JP3147784B2 - 分析データ処理装置 - Google Patents
分析データ処理装置Info
- Publication number
- JP3147784B2 JP3147784B2 JP22972996A JP22972996A JP3147784B2 JP 3147784 B2 JP3147784 B2 JP 3147784B2 JP 22972996 A JP22972996 A JP 22972996A JP 22972996 A JP22972996 A JP 22972996A JP 3147784 B2 JP3147784 B2 JP 3147784B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data
- processing
- image
- analysis
- display
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、分析データ処理装
置に関し、原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡の
分析装置から得られる画像データの画像処理を行う分析
データ処理装置に関する。
置に関し、原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡の
分析装置から得られる画像データの画像処理を行う分析
データ処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】原子間力顕微鏡やトンネル型顕微鏡等の
走査型プローブ顕微鏡やその他の分析装置は、試料表面
の高低差等の特徴量を表す画像データをはじめ各種の分
析データを出力する。分析データ処理装置は、分析装置
が求めた分析データに対して種々のデータ処理を施し、
表示を行う。
走査型プローブ顕微鏡やその他の分析装置は、試料表面
の高低差等の特徴量を表す画像データをはじめ各種の分
析データを出力する。分析データ処理装置は、分析装置
が求めた分析データに対して種々のデータ処理を施し、
表示を行う。
【０００３】図１２は、従来の分析データ処理装置の表
示状態を説明する図である。従来の分析データ処理装置
は、データ処理後の処理データを処理前のデータ上に上
書きするものであり、図１２（ａ）に示すように、表示
画面上において処理前のデータ１０１を消去した後、処
理後のデータ１０２を表示する。あるいは、従来の分析
データ処理装置は、図１２（ｂ）に示すように、表示画
面を複数の表示領域に分割し、処理前のデータ１０１お
よび処理後のデータ１０２を同一画面上に表示する。
示状態を説明する図である。従来の分析データ処理装置
は、データ処理後の処理データを処理前のデータ上に上
書きするものであり、図１２（ａ）に示すように、表示
画面上において処理前のデータ１０１を消去した後、処
理後のデータ１０２を表示する。あるいは、従来の分析
データ処理装置は、図１２（ｂ）に示すように、表示画
面を複数の表示領域に分割し、処理前のデータ１０１お
よび処理後のデータ１０２を同一画面上に表示する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の分析データ処理
装置による処理データの表示では、中間処理データの表
示管理が複雑となるという問題点がある。
装置による処理データの表示では、中間処理データの表
示管理が複雑となるという問題点がある。
【０００５】従来の分析データ処理装置によって処理後
のデータを上書きして表示する場合には、表示画面上に
は処理前のデータあるいは処理後のデータのみが表示さ
れるため処理前後のデータ比較を容易に行うことが困難
である。この問題点を解消する方法として、処理前後の
データを表示画面内の各表示領域に分割して表示する方
法があるが、同一表示画面上に処理中の中間処理データ
が多数表示されるため、各処理データの関係を一目で把
握することが複雑となる。一般に、分析データを処理す
る場合、分析データに対して試行錯誤的に種々の処理を
施すことによって最終的なデータを求めていく。そのた
め、最終的データを得るまでには、重要度が低く、最終
的データが得られた後は必要性が無くなる中間処理デー
タが多数生成されることになる。
のデータを上書きして表示する場合には、表示画面上に
は処理前のデータあるいは処理後のデータのみが表示さ
れるため処理前後のデータ比較を容易に行うことが困難
である。この問題点を解消する方法として、処理前後の
データを表示画面内の各表示領域に分割して表示する方
法があるが、同一表示画面上に処理中の中間処理データ
が多数表示されるため、各処理データの関係を一目で把
握することが複雑となる。一般に、分析データを処理す
る場合、分析データに対して試行錯誤的に種々の処理を
施すことによって最終的なデータを求めていく。そのた
め、最終的データを得るまでには、重要度が低く、最終
的データが得られた後は必要性が無くなる中間処理デー
タが多数生成されることになる。
【０００６】従来の分析データ処理装置では、このよう
