JP3202425B2 - 受光モジュール - Google Patents
受光モジュールInfo
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- JP3202425B2 JP3202425B2 JP20736593A JP20736593A JP3202425B2 JP 3202425 B2 JP3202425 B2 JP 3202425B2 JP 20736593 A JP20736593 A JP 20736593A JP 20736593 A JP20736593 A JP 20736593A JP 3202425 B2 JP3202425 B2 JP 3202425B2
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Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、受光モジュールに関し、より詳
細には、光通信などに用いる光伝送モジュールに関す
る。例えば、光通信，光情報処理，光インターコネクシ
ョンに適用されるものである。
細には、光通信などに用いる光伝送モジュールに関す
る。例えば、光通信，光情報処理，光インターコネクシ
ョンに適用されるものである。
【０００２】
【従来技術】本発明に係る従来技術を記載した公知文献
としては「多チャンネルＬＤ，ＰＤアレイモジュールの
試作」（守谷 薫 外３名，１９９２年電子情報通信学
会春季大会、Ｃ−２６９，Ｐ４−３１１）に光モジュー
ルが提案されている。この文献のものは、光素子固定用
部材の側面にＰＤを実装し、シリコンＶ溝上に固定され
たファイバとレンズを介して配置され、調整固定用ブロ
ックを用いて光軸を調整された後固定する構造を有する
ものである。
としては「多チャンネルＬＤ，ＰＤアレイモジュールの
試作」（守谷 薫 外３名，１９９２年電子情報通信学
会春季大会、Ｃ−２６９，Ｐ４−３１１）に光モジュー
ルが提案されている。この文献のものは、光素子固定用
部材の側面にＰＤを実装し、シリコンＶ溝上に固定され
たファイバとレンズを介して配置され、調整固定用ブロ
ックを用いて光軸を調整された後固定する構造を有する
ものである。
【０００３】図５は、前記文献に記載されている光モジ
ュール（ＰＤアレイモジュール）の従来例を示す図で、
図中、３１はキャリア、３２はレンズアレイ、３３はテ
ープファイバ、３４はＰＤアレイ、３５は調整固定用ブ
ロック、３６はＳｉＶ溝ファバ整列部材である。ファイ
バ３３は、シリコンの異方性エッチングにて等間隔に形
成されたＶ溝で精密に配列している。また、レンズアレ
イ３２は、マイクロレンズをモノリシックに集積化した
レンズアレイを用いている。
ュール（ＰＤアレイモジュール）の従来例を示す図で、
図中、３１はキャリア、３２はレンズアレイ、３３はテ
ープファイバ、３４はＰＤアレイ、３５は調整固定用ブ
ロック、３６はＳｉＶ溝ファバ整列部材である。ファイ
バ３３は、シリコンの異方性エッチングにて等間隔に形
成されたＶ溝で精密に配列している。また、レンズアレ
イ３２は、マイクロレンズをモノリシックに集積化した
レンズアレイを用いている。
【０００４】本モジュールの特徴は以下のとおりであ
る。 広トレランス結合系；（ＬＤ・レンズ）ＶＳ（ファイ
バ）調整固定のトレランス特性は、ＬＤとファイバの直
接結合と比較して結合損失及びトレランスの両面で大幅
な改善が成されている。 簡易調整固定；スペーサ等を使用してＺ軸（光軸方
向）は無調整とし、Ｘ，Ｙ軸のみ調整を行なっている。 レーザ溶接固定；主要固定箇所は、レーザ溶接により
信頼性の向上を図っている。
る。 広トレランス結合系；（ＬＤ・レンズ）ＶＳ（ファイ
バ）調整固定のトレランス特性は、ＬＤとファイバの直
接結合と比較して結合損失及びトレランスの両面で大幅
な改善が成されている。 簡易調整固定；スペーサ等を使用してＺ軸（光軸方
向）は無調整とし、Ｘ，Ｙ軸のみ調整を行なっている。 レーザ溶接固定；主要固定箇所は、レーザ溶接により
信頼性の向上を図っている。
【０００５】しかしながら、前述したような従来の光モ
ジュールにおいて、光素子と光ファイバとを調整ブロッ
ク上に個別に組み上げるような構成では、光軸調整をモ
ジュールごとに個別に行う必要があり、またモジュール
自体が大きくなってしまうなどの問題点がある。
