JP3210187B2 - 走査型プローブ顕微鏡の走査方式 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡の走査方式Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、走査型トンネル顕微
鏡、原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡の走査方
式に関し、特に、広範囲の試料表面にわたって原子レベ
ルの像を得るための走査方式に関する。
鏡、原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡の走査方
式に関し、特に、広範囲の試料表面にわたって原子レベ
ルの像を得るための走査方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】探針を利用する顕微鏡には、走査型トン
ネル顕微鏡（ＳＴＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、そ
の他がある。ＳＴＭもＡＦＭも原子レベルの分解能
（０．１ｎｍ以下）があることが知られている。ＳＴＭ
は、探針先端と試料間のトンネル電流が間隙の大きさに
非常に敏感であることを利用し、深針を試料表面に沿う
Ｘ、Ｙ方向に走査しながらトンネル電流が一定になるよ
うに探針の高さ（Ｚ方向）を制御することにより、表面
の凹凸像を得るものある。また、ＡＦＭは、マイクロビ
ーム（微小な梁）の先端と試料表面間に働く原子間力に
より変形したマイクロビームの微小変形を光学的方法な
いしマイクロビームに従属したＳＴＭにより検出しなが
ら、マイクロビームの変形が一定になるようにＺ方向の
位置を補正しながら、試料又はマイクロビームをＸ、Ｙ
方向に走査することにより、試料の表面形状を得るもの
である。上記の何れの顕微鏡においても、プローブの走
査とその方向の位置制御には、一般的に圧電体が用いら
れている。
ネル顕微鏡（ＳＴＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、そ
の他がある。ＳＴＭもＡＦＭも原子レベルの分解能
（０．１ｎｍ以下）があることが知られている。ＳＴＭ
は、探針先端と試料間のトンネル電流が間隙の大きさに
非常に敏感であることを利用し、深針を試料表面に沿う
Ｘ、Ｙ方向に走査しながらトンネル電流が一定になるよ
うに探針の高さ（Ｚ方向）を制御することにより、表面
の凹凸像を得るものある。また、ＡＦＭは、マイクロビ
ーム（微小な梁）の先端と試料表面間に働く原子間力に
より変形したマイクロビームの微小変形を光学的方法な
いしマイクロビームに従属したＳＴＭにより検出しなが
ら、マイクロビームの変形が一定になるようにＺ方向の
位置を補正しながら、試料又はマイクロビームをＸ、Ｙ
方向に走査することにより、試料の表面形状を得るもの
である。上記の何れの顕微鏡においても、プローブの走
査とその方向の位置制御には、一般的に圧電体が用いら
れている。
【０００３】ここで、ＳＴＭの概略の構成を図６に示
す。図中、４２は試料、４３は探針、４４はヘッド、４
６はＺ軸方向圧電素子、４８はＸ軸方向圧電素子、４９
はＹ軸方向圧電素子、４５と４７は絶縁板、５１は電
極、５２はＸＹ走査回路、５３はサーボ回路、５４はト
ンネル電流電圧変換回路、５５はバイアス電源、５６は
マイクロコンピュータ、５７はメモリ、５８は表示装置
を示す。
す。図中、４２は試料、４３は探針、４４はヘッド、４
６はＺ軸方向圧電素子、４８はＸ軸方向圧電素子、４９
はＹ軸方向圧電素子、４５と４７は絶縁板、５１は電
極、５２はＸＹ走査回路、５３はサーボ回路、５４はト
ンネル電流電圧変換回路、５５はバイアス電源、５６は
マイクロコンピュータ、５７はメモリ、５８は表示装置
を示す。
【０００４】図６において、ＳＴＭユニットは、ヘッド
４４に探針４３が装着され、ヘッド４４が絶縁板４５、
４７及び圧電素子４６、４８、４９により支持されてい
る。圧電素子４６、４８、４９は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸か
らなる３次元アクチュエータを構成し、圧電素子４６が
Ｚ軸、圧電素子４８がＸ軸、圧電素子４９がＹ軸を駆動
するものである。３次元アクチュエータを構成する圧電