な多数の中間処理データと最適データとが、重要度を考
慮することなく同一画面上に一括して表示している。図
１３は分析データ処理装置の表示画面例であり、一表示
画面上に基データとなる分析データ、該分析データをデ
ータ処理して得られる中間処理データ、および最終的デ
ータが一括して表示されている。これらの種々のデータ
のうちで図中の斜線が付された中間処理データは、始め
の分析データや最終的データと比較して重要度が低く、
最終的データが得られた後には不要となる。そこで、従
来の分析データ処理装置では、表示画面上でこの中間処
理データを選択して指定した後に消去を行い、図１４に
示すように最初に得られる分析データとデータ処理後の
最終的データなどの必要なデータのみを表示することと
なる。
な多数の中間処理データと最適データとが、重要度を考
慮することなく同一画面上に一括して表示している。図
１３は分析データ処理装置の表示画面例であり、一表示
画面上に基データとなる分析データ、該分析データをデ
ータ処理して得られる中間処理データ、および最終的デ
ータが一括して表示されている。これらの種々のデータ
のうちで図中の斜線が付された中間処理データは、始め
の分析データや最終的データと比較して重要度が低く、
最終的データが得られた後には不要となる。そこで、従
来の分析データ処理装置では、表示画面上でこの中間処
理データを選択して指定した後に消去を行い、図１４に
示すように最初に得られる分析データとデータ処理後の
最終的データなどの必要なデータのみを表示することと
なる。
【０００７】従来の分析データ処理装置は、図１４に示
すような表示画像を得るために、不必要な中間処理デー
タを選択し消去するという処理が必要となり、表示画面
上において中間処理データの表示管理が複雑となり、デ
ータの把握が困難となる。
すような表示画像を得るために、不必要な中間処理デー
タを選択し消去するという処理が必要となり、表示画面
上において中間処理データの表示管理が複雑となり、デ
ータの把握が困難となる。
【０００８】そこで、本発明は前記した従来の分析デー
タ処理装置の問題点を解決し、中間処理データを自動的
に消去し、必要な処理データのみを表示することを目的
とする。
タ処理装置の問題点を解決し、中間処理データを自動的
に消去し、必要な処理データのみを表示することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の分析データ処理
装置は、分析装置から得られた分析データにデータ処理
を施して中間処理データを生成して表示画面上に表示す
る際に、データ処理後の処理データに、分析データに対
する関係を表す属性とデータ処理内容を処理順に表す履
歴を付加し、属性に基づいて同一の分析データから生成
される処理データを識別するとともに履歴に基づいて表
示データを系統的に管理し、処理データから属性に基づ
いて分析データに対して所定条件を満たす中間の処理デ
ータを選出し、該中間処理データを自動消去するもので
ある。これによって、中間処理データを自動的に消去
し、必要な処理データのみを表示する。
装置は、分析装置から得られた分析データにデータ処理
を施して中間処理データを生成して表示画面上に表示す
る際に、データ処理後の処理データに、分析データに対
する関係を表す属性とデータ処理内容を処理順に表す履
歴を付加し、属性に基づいて同一の分析データから生成
される処理データを識別するとともに履歴に基づいて表
示データを系統的に管理し、処理データから属性に基づ
いて分析データに対して所定条件を満たす中間の処理デ
ータを選出し、該中間処理データを自動消去するもので
ある。これによって、中間処理データを自動的に消去
し、必要な処理データのみを表示する。
【００１０】本発明の第１の実施態様は、分析データに
対する関係を表す属性を分析データのデータ名，データ
生成時刻，重み指数のいずれか一つあるいは組み合わせ
とするものであり、データ名によって基となる共通の分
析データを識別することができ、データ生成時刻によっ
て分析データの生成からの経過時間および処理の生成順
を知ることができ、また、重み指数によって処理データ
の重要度を知ることができる。
対する関係を表す属性を分析データのデータ名，データ
生成時刻，重み指数のいずれか一つあるいは組み合わせ
とするものであり、データ名によって基となる共通の分
析データを識別することができ、データ生成時刻によっ
て分析データの生成からの経過時間および処理の生成順
を知ることができ、また、重み指数によって処理データ
の重要度を知ることができる。
【００１１】本発明の第２の実施態様は、データ生成時
刻の属性に基づき、分析データの入力時刻から所定の経
過時間が経過した処理データを表示画面から消去するこ
とによって、中間処理データの自動消去を行うことがで
きる。
刻の属性に基づき、分析データの入力時刻から所定の経
過時間が経過した処理データを表示画面から消去するこ
とによって、中間処理データの自動消去を行うことがで
きる。
【００１２】本発明の第３の実施態様は、重み指数の属
性に基づき、分析データに対して所定の重要度の処理デ