ジュールにおいて、光素子と光ファイバとを調整ブロッ
ク上に個別に組み上げるような構成では、光軸調整をモ
ジュールごとに個別に行う必要があり、またモジュール
自体が大きくなってしまうなどの問題点がある。
【０００６】
【目的】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされた
もので、小型で光軸調整の容易な高性能な受光モジュー
ルを提供することを目的としてなされたものである。
もので、小型で光軸調整の容易な高性能な受光モジュー
ルを提供することを目的としてなされたものである。
【０００７】
【構成】本発明は、上記目的を達成するために、（１）
少なくとも１つ以上の光ファイバと、光ファイバ固定機
能と光路変換機能を有する溝を形成した光ファイバ保持
部材と、少なくとも１つ以上の受光素子を形成した受光
素子形成部材とからなり、前記光ファイバからの出射光
を前記光ファイバ保持部材に設けた反射機能を有する加
工面により光路変換した後、前記受光素子の受光部に効
率よく入射するように位置関係を調整した受光素子形成
部材を配置し、前記光ファイバ保持部材と張り合わせて
構成した受光モジュールにおいて、前記受光素子形成部
材に受光素子を設けた結晶基板を用い、該結晶基板上に
光ファイバ位置決めする位置決め用溝を異方性エッチン
グ手段により設けるとともに、該位置決め用溝を受光素
子側に設けたこと、更には（２）前記受光素子形成部材
に多層結晶基板を用いて受光素子を設けたこと、更に
は、（３）前記光ファイバの出射端から受光面まで屈折
率がファイバの屈折率と概略一致する透明物質で充填し
たこと、更には、（４）端面にレンズ機能を有する光フ
ァイバを用いたことを特徴としたものである。以下、本
発明の実施例に基づいて説明する。
少なくとも１つ以上の光ファイバと、光ファイバ固定機
能と光路変換機能を有する溝を形成した光ファイバ保持
部材と、少なくとも１つ以上の受光素子を形成した受光
素子形成部材とからなり、前記光ファイバからの出射光
を前記光ファイバ保持部材に設けた反射機能を有する加
工面により光路変換した後、前記受光素子の受光部に効
率よく入射するように位置関係を調整した受光素子形成
部材を配置し、前記光ファイバ保持部材と張り合わせて
構成した受光モジュールにおいて、前記受光素子形成部
材に受光素子を設けた結晶基板を用い、該結晶基板上に
光ファイバ位置決めする位置決め用溝を異方性エッチン
グ手段により設けるとともに、該位置決め用溝を受光素
子側に設けたこと、更には（２）前記受光素子形成部材
に多層結晶基板を用いて受光素子を設けたこと、更に
は、（３）前記光ファイバの出射端から受光面まで屈折
率がファイバの屈折率と概略一致する透明物質で充填し
たこと、更には、（４）端面にレンズ機能を有する光フ
ァイバを用いたことを特徴としたものである。以下、本
発明の実施例に基づいて説明する。
【０００８】図１（ａ),(ｂ）は、本発明による受光モ
ジュールの一実施例を説明するための構成図で、図
（ａ）は断面図、図（ｂ）は平面図である。図中、１は
受光モジュール、２は光ファイバ保持部材、３は受光素
子形成部材、４は光ファイバ、５はファイバ固定用溝、
６は反射面、７は受光素子、８は電極である。本発明の
小型受光モジュール１では、少なくとも１つ以上の光フ
ァイバ４と、ファイバ固定機能と光路変換機能を有する
溝５を形成した部材２と、受光素子形成部材３とからな
り、前記光ファイバ４からの出射光を前記部材上に設け
た反射機能を有する加工面６により光路変換した後、受
光素子７の受光部に効率よく入射するよう位置関係を調
整した受光素子形成部材３を精度よく配置し、前記光フ
ァイバ保持部材と張り合わせた構造を有する。
ジュールの一実施例を説明するための構成図で、図
（ａ）は断面図、図（ｂ）は平面図である。図中、１は
受光モジュール、２は光ファイバ保持部材、３は受光素
子形成部材、４は光ファイバ、５はファイバ固定用溝、
６は反射面、７は受光素子、８は電極である。本発明の
小型受光モジュール１では、少なくとも１つ以上の光フ
ァイバ４と、ファイバ固定機能と光路変換機能を有する
溝５を形成した部材２と、受光素子形成部材３とからな
り、前記光ファイバ４からの出射光を前記部材上に設け
た反射機能を有する加工面６により光路変換した後、受
光素子７の受光部に効率よく入射するよう位置関係を調
