を用いて、温度２０℃、湿度６５％の条
件下で測定した値である。この結果は表２に示す通りで
ある。
【００３２】
【表２】
【００３３】（反応性ガス量の影響）実施例２の反応容
器中に、接触角が７３.９゜のＰＥＴフィルムを挿入
し、反応性ガスである酸素ガスの導入量と接触角との関
係を調べた。この時のプラズマ処理時間は１２０秒、電
源の出力は５Ｗであり、混合ガスの比率、及び接触角は
表３に示す通りである。なお、接触角は前述と同様に測
定した。
器中に、接触角が７３.９゜のＰＥＴフィルムを挿入
し、反応性ガスである酸素ガスの導入量と接触角との関
係を調べた。この時のプラズマ処理時間は１２０秒、電
源の出力は５Ｗであり、混合ガスの比率、及び接触角は
表３に示す通りである。なお、接触角は前述と同様に測
定した。
【００３４】
【表３】
【００３５】
【発明の効果】この出願発明の大気圧プラズマ発生装置
は反応容器内に、表面抵抗が１０3〜１０6Ωの電極を配
しており、大気圧下でプラズマを発生させることができ
るため、プラズマ処理装置が安価となり、作業性にも優
れている。
は反応容器内に、表面抵抗が１０3〜１０6Ωの電極を配
しており、大気圧下でプラズマを発生させることができ
るため、プラズマ処理装置が安価となり、作業性にも優
れている。
【００３６】この出願発明の大気圧プラズマ処理方法は
上記の大気圧プラズマ発生装置を使用し、反応容器内
に、希ガス、又は希ガスと反応性ガスとを導入する方法
であり、基材表面のエッチングや、基材の表面層に架
橋、化学修飾、グラフト重合、コーティングなどを行な
うことができる。
上記の大気圧プラズマ発生装置を使用し、反応容器内
に、希ガス、又は希ガスと反応性ガスとを導入する方法
であり、基材表面のエッチングや、基材の表面層に架
橋、化学修飾、グラフト重合、コーティングなどを行な
うことができる。
【図１】 この出願発明の大気圧プラズマ発生装置の一
例の断面模式図
例の断面模式図
【図２】 この出願発明の大気圧プラズマ発生装置の一
例の電極拡大図
例の電極拡大図
【図３】（ａ） この出願発明の大気圧プラズマ発生装
置によるプラズマ発生状態を表す図 （ｂ） この出願発明の大気圧プラズマ発生装置による
プラズマ発生状態を表す図 （ｃ） この出願発明の大気圧プラズマ発生装置による
プラズマ発生状態を表す図 （ｄ） この出願発明の大気圧プラズマ発生装置による
プラズマ発生状態を表す図
置によるプラズマ発生状態を表す図 （ｂ） この出願発明の大気圧プラズマ発生装置による
プラズマ発生状態を表す図 （ｃ） この出願発明の大気圧プラズマ発生装置による
プラズマ発生状態を表す図 （ｄ） この出願発明の大気圧プラズマ発生装置による
プラズマ発生状態を表す図
１ 反応容器 １１ ガス導入部 １２ ガス排出部 ２ 電極
Claims (5)
- 【請求項１】 ガス導入部とガス排出部とを有する反応
容器内に、少なくとも一方が１０3〜１０6Ωの表面抵抗
を有する電極を配したことを特徴とする大気圧プラズマ
発生装置。 - 【請求項２】 少なくとも一方が１０4〜１０5Ωの表面
抵抗を有する電極を配したことを特徴とする請求項１記
載の大気圧プラズマ発生装置。 - 【請求項３】 少なくとも一方の電極が、導電性高分子
により被覆された繊維シートからなることを特徴とする
請求項１又は請求項２記載の大気圧プラズマ発生装置。 - 【請求項４】 請求項１〜請求項３記載の大気圧プラズ
マ発生装置の、ガス導入部から希ガスを導入し、大気圧
下で、電極間に印加することによりプラズマを発生させ
て、基材を処理することを特徴とする大気圧プラズマ処
理方法。 - 【請求項５】 ガス導入部から希ガスと反応性ガスとを
導入することを特徴とする請求項４記載の大気圧プラズ
マ処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29385192A JP3144506B2 (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 大気圧プラズマ発生装置及びそれを用いた処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29385192A JP3144506B2 (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 大気圧プラズマ発生装置及びそれを用いた処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06119994A JPH06119994A (ja) | 1994-04-28 |
| JP3144506B2 true JP3144506B2 (ja) | 2001-03-12 |
Family
ID=17799982
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29385192A Expired - Fee Related JP3144506B2 (ja) | 1992-10-07 | 1992-10-07 | 大気圧プラズマ発生装置及びそれを用いた処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3144506B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5363866B2 (ja) * | 2009-04-23 | 2013-12-11 | Ｔｏｗａ株式会社 | 成形装置及び成形方法 |
-
1992
- 1992-10-07 JP JP29385192A patent/JP3144506B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06119994A (ja) | 1994-04-28 |
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