ータを表示画面から消去することによって、中間処理デ
ータの自動消去を行うものである。
性に基づき、分析データに対して所定の重要度の処理デ
ータを表示画面から消去することによって、中間処理デ
ータの自動消去を行うものである。
【００１３】さらに、本発明の第４の実施態様は、履歴
に基づいて形成される系統において、分析データに対し
て所定の系統順位の処理データを表示画面から消去する
ことによって、中間処理データの自動消去を行うもので
ある。
に基づいて形成される系統において、分析データに対し
て所定の系統順位の処理データを表示画面から消去する
ことによって、中間処理データの自動消去を行うもので
ある。
【００１４】本発明の第５の実施態様は、表示画面上に
表示される画像数が限界に達したとき、最も古い中間画
像を消去して最新の画像を表示するものであり、オペレ
ータによる消去操作を要することなく、限られた表示画
面上に新しく生成された画像を表示することができる。
表示される画像数が限界に達したとき、最も古い中間画
像を消去して最新の画像を表示するものであり、オペレ
ータによる消去操作を要することなく、限られた表示画
面上に新しく生成された画像を表示することができる。
【００１５】本発明の第６の実施態様は、履歴のデータ
処理内容として、原子間力顕微鏡の分析データの傾斜補
正，針飛補正，ノイズフィルター処理，ローカルフィル
ター処理，画像回転，画像拡大，画像縮小を含むもので
あり、これらデータ処理の処理順によって中間処理デー
タの系統を生成することができる。
処理内容として、原子間力顕微鏡の分析データの傾斜補
正，針飛補正，ノイズフィルター処理，ローカルフィル
ター処理，画像回転，画像拡大，画像縮小を含むもので
あり、これらデータ処理の処理順によって中間処理デー
タの系統を生成することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
参照しながら詳細に説明する。本発明の分析データ処理
装置の一実施の形態について、図１に示す概略ブロック
図を用いて説明する。なお、図１の分析データ処理装置
は、分析装置として原子間力顕微鏡の場合を示してい
る。図１に示す分析データ処理装置１は、原子間力顕微
鏡７が分析して得た分析データを受け取る。データ処理
装置２は、受け取った分析データを基データとしてデー
タ記憶装置３に格納するとともに、該分析データにデー
タ処理を施し、表示制御装置４を介して表示装置５の表
示画面上に表示する。なお、分析データは、波形データ
および画像データを含み、画像データの場合にはデータ
処理は画像処理を行う。
参照しながら詳細に説明する。本発明の分析データ処理
装置の一実施の形態について、図１に示す概略ブロック
図を用いて説明する。なお、図１の分析データ処理装置
は、分析装置として原子間力顕微鏡の場合を示してい
る。図１に示す分析データ処理装置１は、原子間力顕微
鏡７が分析して得た分析データを受け取る。データ処理
装置２は、受け取った分析データを基データとしてデー
タ記憶装置３に格納するとともに、該分析データにデー
タ処理を施し、表示制御装置４を介して表示装置５の表
示画面上に表示する。なお、分析データは、波形データ
および画像データを含み、画像データの場合にはデータ
処理は画像処理を行う。
【００１７】データ処理装置２における処理内容は、原
子間力顕微鏡７からの分析データに対して、試料の傾斜
を補正する傾斜補正，プローブの飛びによって生じたデ
ータ欠如部分を補間する針飛補正，ＦＦＴ変換および逆
ＦＦＴ変換による空間周波数処理によってノイズ除去を
行うノイズフィルター処理，画像データの一部分につい
て局所的にフィルター処理を行うローカルフィルター処
理，画像を回転させる画像回転の処理，画像を拡大させ
る画像拡大の処理等を含み、キーボードや処理選択スイ
ッチ等の入力手段６によって処理内容を選択することが
できる。
子間力顕微鏡７からの分析データに対して、試料の傾斜
を補正する傾斜補正，プローブの飛びによって生じたデ
ータ欠如部分を補間する針飛補正，ＦＦＴ変換および逆
ＦＦＴ変換による空間周波数処理によってノイズ除去を
行うノイズフィルター処理，画像データの一部分につい
て局所的にフィルター処理を行うローカルフィルター処
理，画像を回転させる画像回転の処理，画像を拡大させ
る画像拡大の処理等を含み、キーボードや処理選択スイ
ッチ等の入力手段６によって処理内容を選択することが
できる。
【００１８】データ記憶装置３は、分析データおよび処
理データを格納するデータファイルを備える。また、表
示制御装置４は、表示装置５にデータ表示を行うために
一時的にデータを格納するデータ記憶手段を備え、表示
装置５の表示画面に複数の処理データを表示することが
できる。
理データを格納するデータファイルを備える。また、表
示制御装置４は、表示装置５にデータ表示を行うために
一時的にデータを格納するデータ記憶手段を備え、表示
装置５の表示画面に複数の処理データを表示することが
できる。
【００１９】図２は本発明の分析データ処理装置におい
て、データ処理後のデータ構造を概略的に示したもので