素子４６、４８、４９のそれぞれ両側に配置された電極
５１には駆動電圧が印加される。３次元アクチュエータ
の制御には、ＸＹ走査回路５２によりＸ軸、Ｙ軸方向圧
電素子４８、４９に対する印加電圧を掃引することによ
り探針４３をＸ軸、Ｙ軸方向に移動させて２次元走査
し、この走査をしながらトンネル電流が一定になるよう
にサーボ回路５３を通してＺ軸方向圧電素子４６に対す
る電圧を制御する。そこで、その制御電圧値をマイクロ
コンピュータ５６により探針４３の走査に同期してサン
プリングしてメモリ５７に記憶しながら表示装置５８に
表示することによって、試料４２の表面形状（凹凸像）
を観察することができるものである。
４４に探針４３が装着され、ヘッド４４が絶縁板４５、
４７及び圧電素子４６、４８、４９により支持されてい
る。圧電素子４６、４８、４９は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸か
らなる３次元アクチュエータを構成し、圧電素子４６が
Ｚ軸、圧電素子４８がＸ軸、圧電素子４９がＹ軸を駆動
するものである。３次元アクチュエータを構成する圧電
素子４６、４８、４９のそれぞれ両側に配置された電極
５１には駆動電圧が印加される。３次元アクチュエータ
の制御には、ＸＹ走査回路５２によりＸ軸、Ｙ軸方向圧
電素子４８、４９に対する印加電圧を掃引することによ
り探針４３をＸ軸、Ｙ軸方向に移動させて２次元走査
し、この走査をしながらトンネル電流が一定になるよう
にサーボ回路５３を通してＺ軸方向圧電素子４６に対す
る電圧を制御する。そこで、その制御電圧値をマイクロ
コンピュータ５６により探針４３の走査に同期してサン
プリングしてメモリ５７に記憶しながら表示装置５８に
表示することによって、試料４２の表面形状（凹凸像）
を観察することができるものである。
【０００５】上記したように、ＳＴＭ及びＡＦＭは、原
子レベルの分解能が得られることが知られているが、探
針の最大走査範囲（２００ｎｍ〜１００μｍ）で走査を
行うと、原子レベルの分解能を得ることは不可能であ
る。なぜなら、通常、このような走査型プローブ顕微鏡
の縦横の分解能は、メモリの容量の関係から、最大５１
２（９ｂｉｔ）×５１２（９ｂｉｔ）程度の画素で構成
されるため、２００ｎｍの最大走査範囲で走査を行う
と、２画素間の距離は約０．４ｎｍとなり、原子１個の
大きさよりも大きくなってしまうためである。したがっ
て、通常、原子レベルでの像を得る場合は、走査範囲を
小さくして走査する必要がある。
子レベルの分解能が得られることが知られているが、探
針の最大走査範囲（２００ｎｍ〜１００μｍ）で走査を
行うと、原子レベルの分解能を得ることは不可能であ
る。なぜなら、通常、このような走査型プローブ顕微鏡
の縦横の分解能は、メモリの容量の関係から、最大５１
２（９ｂｉｔ）×５１２（９ｂｉｔ）程度の画素で構成
されるため、２００ｎｍの最大走査範囲で走査を行う
と、２画素間の距離は約０．４ｎｍとなり、原子１個の
大きさよりも大きくなってしまうためである。したがっ
て、通常、原子レベルでの像を得る場合は、走査範囲を
小さくして走査する必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、試料表明の広範
囲にわたって原子レベルの像を得ようとする場合は、原
子レベルでの分解能が得られる程度（最大５０ｎｍ程
度）まで走査範囲を小さくして走査を行い、次に、試料
を移動させて観察視野を移動させ、再度同様の走査を行
うことを繰り返して、最後に得られた画像をつなぎ合わ
せることにより行っている。
囲にわたって原子レベルの像を得ようとする場合は、原
子レベルでの分解能が得られる程度（最大５０ｎｍ程
度）まで走査範囲を小さくして走査を行い、次に、試料
を移動させて観察視野を移動させ、再度同様の走査を行
うことを繰り返して、最後に得られた画像をつなぎ合わ
せることにより行っている。
【０００７】このような方法では、１つの走査範囲につ
いて走査を行って、次の走査範囲を決定するには、オペ
レータがパラメータ等の設定を行う必要があり、多くの
時間と労力が必要となっている。このための時間がかか
ると、この間に試料がドリフトして安定した観察ができ
ない等が問題となってくる。
いて走査を行って、次の走査範囲を決定するには、オペ
レータがパラメータ等の設定を行う必要があり、多くの