整した受光素子形成部材３を精度よく配置し、前記光フ
ァイバ保持部材と張り合わせた構造を有する。
【０００９】図２（ａ）〜（ｆ）は、受光モジュールの
作製方法を説明するための図で、図中、９は位置決め用
溝、１０はマスク開口部、１１は酸化膜、１２は反射膜
で、その他、図１と同じ作用をする部分は同一の符号を
付してある。本実施例では安価なシステムが構成可能な
光源の波長が１μｍ以下の短波長光通信用モジュールに
ついて説明する。また、本実施例では光ファイバ固定用
溝５と受光素子側の位置決め用溝をエッチングにより形
成するために、結晶基板に１００面を有するｎ型のＳｉ
結晶基板をもちいている。
作製方法を説明するための図で、図中、９は位置決め用
溝、１０はマスク開口部、１１は酸化膜、１２は反射膜
で、その他、図１と同じ作用をする部分は同一の符号を
付してある。本実施例では安価なシステムが構成可能な
光源の波長が１μｍ以下の短波長光通信用モジュールに
ついて説明する。また、本実施例では光ファイバ固定用
溝５と受光素子側の位置決め用溝をエッチングにより形
成するために、結晶基板に１００面を有するｎ型のＳｉ
結晶基板をもちいている。
【００１０】まず、光ファイバ固定用溝５は、水蒸気酸
化等を用いて結晶表面に酸化膜１１を形成後、フォトリ
ソグラフィの手法及びエッチングにより酸化膜１１に異
方性エッチング用の長方形のマスク開口部１０を形成し
て（図（ａ））、ＫＯＨやＥＰＷ（エチレンジアミンピ
テカテロール水溶液）などのエッチング液を用いて異方
性エッチングを行い、光ファイバ固定用溝５を作製する
（図（ｂ））。この時、マスク開口を所定の結晶方位に
することにより、短辺のエッチング面６と基板とのなす
角がほぼ５５度となる。
化等を用いて結晶表面に酸化膜１１を形成後、フォトリ
ソグラフィの手法及びエッチングにより酸化膜１１に異
方性エッチング用の長方形のマスク開口部１０を形成し
て（図（ａ））、ＫＯＨやＥＰＷ（エチレンジアミンピ
テカテロール水溶液）などのエッチング液を用いて異方
性エッチングを行い、光ファイバ固定用溝５を作製する
（図（ｂ））。この時、マスク開口を所定の結晶方位に
することにより、短辺のエッチング面６と基板とのなす
角がほぼ５５度となる。
【００１１】次に、この基板に通常の蒸着法によりＡｕ
の薄膜を蒸着して、このエッチング面に反射膜１２を形
成後、絶縁のための酸化膜をスパッタ等により形成して
光ファイバ４を固定することにより光ファイバ保持部材
２を作製する。一方、受光素子形成部材３は、前記酸化
膜形成方法により酸化膜を形成したｎ型Ｓｉ結晶基板に
フォトリソグラフィの手法及びエッチングによりほぼ正
方形の開口部を設け、前記開口部からボロン（Ｂ）を選
択的にイオン注入してｐ型の領域７を形成してフォトダ
イオード（ＰＤ）を作製した（図（ｄ））後、電極パタ
ーン８を基板表裏面に形成して受光素子形成部材３を作
製する（図（ｅ））。
の薄膜を蒸着して、このエッチング面に反射膜１２を形
成後、絶縁のための酸化膜をスパッタ等により形成して
光ファイバ４を固定することにより光ファイバ保持部材
２を作製する。一方、受光素子形成部材３は、前記酸化
膜形成方法により酸化膜を形成したｎ型Ｓｉ結晶基板に
フォトリソグラフィの手法及びエッチングによりほぼ正
方形の開口部を設け、前記開口部からボロン（Ｂ）を選
択的にイオン注入してｐ型の領域７を形成してフォトダ
イオード（ＰＤ）を作製した（図（ｄ））後、電極パタ
ーン８を基板表裏面に形成して受光素子形成部材３を作
製する（図（ｅ））。
【００１２】また、この時、光ファイバ保持部材２との
アライメント精度を確保するために、位置決め用溝９
を、電極形成前に酸化膜をマスクに上記異方性エッチン
グの方法で形成しても良い（図（ｆ））。本発明による
受光モジュールは、前記光ファイバ保持部材と受光素子
形成部材とを光ファイバからの出射光が効率よく受光素
子に入射するように、位置調整後に張り合わせるように
対向させて接着等により保持する。
アライメント精度を確保するために、位置決め用溝９
を、電極形成前に酸化膜をマスクに上記異方性エッチン
グの方法で形成しても良い（図（ｆ））。本発明による
受光モジュールは、前記光ファイバ保持部材と受光素子
形成部材とを光ファイバからの出射光が効率よく受光素
子に入射するように、位置調整後に張り合わせるように
対向させて接着等により保持する。
【００１３】図３（ａ),(ｂ）は、本発明による受光モ