ある。図２において、データ構造は、分析装置から得ら
れるデータあるいは処理データのデータ内容２２に、分
析データに対する関係を表す属性１０ととデータ処理内
容を処理順に表す処理履歴２０を付加して形成する。ま
た、データ構造は、該データをデータファイルへの格納
を指示する保存フラグ２３を備え、例えば保存フラグ２
３に「１」が指定された場合には、該データをデータフ
ァイルに格納し、保存フラグ２３に「０」が指定されて
いる場合には、該データのデータファイルへの格納を行
わず、中間処理データとして取り扱う。
て、データ処理後のデータ構造を概略的に示したもので
ある。図２において、データ構造は、分析装置から得ら
れるデータあるいは処理データのデータ内容２２に、分
析データに対する関係を表す属性１０ととデータ処理内
容を処理順に表す処理履歴２０を付加して形成する。ま
た、データ構造は、該データをデータファイルへの格納
を指示する保存フラグ２３を備え、例えば保存フラグ２
３に「１」が指定された場合には、該データをデータフ
ァイルに格納し、保存フラグ２３に「０」が指定されて
いる場合には、該データのデータファイルへの格納を行
わず、中間処理データとして取り扱う。
【００２０】属性１０は、例えば基データとしての分析
データのデータ名１１，データ処理が終了した時刻Ｔを
表すデータ生成時刻１２，処理データの重要度を表す重
み指数１３等とすることができ、データ生成時刻１２と
重み指数１３は少なくともいずれか一方を備え、両方を
備えることもできる。
データのデータ名１１，データ処理が終了した時刻Ｔを
表すデータ生成時刻１２，処理データの重要度を表す重
み指数１３等とすることができ、データ生成時刻１２と
重み指数１３は少なくともいずれか一方を備え、両方を
備えることもできる。
【００２１】また、処理履歴２１は、分析データあるい
は処理データに施した傾斜補正，針飛補正，ノイズフィ
ルター処理，ローカルフィルター処理，画像拡大の処理
を、その処理順を含めて記録するものであり、処理履歴
２１によって該処理データが得られるまでに施された処
理の内容および順序を知ることができる。
は処理データに施した傾斜補正，針飛補正，ノイズフィ
ルター処理，ローカルフィルター処理，画像拡大の処理
を、その処理順を含めて記録するものであり、処理履歴
２１によって該処理データが得られるまでに施された処
理の内容および順序を知ることができる。
【００２２】次に、図３，図４を用いて、表示画面に表
示される処理データの形態を説明する。図３は表示画面
に表示される処理データの形態を説明する図であり、図
４は図３の処理データに基づく表示画像例である。図３
（ａ）は分析装置から得られる分析データであり、以後
の処理データ（図３（ｂ）〜図３（ｇ）の基データとな
り、データ名として共通のデータ名Ａを付しておく。図
４において、基画像および処理データにデータ処理を施
してデータを求め、この処理データ基づいて中間画像を
生成して表示を行う。
示される処理データの形態を説明する。図３は表示画面
に表示される処理データの形態を説明する図であり、図
４は図３の処理データに基づく表示画像例である。図３
（ａ）は分析装置から得られる分析データであり、以後
の処理データ（図３（ｂ）〜図３（ｇ）の基データとな
り、データ名として共通のデータ名Ａを付しておく。図
４において、基画像および処理データにデータ処理を施
してデータを求め、この処理データ基づいて中間画像を
生成して表示を行う。
【００２３】中間画像および最終的画像は、その生成順
に表示する。このときの各画像の処理データは、図３
（ｂ）〜図３（ｅ）に示すように、分析データおよび処
理データに対して、傾斜補正，針飛び補正，ノイズフィ
ルタＡ，および画像拡大の処理を順に施して得られる。
また、図４中で分岐した画像は、図３（ｆ），（ｇ）に
示すように、図３（ｃ）の処理データにノイズフィルタ
Ｂ，画像拡大処理を順に施したデータ構造で表される。
に表示する。このときの各画像の処理データは、図３
（ｂ）〜図３（ｅ）に示すように、分析データおよび処
理データに対して、傾斜補正，針飛び補正，ノイズフィ
ルタＡ，および画像拡大の処理を順に施して得られる。
また、図４中で分岐した画像は、図３（ｆ），（ｇ）に
示すように、図３（ｃ）の処理データにノイズフィルタ
Ｂ，画像拡大処理を順に施したデータ構造で表される。
【００２４】図４中の画像は、左端の基画像からデータ
処理を重ねる毎に順に右方向に画像表示され、右端に示
される画像は最終的画像となり、中間画像は最終的画像
を得るための中間的な画像となる。画像データの重要度
を表す重み指数ＬのＬ１〜Ｌ５の５段階とすると、基画
像および最終的画像の処理データの重み指数ＬにはＬ５
を指定し、その他の重要度が低い中間画像の処理データ
の重み指数ＬにはＬ１やＬ３の低い値を設定する。
処理を重ねる毎に順に右方向に画像表示され、右端に示
される画像は最終的画像となり、中間画像は最終的画像
を得るための中間的な画像となる。画像データの重要度
を表す重み指数ＬのＬ１〜Ｌ５の５段階とすると、基画
像および最終的画像の処理データの重み指数ＬにはＬ５