時間と労力が必要となっている。このための時間がかか
ると、この間に試料がドリフトして安定した観察ができ
ない等が問題となってくる。
【０００８】本発明はこのような従来技術の問題点を解
決するためになされたものであり、その目的は、ＳＴ
Ｍ、ＡＦＭ等の走査型プローブ顕微鏡の探針の最大走査
範囲内をいくつかの部分領域に分けて順次走査を行い、
得られた画像をつなぎ合わせることによって探針の最大
走査範囲内で原子レベルの高分解能を持った画像を得る
走査方式を提供することである。
決するためになされたものであり、その目的は、ＳＴ
Ｍ、ＡＦＭ等の走査型プローブ顕微鏡の探針の最大走査
範囲内をいくつかの部分領域に分けて順次走査を行い、
得られた画像をつなぎ合わせることによって探針の最大
走査範囲内で原子レベルの高分解能を持った画像を得る
走査方式を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の走査型プローブ顕微鏡の走査方式は、試料表面に沿
って圧電素子により深針を走査させることによって試料
表面の凹凸に関する信号を得る走査型プローブ顕微鏡に
おいて、前記圧電素子に、前記探針の最大走査範囲をｎ
分した部分領域を順次変更させるためのオフセット信号
と、このオフセット信号が１つの部分領域にある間に、
その部分領域内を走査するための走査信号とを重畳して
印加するようにしたことを特徴とするものである。
明の走査型プローブ顕微鏡の走査方式は、試料表面に沿
って圧電素子により深針を走査させることによって試料
表面の凹凸に関する信号を得る走査型プローブ顕微鏡に
おいて、前記圧電素子に、前記探針の最大走査範囲をｎ
分した部分領域を順次変更させるためのオフセット信号
と、このオフセット信号が１つの部分領域にある間に、
その部分領域内を走査するための走査信号とを重畳して
印加するようにしたことを特徴とするものである。
【００１０】この場合、部分領域が隣接する部分領域と
一部重なるように、オフセット信号及び走査信号の少な
くとも一方の値が設定されるようにしてもよい。
一部重なるように、オフセット信号及び走査信号の少な
くとも一方の値が設定されるようにしてもよい。
【００１１】
【作用】本発明においては、探針を走査する圧電素子
に、探針の最大走査範囲をｎ分した部分領域を順次変更
させるためのオフセット信号と、このオフセット信号が
１つの部分領域にある間に、その部分領域内を走査する
ための走査信号とを重畳して印加するようにしたので、
部分領域で原子レベルの高分解能が得られるようにな
る。この部分領域の画像をつなぎ合わせることにより最
大走査範囲全域で高分解能が得られることになる。ま
た、このように最大走査範囲を分割して所定の順で各部
分領域の画像を得るので、取り込んだ画像のつなぎ合わ
せが自動化でき、マニュアルでの調整、設定が必要でな
くなり、短時間で探針の最大走査範囲内で原子レベルの
高分解能を持った画像を得ることができる。
に、探針の最大走査範囲をｎ分した部分領域を順次変更
させるためのオフセット信号と、このオフセット信号が
１つの部分領域にある間に、その部分領域内を走査する
ための走査信号とを重畳して印加するようにしたので、
部分領域で原子レベルの高分解能が得られるようにな
る。この部分領域の画像をつなぎ合わせることにより最
大走査範囲全域で高分解能が得られることになる。ま
た、このように最大走査範囲を分割して所定の順で各部
分領域の画像を得るので、取り込んだ画像のつなぎ合わ
せが自動化でき、マニュアルでの調整、設定が必要でな
くなり、短時間で探針の最大走査範囲内で原子レベルの
高分解能を持った画像を得ることができる。
【００１２】
【実施例】本発明の基本原理は、図２に示すように、走
査型プローブ顕微鏡の探針の最大走査範囲を自動的にｎ
等分して、その部分領域を順次走査して、得られた各画
像をつなぎ合わせことによって探針の最大走査範囲内で
原子レベルの高分解能を持った画像を得るようにするこ
とである。
査型プローブ顕微鏡の探針の最大走査範囲を自動的にｎ
等分して、その部分領域を順次走査して、得られた各画
像をつなぎ合わせことによって探針の最大走査範囲内で
原子レベルの高分解能を持った画像を得るようにするこ
とである。
【００１３】以下、ＳＴＭを例にあげて説明するが、Ａ
ＦＭについても同様である。図１に１実施例のＳＴＭの
