JP3200936U - シート貼付装置 - Google Patents

Abstract

【課題】設備が大型化することを防止し、接着シートに弛みを生じさせることなく被着体およびフレーム部材に当該接着シートを貼付することができるシート貼付装置を提供すること。【解決手段】シート貼付装置１０は、開口部を有するフレーム部材ＲＦの当該開口部ＲＦ１内に被着体ＷＦを位置させてそれらフレーム部材および被着体を支持可能な支持手段２０と、支持手段２０に支持された被着体ＷＦおよびフレーム部材ＲＦに接着シートＡＳを貼付して一体物ＷＫを形成する貼付手段３０と、一体物ＷＫにおける被着体ＷＦとフレーム部材ＲＦとの間に位置する接着シートＡＳの弛みを除去する弛み除去手段４０とを備えている。【選択図】図１

Description

本考案は、シート貼付装置に関する。

従来、被着体およびフレーム部材に接着シートを貼付した後、当該接着シートの弛みを除去するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２−４９３１９号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、被着体に接着シートを貼付する前に、予め接着シートをフレーム部材に貼付する装置が必要になるため、設備が大型化するという不都合がある。

本考案の目的は、設備が大型化することを防止し、接着シートに弛みを生じさせることなく被着体およびフレーム部材に当該接着シートを貼付することができるシート貼付装置を提供することにある。

本考案のシート貼付装置は、開口部を有するフレーム部材の当該開口部内に被着体を位置させてそれらフレーム部材および被着体を支持可能な支持手段と、前記支持手段に支持された前記被着体およびフレーム部材に接着シートを貼付して一体物を形成する貼付手段と、前記一体物における被着体とフレーム部材との間に位置する接着シートの弛みを除去する弛み除去手段とを備えていることを特徴とする。

以上のような本考案によれば、接着シートの弛みを除去する弛み除去手段を備えているので、設備が大型化することを防止し、接着シートに弛みを生じさせることなく被着体およびフレーム部材に当該接着シートを貼付することができる。

本考案の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 シート貼付装置の動作説明図。

以下、本考案の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、シート貼付装置１０は、開口部ＲＦ１を有するフレーム部材としてのリングフレームＲＦの当該開口部ＲＦ１内に被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦを位置させてそれらリングフレームＲＦおよびウエハＷＦを支持可能な支持手段２０と、支持手段２０に支持されたウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付して一体物ＷＫを形成する貼付手段３０と、一体物ＷＫにおけるウエハＷＦとリングフレームＲＦとの間に位置する接着シートＡＳの弛みＡＳ１（図２（Ａ）参照）を除去する弛み除去手段４０と、弛みＡＳ１を除去した後の接着シートＡＳの状態を安定化させる安定化手段５０とを備えている。なお、接着シートＡＳの安定化とは、当該接着シートＡＳが弛み除去手段４０の作用から解き放たれたときに、当該接着シートＡＳが雰囲気に曝されて硬化、劣化、酸化等の化学的な変化を起こしたり、再び弛みＡＳ１が発生したりすることを極力防止するようにすることとする。

支持手段２０は、駆動機器としてのリニアモータ２１と、リニアモータ２１のスライダ２１Ａに支持されたテーブル２２とを備えている。
テーブル２２は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってリングフレームＲＦを吸着保持可能な支持面２２Ａと、支持面２２Ａの内側に設けられ、図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面２２Ｂとを備えている。

貼付手段３０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ３２と、剥離シートＲＬを折り曲げて当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３３と、駆動機器としての回動モータ３４によって駆動される駆動ローラ３５と、駆動ローラ３５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ３６と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７と、少なくともその表面がゴムや樹脂等の弾性変形が可能な弾性部材で構成されるとともに、剥離板３３で剥離された接着シートＡＳをリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３８とを備えている。

弛み除去手段４０は、テーブル２２の内部に設けられるとともに、リングフレームＲＦ、テーブル２２、ウエハＷＦおよび接着シートＡＳで形成される空間ＳＰ内を複数の連通孔４１Ａを介して加熱するコイルヒータ、赤外線ヒータ、ヒートパイプの加熱側等の加熱手段４１を備えている。

安定化手段５０は、テーブル２２の内部に設けられるとともに、空間ＳＰ内を複数の連通孔５１Ａを介して冷却するペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段５１を備えている。

以上のシート貼付装置１０において、ウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、シート貼付装置１０に対し、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットする。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、図１中実線で示す初期位置にあるテーブル２２の支持面２２Ａ、２２Ｂ上にリングフレームＲＦおよびウエハＷＦを載置する。すると、支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、リングフレームＲＦおよびウエハＷＦを吸着保持した後、リニアモータ２１を駆動し、テーブル２２を左方向に移動させる。次いで、ウエハＷＦが所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、貼付手段３０が回動モータ３４を駆動し、テーブル２２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳが剥離板３３で剥離シートＲＬから剥離され、当該接着シートＡＳが押圧ローラ３８によってリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付され、一体物ＷＫが形成される。リングフレームＲＦおよびウエハＷＦへの接着シートＡＳの貼付が完了すると、支持手段２０がリニアモータ２１の駆動を停止する。

以上のようにしてリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付すると、接着シートＡＳは、押圧ローラ３８の弾性変形によって、図２（Ａ）に示すように、リングフレームＲＦとウエハＷＦとの間の領域で下方に押し下げられ、そこに弛みＡＳ１が発生した状態となる。そこで、弛み除去手段４０が加熱手段４１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、任意の連通孔４１Ａから空間ＳＰ内の空気を取り入れて加熱し、他の連通孔４１Ａから加熱した空気を空間ＳＰ内に放出する。これにより、接着シートＡＳは、収縮して弛みＡＳ１が解消される。