ジュールの他の実施例を示す図で、図（ａ）は断面図、
図（ｂ）は平面図である。図中の参照番号は図１と同様
である。図１に示す実施例において、受光モジュール
は、光ファイバ保持部材２と受光素子形成部材３とを光
ファイバからの出射光が効率よく受光素子に入射するよ
うに、位置調後整に張り合わせるように対向させて接着
等により保持しているが、この際、受光素子側に位置決
め用溝９が形成されている場合には、該位置決め用溝９
に光ファイバ４を沿わせることにより位置決めがなさ
れ、受光モジュールの組付時の位置決めを無調整にする
ことが可能となる。
ジュールの他の実施例を示す図で、図（ａ）は断面図、
図（ｂ）は平面図である。図中の参照番号は図１と同様
である。図１に示す実施例において、受光モジュール
は、光ファイバ保持部材２と受光素子形成部材３とを光
ファイバからの出射光が効率よく受光素子に入射するよ
うに、位置調後整に張り合わせるように対向させて接着
等により保持しているが、この際、受光素子側に位置決
め用溝９が形成されている場合には、該位置決め用溝９
に光ファイバ４を沿わせることにより位置決めがなさ
れ、受光モジュールの組付時の位置決めを無調整にする
ことが可能となる。
【００１４】図４（ａ)〜(ｄ）は、本発明による受光モ
ジュールの更に他の実施例を示す図で、図中、２１は先
球光ファイバ、２２は熱硬化型透明樹脂、２３は多層光
学薄膜、２４はｎ型結晶薄膜で、その他、図１と同じ作
用をする部分は同一の符号を付してある。図（ａ）のよ
うに、光ファイバの先端部にレンズ機能を付加した先球
光ファイバ２１を用いて出射光に指向性を持たせたり、
図（ｂ）のように、光ファイバ先端部から受光面にいた
る空間を固定もかねて屈折率がファイバの屈折率と概略
一致する熱硬化型透明樹脂２２により充填して固定する
ことにより、ファイバ４からの出射光束の広がりを抑え
ることも可能である。
ジュールの更に他の実施例を示す図で、図中、２１は先
球光ファイバ、２２は熱硬化型透明樹脂、２３は多層光
学薄膜、２４はｎ型結晶薄膜で、その他、図１と同じ作
用をする部分は同一の符号を付してある。図（ａ）のよ
うに、光ファイバの先端部にレンズ機能を付加した先球
光ファイバ２１を用いて出射光に指向性を持たせたり、
図（ｂ）のように、光ファイバ先端部から受光面にいた
る空間を固定もかねて屈折率がファイバの屈折率と概略
一致する熱硬化型透明樹脂２２により充填して固定する
ことにより、ファイバ４からの出射光束の広がりを抑え
ることも可能である。
【００１５】また、受光素子部にも種々の構成が可能
で、例えば図（ｃ）のように、受光面に多層光学薄膜２
３を形成して波長選択性を持たせるなどの能動的な機能
を設けたり、図（ｄ）のように、結晶基板にｎ型板表面
にｉもしくは基板より低濃度のｎ型結晶薄膜２４を有す
る基板を用い、ＰＤ部をＰＩＮ構造にして高速応答可能
な受光素子とすることも可能である。さらに、受光素子
側の結晶基板にＩｎＰ結晶基板を用いて長波長用受光モ
ジュールを作製することも可能であり、また光ファイバ
保持部材も前記異方性エッチングで溝を形成したＳｉ結
晶基板を型に、通常の複製技術を用いて溝を転写した樹
脂基板に蒸着法などで反射面を形成した基板を用いても
良い。
で、例えば図（ｃ）のように、受光面に多層光学薄膜２
３を形成して波長選択性を持たせるなどの能動的な機能
を設けたり、図（ｄ）のように、結晶基板にｎ型板表面
にｉもしくは基板より低濃度のｎ型結晶薄膜２４を有す
る基板を用い、ＰＤ部をＰＩＮ構造にして高速応答可能
な受光素子とすることも可能である。さらに、受光素子
側の結晶基板にＩｎＰ結晶基板を用いて長波長用受光モ
ジュールを作製することも可能であり、また光ファイバ
保持部材も前記異方性エッチングで溝を形成したＳｉ結
晶基板を型に、通常の複製技術を用いて溝を転写した樹
脂基板に蒸着法などで反射面を形成した基板を用いても
良い。
【００１６】
【効果】以上の説明から明らかなように、本発明による
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１に対応する効果；２つの機能部材を張り
合わせ構成にすることにより、小型で光軸調整の容易な
高性能な受光モジュールを提供する事が可能である。ま
た、受光素子形成部材に受光素子を設けた結晶基板を用
い、該結晶基板上に光ファイバを位置決めする位置決め