を指定し、その他の重要度が低い中間画像の処理データ
の重み指数ＬにはＬ１やＬ３の低い値を設定する。
【００２５】従って、図３（ｂ）〜図３（ｇ）の各処理
データは、データ名Ａによって共通の分析データである
ことを知ることができる。また、各処理データの処理の
内容および処理順序は処理履歴によって知ることができ
る。
データは、データ名Ａによって共通の分析データである
ことを知ることができる。また、各処理データの処理の
内容および処理順序は処理履歴によって知ることができ
る。
【００２６】なお、処理データの保存指定は保存フラグ
によって行うこともでき、保存フラグを「１」に指定す
ることによって処理データをデータファイルに保存する
ことができる。
によって行うこともでき、保存フラグを「１」に指定す
ることによって処理データをデータファイルに保存する
ことができる。
【００２７】次に、本発明の分析データ処理装置におい
て、中間画像の自動的消去について図５，図６を用いて
説明する。図５に示す例は、データ構造の属性のデータ
生成時刻Ｔを用いて、中間画像を自動的に消去する例で
ある。処理データには、データ処理の終了時点の時刻Ｔ
が属性に格納されている。中間画像は、最終的画像を生
成するために中間的に生成される画像であり、所定時間
が経過したものは自動的に消去しても差し支えない。そ
こで、属性中の生成時刻Ｔを監視し、予め設定した時間
が経過した場合には、該処理データを自動的に表示画面
から消去する。図５は、所定時間の経過によって、生成
時刻がＴ５以前の処理データについて消去した場合の表
示画面を示している。なお、図３（ａ），（ｅ），
（ｇ）については、保存フラグを「１」に設定すること
によって、所定時間の経過後も消去せずに表示を続行す
る。
て、中間画像の自動的消去について図５，図６を用いて
説明する。図５に示す例は、データ構造の属性のデータ
生成時刻Ｔを用いて、中間画像を自動的に消去する例で
ある。処理データには、データ処理の終了時点の時刻Ｔ
が属性に格納されている。中間画像は、最終的画像を生
成するために中間的に生成される画像であり、所定時間
が経過したものは自動的に消去しても差し支えない。そ
こで、属性中の生成時刻Ｔを監視し、予め設定した時間
が経過した場合には、該処理データを自動的に表示画面
から消去する。図５は、所定時間の経過によって、生成
時刻がＴ５以前の処理データについて消去した場合の表
示画面を示している。なお、図３（ａ），（ｅ），
（ｇ）については、保存フラグを「１」に設定すること
によって、所定時間の経過後も消去せずに表示を続行す
る。
【００２８】図６に示す例は、データ構造の属性の重み
指数Ｌを用いて、中間画像を自動的に消去する例であ
る。処理データには、重要度を表す重み指数Ｌが属性に
格納されており、この重み指数Ｌを選ぶことによって表
示画面上で表示する処理データを選択することができ
る。そこで、重み指数Ｌを選ぶことよって、不必要な中
間を自動的に表示画面から消去する。図６は、重み指数
ＬがＬ１の処理データの中間画像を消去した場合の表示
画面を示し、重み指数ＬがＬ３，Ｌ５の処理データの中
間画像が表示される。
指数Ｌを用いて、中間画像を自動的に消去する例であ
る。処理データには、重要度を表す重み指数Ｌが属性に
格納されており、この重み指数Ｌを選ぶことによって表
示画面上で表示する処理データを選択することができ
る。そこで、重み指数Ｌを選ぶことよって、不必要な中
間を自動的に表示画面から消去する。図６は、重み指数
ＬがＬ１の処理データの中間画像を消去した場合の表示
画面を示し、重み指数ＬがＬ３，Ｌ５の処理データの中
間画像が表示される。
【００２９】なお、上記した中間画像の表示制御は、原
子間力顕微鏡によって得られた分析データに限らず、走
査型プローブ顕微鏡やその他の分析装置から得られる分
析データをデータ処理する分析データ処理装置に適用す
ることができる。
子間力顕微鏡によって得られた分析データに限らず、走
査型プローブ顕微鏡やその他の分析装置から得られる分
析データをデータ処理する分析データ処理装置に適用す
ることができる。
【００３０】以下、分析データ処理装置のより一般的な
画像表示について、図７〜図１１を用いて説明する。図
７は、表示画面上にデータ名Ａとデータ名Ｂの２つの分
析データから生成され２系統の画像を表示した例であ
り、図７中の左から右に向かってデータ処理を行って得
られる画像を表示している。なお、図７中の各画像には
データ名Ａ，Ｂとともに、処理内容とその順の履歴を英
小文字で表している。例えば、図７中の右上端の画像
は、データＡにａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１で表すデータ処
理をこの順で行った画像であることを示している。
画像表示について、図７〜図１１を用いて説明する。図
７は、表示画面上にデータ名Ａとデータ名Ｂの２つの分
析データから生成され２系統の画像を表示した例であ
り、図７中の左から右に向かってデータ処理を行って得
られる画像を表示している。なお、図７中の各画像には
データ名Ａ，Ｂとともに、処理内容とその順の履歴を英