概略の構成を示すが、図６に示した従来例と異なる点
は、ＸＹ走査回路５２から出力されるＸ方向、Ｙ方向駆
動信号として、後記するようなＸオフセット信号、Ｘ
走査信号、Ｙオフセット信号、Ｙ走査信号の４つ
の信号が出力されること、及び、この中、Ｘオフセット
信号とＸ走査信号が図のような加算回路１１により
重畳されてＸ軸方向圧電素子４８に印加されること、Ｙ
オフセット信号とＹ走査信号が図のような加算回路
１２により重畳されてＹ軸方向圧電素子４９に印加され
ることだけであり、その他の点では同じである。
ＦＭについても同様である。図１に１実施例のＳＴＭの
概略の構成を示すが、図６に示した従来例と異なる点
は、ＸＹ走査回路５２から出力されるＸ方向、Ｙ方向駆
動信号として、後記するようなＸオフセット信号、Ｘ
走査信号、Ｙオフセット信号、Ｙ走査信号の４つ
の信号が出力されること、及び、この中、Ｘオフセット
信号とＸ走査信号が図のような加算回路１１により
重畳されてＸ軸方向圧電素子４８に印加されること、Ｙ
オフセット信号とＹ走査信号が図のような加算回路
１２により重畳されてＹ軸方向圧電素子４９に印加され
ることだけであり、その他の点では同じである。
【００１４】そして、上記ＸＹ走査回路５２からは、図
３に例示するような波形のＸオフセット信号、Ｘ走査
信号、Ｙオフセット信号、Ｙ走査信号が出力され
る。ただし、この例の場合は、Ｘ方向、Ｙ方向それぞれ
を３等分する場合で、信号電圧１は分割された３等分の
１辺を走査するのに必要な電圧とする。
３に例示するような波形のＸオフセット信号、Ｘ走査
信号、Ｙオフセット信号、Ｙ走査信号が出力され
る。ただし、この例の場合は、Ｘ方向、Ｙ方向それぞれ
を３等分する場合で、信号電圧１は分割された３等分の
１辺を走査するのに必要な電圧とする。
【００１５】すなわち、ＸＹ走査回路５２から出力され
るＸオフセット信号、Ｙオフセット信号は、最大走
査範囲をそれぞれの方向にｎ等分した最大走査範囲内の
部分領域を順次変更させるための信号である。そして、
ＸＹ走査回路５２から出力されるＸ走査信号、Ｙ走査
信号は、Ｘオフセット信号、Ｙオフセット信号が
１つの部分領域にある間に、その部分領域内を２次元掃
引走査するための信号であり、従来と同様のものであ
る。したがって、各部分領域の走査範囲は最大走査範囲
に比べて１辺方向にｎ分の１になるため、サーボ回路５
３を通してＺ軸方向圧電素子４６に印加される制御電圧
値のサンプリング点の間隔はその分だけ小さくでき、分
解能が上がることになる。
るＸオフセット信号、Ｙオフセット信号は、最大走
査範囲をそれぞれの方向にｎ等分した最大走査範囲内の
部分領域を順次変更させるための信号である。そして、
ＸＹ走査回路５２から出力されるＸ走査信号、Ｙ走査
信号は、Ｘオフセット信号、Ｙオフセット信号が
１つの部分領域にある間に、その部分領域内を２次元掃
引走査するための信号であり、従来と同様のものであ
る。したがって、各部分領域の走査範囲は最大走査範囲
に比べて１辺方向にｎ分の１になるため、サーボ回路５
３を通してＺ軸方向圧電素子４６に印加される制御電圧
値のサンプリング点の間隔はその分だけ小さくでき、分
解能が上がることになる。
【００１６】図４（ａ）は図３のＸオフセット信号と
Ｘ走査信号を合成した波形図、図４（ｂ）は図３のＹ
オフセット信号とＹ走査信号を合成した波形図であ
り、このような探針駆動信号による走査により得られる
各部分領域の凹凸画像は、マイクロコンピュータ５６を
介して順にメモリ５７に取り込まれ、全べての部分領域
の走査が完了した時点で、それらの画像信号はマイクロ
コンピュータ５６でつなぎ合わされ、表示装置５８に表
示される。このようにして、図４（ｃ）に示すように、
全体の観察領域が探針の最大走査範囲へ広がり、かつ、
その全範囲で、探針の最大走査範囲内を一度に走査して
得られる分解能よりｎ倍高い例えば原子レベルの高分解
能が得られる。
Ｘ走査信号を合成した波形図、図４（ｂ）は図３のＹ
オフセット信号とＹ走査信号を合成した波形図であ
り、このような探針駆動信号による走査により得られる
各部分領域の凹凸画像は、マイクロコンピュータ５６を
介して順にメモリ５７に取り込まれ、全べての部分領域
の走査が完了した時点で、それらの画像信号はマイクロ
コンピュータ５６でつなぎ合わされ、表示装置５８に表
示される。このようにして、図４（ｃ）に示すように、
全体の観察領域が探針の最大走査範囲へ広がり、かつ、