用溝を異方性エッチング手段により設けるとともに、該
位置決め用溝を受光素子側に設けたので、各部材を精度
良く位置合わせすることができ、組付け時の工程を簡単
化することが可能である。 （２）請求項２に対応する効果；各部材を精度良く位置
合わせすることができ、組付け時の工程を簡単化するこ
とが可能であるとともに高性能な受光素子を設けること
が可能である。 （３）請求項３に対応する効果；各部材の組付時の補強
効果とともにファイバからの出射光の広がり角を小さく
することが可能で、受光面での光束の広がりを抑え、効
率よく光信号を受信することが可能である。 （４）請求項４に対応する効果；光ファイバからの出射
光に指向性を付加することができ、効率よく光信号を受
信することが可能である。
と、以下のような効果がある。 （１）請求項１に対応する効果；２つの機能部材を張り
合わせ構成にすることにより、小型で光軸調整の容易な
高性能な受光モジュールを提供する事が可能である。ま
た、受光素子形成部材に受光素子を設けた結晶基板を用
い、該結晶基板上に光ファイバを位置決めする位置決め
用溝を異方性エッチング手段により設けるとともに、該
位置決め用溝を受光素子側に設けたので、各部材を精度
良く位置合わせすることができ、組付け時の工程を簡単
化することが可能である。 （２）請求項２に対応する効果；各部材を精度良く位置
合わせすることができ、組付け時の工程を簡単化するこ
とが可能であるとともに高性能な受光素子を設けること
が可能である。 （３）請求項３に対応する効果；各部材の組付時の補強
効果とともにファイバからの出射光の広がり角を小さく
することが可能で、受光面での光束の広がりを抑え、効
率よく光信号を受信することが可能である。 （４）請求項４に対応する効果；光ファイバからの出射
光に指向性を付加することができ、効率よく光信号を受
信することが可能である。
【図１】 本発明による受光モジュールの一実施例を説
明するための構成図である。
明するための構成図である。
【図２】 本発明による受光モジュールの作製方法を説
明するための図である。
明するための図である。
【図３】 本発明による受光モジュールの他の実施例を
示す図である。
示す図である。
【図４】 本発明による受光モジュールの更に他の実施
例を示す図である。
例を示す図である。
【図５】 従来の受光モジュールの構成図である。
１…受光モジュール、２…光ファイバ保持部材、３…受
光素子形成部材、４…光ファイバ、５…光ファイバ固定
溝、６…反射面、７…受光素子、８…電極。
光素子形成部材、４…光ファイバ、５…光ファイバ固定
溝、６…反射面、７…受光素子、８…電極。
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも１つ以上の光ファイバと、光
ファイバ固定機能と光路変換機能を有する溝を形成した
光ファイバ保持部材と、少なくとも１つ以上の受光素子
を形成した受光素子形成部材とからなり、前記光ファイ
バからの出射光を前記光ファイバ保持部材に設けた反射
機能を有する加工面により光路変換した後、前記受光素
子の受光部に効率よく入射するように位置関係を調整し
た受光素子形成部材を配置し、前記光ファイバ保持部材
と張り合わせて構成した受光モジュールにおいて、前記
受光素子形成部材に受光素子を設けた結晶基板を用い、
該結晶基板上に光ファイバを位置決めする位置決め用溝
を異方性エッチング手段により設けるとともに、該位置
決め用溝を受光素子側に設けたことを特徴とする受光モ
ジュール。 - 【請求項２】 前記受光素子形成部材に多層結晶基板を
用いて受光素子を設けたことを特徴とする請求項１記載
の受光モジュール。 - 【請求項３】 前記光ファイバの出射端から受光面まで
屈折率がファイバの屈折率と概略一致する透明物質で充
填したことを特徴とする請求項１記載の受光モジュー
ル。 - 【請求項４】 端面にレンズ機能を有する光ファイバを
用いたことを特徴とする請求項１記載の受光モジュー
ル。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20736593A JP3202425B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-08-23 | 受光モジュール |