小文字で表している。例えば、図７中の右上端の画像
は、データＡにａ１，ｂ１，ｃ１，ｄ１で表すデータ処
理をこの順で行った画像であることを示している。
【００３１】図８〜図１０は、属性中のデータ生成時刻
Ｔを用いて、所定時間の経過に応じた中間画像の消去に
よる画面変化を示している。なお、図８〜図１０は、図
７中の基画像Ｂを基とする系統についてのみ示し、基画
像Ｂを基とする系統については省略している。
Ｔを用いて、所定時間の経過に応じた中間画像の消去に
よる画面変化を示している。なお、図８〜図１０は、図
７中の基画像Ｂを基とする系統についてのみ示し、基画
像Ｂを基とする系統については省略している。
【００３２】図８は、図７の中間画像Ｂａ１および中間
画像Ｂａ２が所定時間の経過によって自動的に消去した
状態を示し、図９は、さらに図８の中間画像Ｂａ１ｂ
２，中間画像Ｂａ１ｂ３，および中間画像Ｂａ２ｂ１が
所定時間の経過によって自動的に消去した状態を示し、
図１０は、十分な時間経過の後に中間画像が全て消去し
た状態を示している。
画像Ｂａ２が所定時間の経過によって自動的に消去した
状態を示し、図９は、さらに図８の中間画像Ｂａ１ｂ
２，中間画像Ｂａ１ｂ３，および中間画像Ｂａ２ｂ１が
所定時間の経過によって自動的に消去した状態を示し、
図１０は、十分な時間経過の後に中間画像が全て消去し
た状態を示している。
【００３３】従って、この実施形態によれば、表示画面
上に表示された中間画像について、消去する画像を定め
るオペレータによる指定操作を行うことなく、重要度の
低い中間画像を所定時間の経過に伴って自動的に消去す
ることができる。
上に表示された中間画像について、消去する画像を定め
るオペレータによる指定操作を行うことなく、重要度の
低い中間画像を所定時間の経過に伴って自動的に消去す
ることができる。
【００３４】次に、他の表示画像の消去について説明す
る。図１１は、他の表示画像の消去を説明するための図
であり、表示画像の一部分のみを示している。図１１に
示す消去では、表示画面上に表示される画像数が限界に
達したとき、最も古い中間画像を消去して最新の画像を
表示するものである。図１１（ａ）に示す画面では、基
画像とその画像から派生する中間画像ａ〜ｄを表示して
いる。中間画像ｄにさらにデータ処理を施して次の中間
画像ｅを生成する。このとき、表示画面上に表示される
画像数に限界があり、この中間画像ｅを追加して表示で
きない場合には、最も古い中間画像ａを消去して中間画
像ｅを表示する。
る。図１１は、他の表示画像の消去を説明するための図
であり、表示画像の一部分のみを示している。図１１に
示す消去では、表示画面上に表示される画像数が限界に
達したとき、最も古い中間画像を消去して最新の画像を
表示するものである。図１１（ａ）に示す画面では、基
画像とその画像から派生する中間画像ａ〜ｄを表示して
いる。中間画像ｄにさらにデータ処理を施して次の中間
画像ｅを生成する。このとき、表示画面上に表示される
画像数に限界があり、この中間画像ｅを追加して表示で
きない場合には、最も古い中間画像ａを消去して中間画
像ｅを表示する。
【００３５】図１１（ｃ），（ｄ）においても同様に、
中間画像ｆおよび中間画像ｇを表示するために、表示画
面上で最も古い中間画像ｂ，ｃの消去を行う。これによ
って、オペレータによる消去操作を要することなく、限
られた表示画面上に新しく生成された画像を表示するこ
とができる。
中間画像ｆおよび中間画像ｇを表示するために、表示画
面上で最も古い中間画像ｂ，ｃの消去を行う。これによ
って、オペレータによる消去操作を要することなく、限
られた表示画面上に新しく生成された画像を表示するこ
とができる。
【００３６】本発明の実施形態によれば、必要なデータ
が消去された場合でも、最初のデータおよび最終的なデ
ータがあれば、その処理履歴を用いて処理の再現を行う
ことができ、消去したデータを再現することができる。
が消去された場合でも、最初のデータおよび最終的なデ
ータがあれば、その処理履歴を用いて処理の再現を行う
ことができ、消去したデータを再現することができる。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の分析デー
タ処理装置によれば、中間処理データを自動的に消去
し、必要な処理データのみを表示することができる。
タ処理装置によれば、中間処理データを自動的に消去
し、必要な処理データのみを表示することができる。
【図１】本発明の分析データ処理装置の一実施の形態を
説明するための概略ブロック図である。
説明するための概略ブロック図である。
【図２】本発明の分析データ処理装置におけるデータ構
造を概略的に示したものである。
造を概略的に示したものである。
【図３】表示画面に表示される処理データの形態を説明
する図である。
する図である。
【図４】図３の処理データに基づく表示画像例である。
【図５】本発明の分析データ処理装置における中間画像
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
【図６】本発明の分析データ処理装置における中間画像