その後は、自然冷却で接着シートＡＳの温度を雰囲気温度にまで低下させてもよいが、冷却に長い時間を要したり、冷却の仕方によっては、当該接着シートＡＳに再び弛みＡＳ１が発生したりする場合がある。そこで、安定化手段５０が冷却手段５１を駆動し、図２（Ｃ）に示すように、任意の連通孔５１Ａから空間ＳＰ内の空気を取り入れて冷却し、他の連通孔５１Ａから冷却した空気を空間ＳＰ内に放出する。これにより、接着シートＡＳは、強制的に冷却され、冷却に長い時間を要することを防止することができる上、当該接着シートＡＳの特性、組成、構成等に応じて化学変化を起こしたり、再び弛みＡＳ１が発生したりしないような冷却の仕方をすることができる。

その後、支持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、図示しない搬送手段が一体物ＷＫを次工程に搬送する。そして、支持手段２０がリニアモータ２１を駆動し、テーブル２２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、接着シートＡＳの弛みＡＳ１を除去する弛み除去手段４０を備えているので、設備が大型化することを防止し、接着シートＡＳに弛みＡＳ１を生じさせることなくウエハＷＦおよびリングフレームＲＦに当該接着シートＡＳを貼付することができる。

以上のように、本考案を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本考案は、これに限定されるものではない。すなわち、本考案は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本考案の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本考案の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本考案を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本考案に含まれる。

例えば、支持手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着等でフレーム部材や被着体を支持する構成でもよい。

貼付手段３０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、当該切込の内側が接着シートＡＳ、外側が不要シートとされた原反を繰り出してもよい。
貼付手段３０は、帯状の接着シート基材が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段により、接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側が接着シートＡＳ、外側が不要シートとなるように当該原反を加工してもよい。
貼付手段３０は、帯状の接着シート基材をリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付した後、当該接着シート基材を切断刃、レーザカッター、熱カッター、エアカッター、圧縮水カッター等の切断手段で所定形状に切断してもよい。
剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより接着シートＡＳを押圧する構成としてもよい。
押圧手段は、表面だけでなく、全体が弾性部材で構成されていてもよい。
押圧手段は、弾性変形しない部材で構成されていてもよく、当該押圧手段の構成に関係なくリングフレームＲＦとウエハＷＦとの間の領域に弛みＡＳ１が発生した場合に、弛み除去手段４０が弛みＡＳ１を解消する構成であればよい。

弛み除去手段４０は、空間ＳＰ外の空気を取り入れて加熱手段４１で加熱し、連通孔４１Ａから加熱した空気を空間ＳＰ内に放出してもよい。
弛み除去手段４０は、加熱手段４１でテーブル２２やウエハＷＦを加熱することで、接着シートＡＳを加熱してもよい。
弛み除去手段４０は、接着シートＡＳに紫外線、赤外線、Ｘ線、マイクロ波等を照射して弛みＡＳ１を除去してもよく、接着シートＡＳの特性、組成、構成等に応じて加熱以外の要領で弛みＡＳ１を除去する構成を適宜選択することができるし、それらを適宜組み合せて弛みＡＳ１を除去する構成としてもよい。
弛み除去手段４０は、テーブル２２の外部に設けられてもよく、例えば、接着シートＡＳが貼付されて形成された一体物ＷＫにおける当該接着シートＡＳの上方や側方等に設けられてもよい。

安定化手段５０は、空間ＳＰ外の空気を取り入れて冷却手段５１で冷却し、連通孔５１Ａから冷却した空気を空間ＳＰ内に放出してもよい。
安定化手段５０は、接着シートＡＳに紫外線、赤外線、Ｘ線、マイクロ波等を照射して弛みＡＳ１を除去した後の接着シートＡＳの状態を安定化させてもよく、接着シートＡＳの特性、組成、構成等に応じて冷却以外の要領で接着シートＡＳの状態を安定化させる構成を適宜選択することができるし、それらを適宜組み合せて接着シートＡＳの状態を安定化させる構成としてもよい。
安定化手段５０は、テーブル２２の外部に設けられてもよく、例えば、接着シートＡＳが貼付されて形成された一体物ＷＫにおける当該接着シートＡＳの上方や側方等に設けられてもよい。

シート貼付装置１０は、テーブル２２の位置を固定しておき貼付手段３０を移動させてもよいし、テーブル２２および貼付手段３０の両方を移動させてもよい。

被着体の形状は、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、円形、楕円形、三角形以上の多角形のものや、環状でないもの等、その他の形状であってもよい。

また、本考案における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本考案における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、開口部を有するフレーム部材の当該開口部内に被着体を位置させてそれらフレーム部材および被着体を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０ シート貼付装置
２０ 支持手段
３０ 貼付手段
４０ 弛み除去手段
ＡＳ 接着シート
ＡＳ１ 弛み
ＲＦ リングフレーム（フレーム部材）
ＲＦ１ 開口部
ＷＦ ウエハ（被着体）
ＷＫ 一体物

Claims (1)

1. 開口部を有するフレーム部材の当該開口部内に被着体を位置させてそれらフレーム部材および被着体を支持可能な支持手段と、
   前記支持手段に支持された前記被着体およびフレーム部材に接着シートを貼付して一体物を形成する貼付手段と、
   前記一体物における被着体とフレーム部材との間に位置する接着シートの弛みを除去する弛み除去手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。

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