| US08/272,734 US5555333A (en) | 1993-07-12 | 1994-07-11 | Optical module and a fabrication process thereof |
| US08/670,015 US5759453A (en) | 1993-07-12 | 1996-06-25 | Optical module and a fabrication process thereof |
| US08/950,733 US5853626A (en) | 1993-07-12 | 1997-10-15 | Optical module and a fabrication process thereof |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5-171726 | 1993-07-12 | ||
| JP17172693 | 1993-07-12 | ||
| JP20736593A JP3202425B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-08-23 | 受光モジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0777632A JPH0777632A (ja) | 1995-03-20 |
| JP3202425B2 true JP3202425B2 (ja) | 2001-08-27 |
Family
ID=26494350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20736593A Expired - Fee Related JP3202425B2 (ja) | 1993-07-12 | 1993-08-23 | 受光モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3202425B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3677348B2 (ja) * | 1996-05-24 | 2005-07-27 | 株式会社リコー | 光伝送モジュール |
| JP3150070B2 (ja) * | 1996-09-30 | 2001-03-26 | 日本電気株式会社 | 受光モジュール及びその製造方法 |
| DE10131868A1 (de) * | 2001-06-30 | 2003-01-16 | Mergeoptics Gmbh | Anordnung zur Positionierung einer optischen Faser |
| JP3865137B2 (ja) * | 2003-04-30 | 2007-01-10 | 株式会社フジクラ | 光コネクタ |
| JP2006301610A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Fuji Xerox Co Ltd | 光結合装置 |
| TWI279095B (en) * | 2005-04-01 | 2007-04-11 | Delta Electronics Inc | Optical transceiver module |
| JP2014096684A (ja) * | 2012-11-08 | 2014-05-22 | V Technology Co Ltd | 光インターコネクション装置 |
| JP2014150520A (ja) * | 2013-01-11 | 2014-08-21 | V Technology Co Ltd | 光インターコネクション装置 |
| JP6205001B2 (ja) * | 2016-01-14 | 2017-09-27 | 株式会社フジクラ | 光電変換モジュール、及び、アクティブ光ケーブル |
| CN112904495A (zh) * | 2019-12-04 | 2021-06-04 | 讯芯电子科技（中山）有限公司 | 光模块装置 |
-
1993
- 1993-08-23 JP JP20736593A patent/JP3202425B2/ja not_active Expired - Fee Related
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