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
【図７】表示画面上に２系統の画像を表示した例であ
る。
る。
【図８】本発明の分析データ処理装置における中間画像
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
【図９】本発明の分析データ処理装置における中間画像
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
の自動的消去を説明するための表示画像例である。
【図１０】本発明の分析データ処理装置における中間画
像の自動的消去を説明するための表示画像例である。
像の自動的消去を説明するための表示画像例である。
【図１１】本発明の分析データ処理装置における中間画
像の自動的消去を説明するための表示画像例である。
像の自動的消去を説明するための表示画像例である。
【図１２】従来の分析データ処理装置の表示状態を説明
する図である。
する図である。
【図１３】分析データ処理装置の表示画面例である。
【図１４】分析データ処理装置の中間画像を消去した後
の表示画面例である。
の表示画面例である。
１…分析データ処理装置、２…データ処理装置、３…デ
ータ記憶装置、４…表示制御装置、５…表示装置、６…
入力手段、７…原子間力顕微鏡、１０…属性、１１…デ
ータ名、１２…データ生成時刻、１３…重み指数、２０
…履歴、２１…処理履歴、２２…データ、２３…保存フ
ラグ。
ータ記憶装置、４…表示制御装置、５…表示装置、６…
入力手段、７…原子間力顕微鏡、１０…属性、１１…デ
ータ名、１２…データ生成時刻、１３…重み指数、２０
…履歴、２１…処理履歴、２２…データ、２３…保存フ
ラグ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G01N 35/00 G01B 7/34 G01B 21/30 H01J 37/28
Claims (1)
- 【請求項１】 分析データをデータ処理して処理データ
を生成し表示する分析データ処理装置において、 データ処理後の処理データに、分析データに対する関係
を表す属性とデータ処理内容を処理順に表す履歴を付加
する機能と、前記属性に基づいて同一の分析データから
生成される処理データを識別するとともに履歴に基づい
て表示データを系統的に管理し、処理データから属性あ
るいは履歴に基づいて分析データに対して所定条件を満
たす中間の処理データを選出し、該中間処理データを自
動消去する機能を備えたことを特徴とする分析データ処
理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22972996A JP3147784B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 分析データ処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22972996A JP3147784B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 分析データ処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073600A JPH1073600A (ja) | 1998-03-17 |
| JP3147784B2 true JP3147784B2 (ja) | 2001-03-19 |
Family
ID=16896785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22972996A Expired - Fee Related JP3147784B2 (ja) | 1996-08-30 | 1996-08-30 | 分析データ処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3147784B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003014610A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP4990452B2 (ja) * | 2001-09-03 | 2012-08-01 | 日本分光株式会社 | 分析データライタ、分析データファイル、分析データリーダ、及び分析データファイル頒布方法 |
| US7515285B2 (en) * | 2005-09-26 | 2009-04-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method and apparatus for image processing |
| JP4853342B2 (ja) * | 2007-03-16 | 2012-01-11 | 株式会社島津製作所 | 機器分析用制御装置及び制御プログラム |
| JP5857708B2 (ja) * | 2011-12-14 | 2016-02-10 | Ｎｋワークス株式会社 | 画像処理プログラムおよび画像処理装置 |