その全範囲で、探針の最大走査範囲内を一度に走査して
得られる分解能よりｎ倍高い例えば原子レベルの高分解
能が得られる。
【００１７】ところで、走査装置の特性により、実際に
走査を行った部分領域の画像をつなぎ合わせて表示を行
った場合に、画像が不連続になったり、また、一部で重
なって走査が行われることが考えられる。これを防ぐた
めに、図５に示すように、各部分領域の走査範囲を若干
広げて走査範囲が隣接する部分領域と一部重複するよう
に走査し、表示の時にその重複部を重複させて表示する
ようにしてもよい。このような重複のある走査をするに
は、オフセット信号、又は走査信号、の少なく
とも一方の電圧値、振幅を調整すればよい。
走査を行った部分領域の画像をつなぎ合わせて表示を行
った場合に、画像が不連続になったり、また、一部で重
なって走査が行われることが考えられる。これを防ぐた
めに、図５に示すように、各部分領域の走査範囲を若干
広げて走査範囲が隣接する部分領域と一部重複するよう
に走査し、表示の時にその重複部を重複させて表示する
ようにしてもよい。このような重複のある走査をするに
は、オフセット信号、又は走査信号、の少なく
とも一方の電圧値、振幅を調整すればよい。
【００１８】以上、本発明の走査型プローブ顕微鏡の走
査方式をいくつかの実施例に基づいて説明してきたが、
本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能で
ある。
査方式をいくつかの実施例に基づいて説明してきたが、
本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可能で
ある。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の走査型プローブ顕微鏡の走査方式によると、探針を走
査する圧電素子に、探針の最大走査範囲をｎ分した部分
領域を順次変更させるためのオフセット信号と、このオ
フセット信号が１つの部分領域にある間に、その部分領
域内を走査するための走査信号とを重畳して印加するよ
うにしたので、部分領域で原子レベルの高分解能が得ら
れるようになる。この部分領域の画像をつなぎ合わせる
ことにより最大走査範囲全域で高分解能が得られること
になる。また、このように最大走査範囲を分割して所定
の順で各部分領域の画像を得るので、取り込んだ画像の
つなぎ合わせが自動化でき、マニュアルでの調整、設定
が必要でなくなり、短時間で探針の最大走査範囲内で原
子レベルの高分解能を持った画像を得ることができる。
の走査型プローブ顕微鏡の走査方式によると、探針を走
査する圧電素子に、探針の最大走査範囲をｎ分した部分
領域を順次変更させるためのオフセット信号と、このオ
フセット信号が１つの部分領域にある間に、その部分領
域内を走査するための走査信号とを重畳して印加するよ
うにしたので、部分領域で原子レベルの高分解能が得ら
れるようになる。この部分領域の画像をつなぎ合わせる
ことにより最大走査範囲全域で高分解能が得られること
になる。また、このように最大走査範囲を分割して所定
の順で各部分領域の画像を得るので、取り込んだ画像の
つなぎ合わせが自動化でき、マニュアルでの調整、設定
が必要でなくなり、短時間で探針の最大走査範囲内で原
子レベルの高分解能を持った画像を得ることができる。
【図１】本発明の１実施例の走査方式を行う走査型トン
ネル顕微鏡の概略の構成を示す図である。
ネル顕微鏡の概略の構成を示す図である。
【図２】本発明の基本原理を説明するための図である。
【図３】図１のＸＹ走査回路から出力される信号の波形
図である。
図である。
【図４】図３のオフセット信号とＸ走査信号を合成した
波形図と合成画面を示す図である。
波形図と合成画面を示す図である。
【図５】別の実施例の図４と同様な図である。
【図６】従来の走査型トンネル顕微鏡の概略の構成を示
す図である。
す図である。
１１、１２…加算回路 ４２…試料 ４３…探針 ４４…ヘッド ４６…Ｚ軸方向圧電素子 ４８…Ｘ軸方向圧電素子 ４９…Ｙ軸方向圧電素子 ４５、４７…絶縁板 ５１…電極 ５２…ＸＹ走査回路 ５３…サーボ回路 ５４…トンネル電流電圧変換回路 ５５…バイアス電源 ５６…マイクロコンピュータ ５７…メモリ ５８…表示装置 …Ｘオフセット信号 …Ｘ走査信号 …Ｙオフセット信号 …Ｙ走査信号
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−281002（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−216204（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−34313（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−160076（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G12B 21/00 - 21/24 G01B 11/30 G01B 21/30 H01J 37/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 試料表面に沿って圧電素子により深針を
走査させることによって試料表面の凹凸に関する信号を
得る走査型プローブ顕微鏡において、前記圧電素子に、
前記探針の最大走査範囲をｎ分した部分領域を順次変更
させるためのオフセット信号と、このオフセット信号が
１つの部分領域にある間に、その部分領域内を走査する
ための走査信号とを重畳して印加するようにしたことを
特徴とする走査型プローブ顕微鏡の走査方式。 - 【請求項２】 部分領域が隣接する部分領域と一部重な
るように、前記オフセット信号及び走査信号の少なくと
も一方の値が設定されていることを特徴とする請求項１
記載の走査型プローブ顕微鏡の走査方式。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22666894A JP3210187B2 (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | 走査型プローブ顕微鏡の走査方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22666894A JP3210187B2 (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | 走査型プローブ顕微鏡の走査方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0894644A JPH0894644A (ja) | 1996-04-12 |
| JP3210187B2 true JP3210187B2 (ja) | 2001-09-17 |
Family
ID=16848794
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22666894A Expired - Fee Related JP3210187B2 (ja) | 1994-09-21 | 1994-09-21 | 走査型プローブ顕微鏡の走査方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3210187B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5079109B2 (ja) * | 2005-04-07 | 2012-11-21 | オリンパス株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| JP4772485B2 (ja) * | 2005-04-07 | 2011-09-14 | オリンパス株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| WO2023053522A1 (ja) * | 2021-09-28 | 2023-04-06 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡およびプログラム |
-
1994
- 1994-09-21 JP JP22666894A patent/JP3210187B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0894644A (ja) | 1996-04-12 |
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