| JP7010632B2 (ja) * | 2017-09-15 | 2022-01-26 | 株式会社日立製作所 | 中間データ管理システムおよび中間データ管理方法 |
| JP7281841B2 (ja) * | 2018-01-26 | 2023-05-26 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査プローブ顕微鏡 |
-
1996
- 1996-08-30 JP JP22972996A patent/JP3147784B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1073600A (ja) | 1998-03-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6877135B1 (en) | Document display apparatus and method for displaying documents | |
| US7251808B2 (en) | Graphical debugger with loadmap display manager and custom record display manager displaying user selected customized records from bound program objects | |
| JP3147784B2 (ja) | 分析データ処理装置 | |
| US6657641B2 (en) | Scenario display method and apparatus | |
| JPH0756716A (ja) | プログラム処理装置 | |
| US20030110010A1 (en) | Method and system for managing data | |
| JP2001243488A (ja) | 図形要素選択方法及びｃａｄ処理プログラムを記憶してなる媒体 | |
| JP3052744B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP3533674B2 (ja) | 情報表示装置およびその方法 | |
| JP3058953B2 (ja) | プログラムソースリスト表示方式 | |
| JP3887877B2 (ja) | オブジェクト管理方法および装置 | |
| JPH1165888A (ja) | ソフトウェア試験装置および記憶媒体 | |
| JPH06110546A (ja) | 制御監視装置 | |
| JPH0736655A (ja) | 画像情報処理装置 | |
| JPH05153492A (ja) | 画像処理装置 | |
| JPH0512396A (ja) | 画像情報処理装置 | |
| JPH05165902A (ja) | 累進寸法作成方法および装置 | |
| JPH06266541A (ja) | 成果物の版管理方法 | |
| JPH04316138A (ja) | デバッグ処理装置 | |
| JP3028543B2 (ja) | 図形の再表示方式 | |
| JPH04253230A (ja) | 電子機器診断装置 | |
| JPH1153420A (ja) | ３次元ｃａｄ装置および記録媒体 | |
| JPH07319535A (ja) | メンテナンスガイドシステム | |
| JPH10281814A (ja) | 電子測定器の測定結果を記憶し再生する方法と装置 | |
| JPH0755842A (ja) | 波形データ記憶装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20001212 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080112 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090112 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100112 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100112 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110112 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120112 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130112 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140112 Year of fee payment: 13 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |